JPH1170456A - 固定砥粒ワイヤソーのワイヤクリーニング装置 - Google Patents
固定砥粒ワイヤソーのワイヤクリーニング装置Info
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- JPH1170456A JPH1170456A JP23400597A JP23400597A JPH1170456A JP H1170456 A JPH1170456 A JP H1170456A JP 23400597 A JP23400597 A JP 23400597A JP 23400597 A JP23400597 A JP 23400597A JP H1170456 A JPH1170456 A JP H1170456A
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- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
- B28D5/0076—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for removing dust, e.g. by spraying liquids; for lubricating, cooling or cleaning tool or work
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】固定砥粒付ワイヤの目詰まりを防止することが
できる固定砥粒ワイヤソーのワイヤクリーニング装置の
提供。 【解決手段】インゴット３０を切断するワイヤ列２０に
向けて洗浄液噴射ノズル４６Ａ、４６Ｂから高圧洗浄液
を噴射する。これにより、ワイヤ列２０を構成する固定
砥粒付ワイヤ１２の表面に堆積したスラッジ等が高圧洗
浄液によって吹き飛ばされ、目詰まりが防止される。
できる固定砥粒ワイヤソーのワイヤクリーニング装置の
提供。 【解決手段】インゴット３０を切断するワイヤ列２０に
向けて洗浄液噴射ノズル４６Ａ、４６Ｂから高圧洗浄液
を噴射する。これにより、ワイヤ列２０を構成する固定
砥粒付ワイヤ１２の表面に堆積したスラッジ等が高圧洗
浄液によって吹き飛ばされ、目詰まりが防止される。
Description
【０００１】
【発明が解決しようとする課題】本発明は固定砥粒ワイ
ヤソーのワイヤクリーニング装置に係り、特にシリコ
ン、ガラス、セラミック等の硬脆性材料を切断する固定
砥粒ワイヤソーのワイヤクリーニング装置に関する。
ヤソーのワイヤクリーニング装置に係り、特にシリコ
ン、ガラス、セラミック等の硬脆性材料を切断する固定
砥粒ワイヤソーのワイヤクリーニング装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】シリコン等のインゴットをウェーハに切
断する装置の一つに固定砥粒ワイヤソーがある。この固
定砥粒ワイヤソーは、表面に砥粒が固着された固定砥粒
付ワイヤを用いてワイヤ列を形成し、そのワイヤ列を高
速走行させながらインゴットを押し当てることにより、
インゴットをウェーハにスライスする装置である。
断する装置の一つに固定砥粒ワイヤソーがある。この固
定砥粒ワイヤソーは、表面に砥粒が固着された固定砥粒
付ワイヤを用いてワイヤ列を形成し、そのワイヤ列を高
速走行させながらインゴットを押し当てることにより、
インゴットをウェーハにスライスする装置である。
【０００３】ところで、この固定砥粒ワイヤソーでイン
ゴットを切断する際に一番の問題点となるのが、固定砥
粒付ワイヤに生じる目詰まりである。
ゴットを切断する際に一番の問題点となるのが、固定砥
粒付ワイヤに生じる目詰まりである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】同種の砥粒加工である
内周刃式スライシングマシンなどの場合は、目詰まりが
生じると、ＩＤブレードにドレッシングストーンを切断
させることによって目詰まりの防止を図っているが、固
定砥粒付ワイヤの場合は、砥粒の粒径が小さいことや、
固着力の関係から、同様の方法でドレッシングすると、
砥粒が脱落してしまい、寿命が低下するという問題があ
る。
内周刃式スライシングマシンなどの場合は、目詰まりが
生じると、ＩＤブレードにドレッシングストーンを切断
させることによって目詰まりの防止を図っているが、固
定砥粒付ワイヤの場合は、砥粒の粒径が小さいことや、
固着力の関係から、同様の方法でドレッシングすると、
砥粒が脱落してしまい、寿命が低下するという問題があ
る。
【０００５】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、固定砥粒付ワイヤの目詰まりを防止することが
できる固定砥粒ワイヤソーのワイヤクリーニング装置を
提供することを目的とする。
もので、固定砥粒付ワイヤの目詰まりを防止することが
できる固定砥粒ワイヤソーのワイヤクリーニング装置を
提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１に係る発明は、
前記目的を達成するために、表面に砥粒が固着された固
定砥粒付ワイヤを複数個のグルーブローラに巻き掛けて
ワイヤ列を形成し、該ワイヤ列を走行させながら被加工
物を押し当てることにより、該被加工物を多数のウェー
ハに切断する固定砥粒ワイヤソーにおいて、前記被加工
物を切断するワイヤ列の近傍に、該ワイヤ列に向けて高
圧流体を噴射する噴射手段を設けたことを特徴とする。
前記目的を達成するために、表面に砥粒が固着された固
定砥粒付ワイヤを複数個のグルーブローラに巻き掛けて
ワイヤ列を形成し、該ワイヤ列を走行させながら被加工
物を押し当てることにより、該被加工物を多数のウェー
ハに切断する固定砥粒ワイヤソーにおいて、前記被加工
物を切断するワイヤ列の近傍に、該ワイヤ列に向けて高
圧流体を噴射する噴射手段を設けたことを特徴とする。
【０００７】本発明によれば、被加工物を切断するワイ
ヤ列に向けて噴射手段から高圧流体が噴射される。これ
により、固定砥粒付ワイヤの表面に堆積したスラッジ等
が高圧流体によって吹き飛ばされ、目詰まりが防止され
る。請求項２に係る発明は、前記目的を達成するため
に、表面に砥粒が固着された固定砥粒付ワイヤを複数個
のグルーブローラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、該ワ
イヤ列を走行させながら被加工物を押し当てることによ
り、該被加工物を多数のウェーハに切断する固定砥粒ワ
イヤソーにおいて、前記被加工物を切断するワイヤ列の
近傍に、該ワイヤ列に向けて超音波振動を与えた液体を
噴射する噴射手段を設けたことを特徴とする。
ヤ列に向けて噴射手段から高圧流体が噴射される。これ
により、固定砥粒付ワイヤの表面に堆積したスラッジ等
が高圧流体によって吹き飛ばされ、目詰まりが防止され
る。請求項２に係る発明は、前記目的を達成するため
に、表面に砥粒が固着された固定砥粒付ワイヤを複数個
のグルーブローラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、該ワ
イヤ列を走行させながら被加工物を押し当てることによ
り、該被加工物を多数のウェーハに切断する固定砥粒ワ
イヤソーにおいて、前記被加工物を切断するワイヤ列の
近傍に、該ワイヤ列に向けて超音波振動を与えた液体を
噴射する噴射手段を設けたことを特徴とする。
【０００８】本発明によれば、被加工物を切断するワイ
ヤ列に向けて噴射手段から超音波振動を与えた液体が噴
射される。固定砥粒付ワイヤは、この液体に与えられた
超音波振動の作用により、表面に堆積したスラッジ等が
除去される。
ヤ列に向けて噴射手段から超音波振動を与えた液体が噴
射される。固定砥粒付ワイヤは、この液体に与えられた
超音波振動の作用により、表面に堆積したスラッジ等が
除去される。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
る固定砥粒ワイヤソーのワイヤクリーニング装置の実施
の形態について詳説する。まず、本発明に係るワイヤク
リーニング装置が適用される固定砥粒ワイヤソーについ
て説明する。
る固定砥粒ワイヤソーのワイヤクリーニング装置の実施
の形態について詳説する。まず、本発明に係るワイヤク
リーニング装置が適用される固定砥粒ワイヤソーについ
て説明する。
【００１０】固定砥粒ワイヤソー１０は、表面に砥粒が
固着された固定砥粒付ワイヤ１２を用いてワイヤ列２０
を形成し、このワイヤ列２０を高速走行させることによ
り、インゴット３０を多数枚のウェーハに切断する。具
体的には、次のように構成されている。図１に示すよう
に、固定砥粒付ワイヤ１２は、一対のワイヤリール１４
Ａ、１４Ｂに巻回されており、この一対のワイヤリール
１４Ａ、１４Ｂ間を複数のガイドローラ１６、１６、…
にガイドされながら往復走行する。そして、この一対の
ワイヤリール１４Ａ、１４Ｂ間に配置された三本のグル
ーブローラ１８、１８、１８に巻き掛けられることによ
り、水平なワイヤ列２０が形成される。
固着された固定砥粒付ワイヤ１２を用いてワイヤ列２０
を形成し、このワイヤ列２０を高速走行させることによ
り、インゴット３０を多数枚のウェーハに切断する。具
体的には、次のように構成されている。図１に示すよう
に、固定砥粒付ワイヤ１２は、一対のワイヤリール１４
Ａ、１４Ｂに巻回されており、この一対のワイヤリール
１４Ａ、１４Ｂ間を複数のガイドローラ１６、１６、…
にガイドされながら往復走行する。そして、この一対の
ワイヤリール１４Ａ、１４Ｂ間に配置された三本のグル
ーブローラ１８、１８、１８に巻き掛けられることによ
り、水平なワイヤ列２０が形成される。
【００１１】前記ワイヤ列２０の両側に形成されるワイ
ヤ走行路には、それぞれトラバース装置２２Ａ、２２
Ｂ、ダンサローラ２４Ａ、２４Ｂが配設されている。ト
ラバース装置２２Ａ、２２Ｂは、ワイヤリール１４Ａ、
１４Ｂから固定砥粒付ワイヤ１４を一定ピッチでガイド
し、また、ダンサローラ２４Ａ、２４Ｂは走行する固定
砥粒付ワイヤ１４に一定の張力を付与する。
ヤ走行路には、それぞれトラバース装置２２Ａ、２２
Ｂ、ダンサローラ２４Ａ、２４Ｂが配設されている。ト
ラバース装置２２Ａ、２２Ｂは、ワイヤリール１４Ａ、
１４Ｂから固定砥粒付ワイヤ１４を一定ピッチでガイド
し、また、ダンサローラ２４Ａ、２４Ｂは走行する固定
砥粒付ワイヤ１４に一定の張力を付与する。
【００１２】前記一対のワイヤリール１４Ａ、１４Ｂ
は、共にターンテーブル２６Ａ、２６Ｂ上に固定されて
おり、このターンテーブル２６Ａ、２６Ｂに連結された
モータ２８Ａ、２８Ｂを駆動することにより回転する。
そして、この一対のワイヤリール１４Ａ、１４Ｂが回転
することにより、前記固定砥粒付ワイヤ１４が一対のワ
イヤリール１４Ａ、１４Ｂ間を走行する。
は、共にターンテーブル２６Ａ、２６Ｂ上に固定されて
おり、このターンテーブル２６Ａ、２６Ｂに連結された
モータ２８Ａ、２８Ｂを駆動することにより回転する。
そして、この一対のワイヤリール１４Ａ、１４Ｂが回転
することにより、前記固定砥粒付ワイヤ１４が一対のワ
イヤリール１４Ａ、１４Ｂ間を走行する。
【００１３】前記ワイヤ列２０の上方には、インゴット
３０が装着されるワークフィードテーブル３２が設置さ
れている。このワークフィードテーブル３２は、テーブ
ル送り装置３４に駆動されて、ワイヤ列２０に対して垂
直に昇降移動する。前記テーブル送り装置３４は、ワイ
ヤ列２０に対して垂直に設置されたベース３６を有して
いる。ベース３６の前面には、一対のガイドレール３
８、３８が配設されており、このガイドレール３８、３
８上を前記ワークフィードテーブル３２がスライド自在
に支持されている。
３０が装着されるワークフィードテーブル３２が設置さ
れている。このワークフィードテーブル３２は、テーブ
ル送り装置３４に駆動されて、ワイヤ列２０に対して垂
直に昇降移動する。前記テーブル送り装置３４は、ワイ
ヤ列２０に対して垂直に設置されたベース３６を有して
いる。ベース３６の前面には、一対のガイドレール３
８、３８が配設されており、このガイドレール３８、３
８上を前記ワークフィードテーブル３２がスライド自在
に支持されている。
【００１４】また、前記ベース３６の前面には、ガイド
レール３８、３８に沿ってボールネジ４０が配設されて
いる。このボールネジ４０には、前記ワークフィードテ
ーブル３２に形成された図示しないナット部が螺合され
ており、このボールネジ４０をモータ４２で回転させる
ことにより、ワークフィードテーブル３２がガイドレー
ル３８、３８に沿って上下動する。
レール３８、３８に沿ってボールネジ４０が配設されて
いる。このボールネジ４０には、前記ワークフィードテ
ーブル３２に形成された図示しないナット部が螺合され
ており、このボールネジ４０をモータ４２で回転させる
ことにより、ワークフィードテーブル３２がガイドレー
ル３８、３８に沿って上下動する。
【００１５】インゴット３０は、このワークフィードテ
ーブル３２の下部にスライスベース４４を介して着脱自
在に装着される。以上のように構成された固定砥粒ワイ
ヤソー１０において、インゴット３０は次のように切断
される。まず、インゴット３０をワークフィードテーブ
ル３２に取り付ける。次に、ワイヤリール１４Ａ、１４
Ｂに連結されたモータ２８Ａ、２８Ｂを駆動して、固定
砥粒付ワイヤ１２を走行させる。
ーブル３２の下部にスライスベース４４を介して着脱自
在に装着される。以上のように構成された固定砥粒ワイ
ヤソー１０において、インゴット３０は次のように切断
される。まず、インゴット３０をワークフィードテーブ
ル３２に取り付ける。次に、ワイヤリール１４Ａ、１４
Ｂに連結されたモータ２８Ａ、２８Ｂを駆動して、固定
砥粒付ワイヤ１２を走行させる。
【００１６】そして、固定砥粒付ワイヤ１２の走行が安
定したところで、ワークフィードテーブル３２をワイヤ
列２０に向けて下降させる。これにより、インゴット３
０を走行するワイヤ列２０に押し当てる。ワイヤ列２０
に押し当てられたインゴット３０は、そのワイヤ列２０
を構成する固定砥粒付ワイヤ１２によって接触部を研削
され、これにより、ウェーハに切断される。
定したところで、ワークフィードテーブル３２をワイヤ
列２０に向けて下降させる。これにより、インゴット３
０を走行するワイヤ列２０に押し当てる。ワイヤ列２０
に押し当てられたインゴット３０は、そのワイヤ列２０
を構成する固定砥粒付ワイヤ１２によって接触部を研削
され、これにより、ウェーハに切断される。
【００１７】次に、この固定砥粒ワイヤソーに適用され
る本発明に係るワイヤクリーニング装置の第１の実施の
形態の構成について説明する。前記ワイヤ列２０の上方
には、ワークフィードテーブル３２を挟んで一対の洗浄
液噴射ノズル４６Ａ、４６Ｂが設置されている。この一
対の洗浄液噴射ノズル４６Ａ、４６Ｂは、図２に示すよ
うに、共に前記ワイヤ列２０の幅よりもやや長めに形成
されており、その下部に形成されたスリットからワイヤ
列２０に向けて高圧洗浄液（約８０Kg／ｍ2 〜１５０Kg
／ｍ2 ）を噴射する。
る本発明に係るワイヤクリーニング装置の第１の実施の
形態の構成について説明する。前記ワイヤ列２０の上方
には、ワークフィードテーブル３２を挟んで一対の洗浄
液噴射ノズル４６Ａ、４６Ｂが設置されている。この一
対の洗浄液噴射ノズル４６Ａ、４６Ｂは、図２に示すよ
うに、共に前記ワイヤ列２０の幅よりもやや長めに形成
されており、その下部に形成されたスリットからワイヤ
列２０に向けて高圧洗浄液（約８０Kg／ｍ2 〜１５０Kg
／ｍ2 ）を噴射する。
【００１８】前記一対の洗浄液噴射ノズル４６Ａ、４６
Ｂには、図１に示すように、それぞれ洗浄液供給パイプ
４８Ａ、４８Ｂが連結されている。この洗浄液供給パイ
プ４８Ａ、４８Ｂは、途中一本の洗浄液供給パイプ４８
となって洗浄液タンク５０に連結されている。前記洗浄
液タンク５０には、洗浄液５２（例えば、水や油）が貯
留されており、この洗浄液タンク５０に貯留された洗浄
液５２がポンプ５４によって送水されて、各洗浄液噴射
ノズル４６Ａ、４６Ｂから高圧洗浄液として噴射され
る。
Ｂには、図１に示すように、それぞれ洗浄液供給パイプ
４８Ａ、４８Ｂが連結されている。この洗浄液供給パイ
プ４８Ａ、４８Ｂは、途中一本の洗浄液供給パイプ４８
となって洗浄液タンク５０に連結されている。前記洗浄
液タンク５０には、洗浄液５２（例えば、水や油）が貯
留されており、この洗浄液タンク５０に貯留された洗浄
液５２がポンプ５４によって送水されて、各洗浄液噴射
ノズル４６Ａ、４６Ｂから高圧洗浄液として噴射され
る。
【００１９】また、前記洗浄液供給パイプ４８Ａ、４８
Ｂには、それぞれ電磁バルブ５６Ａ、５６Ｂが設けられ
ており、この電磁バルブ５６Ａ、５６Ｂを開閉操作する
ことにより、高圧洗浄液を噴射させる洗浄液噴射ノズル
４６Ａ、４６Ｂを選択することができる。また、前記洗
浄液供給パイプ４８には、レギュレータ５８が設けられ
ており、このレギュレータ５８によって洗浄液噴射ノズ
ル４６Ａ、４６Ｂから噴射する高圧洗浄液の噴射圧力を
調整できるようにされている。
Ｂには、それぞれ電磁バルブ５６Ａ、５６Ｂが設けられ
ており、この電磁バルブ５６Ａ、５６Ｂを開閉操作する
ことにより、高圧洗浄液を噴射させる洗浄液噴射ノズル
４６Ａ、４６Ｂを選択することができる。また、前記洗
浄液供給パイプ４８には、レギュレータ５８が設けられ
ており、このレギュレータ５８によって洗浄液噴射ノズ
ル４６Ａ、４６Ｂから噴射する高圧洗浄液の噴射圧力を
調整できるようにされている。
【００２０】前記のごとく構成された本発明に係るワイ
ヤクリーニング装置の第１の実施の形態の作用は次の通
りである。固定砥粒ワイヤソーでは、一方向送り切断と
双方向送り切断の二通りの切断方法がある。一方向送り
切断は、固定砥粒付ワイヤ一方向に走行させてインゴッ
トを切断する方法であり、双方向送り切断は、固定砥粒
付ワイヤを往復走行させてインゴットを切断する方法で
ある。
ヤクリーニング装置の第１の実施の形態の作用は次の通
りである。固定砥粒ワイヤソーでは、一方向送り切断と
双方向送り切断の二通りの切断方法がある。一方向送り
切断は、固定砥粒付ワイヤ一方向に走行させてインゴッ
トを切断する方法であり、双方向送り切断は、固定砥粒
付ワイヤを往復走行させてインゴットを切断する方法で
ある。
【００２１】まず、一方向送り切断でインゴット３０を
切断する場合について説明する。例えば、図１に示す固
定砥粒ワイヤソー１０において、図中左側のワイヤリー
ル１４Ａから図中右側のワイヤリール１４Ｂに向かって
固定砥粒付ワイヤ１２が走行しているとする。この場合
は、ワイヤ列２０の走行方向に対してインゴット３０の
下流側に位置している洗浄液噴射ノズル４６Ｂから高圧
洗浄液をワイヤ列２０に向けて噴射する。すなわち、洗
浄液噴射ノズル４６Ｂ側の電磁バルブ５６Ｂを開けると
ともに、洗浄液噴射ノズル４６Ａ側の電磁バルブ５６Ａ
を閉め、これと同時にポンプ５４を駆動する。これによ
り、インゴット３０の下流側に位置している洗浄液噴射
ノズル４６Ｂからワイヤ列２０に向けて高圧洗浄液が噴
射される。この際、オペレータは、レギュレータ５８に
よって高圧洗浄液の噴射圧力を調整する。
切断する場合について説明する。例えば、図１に示す固
定砥粒ワイヤソー１０において、図中左側のワイヤリー
ル１４Ａから図中右側のワイヤリール１４Ｂに向かって
固定砥粒付ワイヤ１２が走行しているとする。この場合
は、ワイヤ列２０の走行方向に対してインゴット３０の
下流側に位置している洗浄液噴射ノズル４６Ｂから高圧
洗浄液をワイヤ列２０に向けて噴射する。すなわち、洗
浄液噴射ノズル４６Ｂ側の電磁バルブ５６Ｂを開けると
ともに、洗浄液噴射ノズル４６Ａ側の電磁バルブ５６Ａ
を閉め、これと同時にポンプ５４を駆動する。これによ
り、インゴット３０の下流側に位置している洗浄液噴射
ノズル４６Ｂからワイヤ列２０に向けて高圧洗浄液が噴
射される。この際、オペレータは、レギュレータ５８に
よって高圧洗浄液の噴射圧力を調整する。
【００２２】前記のごとく高圧洗浄液がワイヤ列２０に
向けて噴射されると、切断によって固定砥粒付ワイヤ１
２の表面に堆積されたスラッジ等が、噴射された高圧洗
浄液によって吹き飛ばされ、固定砥粒付ワイヤ１２の表
面がクリーニングされる。この結果、固定砥粒付ワイヤ
１２は、常に目詰まりのない良好な切れ味の状態でイン
ゴット３０を切断することができる。
向けて噴射されると、切断によって固定砥粒付ワイヤ１
２の表面に堆積されたスラッジ等が、噴射された高圧洗
浄液によって吹き飛ばされ、固定砥粒付ワイヤ１２の表
面がクリーニングされる。この結果、固定砥粒付ワイヤ
１２は、常に目詰まりのない良好な切れ味の状態でイン
ゴット３０を切断することができる。
【００２３】なお、一方送り切断においては、固定砥粒
付ワイヤが一方のワイヤリールに巻ききったところでそ
の走行方向を切り換えるので、固定砥粒付ワイヤの走行
方向が切り換わった場合は、これと同時に高圧洗浄液を
噴射させる洗浄液噴射ノズルも切り換える。すなわち、
上記例で図中左側のワイヤリール１４Ａの方向に走行方
向が切り換わった場合は、高圧洗浄液を噴射させる洗浄
液噴射ノズルも図中左側の洗浄液噴射ノズル４６Ａに切
り換える。
付ワイヤが一方のワイヤリールに巻ききったところでそ
の走行方向を切り換えるので、固定砥粒付ワイヤの走行
方向が切り換わった場合は、これと同時に高圧洗浄液を
噴射させる洗浄液噴射ノズルも切り換える。すなわち、
上記例で図中左側のワイヤリール１４Ａの方向に走行方
向が切り換わった場合は、高圧洗浄液を噴射させる洗浄
液噴射ノズルも図中左側の洗浄液噴射ノズル４６Ａに切
り換える。
【００２４】なお、このように、常にインゴット３０の
下流側のワイヤ列２０に高圧洗浄液を噴射するのは、切
断直後の固定砥粒付ワイヤ１２を洗浄することによっ
て、より洗浄効果を向上させるためであり、これに限ら
ず、インゴット３０の上流側に位置する洗浄液噴射ノズ
ルから高圧洗浄液を噴射してもよい。また、両方の洗浄
液噴射ノズル４６Ａ、４６Ｂから同時に高圧洗浄液を噴
射してもよい。
下流側のワイヤ列２０に高圧洗浄液を噴射するのは、切
断直後の固定砥粒付ワイヤ１２を洗浄することによっ
て、より洗浄効果を向上させるためであり、これに限ら
ず、インゴット３０の上流側に位置する洗浄液噴射ノズ
ルから高圧洗浄液を噴射してもよい。また、両方の洗浄
液噴射ノズル４６Ａ、４６Ｂから同時に高圧洗浄液を噴
射してもよい。
【００２５】次に、双方向送り切断でインゴット３０を
切断する場合について説明する。双方向送り切断は、固
定砥粒付ワイヤ１２を往復走行させてインゴット３０を
切断する。この場合、固定砥粒付ワイヤ１２は、送り量
と戻し量に差をつけることにより、結果として、一方の
ワイヤリールに巻き取るようにする。例えば、図１に示
す固定砥粒ワイヤソー１０において、図中左側のワイヤ
リール１４Ａから図中右側のワイヤリール１４Ｂに向け
て送る固定砥粒付ワイヤ１２の送り量を１０ｍとし、図
中右側のワイヤリール１４Ｂから図中左側のワイヤリー
ル１４Ａに向けて送る固定砥粒付ワイヤ１２の送り量を
７ｍとする。そして、これを１サイクルとして、固定砥
粒付ワイヤ１２を往復走行させた場合、固定砥粒付ワイ
ヤ１２は、１サイクル当たり３ｍ分図中右側のワイヤリ
ール１２Ｂに巻き取られることとなる。
切断する場合について説明する。双方向送り切断は、固
定砥粒付ワイヤ１２を往復走行させてインゴット３０を
切断する。この場合、固定砥粒付ワイヤ１２は、送り量
と戻し量に差をつけることにより、結果として、一方の
ワイヤリールに巻き取るようにする。例えば、図１に示
す固定砥粒ワイヤソー１０において、図中左側のワイヤ
リール１４Ａから図中右側のワイヤリール１４Ｂに向け
て送る固定砥粒付ワイヤ１２の送り量を１０ｍとし、図
中右側のワイヤリール１４Ｂから図中左側のワイヤリー
ル１４Ａに向けて送る固定砥粒付ワイヤ１２の送り量を
７ｍとする。そして、これを１サイクルとして、固定砥
粒付ワイヤ１２を往復走行させた場合、固定砥粒付ワイ
ヤ１２は、１サイクル当たり３ｍ分図中右側のワイヤリ
ール１２Ｂに巻き取られることとなる。
【００２６】以上のような双方向送り切断においては、
その１つのワイヤクリーニング方法として、一方の洗浄
液噴射ノズル４６Ｂのみから高圧洗浄液を噴射して固定
砥粒付ワイヤ１２をクリーニングする方法がある。この
場合のクリーニング方法は、上述した一方向送り切断の
場合と同じである。すなわち、洗浄液噴射ノズル４６Ｂ
側の電磁バルブ５６Ｂを開けるとともに、洗浄液噴射ノ
ズル４６Ａ側の電磁バルブ５６Ａを閉め、これと同時に
ポンプ５４を駆動する。これにより、洗浄液噴射ノズル
４６Ｂからワイヤ列２０に向けて高圧洗浄液が噴射さ
れ、固定砥粒付ワイヤ１２がクリーニングされる。
その１つのワイヤクリーニング方法として、一方の洗浄
液噴射ノズル４６Ｂのみから高圧洗浄液を噴射して固定
砥粒付ワイヤ１２をクリーニングする方法がある。この
場合のクリーニング方法は、上述した一方向送り切断の
場合と同じである。すなわち、洗浄液噴射ノズル４６Ｂ
側の電磁バルブ５６Ｂを開けるとともに、洗浄液噴射ノ
ズル４６Ａ側の電磁バルブ５６Ａを閉め、これと同時に
ポンプ５４を駆動する。これにより、洗浄液噴射ノズル
４６Ｂからワイヤ列２０に向けて高圧洗浄液が噴射さ
れ、固定砥粒付ワイヤ１２がクリーニングされる。
【００２７】また、この他のクリーニング方法として、
両方の洗浄液噴射ノズル４６Ａ、４６Ｂから同時に高圧
洗浄液を噴射する方法、又は、固定砥粒付ワイヤ１２の
走行方向に同期させてクリーニングする方法がある。固
定砥粒付ワイヤ１２の走行方向に同期させてクリーニン
グする方法は、常に、ワイヤ列２０の走行方向に対して
下流側に位置する洗浄液噴射ノズルから高圧洗浄液を噴
射してクリーニングする方法であり、固定砥粒付ワイヤ
１２の走行方向の切り換わり同時に、高圧洗浄液を噴射
させる洗浄液噴射ノズル４６Ａ、４６Ｂを切り換える。
両方の洗浄液噴射ノズル４６Ａ、４６Ｂから同時に高圧
洗浄液を噴射する方法、又は、固定砥粒付ワイヤ１２の
走行方向に同期させてクリーニングする方法がある。固
定砥粒付ワイヤ１２の走行方向に同期させてクリーニン
グする方法は、常に、ワイヤ列２０の走行方向に対して
下流側に位置する洗浄液噴射ノズルから高圧洗浄液を噴
射してクリーニングする方法であり、固定砥粒付ワイヤ
１２の走行方向の切り換わり同時に、高圧洗浄液を噴射
させる洗浄液噴射ノズル４６Ａ、４６Ｂを切り換える。
【００２８】このように、本実施の形態のワイヤクリー
ニング装置によれば、双方向送り切断の場合であって
も、上述した一方向送り切断の場合と同様に、常に目詰
まりのない良好な切れ味の状態でインゴット３０を切断
することができる。また、本実施の形態のワイヤクリー
ニング装置では、固定砥粒付ワイヤ１２の表面に詰まっ
たスラッジのみが除去されるので、従来のドレッシング
ストーンを用いたドレッシング方法等と比べ固定砥粒付
ワイヤ１２の寿命を延ばすことができる。
ニング装置によれば、双方向送り切断の場合であって
も、上述した一方向送り切断の場合と同様に、常に目詰
まりのない良好な切れ味の状態でインゴット３０を切断
することができる。また、本実施の形態のワイヤクリー
ニング装置では、固定砥粒付ワイヤ１２の表面に詰まっ
たスラッジのみが除去されるので、従来のドレッシング
ストーンを用いたドレッシング方法等と比べ固定砥粒付
ワイヤ１２の寿命を延ばすことができる。
【００２９】なお、本実施の形態では、洗浄液噴射ノズ
ル４６Ａ、４６Ｂから高圧洗浄液（例えば、水や油）を
噴射することによって、固定砥粒付ワイヤ１２のクリー
ニングを行っているが、この他に圧縮エアを噴射するよ
うにしてもよい。また、本実施の形態では、レギュレー
タ５８によって高圧洗浄液の噴射圧力を調整可能として
いるが、これは高圧洗浄液がワイヤ列２０に噴射される
ことによって、ワイヤ列２０に張力変動が生じるのを防
止するためである。すなわち、あまりに高圧の洗浄液を
噴射すると、その衝撃で固定砥粒付ワイヤ１２が振動
し、却って切断精度を低下させる原因となるが、噴射圧
力を調整可能とすることによって、最適な噴射圧力を選
択することができるようになり、この結果、固定砥粒付
ワイヤ１２の張力変動を抑制することができる。
ル４６Ａ、４６Ｂから高圧洗浄液（例えば、水や油）を
噴射することによって、固定砥粒付ワイヤ１２のクリー
ニングを行っているが、この他に圧縮エアを噴射するよ
うにしてもよい。また、本実施の形態では、レギュレー
タ５８によって高圧洗浄液の噴射圧力を調整可能として
いるが、これは高圧洗浄液がワイヤ列２０に噴射される
ことによって、ワイヤ列２０に張力変動が生じるのを防
止するためである。すなわち、あまりに高圧の洗浄液を
噴射すると、その衝撃で固定砥粒付ワイヤ１２が振動
し、却って切断精度を低下させる原因となるが、噴射圧
力を調整可能とすることによって、最適な噴射圧力を選
択することができるようになり、この結果、固定砥粒付
ワイヤ１２の張力変動を抑制することができる。
【００３０】また、洗浄液噴射ノズル４６Ａ、４６Ｂの
設置位置は、図１及び図２に示す位置に限定されない
が、より洗浄効果を上げるためは、可能な限りインゴッ
ト３０の切断部の近傍に設置するのが好ましい。次に、
本発明に係るワイヤクリーニング装置の第２の実施の形
態について説明する。
設置位置は、図１及び図２に示す位置に限定されない
が、より洗浄効果を上げるためは、可能な限りインゴッ
ト３０の切断部の近傍に設置するのが好ましい。次に、
本発明に係るワイヤクリーニング装置の第２の実施の形
態について説明する。
【００３１】上述した第１の実施の形態の洗浄液噴射ノ
ズル４６Ａ、４６Ｂは、ワイヤ列２０と対向する面に形
成されたスリットから高圧洗浄液を噴射するように構成
されていた。これに対し、第２の実施の形態の洗浄液噴
射ノズルは、高圧洗浄液がワイヤ列２０を構成する固定
砥粒付ワイヤ１２の一本一本に当たるような構造とされ
ている。具体的には、以下の通りである。
ズル４６Ａ、４６Ｂは、ワイヤ列２０と対向する面に形
成されたスリットから高圧洗浄液を噴射するように構成
されていた。これに対し、第２の実施の形態の洗浄液噴
射ノズルは、高圧洗浄液がワイヤ列２０を構成する固定
砥粒付ワイヤ１２の一本一本に当たるような構造とされ
ている。具体的には、以下の通りである。
【００３２】図３に示すように、洗浄液噴射ノズル６０
のワイヤ列２０と対向する面には、多数の洗浄液噴射口
６０ａ、６０ａ、…が形成されている。この洗浄液噴射
口６０ａは、上下交互に形成されており、その間隔はワ
イヤ列２０と同じピッチで形成されている。以上のよう
に形成された第２の実施の形態の洗浄液噴射ノズル６０
によれば、ワイヤ列２０を構成する固定砥粒付ワイヤ１
２の一本一本に高圧洗浄液を当てることができるため、
より高い洗浄効果を得ることが可能になる。
のワイヤ列２０と対向する面には、多数の洗浄液噴射口
６０ａ、６０ａ、…が形成されている。この洗浄液噴射
口６０ａは、上下交互に形成されており、その間隔はワ
イヤ列２０と同じピッチで形成されている。以上のよう
に形成された第２の実施の形態の洗浄液噴射ノズル６０
によれば、ワイヤ列２０を構成する固定砥粒付ワイヤ１
２の一本一本に高圧洗浄液を当てることができるため、
より高い洗浄効果を得ることが可能になる。
【００３３】なお、洗浄液噴射口６０ａを上下交互に形
成するのは、ワイヤ列２０の間隔が極めて狭いため（約
１．２ｍｍ程度）、直列して形成するのが困難なためで
ある。したがって、可能であれば、洗浄液噴射口６０ａ
は、ワイヤ列２０と同じピッチで直列して形成してもよ
い。次に、本発明に係るワイヤクリーニング装置の第３
の実施の形態について説明する。
成するのは、ワイヤ列２０の間隔が極めて狭いため（約
１．２ｍｍ程度）、直列して形成するのが困難なためで
ある。したがって、可能であれば、洗浄液噴射口６０ａ
は、ワイヤ列２０と同じピッチで直列して形成してもよ
い。次に、本発明に係るワイヤクリーニング装置の第３
の実施の形態について説明する。
【００３４】第３の実施の形態のワイヤクリーニング装
置では、高圧洗浄液をインゴットの切断部に向けて噴射
するようにしている。具体的には、以下の通りである。
図４及び図５に示すように、ワイヤ列２０の上方には、
インゴット３０を挟んで左右対称位置に一組のフラット
スプレーノズル７０Ａ、７０Ａ、７０Ｂ、７０Ｂが設置
されている。このフラットスプレーノズル７０Ａ、７０
Ｂからは、ワイヤ列２０とインゴット３０との接触部、
すなわち切断部に向けて高圧洗浄液が噴射される。
置では、高圧洗浄液をインゴットの切断部に向けて噴射
するようにしている。具体的には、以下の通りである。
図４及び図５に示すように、ワイヤ列２０の上方には、
インゴット３０を挟んで左右対称位置に一組のフラット
スプレーノズル７０Ａ、７０Ａ、７０Ｂ、７０Ｂが設置
されている。このフラットスプレーノズル７０Ａ、７０
Ｂからは、ワイヤ列２０とインゴット３０との接触部、
すなわち切断部に向けて高圧洗浄液が噴射される。
【００３５】この第３の実施の形態のワイヤクリーニン
グ装置のように、インゴット３０の切断部に向けて高圧
洗浄液を噴射することにより、切断されたウェーハとウ
ェーハとの間にも高圧洗浄液が供給されることになる。
このため、固定砥粒付ワイヤ１２を洗浄できるという効
果だけではなく、切断部を冷却できるという効果も得る
ことができる。また、供給された洗浄液は、切断された
ウェーハを洗浄するという働きもある。したがって、切
断後のウェーハの取り扱いが容易になる。
グ装置のように、インゴット３０の切断部に向けて高圧
洗浄液を噴射することにより、切断されたウェーハとウ
ェーハとの間にも高圧洗浄液が供給されることになる。
このため、固定砥粒付ワイヤ１２を洗浄できるという効
果だけではなく、切断部を冷却できるという効果も得る
ことができる。また、供給された洗浄液は、切断された
ウェーハを洗浄するという働きもある。したがって、切
断後のウェーハの取り扱いが容易になる。
【００３６】次に、本発明に係るワイヤクリーニング装
置の第４の実施の形態について説明する。第４の実施の
形態のワイヤクリーニング装置では、高圧洗浄液をグル
ーブローラに向けて噴射するようにしている。具体的に
は、以下の通りである。図６に示すように、上部２本の
グルーブローラ１８、１８の側部近傍には、グルーブロ
ーラ１８、１８に沿って一対の洗浄液噴射ノズル８０
Ａ、８０Ｂが設置されている。この一対の洗浄液噴射ノ
ズル８０Ａ、８０Ｂは、共にワイヤ列２０の幅よりもや
や長めに形成されており、その側部に形成されたスリッ
トからワイヤ列２０に向けて高圧洗浄液を噴射する。
置の第４の実施の形態について説明する。第４の実施の
形態のワイヤクリーニング装置では、高圧洗浄液をグル
ーブローラに向けて噴射するようにしている。具体的に
は、以下の通りである。図６に示すように、上部２本の
グルーブローラ１８、１８の側部近傍には、グルーブロ
ーラ１８、１８に沿って一対の洗浄液噴射ノズル８０
Ａ、８０Ｂが設置されている。この一対の洗浄液噴射ノ
ズル８０Ａ、８０Ｂは、共にワイヤ列２０の幅よりもや
や長めに形成されており、その側部に形成されたスリッ
トからワイヤ列２０に向けて高圧洗浄液を噴射する。
【００３７】この第４のワイヤクリーニング装置のよう
に、グルーブローラ１８、１８に向けて高圧洗浄液を噴
射することにより、ワイヤ列２０の張力変動を抑制する
ことができ、切断精度を向上させることができる。すな
わち、高圧洗浄液を直接ワイヤ列２０に噴射すると、そ
の衝撃でワイヤ列２０に振動が発生し、張力変動を起こ
す場合があるが、本実施の形態のように、グルーブロー
ラ１８、１８に巻きかけられている固定砥粒付ワイヤ１
２に高圧洗浄液を噴射すれば、振動の発生を防止するこ
とができる。この結果、精度よくウェーハを切断するこ
とができる。
に、グルーブローラ１８、１８に向けて高圧洗浄液を噴
射することにより、ワイヤ列２０の張力変動を抑制する
ことができ、切断精度を向上させることができる。すな
わち、高圧洗浄液を直接ワイヤ列２０に噴射すると、そ
の衝撃でワイヤ列２０に振動が発生し、張力変動を起こ
す場合があるが、本実施の形態のように、グルーブロー
ラ１８、１８に巻きかけられている固定砥粒付ワイヤ１
２に高圧洗浄液を噴射すれば、振動の発生を防止するこ
とができる。この結果、精度よくウェーハを切断するこ
とができる。
【００３８】なお、本実施の形態で使用するノズルに
は、第２の実施の形態で説明した固定砥粒付ワイヤ１２
の一本一本に当たるような構造のノズルを用いてもよ
い。これにより、固定砥粒付ワイヤ１２の洗浄効果がよ
り向上する。また、本実施の形態では、洗浄液は横方向
から噴射するようにしているが、グルーブローラ１８、
１８の上方から噴射するようにしてもよい。
は、第２の実施の形態で説明した固定砥粒付ワイヤ１２
の一本一本に当たるような構造のノズルを用いてもよ
い。これにより、固定砥粒付ワイヤ１２の洗浄効果がよ
り向上する。また、本実施の形態では、洗浄液は横方向
から噴射するようにしているが、グルーブローラ１８、
１８の上方から噴射するようにしてもよい。
【００３９】次に、本発明に係るワイヤクリーニング装
置の第５の実施の形態について説明する。第５の実施の
形態のワイヤクリーニング装置では、ワイヤ列に噴射す
る洗浄液に、超音波洗浄液を利用して固定砥粒付ワイヤ
を洗浄するようにしている。具体的には、以下の通りで
ある。
置の第５の実施の形態について説明する。第５の実施の
形態のワイヤクリーニング装置では、ワイヤ列に噴射す
る洗浄液に、超音波洗浄液を利用して固定砥粒付ワイヤ
を洗浄するようにしている。具体的には、以下の通りで
ある。
【００４０】図７に示すように、ワイヤ列２０の上方に
は、インゴット３０を挟んで左右対称位置に噴射ホーン
９０Ａ、９０Ｂが設置されている。この噴射ホーン９０
Ａ、９０Ｂには、図示しない洗浄液タンクから洗浄液が
供給され、その供給された洗浄液がワイヤ列２０に向け
て噴射される。また、この噴射ホーン９０Ａ、９０Ｂの
内部には、超音波振動体９２Ａ、９２Ｂが設置されてい
る。この超音波振動体９２Ａ、９２Ｂは、図示しない発
振器に発振されて振動し、噴射ホーン９０Ａ、９０Ｂに
供給された洗浄液に超音波振動を与える。したがって、
ワイヤ列２０には超音波振動が与えられた洗浄液（超音
波洗浄液）が噴射されることとなる。
は、インゴット３０を挟んで左右対称位置に噴射ホーン
９０Ａ、９０Ｂが設置されている。この噴射ホーン９０
Ａ、９０Ｂには、図示しない洗浄液タンクから洗浄液が
供給され、その供給された洗浄液がワイヤ列２０に向け
て噴射される。また、この噴射ホーン９０Ａ、９０Ｂの
内部には、超音波振動体９２Ａ、９２Ｂが設置されてい
る。この超音波振動体９２Ａ、９２Ｂは、図示しない発
振器に発振されて振動し、噴射ホーン９０Ａ、９０Ｂに
供給された洗浄液に超音波振動を与える。したがって、
ワイヤ列２０には超音波振動が与えられた洗浄液（超音
波洗浄液）が噴射されることとなる。
【００４１】超音波洗浄液が噴射されたワイヤ列２０
は、その超音波洗浄液の超音波振動の作用によって洗浄
される。すなわち、超音波が与えられることにより、洗
浄液中に生じる強大な加速度と、キャビテーションに伴
う局所的な衝撃によって、固定砥粒付ワイヤ１２の表面
に詰まったスラッジが除去され、洗浄される。このよう
に、ワイヤ列２０に超音波洗浄液を噴射することによっ
ても、前記の実施の形態と同様に、固定砥粒付ワイヤ１
２を洗浄することができる。また、固定砥粒付ワイヤ１
２の表面に詰まったスラッジのみを除去することができ
るので、固定砥粒付ワイヤ１２の寿命を延ばすことがで
きる。
は、その超音波洗浄液の超音波振動の作用によって洗浄
される。すなわち、超音波が与えられることにより、洗
浄液中に生じる強大な加速度と、キャビテーションに伴
う局所的な衝撃によって、固定砥粒付ワイヤ１２の表面
に詰まったスラッジが除去され、洗浄される。このよう
に、ワイヤ列２０に超音波洗浄液を噴射することによっ
ても、前記の実施の形態と同様に、固定砥粒付ワイヤ１
２を洗浄することができる。また、固定砥粒付ワイヤ１
２の表面に詰まったスラッジのみを除去することができ
るので、固定砥粒付ワイヤ１２の寿命を延ばすことがで
きる。
【００４２】なお、本実施の形態では、超音波洗浄液を
ワイヤ列２０に直接噴射しているが、上述した第４の実
施の形態のように、グルーブローラ１８、１８に噴射す
るようにしてもよい。また、超音波振動体９２Ａ、９２
Ｂを発振させる発振器（図示せず）は、発振周波数を可
変できるようにすることにより、目詰まりの具合に応じ
た最適な振動周波数で固定砥粒付ワイヤ１２を洗浄する
ことができる。
ワイヤ列２０に直接噴射しているが、上述した第４の実
施の形態のように、グルーブローラ１８、１８に噴射す
るようにしてもよい。また、超音波振動体９２Ａ、９２
Ｂを発振させる発振器（図示せず）は、発振周波数を可
変できるようにすることにより、目詰まりの具合に応じ
た最適な振動周波数で固定砥粒付ワイヤ１２を洗浄する
ことができる。
【００４３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
被加工物には常に洗浄された固定砥粒付ワイヤが供給さ
れることとなり、終始安定した切断を行うことができ
る。また、固定砥粒付ワイヤに生じた目詰まりのみを除
去するので、固定砥粒付ワイヤの寿命を低下させること
もない。
被加工物には常に洗浄された固定砥粒付ワイヤが供給さ
れることとなり、終始安定した切断を行うことができ
る。また、固定砥粒付ワイヤに生じた目詰まりのみを除
去するので、固定砥粒付ワイヤの寿命を低下させること
もない。
【図１】固定砥粒ワイヤソーの全体構成図
【図２】第１の実施の形態のワイヤクリーニング装置の
要部斜視図
要部斜視図
【図３】第２の実施の形態の洗浄液噴射ノズルの構成を
示す要部拡大図
示す要部拡大図
【図４】第３の実施の形態のワイヤクリーニング装置の
要部斜視図
要部斜視図
【図５】第３の実施の形態のワイヤクリーニング装置の
要部正面図
要部正面図
【図６】第４の実施の形態のワイヤクリーニング装置の
要部斜視図
要部斜視図
【図７】第５の実施の形態のワイヤクリーニング装置の
要部正面図
要部正面図
【図８】他の実施の形態の固定砥粒ワイヤソーの構成を
示す斜視図
示す斜視図
【図９】他の実施の形態の固定砥粒ワイヤソーの構成を
示す斜視図
示す斜視図
１０…固定砥粒ワイヤソー １２…固定砥粒付ワイヤ １８…グルーブローラ ２０…ワイヤ列 ３０…インゴット ４６Ａ、４６Ｂ、６０、８０Ａ、８０Ｂ…洗浄液噴射ノ
ズル ７０Ａ、７０Ｂ…フラットスプレーノズル ９０Ａ、９０Ｂ…噴射ホーン ９２Ａ、９２Ｂ…超音波振動体
ズル ７０Ａ、７０Ｂ…フラットスプレーノズル ９０Ａ、９０Ｂ…噴射ホーン ９２Ａ、９２Ｂ…超音波振動体
Claims (6)
- 【請求項１】 表面に砥粒が固着された固定砥粒付ワイ
ヤを複数個のグルーブローラに巻き掛けてワイヤ列を形
成し、該ワイヤ列を走行させながら被加工物を押し当て
ることにより、該被加工物を多数のウェーハに切断する
固定砥粒ワイヤソーにおいて、 前記被加工物を切断するワイヤ列の近傍に、該ワイヤ列
に向けて高圧流体を噴射する噴射手段を設けたことを特
徴とする固定砥粒ワイヤソーのワイヤクリーニング装
置。 - 【請求項２】 前記ワイヤ列の走行方向に対して、前記
被加工物の下流側に前記噴射手段を設けたことを特徴と
する請求項１記載の固定砥粒ワイヤソーのワイヤクリー
ニング装置。 - 【請求項３】 前記噴射手段は、前記ワイヤ列と同一ピ
ッチで形成された多数の洗浄液噴射口を有し、該洗浄液
噴射口から前記ワイヤ列を構成する固定砥粒付ワイヤ一
本一本に高圧流体を噴射することを特徴とする請求項１
記載の固定砥粒ワイヤソーのワイヤクリーニング装置。 - 【請求項４】 前記噴射手段は、前記被加工物との接触
部分のワイヤ列に向けて高圧流体を噴射することを特徴
とする請求項１記載の固定砥粒ワイヤソーのワイヤクリ
ーニング装置。 - 【請求項５】 表面に砥粒が固着された固定砥粒付ワイ
ヤを複数個のグルーブローラに巻き掛けてワイヤ列を形
成し、該ワイヤ列を走行させながら被加工物を押し当て
ることにより、該被加工物を多数のウェーハに切断する
固定砥粒ワイヤソーにおいて、 前記グルーブローラの近傍に、該グルーブローラに向け
て高圧流体を噴射する噴射手段を設けたことを特徴とす
る固定砥粒ワイヤソーのワイヤクリーニング装置。 - 【請求項６】 表面に砥粒が固着された固定砥粒付ワイ
ヤを複数個のグルーブローラに巻き掛けてワイヤ列を形
成し、該ワイヤ列を走行させながら被加工物を押し当て
ることにより、該被加工物を多数のウェーハに切断する
固定砥粒ワイヤソーにおいて、 前記被加工物を切断するワイヤ列の近傍に、該ワイヤ列
に向けて超音波振動を与えた液体を噴射する噴射手段を
設けたことを特徴とする固定砥粒ワイヤソーのワイヤク
リーニング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23400597A JPH1170456A (ja) | 1997-08-29 | 1997-08-29 | 固定砥粒ワイヤソーのワイヤクリーニング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23400597A JPH1170456A (ja) | 1997-08-29 | 1997-08-29 | 固定砥粒ワイヤソーのワイヤクリーニング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1170456A true JPH1170456A (ja) | 1999-03-16 |
Family
ID=16964068
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23400597A Pending JPH1170456A (ja) | 1997-08-29 | 1997-08-29 | 固定砥粒ワイヤソーのワイヤクリーニング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1170456A (ja) |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007021676A (ja) * | 2005-07-19 | 2007-02-01 | Asahi Diamond Industrial Co Ltd | ノズル装置、ワイヤ加工装置、及びワイヤ加工方法 |
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| WO2014174350A1 (en) | 2013-04-24 | 2014-10-30 | Meyer Burger Ag | Wire saw |
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| JP6005797B1 (ja) * | 2015-04-30 | 2016-10-12 | 株式会社Tkx | 線材巻き取り装置 |
| CN109571783A (zh) * | 2018-12-27 | 2019-04-05 | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 | 切割线的喷淋结构、工件切割系统及喷淋方法 |
| CN112871813A (zh) * | 2019-11-29 | 2021-06-01 | 隆基绿能科技股份有限公司 | 一种切片机清洗方法和清洗装置 |
| CN114434664A (zh) * | 2022-03-07 | 2022-05-06 | 广东高景太阳能科技有限公司 | 一种降低硅棒切割跳线率的装置及切割方法 |
| CN114633387A (zh) * | 2022-04-06 | 2022-06-17 | 广东高景太阳能科技有限公司 | 一种大尺寸硅片提料过程防止挂线的装置及方法 |
-
1997
- 1997-08-29 JP JP23400597A patent/JPH1170456A/ja active Pending
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| WO2014174350A1 (en) | 2013-04-24 | 2014-10-30 | Meyer Burger Ag | Wire saw |
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