JP2004066389A - インゴットのスライス方法及びワイヤソー切断装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ワイヤソーのワイヤの列に対してスラリを均一にかつ安定して供給してインゴットを高精度に切断加工することができるスライス方法、及びこのインゴットのスライス加工に用いられるワイヤソー切断装置を提供することにある。
【解決手段】ワイヤソー切断装置１によりインゴットＧを多数枚の薄板にスライスするインゴットＧのスライス方法において、走行するワイヤ１２の列に向けてスラリを供給するに際して、スラリ供給ノズル２のスラリ噴出口をワイヤの列の走行路に対して繰り返し移動させる。
【選択図】　　　　図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、スラリを供給しつつワイヤソーにてインゴット（ブロック）を基板状にスライスする際のスライス方法、及びワイヤソー切断装置に関する。
【０００２】
【従来技術】
従来から、シリコン・水晶・セラミックスなどのインゴット（ブロック）を、同時に複数、基板状にスライスする手段としてワイヤソー切断装置が知られている。このワイヤソー切断装置では、多数本のスライス用ワイヤがワイヤガイドに沿って互いに平行な状態で張られ、このワイヤが高速走行された状態で、ワイヤ長手方向と直行する方向に、インゴットを上または下方向から押し付けることにより、このインゴットから多数枚の基板状ワークが同時に切り出される。この際、インゴットのワイヤ走行方向上流側、もしくは上流側と下流側に設けられたインゴットの長手方向全長にわたって開口するスラリ供給ノズルから、スラリ（砥粒と研削液を混合したもの）を平行に張られた多数本のワイヤ又はインゴットの外周面に供給し、ワイヤに付着し転がされる砥粒の働きによってインゴットを切断する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、インゴットの一回のスライスは、数時間から１０時間以上にも及ぶ場合もあり、従来のワイヤソー切断装置においては、常時、均一に安定してスラリを供給することは困難であった。例えば、スラリ供給ノズルの吐出口（スリットや多数の小孔）に異物が詰ったり、ワイヤ走行による気流がスラリカーテンへ巻き込んだり、スラリの粘性・流量変化などの複雑な要因によりスラリの流れが安定せず、部分的なスラリ詰り、スラリカーテン切れ等が発生していた。
さらに、長時間にわたりスラリカーテン切れなどが発生すると、加工精度を悪化させるだけでなく、最悪は、ワイヤ断線によりワークを破損してしまう。
特に、近年、ウエハの薄型化により、従来は厚み５００〜４００μｍあったものが、２５０μｍ程度になり、ワイヤ間ピッチは微細４５０μｍ程度を要求され、微細ピッチのワイヤに均一にスラリを供給するのが極めて困難になってきた。すなわち、スラリはスラリ供給ノズルから出ていれば良いのではなく、均一にカーテン状（板状）に連続して吐出されることが要求されている。
【０００４】
本発明の主要な目的の一つは、ワイヤソーのワイヤの列に対してスラリを均一にかつ安定して供給してインゴットを高精度にスライスすることができるスライス方法、及びこのインゴットのスライス加工に用いられるワイヤソー切断装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、複数のガイドローラに多重に巻き掛けられたワイヤの列を走行させ、このワイヤの列にスラリ供給ノズルからスラリを供給しつつ、ワイヤの列にインゴットを押し付けて多数枚の薄板にスライスするインゴットのスライス方法において、
走行するワイヤの列に向けてスラリを供給するに際して、スラリ供給ノズルのスラリ噴出口をワイヤの列の走行路に対して繰り返し移動させるインゴットのスライス方法を提供できる。
【０００６】
ここで、スラリ供給ノズルのスラリ噴出口をワイヤの列の走行路に対して繰り返し移動させるとは、▲１▼スラリ供給ノズル自体を所定の動きで繰り返し運動させることにより、ワイヤの列の走行路に対するノズル噴出口の位置を繰り返し移動させる場合と、▲２▼スラリ供給ノズル自体は静止状態にあり、ノズル噴出口の位置のみをワイヤの列の走行路に対して繰り返し移動させる場合の両方を含む。また、ワイヤの列の走行路とは、インゴットのスライス位置に張られたワイヤの列の走行位置を意味する。
このようにインゴットのスライス中にスラリ噴出口をワイヤの列の走行路に対して繰り返し移動させることにより、ノズル噴出口に部分的にスラリ詰りやスラリカーテン切れが発生しても、それ以外の他部から噴出するスラリを回り込ませてワイヤの列に塗布することができ、ワイヤの列にスラリを均一に塗布することができる。したがって、ワイヤ断線およびワーク破損などのトラブルを引き起こさずに高精度にスライスを継続することができる。また、スラリ噴出口が動くことにより、スラリカーテン切れの修復作用を自然と生じさせることができる。
【０００７】
本発明において、前記▲１▼の場合、具体的にはスラリ供給ノズルをワイヤの列の走行方向と直交する方向（ノズル長手方向）に往復運動させる、スラリ供給ノズルをワイヤの列の走行方向と直交する方向の水平軸の廻りに首振り揺動させる、スラリ供給ノズルを振動させる、あるいはこれらの動きを組み合わせる等の方法を挙げることができる。
スラリ供給ノズルを往復運動させることによっては、部分的にスラリ詰りやスラリカーテン切れが発生しても、往復運動により他部からのスラリを回り込ませ、トラブルを引き起こさずにスライスを継続することができる。このスラリ供給ノズルの往復運動は、５〜３０ｍｍのストロークを１往復０．２〜２秒で行うよう設定するのが好ましい。
また、スラリ供給ノズルを首振り揺動させることによっては、スラリの流れを常時均一にすることが可能で、スラリ切れなど起こし難く、またスラリ切れを生じても修復することができる。このスラリ供給ノズルの揺動は、揺動角度５〜４５°のスイングを１往復０．２〜２秒で行うよう設定するのが好ましい。
また、スラリ供給ノズルを振動させることによっては、スラリカーテン切れを発生し難く、また発生しても直ぐに回復してトラブルを起こし難くすることができる。なお、振動としては上下方向、ワイヤ長手方向、ノズル長手方向、あるいはランダム方向等の振動が挙げられる。このスラリ供給ノズルの振動は０．５〜３回／秒に設定するのが好ましい。
【０００８】
本発明において、スラリ供給ノズル近傍のワイヤ走行方向上流側に遮へい板を設け、ワイヤ走行による気流がスラリ供給ノズル側へ向かうのを阻止するようにすれば、ワイヤ走行による空気の巻き込みなどのよる、スラリの乱流、スラリカーテンの乱れを防ぎ、ワイヤの列にスラリがより一層均一に塗布されてトラブルを有効に防止することができて好ましい。
【０００９】
本発明において、前記▲２▼の場合、すなわち、スラリ供給ノズル自体は静止状態にあり、ノズル噴出口の位置のみをワイヤの列に対して繰り返し移動させる場合は、例えば、スラリ供給ノズルの内部に、揺動制御される流向板をノズル長手方向に設けてスラリ噴出口の向きを変化させたり、あるいはスラリ供給ノズルの内部に、回転制御されるスクリューシャフトをノズル長手方向に設けてスラリ噴出口をノズル長手方向に移動させるなどの方法が挙げられる。
【００１０】
本発明の別の観点によれば、複数のガイドローラと、これら複数のガイドローラに多重に巻き掛けられたワイヤと、このワイヤの列と直交する方向に延びて走行状態のワイヤの列にスラリを供給するスラリ供給ノズルとを備え、スラリ供給ノズルをワイヤの列の走行路に対して繰り返し運動させるノズル運動手段をさらに備えてなるワイヤソー切断装置が提供される。
【００１１】
このワイヤソー切断装置において、スラリ供給ノズルは、インゴット設置位置に設置されたインゴットに対してワイヤ走行方向の少なくとも上流側、好ましくは上流側と下流側に設ける。また、ノズル運動手段は、少なくともワイヤ走行方向上流側のスラリ供給ノズルについて運動させるよう設けられるが、上流側と下流側の両方のスラリ供給ノズルに設けてもよい。さらに、インゴットの外周面塗布用のスラリ供給ノズルを上流側及び／又は下流側に設けてもよい。
【００１２】
ノズル運動手段としては、スラリ供給ノズルをワイヤの長手方向と直交する方向に往復運動させる往復動手段、スラリ供給ノズルをワイヤの長手方向と直交する方向の水平軸の廻りに首振り揺動させる揺動手段、スラリ供給ノズルを振動させる振動手段等を挙げることができる。
往復動手段としては、例えば、スラリ供給ノズルをワイヤ長手方向と直交する方向にスライド可能に支持するガイド機構部と、スラリ供給ノズルを往復移動させる、例えばシリンダ、ラック・ピニオン機構、ボールネジ機構等を利用した従来公知の往復駆動機構部とを備えた構成とすることができる。
揺動手段としては、例えば、スラリ供給ノズルに設けられたワイヤ長手方向と直交する方向の水平軸と、この水平軸を回動可能に軸支する支持部材と、スラリ供給ノズルを水平軸心廻りに揺動させる、例えばサーボモータ、シリンダ、クランク機構、リンク機構等を利用した従来公知の揺動駆動機構部とを備えた構成とすることができる。
振動手段としては、例えば、スラリ供給ノズルをゴムなどの弾性体を介して支持する支持部材と、カム付モータ、あるいは圧縮空気及びバネによるピストン運動等を利用してスラリ供給ノズルに振動を与える従来公知の振動発生機構部とを備えた構成とすることができる。
【００１３】
また、本発明のワイヤソー切断装置において、スラリ供給ノズル近傍のワイヤ走行方向上流側には、スラリ供給ノズルのスラリ噴出口の長手方向全長以上にわたって、かつ下端縁がワイヤの列に接触しない程度で近接した遮へい板を設けることが、ワイヤ走行による気流の巻き込みなどによるスラリカーテンの乱れ、切れを効果的に防止する上で好ましい。
【００１４】
また、本発明のワイヤソー切断装置において、スラリ供給ノズルのスラリ噴出口は、例えば、ワイヤ長手方向と直交する方向に延びるスリット又はワイヤ長手方向と直交する方向に並んだ小孔の群から構成することができる。さらに、これらのスリット又は小孔の群は、複数列で設けることが好ましく、例えば、スラリ噴出口を、２列のスリット、又は２列に並んだ小孔の群から構成すれば、連続した板状のスラリカーテンが２列で構成され、一方のスラリカーテンにカーテン切れが生じても他方のスラリカーテンにて補うことができるので、より一層安定してワイヤにスラリが塗布され、スラリ供給不良によるトラブルの防止をより強化することができる。なお、スラリ噴出口は、例えば１列のスリットの場合はそのスリット幅を１〜２ｍｍに、２列のスリットの場合はそのスリット幅を０．５〜１．５ｍｍに、列間隔を２〜８ｍｍに設定するのが好ましく、１列の小孔の場合はその径を２〜５ｍｍ、孔ピッチを２〜４ｍｍに、２列の小孔の場合はその径を　１〜３ｍｍ、孔ピッチを２〜４ｍｍ、列間隔を２〜５ｍｍに設定するのが好ましい。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。なお、本発明は実施の形態に限定されるものではない。
【００１６】
［実施の形態１］
図１は本発明の実施の形態１に係るワイヤソー切断装置の概略構成図であり、図２は同実施の形態１におけるスラリ供給ノズルの正面側から視たスライス状態の説明図であり、図３は同実施の形態１におけるスラリ供給ノズルの底面図であり、図４は同実施の形態１におけるスラリ供給ノズルの側面側から視たスライス状態の説明図である。なお、図１及び図４において矢印Ａはインゴット押付方向、矢印Ｂはワイヤ走行方向を示し、図２において矢印Ｃはスラリ供給ノズルの往復動方向を示している。
【００１７】
実施の形態１のワイヤソー切断装置は、逆三角形の頂点位置に配置され、多数の溝（ピッチＰが０．５ｍｍ）をそれぞれ有する３本のガイドローラ１１、及び３本のガイドローラ１１に多重に巻き掛けられたワイヤ１２（φ０．１６ｍｍ）を有するワイヤソー１と、このワイヤソー１のワイヤ１２と直交する方向に延びて走行状態のワイヤ１２の列にスラリＳを供給するスラリ供給ノズル２と、スラリ供給ノズル２を繰り返し往復運動させるノズル運動手段としての往復動手段３１と、インゴットＧをワイヤ１２の列と直交する方向に保持しつつ上方から（矢印Ａ方向に）ワイヤ１２の列に押し付ける図示省略のインゴット押付手段とを備えている。なお、３本のガイドローラ１１のうちの少なくとも１本は駆動ローラとされている。
【００１８】
スラリ供給ノズル２は、ワイヤソー１の上方に設置されるインゴットＧのワイヤ走行方向（矢印Ｂ方向）の上流側及び下流側にそれぞれ配置されている。このスラリ供給ノズル２は、長手方向両端が閉鎖された円筒状（直径Ｄが４０ｍｍ、長さＬが４００ｍｍ）に形成され、その底面に、ワイヤの列を超える範囲にわたって下方に開口する１本のスリット２１ａ（スリット幅Ｗ_１が１．５ｍｍ）からなるスラリ噴出口２１が形成されている。また、スラリ供給ノズル２において、スラリ噴出口２１のワイヤ走行方向上流側の壁面には、斜め下方に突出し、かつスラリ噴出口２１の長手方向全長以上にわたって延びる遮へい板２２が付設されている。この遮へい板２２の下端縁は、ワイヤソー１のワイヤ１２に近接して配置されている。また、各スラリ供給ノズル２は、図示省略のスラリタンクからポンプ、ホース等を介して所定流量のスラリ（砥粒と研削液の混合物）が送り込まれ、スラリ噴出口２１からスラリＳをカーテン状に噴出して下方のワイヤソー１のワイヤ１２の列に塗布する。なお、ワイヤ１２の列の間から滴り落ちたスラリは図示しない受け皿にて受けられ回収タンクに送られる。
【００１９】
往復動手段３１は、例えば、スラリ供給ノズル２をワイヤ長手方向と直交する方向にスライド可能に支持するガイド機構部と、スラリ供給ノズル２を往復移動させる往復駆動機構部とを備えた構成とされている。この往復動手段３１は、ワイヤ走行方向上流側のスラリ供給ノズル２を往復運動させる。
【００２０】
次に、実施の形態１のワイヤソー切断装置によるインゴットのスライス動作について説明する。
多結晶太陽電池用の薄型ウエハのスライスを例にとると、図１に示すように、ワイヤソー１のワイヤ１２を１０ｍ／ｓｅｃで矢印Ｂ方向に高速走行させながら、一対のスラリ供給ノズル２、２からスラリＳを流量６０リットル／ｍｉｎでカーテン状に流し、多結晶Ｓｉからなる１２５×１２５×２００ｍｍの角柱ブロック状インゴットＧをワイヤ１２の列に押し付けるように０．３ｍｍ／ｍｉｎで矢印Ａ方向に下降させることにより、インゴットＧを０．３ｍｍの厚みの基板状に一度にスライスしていく。この間、図２に示すように、往復動手段３１を駆動し、ワイヤ走行方向上流側のスラリ供給ノズル２をワイヤ走行方向（矢印Ｂ方向）と直交する方向（矢印Ｃ方向）に１０ｍｍのストロークでかつ１往復１秒で繰り返し往復運動させる。なお、スラリＳは、研削液（オイル）とＧＣ砥粒からなる混合物で、ＧＣ砥粒は切断の刃物として、オイルはＧＣ砥粒をワイヤに付着させ加工時に冷却及び切り屑排除の作用を促す。
【００２１】
本発明によれば、インゴットＧのスライス中にスラリ供給ノズル２をワイヤの長手方向と直交する方向に往復運動させることにより、スラリ噴出口２１を繰り返し往復移動させながらワイヤ１２の列にスラリＳをカーテン状（板状）に塗布するので、スラリＳをスラリ噴出口２１から均一に流動させる効果が認められ、部分的にスラリカーテン切れが発生した場合でも、往復運動によりカーテン切れしていないノズル個所からのスラリＳがかかり、スラリ切れをカバーできるとともに、自然とスラリ切れを修復してスラリＳを再び均一な流れに戻すことができる。また、ワイヤ走行方向上流側のスラリ供給ノズル２に遮へい板２２を設けたことにより、ワイヤ高速走行により生じる気流や異物のスラリカーテンへの進入、巻き込みを防止でき、スラリカーテンの乱れや切れを防止することができる。
【００２２】
［実施の形態２］
次に、図５は本発明の実施の形態２に係るワイヤソー切断装置のスライス状態を示す説明図である。この実施の形態２は、スラリ供給ノズル２を運動させるノズル運動手段として揺動手段３２を設けたものであり、その他の構成は実施の形態１と同様であり、同一の要素には同一の符号を付しその説明を省略する。
【００２３】
揺動手段３２は、例えば、スラリ供給ノズル２の両端面に設けられたノズル長手方向の水平軸と、この水平軸を回動可能に軸支する支持部材と、スラリ供給ノズル２を水平軸の廻りに揺動させる揺動駆動機構部とを備えた構成である。この揺動手段３２は、インゴットＧのスライス中において、スラリ供給ノズル２を水平軸廻りに揺動角度１０°のスイングを１往復１秒で首振り揺動させる。
【００２４】
このワイヤソー切断装置によれば、インゴットＧのスライス中にスラリ供給ノズル２を首振り揺動させることにより、スラリ噴出口２１を繰り返し揺動させながらワイヤ１２の列にスラリＳをカーテン状（板状）に塗布するので、スラリＳの流れを常時均一にすることが可能であり、スラリカーテン切れなどを起し難く、カーテン切れが発生しても自然と修復してスラリＳを再び均一な流れに戻すことができる。
【００２５】
［実施の形態３］
次に、図６は本発明の実施の形態３に係るワイヤソー切断装置のスライス状態を示す説明図である。この実施の形態３は、スラリ供給ノズル２を運動させるノズル運動手段として振動手段３３を設けたものであり、その他の構成は実施の形態１と同様であり、同一の要素には同一の符号を付しその説明を省略する。
【００２６】
振動手段３３は、例えばスラリ供給ノズル２をゴムなどの弾性体を介して支持する支持部材と、スラリ供給ノズルに上下方向（矢印Ｆ方向）の振動を加える振動発生機構部とを備える。この振動手段３３は、インゴットＧのスライス中において、スラリ供給ノズル２を上下方向に２回／秒で振動させる。
【００２７】
このワイヤソー切断装置によれば、インゴットＧのスライス中にスラリ供給ノズル２を振動させることにより、スラリ噴出口２１を振動させながらワイヤ１２の列にスラリＳをカーテン状（板状）に塗布するので、スラリカーテン切れなどを起し難く、カーテン切れが発生しても自然と回復し、トラブルが生じ難い。
【００２８】
［他の実施の形態］
（１）上記実施の形態では、スラリ供給ノズル２のスラリ噴出口２１がスリット２１ａ（図３参照）からなるものであったが、図７に示すように、例えば直径ｄ_１３〜５ｍｍの小孔４１ａがノズル長手方向１列にピッチｐ_１２〜４ｍｍで多数並んだ小孔の群からなるスラリ噴出口４１をスラリ供給ノズル４に形成してもよい。
（２）また、図８に示すように、スラリ噴出口５１は２列のスリット５１ａ、５１ａからなるものであるのも好ましい。この場合、例えば各スリット５１ａのスリット幅Ｗ_２は１〜２ｍｍ、列間隔Ｋは３〜５ｍｍに設定される。このようにすれば、一方のスリット５１ａから噴出するスラリのワイヤへの塗布が不十分であっても他方のスリット５１ａから噴出するスラリにて補うことができ、スラリ供給ノズル２のスラリ噴出口５１の移動によるスラリ塗布均一化との相乗効果によってより一層スラリをワイヤの列に均一に塗布することができ、トラブルを確実に防止し、高精度にスライス加工を継続することができる。
（３）また、図９に示すように、スラリ噴出口６１は、２列に並んだ小孔６１ａ、６１ａ、…の群からなるものであるのも好ましい。この場合、例えば各小孔６１ａの直径ｄ_２は１〜３ｍｍ、ピッチｐ_２は２〜４ｍｍ、列間隔ｋは２〜５ｍｍ　に設定される。このようにしても、前記（２）と同様の効果が得られる。
【００２９】
【発明の効果】
本発明によれば、インゴットのスライス加工において、スラリ噴出口をワイヤの列に対して繰り返し移動させることにより、ノズル噴出口に部分的にスラリ詰りやスラリカーテン切れが発生しても、それ以外のノズル部分からスラリを回り込ませてワイヤに塗布することができ、ワイヤの列にスラリを均一に塗布することができる。したがって、ワイヤ断線およびワーク破損などのトラブルを引き起こさずに高精度にスライスを継続することができる。また、スラリ噴出口が動くことにより、スラリカーテン切れの修復作用を自然に生じさせることができ、人的なカーテン切れの修復作業を要しない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１に係るワイヤソー切断装置の概略構成図である。
【図２】同実施の形態１におけるスラリ供給ノズルの正面側から視たスライス状態の説明図である。
【図３】同実施の形態１におけるスラリ供給ノズルの底面図である。
【図４】同実施の形態１におけるスラリ供給ノズルの側面側から視たスライス状態の説明図である。
【図５】本発明の実施の形態２に係るワイヤソー切断装置のスライス状態を示す説明図である。
【図６】本発明の実施の形態３に係るワイヤソー切断装置のスライス状態を示す説明図である。
【図７】１列の小孔の群からなるスラリ噴出口を示すスラリ供給ノズルの底面図である。
【図８】２列のスリットからなるスラリ噴出口を示すスラリ供給ノズルの底面図である。
【図９】２列の小孔の群からなるスラリ噴出口を示すスラリ供給ノズルの底面図である。
【符号の説明】
１　ワイヤソー切断装置
２、４、５、６スラリ供給ノズル
１１　ガイドローラ
１２　ワイヤ
２１、４１、５１、６１　スラリ噴出口
２１ａ、５１ａ　スリット
２２　遮へい板
３１　往復動手段
３２　揺動手段
３３　振動手段
４１ａ、６１ａ　小孔
Ｇ　インゴット
Ｓ　スラリ

Claims (13)

1. 複数のガイドローラに多重に巻き掛けられたワイヤの列を走行させ、このワイヤの列にスラリ供給ノズルからスラリを供給しつつ、ワイヤの列にインゴットを押し付けて多数枚の薄板にスライスするインゴットのスライス方法において、
   走行するワイヤの列に向けてスラリを供給するに際して、スラリ供給ノズルのスラリ噴出口をワイヤの列の走行路に対して繰り返し移動させることを特徴とするインゴットのスライス方法。
2. スラリ噴出口を繰り返し移動させるに際して、スラリ供給ノズルを繰り返し運動させる請求項１に記載のインゴットのスライス方法。
3. スラリ供給ノズルの繰り返し運動が、ワイヤの列の走行方向と直交する往復運動を含む請求項２に記載のインゴットのスライス方法。
4. スラリ供給ノズルの繰り返し運動が、ワイヤの列の走行方向と直交する水平軸の廻りの首振り揺動を含む請求項２または３に記載のインゴットのスライス方法。
5. スラリ供給ノズルの繰り返し運動が、振動を含む請求項２〜４のいずれか一つに記載のインゴットのスライス方法。
6. スラリ供給ノズル近傍のワイヤ走行方向上流側に遮へい板を設け、ワイヤ走行による気流がスラリ供給ノズル側へ向かうのを阻止する請求項１〜５のいずれか一つに記載のインゴットのスライス方法。
7. 複数のガイドローラと、これら複数のガイドローラに多重に巻き掛けられたワイヤの列と、このワイヤの列と直交する方向に延びて走行状態のワイヤの列にスラリを供給するスラリ供給ノズルとを備え、スラリ供給ノズルをワイヤの列の走行路に対して繰り返し運動させるノズル運動手段をさらに備えてなることを特徴とするワイヤソー切断装置。
8. ノズル運動手段が、スラリ供給ノズルをワイヤの列の走行方向と直交して往復運動させる往復動手段である請求項７に記載のワイヤソー切断装置。
9. ノズル運動手段が、スラリ供給ノズルをワイヤの列の走行方向と直交する水平軸の廻りに首振り揺動させる揺動手段である請求項７に記載のワイヤソー切断装置。
10. ノズル運動手段が、スラリ供給ノズルを振動させる振動手段である請求項７に記載のワイヤソー切断装置。
11. ワイヤソーのワイヤ走行による気流がスラリ供給ノズル側へ向かうのを阻止するための遮へい板を、スラリ供給ノズル近傍のワイヤ走行方向上流側に備えた請求項７〜１０のいずれか一つに記載のワイヤソー切断装置。
12. スラリ供給ノズルのスラリ噴出口が、複数列のスリットからなる請求項７〜１１のいずれか一つに記載のワイヤソー切断装置。
13. スラリ供給ノズルのスラリ噴出口が、複数列に並んだ小孔の群からなる請求項７〜１２のいずれか一つに記載のワイヤソー切断装置。

Images