DE19851070A1 - Verfahren und Vorrichtung zum gleichzeitigen Abtrennen einer Vielzahl von Scheiben von einem Werkstück - Google Patents

Abstract

Gegenstand der Erfindung ist ein Verfahren zum gleichzeitigen Abtrennen einer Vielzahl von Scheiben von einem sprödharten Werkstück, das eine Längsachse und eine Umfangsfläche aufweist, wobei das Werkstück durch eine translatorische, senkrecht zur Längsachse gerichtete Relativbewegung zwischen dem Werkstück und einem Drahtgatter einer Drahtsäge mit Hilfe einer Vorschubeinrichtung durch das von einem Sägedraht gebildete Drahtgatter geführt wird. Das Verfahren ist dadurch gekennzeichnet, daß das Werkstück während des Abtrennens der Scheiben um die Längsachse gedreht wird. DOLLAR A Gegenstand der Erfindung ist auch eine Drahtsäge, die zur Durchführung des Verfahrens geeignet ist, und gekennzeichnet ist durch eine Einrichtung zum Halten und zum Drehen des Werkstücks um die Längsachse.

Description

Gegenstand der Erfindung ist ein Verfahren zum gleichzeitigen Abtrennen einer Vielzahl von Scheiben von einem sprödhartem Werkstück. Gegenstand der Erfindung ist auch eine Vorrichtung, die zur Durchführung des Verfahrens geeignet ist.

Die Erfindung ist insbesondere bei der Herstellung von Halblei­ terscheiben nützlich. Für solche Anwendungen werden in zuneh­ menden Maße Drahtsägen verwendet, die eine Vielzahl von Schei­ ben in einem Arbeitsgang von einem Werkstück abtrennen können. In der US-5,771,876 ist das Funktionsprinzip einer Drahtsäge beschrieben, die zur Herstellung von Halbleiterscheiben geeig­ net ist. Das Werkstück wird mit einer Vorschubbewegung durch das Drahtgatter (wire web) der Drahtsäge geführt und beim Durchdringen des Drahtgatters in Scheiben geteilt. Es sind Drahtsägen bekannt, die mit einer Sägesuspension (slurry) ar­ beiten, und andere, bei denen Schneidkorn fest an den Sägedraht gebunden ist. Beim Abtrennen von Halbleiterscheiben von einem Kristall ist es üblich, daß der Kristall mit einer Sägeleiste verbunden ist, in die der Sägedraht am Ende des Verfahrens ein­ schneidet. Die Sägeleiste ist ein Trägerkörper, der auf der Um­ fangsfläche des Kristalls aufgeklebt oder aufgekittet wird. Die entstandenen Halbleiterscheiben bleiben nach dem Abtrennen wie die Zähne eines Kammes auf der Sägeleiste fixiert und können so aus der Drahtsäge genommen werden. Später wird die verbliebene Sägeleiste von den Halbleiterscheiben abgelöst.

Beim Arbeiten mit Drahtsägen der genannten Art kann der Säge­ draht an den Seiten der Scheiben Riefen (marks) und Wellen hin­ terlassen, die unerwünscht sind, weil sie erhöhten Materialab­ trag bei Nachfolgeprozessen erfordern und weil sie Messungen der Scheibendicke beeinträchtigen und Abweichungen von der an­ gestrebten Scheibenform darstellen. Sie müssen deswegen ent­ fernt, beispielsweise weggeschliffen werden, wobei zusätzlicher Materialverlust entsteht.

In der JP-08-85053 A ist ein Verfahren beschrieben, bei dem das Werkstück auf eine Sägeleiste gekittet ist und beim Abtrennen der Scheiben eine Schwenkbewegung vollzieht, so daß der Säge­ draht beim Eindringen in das Werkstück einen gekrümmten Grund im Sägespalt hinterläßt.

Die vorliegende Erfindung stellt ein verbessertes Sägeverfahren zur Verfügung.

Gegenstand der Erfindung ist ein Verfahren zum gleichzeitigen Abtrennen einer Vielzahl von Scheiben von einem sprödharten Werkstück, das eine Längsachse und eine Umfangsfläche aufweist, wobei das Werkstück durch eine translatorische, senkrecht zur Längsachse gerichtete Relativbewegung zwischen dem Werkstück und einem Drahtgatter einer Drahtsäge mit Hilfe einer Vorschu­ beinrichtung durch das von einem Sägedraht gebildete Drahtgat­ ter geführt wird. Das Verfahren ist dadurch gekennzeichnet, daß das Werkstück während des Abtrennens der Scheiben um die Längs­ achse gedreht wird.

Gegenstand der Erfindung ist weiterhin eine Drahtsäge zur Durchführung des Verfahrens, die gekennzeichnet ist durch eine Einrichtung zum Halten und zum Drehen des Werkstücks um die Längsachse.

Über den Vorteil hinaus, daß beim Abtrennen von Scheiben gerin­ gere Riefenbildung auftritt und die Scheibenausbeute ansteigt, weil beim Bearbeiten der Seiten mit abrasiv wirkenden Werkzeu­ gen weniger Material geopfert werden muß, sind mit der Erfin­ dung weitere Vorteile verbunden. So sind Verbesserungen bei Kenngrößen zu verzeichnen, die wie TTV (total thickness varia­ tion) und Dickenverteilung die Form der erzeugten Scheiben be­ schreiben. Erfindungsgemäß hergestellte Scheiben können daher auch ohne materialabtragende Zwischenbehandlung direkt einer Doppelseitenpolitur unterzogen werden. Weiterhin steigt bei An­ wendung des Verfahrens die Sägekapazität an, weil bereits ein Vorschubweg entprechend des halben Durchmessers des Werkstücks genügt, um die Scheiben vollständig abtrennen zu können. Durch gezieltes Wählen der Eingriffslänge des Sägedrahtes und der Vorschubgeschwindigkeit können kürzere Sägezeiten erreicht wer­ den. Das Anbringen einer Sägeleiste vor und das Ablösen der verbliebenen Sägeleiste nach dem Abtrennen kann beim Abtrennen von Halbleiterscheiben entfallen. Schließlich kann die Erfin­ dung auch noch dazu verwendet werden, um Halbleiterscheiben mit definierter rotationssymmetrischer Verformung (defined bow) zu erhalten. Um dies zu erreichen, kann die Drehbewegung mit einer axialen Vorschubbewegung des Sägedrahtes oder des Werkstücks kombiniert werden, wobei sich bei radial verändertem Zerspanvo­ lumen ein entsprechender Materialabtrag ergibt. Die axiale Vor­ schubbewegung des Sägedrahtes oder des Werkstücks kann bei­ spielsweise durch Maßnahmen erreicht werden, die in der deut­ schen Patentanmeldung mit dem Aktenzeichen 197 39 966.5 be­ schrieben sind.

Im Vergleich zu bekannten Verfahren, bei denen ein Slurry ein­ gesetzt wird, bringt die Erfindung weitere Vorteile. Der Slurry verteilt sich beim Drehen des Werkstücks im Sägespalt besser, so daß eine ausreichende Versorgung des Sägespalts mit Slurry gewährleistet ist. Das Drehen des Werkstücks um die Längsachse kann auch zu einer punktförmigen Berührung zwischen dem Säge­ draht und dem Werkstück im Schneidspalt führen und damit zu ei­ nem hohen Sägedruck. Das Abtrennen der Scheiben kann dadurch und durch ein mögliches Erhöhen der relativen Geschwindigkeit des Sägedrahtes bei gegenläufiger Drehrichtung von Werkstück und Sägedraht beschleunigt werden. Eine gegebenenfalls notwen­ dige Reduzierung der Umlaufgeschwindigkeit des Sägedrahtes kann durch eine entsprechende Erhöhung der Drehgeschwindigkeit des Werkstücks ausgeglichen werden. Die genannten Vorteile führen insgesamt zu einer verbesserten Wirtschaftlichkeit des erfin­ dungsgemäßen Verfahrens.

Obwohl die Erfindung beim Abtrennen von Halbleiterscheiben von einem Kristall besonders viele Vorteile bietet, ist sie nicht auf diesen Bereich beschränkt. Besonders bevorzugt ist auch, sie zum Abtrennen von Scheiben einzusetzen, die zu Speicherme­ dien (hard disks) weiterverarbeitet werden sollen. Im Unter­ schied zu Kristallen, die als massive Körper vorliegen, werden Scheiben, die zu Speichermedien weiterverarbeitet werden sol­ len, von Werkstücken getrennt, die wegen einer axialen Bohrung rotationssymmetrische Hohlkörper sind.

Die Werkstücke bestehen vorzugsweise aus sprödhartem Material wie Silicium oder Galliumarsenid, wenn es sich um Halbleiterma­ terial handelt und aus Siliciumcarbid, wenn es sich um Material zur Herstellung von Speichermedien handelt.

Unter einer Längsachse des Werkstücks ist im Sinne der Erfin­ dung die geometrische Mitte des Werkstücks zu verstehen. Das Werkstück erstreckt sich rotationssymmetrisch um diese Achse. Ein Kristall aus Halbleitermaterial wird in der Regel so ge­ schliffen sein, daß diese Achse mit einer bevorzugten Kristal­ lachse zusammenfällt oder einen definierten Winkel dazu ein­ nimmt.

Die Erfindung sieht vor, das Werkstück beim Abtrennen von Scheiben um die Längsachse zu drehen. Dem Anwender stehen dabei verschiedene Möglichkeiten offen. So kann die Drehrichtung bei­ behalten oder periodisch oder nach einem bestimmten Programm geändert werden. Das Werkstück kann bei Änderung der Drehrich­ tung in eine Richtung länger gedreht werden, als in die Gegen­ richtung, oder auch in jede Drehrichtung gleich lange gedreht werden.

Falls das Werkstück ein Kristall aus Halbleitermaterial ist, ist bevorzugt, diesen in Scheiben zu zerteilen, ohne daß er da­ bei mit einer Sägeleiste verbunden ist. Der Einsatz einer Säge­ leiste, die auf der Umfangsfläche des Kristalls aufgekittet ist, ist allerdings auch möglich, sofern der Drehwinkel be­ schränkt wird.

Bei einem als Hohlkörper ausgebildeten Werkstück ist zum Drehen des Werkstücks ein Trägerkörper notwendig, beispielsweise ein Stab aus Glas, Graphit, Metall oder Kunststoff, der im Hohlraum des Werkstücks mit der Innenumfangsfläche des Werkstücks ver­ bunden ist.

Im Fall der Verwendung einer Sägeleiste oder eines anderen Trä­ gerkörpers treibt man das Abtrennen der Scheiben so weit voran, daß der Sägedraht des Drahtgatters auch in den Trägerkörper einschneidet. Die abgetrennten Scheiben bleiben so auf dem Rest des Trägerkörpers fixiert.

Der Winkel, um den das Werkstück beim Abtrennen der Scheiben gedreht wird, ist vorzugsweise größer als 0° und kleiner als 360°, sofern eine Sägeleiste auf die Umfangsfläche des Werk­ stücks geklebt oder gekittet ist. Besonders bevorzugt ist ein Drehwinkel von 5° bis 355°. Wird keine solche Sägeleiste ver­ wendet oder wird ein als Hohlkörper ausgebildetes Werkstück in Scheiben geteilt, sollte der Drehwinkel größer als 0° sein, vorzugsweise mindestens 5° betragen und kann beliebig über die­ sem Wert liegen.

Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform des Verfahrens wird das Werkstück zu Beginn des Abtrennens der Scheiben durch Pinolen und am Ende des Abtrennens der Scheiben durch Rollen gehalten, wobei die Pinolen an Stirnseiten des Werkstücks und die Rollen an der Umfangsfläche des Werkstücks eingreifen. Dieses Verfah­ ren eignet sich für massive Werkstücke wie Kristalle aus Halb­ leitermaterial.

Bei als Hohlkörper ausgebildeten Werkstücken greifen die Pino­ len am Trägerkörper an, der sich im Hohlraum des Werkstücks be­ findet. Sie drehen den Trägerkörper und damit auch das Werk­ stück um dessen Längsachse.

Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform des Verfahrens ist vorgesehen, der Drehbewegung des Werkstücks um die Längs­ achse eine Schwenkbewegung zu überlagern. Das Werkstück wird zusätzlich um eine Drehachse geschwenkt, die parallel zur Längsachse des Werkstücks liegt, besonders bevorzugt an einer Stelle, an der der Sägedraht in das Werkstück eindringt.

Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform des Verfahrens werden mehrere Werkstücke nebeneinander angeordnet und die Scheiben gleichzeitig von den Werkstücken abgetrennt. Die Werk­ stücke werden dabei entweder so angeordnet, daß ihre Längsach­ sen eine gerade Linie senkrecht schneiden oder so, daß ihre Längsachsen eine gekrümmte Linie senkrecht schneiden, wobei die Durchbiegung der Linie einer zu erwartenden Durchbiegung des Drahtgatters beim Abtrennen der Scheiben entspricht.

Die Erfindung wird nachfolgend an Figuren näher erläutert, wo­ bei nur Merkmale dargestellt sind, die zur Erläuterung beitra­ gen.

Fig. 1 ist schematisch der Sägekopf einer Drahtsäge in Sei­ tenansicht am Anfang des Abtrennens von Scheiben von einem Werkstück dargestellt.

Fig. 2 zeigt das zu diesem Zeitpunkt zwischen Pinolen einge­ spannte Werkstück.

Fig. 3 ist die Situation beim Abtrennen der Scheiben zu ei­ nem späteren Zeitpunkt aus der gleichen Perspektive wie in Fig. 1 dargestellt.

Fig. 4 zeigt das von Führungsrollen gehaltene Werkstück kurz vor dem Ende des Abtrennens der Scheiben.

Fig. 5 ist eine Vorrichtung zur Entnahme der abgetrennten Scheiben dargestellt.

Fig. 6 zeigt eine Drahtsäge mit einer Schwenkeinrichtung und einer Vorschubeinrichtung, die eine lineare Bewegung des Werk­ stücks bei translatorisch unbewegtem Sägekopf realisiert.

Fig. 7 zeigt eine Drahtsäge mit einer Schwenkeinrichtung und einer Vorschubeinrichtung, die eine lineare Bewegung des Säge­ kopfes bei translatorisch unbewegtem Werkstück realisiert.

Fig. 8 ist gezeigt, wie mehrere, als Hohlkörper ausgebilde­ te Werkstücke gleichzeitig in Scheiben getrennt werden können.

In den Fig. 1 bis 6 sind die Werkstücke als massive Körper dargestellt. Die gezeigte Vorrichtung kann jedoch unverändert auch zum Abtrennen von Scheiben von einem als Hohlkörper ausge­ bildetem Werkstück eingesetzt werden. Weiterhin kann die ge­ zeigte Drahtsäge sowohl für den Betrieb mit einem Slurry, als auch für den Betrieb mit Sägedraht ausgelegt sein, der mit Schneidkorn, beispielsweise Diamant, belegt ist.

Die Fig. 1 zeigt die Situation kurz nach dem Beginn des Ab­ trennens von Scheiben. Das Werkstück 1, beispielsweise ein Ein­ kristall aus Silicium, wird durch eine translatorische Vor­ schubbewegung gegen das Drahtgatter 7 der Drahtsäge geführt. Der Sägedraht 8 läuft um Drahtführungsrollen 6, die einen Säge­ kopf bilden. Auf der Umfangsfläche des Werkstücks 1 ist kein Trägerkörper aufgekittet. Infolge der Vorschubbewegung dringt der Sägedraht 8 in das Werkstück ein. Zu diesem Zeitpunkt grei­ fen die Rollen 4a, 4b, 4c, 5a und 5b in das Verfahren noch nicht ein. Wie in Fig. 2 gezeigt ist, ist das Werkstück 1 mit Zentrierungen 2 zentriert und wird von Pinolen 3 gehalten und um die Längsachse gedreht.

In Fig. 3 ist die Drahtsäge mit einer Vorschubeinrichtung 11 dargestellt, die das sich drehende Werkstück 1 durch das Draht­ gatter 7 führt. Ab einer bestimmten Einschnittiefe, die vor­ zugsweise dem halben Durchmesser des Werkstücks entspricht, übernehmen einige der Rollen das Abstützen und Drehen des Werk­ stücks. Zu diesem Zweck sind diese Rollen als Führungsrollen 4a, 4b und 4c ausgebildet, die mit Rillen versehen sind, wobei der Abstand der Rillen dem Abstand benachbarter Drahtabschnitte 8 des Drahtgatters entspricht. Mindestens eine der Führungsrol­ len wird angetrieben, so daß ein Weiterdrehen des Werkstücks auch ohne die Pinolen 3 gewährleistet ist. Die Führungsrollen 4a, 4b und 4c werden zum Werkstück geschwenkt und übernehmen das Drehen des Werkstücks.

Nach dem Durchtrennen des Werkstücks, also zu einem Zeitpunkt, zu dem der Sägedraht sich relativ zum Werkstück um eine Strecke bewegt hat, die etwas länger ist, als der halbe Durchmesser des Werkstücks, fährt die Vorschubeinrichtung 11 das Werkstück 1 in entgegengesetzter Richtung zur Richtung der Vorschubbewegung aus dem Drahtgatter 7 heraus. Die Führungsrollen 4b und 4c bleiben dabei unter dem Drahtgatter, während Stützrollen 5a und 5b, die über dem Drahtgatter angeordnet sind, an das Werkstück herangeschwenkt werden, um das Werkstück abzustützen. Im Unter­ schied zu den Führungsrollen, müssen die Stützrollen 5a und 5b nicht notwendigerweise mit Rillen versehen sein.

In Fig. 4 ist dargestellt, wie die Pinolen 3 nach dem Ein­ schwenken der Führungsrollen 4 axial vom Werkstück 1 wegbewegt werden.

Zum Schluß des Verfahrens wird das zu Scheiben geteilte Werk­ stück, das von den Rollen 4a, 5a und 5b gehalten wird, von ei­ ner Entnahmeeinrichtung in Empfang genommen. Eine bevorzugte Entnahmeeinrichtung ist in Fig. 5 dargestellt. Sie umfaßt einen Transportarm 14, der an einem Ende mit Transportrollen 13 ver­ sehen ist. Zum Aufnehmen der Scheiben werden die Transportrol­ len radial gegeneinander bewegt, wobei sie die abgetrennten Scheiben an deren Rändern berühren.

Die Vorrichtung gemäß Fig. 6 unterscheidet sich von der in Fig. 3 gezeigten Vorrichtung durch ein Schwenksegment 10, durch das das sich um seine Längsachse drehende Werkstück zusätzlich um eine weitere Drehachse hin und her geschwenkt werden kann. Die Drehachse liegt parallel zur Längsachse des Werkstücks, vor­ zugsweise am Ort des Einwirkens des Sägedrahts auf das Werk­ stück oder fällt mit der Längsachse des Werkstücks zusammen. Die dargestellte Vorrichtung ist derart ausgebildet, daß das Werkstück mit der Vorschubeinrichtung um einen Schwenkpunkt M geschwenkt werden kann, wobei das Schwenksegment 10 im Abstand R angeordnet ist.

Die Vorrichtung gemäß Fig. 7 unterscheidet sich von der in Fig. 6 gezeigten Vorrichtung durch die Vorschubeinrichtung 12, die den Sägekopf (die Drahtführungsrollen 6 und das Drahtgatter 7) ge­ gen das translatorisch unbewegte Werkstück 1 bewegt. Bei der dargestellten Vorrichtung kann zusätzlich eine Schwenkbewegung des Drahtgatters um den Schwenkpunkt M erfolgen, wobei der Sä­ gekopf innerhalb des Schwenkradius R liegt und um M mitge­ schwenkt wird.

In Fig. 8 ist eine Ausführungform des Verfahrens skizziert, bei der mehrere, als Hohlkörper ausgebildete Werkstücke, beispiels­ weise Hohlzylinder aus Siliciumcarbid, zu Scheiben zerteilt werden. Jedes Werkstück 1 steht über seine Innenumfangsfläche mit einem Trägerkörper 15 in Verbindung. Das Anbringen des Trä­ gerkörpers auf der Innenumfangsfläche schafft eine besonders stabile Verbindung zwischen dem Werkstück und dem Trägerkörper. Zum Abtrennen der Scheiben wird der Trägerkörper von einem nicht dargestellten Antrieb in Drehung versetzt.

Im dargestellten Ausführungsbeispiel sind die Werkstücke 1 so nebeneinander angeordnet, daß ihre Längsachsen eine gerade Li­ nie, die parallel zum Drahtgatter 7 liegt, senkrecht schneiden. Die über dem Drahtgatter gezeichneten Pfeile symbolisieren die Zufuhr eines Slurry 16. Die von einem Pfeil zu einem Werkstück führende, gepunktete Linie verdeutlicht den Weg der T. A. El < die Droplet-Anreicherung bzw. Droplet-Präparation ist in der Ober­ flächen-Mikroanalytik allgemein bekannt (s. Anlagen, Papers von Slurry). Die gezeigte Slurryversorgung hat den Vorteil, daß Slurry nicht nur vom Sägedraht in den Sägespalt transportiert wird, sondern von oben direkt in den Sägespalt hineingelangt. Der Slurry kann auch zwischen den Werkstücken an jedes einzelne Werkstück herangeführt werden. Auch das Entfernen von zerspan­ tem Material und Drahtabrieb ist erleichtert, da beides mit dem Slurry nach unten abfließen kann.

Das Ablösen des verbliebenen Trägerkörpers von den abgetrennten Scheiben läßt sich leicht automatisieren, weil die Scheiben auf dem Trägerkörper geführt sind.

Claims (20)

1. Verfahren zum gleichzeitigen Abtrennen einer Vielzahl von Scheiben von einem sprödharten Werkstück, das eine Längsachse und eine Umfangsfläche aufweist, wobei das Werkstück durch eine translatorische, senkrecht zur Längsachse gerichtete Relativbe­ wegung zwischen dem Werkstück und einem Drahtgatter einer Drahtsäge mit Hilfe einer Vorschubeinrichtung durch das von ei­ nem Sägedraht gebildete Drahtgatter geführt wird, dadurch ge­ kennzeichnet, daß das Werkstück während des Abtrennens der Scheiben um die Längsachse gedreht wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Umfangsfläche beim Drehen des Werkstücks keine Verbindung zu einem Trägerkörper hat.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder Anspruch 2, dadurch gekenn­ zeichnet, daß das Werkstück um einen Winkel gedreht wird, der größer als 0° ist.

4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Werkstück auf der Umfangsfläche mit einem Trägerkörper verbun­ den ist und um einen Winkel gedreht wird, der größer als 0° und kleiner als 360° ist.

5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekenn­ zeichnet, daß beim Drehen des Werkstücks in eine bestimmte Richtung gedreht wird und die Drehrichtung periodisch umgekehrt wird.

6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß das Werkstück in eine Richtung länger gedreht wird, als in die Ge­ genrichtung.

7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekenn­ zeichnet, daß das Werkstück zusätzlich um eine Drehachse ge­ schwenkt wird, die parallel zur Längsachse des Werkstücks liegt.

8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Drehachse, um die das Werkstück geschwenkt wird, an einer Stel­ le liegt, an der der Sägedraht in das Werkstück eindringt.

9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Scheiben unter Einwirken eines Slurry abge­ trennt werden.

10. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Scheiben unter Einwirken von Schneidkorn ab­ getrennt werden, wobei das Schneidkorn an den Sägedraht gebun­ den ist.

11. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch ge­ kennzeichnet, daß mit der Vorschubeinrichtung das Werkstück zum Drahtgatter bewegt wird.

12. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch ge­ kennzeichnet, daß mit der Vorschubeinrichtung das Drahtgatter zum Werkstück bewegt wird.

13. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch ge­ kennzeichnet, daß das Werkstück zu Beginn des Abtrennens der Scheiben durch Pinolen und am Ende des Abtrennens der Scheiben durch Rollen gehalten wird, wobei die Pinolen das Werkstück axial klemmen und die Rollen das Werkstück an der Umfangsfläche abstützen.

14. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch ge­ kennzeichnet, daß das Werkstück als Hohlkörper ausgebildet ist, der eine Innenumfangsfläche aufweist, und das Werkstück mit der Innenumfangsfläche mit einem Trägerkörper verbunden ist und das durch Drehen des Trägerkörpers gedreht wird, und der Sägedraht nach dem Abtrennen der Scheiben in den Trägerkörper eindringt, ohne diesen vollständig zu durchtrennen.

15. Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Werkstücke nebeneinander angeordnet werden, wobei die Längsachsen der Werkstücke eine gerade Linie senkrecht schnei­ den, und die Scheiben gleichzeitig von den Werkstücken abge­ trennt werden.

16. Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Werkstücke nebeneinander angeordnet werden, wobei die Längsachsen der Werkstücke eine gebogene Linie senkrecht schneiden, und die Durchbiegung der Linie einer zu erwartenden Durchbiegung des Drahtgatters beim Abtrennen der Scheiben ent­ spricht, und die Scheiben gleichzeitig von den Werkstücken ab­ getrennt werden.

17. Drahtsäge mit einem Drahtgatter aus Sägedraht zum gleich­ zeitigen Abtrennen einer Vielzahl von Scheiben von einem spröd­ harten Werkstück, mit einer Vorschubeinrichtung, die eine translatorische, senkrecht zu einer Längsachse des Werkstücks gerichtete Relativbewegung zwischen dem Werkstück und einem Drahtgatter der Drahtsäge bewirkt, in deren Verlauf das Werk­ stück durch das Drahtgatter geführt wird, gekennzeichnet durch eine Einrichtung zum Halten und zum Drehen des Werkstücks um die Längsachse.

18. Drahtsäge nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung zum Halten und Drehen des Werkstücks Pinolen und Rollen umfaßt, die zum Werkstück hin und vom Werkstück weg be­ wegbar angeordnet sind, wobei die Pinolen das Werkstück axial klemmen und die Rollen das Werkstück auf einer Umfangsfläche abstützen.

19. Drahtsäge nach Anspruch 17 oder Anspruch 18, gekennzeichnet durch eine Schwenkeinrichtung mit einem Schwenksegment zum Schwenken des Werkstücks um eine Drehachse.

20. Drahtsäge nach einem der Ansprüche 17 bis 19, gekennzeich­ net durch eine Entnahmeeinrichtung zum Aufnehmen der abgetrenn­ ten Scheiben, umfassend einen Transportarm, der an einem Ende mit Transportrollen versehen ist.