WO2012133532A1 - ワイヤソー及びワイヤソーにおけるローラ位置合わせ方法 - Google Patents

ワイヤソー及びワイヤソーにおけるローラ位置合わせ方法 Download PDF

Info

Publication number
WO2012133532A1
WO2012133532A1 PCT/JP2012/058144 JP2012058144W WO2012133532A1 WO 2012133532 A1 WO2012133532 A1 WO 2012133532A1 JP 2012058144 W JP2012058144 W JP 2012058144W WO 2012133532 A1 WO2012133532 A1 WO 2012133532A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
roller
wire
dancer
rollers
traverse
Prior art date
Application number
PCT/JP2012/058144
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
孝夫 姫野
啓 谷崎
晶寛 松田
知之 河津
Original Assignee
コマツＮｔｃ 株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by コマツＮｔｃ 株式会社 filed Critical コマツＮｔｃ 株式会社
Priority to KR1020137021531A priority Critical patent/KR101884253B1/ko
Priority to CN201280007331.7A priority patent/CN103347651B/zh
Publication of WO2012133532A1 publication Critical patent/WO2012133532A1/ja

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/04—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/04—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools
    • B28D5/045—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools by cutting with wires or closed-loop blades
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
    • B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
    • B23D57/0061—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of devices for guiding or feeding saw wires
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B27/00—Other grinding machines or devices
    • B24B27/06—Grinders for cutting-off

Definitions

  • the present invention relates to a wire saw that cuts a workpiece made of a brittle material such as a semiconductor material or ceramic with a wire, and a method of aligning a roller in the wire saw.
  • the dancer roller adjusts the tension of the wire by moving in parallel in a plane passing through a circumferential groove provided on the dancer roller. Therefore, when the wire is not stretched so as to extend in the plane, the wire is twisted by the movement of the dancer roller, and as a result, the above-described problems such as a decrease in workpiece machining accuracy are likely to occur.
  • a guide roller is provided between the dancer roller and the traverse roller, and a plurality of guide rollers are also provided between the dancer roller and the main roller. Therefore, also in the case of the wire saws of Patent Document 3 and Patent Document 4, as in the case of the wire saw of Patent Document 2, the position adjustment between the rollers is complicated and it is difficult to accurately center the rollers. It is not easy to eliminate the twist of the wire.
  • the present invention has been made paying attention to such problems existing in the prior art.
  • the object of the present invention is to reduce the number of rollers for guiding the wire provided in the wire travel path between the bobbin and the main roller as much as possible, thereby making it possible to easily adjust the positions of these rollers, As a result, it is an object of the present invention to provide a wire saw that can suppress the occurrence of wire twisting that causes wire breakage and a decrease in workpiece machining accuracy, and a roller alignment method for the wire saw.
  • a plurality of main rollers having axes parallel to each other and a wire fed from one bobbin are wound around the main rollers to be attached to the other bobbin.
  • a wire saw having a pair of bobbins to be wound is provided.
  • a traverse roller capable of traversing along the axis of the bobbin between the bobbin and a guide roller for guiding the wire is disposed between the dancer roller and the main roller.
  • the traverse roller, dancer roller, and guide roller in each wire travel path have a positional relationship such that the portion of the wire that travels between the traverse roller, the dancer roller, and the guide roller is positioned on one plane.
  • one guide roller is disposed between the dancer roller and the main roller in each wire travel path, and no guide roller is disposed between the dancer roller and the bobbin, and only the traverse roller is disposed. Has been.
  • the wire saw of the present invention the wire travels in one plane from the traverse roller through the dancer roller to the guide roller in each wire travel path. For this reason, the operation
  • the main roller and the guide roller are preferably disposed in a processing area defined in a wire saw apparatus frame, and the dancer roller, traverse roller, and bobbin are disposed outside the processing area in the apparatus frame. It is preferable to arrange in.
  • a portion of the wire extending from the dancer roller to the traverse roller out of the bottom portion of the circumferential groove provided in the dancer roller of each wire travel path and the bottom of the peripheral groove provided in the traverse roller of the same wire travel path includes Both the point that is initially applied to the traverse roller and the point that the portion of the wire extending from the dancer roller to the guide roller among the bottoms of the circumferential grooves provided on the guide roller in the same wire travel path is applied to the guide roller first are the same plane. It is preferable to be located above.
  • At least one rotation surface of the traverse roller and the guide roller in each wire travel path has an angle other than a right angle with respect to the rotation surface of the dancer roller in the same wire travel path.
  • the rotation surfaces of the traverse roller, the dancer roller, and the guide roller in each wire travel path have different directions.
  • the bottom of the circumferential groove provided on the dancer roller of each wire travel path is the same as the bottom of the circumferential groove provided on the traverse roller of the same wire travel path and the same wire travel when the dancer roller is at the origin position. It is preferable to be positioned so as to overlap with the bottom of the circumferential groove provided in the guide roller of the path in the wire traveling direction.
  • the direction in which the wire travels between the traverse roller and the dancer roller in each wire travel path is parallel to the direction in which the wire travels between the dancer roller and the guide roller in the same wire travel path. Preferably there is.
  • the traverse roller of each wire travel path can swing around the position of the point where the wire portion extending from the dancer roller to the traverse roller on the same wire travel path first hits the traverse roller. Is preferred.
  • the guide roller of each wire travel path can be adjusted in angle around the position of the point where the wire portion extending from the dancer roller to the guide roller of the same wire travel path first hits the guide roller. Is preferred.
  • the axes of the pair of bobbins are horizontal and parallel to each other and further parallel to the axis of the main roller, and the dancer roller is capable of lateral movement.
  • the pair of bobbins are arranged in the vertical direction, and the two wire traveling paths between the bobbins and the main roller are also aligned in the vertical direction.
  • the position of the guide roller can be adjusted along the length direction of the main roller.
  • a roller alignment method in the wire saw having the above-described configuration.
  • this method at least one of the traverse roller and the guide roller in the same wire traveling path is seen through the dancer roller in each wire traveling path, and the rollers are aligned.
  • the present invention it is possible to prevent the wire from being twisted in the wire travel path between the bobbin and the main roller, improve the work processing accuracy, prevent the wire from being cut, and diamond abrasive grains. The effect of preventing the falling off of is obtained.
  • the right view of the wire saw of FIG. The perspective view of the wire saw of FIG. (A) is a right side view of the main part of the wire saw in FIG. 1 showing the positional relationship between the dancer roller and the other rollers in one wire travel path, and (b) is the relationship between the dancer roller and the other rollers in the other wire travel path.
  • the principal part right-side view of the wire saw of FIG. 1 which shows positional relationship.
  • FIG. 6 is a right side view of a main part of the swing configuration of the traverse roller of FIG. 5.
  • the principal part top view which shows the angle adjustment structure of the guide roller in the wire saw of FIG. The front view which shows the wire saw of 2nd Embodiment of this invention.
  • (A) is an enlarged right side view of the main part of the wire saw in FIG. 8 showing the positional relationship between the dancer roller and the other rollers in one wire travel path, and (b) is the dancer roller and the other rollers in the other wire travel path.
  • the principal part expansion right view of the wire saw of FIG. 8 which shows the positional relationship of FIG.
  • (A) is an enlarged right side view of the main part of the wire saw in FIG.
  • FIG. 11 showing the positional relationship between the dancer roller and the other rollers in one wire travel path, and (b) is the dancer roller and the other rollers in the other wire travel path.
  • the principal part expansion right view of the wire saw of FIG. 11 which shows the positional relationship of FIG.
  • the inside of the wire saw device frame 51 is partitioned into a processing area 53 and a bobbin side area 54 by a partition wall 52.
  • a pair of bobbins 12A and 12B around which both ends of the wire 11 are wound are arranged.
  • the bobbins 12A and 12B are rotatably supported by the device frame 51 with an interval in the vertical direction.
  • the rotation axes of the bobbins 12A and 12B are horizontal and parallel to each other.
  • a plurality of (in this embodiment, a pair) main rollers 13A and 13B supported at intervals in the horizontal direction are arranged.
  • the rotation axes of the main rollers 13A and 13B are horizontal and parallel to each other.
  • the rotation axes of the main rollers 13A and 13B are parallel to the rotation axes of the bobbins 12A and 12B.
  • annular grooves 13a are formed at a constant pitch on the outer peripheral surface of each of the main rollers 13A and 13B. Between the main rollers 13A and 13B, a portion of the wire 11 extending from the bobbins 12A and 12B is wound along each annular groove 13a.
  • a saddle (not shown) is disposed above and below the wire 11 between the main rollers 13A and 13B so as to be movable up and down.
  • a work W adhered to the support plate 14 is detachably mounted on the lower surface of the saddle.
  • a pair of dancer arms 15A and 15B extending in the vertical direction are supported on the device frame 51 via actuators 31, respectively.
  • the dancer arms 15A and 15B can swing in a vertical plane.
  • Dancer rollers 16A and 16B are rotatably supported in the vertical plane at the tip ends of the dancer arms 15A and 15B.
  • the portions of the wire 11 extending from the bobbins 12A and 12B to the main rollers 13A and 13B are wound around the dancer rollers 16A and 16B, respectively.
  • Rotating traverse rollers 17A and 17B are arranged in the vicinity of the bobbins 12A and 12B.
  • the traverse rollers 17A and 17B are wound with portions of the wire 11 extending from the bobbins 12A and 12B to the dancer rollers 16A and 16B, respectively.
  • the traverse rollers 17A and 17B can be traversed along the axial direction of the bobbins 12A and 12B by driving means (not shown).
  • the processing area 53 is provided with guide rollers 18A and 18B rotatably supported by the apparatus frame 51 in the vicinity of the main rollers 13A and 13B.
  • the portions of the wire 11 extending from the dancer rollers 16A and 16B to the main rollers 13A and 13B are wound around the guide rollers 18A and 18B, respectively.
  • the portion of the wire 11 that travels between the traverse roller 17A and the guide roller 18A is positioned in one plane, and the traverse roller 17B and the guide roller
  • the positional relationship between the traverse rollers 17A and 17B, the dancer rollers 16A and 16B, and the guide rollers 18A and 18B is set so that the portion of the wire 11 that travels between the rollers 18B and 18B is positioned in the same or another plane.
  • the wire portion 11a from the traverse rollers 17A, 17B to the dancer rollers 16A, 16B and the wire portion 11b from the dancer rollers 16A, 16B to the guide rollers 18A, 18B are parallel to each other.
  • the direction in which the wire 11 travels between the traverse roller 17A and the dancer roller 16A and the direction in which the wire 11 travels between the dancer roller 16A and the guide roller 18A are parallel to each other.
  • the direction in which the wire 11 travels between the traverse roller 17B and the dancer roller 16B and the direction in which the wire 11 travels between the dancer roller 16B and the guide roller 18B are parallel to each other.
  • Traverse rollers 17A and 17B, dancer rollers 16A and 16B, and guide rollers 18A and 18B are arranged so as to coincide on the same plane.
  • the bottom of the circumferential groove 17a of the traverse roller 17A and the bottom of the circumferential groove 18a of the guide roller 18A are in contact with a plane including the bottom of the circumferential groove 16a of the dancer roller 16A.
  • the bottom of the circumferential groove 17b of the traverse roller 17B and the bottom of the circumferential groove 18b of the guide roller 18B are in contact with a plane including the bottom of the circumferential groove 16b of the dancer roller 16B.
  • the portion of the wire 11 extending from the dancer rollers 16A, 16B to the traverse rollers 17A, 17B is first applied to the traverse rollers 17A, 17B, and the portion of the wire 11 extending from the dancer rollers 16A, 16B to the guide rollers 18A, 18B is the guide roller.
  • Both of the first points applied to 18A and 18B are located in the planes including the bottoms of the circumferential grooves 16a and 16b of the dancer rollers 16A and 16B, respectively. Further, as shown in FIG.
  • angles R1a and R1b formed by the rotation surfaces of the dancer rollers 16A and 16B and the rotation surfaces of the traverse rollers 17A and 17B, the rotation surfaces of the dancer rollers 16A and 16B, and the rotation surfaces of the guide rollers 18A and 18B are not a right angle but an obtuse or acute angle.
  • the traverse roller 17A has the same configuration as the traverse roller 17A shown in FIGS.
  • Each of the traverse rollers 17A and 17B is provided so as to be able to swing around a position of a point 17P where the portion of the wire 11 extending from the dancer rollers 16A and 16B to the traverse rollers 17A and 17B is first applied to the traverse rollers 17A and 17B.
  • the support lever 20 that rotatably supports the traverse rollers 17A and 17B is fixed to the swing shaft 21, and the point 17P is located on the extension line C1 of the axis of the swing shaft 21. Therefore, as shown in FIG. 6, the traverse rollers 17A and 17B can swing around a point 17P according to a change in the amount of the wire 11 wound around the bobbins 12A and 12B.
  • FIG. 7 shows the configuration of the guide roller 18A.
  • the guide roller 18B has the same configuration as the guide roller 18A shown in FIG.
  • a pair of rails 32 extending in parallel with the axes of the main rollers 13A and 13B are fixed to the device frame 51, and a support base 36 is supported on each rail 32 so as to be movable along the direction in which the rails 32 extend. Yes.
  • the support base 36 can be fixed at an arbitrary movement position by fixing means (not shown).
  • a support lever 33 that rotatably supports the guide rollers 18A and 18B is fixed to a swing shaft 34.
  • the swing shaft 34 is rotatably supported by a support base 36.
  • the point 18P where the portion of the wire 11 extending from the dancer rollers 16A, 16B to the guide rollers 18A, 18B first hits the guide rollers 18A, 18B is located on the extension line C2 of the axis of the swing shaft 34.
  • the swing shaft 34 can be fixed at an arbitrary rotational position by tightening a fixing screw 35. Accordingly, the guide rollers 18A and 18B can be adjusted in angle around the point 18P.
  • the guide rollers 18A and 18B are moved along the rails 32.
  • the positions of the guide rollers 18A and 18B are adjusted.
  • the guide rollers 18A, 18B are directed so as to be directed in the tangential direction of the annular groove 13a by swinging the guide rollers 18A, 18B around the point 18P. An angle adjustment of 18B is performed.
  • an opening 57 that is opened and closed by a door 56 is formed in the side wall 55 of the bobbin side area 54 of the apparatus frame 51.
  • An opening 58 is formed in the partition wall 52, and the opening 58 is closed by a closing plate 59 having a slit (not shown). The wire 11 travels through the slit.
  • the dancer roller 16A, the traverse roller 17A, and the guide roller 18A are provided in the wire travel path between the bobbin 12A and the main rollers 13A, 13B, and the dancer roller 16B, traverse The roller 17B and the guide roller 18B are provided in a wire travel path between the bobbin 12B and the main rollers 13A and 13B.
  • the wire portions 11b that run between the dancer rollers 16A and 16B and the guide rollers 18A and 18B out of the bottoms of the circumferential grooves 16a and 16b of the dancer rollers 16A and 16B are initially engaged, and the guide rollers Of the bottoms of the circumferential grooves 18a and 18b of 18A and 18B, the same wire portion 11b is guided by the guide rod.
  • La 18A, and 18P initially applied that the 18B is to match as viewed from the running direction of the wire portion 11b, the centering of the rollers 16A ⁇ 18B are performed.
  • optical detection devices 19A and 19B can be used for centering the rollers 16A to 18B.
  • Each of the optical detection devices 19A and 19B includes cameras 19a and 19b, and the positions of the bottom portions of the circumferential grooves 16a to 18b of the rollers 16A to 18B may be imaged and confirmed by the cameras 19a and 19b.
  • the positions or angles of the rollers 16A to 18B are adjusted based on the confirmed positions of the bottoms so that the circumferential grooves 16a to 18b are shown in FIG.
  • the rollers 16A to 18B are centered by making a predetermined arrangement as shown in FIG. 4 (a) and FIG. 4 (b).
  • the wire 11 is wound around each roller.
  • the wire 11 is fed out from one bobbin 12A or 12B, and is placed on the main rollers 13A and 13B via one traverse roller 17A or 17B, dancer roller 16A or 16B, and guide roller 18A or 18B. After being guided, the wire 11 travels between the main rollers 13A and 13B.
  • the wire 11 may be continuously run in one direction, or may be sent in one direction as a total while reciprocating.
  • the wire 11 fed out from the main rollers 13A and 13B is wound around the other bobbin 12B or 12A via the other guide roller 18B or 18A, the dancer roller 16B or 16A, and the traverse roller 17B or 17A.
  • the travel of the wire 11 is guided between the bobbins 12A and 12B and the main rollers 13A and 13B by the traverse rollers 17A and 17B, the dancer rollers 16A and 16B, and the guide rollers 18A and 18B.
  • the circumferential grooves 16a to 18b of the rollers 16A to 18B have a predetermined arrangement as shown in FIGS. 4A and 4B when viewed from the wire traveling direction. Therefore, the wire 11 travels in the same plane between the dancer rollers 16A and 16B and the traverse rollers 17A and 17B and between the dancer rollers 16A and 16B and the guide rollers 18A and 18B.
  • the wire 11 travels between the traverse rollers 17A and 17B and the guide rollers 18A and 18B within the rotation surface of the dancer rollers 16A and 16B. Accordingly, it is possible to prevent the wire 11 from being twisted in the wire travel path between the bobbins 12A and 12B and the main rollers 13A and 13B.
  • the workpiece W is pressed against the wire 11 between the main rollers 13A and 13B while supplying the slurry containing abrasive grains to the workpiece W. Can be cut with high accuracy.
  • the wire 11 is a type that holds diamond abrasive grains, it is not necessary to supply slurry.
  • the portion of the wire 11 that travels between the traverse rollers 17A and 17B and the guide rollers 18A and 18B is positioned on one plane. For this reason, it can suppress that the wire 11 twists between the bobbins 12A and 12B and the main rollers 13A and 13B. As a result, it is possible to improve the machining accuracy of the workpiece W and prevent the wire 11 from being disconnected. Further, by suppressing the twist of the wire 11, when the wire 11 is a type that holds diamond abrasive grains, it is possible to prevent the diamond abrasive grains from falling off the wire 11.
  • the bottoms of the circumferential grooves 16a and 16b of the dancer rollers 16A and 16B are the bottoms of the circumferential grooves 17a and 17b of the traverse rollers 17A and 17B when viewed from the traveling direction of the wire portions 11a and 11b.
  • the bottoms of the circumferential grooves 18a and 18b of the guide rollers 18A and 18B respectively coincide with each other on the same plane. Accordingly, the positions of the wire portions 11a and 11b and the positions of the rollers 16A, 16B, 17A, 17B, 18A, and 18B are appropriately determined by visual observation and the cameras 19a and 19b, and the rollers 16A to 18B are centered in one direction. Can be easily executed at once.
  • the wire portions 11a and 11b are parallel to each other. Therefore, it can be confirmed from one direction whether or not the point 17P on the traverse rollers 17A and 17B and the point 18P on the guide rollers 18A and 18B are aligned with the bottoms of the circumferential grooves 16a and 16b of the dancer rollers 16A and 16B. For example, it is possible to determine whether the centering of the three rollers 16A to 18A or 16B to 18B is accurate. In addition, it is also advantageous in this confirmation that there is no need to change the viewing angle by visual observation or the cameras 19a and 19b, and that there are few viewing points.
  • the wire 11 traveling between the bobbins 12A, 12B and the main rollers 13A, 13B is the minimum required traverse rollers 17A, 17B, dancer rollers 16A, 16B, and guide rollers 18A, 18B. Guided by a limited number of rollers. For this reason, the influence of the inertia which acts on a wire with a roller can be reduced, and the unnecessary load which acts on a wire can be reduced. And since there are few positions where the running direction of the wire 11 is changed with a roller, it can suppress that the wire 11 is twisted by a roller. As a result, it is possible to improve the processing accuracy and processing efficiency of the workpiece W, and further prevent wire breakage and diamond abrasive grains from falling off.
  • the angles R2a and R2b formed with the surface are not obtuse angles but obtuse or acute angles. For this reason, the torque acting on the wire 11 in the twisting direction is reduced. Thereby, since the twist of the wire 11 is suppressed more effectively, it is possible to further improve the processing accuracy of the workpiece W and further prevent the wire breakage and the diamond abrasive grains from falling off.
  • the traverse rollers 17A and 17B are centered on the point 17P where the portion of the wire 11 extending from the dancer rollers 16A and 16B to the traverse rollers 17A and 17B is first applied to the traverse rollers 17A and 17B. It can swing. For this reason, the traverse rollers 17A and 17B can swing according to a change in the amount of the wire 11 wound around the bobbins 12A and 12B. Further, even if the traverse rollers 17A and 17B swing, there is no deviation between the traverse rollers 17A and 17B and the guide rollers 18A and 18B that cause the wire 11 to be twisted.
  • the wire saw of the second embodiment is different from that of the first embodiment in that bobbins 12A and 12B and traverse rollers 17A and 17B are arranged so that the wire portion 11a is not parallel to the wire portion 11b. Different from wire saw. However, the point that the wire portion 11a and the wire portion 11b are respectively located in the same plane is the same as the wire saw of the first embodiment. Since the wire part 11a is not parallel to the wire part 11b, as shown in FIGS. 9A and 9B, the point 17P on the circumferential groove 17a of the traverse rollers 17A and 17B is an extension of the wire part 11b. When viewed from the direction, the dancer rollers 16A and 16B are separated from the circumferential groove 16a.
  • the traverse rollers 17A and 17B and the guide rollers 18A and 18A are passed from the opening 57 provided in the side wall 55 of the apparatus frame 51 through the dancer rollers 16A and 16B.
  • the rollers 16A to 18B are centered.
  • the point 17P on the traverse rollers 17A and 17B and the point 18P on the guide rollers 18A and 18B are arranged as predetermined with respect to the dancer rollers 16A and 16B.
  • the wire saw according to the third embodiment is different from the wire saw according to the first embodiment in that the bobbins 12A and 12B are arranged not vertically but vertically. That is, the rotation axes of the bobbins 12A and 12B extend vertically rather than horizontally.
  • the wire saw of the first embodiment is also different in that dancer arms 15A and 15B that support the dancer rollers 16A and 16B are arranged above the bobbins 12A and 12B.
  • the origin positions of the dancer arms 15A and 15B, that is, the neutral position of the swing range are positions where the dancer arms 15A and 15B extend in the horizontal direction.
  • the wire portion 11a and the wire portion 11b are located in the same plane.
  • the wire portion 11a between the traverse roller 17B and the dancer roller 16B and the wire portion 11b between the dancer roller 16B and the guide roller 18B are located in the same plane.
  • the wire portion 11b may be parallel to the wire portion 11a as shown by a solid line in FIG. 10, or may not be parallel to the wire portion 11a as shown by a two-dot chain line in FIG.
  • the rollers 16A to 18B are centered by looking at the traverse rollers 17A and 17B and the guide rollers 18A and 18B from above through the dancer rollers 16A and 16B.
  • FIG. 11 is a plan view showing the wire saw according to the fourth embodiment.
  • the wire saw according to the fourth embodiment is different in that bobbins 12A and 12B are arranged at intervals in the horizontal direction. Different from the wire saw of one embodiment.
  • the rotation axes of the bobbins 12A and 12B are horizontal and parallel to each other, and extend in the left-right direction of the device frame 51.
  • the main rollers 13A and 13B are located between the bobbins 12A and 12B with respect to the longitudinal direction of the apparatus frame 51.
  • the dancer arms 15A and 15B that support the dancer rollers 16A and 16B can swing in a horizontal plane.
  • the origin positions of the dancer arms 15A and 15B are parallel to the axes of the bobbins 12A and 12B and the axes of the main rollers 13A and 13B.
  • the wire portion 11a between the traverse roller 17A and the dancer roller 16A and the wire portion 11b between the dancer roller 16A and the guide roller 18A are arranged in parallel in a horizontal plane.
  • the wire portion 11a between the traverse roller 17B and the dancer roller 16B and the wire portion 11b between the dancer roller 16B and the guide roller 18B are arranged in parallel in the same or different horizontal planes. As shown in FIGS.
  • the rotating surfaces of the dancer rollers 16A and 16B are horizontal, and the rotating surfaces of the traverse rollers 17A and 17B and the rotating surfaces of the guide rollers 18A and 18B are the dancer rollers 16A and 16B. It is inclined with respect to the rotation plane.
  • the point 17P on the traverse rollers 17A and 17B and the point 18P on the guide rollers 18A and 18B are arranged at the bottoms of the circumferential grooves 16a and 16b of the dancer rollers 16A and 16B. By looking at the same height from one direction, it can be determined whether or not the arrangement of the six rollers 16A to 18B is appropriate.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
  • Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)

Abstract

　ワイヤソーは、一対のボビン（１２Ａ，１２Ｂ）とメインローラ（１３Ａ，１３Ｂ）とを備える。一方のボビン（１２Ａ又は１２Ｂ）とメインローラ（１３Ａ，１３Ｂ）との間のワイヤ走行経路並びにもう一方のボビン（１２Ｂ又は１２Ａ）とメインローラ（１３Ａ，１３Ｂ）との間のワイヤ走行経路にはそれぞれ、ダンサローラ（１６Ａ又は１６Ｂ）、トラバースローラ（１７Ａ又は１７Ｂ）、及びガイドローラ（１８Ａ又は１８Ｂ）が配置されている。各ワイヤ走行経路のトラバースローラ（１７Ａ又は１７Ｂ）、ダンサローラ（１６Ａ又は１６Ｂ）及びガイドローラ（１８Ａ又は１８Ｂ）は、トラバースローラ（１７Ａ又は１７Ｂ）とダンサローラ（１６Ａ又は１６Ｂ）とガイドローラ（１８Ａ又は１８Ｂ）との間を走行するワイヤ（１１）の部分が一平面上に位置するような位置関係を有する。

Description

ワイヤソー及びワイヤソーにおけるローラ位置合わせ方法
　本発明は、例えば半導体材料やセラミックス等の脆性材料よりなるワークをワイヤにより切断するワイヤソーと、そのワイヤソーにおけるローラを位置合わせする方法とに関するものである。
　従来、この種のワイヤソーとしては、例えば特許文献１～特許文献４に開示されるような構成が提案されている。これらの従来構成のワイヤソーには、ワイヤが巻き付けられる一対のボビンと、両ボビン間においてワイヤが巻架される複数のメインローラとが設けられている。一方のボビンとメインローラとの間のワイヤ走行経路並びにもう一方のボビンとメインローラとの間のワイヤ走行経路にはそれぞれ、ボビンの軸線方向に沿ってトラバース可能なトラバースローラ、ワイヤの張力を調整するダンサローラ、ワイヤをガイドするための複数のガイドローラが設けられている。そして、ワイヤを走行させた状態で、メインローラ間のワイヤに対してワークを押し付けることにより、ワークの切断加工は行われる。
特開平１１－３４８０２９号公報 特開２００１－２５９５５号公報 特開２００５－１８６２２２号公報 特開２０００－６１８０９号公報
　ところで、この種のワイヤソーにおいては、複数のガイドローラの取付け時、ガイドローラによってガイドされるワイヤが各ガイドローラに設けられた周溝の中心を通るように、ガイドローラ間の心出し（位置調節）が行われる。しかし、ガイドローラの位置でワイヤの走行方向が変更されるため、ガイドローラの数が多くなるほど、異なる方向に走行するワイヤ部分の数が多くなって心出し作業は困難で多くの時間を要することになる。また、正確な心出しが難しくなることにより、ガイドローラ間のずれが原因で走行するワイヤに捩れが発生してしまうおそれがある。ワイヤに捩れが発生した場合には、ワーク加工精度が低下したり、ワイヤが断線したりするおそれがある。また、ワイヤがダイヤモンド砥粒を保持したタイプの場合にはワイヤからのダイヤモンド砥粒の脱落を招くおそれもある。
　前記ダンサローラは、ダンサローラに設けられた周溝を通る面内を平行に移動することによって、ワイヤの張力を調整する。従って、前記面内を延びるようにワイヤが張設されていない場合は、ダンサローラの移動によってワイヤに捩れが生じ、その結果、ワーク加工精度の低下等の前述した問題が生じやすい。
　特許文献１に記載のワイヤソーにおいては、ワイヤ走行経路に多数のガイドローラが設けられている。そして、ワイヤの偏磨耗を防止するためにガイドローラ間でワイヤを積極的に捩れさせるようにしている。そのため、ワイヤの断線等の前述した問題が生じやすい。
　特許文献２に記載のワイヤソーにおいては、ダンサローラとトラバースローラとの間やダンサローラとメインローラとの間に複数のガイドローラが設けられるとともに、トラバーサにも複数のガイドローラが設けられている。ワイヤの捩れを防止するためにはガイドローラの位置を適正に設定する必要があるが、この特許文献２のワイヤソーの場合、ガイドローラの数が多いためにガイドローラ間の位置合わせやガイドローラとダンサローラ間の位置合わせが煩雑で正確な心出しは困難である。従って、この特許文献２のワイヤソーにおいてワイヤの捩れを防止することは容易でない。
　特許文献３及び特許文献４のワイヤソーにおいても、ダンサローラとトラバースローラとの間にガイドローラが設けられるとともに、ダンサローラとメインローラとの間にも複数のガイドローラが設けられている。従って、特許文献３及び特許文献４のワイヤソーの場合も、特許文献２のワイヤソーの場合と同様に、ローラ間の位置調節が煩雑でローラ間の心出しを正確に行うことは困難であるため、ワイヤの捩れをなくすことは容易でない。
　ところで、特許文献３及び特許文献４においては、メインローラとボビンとの間のワイヤ走行経路が上から見て一直線状に描かれているように見える。しかし、実際の装置においては、メインローラはワーク加工精度の確保のために装置の手前側ではなく奥側に配置され、ボビンは交換作業を要するために装置の手前側である外側近くに配置される。つまり、メインローラとボビンとの間のワイヤ走行経路は実際には一直線状ではなく屈曲している。ワイヤ走行経路が屈曲している場合、ガイドローラ間の位置調節はさらに煩雑になる。
　本発明は、このような従来技術に存在する問題点に着目してなされたものである。本発明の目的は、ボビンとメインローラとの間のワイヤ走行経路に設けられるワイヤを案内するためのローラの数を極力減らすことにより、これらのローラの位置調節を容易に行うことを可能とし、その結果、ワイヤの断線やワーク加工精度の低下の原因となるワイヤの捩れが生じるのを抑えることができるワイヤソー、及びそのワイヤソーにおけるローラ位置合わせ方法を提供することにある。
　上記の目的を達成するために、本発明の一態様では、互いに平行な軸線を有する複数のメインローラと、一方のボビンから送り出されるワイヤを前記メインローラ間に巻架してもう一方のボビンに巻き取る一対のボビンとを備えたワイヤソーが提供される。前記一対のボビンのうちの一方のボビンと前記メインローラとの間のワイヤ走行経路並びにもう一方のボビンと前記メインローラとの間のワイヤ走行経路にはそれぞれ、ワイヤ張力を調整するダンサローラと、ダンサローラとボビンの間においてボビンの軸線に沿ってトラバース可能なトラバースローラと、ダンサローラとメインローラの間においてワイヤをガイドするためのガイドローラとが配置されている。各ワイヤ走行経路のトラバースローラ、ダンサローラ及びガイドローラは、トラバースローラとダンサローラとガイドローラとの間を走行するワイヤの部分が一平面上に位置するような位置関係を有する。本発明のワイヤソーにおいて、各ワイヤ走行経路のダンサローラとメインローラとの間には１個のガイドローラが配置されており、ダンサローラとボビンとの間にはガイドローラは配置されずトラバースローラのみが配置されている。
　従って、本発明のワイヤソーの場合、各ワイヤ走行経路においてトラバースローラからダンサローラを経てガイドローラまでワイヤは一平面上において走行する。このため、これらのローラに設けられた周溝の位置を互いに調節する作業を一方向から行うことができ、これらのローラの位置調節が容易になる。また、精度よくこれらのローラを位置決めできることにより、ワイヤに捩れが生じるのを抑制することができる。
　前記の構成のワイヤソーにおいて、前記メインローラ及びガイドローラは、ワイヤソーの装置フレーム内に区画形成された加工エリアに配置されることが好ましく、前記ダンサローラ、トラバースローラ及びボビンは前記加工エリア外において装置フレーム内に配置されることが好ましい。
　前記の構成のワイヤソーにおいて、各ワイヤ走行経路のダンサローラに設けられた周溝の底部と、同じワイヤ走行経路のトラバースローラに設けられた周溝の底部のうちダンサローラからトラバースローラに延びるワイヤの部分がトラバースローラに最初に掛かる点と、同じワイヤ走行経路のガイドローラに設けられた周溝の底部のうちダンサローラからガイドローラに延びるワイヤの部分がガイドローラに最初に掛かる点とはいずれも前記一平面上に位置することが好ましい。
　前記の構成のワイヤソーにおいて、各ワイヤ走行経路のトラバースローラ及びガイドローラの少なくとも一方の回転面は、同じワイヤ走行経路のダンサローラの回転面に対して直角以外の角度を有することが好ましい。
　前記の構成のワイヤソーにおいて、各ワイヤ走行経路のトラバースローラ、ダンサローラ及びガイドローラの回転面は互いに異なる向きを有することが好ましい。
　前記の構成のワイヤソーにおいて、各ワイヤ走行経路のダンサローラに設けられた周溝の底部は、ダンサローラが原点位置にあるとき、同じワイヤ走行経路のトラバースローラに設けられた周溝の底部及び同じワイヤ走行経路のガイドローラに設けられた周溝の底部とワイヤ走行方向において重なって位置することが好ましい。
　前記の構成のワイヤソーにおいて、各ワイヤ走行経路のトラバースローラとダンサローラとの間をワイヤが走行する方向と、同じワイヤ走行経路のダンサローラとガイドローラとの間をワイヤが走行する方向とは互いに平行であることが好ましい。
　前記の構成のワイヤソーにおいて、各ワイヤ走行経路のトラバースローラは、同じワイヤ走行経路のダンサローラからトラバースローラに延びるワイヤの部分がトラバースローラに最初に掛かる点の位置を中心にして揺動可能であることが好ましい。
　前記の構成のワイヤソーにおいて、各ワイヤ走行経路のガイドローラは、同じワイヤ走行経路のダンサローラからガイドローラに延びるワイヤの部分がガイドローラに最初に掛かる点の位置を中心にして角度調節可能であることが好ましい。
　前記の構成のワイヤソーにおいて、一対のボビンの軸線は、水平でかつ互いに平行であってさらにメインローラの軸線とも平行であり、ダンサローラは横移動可能であることが好ましい。
　前記の構成のワイヤソーにおいて、一対のボビンは上下方向に並んでおり、両ボビンとメインローラとの間の２つのワイヤ走行経路も上下方向に並んでおり、各ワイヤ走行経路のトラバースローラ、ダンサローラ及びガイドローラは、トラバースローラとダンサローラとの間を走行するワイヤの部分およびダンサローラとガイドローラと間を走行するワイヤの部分が同一垂直平面上に位置するような位置関係を有することが好ましい。
　前記の構成のワイヤソーにおいて、ガイドローラは、メインローラの長さ方向に沿って位置調整可能であることが好ましい。
　本発明の別の態様では、前記の構成のワイヤソーにおけるローラ位置合わせ方法が提供される。この方法では、各ワイヤ走行経路のダンサローラ越しに同じワイヤ走行経路のトラバースローラ及びガイドローラの少なくとも一方を見て、それらのローラの位置合わせが行われる。
　以上のように、本発明によれば、ボビンとメインローラとの間のワイヤ走行経路においてワイヤに捩れが生じるのを抑えることができ、ワーク加工精度の向上、ワイヤの切断防止、及びダイヤモンド砥粒の脱落防止という効果が得られる。
本発明の第１実施形態のワイヤソーを示す正面図。 図１のワイヤソーの右側面図。 図１のワイヤソーの斜視図。 （ａ）は一方のワイヤ走行経路におけるダンサローラとその他のローラとの位置関係を示す図１のワイヤソーの要部右側面図、（ｂ）はもう一方のワイヤ走行経路におけるダンサローラとその他のローラとの位置関係を示す図１のワイヤソーの要部右側面図。 図１のワイヤソーにおけるトラバースローラの揺動構成を拡大して示す要部平面図。 図５のトラバースローラの揺動構成の要部右側面図。 図１のワイヤソーにおけるガイドローラの角度調節構成を示す要部平面図。 本発明の第２実施形態のワイヤソーを示す正面図。 （ａ）は一方のワイヤ走行経路におけるダンサローラとその他のローラとの位置関係を示す図８のワイヤソーの要部拡大右側面図、（ｂ）はもう一方のワイヤ走行経路におけるダンサローラとその他のローラとの位置関係を示す図８のワイヤソーの要部拡大右側面図。 本発明の第３実施形態のワイヤソーを示す正面図。 本発明の第４実施形態のワイヤソーを示す平面図。 （ａ）は一方のワイヤ走行経路におけるダンサローラとその他のローラとの位置関係を示す図１１のワイヤソーの要部拡大右側面図、（ｂ）はもう一方のワイヤ走行経路におけるダンサローラとその他のローラとの位置関係を示す図１１のワイヤソーの要部拡大右側面図。
　（第１実施形態）
　以下に、本発明を具体化した第１実施形態を図１～図７に従って説明する。
　図１及び図２に示すように、ワイヤソーの装置フレーム５１の内部は、区画壁５２により、加工エリア５３と、ボビン側エリア５４とに区画されている。ボビン側エリア５４には、ワイヤ１１の両端のそれぞれが巻き付けられる一対のボビン１２Ａ，１２Ｂが配置されている。ボビン１２Ａ，１２Ｂは、上下方向に間隔をおいて装置フレーム５１に回転可能に支持されている。図２及び図３に示すように、ボビン１２Ａ，１２Ｂの回転軸線は水平でかつ互いに平行である。加工エリア５３には、水平方向に間隔をおいて支持された複数（本実施形態では一対）のメインローラ１３Ａ，１３Ｂが配置されている。メインローラ１３Ａ，１３Ｂの回転軸線は水平でかつ互いに平行である。メインローラ１３Ａ，１３Ｂの回転軸線はボビン１２Ａ，１２Ｂの回転軸線と平行である。
　図２及び図３に示すように、各メインローラ１３Ａ，１３Ｂの外周面には多数の環状溝１３ａが一定のピッチで形成されている。メインローラ１３Ａ，１３Ｂ間にはボビン１２Ａ，１２Ｂから延びるワイヤ１１の部分が各環状溝１３ａに沿って巻架されている。
　メインローラ１３Ａ，１３Ｂ間のワイヤ１１の上方には図示しないサドルが昇降可能に配置されている。サドルの下面には、支持板１４に貼着されたワークＷが取り外し可能に装着されている。
　図１～図３に示すように、装置フレーム５１には、上下方向に延びる一対のダンサアーム１５Ａ，１５Ｂがそれぞれアクチュエータ３１を介して支持されている。ダンサアーム１５Ａ，１５Ｂは鉛直面内において揺動可能である。各ダンサアーム１５Ａ，１５Ｂの先端部には、ダンサローラ１６Ａ，１６Ｂが鉛直面内において回転可能に支持されている。ダンサローラ１６Ａ，１６Ｂにはそれぞれ、ボビン１２Ａ，１２Ｂからメインローラ１３Ａ，１３Ｂに延びるワイヤ１１の部分が巻き掛けられている。ダンサアーム１５Ａ，１５Ｂをアクチュエータ３１によって駆動することにより、ワイヤ１１に対して適正な張力を付与することが可能である。
　各ボビン１２Ａ，１２Ｂの近傍には回転可能なトラバースローラ１７Ａ，１７Ｂが配置されている。トラバースローラ１７Ａ，１７Ｂにはそれぞれ、ボビン１２Ａ，１２Ｂからダンサローラ１６Ａ，１６Ｂに延びるワイヤ１１の部分が巻き掛けられている。トラバースローラ１７Ａ，１７Ｂは、図示しない駆動手段によりボビン１２Ａ，１２Ｂの軸線方向に沿ってトラバース可能である。
　加工エリア５３には、メインローラ１３Ａ，１３Ｂの近傍において装置フレーム５１に回転可能に支持されたガイドローラ１８Ａ，１８Ｂが設けられている。ガイドローラ１８Ａ，１８Ｂにはそれぞれ、ダンサローラ１６Ａ，１６Ｂからメインローラ１３Ａ，１３Ｂに延びるワイヤ１１の部分が巻き掛けられている。
　本実施形態では、図１及び図３に示すように、トラバースローラ１７Ａとガイドローラ１８Ａとの間を走行するワイヤ１１の部分が一平面内に位置するように、かつ、トラバースローラ１７Ｂとガイドローラ１８Ｂとの間を走行するワイヤ１１の部分が同じ又は別の一平面内に位置するように、トラバースローラ１７Ａ，１７Ｂ、ダンサローラ１６Ａ，１６Ｂ及びガイドローラ１８Ａ，１８Ｂの位置関係が設定されている。さらに言えば、トラバースローラ１７Ａ，１７Ｂからダンサローラ１６Ａ，１６Ｂまでのワイヤ部分１１ａとダンサローラ１６Ａ，１６Ｂからガイドローラ１８Ａ，１８Ｂまでのワイヤ部分１１ｂとは互いに平行である。すなわち、トラバースローラ１７Ａとダンサローラ１６Ａとの間をワイヤ１１が走行する方向と、ダンサローラ１６Ａとガイドローラ１８Ａとの間をワイヤ１１が走行する方向とは互いに平行である。また、トラバースローラ１７Ｂとダンサローラ１６Ｂとの間をワイヤ１１が走行する方向と、ダンサローラ１６Ｂとガイドローラ１８Ｂとの間をワイヤ１１が走行する方向とは互いに平行である。
　つまり、図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように、ダンサアーム１５Ａ，１５Ｂが原点位置である揺動範囲の中立位置、例えばダンサアーム１５Ａ，１５Ｂが鉛直方向に延びる位置にあるときに、ワイヤ走行方向から見て、ダンサローラ１６Ａ，１６Ｂの周溝１６ａ，１６ｂの底部が、トラバースローラ１７Ａ，１７Ｂの周溝１７ａ，１７ｂの底部及びガイドローラ１８Ａ，１８Ｂの周溝１８ａ，１８ｂの底部とそれぞれ同一平面上において一致するように、トラバースローラ１７Ａ，１７Ｂ、ダンサローラ１６Ａ，１６Ｂ及びガイドローラ１８Ａ，１８Ｂが配置されている。換言すれば、図４（ａ）に示すように、トラバースローラ１７Ａの周溝１７ａの底部及びガイドローラ１８Ａの周溝１８ａの底部はダンサローラ１６Ａの周溝１６ａの底部を含む平面に接しており、また、図４（ｂ）に示すように、トラバースローラ１７Ｂの周溝１７ｂの底部及びガイドローラ１８Ｂの周溝１８ｂの底部はダンサローラ１６Ｂの周溝１６ｂの底部を含む平面に接している。このため、ダンサローラ１６Ａ，１６Ｂからトラバースローラ１７Ａ，１７Ｂに延びるワイヤ１１の部分がトラバースローラ１７Ａ，１７Ｂに最初に掛かる点及びダンサローラ１６Ａ，１６Ｂからガイドローラ１８Ａ，１８Ｂに延びるワイヤ１１の部分がガイドローラ１８Ａ，１８Ｂに最初に掛かる点はどちらも、ダンサローラ１６Ａ，１６Ｂの周溝１６ａ，１６ｂの底部を含む平面内にそれぞれ位置している。また、図２に示すように、ダンサローラ１６Ａ，１６Ｂの回転面とトラバースローラ１７Ａ，１７Ｂの回転面とのなす角度Ｒ１ａ，Ｒ１ｂ及びダンサローラ１６Ａ，１６Ｂの回転面とガイドローラ１８Ａ，１８Ｂの回転面とのなす角度Ｒ２ａ，Ｒ２ｂはいずれも、直角ではなく鈍角または鋭角となっている。
　図５及び図６にはトラバースローラ１７Ａの構成を示している。トラバースローラ１７Ｂも図５及び図６に示すトラバースローラ１７Ａと同様の構成を有する。各トラバースローラ１７Ａ，１７Ｂは、ダンサローラ１６Ａ，１６Ｂからトラバースローラ１７Ａ，１７Ｂに延びるワイヤ１１の部分がトラバースローラ１７Ａ，１７Ｂに最初に掛かる点１７Ｐの位置を中心にして揺動可能に設けられている。すなわち、各トラバースローラ１７Ａ，１７Ｂを回転可能に支持する支持レバー２０は揺動軸２１に固定されており、この揺動軸２１の軸線の延長線Ｃ１上に点１７Ｐは位置している。従って、図６に示すように、ボビン１２Ａ，１２Ｂに巻かれているワイヤ１１の量の変化に応じて、トラバースローラ１７Ａ，１７Ｂは点１７Ｐを中心にして揺動可能である。
　図７にはガイドローラ１８Ａの構成を示している。ガイドローラ１８Ｂも図７に示すガイドローラ１８Ａと同様の構成を有する。装置フレーム５１には、メインローラ１３Ａ，１３Ｂの軸線と平行に延びる一対のレール３２が固定されており、各レール３２には支持台３６がレール３２の延びる方向に沿って移動可能に支持されている。支持台３６は図示しない固定手段によって任意の移動位置で固定が可能である。各ガイドローラ１８Ａ，１８Ｂを回転可能に支持する支持レバー３３は揺動軸３４に固定されている。揺動軸３４は支持台３６によって回転可能に支持されている。ダンサローラ１６Ａ，１６Ｂからガイドローラ１８Ａ，１８Ｂに延びるワイヤ１１の部分がガイドローラ１８Ａ，１８Ｂに最初に掛かる点１８Ｐは、揺動軸３４の軸線の延長線Ｃ２上に位置している。揺動軸３４は固定ネジ３５の締め付けにより任意の回転位置で固定が可能である。従って、ガイドローラ１８Ａ，１８Ｂは、点１８Ｐを中心にして角度調節可能である。
　メインローラ１３Ａ，１３Ｂを長さの異なるものに交換したりメインローラ１３Ａ，１３Ｂに対するワイヤ１１の巻き掛け位置を変更したりした場合には、ガイドローラ１８Ａ，１８Ｂをレール３２に沿って移動させることによりガイドローラ１８Ａ，１８Ｂの位置調節が行われる。メインローラ１３Ａ，１３Ｂの環状溝１３ａの径が変更されたときには、点１８Ｐを中心にしてガイドローラ１８Ａ，１８Ｂを揺動させることにより、環状溝１３ａの接線方向を指向するようにガイドローラ１８Ａ，１８Ｂの角度調節が行われる。
　図１及び図２に示すように、装置フレーム５１のボビン側エリア５４の側壁５５には、扉５６によって開閉される開口５７が形成されている。前記区画壁５２には開口５８が形成されており、この開口５８は図示しないスリットを有する閉鎖板５９によって閉鎖されている。ワイヤ１１は前記スリット内を通って走行する。
　次に、前記のように構成されたワイヤソーの作用を説明する。
　ボビン１２Ａ，１２Ｂやメインローラ１３Ａ，１３Ｂの交換等にともない、ワイヤ１１をメインローラ１３Ａ，１３Ｂ間に巻架する場合には、まずそれに先立って、ダンサローラ１６Ａ，１６Ｂ、トラバースローラ１７Ａ，１７Ｂ及びガイドローラ１８Ａ，１８Ｂの位置調節（以下、この位置調節を心出しという）が行われる。なお、これまでの説明からも明らかなように、ダンサローラ１６Ａ、トラバースローラ１７Ａ及びガイドローラ１８Ａは、ボビン１２Ａとメインローラ１３Ａ，１３Ｂとの間のワイヤ走行経路に設けられており、ダンサローラ１６Ｂ、トラバースローラ１７Ｂ及びガイドローラ１８Ｂは、ボビン１２Ｂとメインローラ１３Ａ，１３Ｂとの間のワイヤ走行経路に設けられている。
　ローラ１６Ａ～１８Ｂの心出しに際しては、扉５６が開放されるとともに、区画壁５２の閉鎖板５９が外されて、開口５７，５８が開放される。このため、側壁の開口５７からダンサローラ１６Ａ，１６Ｂ越しにトラバースローラ１７Ａ，１７Ｂ及びガイドローラ１８Ａ，１８Ｂを見通すことができる。この状態で目視によって各ローラ１６Ａ～１８Ｂの位置関係を調節する。すなわち、ダンサアーム１５Ａ，１５Ｂを原点位置に配置した状態において、ダンサローラ１６Ａ，１６Ｂとトラバースローラ１７Ａ，１７Ｂとの間のワイヤ部分１１ａの位置及びダンサローラ１６Ａ，１６Ｂとガイドローラ１８Ａ，１８Ｂとの間のワイヤ部分１１ｂの位置、つまり各ローラ１６Ａ，１６Ｂ，１７Ａ，１７Ｂ，１８Ａ，１８Ｂの周溝１６ａ，１６ｂ，１７ａ，１７ｂ，１８ａ，１８ｂの底部の位置を確認する。さらに言えば、図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように、ダンサローラ１６Ａ，１６Ｂの周溝１６ａ，１６ｂの底部のうちトラバースローラ１７Ａ，１７Ｂとダンサローラ１６Ａ，１６Ｂとの間を走行するワイヤ部分１１ａが最初に掛かる点と、トラバースローラ１７Ａ，１７Ｂの周溝１７ａ，１７ｂの底部のうち同じワイヤ部分１１ａがトラバースローラ１７Ａ，１７Ｂに最初に掛かる点１７Ｐとがワイヤ部分１１ａの走行方向から見て合致するように、また、ダンサローラ１６Ａ，１６Ｂの周溝１６ａ，１６ｂの底部のうちダンサローラ１６Ａ，１６Ｂとガイドローラ１８Ａ，１８Ｂの間を走行するワイヤ部分１１ｂが最初に掛かる点と、ガイドローラ１８Ａ，１８Ｂの周溝１８ａ，１８ｂの底部のうち同じワイヤ部分１１ｂがガイドローラ１８Ａ，１８Ｂに最初に掛かる点１８Ｐとがワイヤ部分１１ｂの走行方向から見て合致するように、ローラ１６Ａ～１８Ｂの心出しが行なわれる。
　なお、図３の右端に２点鎖線で示すように、ローラ１６Ａ～１８Ｂの心出しには光学検出装置１９Ａ，１９Ｂを用いることもできる。各光学検出装置１９Ａ，１９Ｂはカメラ１９ａ，１９ｂを備えており、カメラ１９ａ，１９ｂによって各ローラ１６Ａ～１８Ｂの周溝１６ａ～１８ｂの底部の位置を撮像して確認してもよい。
　各ローラ１６Ａ～１８Ｂの周溝１６ａ～１８ｂの底部の位置を確認した後、その確認した底部の位置に基づいて、各ローラ１６Ａ～１８Ｂの位置又は角度を調節して周溝１６ａ～１８ｂが図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すような所定の配置となるようにすることで、ローラ１６Ａ～１８Ｂの心出しは行われる。
　心出しの後、ワイヤ１１が各ローラに巻き掛けられる。そして、ワイヤソーの運転時には、一方のボビン１２Ａ又は１２Ｂからワイヤ１１が繰り出されて、一方のトラバースローラ１７Ａ又は１７Ｂ、ダンサローラ１６Ａ又は１６Ｂ、及びガイドローラ１８Ａ又は１８Ｂを介してメインローラ１３Ａ，１３Ｂ上に導かれた後、ワイヤ１１は両メインローラ１３Ａ，１３Ｂ間を周回走行する。ワイヤ１１は、一方向に連続走行させてもよいし、往復走行させながらトータルとして一方向に送られるようにしてもよい。そして、メインローラ１３Ａ，１３Ｂから繰り出されるワイヤ１１は、もう一方のガイドローラ１８Ｂ又は１８Ａ、ダンサローラ１６Ｂ又は１６Ａ、及びトラバースローラ１７Ｂ又は１７Ａを介して、もう一方のボビン１２Ｂ又は１２Ａに巻き取られる。
　この場合、ボビン１２Ａ，１２Ｂとメインローラ１３Ａ，１３Ｂとの間においては、ワイヤ１１の走行がトラバースローラ１７Ａ，１７Ｂ、ダンサローラ１６Ａ，１６Ｂ及びガイドローラ１８Ａ，１８Ｂによって案内される。さらに、ローラ１６Ａ～１８Ｂの周溝１６ａ～１８ｂがワイヤ走行方向から見て図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すような所定の配置となっている。そのため、ワイヤ１１は、ダンサローラ１６Ａ，１６Ｂとトラバースローラ１７Ａ，１７Ｂとの間及びダンサローラ１６Ａ，１６Ｂとガイドローラ１８Ａ，１８Ｂとの間を同一平面内で走行する。すなわち、ワイヤ１１は、トラバースローラ１７Ａ，１７Ｂとガイドローラ１８Ａ，１８Ｂの間をダンサローラ１６Ａ，１６Ｂの回転面内で走行する。従って、ボビン１２Ａ，１２Ｂとメインローラ１３Ａ，１３Ｂとの間のワイヤ走行経路においてワイヤ１１に捩れが生じるのを抑えることができる。
　従って、メインローラ１３Ａ，１３Ｂ間をワイヤ１１が周回走行しているとき、メインローラ１３Ａ，１３Ｂ間のワイヤ１１に対して砥粒を含んだスラリを供給しながらワークＷを押し付けることにより、ワークＷを高精度に切断加工することができる。ワイヤ１１がダイヤモンド砥粒を保持したタイプの場合は、スラリの供給は不要である。
　以上説明した第１実施形態によれば、以下のような効果を得ることができる。
　（１）　第１実施形態のワイヤソーでは、トラバースローラ１７Ａ，１７Ｂとガイドローラ１８Ａ，１８Ｂとの間を走行するワイヤ１１の部分が一平面上に位置している。このため、ボビン１２Ａ，１２Ｂとメインローラ１３Ａ，１３Ｂとの間においてワイヤ１１に捩れが生じるのを抑えることができる。その結果、ワークＷの加工精度の向上とともにワイヤ１１の断線防止が可能となる。また、ワイヤ１１の捩れが抑制されることにより、ワイヤ１１がダイヤモンド砥粒を保持したタイプであった場合には、ワイヤ１１からのダイヤモンド砥粒の脱落も防止できる。
　（２）　第１実施形態のワイヤソーでは、ワイヤ部分１１ａ，１１ｂの走行方向から見て、ダンサローラ１６Ａ，１６Ｂの周溝１６ａ，１６ｂの底部は、トラバースローラ１７Ａ，１７Ｂの周溝１７ａ，１７ｂの底部及びガイドローラ１８Ａ，１８Ｂの周溝１８ａ，１８ｂの底部とそれぞれ同一平面上において一致している。従って、目視やカメラ１９ａ，１９ｂにより、ワイヤ部分１１ａ，１１ｂの位置及び各ローラ１６Ａ，１６Ｂ、１７Ａ，１７Ｂ、１８Ａ，１８Ｂの位置を適切に判別して、ローラ１６Ａ～１８Ｂの心出しを一方向から一度に容易に実行できる。
　（３）　第１実施形態のワイヤソーにおいては、ワイヤ部分１１ａ，１１ｂが互いに平行である。そのため、トラバースローラ１７Ａ，１７Ｂ上の点１７Ｐ及びガイドローラ１８Ａ，１８Ｂ上の点１８Ｐがダンサローラ１６Ａ，１６Ｂの周溝１６ａ，１６ｂの底部に所定のとおり合致しているか否を一方向から確認さえすれば、３個のローラ１６Ａ～１８Ａ又は１６Ｂ～１８Ｂの心出しが正確かどうかを判別することができる。また、この確認に際して目視やカメラ１９ａ，１９ｂによる見る角度を変更する必要がないこと、見る点の少ないことも有利な点である。
　（４）　第１実施形態のワイヤソーでは、ボビン１２Ａ，１２Ｂとメインローラ１３Ａ，１３Ｂとの間を走行するワイヤ１１は、トラバースローラ１７Ａ，１７Ｂ、ダンサローラ１６Ａ，１６Ｂ及びガイドローラ１８Ａ，１８Ｂという必要最小限の数のローラによって案内をされている。このため、ローラによってワイヤに作用するイナーシャの影響を低減できて、ワイヤに作用する不要な負荷を少なくすることができる。しかも、ワイヤ１１の走行方向がローラによって変更される位置が少ないため、ローラによってワイヤ１１に捩れが与えられることを抑制することができる。その結果、ワークＷの加工精度及び加工効率を向上させることができるとともに、ワイヤ断線やダイヤモンド砥粒脱落のさらなる防止が可能となる。
　（５）　第１実施形態のワイヤソーでは、ダンサローラ１６Ａ，１６Ｂの回転面とトラバースローラ１７Ａ，１７Ｂの回転面とのなす角度Ｒ１ａ，Ｒ１ｂ及びダンサローラ１６Ａ，１６Ｂの回転面とガイドローラ１８Ａ，１８Ｂの回転面とのなす角度Ｒ２ａ，Ｒ２ｂがいずれも、直角ではなく鈍角または鋭角となっている。このため、ワイヤ１１に対して捩れ方向に作用するトルクが小さくなる。これにより、ワイヤ１１の捩れがさらに効果的に抑制されるため、ワークＷの加工精度のさらなる向上、ワイヤ断線やダイヤモンド砥粒脱落のさらなる防止が可能となる。
　（６）　第１実施形態のワイヤソーでは、トラバースローラ１７Ａ，１７Ｂは、ダンサローラ１６Ａ，１６Ｂからトラバースローラ１７Ａ，１７Ｂに延びるワイヤ１１の部分がトラバースローラ１７Ａ，１７Ｂに最初に掛かる点１７Ｐを中心にして揺動可能である。このため、ボビン１２Ａ，１２Ｂに巻かれているワイヤ１１の量の変化に応じて、トラバースローラ１７Ａ，１７Ｂは揺動可能である。また、トラバースローラ１７Ａ，１７Ｂが揺動しても、ワイヤ１１に捩れを生じるようなトラバースローラ１７Ａ，１７Ｂとガイドローラ１８Ａ，１８Ｂとの間のずれが生じることもない。
　（第２実施形態）
　次に、本発明の第２実施形態を図８及び図９に基づいて説明する。この第２実施形態並びに以下に述べる第３及び第４実施形態については、第１実施形態と異なる部分を主に説明する。
　図８に示すように、第２実施形態のワイヤソーは、ワイヤ部分１１ａがワイヤ部分１１ｂと平行とならないようにボビン１２Ａ，１２Ｂ及びトラバースローラ１７Ａ，１７Ｂが配置されている点で第１実施形態のワイヤソーと異なる。ただし、ワイヤ部分１１ａとワイヤ部分１１ｂがそれぞれ同一平面内に位置する点は第１実施形態のワイヤソーと同じである。ワイヤ部分１１ａがワイヤ部分１１ｂと非平行であるため、図９（ａ）及び図９（ｂ）に示すように、トラバースローラ１７Ａ，１７Ｂの周溝１７ａ上の点１７Ｐは、ワイヤ部分１１ｂの延長方向から見てダンサローラ１６Ａ，１６Ｂの周溝１６ａから離間している。
　この第２実施形態のワイヤソーの場合、第１実施形態のワイヤソーの場合と同様、装置フレーム５１の側壁５５に設けられた開口５７からダンサローラ１６Ａ，１６Ｂ越しにトラバースローラ１７Ａ，１７Ｂ及びガイドローラ１８Ａ，１８Ｂを見て、ローラ１６Ａ～１８Ｂの心出しは行われる。ただし、ワイヤ部分１１ａがワイヤ部分１１ｂと平行でないために、トラバースローラ１７Ａ，１７Ｂ上の点１７Ｐ及びガイドローラ１８Ａ，１８Ｂ上の点１８Ｐがダンサローラ１６Ａ，１６Ｂに対して所定のとおり配置されているか否かを確認するに際して、目またはカメラ１９ａ，１９ｂの位置を上下に移動させて見る角度を変更する必要がある。
　従って、この第２実施形態においては、前記第１実施形態の（１），（２），（４）～（６）の効果とほぼ同様な効果を得ることができる。
　（第３実施形態）
　次に、本発明の第３実施形態を図１０に基づいて説明する。
　図１０に示すように、第３実施形態のワイヤソーは、ボビン１２Ａ，１２Ｂが横向きではなく縦向きに配置されている点で第１実施形態のワイヤソーと異なる。すなわち、ボビン１２Ａ，１２Ｂの回転軸線は水平ではなく鉛直に延びている。また、ダンサローラ１６Ａ，１６Ｂを支持するダンサアーム１５Ａ，１５Ｂがボビン１２Ａ，１２Ｂよりも上方に配置されている点でも第１実施形態のワイヤソーと異なる。ダンサアーム１５Ａ,１５Ｂの原点位置、すなわち揺動範囲の中立位置は、ダンサアーム１５Ａ,１５Ｂが水平方向に延びる位置である。ワイヤ部分１１ａとワイヤ部分１１ｂはそれぞれ同一面内に位置している。トラバースローラ１７Ｂとダンサローラ１６Ｂとの間のワイヤ部分１１ａ及びダンサローラ１６Ｂとガイドローラ１８Ｂとの間のワイヤ部分１１ｂは同一面内に位置している。ワイヤ部分１１ｂは、図１０中に実線で示すようにワイヤ部分１１ａと平行であってもよいし、あるいは図１０中に２点鎖線で示すようにワイヤ部分１１ａと平行でなくてもよい。このように構成された第３実施形態のワイヤソーの場合、上方からダンサローラ１６Ａ，１６Ｂ越しにトラバースローラ１７Ａ，１７Ｂ及びガイドローラ１８Ａ，１８Ｂを見て、ローラ１６Ａ～１８Ｂの心出しは行われる。
　この第３実施形態においては、前記第２実施形態と同様な効果を得ることができる。
　（第４実施形態）
　次に、本発明の第４実施形態を図１１、図１２（ａ）及び図１２（ｂ）に基づいて説明する。
　図１１は第４実施形態のワイヤソーを示す平面図であり、この図に示すように、第４実施形態のワイヤソーは、ボビン１２Ａ，１２Ｂが水平方向に間隔をおいて配置されている点で第１実施形態のワイヤソーと異なる。ボビン１２Ａ，１２Ｂの回転軸線は水平でかつ互いに平行であって、装置フレーム５１の左右方向に延びている。メインローラ１３Ａ，１３Ｂは、装置フレーム５１の前後方向に関して、両ボビン１２Ａ，１２Ｂの間に位置している。ダンサローラ１６Ａ，１６Ｂを支持するダンサアーム１５Ａ，１５Ｂは水平面内において揺動可能である。ダンサアーム１５Ａ，１５Ｂの原点位置、すなわち揺動範囲の中立位置は、ボビン１２Ａ，１２Ｂの軸線及びメインローラ１３Ａ，１３Ｂの軸線と平行である。トラバースローラ１７Ａとダンサローラ１６Ａとの間のワイヤ部分１１ａ及びダンサローラ１６Ａとガイドローラ１８Ａとの間のワイヤ部分１１ｂは水平面内において平行に配置されている。トラバースローラ１７Ｂとダンサローラ１６Ｂとの間のワイヤ部分１１ａ及びダンサローラ１６Ｂとガイドローラ１８Ｂとの間のワイヤ部分１１ｂは同じ又は別の水平面内において平行に配置されている。図１２（ａ）及び図１２（ｂ）に示すように、ダンサローラ１６Ａ，１６Ｂの回転面は水平であり、トラバースローラ１７Ａ，１７Ｂの回転面及びガイドローラ１８Ａ，１８Ｂの回転面はダンサローラ１６Ａ，１６Ｂの回転面に対して傾斜している。
　この第４実施形態のワイヤソーの場合、トラバースローラ１７Ａ，１７Ｂ上の点１７Ｐ及びガイドローラ１８Ａ，１８Ｂ上の点１８Ｐがダンサローラ１６Ａ，１６Ｂの周溝１６ａ，１６ｂの底部に所定のとおり合致しているか否を一方向から確認さえすれば、３個のローラ１６Ａ～１８Ａ又は１６Ｂ～１８Ｂの配置が適切か否かを判別することができる。また、この確認に際して目視やカメラ１９ａ，１９ｂによる見る角度を変更する必要もない。従って、心出し作業が容易である。
　トラバースローラ１７Ａとダンサローラ１６Ａの間のワイヤ部分１１ａ、ダンサローラ１６Ａとガイドローラ１８Ａの間のワイヤ部分１１ｂ、トラバースローラ１７Ｂとダンサローラ１６Ｂの間のワイヤ部分１１ａ、及びダンサローラ１６Ｂとガイドローラ１８Ｂの間のワイヤ部分１１ｂがすべて同一平面上に位置する場合には、トラバースローラ１７Ａ，１７Ｂ上の点１７Ｐ及びガイドローラ１８Ａ，１８Ｂ上の点１８Ｐがダンサローラ１６Ａ，１６Ｂの周溝１６ａ，１６ｂの底部に所定のとおり合致しているか否を一方向から同じ高さで見ることにより、６個のローラ１６Ａ～１８Ｂの配置が適切か否かを判別することができる。

Claims (13)

  1. 　互いに平行な軸線を有する複数のメインローラと、
    　一方のボビンから送り出されるワイヤを前記メインローラ間に巻架してもう一方のボビンに巻き取る一対のボビンとを備えたワイヤソーであって、
    　前記一対のボビンのうちの一方のボビンと前記メインローラとの間のワイヤ走行経路並びにもう一方のボビンと前記メインローラとの間のワイヤ走行経路にはそれぞれ、
    　ワイヤ張力を調整するダンサローラと、
    　ダンサローラとボビンの間においてボビンの軸線に沿ってトラバース可能なトラバースローラと、
    　ダンサローラとメインローラの間においてワイヤをガイドするためのガイドローラとが配置され、
    　各ワイヤ走行経路のトラバースローラ、ダンサローラ及びガイドローラは、トラバースローラとダンサローラとガイドローラとの間を走行するワイヤの部分が一平面上に位置するような位置関係を有することを特徴とするワイヤソー。
  2. 　前記メインローラ及びガイドローラは、ワイヤソーの装置フレーム内に区画形成された加工エリアに配置され、前記ダンサローラ、トラバースローラ及びボビンは前記加工エリア外において装置フレーム内に配置されることを特徴とする請求項１に記載のワイヤソー。
  3. 　各ワイヤ走行経路のダンサローラに設けられた周溝の底部と、同じワイヤ走行経路のトラバースローラに設けられた周溝の底部のうちダンサローラからトラバースローラに延びるワイヤの部分がトラバースローラに最初に掛かる点と、同じワイヤ走行経路のガイドローラに設けられた周溝の底部のうちダンサローラからガイドローラに延びるワイヤの部分がガイドローラに最初に掛かる点とが前記一平面上に位置することを特徴とする請求項１または２に記載のワイヤソー。
  4. 　各ワイヤ走行経路のトラバースローラ及びガイドローラの少なくとも一方の回転面は、同じワイヤ走行経路のダンサローラの回転面に対して直角以外の角度を有することを特徴とする請求項１～３のうちのいずれか一項に記載のワイヤソー。
  5. 　各ワイヤ走行経路のトラバースローラ、ダンサローラ及びガイドローラの回転面は互いに異なる向きを有することを特徴とする請求項１～４のうちのいずれか一項に記載のワイヤソー。
  6. 　各ワイヤ走行経路のダンサローラに設けられた周溝の底部は、ダンサローラが原点位置にあるとき、同じワイヤ走行経路のトラバースローラに設けられた周溝の底部及び同じワイヤ走行経路のガイドローラに設けられた周溝の底部とワイヤ走行方向において重なって位置することを特徴とする請求項１または２に記載のワイヤソー。
  7. 　各ワイヤ走行経路のトラバースローラとダンサローラとの間をワイヤが走行する方向と、同じワイヤ走行経路のダンサローラとガイドローラとの間をワイヤが走行する方向とが互いに平行であることを特徴とする請求項１～３のうちのいずれか一項に記載のワイヤソー。
  8. 　各ワイヤ走行経路のトラバースローラは、同じワイヤ走行経路のダンサローラからトラバースローラに延びるワイヤの部分がトラバースローラに最初に掛かる点の位置を中心にして揺動可能であることを特徴とする請求項１～７のうちのいずれか一項に記載のワイヤソー。
  9. 　各ワイヤ走行経路のガイドローラは、同じワイヤ走行経路のダンサローラからガイドローラに延びるワイヤの部分がガイドローラに最初に掛かる点の位置を中心にして角度調節可能であることを特徴とする請求項１～８のうちのいずれか一項に記載のワイヤソー。
  10. 　一対のボビンの軸線は、水平でかつ互いに平行であってさらにメインローラの軸線とも平行であり、ダンサローラは横移動可能であることを特徴とする請求項１～９のいずれか一項に記載のワイヤソー。
  11. 　一対のボビンは上下方向に並んでおり、両ボビンとメインローラとの間の２つのワイヤ走行経路も上下方向に並んでおり、各ワイヤ走行経路のトラバースローラ、ダンサローラ及びガイドローラは、トラバースローラとダンサローラとの間を走行するワイヤの部分およびダンサローラとガイドローラと間を走行するワイヤの部分が同一垂直平面上に位置するような位置関係を有することを特徴とする請求項１０に記載のワイヤソー。
  12. 　ガイドローラは、メインローラの長さ方向に沿って位置調整可能であることを特徴とする請求項１０または１１に記載のワイヤソー。
  13. 　請求項１～１１のうちのいずれか一項に記載のワイヤソーにおいて、各ワイヤ走行経路のダンサローラ越しに同じワイヤ走行経路のトラバースローラ及びガイドローラの少なくとも一方を見て、それらのローラの位置合わせをすることを特徴とするワイヤソーにおけるローラ位置合わせ方法。
PCT/JP2012/058144 2011-03-30 2012-03-28 ワイヤソー及びワイヤソーにおけるローラ位置合わせ方法 WO2012133532A1 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020137021531A KR101884253B1 (ko) 2011-03-30 2012-03-28 와이어 소 및 와이어 소에 있어서의 롤러 위치 맞춤 방법
CN201280007331.7A CN103347651B (zh) 2011-03-30 2012-03-28 线状锯以及线状锯中的辊对位方法

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011-074515 2011-03-30
JP2011074515A JP5675462B2 (ja) 2011-03-30 2011-03-30 ワイヤソー及びワイヤソーにおけるローラ位置合わせ方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2012133532A1 true WO2012133532A1 (ja) 2012-10-04

Family

ID=46931241

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2012/058144 WO2012133532A1 (ja) 2011-03-30 2012-03-28 ワイヤソー及びワイヤソーにおけるローラ位置合わせ方法

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JP5675462B2 (ja)
KR (1) KR101884253B1 (ja)
CN (1) CN103347651B (ja)
TW (1) TWI546173B (ja)
WO (1) WO2012133532A1 (ja)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5810299B2 (ja) * 2012-03-19 2015-11-11 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 インゴットの切断装置
JP6563240B2 (ja) * 2015-04-24 2019-08-21 株式会社安永 ワイヤソー及び該ワイヤソーを使用し、ワークから複数のスライス品を製造する製造方法
JP6908386B2 (ja) * 2017-01-27 2021-07-28 コマツＮｔｃ株式会社 ワイヤソー及びワイヤによるワークの切断加工方法
JP6857509B2 (ja) * 2017-02-15 2021-04-14 コマツＮｔｃ株式会社 ワイヤソー
ES2982009T3 (es) * 2017-10-26 2024-10-14 Prec Surfacing Solutions Gmbh Sierra de alambre
JP7267684B2 (ja) * 2018-05-18 2023-05-02 株式会社小松製作所 ワイヤソーの運転パラメータの設定方法及びワイヤソー

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0264010U (ja) * 1988-10-31 1990-05-14
JPH0871909A (ja) * 1994-09-01 1996-03-19 Tokyo Seimitsu Co Ltd ワイヤーソー
WO1997031765A1 (fr) * 1996-02-28 1997-09-04 Tokyo Rope Mfg. Co., Ltd. Appareil et procede d'usinage a fil coupant
JPH1177510A (ja) * 1997-09-05 1999-03-23 Tokyo Seimitsu Co Ltd 固定砥粒ワイヤソー及びその被加工物切断方法
JP2002292552A (ja) * 2001-03-30 2002-10-08 Mitsubishi Materials Silicon Corp ワイヤソー用ガイドローラ

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01295758A (ja) * 1988-05-19 1989-11-29 Osaka Titanium Co Ltd スライス加工法およびワイヤソーマシン
JPH09164524A (ja) * 1995-12-18 1997-06-24 Tokyo Seimitsu Co Ltd ワイヤソーの運転状況判別装置
CN1180328A (zh) * 1996-02-28 1998-04-29 东京制纲株式会社 钢丝式切断加工装置及方法
JPH1110509A (ja) * 1997-06-24 1999-01-19 Nippei Toyama Corp ワイヤソーの張力付与機構
JPH11348029A (ja) 1998-06-08 1999-12-21 Tokyo Seimitsu Co Ltd ワイヤソーのワイヤ捩じり機構
JP4049900B2 (ja) 1998-08-20 2008-02-20 株式会社スーパーシリコン研究所 ワイヤソー切断装置
JP3739603B2 (ja) 1999-07-15 2006-01-25 株式会社日平トヤマ ワイヤソー
WO2003033207A1 (fr) * 2001-10-17 2003-04-24 Neomax Co., Ltd. Procede de decoupe au moyen d'un fil helicoidal, dispositif de decoupe a fil helicoidal, et procede de fabrication d'un aimant permanent a base de terres rares
JP2005186222A (ja) 2003-12-25 2005-07-14 Nippei Toyama Corp ワイヤソーにおける切断方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0264010U (ja) * 1988-10-31 1990-05-14
JPH0871909A (ja) * 1994-09-01 1996-03-19 Tokyo Seimitsu Co Ltd ワイヤーソー
WO1997031765A1 (fr) * 1996-02-28 1997-09-04 Tokyo Rope Mfg. Co., Ltd. Appareil et procede d'usinage a fil coupant
JPH1177510A (ja) * 1997-09-05 1999-03-23 Tokyo Seimitsu Co Ltd 固定砥粒ワイヤソー及びその被加工物切断方法
JP2002292552A (ja) * 2001-03-30 2002-10-08 Mitsubishi Materials Silicon Corp ワイヤソー用ガイドローラ

Also Published As

Publication number Publication date
CN103347651B (zh) 2016-03-23
JP5675462B2 (ja) 2015-02-25
TWI546173B (zh) 2016-08-21
CN103347651A (zh) 2013-10-09
JP2012206224A (ja) 2012-10-25
KR101884253B1 (ko) 2018-08-02
KR20140005973A (ko) 2014-01-15
TW201238726A (en) 2012-10-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2012133532A1 (ja) ワイヤソー及びワイヤソーにおけるローラ位置合わせ方法
EP2218532B1 (en) Wire saw device and method for operating same
JP2013058751A (ja) 加工物から１つ以上のウェハをスライスするためのマルチプルワイヤソーのためのワイヤスプール
WO2013011854A1 (ja) ワイヤソー
JP2015155119A (ja) ワイヤソー及び切断加工方法
JP5980220B2 (ja) 改善された光ファイバガイド装置
JP2010253664A (ja) ワーク切断方法およびワーク切断用ワイヤ巻き変更装置
KR20130115968A (ko) 와이어식 절단 장치
JP2014114166A (ja) 綾巻きパッケージを製造する繊維機械の作業部用の巻取り装置
JP2017213627A (ja) ワークの切断方法
JP5150756B2 (ja) ワイヤソー
TW201032923A (en) Wire saw and workpiece processing method
JP6351712B2 (ja) テクスチャリング加工機
KR20130015546A (ko) 잉곳 절단용 와이어 쏘 장치
WO2013041140A1 (en) Method and apparatus for cutting semiconductor workpieces
KR101224142B1 (ko) 와이어 권취 장치
WO2012141072A1 (ja) ワイヤソー
JP2007111823A (ja) ワイヤ式切断装置
JP2000061805A (ja) ワイヤ式切断加工装置
CN221136469U (zh) 张力机构、线锯单元、线切割机
JP2022074313A (ja) レーザ加工装置
JP2022159163A (ja) 紡糸引取装置
JP6006601B2 (ja) テーパ加工方法およびテーパ加工用のワイヤソー
JP2014108467A (ja) シングルワイヤソー
JP2018144220A (ja) ワイヤソー及びワイヤソーにおけるワーク切断加工方法

Legal Events

Date Code Title Description
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 201280007331.7

Country of ref document: CN

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 12764591

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 20137021531

Country of ref document: KR

Kind code of ref document: A

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 12764591

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1