JPH0871909A - ワイヤーソー - Google Patents
ワイヤーソーInfo
- Publication number
- JPH0871909A JPH0871909A JP20837494A JP20837494A JPH0871909A JP H0871909 A JPH0871909 A JP H0871909A JP 20837494 A JP20837494 A JP 20837494A JP 20837494 A JP20837494 A JP 20837494A JP H0871909 A JPH0871909 A JP H0871909A
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- Japan
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- wire
- grooved rollers
- rack
- work
- rollers
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/04—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools
- B28D5/045—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools by cutting with wires or closed-loop blades
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
- B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
- B23D57/0053—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of drives for saw wires; of wheel mountings; of wheels
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】架台の熱変形がウェーハの反り精度に悪影響を
及ぼしにくいワイヤーソーの提供。 【構成】溝付ローラ２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃ及びワーク
送りテーブル２６は同一架台２４の前面２４Ａに左右対
称に設けられる。また、前記溝付ローラ２２Ａ、２２
Ｂ、２２Ｃの各軸芯２２Ａ’、２２Ｂ’、２２Ｃ’は前
記架台２４の前面２４Ａに対して平行に設けられ、溝付
ローラ２２Ｂ、２２Ｃで形成されるワイヤー列２３Ａ
は、前記架台２４の前面２４Ａに対して垂直に形成され
る。また、ワーク送りテーブル２６は、前記溝付ローラ
２２Ｂ、２２Ｃで形成される前記ワイヤー列２３Ａに対
して垂直に進退移動する。ワーク３８は前記ワーク送り
テーブル２６に取り付けられる共に、該ワーク３８の軸
芯は架台２４の前面２４Ａに対して垂直に取り付けられ
る。本発明のワイヤーソーは上記のように構成されるた
め、架台２４に熱変形が生じても、その熱変形を受ける
方向がワイヤー列２３Ａのワイヤー走り方向と一致する
ため、切断されるウェーハの反り精度に影響を及ぼしに
くくなる。
及ぼしにくいワイヤーソーの提供。 【構成】溝付ローラ２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃ及びワーク
送りテーブル２６は同一架台２４の前面２４Ａに左右対
称に設けられる。また、前記溝付ローラ２２Ａ、２２
Ｂ、２２Ｃの各軸芯２２Ａ’、２２Ｂ’、２２Ｃ’は前
記架台２４の前面２４Ａに対して平行に設けられ、溝付
ローラ２２Ｂ、２２Ｃで形成されるワイヤー列２３Ａ
は、前記架台２４の前面２４Ａに対して垂直に形成され
る。また、ワーク送りテーブル２６は、前記溝付ローラ
２２Ｂ、２２Ｃで形成される前記ワイヤー列２３Ａに対
して垂直に進退移動する。ワーク３８は前記ワーク送り
テーブル２６に取り付けられる共に、該ワーク３８の軸
芯は架台２４の前面２４Ａに対して垂直に取り付けられ
る。本発明のワイヤーソーは上記のように構成されるた
め、架台２４に熱変形が生じても、その熱変形を受ける
方向がワイヤー列２３Ａのワイヤー走り方向と一致する
ため、切断されるウェーハの反り精度に影響を及ぼしに
くくなる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はワイヤーソーに係り、特
に円柱状の半導体インゴット、セラミック、ガラス等の
ワークを走行するワイヤーで多数の薄板状のウェーハに
切断するワイヤーソーに関する。
に円柱状の半導体インゴット、セラミック、ガラス等の
ワークを走行するワイヤーで多数の薄板状のウェーハに
切断するワイヤーソーに関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体インゴット、セラミック、ガラス
等のワークを薄板状のウェーハに切断する切断装置の一
つにワイヤーソーがある。このワイヤーソーは、ワイヤ
ーが複数の溝付ローラ間に巻掛けられてワイヤー列が形
成されると共に、ワイヤーの一方端は一方のワイヤーリ
ールに巻回され、他方端は他方のワイヤーリールに巻回
される。そして、ワイヤーが一方のワイヤーリールと他
方のワイヤーリールとの間を高速で往復走行する際に、
ワーク送りテーブルによりワークを前記ワイヤー列に押
し当てると共に、ワイヤー列に砥粒を含む加工液を供給
して砥粒のラッピング作用によりワークを多数の薄板状
のウェーハに切断するものである。
等のワークを薄板状のウェーハに切断する切断装置の一
つにワイヤーソーがある。このワイヤーソーは、ワイヤ
ーが複数の溝付ローラ間に巻掛けられてワイヤー列が形
成されると共に、ワイヤーの一方端は一方のワイヤーリ
ールに巻回され、他方端は他方のワイヤーリールに巻回
される。そして、ワイヤーが一方のワイヤーリールと他
方のワイヤーリールとの間を高速で往復走行する際に、
ワーク送りテーブルによりワークを前記ワイヤー列に押
し当てると共に、ワイヤー列に砥粒を含む加工液を供給
して砥粒のラッピング作用によりワークを多数の薄板状
のウェーハに切断するものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、ワイ
ヤーソーは、高速で往復走行するワイヤーにワークを押
し当てて切断を行うため、その切断部及び駆動源である
モータ等で大量の熱が発生する。この発生した熱は、ワ
イヤーソーを構成する各部材に伝わり、各部材に熱変形
を誘発しワークの切断精度低下の原因の一つになってい
る。特に、切断部を構成する各部材の熱変形は、直接ワ
ークの切断精度に影響を及ぼし、切断されたウェーハに
反りを生じさせる。
ヤーソーは、高速で往復走行するワイヤーにワークを押
し当てて切断を行うため、その切断部及び駆動源である
モータ等で大量の熱が発生する。この発生した熱は、ワ
イヤーソーを構成する各部材に伝わり、各部材に熱変形
を誘発しワークの切断精度低下の原因の一つになってい
る。特に、切断部を構成する各部材の熱変形は、直接ワ
ークの切断精度に影響を及ぼし、切断されたウェーハに
反りを生じさせる。
【０００４】しかしながら、従来のワイヤーソーでは、
この切断部の熱変形に対する処置が十分になされていな
かった。本発明は、このような事情を鑑みてなされたも
ので、架台の熱変形がウェーハの反り精度に悪影響を及
ぼしにくいワイヤーソーを提供することを目的とする。
この切断部の熱変形に対する処置が十分になされていな
かった。本発明は、このような事情を鑑みてなされたも
ので、架台の熱変形がウェーハの反り精度に悪影響を及
ぼしにくいワイヤーソーを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決する為の手段】本発明は、前記目的を達成
する為に、ワイヤーを一方のワイヤーリールから繰り出
して複数個の溝付ローラに巻き掛けワイヤー列を形成し
て他方のワイヤーリールに巻き取ると共に、ワーク送り
機構によりワークを前記複数個の溝付ローラで形成され
るワイヤー列に押し当て多数の薄板状のウェーハに切断
するワイヤーソーにおいて、前記複数個の溝付ローラ及
び前記ワーク送り機構は同一架台の同一平面上に左右対
称に配置されると共に、前記ワークの軸芯及び前記複数
個の溝付ローラの各軸芯は前記架台の取付け面に対して
平行に設けられることを特徴とする。
する為に、ワイヤーを一方のワイヤーリールから繰り出
して複数個の溝付ローラに巻き掛けワイヤー列を形成し
て他方のワイヤーリールに巻き取ると共に、ワーク送り
機構によりワークを前記複数個の溝付ローラで形成され
るワイヤー列に押し当て多数の薄板状のウェーハに切断
するワイヤーソーにおいて、前記複数個の溝付ローラ及
び前記ワーク送り機構は同一架台の同一平面上に左右対
称に配置されると共に、前記ワークの軸芯及び前記複数
個の溝付ローラの各軸芯は前記架台の取付け面に対して
平行に設けられることを特徴とする。
【０００６】
【作用】本発明のワイヤーソーによれば、ワイヤー列を
形成する複数個の溝付ローラ及びワークを前記ワイヤー
列に対して進退移動させるワーク送り機構を同一架台の
同一平面上に左右対称に配置すると共に、前記複数個の
溝付ローラの各軸芯を架台の取付け面に対して平行に設
けた。これにより、架台に熱変形が生じても、熱変形を
受ける方向がワイヤー列のワイヤー走り方向と一致する
ため、切断されたウェーハの反り精度に影響を及ぼしに
くくなる。
形成する複数個の溝付ローラ及びワークを前記ワイヤー
列に対して進退移動させるワーク送り機構を同一架台の
同一平面上に左右対称に配置すると共に、前記複数個の
溝付ローラの各軸芯を架台の取付け面に対して平行に設
けた。これにより、架台に熱変形が生じても、熱変形を
受ける方向がワイヤー列のワイヤー走り方向と一致する
ため、切断されたウェーハの反り精度に影響を及ぼしに
くくなる。
【０００７】
【実施例】以下添付図面に従って本発明に係るワイヤー
ソーの好ましい実施例について詳説する。図１には、本
発明に係るワイヤーソーの全体構成が示され、同図に示
すように、ワイヤーソー１０のワイヤー１４は次のよう
な走行路を形成する。
ソーの好ましい実施例について詳説する。図１には、本
発明に係るワイヤーソーの全体構成が示され、同図に示
すように、ワイヤーソー１０のワイヤー１４は次のよう
な走行路を形成する。
【０００８】一方のワイヤーリール１２に巻回されたワ
イヤー1 ４は、ワイヤー案内装置１６、複数のガイドロ
ーラ１８、１８、…ダンサローラ２０を経由して３本の
溝付きローラ２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃに順次巻き掛けら
れる。そして、溝付ローラ２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃでワ
イヤー列２３を形成した後、図示しない反対側の複数の
ガイドローラ、ダンサローラ、ワイヤー案内装置を経て
図示しない他方のワイヤーリールに巻き取られる。これ
らの一方のワイヤーリール１２、ワイヤー案内装置１
６、複数のガイドローラ１８、１８、…、ダンサローラ
２０と他方のワイヤーリール、ワイヤー案内装置、複数
のガイドローラ、ダンサローラとは、ワイヤー列２３を
挟んで左右対称に配置される。
イヤー1 ４は、ワイヤー案内装置１６、複数のガイドロ
ーラ１８、１８、…ダンサローラ２０を経由して３本の
溝付きローラ２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃに順次巻き掛けら
れる。そして、溝付ローラ２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃでワ
イヤー列２３を形成した後、図示しない反対側の複数の
ガイドローラ、ダンサローラ、ワイヤー案内装置を経て
図示しない他方のワイヤーリールに巻き取られる。これ
らの一方のワイヤーリール１２、ワイヤー案内装置１
６、複数のガイドローラ１８、１８、…、ダンサローラ
２０と他方のワイヤーリール、ワイヤー案内装置、複数
のガイドローラ、ダンサローラとは、ワイヤー列２３を
挟んで左右対称に配置される。
【０００９】前記ワイヤー１４の駆動は、ワイヤーリー
ル１２、１２に連結された正逆回転可能なモータ２１、
２１及び３本の溝付ローラ２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃの内
１本に連結された正逆回転可能なモータ（図示せず）よ
り行われる。これにより、ワイヤー１４は上記走行路を
往復走行する。上記したワイヤー走行路を構成する各部
材は、溝付ローラ２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃを除いて全て
直方体状の箱型に形成された架台２４内に収納される。
ル１２、１２に連結された正逆回転可能なモータ２１、
２１及び３本の溝付ローラ２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃの内
１本に連結された正逆回転可能なモータ（図示せず）よ
り行われる。これにより、ワイヤー１４は上記走行路を
往復走行する。上記したワイヤー走行路を構成する各部
材は、溝付ローラ２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃを除いて全て
直方体状の箱型に形成された架台２４内に収納される。
【００１０】図２には、溝付ローラ２２Ａ、２２Ｂ、２
２Ｃ及びワーク送りテーブル２６が前記架台２４の前面
２４Ａに支持された状態が示されている。同図に示され
るように、架台２４の前面２４Ａの下方には溝付ローラ
２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃが、上方にはワーク送りテーブ
ル２６が配置される。また、溝付ローラ２２、２２、２
２とワーク送りテーブル２６は、中心線４４に対して左
右対称となるように配置されている。
２Ｃ及びワーク送りテーブル２６が前記架台２４の前面
２４Ａに支持された状態が示されている。同図に示され
るように、架台２４の前面２４Ａの下方には溝付ローラ
２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃが、上方にはワーク送りテーブ
ル２６が配置される。また、溝付ローラ２２、２２、２
２とワーク送りテーブル２６は、中心線４４に対して左
右対称となるように配置されている。
【００１１】溝付ローラ２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃは、そ
の両端をＬ字状のブラケット２８、２８の支持部２８
Ａ、２８Ａに回動自在に支持され、該Ｌ字状のブラケッ
ト２８、２８は、その基端部２８Ｂ、２８Ｂを架台２４
の前面２４Ａにボルト３０、３０を介してボルト止めさ
れている。また、溝付ローラ２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃの
各軸芯２２Ａ’、２２Ｂ’、２２Ｃ’は前記架台２４の
前面２４Ａに対して平行になるよう設置される。また、
各軸芯２２Ａ’、２２Ｂ’、２２Ｃ’を結ぶ直線が逆三
角形Ｔを成すように配置されると共に、上部２本の溝付
ローラ２２Ｂ、２２Ｃで形成されるワイヤー列２３Ａが
前記架台２４の前面２４Ａに対して垂直になるように配
置される。
の両端をＬ字状のブラケット２８、２８の支持部２８
Ａ、２８Ａに回動自在に支持され、該Ｌ字状のブラケッ
ト２８、２８は、その基端部２８Ｂ、２８Ｂを架台２４
の前面２４Ａにボルト３０、３０を介してボルト止めさ
れている。また、溝付ローラ２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃの
各軸芯２２Ａ’、２２Ｂ’、２２Ｃ’は前記架台２４の
前面２４Ａに対して平行になるよう設置される。また、
各軸芯２２Ａ’、２２Ｂ’、２２Ｃ’を結ぶ直線が逆三
角形Ｔを成すように配置されると共に、上部２本の溝付
ローラ２２Ｂ、２２Ｃで形成されるワイヤー列２３Ａが
前記架台２４の前面２４Ａに対して垂直になるように配
置される。
【００１２】ワーク送りテーブル２６はＬ字状に形成さ
れており、ワーク支持部２６Ａと連結部２６Ｂとから構
成されている。連結部２６Ｂの４角にはガイド溝２７、
２７、…が形成され、該ガイド溝２７、２７、…は、架
台２４の前面２４Ａに配設された一対のガイドレール３
２、３２に嵌合されている。また、このワーク送りテー
ブル２６連結部２６Ｂの中心部にはナット部２６Ｃが設
けられ、モータ３４で回動するネジ棒３６がナット部２
６Ｃに連結されている。そして、ワーク送りテーブル２
６は、モータ３４がネジ棒３６の駆動することにより、
レール３２上をスライド移動し、溝付ローラ２２Ｂ、２
２Ｃで形成されるワイヤー列２３Ａに対して進退移動を
行う。
れており、ワーク支持部２６Ａと連結部２６Ｂとから構
成されている。連結部２６Ｂの４角にはガイド溝２７、
２７、…が形成され、該ガイド溝２７、２７、…は、架
台２４の前面２４Ａに配設された一対のガイドレール３
２、３２に嵌合されている。また、このワーク送りテー
ブル２６連結部２６Ｂの中心部にはナット部２６Ｃが設
けられ、モータ３４で回動するネジ棒３６がナット部２
６Ｃに連結されている。そして、ワーク送りテーブル２
６は、モータ３４がネジ棒３６の駆動することにより、
レール３２上をスライド移動し、溝付ローラ２２Ｂ、２
２Ｃで形成されるワイヤー列２３Ａに対して進退移動を
行う。
【００１３】ワーク３８は、前記ワーク送りテーブル２
６のワーク支持部２６Ａにワークベース４０とスライス
ベース４２を介して支持される。また、ワーク３８の軸
芯３８Ａが前記架台２４の前面２４Ａに対して平行にな
るように取り付けられると共に、ワーク送りテーブル２
６に対して左右対称になるように取付けられる。前記の
如く構成された本発明による実施例の作用は次の通りで
ある。
６のワーク支持部２６Ａにワークベース４０とスライス
ベース４２を介して支持される。また、ワーク３８の軸
芯３８Ａが前記架台２４の前面２４Ａに対して平行にな
るように取り付けられると共に、ワーク送りテーブル２
６に対して左右対称になるように取付けられる。前記の
如く構成された本発明による実施例の作用は次の通りで
ある。
【００１４】先ず、ワーク送りテーブル２６をワイヤー
列２３Ａ方向に移動させると、ワーク３８は走行するワ
イヤー列２３に押し当てられ、ワイヤー列２３Ａに供給
される加工液の砥粒によるラッピング作用により多数の
ウェーハに切断される。ウェーハの切断に伴い切断部及
び駆動モータでは大量の熱が発生し、これにより、架台
２４は図３で示すように前方に湾曲したり、図４で示す
ように後方に湾曲したりするようになる。しかしなが
ら、熱変形により、架台２４が前方側（図３参照）又は
後方側（図４参照）に湾曲したとしても、湾曲の方向は
前記ワイヤー列２３Ａのワイヤー走り方向と一致するた
め、ウェーハ反り精度には影響を及ぼさない。
列２３Ａ方向に移動させると、ワーク３８は走行するワ
イヤー列２３に押し当てられ、ワイヤー列２３Ａに供給
される加工液の砥粒によるラッピング作用により多数の
ウェーハに切断される。ウェーハの切断に伴い切断部及
び駆動モータでは大量の熱が発生し、これにより、架台
２４は図３で示すように前方に湾曲したり、図４で示す
ように後方に湾曲したりするようになる。しかしなが
ら、熱変形により、架台２４が前方側（図３参照）又は
後方側（図４参照）に湾曲したとしても、湾曲の方向は
前記ワイヤー列２３Ａのワイヤー走り方向と一致するた
め、ウェーハ反り精度には影響を及ぼさない。
【００１５】このように、本実施例のワイヤーソーによ
れば、仮に架台２４に熱変形が生じても、その熱変形を
受ける方向がワイヤー列２３のワイヤー走り方向と一致
するため、切断されたウェーハの反り精度に影響を及ば
さない。また、溝付ローラ２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃ及び
ワーク送りテーブル２６を取り付けることにより生じる
架台２４の撓みの方向もウェーハスライス面と一致する
ため、この撓みによる影響にも対処することができる。
れば、仮に架台２４に熱変形が生じても、その熱変形を
受ける方向がワイヤー列２３のワイヤー走り方向と一致
するため、切断されたウェーハの反り精度に影響を及ば
さない。また、溝付ローラ２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃ及び
ワーク送りテーブル２６を取り付けることにより生じる
架台２４の撓みの方向もウェーハスライス面と一致する
ため、この撓みによる影響にも対処することができる。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のワイヤー
ソーによれば、ワイヤー列を形成する複数個の溝付ロー
ラ及びワーク送り機構が同一架台に左右対称に設けられ
ると共に、前記複数個の溝付ローラ及びワークの軸芯が
前記架台の取付け面に対して平行設けられるので、架台
に熱変形が生じても、その熱変形を受ける方向がワイヤ
ー列のワイヤー走り方向と一致し、切断されたウェーハ
の反り精度に影響を及ぼしにくくなる。
ソーによれば、ワイヤー列を形成する複数個の溝付ロー
ラ及びワーク送り機構が同一架台に左右対称に設けられ
ると共に、前記複数個の溝付ローラ及びワークの軸芯が
前記架台の取付け面に対して平行設けられるので、架台
に熱変形が生じても、その熱変形を受ける方向がワイヤ
ー列のワイヤー走り方向と一致し、切断されたウェーハ
の反り精度に影響を及ぼしにくくなる。
【図１】図１は、本実施例のワイヤーソーの全体構成図
【図２】図２は、図１における要部拡大図
【図３】図３は、本実施例のワイヤーソーの架台に熱変
形（前方側の反り）が生じた時の状態図
形（前方側の反り）が生じた時の状態図
【図４】図４は、本実施例のワイヤーソーの架台に熱変
形（後方側の反り）が生じた時の状態図
形（後方側の反り）が生じた時の状態図
１０…ワイヤーソー １４…ワイヤー ２２…溝付ローラ ２３…ワイヤー列 ２４…架台 ２６…ワーク送りテーブル ３８…ワーク
Claims (1)
- 【請求項１】ワイヤーを一方のワイヤーリールから繰り
出して複数個の溝付ローラに巻き掛けワイヤー列を形成
して他方のワイヤーリールに巻き取ると共に、ワーク送
り機構によりワークを前記複数個の溝付ローラで形成さ
れるワイヤー列に押し当て多数の薄板状のウェーハに切
断するワイヤーソーにおいて、 前記複数個の溝付ローラ及び前記ワーク送り機構は同一
架台の同一平面上に左右対称に配置されると共に、前記
ワークの軸芯及び前記複数個の溝付ローラの各軸芯は前
記架台の取付け面に対して平行に設けられることを特徴
とするワイヤーソー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20837494A JPH0871909A (ja) | 1994-09-01 | 1994-09-01 | ワイヤーソー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20837494A JPH0871909A (ja) | 1994-09-01 | 1994-09-01 | ワイヤーソー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0871909A true JPH0871909A (ja) | 1996-03-19 |
Family
ID=16555233
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20837494A Pending JPH0871909A (ja) | 1994-09-01 | 1994-09-01 | ワイヤーソー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0871909A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012133532A1 (ja) * | 2011-03-30 | 2012-10-04 | コマツＮｔｃ 株式会社 | ワイヤソー及びワイヤソーにおけるローラ位置合わせ方法 |
| TWI453811B (zh) * | 2007-03-06 | 2014-09-21 | Shinetsu Handotai Kk | Cutting method and wire saw device |
| CN109702273A (zh) * | 2017-10-26 | 2019-05-03 | 梅耶博格（瑞士）股份公司 | 线锯 |
| CN114603730A (zh) * | 2022-04-21 | 2022-06-10 | 青岛高测科技股份有限公司 | 单线双线切割硅棒的方法、切割设备及切割系统 |
| CN114633388A (zh) * | 2022-04-21 | 2022-06-17 | 青岛高测科技股份有限公司 | 单线双线切割硅棒的方法、切割设备及切割系统 |
-
1994
- 1994-09-01 JP JP20837494A patent/JPH0871909A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI453811B (zh) * | 2007-03-06 | 2014-09-21 | Shinetsu Handotai Kk | Cutting method and wire saw device |
| WO2012133532A1 (ja) * | 2011-03-30 | 2012-10-04 | コマツＮｔｃ 株式会社 | ワイヤソー及びワイヤソーにおけるローラ位置合わせ方法 |
| JP2012206224A (ja) * | 2011-03-30 | 2012-10-25 | Komatsu Ntc Ltd | ワイヤソー及びワイヤソーにおけるローラ位置合わせ方法 |
| CN109702273A (zh) * | 2017-10-26 | 2019-05-03 | 梅耶博格（瑞士）股份公司 | 线锯 |
| CN114603730A (zh) * | 2022-04-21 | 2022-06-10 | 青岛高测科技股份有限公司 | 单线双线切割硅棒的方法、切割设备及切割系统 |
| CN114633388A (zh) * | 2022-04-21 | 2022-06-17 | 青岛高测科技股份有限公司 | 单线双线切割硅棒的方法、切割设备及切割系统 |
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