KR100375173B1 - 단결정 잉곳의 제조 방법 및 이 단결정 잉곳을 이용한웨이퍼 제조방법 - Google Patents

단결정 잉곳의 제조 방법 및 이 단결정 잉곳을 이용한웨이퍼 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 단결정 잉곳의 제조 방법 및 이 단결정 잉곳을 이용한 웨이퍼 제조방법에 관한 것으로서 소정 직경(R2)을 갖는 봉 형상의 단결정 몸체를 결정 성장 축 방향과 0°를 초과하는 소정 각도(θ2) 만큼 경사지게 2개 이상으로 절단하여 절단면이 상기 결정 성장 축 방향과 0°를 초과하는 소정 각도(θ2) 만큼 경사지는 단결정 잉곳을 형성하는 단계와, 상기 단결정 잉곳 외주의 일면에 빔을 부착하는 단계와, 상기 단결정 잉곳의 양 끝 표면을 고정 블록에 접착시켜 고정시키는 단계와, 상기 단결정 잉곳을 상기 결정 성장 축방향과 0°를 초과하는 소정 각도(θ2) 만큼 경사지게 절단하여 다수 개의 웨이퍼를 형성하는 단계를 구비한다.
따라서, 긴 봉 형상을 갖는 다수 개의 단결정 잉곳으로 웨이퍼를 제조할 때 쐐기의 수를 감소시켜 이 쐐기로 인한 손실이 감소시키므로 생산성이 향상되고 원가가 절감된다.

Description

단결정 잉곳의 제조 방법 및 이 단결정 잉곳을 이용한 웨이퍼 제조방법{Method for cropping a single crystal ingot and slicing wafer using thereof}
본 발명은 단결정 잉곳의 제조 방법 및 이 단결정 잉곳을 이용한 웨이퍼 제조방법에 관한 것으로서, 특히, 단결정 잉곳의 결정 성장 축 방향과 소정 각도로 경사지게 절단(slice)되는 웨이퍼를 제조하기 위한 단결정 잉곳의 제조 방법 및 이 단결정 잉곳을 이용한 웨이퍼 제조방법에 관한 것이다.
반도체 등의 전자 부품을 생산하기 위한 소재로 사용되는 실리콘 등의 웨이퍼(wafer)는 단결정 실리콘 잉곳(ingot)을 얇은 두께로 절단(slice)하여 만든다. 단결정 잉곳은 다결정실리콘을 쵸크랄스키 방법(Czochralski method : 이하, CZ 방법이라 칭함) 또는 FZ 방법(Floating Zone method : 이하, FZ 방법이라 칭함) 등으로 정제하여 봉 형상의 단결정 몸체를 형성한 후에 이 단결정 몸체를 외부 표면 가공하여 일정한 직경을 갖도록 하고 일정한 길이로 절단하므로써 제조 완료된다. 단결정의 결정 몸체를 CZ 방법으로 형성하는 것을 대략적으로 설명한다.
CZ 방법은, 먼저, 다결정실리콘의 용융액에 종자 결정(seed crystal)을 침지(dipping)한 후에 인상(pull, 引上)하여 종자 결정으로부터 가늘고 긴 단결정을 성장시키는 네킹(necking) 단계를 진행한다. 그리고, 단결정을 종자 결정과 수직하는 직경 방향으로 성장시키는 숄더링(shouldering) 단계를 진행하여 성장된 단결정이 소정 크기 이상의 직경을 갖도록 하며, 계속해서, 몸체 성장(body growing) 단계를 진행하여 소정 크기 이상의 직경을 갖는 단결정 몸체가 성장되도록 한다. 단결정 몸체의 몸체 성장(body growing) 단계에 의해 성장된 부분은 웨이퍼로 만들어지는 부분이 된다. 그리고, 단결정 몸체를 소정 길이 만큼 성장시킨 후에는 단결정 몸체의 직경을 감소시켜 결국 성장된 단결정 몸체를 다결정실리콘의 용융액과 분리하는 테일링(tailing) 단계를 거쳐 결정 성장 과정을 완료한다.
상술한 결정 성장된 단결정 몸체를 몸체 성장된 부분만 잔류하여 봉 형상을 갖도록 절단(cropping)한 후, 이 봉 형상의 잔류하는 부분이 소정 직경을 갖도록 외부 표면을 가공(grinding)한다. 그리고, 이 소정 직경을 갖는 봉 형상의 단결정 몸체를일정한 길이를 갖도록 절단하여 소정 길이를 갖는 단결정 잉곳의 제조를 완료한다.
단결정 잉곳을 내주(內週) 또는 외주(外週) 블레이드, 또는, 피아노 와이어를 이용하여 일정한 두께로 얇게 절단(slice)하여 웨이퍼를 제조한다. 상기에서 웨이퍼는 반도체 칩 제조 공정 상의 노하우(knowhow) 또는 제조 장비 특성에 따라 사용자(user)의 요구에 의해 단결정 잉곳의 결정 성장 축 방향과 소정 각도, 예를 들면, 0 ~ 10。, 바람직하기는 0 ~ 4。정도 경사지게 절단하여 형성된다.
도 1은 종래 기술에 따른 봉 형상의 단결정 몸체를 절단하여 단결정 잉곳을 제조하는 방법을 도시하는 상태도이다.
종래 기술은 소정 직경(R1)을 갖는 봉 형상의 단결정 몸체(11)를 결정 성장 축 방향과 일치되고 소정 길이(L1)를 갖도록 절단하여 단결정 잉곳(13)을 2개 이상의 다수 개를 제조한다. 상기에서 단결정 잉곳(13)의 길이(L1)는 공정에 따라 통상 7㎝ 내외에서 27 ~ 28㎝ 정도로 형성된다.
상기에서 단결정 잉곳(13)은 단결정 몸체(11)를 내주(內週) 또는 외주(外週) 블레이드, 또는, 피아노 선 등의 와이어으로 이루어진 절단장치(15)로 결정 성장 축 방향으로 소정의 일정한 길이를 갖도록 절단하므로써 형성된다.
도 2는 종래 기술에 따른 절단된 단결정 잉곳을 얇게 절단하여 웨이퍼를 제조하는 방법을 도시하는 개략도이다.
웨이퍼(27)를 제조하는 방법은 다수 개의 단결정 잉곳(13)의 절단된 표면을 서로 접착제(21)로 접착하여 긴 봉 형상으로 만든다. 그리고, 단결정 잉곳(13)이 다수 개의 연결된 긴 봉 형상의 외주의 일면을 흑연, 우레탄, 레진, CaCO3 등으로 이루어진 빔(beam : 17)에 부착시킨 후, 다시, 접착되지 않은 한쪽 절단 표면을 접착제(23)에 의해 고정 블록(19)에 접착시켜 고정시킨다.
긴 봉 형상을 갖는 다수 개의 단결정 잉곳(13)을 도넛(doughnut) 형상 또는 원형의 블레이드(blade), 또는, 피아노 선 등의 와이어으로 이루어진 절단장치(15)를 이용하여 1 장씩, 또는, 동시에 여러 장을 절단하여 웨이퍼(27)를 제조한다.
웨이퍼(27)를 제조할 때 긴 봉 형상을 갖는 다수 개의 단결정 잉곳(13)을 결정 성장 축 방향과 소정 각도(θ1) 만큼, 예를 들면, 0∼10。, 바람직하기는 0∼4。정도경사지게 절단하여야 한다. 즉, 긴 봉 형상을 갖는 다수 개의 단결정 잉곳(13)을 절단장치(25)에 대해 결정 성장 축 방향과 소정 각도(θ1) 만큼, 예를 들면,0∼10。, 바람직하기는 0∼4。정도 경사지게 하여 절단하여야 한다.
상기에서 웨이퍼(27)를 제조할 때 단결정 잉곳(13)에 소정 두께(l1)을 갖는 2개의 원형의 쐐기(29)가 양측에 각각 형성된다. 쐐기(29)는 웨이퍼(27)로 사용될 수 없어 버려야 하는 것으로, 두께(l1)는 ㅣ1 = R1 ×tanθ1가 된다. 그러므로, 단결정 잉곳(13)의 직경(R1)이 200㎜이고 각도(θ1)가 4。이면 쐐기(29)의 두께(l1)은 14㎜ 정도가 된다. 따라서, 단결정 잉곳(13)의 길이(L1)가 28㎝ 정도라면 쐐기(29)에 의해 5% 정도의 손실이 발생되며, 길이(L1)가 짧아질수록 손실은 증가하게 되어 생산성이 저하되고 원가가 상승된다. 쐐기(29)에 의해 발생되는 손실은 피할 수 없는 것으로 증가되지 않도록 하여야 한다.
상술한 바와 같이 종래 기술은 봉 형상의 단결정 몸체를 결정 성장 축 방향과 일치되게 절단하여 단결정 잉곳을 제조하고, 단결정 잉곳을 다수 개 접착하여 긴 봉 형상으로 만든다. 그리고, 긴 봉 형상을 갖는 다수 개의 단결정 잉곳을 결정 성장 축 방향과 소정 각도(θ1) 만큼, 예를 들면, 0∼10。, 바람직하기는 0∼4。정도 경사지게 절단하여 웨이퍼를 제조한다.
그러나, 종래 기술은 웨이퍼를 제조할 때 긴 봉 형상을 갖는 다수 개의 단결정 잉곳의 각각은 쐐기가 절단면 양측에, 즉, 2개가 형성되므로 쐐기로 의해 발생되는 손실로 인하여 생산성이 저하되고 원가가 상승되는 문제점이 있었다.
따라서, 본 발명의 목적은 웨이퍼 제조시 발생되는 쐐기로 인해 발생되는 손실을 저하시킬 수 있는 단결정 잉곳의 제조 방법을 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은 쐐기의 발생을 감소시켜 생산성을 향상시키고 원가를 감소할 수 있는 웨이퍼 제조방법을 제공함에 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 단결정 잉곳의 제조 방법은 소정 직경(R2)을 갖는 봉 형상의 단결정 몸체를 절단하여 소정 길이(L2)를 갖는 단결정 잉곳을 제조함에 있어서, 상기 봉 형상의 단결정 몸체를 결정 성장 축 방향과 0°를 초과하는 소정 각도(θ2) 만큼 경사지게 2개 이상으로 절단하여 상기 단결정 잉곳을 형성하되 상기 단결정 잉곳의 절단면이 상기 결정 성장 축 방향과 0°를 초과하는 소정 각도(θ2) 만큼 경사진다.
다른 목적을 달성하기 위한 본 발명에 일 실시예에 따른 웨이퍼 제조방법은 소정 직경(R2)을 갖는 봉 형상의 단결정 몸체를 결정 성장 축 방향과 0°를 초과하는 소정 각도(θ2) 만큼 경사지게 2개 이상으로 절단하여 절단면이 상기 결정 성장 축 방향과 0°를 초과하는 소정 각도(θ2) 만큼 경사지는 단결정 잉곳을 형성하는 단계와, 상기 단결정 잉곳 외주의 일면에 빔을 부착하는 단계와, 상기 단결정 잉곳의 한쪽 끝 표면을 고정 블록에 접착시켜 고정시키는 단계와, 상기 단결정 잉곳을 상기 0°를 초과하는 소정 각도(θ2) 만큼 경사지게 절단하여 다수 개의 웨이퍼를 형성하는 단계를 구비한다.
다른 목적을 달성하기 위한 본 발명에 다른 실시예에 따른 웨이퍼 제조방법은 소정 직경(R2)을 갖는 봉 형상의 단결정 몸체를 결정 성장 축 방향과 0°를 초과하는 소정 각도(θ2) 만큼 경사지게 2개 이상으로 절단하여 절단면이 상기 결정 성장 축 방향과 0°를 초과하는 소정 각도(θ2) 만큼 경사지는 단결정 잉곳을 형성하는 단계와, 상기 단결정 잉곳의 다수 개를 절단면이 서로 접촉되게 연결하여 긴 봉 형상으로 만드는 단계와, 상기 다수 개의 단결정 잉곳이 연결된 상기 긴 봉 형상 외주의 일면에 빔을 부착하는 단계와, 상기 다수 개의 단결정 잉곳이 연결된 상기 긴 봉 형상의 한쪽 끝 표면을 고정 블록에 접착시켜 고정시키는 단계와, 상기 단결정 잉곳을 상기 결정 성장 축 방향과 0°를 초과하는 소정 각도(θ2) 만큼 경사지게 절단하여 다수 개의 웨이퍼를 형성하는 단계를 구비한다.
도 1은 종래 기술에 따른 봉 형상의 단결정 몸체를 절단하여 단결정 잉곳을 제조하는 방법을 도시하는 상태도.
도 2는 종래 기술에 따른 절단된 단결정 잉곳을 얇게 절단하여 웨이퍼를 제조하는 방법을 도시하는 개략도.
도 3은 본 발명에 따른 봉 형상의 단결정 몸체를 절단하여 단결정 잉곳을 제조하는 방법을 도시하는 상태도.
도 4는 본 발명에 따른 절단된 단결정 잉곳을 얇게 절단하여 웨이퍼를 제조하는 방법을 도시하는 개략도.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다.
도 3은 본 발명에 따른 봉 형상의 단결정 몸체를 절단하여 단결정 잉곳을 제조하는 방법을 도시하는 상태도이다.
본 발명에 따른 기술은 소정 직경(R2)을 갖는 봉 형상의 단결정 몸체(31)를 결정 성장 축 방향과 0°를 초과하는 소정 각도(θ2) 만큼, 예를 들면, 0°를 초과하고 10°이하로, 바람직하기는 0°를 초과하고 4°이하로 경사지고, 소정 길이(L2), 예를 들면, 7㎝ 내외에서 27∼28㎝ 정도를 갖도록 절단장치(35)로 절단하여 단결정 잉곳(33)을 2개 이상의 다수 개를 제조한다.상기에서 단결정 몸체(31)는 절단(cropping)시 양측 표면이 결정 성장 축 방향과 일치하거나, 또는, 결정 성장 축 방향과 0°를 초과하는 소정 각도(θ2) 만큼, 예를 들면, 0°를 초과하고 10°이하로, 바람직하기는 0°를 초과하고 4°이하로 경사지도록 절단된다. 그러므로, 단결정 잉곳(33)은 절단되어 생성되는 표면이 결정 성장 축 방향과 0°를 초과하는 소정 각도(θ2) 만큼, 예를 들면, 0°를 초과하고 10°이하로, 바람직하기는 0°를 초과하고 4°이하로 경사지나, 절단되지 않은 단결정 몸체(31)의 양 끝 표면과 대응하는 부분은 결정 성장 축 방향과 일치하거나, 또는, 결정 성장 축 방향과 0°를 초과하는 소정 각도(θ2) 만큼, 예를 들면, 0°를 초과하고 10°이하로, 바람직하기는 0°를 초과하고 4°이하로 경사지게 형성된다.
상기에서 절단장치(35)는 내주(內週) 또는 외주(外週) 블레이드, 또는, 피아노선 등의 와이어를 사용할 수 있다.
도 4는 본 발명에 따른 절단된 단결정 잉곳을 얇게 절단하여 웨이퍼를 제조하는 방법을 도시하는 개략도이다.
웨이퍼(47)를 제조하는 방법은 다수 개의 단결정 잉곳(33)의 양측 절단 표면을 서로 접착제(41)로 접착하여 긴 봉 형상으로 만든다. 이 때, 다수 개의 단결정 잉곳(33)으로 이루어진 긴 봉 형상 끝의 표면은 절단되어 결정 성장 축 방향과 0°를 초과하는 소정 각도(θ2) 만큼, 예를 들면, 0°를 초과하고 10°이하로, 바람직하기는 0°를 초과하고 4°이하로 경사지거나, 또는, 절단되지 않아 결정 성장 축 방향과 일치된다.그리고, 다수 개의 단결정 잉곳(33)이 접착되어 형성된 긴 봉 형상의 외주의 일면을 흑연, 우레탄, 레진, CaCO3 등으로 이루어진 빔(beam : 37)에 부착시킨 후, 다시, 한쪽 끝 표면을 접착제(43)에 의해 고정 블록(39)에 접착시켜 고정시킨다.
상기에서 다수 개의 단결정 잉곳(33)으로 형성된 긴 봉 형상을 고정 블록(39)에 고정시킬 때 결정 성장 축 방향과 0°를 초과하는 소정 각도(θ2) 만큼, 예를 들면, 0°를 초과하고 10°이하로, 바람직하기는 0°를 초과하고 4°이하로 경사진 절단 표면은 원형의 쐐기 형상의 접착보조블럭(51)을 개재시킨다. 접착보조블럭(51)은 긴 봉 형상의 결정 성장 축 방향과 0°를 초과하는 소정 각도(θ2)로 경사진 절단 표면과 고정 블록(39) 사이의 간격을 제거하기 위한 것이다. 그러므로, 접착보조블럭(51)은 소정 두께(l2)를 가지며 긴 봉 형상의 경사진 절단 표면과 접착되는 부분은 단결정 잉곳(33)의 절단된 표면과 동일한 결정 성장 축 방향과 0°를 초과하는 소정 각도(θ2) 만큼, 예를 들면, 0°를 초과하고 10°이하로 바람직하기는 0°를 초과하고 4°이하로 경사지게 형성된다.
긴 봉 형상을 갖는 다수 개의 단결정 잉곳(33)을 절단장치(45)로 절단하여 웨이퍼(47)를 제조한다. 상기에서 절단장치(45)로 웨이퍼(47)는 도넛(doughnut) 형상 또는 원형의 블레이드, 또는, 피아노 선 등이 이용되며 웨이퍼(47)를 1 장씩 또는 여러 장을 동시에 절단하여 제조한다.
웨이퍼(47)를 제조할 때 긴 봉 형상을 갖는 다수 개의 단결정 잉곳(33)을 결정 성장 축 방향과 0°를 초과하는 소정 각도(θ2) 만큼, 예를 들면, 0°를 초과하고 10°이하로, 바람직하기는 0°를 초과하고 4°이하로 경사지게 절단하여야 한다. 즉, 긴 봉 형상을 갖는 다수 개의 단결정 잉곳(33)을 절단장치(45)에 대해 결정 성장 축 방향과 0°를 초과하는 소정 각도(θ2) 만큼, 예를 들면, 0°를 초과하고 10°이하로, 바람직하기는 0°를 초과하고 4°이하로 경사지게 하여 절단하여야 한다.그러므로, 긴 봉 형상을 이루는 단결정 잉곳(33)중 양 끝에 위치하여 일측 표면이 결정 성장 축 방향과 일치하여 접착보조블럭(51)을 개재시키지 않고 고정블럭(39)에 의해 부착 고정되는 부분에 쐐기(49)가 발생된다. 그러나, 긴 봉 형상을 이루는 단결정 잉곳(33)중 중간 부분에 위치하는 것은 양측 표면이 절단 방향과 동일하게 경사져 있으므로 쐐기(49)가 발생되지 않는다. 또한, 긴 봉 형상을 이루는 단결정 잉곳(33)중 어느 한 끝에 위치하여 일측 표면이 결정 성장 축 방향과 0°를 초과하는 소정 각도(θ2)만큼 경사져 접착보조블럭(51)을 개재시켜 고정블럭(39)에 의해 부착 고정되는 부분에도 쐐기(49)가 발생되지 않는다.
상기에서 쐐기(49)는 소정 두께(l2)를 가지며 결정 성장 축 방향과 0°를 초과하는 소정 각도(θ2) 만큼, 예를 들면, 0°를 초과하고 10°이하로, 바람직하기는 0°를 초과하고 4°이하로 경사진 원형으로 형성된다. 쐐기(49)는 웨이퍼(47)로 사용될 수 없어 버려야 하는 것으로, 두께(l2)는 ㅣ2 = R2 ×tanθ2가 된다. 그러므로, 단결정 잉곳(33)의 직경(R2)이 200㎜이고 각도(θ2)가 4°이면쐐기(49)의 두께(l2)은 14㎜ 정도가 된다. 따라서, 단결정 잉곳(33)의 길이(L2)가 28㎝ 정도라면 쐐기(49)에 의해 5% 정도의 손실이 발생된다.
그러나, 상술한 바와 같이 본원 발명은 쐐기(49)가 긴 봉 형상을 이루는 모든 단결정 잉곳(33) 중 중간 부분에 위치하는 것에 발생되지 않을 뿐만 아니라, 양측에 위치하는 하는 것에 모두 발생하거나 일측에 위치하는 것에만 발생한다. 그러므로, 쐐기(49)에 의한 손실이 긴 봉 형상을 이루는 다수 개의 단결정 잉곳(33)의 각각에 발생되지 않고 양측에 위치하는 2개 또는 그 중 1개에만 발생된다. 따라서, 긴 봉 형상을 이루는 다수 개의 단결정 잉곳(33)은 웨이퍼(47)을 제조할 때 쐐기(49)로 인한 손실이 감소되므로 생산성이 향상되고 원가가 절감된다.
상술한 바와 같이 본 발명은 봉 형상의 단결정 몸체를 결정 성장 축 방향과 0°를 초과하는 소정 각도(θ2) 만큼, 예를 들면, 0°를 초과하고 10°이하로, 바람직하기는 0°를 초과하고 4°이하로 경사지도록 절단하여 다수 개의 단결정 잉곳을 제조한 후 다수 개의 단결정 잉곳의 양측 절단 표면을 서로 접착제로 접착하여 긴 봉 형상으로 만든다. 그리고, 다수 개의 단결정 잉곳이 연결되어 형성된 긴 봉 형상의 양 끝을 고정 블록에 고정시키되 결정 성장 축 방향과 0°를 초과하는 소정 각도(θ2) 만큼, 예를 들면, 0°를 초과하고 10°이하로, 바람직하기는 0°를 초과하고 4°이하로 경사진 절단 표면은 원형의 쐐기 형상의 접착보조블럭을 개재시켜 고정하고 경사지지 않은 표면은 직접 고정시킨 후 다수 개의 단결정 잉곳을 결정 성장 축 방향과 0°를 초과하는 소정 각도(θ2) 만큼, 예를 들면, 0°를 초과하고 10°이하로, 바람직하기는 0°를 초과하고 4°이하로 경사지게 하여 절단하여 긴 봉 형상을 이루는 다수 개의 단결정 잉곳 중 중간에 위치하는 것에 쐐기가 발생되는 것을 방지한다.
따라서, 본 발명은 긴 봉 형상을 갖는 다수 개의 단결정 잉곳으로 웨이퍼를 제조할 때 쐐기의 수를 감소시켜 이 쐐기로 인한 손실이 감소시키므로 생산성이 향상되고 원가가 절감되는 잇점이 있다.

Claims (23)

  1. 소정 직경(R2)을 갖는 봉 형상의 단결정 몸체를 절단하여 소정 길이(L2)를 갖는 단결정 잉곳을 제조하는 방법에 있어서,
    상기 봉 형상의 단결정 몸체를 결정 성장 축 방향과 0°를 초과하는 소정 각도(θ2) 만큼 경사지게 2개 이상으로 절단하여 상기 단결정 잉곳을 형성하되 상기 단결정 잉곳의 절단면이 상기 결정 성장 축 방향과 0°를 초과하는 소정 각도(θ2) 만큼 경사지게 형성하는 것이 특징인 단결정 잉곳의 제조 방법.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 소정 각도(θ2)는 0°를 초과하고, 10°이하의 범위인 것이 특징인 단결정 잉곳의 제조 방법.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 소정 각도(θ2)는 0°를 초과하고, 4°이하의 범위인 것이 특징인 단결정 잉곳의 제조 방법.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 봉 형상의 단결정 몸체를 내주(內週) 또는 외주(外週) 블레이드, 또는, 피아노선으로 절단하는 것이 특징인 단결정 잉곳의 제조 방법.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 단결정 잉곳을 상기 단결정 몸체의 양 끝 표면과 대응하는 부분의 표면이 결정 성장 축 방향과 일치하거나, 또는, 결정 성장 축 방향과 0°를 초과하는 소정 각도(θ2) 만큼 경사지게 형성하는 것이 특징인 단결정 잉곳의 제조 방법.
  6. 소정 직경(R2)을 갖는 봉 형상의 단결정 몸체를 결정 성장 축 방향과 0°를 초과하는 소정 각도(θ2) 만큼 경사지게 2개 이상으로 절단하여 절단면이 상기 결정 성장 축 방향과 0°를 초과하는 소정 각도(θ2) 만큼 경사지는 단결정 잉곳을 형성하는 단계와,
    상기 단결정 잉곳 외주의 일면에 빔을 부착하는 단계와,
    상기 단결정 잉곳의 한쪽 끝 표면을 고정 블록에 접착시켜 고정시키는 단계와,
    상기 단결정 잉곳을 상기 0°를 초과하는 소정 각도(θ2) 만큼 경사지게 절단하여 다수 개의 웨이퍼를 형성하는 단계를 포함하는 것이 특징인 웨이퍼의 제조 방법.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 소정 각도(θ2)는 0°를 초과하고, 10°이하의 범위인 것이 특징인 웨이퍼의 제조 방법.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 소정 각도(θ2)는 0°를 초과하고, 4°이하의 범위인 것이 특징인 웨이퍼의 제조 방법.
  9. 청구항 6에 있어서,
    상기 봉 형상의 단결정 몸체를 내주(內週) 또는 외주(外週) 블레이드, 또는, 피아노선으로 절단하여 상기 단결정 잉곳을 제조하는 것이 특징인 웨이퍼의 제조 방법.
  10. 청구항 6에 있어서,
    상기 빔이 흑연, 우레탄, 레진, CaCO3으로 형성된 것이 특징인 웨이퍼의 제조 방법.
  11. 청구항 6에 있어서,
    상기 단결정 잉곳은 상기 단결정 몸체의 양 끝 표면과 대응하는 부분의 표면이 결정 성장 축 방향과 일치하거나, 또는 결정 성장 축 방향과 0°를 초과하는 소정 각도(θ2) 만큼 경사지게 절단된 것이 특징인 웨이퍼의 제조 방법.
  12. 청구항 6에 있어서,
    상기 단결정 잉곳을 상기 고정 블록에 고정시킬 때 상기 결정 성장 축 방향과 0°를 초과하는 소정 각도(θ2) 만큼 경사지는 표면은 원형 쐐기 형상의 접착보조블럭을 개재시키고 결정 성장 축 방향과 일치하는 표면은 직접 부착하는 것이 특징인 웨이퍼의 제조 방법.
  13. 청구항 12에 있어서,
    상기 접착보조블럭은 상기 단결정 잉곳의 경사진 표면과 접촉되는 부분이 상기 결정 성장 축 방향과 0°를 초과하는 소정 각도(θ2) 만큼 경사지게 형성된 것이 특징인 웨이퍼의 제조 방법.
  14. 청구항 6에 있어서,
    상기 단결정 잉곳을 내주(內週) 또는 외주(外週) 블레이드, 또는, 피아노선으로 다수 개로 절단하는 것이 특징인 웨이퍼의 제조 방법.
  15. 소정 직경(R2)을 갖는 봉 형상의 단결정 몸체를 결정 성장 축 방향과 0°를 초과하는 소정 각도(θ2) 만큼 경사지게 2개 이상으로 절단하여 절단면이 상기 결정 성장 축 방향과 0°를 초과하는 소정 각도(θ2) 만큼 경사지는 단결정 잉곳을 형성하는 단계와,
    상기 단결정 잉곳의 다수 개를 절단면이 서로 접촉되게 연결하여 긴 봉 형상으로 만드는 단계와,
    상기 다수 개의 단결정 잉곳이 연결된 상기 긴봉 형상 외주의 일면에 빔을 부착하는단계와,
    상기 다수 개의 단결정 잉곳이 연결된 상기 긴 봉 형상의 한쪽 끝 표면을 고정 블록에 접착시켜 고정시키는 단계와,
    상기 단결정 잉곳을 상기 0°를 초과하는 소정 각도(θ2) 만큼 경사지게 절단하여 다수 개의 웨이퍼를 형성하는 단계를 구비하는 웨이퍼의 제조방법.
  16. 청구항 15에 있어서,
    상기 소정 각도(θ2)는 0°를 초과하고, 10°이하의 범위인 것이 특징인 웨이퍼의 제조 방법.
  17. 청구항 16에 있어서,
    상기 소정 각도(θ2)는 0°를 초과하고, 4°이하의 범위인 것이 특징인 웨이퍼의 제조 방법.
  18. 청구항 15에 있어서,
    상기 봉 형상의 단결정 몸체를 내주(內週) 또는 외주(外週) 블레이드, 또는, 피아노 선으로 절단하여 상기 단결정 잉곳을 제조하는 것이 특징인 웨이퍼의 제조 방법.
  19. 청구항 15에 있어서,
    상기 빔이 흑연, 우레탄, 레진, CaCO3으로 형성된 것이 특징인 웨이퍼의 제조 방법.
  20. 청구항 15에 있어서,
    상기 다수 개의 단결정 잉곳 중 중간에 위치하는 것은 양측 절단면이 결정 성장 축 방향과 0°를 초과하는 소정 각도(θ2) 만큼 경사지고 양측에 위치하는 상기 단결정 몸체의 양 끝 표면과 대응하는 부분의 표면이 결정 성장 축 방향과 일치하거나, 또는, 결정 성장 축 방향과 소정 각도(θ2) 만큼 경사지게 절단된 것이 특징인 웨이퍼의 제조 방법.
  21. 청구항 15에 있어서,
    상기 다수 개의 단결정 잉곳이 연결된 상기 긴 봉 형상을 상기 고정 블록에 고정시킬 때 상기 결정 성장 축 방향과 0°를 초과하는 소정 각도(θ2) 만큼 경사지는 표면은 원형 쐐기 형상의 접착보조블럭을 개재시키고 결정 성장 축 방향과 일치하는 표면은 직접 부착하는 것이 특징인 웨이퍼의 제조 방법.
  22. 청구항 21에 있어서,
    상기 접착보조블럭은 상기 단결정 잉곳의 경사진 표면과 접촉되는 부분이 상기 결정 성장 축 방향과 0°를 초과하는 소정 각도(θ2) 만큼 경사지게 형성된 것이 특징인 웨이퍼의 제조 방법.
  23. 청구항 15에 있어서,
    상기 다수 개의 단결정 잉곳을 내주(內週) 또는 외주(外週) 블레이드, 또는, 피아노선으로 다수 개로 절단하는 것이 특징인 웨이퍼의 제조 방법.
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