JPH1177510A - 固定砥粒ワイヤソー及びその被加工物切断方法 - Google Patents
固定砥粒ワイヤソー及びその被加工物切断方法Info
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- JPH1177510A JPH1177510A JP24132597A JP24132597A JPH1177510A JP H1177510 A JPH1177510 A JP H1177510A JP 24132597 A JP24132597 A JP 24132597A JP 24132597 A JP24132597 A JP 24132597A JP H1177510 A JPH1177510 A JP H1177510A
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
- B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
- B23D57/0053—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of drives for saw wires; of wheel mountings; of wheels
Abstract
(57)【要約】
【課題】固定砥粒付ワイヤに生じる目詰まりを効果的に
防止しながら、被加工物を精度よく切断することができ
る固定砥粒ワイヤソー及びその被加工物切断方法の提
供。 【解決手段】軸心を微小量偏心させたサポートローラ４
６Ａ、４６Ｂをワイヤ列２０に押圧当接させ、ワイヤ列
２０に微小振動を与えながらインゴット３０を切断す
る。ワイヤ列２０に微小振動を与えることにより、加工
部への加工液の流入が促進され、冷却作用が向上し、固
定砥粒付ワイヤの表面砥粒の熱的磨耗が抑制される。ま
た、切り屑の排除も促進され、固定砥粒付ワイヤの目詰
まりも抑制される。
防止しながら、被加工物を精度よく切断することができ
る固定砥粒ワイヤソー及びその被加工物切断方法の提
供。 【解決手段】軸心を微小量偏心させたサポートローラ４
６Ａ、４６Ｂをワイヤ列２０に押圧当接させ、ワイヤ列
２０に微小振動を与えながらインゴット３０を切断す
る。ワイヤ列２０に微小振動を与えることにより、加工
部への加工液の流入が促進され、冷却作用が向上し、固
定砥粒付ワイヤの表面砥粒の熱的磨耗が抑制される。ま
た、切り屑の排除も促進され、固定砥粒付ワイヤの目詰
まりも抑制される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は固定砥粒ワイヤソー
及びその被加工物切断方法に係り、特にシリコン、ガラ
ス、セラミック等の硬脆性材料を切断する固定砥粒ワイ
ヤソー及びその被加工物切断方法に関する。
及びその被加工物切断方法に係り、特にシリコン、ガラ
ス、セラミック等の硬脆性材料を切断する固定砥粒ワイ
ヤソー及びその被加工物切断方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】固定砥粒ワイヤソーは、固定砥粒付ワイ
ヤを所定間隔で張架してワイヤ列を形成し、そのワイヤ
列を高速走行させることにより、ワイヤ列に押し付けら
れた被加工物を多数のウェーハに切断する装置である。
ヤを所定間隔で張架してワイヤ列を形成し、そのワイヤ
列を高速走行させることにより、ワイヤ列に押し付けら
れた被加工物を多数のウェーハに切断する装置である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、この固定砥
粒ワイヤソーで使用する固定砥粒付ワイヤは、表面に直
接砥粒が固着されているため、切断が進行するとワイヤ
の表面に目詰まりが生じ、切れ味が低下してくる。同種
の砥粒加工である内周刃式スライシングマシンなどの場
合は、目詰まりが生じると、ＩＤブレードにドレッシン
グストーンを切断させることによって目詰まりの防止を
図っているが、固定砥粒付ワイヤの場合は、砥粒の粒径
がきわめて小さいため、同様の方法でドレッシングする
と、砥粒が脱落してしまい、寿命が低下するという問題
がある。
粒ワイヤソーで使用する固定砥粒付ワイヤは、表面に直
接砥粒が固着されているため、切断が進行するとワイヤ
の表面に目詰まりが生じ、切れ味が低下してくる。同種
の砥粒加工である内周刃式スライシングマシンなどの場
合は、目詰まりが生じると、ＩＤブレードにドレッシン
グストーンを切断させることによって目詰まりの防止を
図っているが、固定砥粒付ワイヤの場合は、砥粒の粒径
がきわめて小さいため、同様の方法でドレッシングする
と、砥粒が脱落してしまい、寿命が低下するという問題
がある。
【０００４】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、固定砥粒付ワイヤに生じる目詰まりを効果的
に防止しながら、被加工物を精度よく切断することがで
きる固定砥粒ワイヤソー及びその被加工物切断方法を提
供することを目的とする。
たもので、固定砥粒付ワイヤに生じる目詰まりを効果的
に防止しながら、被加工物を精度よく切断することがで
きる固定砥粒ワイヤソー及びその被加工物切断方法を提
供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、表面に砥粒が固着された固定砥粒付ワイ
ヤでワイヤ列を形成するとともに、該ワイヤ列を走行さ
せ、その走行するワイヤ列に被加工物を押し当てること
により、該被加工物を多数のウェーハに切断する固定砥
粒ワイヤソーの被加工物切断方法において、前記ワイヤ
列又は前記被加工物の少なくとも一方を微小振動させな
がら、前記被加工物を切断することを特徴とする。
成するために、表面に砥粒が固着された固定砥粒付ワイ
ヤでワイヤ列を形成するとともに、該ワイヤ列を走行さ
せ、その走行するワイヤ列に被加工物を押し当てること
により、該被加工物を多数のウェーハに切断する固定砥
粒ワイヤソーの被加工物切断方法において、前記ワイヤ
列又は前記被加工物の少なくとも一方を微小振動させな
がら、前記被加工物を切断することを特徴とする。
【０００６】本発明によれば、ワイヤ列又は被加工物に
微小振動を与えながら被加工物を切断する。これによ
り、加工部への加工液の流入が促進され、冷却作用が向
上する。この結果、固定砥粒付ワイヤの表面の砥粒の熱
的磨耗が抑制される。また、固定砥粒付ワイヤに微小振
動を与えることにより、切り屑の排除が促進され、固定
砥粒付ワイヤの目詰まりが抑制される。
微小振動を与えながら被加工物を切断する。これによ
り、加工部への加工液の流入が促進され、冷却作用が向
上する。この結果、固定砥粒付ワイヤの表面の砥粒の熱
的磨耗が抑制される。また、固定砥粒付ワイヤに微小振
動を与えることにより、切り屑の排除が促進され、固定
砥粒付ワイヤの目詰まりが抑制される。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
る固定砥粒ワイヤソー及びその被加工物切断方法の実施
の形態について詳説する。図１は、本発明に係る固定砥
粒ワイヤソーの第１の実施の形態の全体構成図である。
る固定砥粒ワイヤソー及びその被加工物切断方法の実施
の形態について詳説する。図１は、本発明に係る固定砥
粒ワイヤソーの第１の実施の形態の全体構成図である。
【０００８】固定砥粒ワイヤソー１０は、表面に砥粒が
固着された固定砥粒付ワイヤ１２を用いてワイヤ列２０
を形成し、このワイヤ列２０を高速走行させることによ
り、インゴット３０を多数枚のウェーハに切断する。具
体的には、以下のように構成されている。図１に示すよ
うに、固定砥粒付ワイヤ１２は、一対のワイヤリール１
４Ａ、１４Ｂに巻回されており、この一対のワイヤリー
ル１４Ａ、１４Ｂ間を複数のガイドローラ１６、１６、
…にガイドされながら走行する。そして、この一対のワ
イヤリール１４Ａ、１４Ｂ間に配置された三本のグルー
ブローラ１８Ａ、１８Ｂ、１８Ｃに巻き掛けられること
により、水平なワイヤ列２０が形成される。
固着された固定砥粒付ワイヤ１２を用いてワイヤ列２０
を形成し、このワイヤ列２０を高速走行させることによ
り、インゴット３０を多数枚のウェーハに切断する。具
体的には、以下のように構成されている。図１に示すよ
うに、固定砥粒付ワイヤ１２は、一対のワイヤリール１
４Ａ、１４Ｂに巻回されており、この一対のワイヤリー
ル１４Ａ、１４Ｂ間を複数のガイドローラ１６、１６、
…にガイドされながら走行する。そして、この一対のワ
イヤリール１４Ａ、１４Ｂ間に配置された三本のグルー
ブローラ１８Ａ、１８Ｂ、１８Ｃに巻き掛けられること
により、水平なワイヤ列２０が形成される。
【０００９】前記ワイヤ列２０の両側に形成されるワイ
ヤ走行路には、それぞれトラバース装置２２Ａ、２２
Ｂ、ダンサローラ２４Ａ、２４Ｂが配設されている。ト
ラバース装置２２Ａ、２２Ｂは、ワイヤリール１４Ａ、
１４Ｂから固定砥粒付ワイヤ１４が一定ピッチで繰り出
されるようにガイドし、また、ダンサローラ２４Ａ、２
４Ｂは走行する固定砥粒付ワイヤ１４に一定の張力を付
与する。
ヤ走行路には、それぞれトラバース装置２２Ａ、２２
Ｂ、ダンサローラ２４Ａ、２４Ｂが配設されている。ト
ラバース装置２２Ａ、２２Ｂは、ワイヤリール１４Ａ、
１４Ｂから固定砥粒付ワイヤ１４が一定ピッチで繰り出
されるようにガイドし、また、ダンサローラ２４Ａ、２
４Ｂは走行する固定砥粒付ワイヤ１４に一定の張力を付
与する。
【００１０】前記一対のワイヤリール１４Ａ、１４Ｂ
は、共にターンテーブル２６Ａ、２６Ｂ上に固定されて
おり、このターンテーブル２６Ａ、２６Ｂに連結された
リール駆動用モータ２８Ａ、２８Ｂを駆動することによ
り回転する。そして、この一対のワイヤリール１４Ａ、
１４Ｂが回転することにより、前記固定砥粒付ワイヤ１
２が一対のワイヤリール１４Ａ、１４Ｂ間を走行する。
は、共にターンテーブル２６Ａ、２６Ｂ上に固定されて
おり、このターンテーブル２６Ａ、２６Ｂに連結された
リール駆動用モータ２８Ａ、２８Ｂを駆動することによ
り回転する。そして、この一対のワイヤリール１４Ａ、
１４Ｂが回転することにより、前記固定砥粒付ワイヤ１
２が一対のワイヤリール１４Ａ、１４Ｂ間を走行する。
【００１１】前記ワイヤ列２０の上方には、被加工物で
あるインゴット３０が装着されるワークフィードテーブ
ル３２が設置されている。このワークフィードテーブル
３２は、ワーク送り装置３４に駆動されて、ワイヤ列２
０に対して垂直に昇降移動する。前記ワーク送り装置３
４は、ワイヤ列２０に対して垂直に設置されたベース３
６を有している。ベース３６の前面には、一対のガイド
レール３８、３８が配設されており、このガイドレール
３８、３８上を前記ワークフィードテーブル３２がスラ
イド自在に支持されている。
あるインゴット３０が装着されるワークフィードテーブ
ル３２が設置されている。このワークフィードテーブル
３２は、ワーク送り装置３４に駆動されて、ワイヤ列２
０に対して垂直に昇降移動する。前記ワーク送り装置３
４は、ワイヤ列２０に対して垂直に設置されたベース３
６を有している。ベース３６の前面には、一対のガイド
レール３８、３８が配設されており、このガイドレール
３８、３８上を前記ワークフィードテーブル３２がスラ
イド自在に支持されている。
【００１２】また、前記ベース３６の前面には、ガイド
レール３８、３８に沿ってボールネジ４０が配設されて
いる。このボールネジ４０には、前記ワークフィードテ
ーブル３２に形成された図示しないナット部が螺合され
ており、このボールネジ４０を送りモータ４２で回転さ
せることにより、ワークフィードテーブル３２がガイド
レール３８、３８に沿って上下動する。
レール３８、３８に沿ってボールネジ４０が配設されて
いる。このボールネジ４０には、前記ワークフィードテ
ーブル３２に形成された図示しないナット部が螺合され
ており、このボールネジ４０を送りモータ４２で回転さ
せることにより、ワークフィードテーブル３２がガイド
レール３８、３８に沿って上下動する。
【００１３】インゴット３０は、このワークフィードテ
ーブル３２の下部に設置されたマウンティングブロック
４４にスライスベース４５を介して着脱自在に取り付け
られる。一方、前記ワイヤ列２０の下部には、図２に示
すように、インゴット３０を挟んで左右対称位置に一対
のサポートローラ４６Ａ、４６Ｂが配置されている。こ
の一対のサポートローラ４６Ａ、４６Ｂは、ワイヤ列２
０に押圧当接されており、その外周面にはグルーブロー
ラ１８Ａ〜１８Ｃと同一ピッチで多数の溝４６ａ、４６
ａ、…、４６ｂ、４６ｂ、…が形成されている。ワイヤ
列２０は、このサポートローラ４６Ａ、４６Ｂにガイド
されながら走行する。
ーブル３２の下部に設置されたマウンティングブロック
４４にスライスベース４５を介して着脱自在に取り付け
られる。一方、前記ワイヤ列２０の下部には、図２に示
すように、インゴット３０を挟んで左右対称位置に一対
のサポートローラ４６Ａ、４６Ｂが配置されている。こ
の一対のサポートローラ４６Ａ、４６Ｂは、ワイヤ列２
０に押圧当接されており、その外周面にはグルーブロー
ラ１８Ａ〜１８Ｃと同一ピッチで多数の溝４６ａ、４６
ａ、…、４６ｂ、４６ｂ、…が形成されている。ワイヤ
列２０は、このサポートローラ４６Ａ、４６Ｂにガイド
されながら走行する。
【００１４】ところで、前記サポートローラ４６Ａ、４
６Ｂは、その両端部に支軸４８Ａ、４８Ｂが固着されて
いる。そして、この支軸４８Ａ、４８Ｂをグルーブロー
ラ１８Ａ〜１８Ｃの支持フレーム５０、５０に設けられ
た軸受ユニット５２Ａ、５２Ｂに軸支されることにより
回動自在に支持されている。ここで、このサポートロー
ラ４６Ａに固着されている支軸４８Ａは、図３及び図４
に示すように、その軸心Ｏ1 がサポートローラ４６Ａの
軸心Ｏ2 に対して微小量δ偏心して固着されている。こ
のため、サポートローラ４６Ａは、ワイヤ列２０をガイ
ドする際、偏心回転してワイヤ列２０をガイドし、この
結果、ワイヤ列２０は上下方向に微小振動しながら、グ
ルーブローラ１８Ａ、１８Ｃ間を走行する。インゴット
３０は、この微小振動しながら走行するワイヤ列２０に
押し付けられてウェーハに切断される。
６Ｂは、その両端部に支軸４８Ａ、４８Ｂが固着されて
いる。そして、この支軸４８Ａ、４８Ｂをグルーブロー
ラ１８Ａ〜１８Ｃの支持フレーム５０、５０に設けられ
た軸受ユニット５２Ａ、５２Ｂに軸支されることにより
回動自在に支持されている。ここで、このサポートロー
ラ４６Ａに固着されている支軸４８Ａは、図３及び図４
に示すように、その軸心Ｏ1 がサポートローラ４６Ａの
軸心Ｏ2 に対して微小量δ偏心して固着されている。こ
のため、サポートローラ４６Ａは、ワイヤ列２０をガイ
ドする際、偏心回転してワイヤ列２０をガイドし、この
結果、ワイヤ列２０は上下方向に微小振動しながら、グ
ルーブローラ１８Ａ、１８Ｃ間を走行する。インゴット
３０は、この微小振動しながら走行するワイヤ列２０に
押し付けられてウェーハに切断される。
【００１５】前記のごとく構成された本発明に係る固定
砥粒ワイヤソーの第１の実施の形態の作用は次の通りで
ある。まず、インゴット３０をワークフィードテーブル
３２に取り付ける。次に、ワイヤリール１４Ａ、１４Ｂ
に連結されたリール駆動用モータ２８Ａ、２８Ｂを同期
駆動して、一方のワイヤリール１４Ａから他方のワイヤ
リール１４Ｂに向けて固定砥粒付ワイヤ１２を高速走行
させる。
砥粒ワイヤソーの第１の実施の形態の作用は次の通りで
ある。まず、インゴット３０をワークフィードテーブル
３２に取り付ける。次に、ワイヤリール１４Ａ、１４Ｂ
に連結されたリール駆動用モータ２８Ａ、２８Ｂを同期
駆動して、一方のワイヤリール１４Ａから他方のワイヤ
リール１４Ｂに向けて固定砥粒付ワイヤ１２を高速走行
させる。
【００１６】次に、送りモータ４２を駆動して、ワーク
フィードテーブル３２をワイヤ列２０に向けて下降させ
る。これと同時に、図示しない加工液供給ノズルからワ
イヤ列２０に向けて加工液を供給する。この結果、イン
ゴット３０は高速走行するワイヤ列２０に押し当てら
れ、その接触部をワイヤ列２０に研削されて、ウェーハ
に切断される。
フィードテーブル３２をワイヤ列２０に向けて下降させ
る。これと同時に、図示しない加工液供給ノズルからワ
イヤ列２０に向けて加工液を供給する。この結果、イン
ゴット３０は高速走行するワイヤ列２０に押し当てら
れ、その接触部をワイヤ列２０に研削されて、ウェーハ
に切断される。
【００１７】ここで、前記インゴット３０を切断するワ
イヤ列２０は、偏心回転するサポートローラ４６Ａ、４
６Ｂにガイドされながら走行している。そして、この偏
心回転するサポートローラ４６Ａ、４６Ｂにガイドされ
ることにより、ワイヤ列２０（固定砥粒付ワイヤ１２）
には上下方向に微小振動が与えられている。インゴット
３０は、この微小振動が与えられたワイヤ列２０によっ
て切断されており、この結果、次のような効果をもって
切断されることになる。
イヤ列２０は、偏心回転するサポートローラ４６Ａ、４
６Ｂにガイドされながら走行している。そして、この偏
心回転するサポートローラ４６Ａ、４６Ｂにガイドされ
ることにより、ワイヤ列２０（固定砥粒付ワイヤ１２）
には上下方向に微小振動が与えられている。インゴット
３０は、この微小振動が与えられたワイヤ列２０によっ
て切断されており、この結果、次のような効果をもって
切断されることになる。
【００１８】すなわち、固定砥粒付ワイヤ１２に微小振
動を与えることにより、固定砥粒付ワイヤ１２は、瞬時
的にインゴット３０と非接触な状態が生じる（分離現
象）。この結果、切断部への加工液の流入が促進されて
冷却作用が向上し、固定砥粒付ワイヤ１２の表面に固着
された砥粒の熱的磨耗が抑制される。また、固定砥粒付
ワイヤ１２に微小振動を与えることにより、切断部から
の切り屑の排出が促進され、固定砥粒付ワイヤ１２の表
面に生じる目詰まりが抑制される。
動を与えることにより、固定砥粒付ワイヤ１２は、瞬時
的にインゴット３０と非接触な状態が生じる（分離現
象）。この結果、切断部への加工液の流入が促進されて
冷却作用が向上し、固定砥粒付ワイヤ１２の表面に固着
された砥粒の熱的磨耗が抑制される。また、固定砥粒付
ワイヤ１２に微小振動を与えることにより、切断部から
の切り屑の排出が促進され、固定砥粒付ワイヤ１２の表
面に生じる目詰まりが抑制される。
【００１９】さらに、固定砥粒付ワイヤ１２には、無振
動切断時よりも大きな衝撃力がパルス的に連続して作用
するため、切断時に砥粒に付着した切り屑を除去するこ
ともできる。このように、固定砥粒付ワイヤ１２に微小
振動を与えることにより、固定砥粒付ワイヤ１２に生じ
る目詰まり等を効果的に防止しながらインゴット３０を
切断することができる。この結果、常に良好な切れ味の
状態でインゴット３０を切断することができるため、ウ
ェーハの切断精度が向上する。
動切断時よりも大きな衝撃力がパルス的に連続して作用
するため、切断時に砥粒に付着した切り屑を除去するこ
ともできる。このように、固定砥粒付ワイヤ１２に微小
振動を与えることにより、固定砥粒付ワイヤ１２に生じ
る目詰まり等を効果的に防止しながらインゴット３０を
切断することができる。この結果、常に良好な切れ味の
状態でインゴット３０を切断することができるため、ウ
ェーハの切断精度が向上する。
【００２０】次に、本発明に係る固定砥粒ワイヤソーの
第２の実施の形態について説明する。図５は、本発明に
係る固定砥粒ワイヤソーの第２の実施の形態の全体構成
図である。なお、上述した第１の実施の形態の固定砥粒
ワイヤソー１０と同一部材には、同一符号が付されてい
る。
第２の実施の形態について説明する。図５は、本発明に
係る固定砥粒ワイヤソーの第２の実施の形態の全体構成
図である。なお、上述した第１の実施の形態の固定砥粒
ワイヤソー１０と同一部材には、同一符号が付されてい
る。
【００２１】上述した第１の実施の形態の固定砥粒ワイ
ヤソー１０では、偏心回転するサポートローラ４６Ａ、
４６Ｂでワイヤ列２０をガイドすることにより、ワイヤ
列２０に微小振動を与えていた。第２の実施の形態の固
定砥粒ワイヤソー６０では、圧力が周期的に変動する圧
力流体をワイヤ列２０に噴射することにより、ワイヤ列
２０に微小振動を与える。具体的には、以下の構成であ
る。
ヤソー１０では、偏心回転するサポートローラ４６Ａ、
４６Ｂでワイヤ列２０をガイドすることにより、ワイヤ
列２０に微小振動を与えていた。第２の実施の形態の固
定砥粒ワイヤソー６０では、圧力が周期的に変動する圧
力流体をワイヤ列２０に噴射することにより、ワイヤ列
２０に微小振動を与える。具体的には、以下の構成であ
る。
【００２２】図５に示すように、ワイヤ列２０の上方に
は、インゴット３０を挟んで左右対称位置に一対の加工
液噴射ノズル６２Ａ、６２Ｂが設置されている。この一
対の加工液噴射ノズル６２Ａ、６２Ｂは、共に前記ワイ
ヤ列２０の幅よりもやや長めに形成されており、その下
部に形成された噴射口からワイヤ列２０に向けて加工液
を噴射する。
は、インゴット３０を挟んで左右対称位置に一対の加工
液噴射ノズル６２Ａ、６２Ｂが設置されている。この一
対の加工液噴射ノズル６２Ａ、６２Ｂは、共に前記ワイ
ヤ列２０の幅よりもやや長めに形成されており、その下
部に形成された噴射口からワイヤ列２０に向けて加工液
を噴射する。
【００２３】前記加工液噴射ノズル６２Ａ、６２Ｂから
噴射される加工液は、図示しない加工液供給装置から供
給される。そして、この加工液供給装置は、圧力が周期
的に変動する加工液を加工液噴射ノズル６２Ａ、６２Ｂ
に供給する。前記のごとく構成された第２の実施の形態
の固定砥粒ワイヤソー６０の作用は次の通りである。
噴射される加工液は、図示しない加工液供給装置から供
給される。そして、この加工液供給装置は、圧力が周期
的に変動する加工液を加工液噴射ノズル６２Ａ、６２Ｂ
に供給する。前記のごとく構成された第２の実施の形態
の固定砥粒ワイヤソー６０の作用は次の通りである。
【００２４】インゴット３０の切断中、ワイヤ列２０に
は加工液噴射ノズル６２Ａ、６２Ｂから加工液が噴射さ
れる。加工液が噴射されたワイヤ列２０は、その噴射時
の衝撃で微小振動を発生する。ここで、前記ワイヤ列２
０に噴射する加工液は、周期的に圧力が変動するため、
ワイヤ列２０には断続的に衝撃が与えられる。このた
め、ワイヤ列２０はインゴット３０の切断中継続的に微
小振動を起こす。
は加工液噴射ノズル６２Ａ、６２Ｂから加工液が噴射さ
れる。加工液が噴射されたワイヤ列２０は、その噴射時
の衝撃で微小振動を発生する。ここで、前記ワイヤ列２
０に噴射する加工液は、周期的に圧力が変動するため、
ワイヤ列２０には断続的に衝撃が与えられる。このた
め、ワイヤ列２０はインゴット３０の切断中継続的に微
小振動を起こす。
【００２５】したがって、本実施の形態においても、ワ
イヤ列２０を微小振動させながらインゴット３０を切断
することができ、第１の実施の形態の固定砥粒ワイヤソ
ー１０と同様の効果を得ることができる。なお、本実施
の形態では、ワイヤ列２０に供給する加工液の圧力を周
期的に変動させることにより、ワイヤ列２０に微小振動
を与えているが、この他に圧力が周期的に変動する圧縮
エア等、圧力が周期的に変化する流体（圧力が脈動する
流体）であれば同様の効果を得ることができる。
イヤ列２０を微小振動させながらインゴット３０を切断
することができ、第１の実施の形態の固定砥粒ワイヤソ
ー１０と同様の効果を得ることができる。なお、本実施
の形態では、ワイヤ列２０に供給する加工液の圧力を周
期的に変動させることにより、ワイヤ列２０に微小振動
を与えているが、この他に圧力が周期的に変動する圧縮
エア等、圧力が周期的に変化する流体（圧力が脈動する
流体）であれば同様の効果を得ることができる。
【００２６】また、圧力が周期的に変動する流体の他、
超音波振動を与えた液体をワイヤ列２０に供給しても、
同様にワイヤ列２０を微小振動させることができる。次
に、本発明に係る固定砥粒ワイヤソーの第３の実施の形
態について説明する。図６は、本発明に係る固定砥粒ワ
イヤソーの第３の実施の形態の全体構成図である。な
お、上述した第１の実施の形態の固定砥粒ワイヤソー１
０と同一部材には、同一符号が付されている。
超音波振動を与えた液体をワイヤ列２０に供給しても、
同様にワイヤ列２０を微小振動させることができる。次
に、本発明に係る固定砥粒ワイヤソーの第３の実施の形
態について説明する。図６は、本発明に係る固定砥粒ワ
イヤソーの第３の実施の形態の全体構成図である。な
お、上述した第１の実施の形態の固定砥粒ワイヤソー１
０と同一部材には、同一符号が付されている。
【００２７】上述した第１及び第２の実施の形態の固定
砥粒ワイヤソーでは、ワイヤ列２０側を微小振動させて
インゴット３０を切断していた。第３の実施の形態の固
定砥粒ワイヤソー７０では、インゴット３０側を微小振
動させて切断する。具体的には、以下の構成である。図
６に示すように、インゴット３０が装着されるマウンテ
ィングブロック４４の上部には振動ユニット７２が設置
されている。マウンティングブロック４４は、この振動
ユニット７２を介してワークフィードテーブル３２に固
定されている。
砥粒ワイヤソーでは、ワイヤ列２０側を微小振動させて
インゴット３０を切断していた。第３の実施の形態の固
定砥粒ワイヤソー７０では、インゴット３０側を微小振
動させて切断する。具体的には、以下の構成である。図
６に示すように、インゴット３０が装着されるマウンテ
ィングブロック４４の上部には振動ユニット７２が設置
されている。マウンティングブロック４４は、この振動
ユニット７２を介してワークフィードテーブル３２に固
定されている。
【００２８】前記振動ユニット７２の内部には、図７に
示すように、複数の圧電素子７４、７４、…が内蔵され
ている。圧電素子７４、７４、…は印加電圧に応じて上
下方向に伸張し、この結果、インゴット３０が上下方
向、すなわち、ワイヤ列２０に対して垂直な方向に進退
移動する。前記圧電素子７４、７４、…に印加する印加
電圧は制御装置７６に制御されており、該制御装置７６
は、圧電素子７４、７４、…に印加する電圧を制御し
て、インゴット３０に微小振動を与える。
示すように、複数の圧電素子７４、７４、…が内蔵され
ている。圧電素子７４、７４、…は印加電圧に応じて上
下方向に伸張し、この結果、インゴット３０が上下方
向、すなわち、ワイヤ列２０に対して垂直な方向に進退
移動する。前記圧電素子７４、７４、…に印加する印加
電圧は制御装置７６に制御されており、該制御装置７６
は、圧電素子７４、７４、…に印加する電圧を制御し
て、インゴット３０に微小振動を与える。
【００２９】前記のごとく構成された第３の実施の形態
の固定砥粒ワイヤソー７０の作用は次の通りである。上
述した第１の実施の形態の固定砥粒ワイヤソー１０と同
様に、インゴット３０は、走行するワイヤ列２０に押し
当てられることにより切断されるが、この際、インゴッ
ト３０は微小振動を与えられながら切断される。
の固定砥粒ワイヤソー７０の作用は次の通りである。上
述した第１の実施の形態の固定砥粒ワイヤソー１０と同
様に、インゴット３０は、走行するワイヤ列２０に押し
当てられることにより切断されるが、この際、インゴッ
ト３０は微小振動を与えられながら切断される。
【００３０】すなわち、インゴット３０の切断が開始さ
れると、振動ユニット７２の圧電素子７４、７４、…に
制御装置７６によって電圧値を制御された振動用電圧が
印加される。この振動用電圧が圧電素子７４に印加され
ると、圧電素子７４は上下方向に伸縮し、この結果、イ
ンゴット３０が上下方向に微小振動する。インゴット３
０は、この状態でワイヤ列２０に押し当てられ、微小振
動しながらワイヤ列２０に切断される。
れると、振動ユニット７２の圧電素子７４、７４、…に
制御装置７６によって電圧値を制御された振動用電圧が
印加される。この振動用電圧が圧電素子７４に印加され
ると、圧電素子７４は上下方向に伸縮し、この結果、イ
ンゴット３０が上下方向に微小振動する。インゴット３
０は、この状態でワイヤ列２０に押し当てられ、微小振
動しながらワイヤ列２０に切断される。
【００３１】上述した第１及び第２の実施の形態の固定
砥粒ワイヤソーでは、ワイヤ列２０側を微小振動させて
いたが、本実施の形態のようにインゴット３０側を微小
振動させても、上述した第１及び第２の実施の形態の固
定砥粒ワイヤソーと同様の効果を得ることができる。す
なわち、インゴット３０とワイヤ列２０との相互間に分
離現象が生じ、固定砥粒付ワイヤ１２に生じる目詰まり
等を効果的に防止しながらインゴット３０を切断するこ
とができる。
砥粒ワイヤソーでは、ワイヤ列２０側を微小振動させて
いたが、本実施の形態のようにインゴット３０側を微小
振動させても、上述した第１及び第２の実施の形態の固
定砥粒ワイヤソーと同様の効果を得ることができる。す
なわち、インゴット３０とワイヤ列２０との相互間に分
離現象が生じ、固定砥粒付ワイヤ１２に生じる目詰まり
等を効果的に防止しながらインゴット３０を切断するこ
とができる。
【００３２】なお、上述した第１〜第３の実施の形態で
は、ワイヤ列２０若しくはインゴット３０の一方を微小
振動させて、インゴット３０を切断するようにしている
が、ワイヤ列２０とインゴット３０の双方を微小振動さ
せて、インゴット３０を切断するようにしてもよい。ま
た、インゴット３０を揺動させながらワイヤ列２０に押
し付けて切断する固定砥粒ワイヤソーに本発明を適用し
ても同様の効果を得ることができる。
は、ワイヤ列２０若しくはインゴット３０の一方を微小
振動させて、インゴット３０を切断するようにしている
が、ワイヤ列２０とインゴット３０の双方を微小振動さ
せて、インゴット３０を切断するようにしてもよい。ま
た、インゴット３０を揺動させながらワイヤ列２０に押
し付けて切断する固定砥粒ワイヤソーに本発明を適用し
ても同様の効果を得ることができる。
【００３３】また、上述した第１〜第３の実施の形態で
は、一対のワーヤーリール間を走行する固定砥粒ワイヤ
ーを３本のグルーブローラに巻きかけてワイヤ列を形成
するタイプの固定砥粒ワイヤソーに本発明を適用した例
で説明したが、本発明は、この他、図８又は図９に示す
ような固定砥粒ワイヤソーにも同様に適用することがで
きる。
は、一対のワーヤーリール間を走行する固定砥粒ワイヤ
ーを３本のグルーブローラに巻きかけてワイヤ列を形成
するタイプの固定砥粒ワイヤソーに本発明を適用した例
で説明したが、本発明は、この他、図８又は図９に示す
ような固定砥粒ワイヤソーにも同様に適用することがで
きる。
【００３４】図８に示す固定砥粒ワイヤソー１６０は、
矩形状に形成されたフレーム１６２に固定砥粒付ワイヤ
１６４を一定間隔で張設してワイヤ列１６６を形成した
固定砥粒ワイヤソーである。ワイヤ列１６６は、このフ
レーム１６２を図示しない駆動手段でワイヤの張設方向
に沿って往復動させることにより走行する。図９に示す
固定砥粒ワイヤソー１７０は、一対のグルーブローラ１
７２、１７２に無端状に形成された固定砥粒付ワイヤ１
７４を巻きかけてワイヤ列１７６を形成した固定砥粒ワ
イヤソーである。ワイヤ列１７６は、このグルーブロー
ラ１７２を図示しないモータで回転させることにより、
一方向又は往復走行する。
矩形状に形成されたフレーム１６２に固定砥粒付ワイヤ
１６４を一定間隔で張設してワイヤ列１６６を形成した
固定砥粒ワイヤソーである。ワイヤ列１６６は、このフ
レーム１６２を図示しない駆動手段でワイヤの張設方向
に沿って往復動させることにより走行する。図９に示す
固定砥粒ワイヤソー１７０は、一対のグルーブローラ１
７２、１７２に無端状に形成された固定砥粒付ワイヤ１
７４を巻きかけてワイヤ列１７６を形成した固定砥粒ワ
イヤソーである。ワイヤ列１７６は、このグルーブロー
ラ１７２を図示しないモータで回転させることにより、
一方向又は往復走行する。
【００３５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ワイヤ列又は被加工物に微小振動を与えながら被加工物
を切断することにより、固定砥粒付ワイヤに生じる目詰
まり等を効果的に防止することができる。この結果、良
好な切れ味の状態を長時間維持することができ、切断精
度が向上する。また、固定砥粒付ワイヤの寿命も延び
る。
ワイヤ列又は被加工物に微小振動を与えながら被加工物
を切断することにより、固定砥粒付ワイヤに生じる目詰
まり等を効果的に防止することができる。この結果、良
好な切れ味の状態を長時間維持することができ、切断精
度が向上する。また、固定砥粒付ワイヤの寿命も延び
る。
【図１】本発明に係る固定砥粒ワイヤソーの第１の実施
の形態の全体構成図
の形態の全体構成図
【図２】本発明に係る固定砥粒ワイヤソーの第１の実施
の形態の要部平面図
の形態の要部平面図
【図３】サポートローラの構成を示す部分拡大正面図
【図４】図３のＡ−Ａ断面図
【図５】本発明に係る固定砥粒ワイヤソーの第２の実施
の形態の全体構成図
の形態の全体構成図
【図６】本発明に係る固定砥粒ワイヤソーの第３の実施
の形態の全体構成図
の形態の全体構成図
【図７】本発明に係る固定砥粒ワイヤソーの第３の実施
の形態の要部正面図
の形態の要部正面図
【図８】他の実施の形態の固定砥粒ワイヤソーの構成を
示す斜視図
示す斜視図
【図９】他の実施の形態の固定砥粒ワイヤソーの構成を
示す斜視図
示す斜視図
１０、６０、７０…固定砥粒ワイヤソー １２…固定砥粒付ワイヤ １４Ａ、１４Ｂ…ワイヤリール １８Ａ〜１８Ｃ…グルーブローラ ２０…ワイヤ列 ３０…インゴット ３４…ワーク送り装置 ４６Ａ、４６Ｂ…サポートローラ ６２Ａ、６２Ｂ…加工液噴射ノズル ７２…振動ユニット ７４…圧電素子 ７６…制御装置
Claims (5)
- 【請求項１】 表面に砥粒が固着された固定砥粒付ワイ
ヤでワイヤ列を形成するとともに、該ワイヤ列を走行さ
せ、その走行するワイヤ列に被加工物を押し当てること
により、該被加工物を多数のウェーハに切断する固定砥
粒ワイヤソーの被加工物切断方法において、 前記ワイヤ列又は前記被加工物の少なくとも一方を微小
振動させながら、前記被加工物を切断することを特徴と
する固定砥粒ワイヤソーの被加工物切断方法。 - 【請求項２】 表面に砥粒が固着された固定砥粒付ワイ
ヤでワイヤ列を形成するとともに、該ワイヤ列を走行さ
せ、その走行するワイヤ列に被加工物を押し当てること
により、該被加工物を多数のウェーハに切断する固定砥
粒ワイヤソーにおいて、 前記ワイヤ列又は前記被加工物の少なくとも一方に微小
振動を与える振動手段を設けたことを特徴とする固定砥
粒ワイヤソー。 - 【請求項３】 前記振動手段は、前記ワイヤ列に押圧当
接されワイヤ列の走行をガイドするサポートローラであ
り、該サポートローラの軸心を微小量偏心させて回動自
在に支持することにより、前記ワイヤ列に微小振動を与
えることを特徴とする請求項２記載の固定砥粒ワイヤソ
ー。 - 【請求項４】 前記振動手段は、前記ワイヤ列に向けて
流体を噴射する流体噴射手段であり、該流体噴射手段か
ら噴射する流体の圧力を周期的に変動させることによ
り、前記ワイヤ列に微小振動を与えることを特徴とする
請求項２記載の固定砥粒ワイヤソー。 - 【請求項５】 前記振動手段は、前記被加工物の保持部
に設けられた圧電素子であり、該圧電素子に振動電圧を
印加することにより、前記被加工物に微小振動を与える
ことを特徴とする請求項２記載の固定砥粒ワイヤソー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24132597A JPH1177510A (ja) | 1997-09-05 | 1997-09-05 | 固定砥粒ワイヤソー及びその被加工物切断方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24132597A JPH1177510A (ja) | 1997-09-05 | 1997-09-05 | 固定砥粒ワイヤソー及びその被加工物切断方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1177510A true JPH1177510A (ja) | 1999-03-23 |
Family
ID=17072625
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24132597A Pending JPH1177510A (ja) | 1997-09-05 | 1997-09-05 | 固定砥粒ワイヤソー及びその被加工物切断方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1177510A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006346848A (ja) * | 2005-06-17 | 2006-12-28 | Kazumasa Onishi | 超音波ワイヤソー装置 |
| CN102079113A (zh) * | 2010-11-25 | 2011-06-01 | 保定天威英利新能源有限公司 | 解决硅锭破方质量问题的设备和方法 |
| WO2012133532A1 (ja) * | 2011-03-30 | 2012-10-04 | コマツＮｔｃ 株式会社 | ワイヤソー及びワイヤソーにおけるローラ位置合わせ方法 |
| CN102717446A (zh) * | 2012-07-13 | 2012-10-10 | 上海日进机床有限公司 | 四辊蓝宝石切片机 |
| CN102744794A (zh) * | 2011-04-01 | 2012-10-24 | 江苏省惠山中等专业学校 | 一种双片独立式的导线轮 |
| CN103042613A (zh) * | 2011-10-13 | 2013-04-17 | 太阳世界创新有限公司 | 锯线引导辊 |
-
1997
- 1997-09-05 JP JP24132597A patent/JPH1177510A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006346848A (ja) * | 2005-06-17 | 2006-12-28 | Kazumasa Onishi | 超音波ワイヤソー装置 |
| CN102079113A (zh) * | 2010-11-25 | 2011-06-01 | 保定天威英利新能源有限公司 | 解决硅锭破方质量问题的设备和方法 |
| WO2012133532A1 (ja) * | 2011-03-30 | 2012-10-04 | コマツＮｔｃ 株式会社 | ワイヤソー及びワイヤソーにおけるローラ位置合わせ方法 |
| JP2012206224A (ja) * | 2011-03-30 | 2012-10-25 | Komatsu Ntc Ltd | ワイヤソー及びワイヤソーにおけるローラ位置合わせ方法 |
| KR20140005973A (ko) * | 2011-03-30 | 2014-01-15 | 코마츠 엔티씨 가부시끼가이샤 | 와이어 소 및 와이어 소에 있어서의 롤러 위치 맞춤 방법 |
| CN102744794A (zh) * | 2011-04-01 | 2012-10-24 | 江苏省惠山中等专业学校 | 一种双片独立式的导线轮 |
| CN103042613A (zh) * | 2011-10-13 | 2013-04-17 | 太阳世界创新有限公司 | 锯线引导辊 |
| CN102717446A (zh) * | 2012-07-13 | 2012-10-10 | 上海日进机床有限公司 | 四辊蓝宝石切片机 |
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