CN111251155B - 浆料管调整架 - Google Patents

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Abstract

一种浆料管调整架包括第一架体及第二架体，其中第一架体系对应连接于浆料管的第一端部，而第二架体系对应连接于浆料管的第二端部。第一架体及第二架体包括可分别沿横向及纵向移动的调整机构，藉以调整浆料管的位置；另外，第一架体包括可转动的调整机构，用以调整浆料管的倾斜角度。

Description

浆料管调整架
技术领域
本发明与浆料管调整架有关；特别是指一种可调整浆料管位置及倾斜角度的调整架。
背景技术
在一般晶圆片制造过程中，晶柱系利用钻石线切割成一片一片的晶圆片，以供后续的电子晶片制程、太阳能晶片制程使用。当使用钻石线切割晶柱时，钻石线会对晶圆摩擦产生热，使晶圆温度升高，因此需要喷洒水柱使晶圆降温。然而，用以降温的传统浆料管大多系以一体成形的方式模铸制成，当浆料管需要清洗管体内部时，将难以彻底清除杂质污垢。
另一方面，当使用钻石线切割晶柱时，钻石线系缠绕于主轮上，且与主轮同动。在长期使用下，钻石线会磨损主轮表面，需将主轮表面抛磨平整后，方能继续使用；因此，主轮的轮径会因磨损而越来越小，使钻石线与晶柱的接触位置往下降。然而，传统浆料管的调整架系以焊接方式固定在晶柱切割机中，且无法调整浆料管的位置，因此当主轮的轮径因磨损而使使钻石线与晶柱的接触位置降低时，浆料管无法随之调整其位置，以致传统浆料管无法对晶柱切割制程提供较佳的降温效果。
是以，传统浆料管结构或传统浆料管调整架仍然存在既有的技术问题，需要克服解决。
发明内容
有鉴于此，本发明之目的在于提供一种浆料管结构，其可藉由拆解盖板，以便于清洁浆料管结构的本体。
缘以达成上述目的，本发明提供的一种浆料管结构包括一本体、一盖板及多个喷嘴。该本体包括一管壁、两个端壁、多个出料口及一进料口，其中该管壁及该两个端壁构成一长槽及一开口，该多个出料口系沿该本体的一长方向设置于该管壁；该进料口设置于该管壁，该进料口藉由该长槽连通于该多个出料口。该盖板系可拆离地连接于该本体，且对应覆盖该开口。该多个喷嘴系设置于该管壁，其中每一个该喷嘴系分别对应于一个该出料口。
本发明的另一目的在于提供的一种浆料管调整架，其可调整浆料管本体的位置及倾斜角度，以在晶柱切割制程中提供较佳的降温效果。
缘以达成上述目的，本发明提供的一种浆料管调整架包括一第一架体及一第二架体。该第一架体系对应连接于一浆料管的一第一端部，该第一架体包括一第一固定座、一第一移动件、一第二移动件及一定位座，其中该第一移动件系可分离地连接于该第一固定座，且该第一移动件可相对该第一固定座沿一第一方向位移；该第二移动件系可分离地连接于该第一移动件，且该第二移动件可相对该第一移动件沿一第二方向位移；该定位座系连接于该第二移动件，且可相对于该第二移动件转动，该浆料管的该第一端部系设置于该定位座上。该第二架体系对应连接于该浆料管的一第二端部，该第二架体包括一第二固定座、一第三移动件及一第四移动件，其中该第三移动件系可分离地连接于该第二固定座，且该第三移动件可相对该第二固定座沿该第一方向及该第二方向中的一个位移；该第四移动件系可分离地连接于该第三移动件，且该第四移动件可相对该第三移动件沿该第一方向及该第二方向中的另一个位移；该第四移动件包括一支撑座，该浆料管的该第二端部系设置于该支撑座上。
本发明的效果在于浆料管结构具有可拆离的盖板，相较于传统浆料管结构，可便于彻底清洁浆料管结构中的死角。另外，本发明实施例所提供的浆料管调整架具有多个调整机构，使浆料管调整架可配合钻石线与晶柱的接触位置调整浆料管结构的位置及倾斜角度，以在晶柱切割制程中提供较佳的降温效果。
附图说明
图1为本发明实施例的浆料管结构的俯视图，其中以虚线表示长槽及进料口的位置；
图2为本发明实施例的浆料管结构的侧视图，其中以虚线表示长槽、出料口及清洁孔的位置，且盖板与本体分离；
图3为本发明实施例的浆料管结构的仰视图，其中以虚线表示进料口的位置，其中盖板已移除；
图4为本发明实施例的浆料管结构的另一仰视图，其中以虚线表示长槽、出料口及进料口的位置，且盖板与本体结合；
图5为本发明实施例的浆料管结构的另一侧视图，其系绘示从第一端部往第二端部观看的角度；
图6为本发明实施例的浆料管结构的再一侧视图，其系绘示从第二端部往第一端部观看的角度；
图7a为本发明实施例的浆料管结构的剖视图；
图7b为本发明实施例的浆料管结构的另一剖视图；
图8为本发明实施例的浆料管结构及浆料管调整架组合的俯视图；
图9为图8的剖视图，其中系根据剖面线9-9绘示；
图10为图8的剖视图，其中系根据剖面线10-10绘示。
具体实施方式
为能更清楚地说明本发明，兹举一优选实施例并配合附图详细说明如后。请参图1至图6所示，为本发明一优选实施例的浆料管结构1，其包括本体100、盖板110及多个喷嘴170。本体100包括管壁120、两个端壁140、多个出料口160及两个进料口180，其中管壁120系沿本体100的长方向AX延伸，而两个端壁140系分别位于管壁120的两端，且管壁120及两个端壁140构成一长槽122及一开口124。
出料口160系沿本体100的长方向AX设置于管壁120，且每一个出料口160系贯穿管壁120，与长槽122连通。两个进料口180系沿本体100的长方向AX设置于管壁120，且每一个进料口180系贯穿管壁120，与长槽122连通；藉由长槽122，进料口180与出料口160彼此连通。请参考图2及图7a，管壁120包括第一区域123及与第一区域123相邻接的第二区域125，出料口160系设置于第一区域123，且进料口180系设置于第二区域125；进料口180在第一区域123定义有一投影位置，投影位置系介于相邻的两个出料口160之间。在本实施例中，为了使每一个出料口160的压力均衡，两个进料口180系对称设置，但不以此为限制。在实务上，进料口180的数量可为一个或多个，根据出料口160的压力均衡需求而定；换言之，若不要求每一个出料口160的压力均衡，则可由单一进料口180供料，但若要求每一个出料口160的压力均衡，则可如本实施例的方式，由多个进料口180供料。在本发明实施例中，每一个进料口180系与一进料管P相连接。
请参考图2至图4，盖板110系可拆离地连接于本体100，且对应覆盖开口124。盖板110具有多个清洁孔112，每一个清洁孔112系分别对应于一个出料口160，且每一个清洁孔112通过长槽122与对应的出料口160连通。如图4及图7b所示，清洁孔112在第一区域123的投影系至少一部分与出料口160重叠，因此可从清洁孔112伸入清洁器材C(如针筒)，以对于出料口160进行彻底清洁。在本发明实施例中，盖板110与本体100之间可包含一密封环(未绘示)，以加强盖板110与本体100之间的密封效果，避免液体从盖板110与本体100之间的缝隙泄漏。
除此之外，盖板110具有多个孔塞116，每一个孔塞116系可分离地分别对应设置于一清洁孔112。由于盖板110具有多个清洁孔112，因此在针对出料口160进行分别清洁时，毋须拆卸盖板110，仅需要拆卸与出料口160相对应的孔塞116，即可利用清洁器材C，针对指定的出料口160进行彻底清洁。
请参考图5至图7b，喷嘴170系设置于管壁120，其中每一个喷嘴170系分别对应于一个出料口160。在本实施例中，喷嘴170系可拆离地连接于管壁120上所对应的出料口160。喷嘴170具有通道172及喷洒端174，通道172的一端连通于出料口160，其另一端连通于喷洒端174的凹槽175。值得一提的是，通道172的延伸方向系与凹槽175的延伸方向不平行；在本实施例中，通道172的延伸方向系与凹槽175的延伸方向呈垂直。在本实施例中，喷嘴170的通道172及喷洒端174的凹槽175亦可利用清洁器材C清洁；除此之外，由于喷嘴170可从本体100拆卸，因此喷嘴170可放置于超声波震荡器中进行通道172等死角的清洁。
请参考图8至图10，本发明实施例的浆料管调整架包括第一架体220及第二架体240，其中第一架体220系对应连接于浆料管主体100的第一端部130，而第二架体240系对应连接于浆料管主体100的第二端部150。
第一架体220包括第一固定座222、第一移动件224、第二移动件226及定位座228。第一移动件224系可分离地连接于第一固定座222，且第一移动件224可相对第一固定座222沿第一方向D1位移。在本发明实施例中，第一固定座222与第一移动件224系藉由第一调整机构223调整彼此的相对位置，而第一调整机构223例如可为一锁杆与狭长孔之组合或一螺杆或螺母之组合，但不以此为限制。
第二移动件226系可分离地连接于第一移动件224，且第二移动件226可相对第一移动件224沿第二方向D2位移；在本发明实施例中，第一方向D1与第二方向D2系彼此垂直。详言之，第一方向D1为横向，第二方向D2为纵向，且第一方向D1及第二方向D2系与浆料管主体100的长方向AX垂直。在实务上，第一移动件224可相对第一固定座222沿第二方向D2位移，而第二移动件226可相对第一移动件224沿第一方向D1位移。在本发明实施例中，第二移动件226与第一移动件224系藉由第二调整机构225调整彼此的相对位置，而第二调整机构225例如可为锁杆与狭长孔之组合或螺杆或螺母之组合，但不以此为限制。
定位座228系连接于第二移动件226，且可相对于第二移动件226转动，浆料管主体100的第一端部130系设置于定位座228上。在本发明实施例中，定位座228与第二移动件226系藉由第五调整机构227，使定位座228沿转动方向R相对于第二移动件226转动，以调整定位座228在第二移动件226上的倾斜角度，而第五调整机构227例如可为锁杆与狭长孔之组合或螺栓与螺帽之组合，但不以此为限制。
定位座228具有一非圆容置座体，而第一端部130具有一非圆轮廓，且非圆轮廓与非圆容置座体彼此配合，使二者无法相对转动。在本发明实施例中，定位座228为一V型座体，而第一端部130具有矩形轮廓，且矩形轮廓可与V型座体互相配合。除此之外，第一架体220包括一挡止件229，当第一端部130放置于定位座228时，挡止件229系抵挡于第一端部130上，使第一端部130被固定于挡止件229与定位座228之间。挡止件229包括枢轴2291及锁固件2292，枢轴2291系使挡止件229枢接于第二移动件226，以使挡止件229可向上掀起；锁固件2292系用于使挡止件229可锁固于第二移动件226上，使第一端部130可被固定于挡止件229与定位座228之间。在本发明的另一实施例中，定位座228具有一凹槽，第一端部130为一圆杆，圆杆系放置于凹槽内，且圆杆与凹槽系藉由锁固机构(未绘示)连接，使圆杆与凹槽可彼此锁固或彼此相对转动。
第二架体240包括第二固定座242、第三移动件244及第四移动件246。第三移动件244系可分离地连接于第二固定座242，且第三移动件244可相对第二固定座242沿第一方向D1位移；在本发明实施例中，第二固定座242与第三移动件244系藉由第三调整机构243调整彼此的相对位置，第三调整机构243例如可为锁杆与狭长孔之组合或螺杆或螺母之组合，但不以此为限制。
第四移动件246系可分离地连接于第三移动件244，且第四移动件246可相对第三移动件244沿第二方向D2位移；在实务上，第三移动件244可相对第二固定座242沿第二方向D2位移，而第四移动件246可相对第三移动件244沿第一方向D1位移。在本发明实施例中，第三移动件244与第四移动件246系藉由第四调整机构245调整彼此的相对位置，而第四调整机构245例如可为锁杆与狭长孔之组合或螺杆或螺母之组合，但不以此为限制。
第四移动件246包括支撑座2461，浆料管主体100的第二端部150系设置于支撑座2461上。在本实施例中，定位座228与支撑座2461系彼此对应设置。支撑座2461具有一凹槽，第二端部150为一圆杆，圆杆系放置于凹槽内，使圆杆可相对凹槽转动；藉此，当定位座228转动而调整第一端部130的倾斜角度时，第二端部150可同步相对支撑座2461转动。
藉由本发明的实施例，浆料管结构包括可拆卸的盖板，用以提升浆料管结构的清洁效率，亦可针对浆料管结构中的死角进行彻底的清洁。另外，本发明实施例所提供的浆料管调整架具有多个调整机构，使浆料管调整架可配合钻石线与晶柱的接触位置调整浆料管结构的位置及倾斜角度，以在晶柱切割制程中提供较佳的降温效果。
以上所述仅为本发明优选可行实施例而已，举凡应用本发明说明书及申请专利范围所为之等效变化，理应包含在本发明之专利范围内。
附图标记说明
[本发明]
1浆料管结构
100本体
120管壁 140端壁 160出料口
180进料口 122长槽 124开口
123第一区域 125第二区域 130第一端部
150第二端部
110盖板
112清洁孔 116孔塞
170喷嘴
172通道 174喷洒端 175凹槽
220第一架体
222第一固定座 224第一移动件 226第二移动件
228定位座 223第一调整机构 225第二调整机构
227第五调整机构 229挡止件 2291枢轴
2292锁固件
240第二架体
242第二固定座 244第三移动件 246第四移动件
243第三调整机构 245第四调整机构 2461支撑座
AX长方向 C清洁器材 D1第一方向
D2第二方向 P进料管 R转动方向

Claims (9)

1.一种浆料管调整架，包括：
一第一架体，对应连接于一浆料管的一第一端部，所述第一架体包括一第一固定座、一第一移动件、一第二移动件及一定位座，其中所述第一移动件系可分离地连接于所述第一固定座，且所述第一移动件可相对所述第一固定座沿一第一方向位移；所述第二移动件系可分离地连接于所述第一移动件，且所述第二移动件可相对所述第一移动件沿一第二方向位移；所述定位座系连接于所述第二移动件，且可相对于所述第二移动件转动，所述浆料管的所述第一端部系设置于所述定位座上，所述定位座与所述第二移动件系藉由一第五调整机构调整所述定位座在所述第二移动件上的一倾斜角度；所述定位座具有一非圆容置座体，所述第一端部具有一非圆轮廓，所述非圆轮廓与所述非圆容置座体彼此配合，且无法彼此相对转动；以及
一第二架体，对应连接于所述浆料管的一第二端部，所述第二架体包括一第二固定座、一第三移动件及一第四移动件，其中所述第三移动件系可分离地连接于所述第二固定座，且所述第三移动件可相对所述第二固定座沿所述第一方向及所述第二方向中的一个位移；所述第四移动件系可分离地连接于所述第三移动件，且所述第四移动件可相对所述第三移动件沿所述第一方向及所述第二方向中的另一个位移；所述第四移动件包括一支撑座，所述浆料管的所述第二端部系设置于所述支撑座上，所述支撑座具有一凹槽，所述第二端部为一圆杆，所述圆杆系放置于所述凹槽内，且所述圆杆可相对所述凹槽转动；
其中，进行晶圆切割前，供所述浆料管放置的所述浆料管调整架可受操控地调整所述浆料管的放置位置及倾斜角度；而进行晶圆切割过程中，所述浆料管调整架必须为锁固状态并不能随意移动。
2.如权利要求1所述的浆料管调整架，其中，所述第一方向与所述第二方向系彼此垂直。
3.如权利要求2所述的浆料管调整架，其中，所述第一方向为一横向，所述第二方向为一纵向，且所述第一方向及所述第二方向系与所述浆料管的长方向垂直。
4.如权利要求1所述的浆料管调整架，其中，所述第一固定座与所述第一移动件系藉由一第一调整机构调整彼此的相对位置；所述第一移动件与所述第二移动件系藉由一第二调整机构调整彼此的相对位置；所述第二固定座与所述第三移动件系藉由一第三调整机构调整彼此的相对位置；所述第三移动件与所述第四移动件系藉由一第四调整机构调整彼此的相对位置。
5.如权利要求4所述的浆料管调整架，其中，所述第一调整机构、所述第二调整机构、所述第三调整机构及所述第四调整机构分别为锁杆与狭长孔之组合或螺杆或螺母之组合。
6.如权利要求4所述的浆料管调整架，其中，所述第五调整机构为锁杆与狭长孔之组合或螺栓与螺帽之组合。
7.如权利要求1所述的浆料管调整架，其中，所述定位座与所述支撑座系彼此对应设置。
8.如权利要求1所述的浆料管调整架，其中，所述第一架体包括一挡止件，当所述第一端部放置于所述定位座时，所述挡止件系遮挡于所述第一端部上，使所述第一端部被固定于所述挡止件与所述定位座之间。
9.如权利要求1所述的浆料管调整架，其中，所述定位座具有一凹槽，所述第一端部为一圆杆，所述圆杆系放置于所述凹槽内，且所述圆杆与所述凹槽系藉由一锁固机构连接，使所述圆杆与所述凹槽可彼此锁固或彼此相对转动。
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