JPH10175207A - ワイヤソーのワイヤ洗浄装置 - Google Patents
ワイヤソーのワイヤ洗浄装置Info
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- JPH10175207A JPH10175207A JP34085896A JP34085896A JPH10175207A JP H10175207 A JPH10175207 A JP H10175207A JP 34085896 A JP34085896 A JP 34085896A JP 34085896 A JP34085896 A JP 34085896A JP H10175207 A JPH10175207 A JP H10175207A
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
- B28D5/007—Use, recovery or regeneration of abrasive mediums
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
- B28D5/0076—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for removing dust, e.g. by spraying liquids; for lubricating, cooling or cleaning tool or work
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- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】少数のノズルで効果的にワイヤの洗浄を行うこ
とができるワイヤソーのワイヤ洗浄装置の提供。 【解決手段】ガイドローラ４４によってワイヤ１４が方
向転回されると、ワイヤ１４に付着したスラリは、その
方向転回時に遠心力を受けて、ワイヤ１４から除去され
る。一方、このガイドローラ４４で方向転回されるワイ
ヤ１４には、メインノズル４８から圧縮エアが噴射され
ており、この圧縮エアが噴射されることにより、前記ワ
イヤに付着したスラリは加速される。この結果、前記ス
ラリに生じる遠心力が増大し、ワイヤ１４から効率よく
スラリを除去することができる。また、遠心力で除去し
きれなかったスラリは、補助ノズル５０から噴射される
圧縮エアによって吹き飛ばされる。
とができるワイヤソーのワイヤ洗浄装置の提供。 【解決手段】ガイドローラ４４によってワイヤ１４が方
向転回されると、ワイヤ１４に付着したスラリは、その
方向転回時に遠心力を受けて、ワイヤ１４から除去され
る。一方、このガイドローラ４４で方向転回されるワイ
ヤ１４には、メインノズル４８から圧縮エアが噴射され
ており、この圧縮エアが噴射されることにより、前記ワ
イヤに付着したスラリは加速される。この結果、前記ス
ラリに生じる遠心力が増大し、ワイヤ１４から効率よく
スラリを除去することができる。また、遠心力で除去し
きれなかったスラリは、補助ノズル５０から噴射される
圧縮エアによって吹き飛ばされる。
Description
【０００１】
【発明の利用分野】本発明はワイヤソーのワイヤ洗浄装
置に係り、特にシリコン、ガラス、セラミックス等の脆
性材料を切断するワイヤソーのワイヤ洗浄装置に関す
る。
置に係り、特にシリコン、ガラス、セラミックス等の脆
性材料を切断するワイヤソーのワイヤ洗浄装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】ワイヤソーは、高速走行するワイヤ列に
スラリを供給しながら被加工物を押し当てることによ
り、そのスラリ中に含まれる砥粒のラッピング作用で被
加工物を多数のウェーハに切断する装置である。したが
って、ワイヤ列から繰り出されるワイヤには、スラリが
付着しており、この状態で使用すると、架線室が汚れ、
メンテナンス性が悪く、また、汚れからくる二次的な障
害を引き起こすという問題もある。このため、ワイヤ列
から繰り出されるワイヤは、通常、ワイヤ洗浄装置によ
って、その周囲に付着したスラリを除去されたのち、ワ
イヤリールに巻き取られる。そして、従来のワイヤ洗浄
方法としては、スラリのベースオイル等の洗浄液が満た
された浴槽内にワイヤを潜らせて洗浄する方法が一般的
である。
スラリを供給しながら被加工物を押し当てることによ
り、そのスラリ中に含まれる砥粒のラッピング作用で被
加工物を多数のウェーハに切断する装置である。したが
って、ワイヤ列から繰り出されるワイヤには、スラリが
付着しており、この状態で使用すると、架線室が汚れ、
メンテナンス性が悪く、また、汚れからくる二次的な障
害を引き起こすという問題もある。このため、ワイヤ列
から繰り出されるワイヤは、通常、ワイヤ洗浄装置によ
って、その周囲に付着したスラリを除去されたのち、ワ
イヤリールに巻き取られる。そして、従来のワイヤ洗浄
方法としては、スラリのベースオイル等の洗浄液が満た
された浴槽内にワイヤを潜らせて洗浄する方法が一般的
である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ワイヤ
の走行速度は、５００〔ｍ／ｍｉｎ〕以上と非常に速
く、このため、従来の洗浄方法では、スラリの代わりに
洗浄液を持ち込むという欠点を有していた。本発明は、
このような事情を鑑みてなされたもので、少数のノズル
で効果的にワイヤの洗浄を行うことができるワイヤソー
のワイヤ洗浄装置を提供することを目的とする。
の走行速度は、５００〔ｍ／ｍｉｎ〕以上と非常に速
く、このため、従来の洗浄方法では、スラリの代わりに
洗浄液を持ち込むという欠点を有していた。本発明は、
このような事情を鑑みてなされたもので、少数のノズル
で効果的にワイヤの洗浄を行うことができるワイヤソー
のワイヤ洗浄装置を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決する為の手段】本発明は前記目的を達成す
るために、一対のワイヤリール間を走行するワイヤを複
数の溝付ローラに巻きかけてワイヤ列を形成し、該ワイ
ヤ列にスラリを供給しながら被加工物を押し当て、該被
加工物を多数のウェーハに切断するワイヤソーにおい
て、前記ワイヤが巻きかけられ、その巻きかけられたワ
イヤの走行方向を転回させるガイドローラと、前記ガイ
ドローラの近傍に設けられ、該ガイドローラによって方
向転回されるワイヤに沿って圧力流体を噴射するノズル
と、からなり、前記ノズルから噴射した圧力流体によっ
て前記ワイヤに付着したスラリを加速して遠心力を増大
させ、その増大させた遠心力によって前記ワイヤに付着
したスラリを除去することを特徴とする。
るために、一対のワイヤリール間を走行するワイヤを複
数の溝付ローラに巻きかけてワイヤ列を形成し、該ワイ
ヤ列にスラリを供給しながら被加工物を押し当て、該被
加工物を多数のウェーハに切断するワイヤソーにおい
て、前記ワイヤが巻きかけられ、その巻きかけられたワ
イヤの走行方向を転回させるガイドローラと、前記ガイ
ドローラの近傍に設けられ、該ガイドローラによって方
向転回されるワイヤに沿って圧力流体を噴射するノズル
と、からなり、前記ノズルから噴射した圧力流体によっ
て前記ワイヤに付着したスラリを加速して遠心力を増大
させ、その増大させた遠心力によって前記ワイヤに付着
したスラリを除去することを特徴とする。
【０００５】本発明によれば、ガイドローラによってワ
イヤが方向転回されると、ワイヤに付着したスラリは、
その方向転回時に遠心力を受けて、ワイヤから除去され
る。一方、このガイドローラで方向転回されるワイヤに
は、ノズルから圧力流体が噴射されており、この圧力流
体が噴射されることにより、前記ワイヤに付着したスラ
リは加速される。この結果、前記スラリに生じる遠心力
が増大し、ワイヤから効率よくスラリを除去することが
できる。
イヤが方向転回されると、ワイヤに付着したスラリは、
その方向転回時に遠心力を受けて、ワイヤから除去され
る。一方、このガイドローラで方向転回されるワイヤに
は、ノズルから圧力流体が噴射されており、この圧力流
体が噴射されることにより、前記ワイヤに付着したスラ
リは加速される。この結果、前記スラリに生じる遠心力
が増大し、ワイヤから効率よくスラリを除去することが
できる。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るワイヤソーのワイヤ洗浄装置の実施の形態について詳
説する。図１は、本発明に係るワイヤ洗浄装置が適用さ
れたワイヤソーの全体構成図である。
るワイヤソーのワイヤ洗浄装置の実施の形態について詳
説する。図１は、本発明に係るワイヤ洗浄装置が適用さ
れたワイヤソーの全体構成図である。
【０００７】同図に示すように、ワイヤリール１２に巻
かれたワイヤ１４は、ガイドローラ１６、１６、…で形
成されるワイヤ走行路を通って３本の溝付きローラ１８
Ａ、１８Ｂ、１８Ｃに巻き掛けられ、水平なワイヤ列２
０を形成する。ワイヤ列２０を形成したワイヤ１４は、
前記ワイヤ列２０を挟んで左右対称に形成された他方側
のワイヤ走行路を通って図示しないワイヤリールに巻き
取られる。
かれたワイヤ１４は、ガイドローラ１６、１６、…で形
成されるワイヤ走行路を通って３本の溝付きローラ１８
Ａ、１８Ｂ、１８Ｃに巻き掛けられ、水平なワイヤ列２
０を形成する。ワイヤ列２０を形成したワイヤ１４は、
前記ワイヤ列２０を挟んで左右対称に形成された他方側
のワイヤ走行路を通って図示しないワイヤリールに巻き
取られる。
【０００８】前記ワイヤ列２０の両側に形成されるワイ
ヤ走行路には、それぞれワイヤ案内装置２２、ダンサロ
ーラ２４及びワイヤ洗浄装置４０が配設されており（一
方側のみ図示）、前記ワイヤ案内装置２２は、ワイヤリ
ール１２からワイヤ１４を一定ピッチでガイドする。ま
た、前記ダンサローラ２４は、走行するワイヤ１４に一
定の張力を付与し、前記ワイヤ洗浄装置４０は、加工時
に付着したスラリ（加工液）をワイヤ１４から除去す
る。なお、このワイヤ洗浄装置４０の構成については、
後に詳述する。
ヤ走行路には、それぞれワイヤ案内装置２２、ダンサロ
ーラ２４及びワイヤ洗浄装置４０が配設されており（一
方側のみ図示）、前記ワイヤ案内装置２２は、ワイヤリ
ール１２からワイヤ１４を一定ピッチでガイドする。ま
た、前記ダンサローラ２４は、走行するワイヤ１４に一
定の張力を付与し、前記ワイヤ洗浄装置４０は、加工時
に付着したスラリ（加工液）をワイヤ１４から除去す
る。なお、このワイヤ洗浄装置４０の構成については、
後に詳述する。
【０００９】前記一対のワイヤリール１２及び３本のう
ち１本の溝付ローラ１８Ｃには、それぞれモータ（図示
せず）が連結されており、前記ワイヤ１４は、このモー
タを駆動することにより、前記ワイヤリール１２間を高
速走行する。前記ワイヤ列２０の上方には、該ワイヤ列
２０に対して垂直に昇降移動するワークフィードテーブ
ル２８が設置されている。ワークフィードテーブル２８
にはチルチング装置３０が備えられており、インゴット
３２は、このチルチング装置３０の下部に保持され、任
意の傾斜角度に設定される。
ち１本の溝付ローラ１８Ｃには、それぞれモータ（図示
せず）が連結されており、前記ワイヤ１４は、このモー
タを駆動することにより、前記ワイヤリール１２間を高
速走行する。前記ワイヤ列２０の上方には、該ワイヤ列
２０に対して垂直に昇降移動するワークフィードテーブ
ル２８が設置されている。ワークフィードテーブル２８
にはチルチング装置３０が備えられており、インゴット
３２は、このチルチング装置３０の下部に保持され、任
意の傾斜角度に設定される。
【００１０】以上のように構成されたワイヤソー１０に
おいて、インゴット３２の切断は、ワークフィードテー
ブル２８を前記ワイヤ列２０に向けて下降させ、高速走
行するワイヤ列２０にインゴット３２を押し当てること
により行う。この際、前記ワイヤ列２０には、スラリタ
ンク３４から図示しないノズルを介してスラリが供給さ
れ、インゴット３２は、このスラリ中に含有される砥粒
のラッピング作用でウェーハに切断される。
おいて、インゴット３２の切断は、ワークフィードテー
ブル２８を前記ワイヤ列２０に向けて下降させ、高速走
行するワイヤ列２０にインゴット３２を押し当てること
により行う。この際、前記ワイヤ列２０には、スラリタ
ンク３４から図示しないノズルを介してスラリが供給さ
れ、インゴット３２は、このスラリ中に含有される砥粒
のラッピング作用でウェーハに切断される。
【００１１】なお、加工時に供給したスラリは、前記ワ
イヤ列２０の下方に設置されたスラリ回収皿３８を介し
て前記スラリタンク３４に回収され、循環利用される。
この際、スラリは加工時に発生する熱を吸熱して温度上
昇するので、回収したスラリは熱交換機３６内を流通さ
せて一定温度に冷却する。図２は、上記ワイヤソー１０
に適用されたワイヤ洗浄装置４０の構成を示す正面断面
図である。
イヤ列２０の下方に設置されたスラリ回収皿３８を介し
て前記スラリタンク３４に回収され、循環利用される。
この際、スラリは加工時に発生する熱を吸熱して温度上
昇するので、回収したスラリは熱交換機３６内を流通さ
せて一定温度に冷却する。図２は、上記ワイヤソー１０
に適用されたワイヤ洗浄装置４０の構成を示す正面断面
図である。
【００１２】同図に示すように、前記ワイヤ洗浄装置４
０は、下部が漏斗状に形成されたケーシング４２を有し
ている。このケーシング４２の上面には、ケーシング４
２内にワイヤ１４を導入するための導入孔４２Ａが形成
されており、右側面には、そのケーシング４２内に導入
されたワイヤ１４を外部に排出するための排出孔４２Ｂ
が形成されている。
０は、下部が漏斗状に形成されたケーシング４２を有し
ている。このケーシング４２の上面には、ケーシング４
２内にワイヤ１４を導入するための導入孔４２Ａが形成
されており、右側面には、そのケーシング４２内に導入
されたワイヤ１４を外部に排出するための排出孔４２Ｂ
が形成されている。
【００１３】前記ケーシング４２の内部には、ガイドロ
ーラ４４が配置されており、該ガイドローラ４４は、前
記ケーシング４２の内壁に設けられた軸受ユニット４６
に装着されて回動自在に支持されている。そして、前記
導入孔４２Ａから前記ケーシング４２Ａ内に導入された
ワイヤ１４は、このガイドローラ４４に巻きかけられて
９０°方向転回されたのち、前記排出孔４２Ｂを通って
ケーシング４２外に排出される。
ーラ４４が配置されており、該ガイドローラ４４は、前
記ケーシング４２の内壁に設けられた軸受ユニット４６
に装着されて回動自在に支持されている。そして、前記
導入孔４２Ａから前記ケーシング４２Ａ内に導入された
ワイヤ１４は、このガイドローラ４４に巻きかけられて
９０°方向転回されたのち、前記排出孔４２Ｂを通って
ケーシング４２外に排出される。
【００１４】前記ガイドローラ４４の上部近傍には、前
記ガイドローラ４４に巻きかけられるワイヤ１４に沿っ
てメインノズル４８が配置されている。このメインノズ
ル４８には、図示しないエア供給手段が連結されてお
り、該エア供給手段から供給された圧縮エアが、前記ガ
イドローラ４４に巻きかけられるワイヤ１４に沿って噴
射される。
記ガイドローラ４４に巻きかけられるワイヤ１４に沿っ
てメインノズル４８が配置されている。このメインノズ
ル４８には、図示しないエア供給手段が連結されてお
り、該エア供給手段から供給された圧縮エアが、前記ガ
イドローラ４４に巻きかけられるワイヤ１４に沿って噴
射される。
【００１５】ところで、前記ガイドローラ４４に巻きか
けられるワイヤ１４に前記メインノズル４８から圧縮エ
アが噴射されると、前記ワイヤ１４に付着したスラリ
は、ワイヤ１４から吹き飛ばされる。この時、前記圧縮
エアによって吹き飛ばされずにワイヤ１４に残存してい
るスラリも、前記圧縮エアが噴射されることにより、そ
のワイヤ１４上を滑り、速度が増加する。このため、前
記ワイヤ１４が前記ガイドローラ４４によって方向転回
される際に発生する遠心力も、通常の状態、すなわち、
圧縮エアを吹き掛けていない状態よりも増加する。この
増加された遠心力によって前記ワイヤ１４に付着したス
ラリは、前記ガイドローラ４４で方向転回される時に吹
き飛ばされ、ワイヤ１４から除去される。
けられるワイヤ１４に前記メインノズル４８から圧縮エ
アが噴射されると、前記ワイヤ１４に付着したスラリ
は、ワイヤ１４から吹き飛ばされる。この時、前記圧縮
エアによって吹き飛ばされずにワイヤ１４に残存してい
るスラリも、前記圧縮エアが噴射されることにより、そ
のワイヤ１４上を滑り、速度が増加する。このため、前
記ワイヤ１４が前記ガイドローラ４４によって方向転回
される際に発生する遠心力も、通常の状態、すなわち、
圧縮エアを吹き掛けていない状態よりも増加する。この
増加された遠心力によって前記ワイヤ１４に付着したス
ラリは、前記ガイドローラ４４で方向転回される時に吹
き飛ばされ、ワイヤ１４から除去される。
【００１６】したがって、前記メインノズル４８の配置
は、上記効果を最大限引き出すことができる位置、すな
わち、遠心力を最も増大させることができる位置に配置
する。本実施の形態では、前記ワイヤ１４が、前記ガイ
ドローラ４４に巻きかけられる直前に配置し、ワイヤ１
４に対する噴射角αが５°〜１０°となるように設定し
ている。
は、上記効果を最大限引き出すことができる位置、すな
わち、遠心力を最も増大させることができる位置に配置
する。本実施の形態では、前記ワイヤ１４が、前記ガイ
ドローラ４４に巻きかけられる直前に配置し、ワイヤ１
４に対する噴射角αが５°〜１０°となるように設定し
ている。
【００１７】前記ガイドローラ４４の右側部近傍には、
補助ノズル５０が配置されている。この補助ノズル５０
には、前記メインノズル４８と同様に図示しないエア供
給手段が連結されており、該エア供給手段から供給され
た圧縮エアが、前記ガイドローラ４４で方向転換された
ワイヤ１４に向かって噴射される。ところで、前記メイ
ンノズル４８では、前記ガイドローラ４０に巻きかけら
れるワイヤ１４に圧縮エアを噴射することにより、その
エア圧及び増加させた遠心力でスラリを除去していた
が、この補助ノズル５０は、前記メインノズル４８によ
る噴射だけでは、除去しきれなかったスラリを噴射する
エア圧でワイヤ１４から除去する。
補助ノズル５０が配置されている。この補助ノズル５０
には、前記メインノズル４８と同様に図示しないエア供
給手段が連結されており、該エア供給手段から供給され
た圧縮エアが、前記ガイドローラ４４で方向転換された
ワイヤ１４に向かって噴射される。ところで、前記メイ
ンノズル４８では、前記ガイドローラ４０に巻きかけら
れるワイヤ１４に圧縮エアを噴射することにより、その
エア圧及び増加させた遠心力でスラリを除去していた
が、この補助ノズル５０は、前記メインノズル４８によ
る噴射だけでは、除去しきれなかったスラリを噴射する
エア圧でワイヤ１４から除去する。
【００１８】したがって、前記補助ノズル４８の配置
は、上記効果を最大限引き出すことができる位置に配置
する。本実施の形態では、前記ワイヤ１４が、前記ガイ
ドローラ４４から繰り出される直後に配置し、ワイヤ１
４に対する噴射角βが３０°〜４５°となるように設定
している。このように配置することにより、前記遠心力
によってワイヤ１４から分離しかかったスラリに圧縮エ
アが当たり、効果的にスラリを除去することができる。
は、上記効果を最大限引き出すことができる位置に配置
する。本実施の形態では、前記ワイヤ１４が、前記ガイ
ドローラ４４から繰り出される直後に配置し、ワイヤ１
４に対する噴射角βが３０°〜４５°となるように設定
している。このように配置することにより、前記遠心力
によってワイヤ１４から分離しかかったスラリに圧縮エ
アが当たり、効果的にスラリを除去することができる。
【００１９】なお、前記のごとくワイヤ１４から除去さ
れたスラリは、自重でケーシング４２内を落下し、その
漏斗状に形成されたケーシング４２の下部で回収された
のち、排出口４９から排出される。前記のごとく構成さ
れた本発明に係るワイヤ洗浄装置の実施の形態の作用は
次の通りである。
れたスラリは、自重でケーシング４２内を落下し、その
漏斗状に形成されたケーシング４２の下部で回収された
のち、排出口４９から排出される。前記のごとく構成さ
れた本発明に係るワイヤ洗浄装置の実施の形態の作用は
次の通りである。
【００２０】スラリが付着したワイヤ１４は、導入口４
２Ａからケーシング４２内に導入され、ガイドローラ４
４によって９０°方向転換されたのち、排出孔４２Ｂか
らケーシング４２外に排出される。この際、前記ワイヤ
１４は、前記ガイドローラ４４によって方向転回される
直前にメインノズル４８から圧縮エアが噴射され、その
エア圧によって、前記ワイヤ１４に付着したスラリは吹
き飛ばされる。
２Ａからケーシング４２内に導入され、ガイドローラ４
４によって９０°方向転換されたのち、排出孔４２Ｂか
らケーシング４２外に排出される。この際、前記ワイヤ
１４は、前記ガイドローラ４４によって方向転回される
直前にメインノズル４８から圧縮エアが噴射され、その
エア圧によって、前記ワイヤ１４に付着したスラリは吹
き飛ばされる。
【００２１】この時、前記圧縮エアによって吹き飛ばさ
れずにワイヤ１４に残存しているスラリも、前記圧縮エ
アが噴射されることにより、そのワイヤ１４上を滑り、
速度が増加する。このため、前記ワイヤ１４が前記ガイ
ドローラ４４によって方向転回される際に発生する遠心
力も、通常の状態、すなわち、圧縮エアを吹き掛けてい
ない状態よりも増加する。この増加された遠心力によっ
て前記ワイヤ１４に付着したスラリは、前記ガイドロー
ラ４４で方向転回される時に吹き飛ばされ、ワイヤ１４
から除去される。
れずにワイヤ１４に残存しているスラリも、前記圧縮エ
アが噴射されることにより、そのワイヤ１４上を滑り、
速度が増加する。このため、前記ワイヤ１４が前記ガイ
ドローラ４４によって方向転回される際に発生する遠心
力も、通常の状態、すなわち、圧縮エアを吹き掛けてい
ない状態よりも増加する。この増加された遠心力によっ
て前記ワイヤ１４に付着したスラリは、前記ガイドロー
ラ４４で方向転回される時に吹き飛ばされ、ワイヤ１４
から除去される。
【００２２】このように、前記ワイヤ１４に付着したス
ラリは、前記メインノズル４８から噴射された圧縮エア
の噴射及びその噴射によって増加した遠心力によってワ
イヤ１４から除去されるが、これらによっても除去しき
れない場合がある。そこで、前記ワイヤ１４は、前記ガ
イドローラ４４によって方向転回されると、その直後
に、補助ノズル５０から圧縮エアが噴射される。この補
助ノズル５０から噴射された圧縮エアが、ワイヤ１４に
当たることにより、ワイヤ１４に残存しているスラリは
吹き飛ばされ、ワイヤ１４からスラリを完全に除去する
ことができる。
ラリは、前記メインノズル４８から噴射された圧縮エア
の噴射及びその噴射によって増加した遠心力によってワ
イヤ１４から除去されるが、これらによっても除去しき
れない場合がある。そこで、前記ワイヤ１４は、前記ガ
イドローラ４４によって方向転回されると、その直後
に、補助ノズル５０から圧縮エアが噴射される。この補
助ノズル５０から噴射された圧縮エアが、ワイヤ１４に
当たることにより、ワイヤ１４に残存しているスラリは
吹き飛ばされ、ワイヤ１４からスラリを完全に除去する
ことができる。
【００２３】なお、この時、前記ワイヤ１４に残存して
いるスラリは、方向転回時に受けた遠心力によってワイ
ヤ１４から分離しかかった状態にあるため、前記圧縮エ
アの噴射を受けることにより、容易にワイヤ１４から除
去することができる。このように、本実施の形態のワイ
ヤ洗浄装置４０によれば、ワイヤ１４の走行時に生じる
物理現象（遠心力）を有効に利用することにより、ワイ
ヤ１４から効果的にスラリを除去することができる。し
たがって、ノズルの設置数も必要最低限の数でよくな
る。
いるスラリは、方向転回時に受けた遠心力によってワイ
ヤ１４から分離しかかった状態にあるため、前記圧縮エ
アの噴射を受けることにより、容易にワイヤ１４から除
去することができる。このように、本実施の形態のワイ
ヤ洗浄装置４０によれば、ワイヤ１４の走行時に生じる
物理現象（遠心力）を有効に利用することにより、ワイ
ヤ１４から効果的にスラリを除去することができる。し
たがって、ノズルの設置数も必要最低限の数でよくな
る。
【００２４】なお、本実施の形態で示したメインノズル
４８と補助ノズル５０の配置は、一実施の形態に過ぎ
ず、走行するワイヤ１４からスラリを効果的に除去する
ことができる配置であれば、これに限定されない。たと
えば、図３において、メインノズル４８は、ガイドロー
ラ４０の接線方向に沿って設置し、補助ノズル５０は、
ワイヤ１４に沿うように（ワイヤ１４に対して５°〜１
０°）配置している。このように、接線方向に沿うよう
に設置することにより、ワイヤ１４に付着したスラリを
効果的に加速することができる。
４８と補助ノズル５０の配置は、一実施の形態に過ぎ
ず、走行するワイヤ１４からスラリを効果的に除去する
ことができる配置であれば、これに限定されない。たと
えば、図３において、メインノズル４８は、ガイドロー
ラ４０の接線方向に沿って設置し、補助ノズル５０は、
ワイヤ１４に沿うように（ワイヤ１４に対して５°〜１
０°）配置している。このように、接線方向に沿うよう
に設置することにより、ワイヤ１４に付着したスラリを
効果的に加速することができる。
【００２５】また、本実施の形態では、ガイドローラ４
０によってワイヤ１４を９０°方向転回させているが、
ワイヤ１４に付着したスラリを遠心力によって効果的に
吹き飛ばすことができる角度ならば、これに限定されな
い。たとえば、図４では、ワイヤ１４を１８０°方向転
回させている。このように、１８０°方向転回させるこ
とにより、ワイヤ１４に付着したスラリには、より多く
の遠心力が働き、効果的にワイヤ１４からスラリを除去
することが可能になる。
０によってワイヤ１４を９０°方向転回させているが、
ワイヤ１４に付着したスラリを遠心力によって効果的に
吹き飛ばすことができる角度ならば、これに限定されな
い。たとえば、図４では、ワイヤ１４を１８０°方向転
回させている。このように、１８０°方向転回させるこ
とにより、ワイヤ１４に付着したスラリには、より多く
の遠心力が働き、効果的にワイヤ１４からスラリを除去
することが可能になる。
【００２６】また、図示しないが、ガイドローラ４０に
ワイヤ１４を複数回巻きかけ、更に多くの遠心力が働く
ように構成してもよい。さらに、本実施の形態では、メ
インノズル４８及び補助ノズル５０から圧縮エアを噴射
しているが、高圧の洗浄液を噴射するように構成しても
よい。なお、この時、メインノズル４８からは洗浄液、
補助ノズル５０からは圧縮エアというように、噴射を組
み合わせて使用するようにしてもよい。
ワイヤ１４を複数回巻きかけ、更に多くの遠心力が働く
ように構成してもよい。さらに、本実施の形態では、メ
インノズル４８及び補助ノズル５０から圧縮エアを噴射
しているが、高圧の洗浄液を噴射するように構成しても
よい。なお、この時、メインノズル４８からは洗浄液、
補助ノズル５０からは圧縮エアというように、噴射を組
み合わせて使用するようにしてもよい。
【００２７】また、本実施の形態では、ノズルの設置数
は、メインノズル４８と補助ノズル５０の合わせて２つ
を使用しているが、それぞれ複数設置してもよい。さら
に、スラリの飛散を考慮してケーシング４２を設けてい
るが、加工室内に設置されたガイドローラ１６、１６、
…の近傍にメインノズル４８及び補助ノズル５０を設置
する場合は、ケーシング４２を用いなくてもよい。
は、メインノズル４８と補助ノズル５０の合わせて２つ
を使用しているが、それぞれ複数設置してもよい。さら
に、スラリの飛散を考慮してケーシング４２を設けてい
るが、加工室内に設置されたガイドローラ１６、１６、
…の近傍にメインノズル４８及び補助ノズル５０を設置
する場合は、ケーシング４２を用いなくてもよい。
【００２８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ワイヤの走行時に生じる物理現象（遠心力）を有効に利
用することにより、ワイヤからスラリを効果的に除去す
ることができる。したがって、ノズルの設置数も必要最
低限の数でよくなる。
ワイヤの走行時に生じる物理現象（遠心力）を有効に利
用することにより、ワイヤからスラリを効果的に除去す
ることができる。したがって、ノズルの設置数も必要最
低限の数でよくなる。
【図１】本発明に係るワイヤ洗浄装置が適用されたワイ
ヤソーの全体構成図
ヤソーの全体構成図
【図２】ワイヤ洗浄装置の構成を示す平面断面図
【図３】ワイヤ洗浄装置の他の実施の形態の構成を示す
平面断面図
平面断面図
【図４】ワイヤ洗浄装置の他の実施の形態の構成を示す
平面断面図
平面断面図
１０…ワイヤソー １２…ワイヤリール １４…ワイヤ １８Ａ〜１８Ｃ…溝付ローラ ２０…ワイヤ列 ３２…インゴット ４０…ワイヤ洗浄装置 ４２…ケーシング ４４…ガイドローラ ４８…メインノズル ５０…補助ノズル
Claims (2)
- 【請求項１】 一対のワイヤリール間を走行するワイヤ
を複数の溝付ローラに巻きかけてワイヤ列を形成し、該
ワイヤ列にスラリを供給しながら被加工物を押し当て、
該被加工物を多数のウェーハに切断するワイヤソーにお
いて、 前記ワイヤが巻きかけられ、その巻きかけられたワイヤ
の走行方向を転回させるガイドローラと、 前記ガイドローラの近傍に設けられ、該ガイドローラに
よって方向転回されるワイヤに沿って圧力流体を噴射す
るノズルと、からなり、前記ノズルから噴射した圧力流
体によって前記ワイヤに付着したスラリを加速して遠心
力を増大させ、その増大させた遠心力によって前記ワイ
ヤに付着したスラリを除去することを特徴とするワイヤ
ソーのワイヤ洗浄装置。 - 【請求項２】 前記ガイドローラの近傍に前記ワイヤの
走行方向と逆方向に圧力流体を噴射する補助ノズルを設
け、該補助ノズルから噴射する圧力流体によって、前記
ワイヤに残存したスラリを除去することを特徴とする請
求項１記載のワイヤソーのワイヤ洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34085896A JPH10175207A (ja) | 1996-12-20 | 1996-12-20 | ワイヤソーのワイヤ洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34085896A JPH10175207A (ja) | 1996-12-20 | 1996-12-20 | ワイヤソーのワイヤ洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10175207A true JPH10175207A (ja) | 1998-06-30 |
Family
ID=18340965
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34085896A Pending JPH10175207A (ja) | 1996-12-20 | 1996-12-20 | ワイヤソーのワイヤ洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10175207A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1020271A1 (en) * | 1999-01-12 | 2000-07-19 | Super Silicon Crystal Research Institute Corp. | A saw wire cleaning apparatus |
| US6632296B2 (en) | 2000-06-07 | 2003-10-14 | Nippon Steel Corporation | Steel pipe having high formability and method for producing the same |
| JP2010030074A (ja) * | 2008-07-25 | 2010-02-12 | Nippon Fuasutemu Kk | ワイヤーソー切断装置 |
| CN102069532A (zh) * | 2009-11-20 | 2011-05-25 | 宁波科宁达工业有限公司 | 一种减少多线切割机中槽轮及导轮磨损的方法及装置 |
| CN105538520A (zh) * | 2015-12-07 | 2016-05-04 | 镇江市润州兴润钢结构厂 | 一种可降低生产成本的砂浆桶 |
| KR101672706B1 (ko) * | 2015-04-28 | 2016-11-07 | 웅진에너지 주식회사 | 와이어 쏘 장치 |
| WO2021107546A1 (ko) * | 2019-11-26 | 2021-06-03 | 주식회사 이건 | 집진 장치를 구비한 와이어 쏘 |
-
1996
- 1996-12-20 JP JP34085896A patent/JPH10175207A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1020271A1 (en) * | 1999-01-12 | 2000-07-19 | Super Silicon Crystal Research Institute Corp. | A saw wire cleaning apparatus |
| US6632296B2 (en) | 2000-06-07 | 2003-10-14 | Nippon Steel Corporation | Steel pipe having high formability and method for producing the same |
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| CN114761166A (zh) * | 2019-11-26 | 2022-07-15 | 株式会社易纲 | 具有集尘装置的线锯机 |
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