KR970005473A - 와이어 톱 및 와이어 톱에 의한 단결정재료의 절단방법 - Google Patents

와이어 톱 및 와이어 톱에 의한 단결정재료의 절단방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 와이어 톱 및 와이어 톱에 의한 단결정재료의 절단방법에 관한 것으로서, 특히 실리콘 등의 단결정재료를 다수의 웨이퍼로 절단하는 와이어 톱 및 와이어 톱에 의한 단결정재료의 절단방법에 관한 것이다. 워크접착블록(44)은 부착블록(60), 수평요동블록(62) 및 수직요동블록(64)으로 구성되고, 수평요동블록(62) 은 부착블록(60)에 대해 수평으로, 수직요동블록(64)은 부착블록(60)에 대해 수직으로 각각 요동가능하게 설치되어 있다. 또한 반도체 잉곳(40)은 수직요동블록(64)의 상부에 위치결정하여 고착되어 있다. 결정방위맞춤을 하는 경우는 미리 수평요동블록(62)가 수직요동블록(64)을 부착블록(60)에 대해 소정각도 경사지게 한후 와이어 톱의 워크이송대(38)에 고정한다.
본 발명은 워크의 교환작업을 신속하게 할 수 있으며, 안전하고 간편하게 경사작업을 할 수 있고 와이어톱 장치 본체를 간소화할 수 있으며, 안전하고 간편하게 경사작업을 할 수 있고 와이어톱 장치 본체를 간소화할 수 있으며 홈붙이롤러로 치우친 열분포를 발생시키지 않으므로 절단정밀도가 높다.

Description

와이어 톱 및 와이어 톱에 의한 단결정재료의 절단방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 와이어 톱이 전체구성도, 제2도는 제1실시예의 워크접착블록의 측면도, 제3도는 제1실시예의 워크접착블록의 평면도, 제4도는 제1실시예의 워크접착블록의 정면도, 제5도는 제3도의 X-X선 단면도.

Claims (9)

  1. 주행하는 와이어를 복수개이 홈붙이 롤러에 감아 와이어열을 형성하고 워크이송대에 워크접착블록을 사이에 두고 단결정재료를 부착하여 상기 워크이송대를 상기 와이어열쪽으로 보냄으로써 상기 단결정재료를 상기 와이어열에 밀어붙여 상기 단결정재료를 다수의 웨이퍼로 절단하는 와이어 톱에 있어서, 상기 와이어 톱 장치 외부에서 미리 상기 단결정재료의 수평각도 부착하여 상기 단결정재료를 절단하는 것을 특징으로 하는 와이어 톱에 의한 단결정재료의 절단방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 단결정재료를 상기 와이어열에 대해 수평, 수직방향으로 각각 소정각도 경사가능하게 유지함과 동시에 상기 워크이송대에 착탈가능한 워크접착블록을 이용하여 상기 단결정재료의 수평각도 조정과 수직각도 조정을 하는 것을 특징으로 하는 와이어 톱에 의한 단결정재료의 절단방법.
  3. 주행하는 와이어를 복수개의 홈붙이 롤러에 감아 와이어열을 형성하고 워크이송대에 워트접착블록을 사이에 두고 단결정재료를 부착하여 상기 워크이송대를 상기 와이어열쪽을 보냄으로써 상기 단결정재료를 상기와이어열에 밀어붙여 상기 단결정재료를 다수의 웨이퍼로 절단하는 와이어 톱에 있어서, 상기 워크접착블록에 상기 단결정재료를 상기 와이어열에 대해 소정각도 경사지게 하기 위한 수평요동기구와 수직요동기구를 구비한 것을 특징으로 하는 와이어 톱.
  4. 제3항에 있어서, 상기 워크접착블록은 상기 워크이송대에 착탈가능하게 부착되는 부착블록과, 그 부착불록과, 그 부착블로에 요동가능하게 설치되어 상기 와이어열에 대해 수평으로 요동하는 수평요동블록과, 그 수평요동블록에 요동가능하게 설치되어 상기 와이어열에 대해 수직으로 요동하는 수직요동블록으로 된 것을 특징으로 하는 와이어톱.
  5. 제3항에 있어서, 상기 수평요동블록은 상기 부착블록에 형성된 수평면상을 미끄러져 움직여서 상기 와이어열에 대해 수평으로 요동하는 것을 특징으로 하는 와이어 톱.
  6. 제3항에 있어서, 상기 수직요동블록은 상기 수평요동블록에 형성된 원호면상을 미끄러져 움직여서 상기 와이어열에 대해 수직으로 요동하는 것을 특징으로 하는 와이어 톱.
  7. 제3항에 있어서, 상기 워크접착블록에 단결정재료를 지지하는 워크지지판을 착탈가능하게 설치하고, 그 워크지지판에 상기 단결정재료를 부착하여 그 워크지지판에 대해 기준맞춤을 한 상기 워크접착블록에 부착하는 것을 특징으로 하는 와이어 톱.
  8. 주행하는 와이어를 복수개의 홈붙이 롤러에 감아 와이어열을 형성하고 워크이송대에 워크접착블록을 사이에 두고 단결정재료를 부착하여 상기 워크이송대를 와이어쪽으로 보냄으로써 상기 단결정재료를 상기 와이어열에 밀어붙여 상기 단결정재료를 다수의 웨이퍼로 절단하는 와이어 톱에 있어서, 상기 단결정재료를 상기 와이어열에 대해 평행한 상태로 상기 단결정재료를 축심을 중심으로 원주방향으로 소정각도 회전시킴과 동시에 상기 단결정재료의 축심과 직교하는 축선을 중심으로 조정각도 회전시켜 상기 단결정재료의 결정방위를 산출하고, 상기 고정부에 결정방위를 산출한 상기 단결정재료를 위치결정하여 고정시켜 상기 단결정재료를 절단하는 것을 특징으로 하는 와이어 톱에 의한 단결정재료의 절단방법.
  9. 주행하는 와이어를 복수개의 홈붙이 롤러에 감아 와이어열을 형성하고 워크이송대에 워크접착블록을 사이에 두고 단결정재료를 부착하여 상기 워크이송대를 상기 와이어열쪽으로 보냄으로써 상기 단결정재료를 상기 와이어열에 밀어붙여 상기 단결정재료를 다수의 웨이퍼로 절단하는 와이어 톱에 있어서, 상기 단결정재료를 축심을 중심으로 원주방향으로 소정각도 회전시킴과 동시에 상기 와이어열에 대해 평행한 상태로 상기 고정부에 고정하고, 상기 단결정재료의 축심과 직교하는 축선을 중심으로 상기 고정부를 소정각도 회전시켜 상기 단결정재료의 결정방위를 산출한 후 상기 단결정재료를 절단하는 것을 특징으로 하는 와이어 톱에 의한 단결정재료의 절단방법.
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