DE602004010360T2

DE602004010360T2 - Drahtsägevorrichtung

Info

Publication number: DE602004010360T2
Application number: DE200460010360
Authority: DE
Inventors: Andreas Muller
Original assignee: HCT Shaping Systems SA
Current assignee: Applied Materials Switzerland SARL
Priority date: 2003-12-17
Filing date: 2004-12-07
Publication date: 2008-10-16
Anticipated expiration: 2024-12-08
Also published as: ES2295762T3; DE602004010360D1; EP1555101B1; EP1555101A1; CH698391B1

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Drahtsägevorrichtung gemäss dem Oberbegriff des Anspruchs 1 mit einem Rahmen und zumindest einer Schicht von Drähten, die zwischen zumindest zwei Drahtführungszylindern aufgespannt ist, deren Achsen im Wesentlichen parallel sind, und die in ihrer Lage durch die Drahtführungszylinder gehalten werden, die den Abstand zwischen den Drähten der Drahtschicht und somit die Dicke der gesägten Scheiben definieren, die voneinander durch Sägespalte getrennt sind, wobei die Drähte einer Hin- und Her- oder einer kontinuierlichen Bewegung folgend und an zumindest ein zu sägendes Werkstück angedrückt bewegt werden können, das über zumindest einen Halter auf einem Auflagetisch befestigt ist, Mittel vorgesehen sind, um einer Vorschubrichtung folgend eine relative Vorschubbewegung zwischen dem zu sägenden Werkstück und der Drahtschicht zu bewirken, die Sägevorrichtung Mittel umfasst, um einer zu den Achsen der Drahtführungszylinder im Wesentlichen parallelen Schneidrichtung folgend eine relative Querverschiebung zwischen dem Satz der gesägten Scheiben des zu sägenden Werkstücks und der Drahtschicht zu bewirken, so dass die Drähte der Drahtschicht als Werkzeuge dienen, um die gesägten Scheiben abzuschneiden, und die Amplitude dieser relativen Querverschiebung so festgelegt wird, dass die gesägten Scheiben losgelöst und voneinander sowie von ihrem Halter getrennt werden.
Drahtsägevorrichtungen des vorgenannten Typs mit einer Verschiebung der Drähte der Drahtschicht oder des zu sägenden Werkstücks sind bereits bekannt, und zwar insbesondere in der Industrie für elektronische Bauteile aus Ferriten, Quarz und Siliciumdioxiden, zur Gewinnung dünner Scheiben aus Materialien wie poly- oder einkristallinem Silicium oder aus neuen Materialien wie GaAs, InP, GGG oder wiederum Quarz, künstlichem Saphir und keramischen Werkstoffen. Der hohe Preis dieser Materialien macht das Drahtsägen gegenüber anderen Technologien wie dem Sägen mit Diamantscheibe attraktiver.
In bekannten Vorrichtungen besteht die Sägezone aus einem Satz von mindestens zwei parallel gelegten Zylindern. In diese als Drahtführungen bezeichneten Zylinder sind Rillen eingraviert, die den Abstand zwischen den Drähten der Schicht und folglich die Dicke der Scheiben definieren. Das zu sägende Werkstück wird auf einem Auflagetisch befestigt, der sich senkrecht zur Drahtschicht verschiebt. Die Geschwindigkeit der Verschiebung definiert die Schnittgeschwindigkeit. Die Erneuerung des Drahts sowie die Kontrolle der Drahtspannung erfolgen in einem als Drahtverwaltungszone bezeichneten Abschnitt ausserhalb der eigentlichen Sägezone. Das für das Zersägen verantwortliche Mittel ist entweder ein auf dem Draht fixiertes Schleifmittel oder ein in Gestalt einer Aufschlämmung herangeführtes freies Schleifmittel. Der Draht wirkt nur als Transportmittel. Beim Zerschneiden des zu sägenden Werkstücks in dünne Scheiben wird der gespannte Draht durch die Drahtführungszylinder zugleich geführt und gezogen.
Das japanische Dokument JP 05 220 731 A , das den am nächsten heranreichenden Stand der Technik darstellt, offenbart eine Drahtsägevorrichtung des vorgenannten Typs gemäss dem Oberbegriff des Anspruchs 1, die Mittel umfasst, um eine relative Querverschiebung des Satzes der gesägten Scheiben des zu sägenden Werkstücks und der Drahtschicht in einer zu den Achsen der Drahtführungszylinder im Wesentlichen parallelen Schneidrichtung zu bewirken, wodurch die gesägten Scheiben losgelöst werden können. Die Amplitude dieser relativen Querverschiebung wird so festgelegt, dass die gesägten Scheiben von ihrem Halter losgelöst und voneinander getrennt werden können.
Im Dokument EP-A-0 716 910 wird eine Drahtsägevorrichtung beschrieben, in der ein zu sägender Siliciumblock während des Sägens seitlich von zwei Paaren von Einspannstücken gehalten wird. Die gesägten Scheiben werden in einer Kassette aufgefangen, die gespannte Drähte aufweist, die dafür bestimmt sind, in die Sägespalte zwischen den Scheiben eingeführt zu werden, um diese getrennt zu halten.
Im Dokument JP 10 328 999 A wird eine Drahtsäge beschrieben, die eine Schneidvorrichtung mit einem Schlitten aufweist, auf dem ein Draht auf vier Rollen montiert und dafür bestimmt ist, die gesägten Scheiben von einer Fahne abzuschneiden. Der Schlitten wird in einer zu den Drahtführungszylindern parallelen Richtung verschoben und erlaubt es dadurch, die gesägten Scheiben nacheinander loszulösen. Die gesägten Scheiben werden in einer Kassette aufgefangen.
Die vorliegende Erfindung hat das Ziel, die bekannten Vorrichtungen zu verbessern und zu vervollkommnen, und ist zu diesem Zweck durch die im unabhängigen Anspruch genannten Merkmale gekennzeichnet.
Beim Sägen und unmittelbar nach dem Sägen sind die gesägten Scheiben durch Sägespalte einer geringen Breite voneinander getrennt. Dank der beanspruchten Mittel zum Auseinanderspreizen können die gesägten Scheiben dann voneinander weggespreizt werden, um breitere Trennspalte zu erhalten. Daher werden die gesägten Scheiben daran gehindert, aneinander zu kleben, und können leichter gewaschen und weiter behandelt werden.
Einer günstigen Ausführungsform zufolge bestehen die Mittel zum Auseinanderspreizen aus Bändern, die eine ziehharmonikaartig gefaltete Struktur aufweisen und in der Lage sind, die durch Drähte gebildeten Trennelemente zu halten.
Diese Merkmale ermöglichen es, einen zuverlässigen und genauen Aufbau der Mittel zum Auseinanderspreizen zu erhalten.
Weitere Vorteile gehen aus den in den abhängigen Ansprüchen ausgedrückten Merkmalen und der Beschreibung hervor, die hiernach die Erfindung eingehender anhand von Zeichnungen darlegt, die schematisch und beispielhaft eine Ausführungsform und ihre Varianten darstellen.
1 ist eine Vorderansicht der Ausführungsform der Erfindung.
2a und 2d sind seitliche Teilansichten der Ausführungsform vor und nach dem Abschneiden der Scheiben von ihrer Fahne.
2b und 2c zeigen Besonderheiten der 2a während des Abschneidens, 2e stellt diese Besonderheiten nach dem Abschneiden dar.
3 ist eine Detailansicht einer Variante der Ausführungsform.
4a und 4d sind seitliche Teilansichten der Ausführungsform vor und nach dem Abschneiden der Fahne.
4b und 4c zeigen Besonderheiten der 4a während des Abschneidens, 4e stellt diese Besonderheiten nach dem Abschneiden dar.
5a und 5b veranschaulichen die Ausführungsform detaillierter.
6 ist eine vordere Teilansicht einer Variante der Ausführungsform.
7 ist eine perspektivische Teilansicht einer der Erfindung nicht entsprechenden Vorrichtung.
Auf 1 Bezug nehmend, umfasst die Sägevorrichtung gemäss der Ausführungsform einen Rahmen 10 und Drahtführungszylinder 11, 12, hier zwei, die mit ihren Achsen 13 parallel angeordnet auf diesen Rahmen montiert sind, wobei es sich versteht, dass die Vorrichtung mehr als zwei Drahtführungszylinder haben könnte.
Der Draht 14 wird von einer nicht veranschaulichten Vorratsspule abgewickelt und dann in jeder möglichen Weise um die Drahtführungszylinder aufgewickelt, um zumindest eine Schicht 15 von parallelen Drähten in einer Sägezone zu bilden. Der Draht wird dann in einer nicht veranschaulichten, passenden Vorrichtung wie einer Aufnahmespule oder einem Auffanggefäss wiedergewonnen.
Ein zu sägendes Werkstück 17, auch zwei oder mehr dieser Stücke wie Barren aus einem harten Werkstoff werden auf einen Auflagetisch 18 montiert.
Dieser Auflagetisch 18 kann dank einer Säule 21 und eines Motors 20 in einer Vorschubrichtung Z vertikal verschoben werden, um das oder die zu sägenden Werkstücke 17 an die Drahtschicht 15 anzudrücken.
In den Umfang der Drahtführungszylinder 11, 12 sind Rillen eingraviert, die den Abstand zwischen den benachbarten Drähten der Drahtschicht 15 und folglich die Dicke der gesägten Scheiben definieren. Diese Scheiben sind durch Sägeschlitze oder -spalte voneinander getrennt.
Der Draht 14 wird von den Drahtführungszylindern gespannt und zugleich geführt und gezogen, um sich einer Hin- und Her- oder einer kontinuierlichen Bewegung folgend zu verschieben. Dieser Draht besteht günstigerweise aus Federstahl mit einem zwischen 0,1 und 0,2 mm liegenden Durchmesser, um Blöcke aus harten Werkstoffen oder von besonderer Zusammensetzung wie Silicium, Keramik, Verbindungen der Elemente der Gruppen III und V sowie II und VI, GGG (Gadolinium-Gallium-Granat), Saphir usw. in Scheiben mit einer Dicke von 0,1 bis ungefähr 5 mm zu sägen. Das Schleifmittel ist ein Handelserzeugnis und kann Diamant, Siliciumcarbid, Aluminumoxid usw. in auf dem Draht fixierter Gestalt oder in freier Gestalt als Aufschlämmung in einer Flüssigkeit sein, die als Transportmittel für die Schleifmittelteilchen dient.
Wenn die Arbeitsgänge des Sägens und Abschneidens der Scheiben beendet sind, werden die gesägten Scheiben in einem Aufnahmegefäss 25 wiedergewonnen, das auf einem mit dem Rahmen 10 fest verbundenen Träger 26 angeordnet ist.
Auf 2a bis 2e Bezug nehmend, werden das oder die zu sägenden Werkstücke 17 durch Kleben auf einem zeitweiligen Träger 28 befestigt, der aus Glas oder einem Kunststoff bestehen kann, und dieser zeitweilige Träger wird durch Kleben auf einem Montageträger 29 befestigt, der zum Beispiel aus Stahl besteht. Letzterer wird auf den Auflagetisch 18 montiert, und zwar mit Führungs- und Gleitelementen 32, die es gestatten, den Montageträger 29 der vertikalen Richtung Z folgend auf dem Auflagetisch 1 zu halten, und die eine relative Translationsbewegung des Auflagetisches 18 und des Montageträgers 29 parallel zu den Achsen der Drahtführungszylinder 10, 11 und senkrecht zu den Drähten der Drahtschicht 15 einer Richtung Y folgend ermöglichen, also eine relative Translationsbewegung des oder der zu sägenden Werkstücke und der Drahtschicht in der Y-Richtung.
Das Zersägen der Werkstücke 17 in Scheiben 30 erfolgt dank einer Relativbewegung der zu sägenden Werkstücke 17 und der Drahtschicht 15 in der Vorschubrichtung Z. Diese Sägebewegung wird solange verfolgt, bis die Drähte der Drahtschicht 15 in den zeitweiligen Träger 28 eindringen.
Die Sägevorrichtung umfasst Mittel 34, die es ermöglichen, eine relative Querverschiebung des Satzes der gesägten Scheiben 30 des zu sägenden Werkstücks 17 und der Drahtschicht 15 in der Schnittrichtung Y parallel oder im Wesentlichen parallel zu den Achsen 13 der Drahtführungszylinder auszuführen. Die Amplitude dieser relativen Querverschiebung wird so festgelegt, dass die gesägten Scheiben 30 voneinander und von ihrem als Fahne dienenden, zeitweiligen Träger 28 gelöst werden, um im Aufnahmegefäss 25 wiedergewonnen zu werden.
In der beschriebenen Ausführungsform bestehen die Mittel 34, die diese relative Verschiebung ermöglichen, aus Führungs- und Gleitelementen 32 in der Y-Richtung.
2b zeigt in vergrösserter Ansicht die relativen Positionen des Auflagetisches 18 und der Drahtschicht 15 bezüglich der gesägten Scheiben 30 und des Montageträgers 29 vor der Phase des Abschneidens oder Abtrennens der gesägten Scheiben 30.
In einer in 2c veranschaulichten Zwischenposition haben die Drähte 14 der Drahtschicht 15, die als Werkzeug zum Abschneiden dienen, die Scheiben 30 auf der Höhe des zeitweiligen Trägers 28 teilweise abgetrennt, der bezüglich der Drahtschicht 15 und des Auflagetisches 18 mit dem Montageträger 29 nach rechts verschoben worden ist.
2d und 2e zeigen die abschliessende Position nach dem vollständigen Abschneiden bzw. Abtrennen der gesägten Scheiben 30, die im Aufnahmegefäss 25 ruhen und daher leicht aus der Sägevorrichtung in dieses Aufnahmegefäss 25 herausgezogen werden können.
Die relative Querverschiebung in der Y-Richtung kann auch in anderer Weise erfolgen, zum Beispiel durch Querverschiebung eines Teiles oder des ganzen Aufbaus des Auflagetisches 18 oder auch durch seitliche Verschiebung der Drahtschicht 15 bezüglich der gesägten Scheiben 30.
Das Abschneiden der gesägten Scheiben in der Y-Richtung kann auf einer anderen Höhe realisiert werden, nämlich entweder im zeitweiligen Träger 28 oder im Kleber zwischen diesem zeitweiligen Träger 28 und dem zu sägenden Werkstück 17 oder auch im oberen Ende des zu sägenden Werkstücks 17.
Einer in 3 veranschaulichten Variante zufolge kann die relative Querverschiebung in der Schneidrichtung Y mittels eines senkrechten, mit dem Montageträger 29 fest verbundenen Teils 35 und einer das senkrechte Teil 35 in einer Gewindebohrung durchquerenden Schnecke 36, die sich auf den Auflagetisch 18 stützt, realisiert werden.
Durch Drehung der Schnecke 36, entweder manuell oder motorisiert mit einem nicht veranschaulichten Motor, können der Montageträger 29 und das zu sägende Werkstück 17 in der Y-Richtung nach rechts in 3 verschoben werden, und die Drähte der Drahtschicht 15, die als Werkzeuge zum Abschneiden dienen, trennen die gesägten Scheiben 30 auf der Höhe des zeitweiligen Trägers 28 ab, um sie vollständig voneinander zu trennen.
Diese Querverschiebung kann auch mit allen Arten von mechanischen, elektrischen, hydraulischen oder pneumatischen Antriebsorganen realisiert werden.
Wie in den 4a bis 4e veranschaulicht, umfasst die Sägevorrichtung Haltemittel 40, die es ermöglichen, die teilweise oder ganz gesägten Scheiben 30 im Wesentlichen parallel zueinander und so zu halten, dass die Breite der Sägespalte 31 zwischen den Scheiben 30 während des Sägens der Scheiben sowie während und nach dem nachfolgenden, quer erfolgenden Abschneiden oder Abtrennen der Scheiben 30 von ihrem Montageträger 29 im Wesentlichen konstant erhalten bleibt.
Im Falle der 4a bis 4c sind diese Haltemittel 40 auf den Rahmen 10 der Sägevorrichtung 10 montiert und umfassen ein Gefäss 41, dessen Boden und/oder Wände durchbrochen oder mit einem Ablauf versehen sein können, so dass die Sägeflüssigkeit und das Schleifmittel aus dem Gefäss abgezogen werden können. Dieses Gefäss wird von Befestigungselementen 42 am Rahmen 10 gehalten und ist mit Trennelementen 43 ausgestattet, die dafür bestimmt sind, in die Sägespalte 31 zwischen den gesägten Scheiben 30 eingeführt zu werden, um deren Abstände genau zu halten.
Die Trennelemente 43 bestehen in dieser Ausführungsform aus einer Serie von Drähten 44, die auf Rahmen 45 aufgespannt sind. Die dargestellte Ausführungsform besitzt zwei übrereinander gestellte Rahmen 45, aber jede andere Anzahl von Rahmen von 1 bis 5 kann in das Gefäss 41 montiert werden.
Somit kann das Sägen bis zum zeitweiligen Träger 28 (4a) ausgeführt werden, während die gesägten Scheiben 30 mit einem regelmässigen Abstand voneinander gehalten werden, was eine hohe Qualität des Erzeugnisses ohne Welligkeit, Streifen und Unregelmässigkeiten gewährleistet.
Ausserdem sind die gesägten Scheiben bereits voneinander getrennt, was nachfolgende Behandlungen und Verpackung erleichtert.
Beim nachfolgenden Abschneiden oder Abtrennen (4b, 4c) werden der Montageträger 29, die gesägten Scheiben 30 und die Rahmen 45 mit ihren Trenndrähten 44 in der Y-Richtung quer verschoben, Die Rahmen 45 stellen somit gegenüber dem Gefäss 41 einen Freiheitsgrad dar und können bezüglich dieses Gefässes seitlich verschoben werden, wie dies aus 4b, 4c und 4e ersichtlich ist.
Am Ende des Abschneidens oder Abtrennens (4d und 4e) werden die gesägten Scheiben 30 im Gefäss 41 voneinander getrennt gehalten, wobei das Gefäss somit als eine Transportkassette dient, das eine leichte Entnahme des Satzes der gesägten Scheiben 30 ermöglicht, ohne dass es nötig wäre, die Drähte der Drahtschicht 15 aus den Sägespalten 31 herauszuziehen.
Wie in den 5a und 5b veranschaulicht, werden die Trennelemente 43 in Gestalt von Trenndrähten 44 von Bändern 75 gehalten, die eine akkordeonartig gefaltete Struktur aufweisen. In der in 5a veranschaulichten Position sind die gesägten Scheiben 30 durch Sägespalte 31 einer geringen Breite voneinander getrennt. Nach beendetem Sägen können die gesägten Scheiben dank der akkordeonartig gefalteten Struktur der Bänder 75 (5b) voneinander gespreizt werden, um viel breitere Trennspalte 31a zu erhalten. So können die gesägten Scheiben nicht mehr aneinander kleben und leicht gewaschen und behandelt werden. Ebenso können sie leicht in genormte Aufbewahrungskassetten überführt werden. Die Sägevorrichtung umfasst daher Mittel 74 zum Auseinanderspreizen der Trennelemente 43, die ein Auseinanderspreizen der gesägten Scheiben ermöglichen.
Einer in 6 veranschaulichten, günstigen Variante zufolge können zwei Schubfächer 51, 52 gleitend in einem am Rahmen 10 befestigten Gefäss 50 untergebracht werden.
Jedes der Schubfächer enthält Haltemittel 40 für die Scheiben des einen oder anderen zu sägenden Werkstücks.
Der Boden und die Seitenwände dieser Schubfächer 51, 52 können für den Ablauf der Sägeflüssigkeit durchbrochen sein. Diese Flüssigkeit kann im Gefäss 50 zurückgehalten und durch einen Ablauf 54 mit einem Ventil 55 abgelassen werden.
Die Haltemittel 40 umfassen auch Trennelemente 43, die dafür bestimmt sind, in die Sägespalte eingeführt zu werden. Diese Trennelemente 43 können aus waagerechten, schrägen und/oder diagonalen, auf einem, zwei oder mehreren Rahmen 56 aufgespannten Drähten bestehen. Die schrägen Drähte 44a können so auch zwei sich kreuzende Drahtschichten bilden.
Die Trennelemente können auch aus senkrechten Wänden oder aus an den Seitenwänden der Schubfächer befestigten Bändern bestehen. Nach dem Sägen und Abtrennen können die Schubfächer 51 mit den aus jedem der Barren gesägten Scheiben in der Art von Kassetten von der Sägevorrichtung abgenommen werden.
Eine der Erfindung nicht entsprechende Ausführungsform der Haltemittel 40, die in 7 veranschaulicht ist, umfasst einen U-förmigen Rahmen 60. Die Längsarme 61 dieses Rahmens sind dafür bestimmt, vermittels elastischer Teile 62 seitlich an die gesägten Scheiben 30 des zu sägenden Werkstücks 17 angedrückt zu werden. Die Andruck- und Haltekraft kann durch eine pneumatische Vorrichtung 63 erhalten werden, die einen Eingangskanal 64 und innere Kanäle aufweist, die ein Aufblasen der elastischen Teile 62 gestatten. Die Andruckkraft kann auch durch andere Mittel wie ein mechanisches Zusammenklemmen der Längsarme 61 durch einen mechanischen, pneumatischen oder hydraulischen Antrieb gewonnen werden.
Dieser Rahmen 60 kann während des Sägens an Ort und Stelle gebracht werden, um die gesägten Scheiben parallel zu halten. Beim abschliessenden Abschneiden oder Abtrennen der gesägten Scheiben werden die Scheiben 30 durch Einspannen gehalten und können dank des Griffs 68 rasch von der Sägevorrichtung genommen werden. Auch zwei oder mehr Rahmen 60 können verwendet werden, die übereinander gestellt und dem Fortgang des Sägens entsprechend eingesetzt werden.
Es versteht sich, dass die oben beschriebenen, der Erfindung entsprechenden Ausführungsformen keinerlei einschränkenden Charakter besitzen und in dem durch Anspruch 1 definierten Rahmen alle wünschenswerten Abwandlungen erfahren können. Insbesondere können ein, zwei oder mehr Auflagetische 18 ein oder mehr als ein zu sägendes Werkstück 17 tragen.
Die relative Querverschiebung kann auf andere Art und Weise realisiert werden, zum Beispiel durch Verschiebung der Gesamtheit der aufgehängten Elemente oder durch Verschiebung der Drahtschicht.
Das Aufnahmegefäss für die Scheiben und die Trennelemente der Scheiben können einen ganz anderen Aufbau aufweisen, zum Beispiel in Gestalt von Kassetten, von denen jede dafür eingerichtet ist, die Scheiben eines gesägten Werkstücks aufzunehmen.

Claims

Drahtsägevorrichtung mit einem Rahmen (10) und zumindest einer Schicht (15) von Drähten, die zwischen zumindest zwei Drahtführungszylindern (11, 12) aufgespannt ist, deren Achsen im Wesentlichen parallel sind, und die in ihrer Lage durch die Drahtführungszylinder (11, 12) gehalten wird, die den Abstand zwischen den Drähten der Drahtschicht und somit die Dicke der gesägten Scheiben (30) definieren, die voneinander durch Sägespalte (31) getrennt sind, wobei die Drähte einer Hin- und Her- oder einer kontinuierlichen Bewegung folgend und an das zumindest eine zu sägende Werkstück (17) angedrückt bewegt werden können, das über zumindest einen Halter (28, 29) auf einem Auflagetisch (18) befestigt ist, Mittel (20, 21) vorgesehen sind, um einer Vorschubrichtung (Z) folgend eine relative Vorschubbewegung zwischen dem zu sägenden Werkstück (17) und der Drahtschicht (15) zu bewirken, die Sägevorrichtung Mittel (34) umfasst, um einer zu den Achsen (13) der Drahtführungszylinder im Wesentlichen parallelen Schneidrichtung (Y) folgend eine relative Querverschiebung zwischen dem Satz der gesägten Scheiben (30) des zu sägenden Werkstücks (17) und der Drahtschicht (15) zu bewirken, so dass die Drähte der Drahtschicht als Werkzeuge dienen, um die gesägten Scheiben (30) abzuschneiden, und die Amplitude dieser relativen Querverschiebung so festgelegt wird, dass die gesägten Scheiben (30) losgelöst und voneinander sowie von ihrem Halter (28, 29) getrennt werden, dadurch gekennzeichnet, dass sie Haltemittel (40) umfasst, die so ausgelegt sind, dass sie während des Sägens und Abschneidens und danach die gesägten Scheiben (30) im Wesentlichen parallel zueinander und so halten, dass die Breite der Sägespalte (31) im Wesentlichen bewahrt wird, wobei die Haltemittel Trennelemente (43) umfassen, die dafür bestimmt sind, zumindest teilweise in die Sägespalte (31) zwischen den Scheiben (30) eingeführt zu werden, um letztere zu halten, diese Trennelemente auf zumindest einen Träger (45, 56) montiert sind, die Vorrichtung Mittel (74) zum Auseinanderspreizen umfasst und Trennelemente (43) ein Auseinanderspreizen der gesägten Scheiben (30) erlauben.
Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Mittel (74) zum Auseinanderspreizen aus Bändern (75) bestehen, die eine ziehharmonikaartig gefal tete Struktur aufweisen und in der Lage sind, die durch Drähte (44) gebildeten Trennelemente (43) zu halten.
Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Mittel (34) zur Bewerkstelligung einer relativen Querverschiebung aus Führungs- und Gleitelementen (32) bestehen, die eine relative Translationsbewegung des oder der zu sägenden Werkstücke (17) bezüglich der Drahtschicht (15) erlauben.
Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Führungs- und Gleitelemente (32) zwischen dem Auflagetisch (18) und dem zumindest einen Halter (28, 29) oder im Auflagetisch (18) angeordnet sind.
Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sie zumindest ein Aufnahmeorgan (25) umfasst, das abnehmbar an der Vorrichtung angebracht und dafür ausgelegt ist, die gesägten und nach ihrem Abschneiden getrennten Scheiben (30) aufzunehmen.
Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Haltemittel (40) im Aufnahmeorgan (25) angeordnet sind.
Sägevorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der zumindest eine Träger (45, 56) in zumindest einem Gefäss (41, 50) angeordnet ist, das an dem Rahmen (10) angebracht ist.
Sägevorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass sie zumindest zwei Träger (56) umfasst, die in zumindest zwei Schubfächern (51, 52) angeordnet sind, die gleitend im Gefäss (50) angebracht sind.
Vorrichtung nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Trennelemente (43) aus Drähten (44, 44a) bestehen, die auf dem oder den Trägern (45, 56) waagerechten und/oder schrägen Richtungen folgend und/oder so aufgespannt sind, dass sie sich kreuzende Drahtschichten bilden.