DE102009023119A1 - Träger für Siliziumblock - Google Patents

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    • B28WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28DWORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/0058Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
    • B28D5/0082Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for supporting, holding, feeding, conveying or discharging work

Abstract

Ein Träger für einen Siliziumblock, der mit dem Träger fest verbunden ist und zusammen mit diesem bewegt wird zur Bearbeitung durch Sägen oder Reinigen, weist an einer von dem Siliziumblock abgewandten Oberseite zwei hinterschnittene Nuten auf. In den Nuten ist jeweils ein entsprechend geformtes verschiebbares Gewindeelement mit Innengewinde zum Eingriff einer Schraube an der Oberseite vorgesehen. Der Träger kann aus Keramikmaterial bestehen. Zwischen Gewindeelement und der hinterschnittenen Nut ist zumindest an zwei seitlichen Längsseiten zur Anlage der beiden aneinander Kunststoff als Beschichtung oder dünne Schicht vorgesehen, um Formungleichheiten und Kraftspitzen auszugleichen gegen Bruch des keramischen Trägers bei Punktbelastungen.

Description

  • Die Erfindung betrifft einen Träger für einen Siliziumblock, wobei der Siliziumblock mit dem Träger fest verbunden ist und zusammen mit diesem bzw. mittels diesem bewegt wird zur weiteren Bearbeitung, insbesondere zum Sägen und Reinigen. Dabei wird der Träger wiederum an einer Haltevorrichtung befestigt, vorteilhaft festgeschraubt.
  • Es ist beispielsweise aus der US 2005/0217656 oder der EP 1 555 101 A bekannt, einen solchen Träger aus Glas an dem Siliziumblock festzukleben. Des weiteren wird dann der Träger aus Glas mit einem Metallträger verklebt, der Schraublöcher aufweist zur Verschraubung bzw. Befestigung an einer Haltevorrichtung. Das Vorsehen eines solchen sozusagen zweigeteilten Trägers aus Glas und Metall sowie deren Verklebung miteinander, wobei der Träger aus Glas ein einmal verwendbares Teil ist und der Träger aus Metall mehrfach verwendet werden soll, stellt einen großen Aufwand dar. Vor allem das Lösen von Verklebungen ist sehr aufwendig. Es wäre also wünschenswert, eine Verschraubung direkt in den mit dem Siliziumblock verklebten Träger vornehmen zu können.
  • Aufgabe und Lösung
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen eingangs genannten Träger zu schaffen, mit dem Probleme des Standes der Technik vermieden werden können und insbesondere eine vorteilhafte Befestigung des Trägers an beispielsweise einer Haltevorrichtung möglich ist, insbesondere mittels Verschraubungen.
  • Gelöst wird diese Aufgabe durch einen Träger mit den Merkmalen des Anspruchs 1. Vorteilhafte sowie bevorzugte Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand der weiteren Ansprüche und werden im Folgenden näher erläutert. Der Wortlaut der Ansprüche wird durch ausdrückliche Bezugnahme zum Inhalt der Beschreibung gemacht.
  • Es ist vorgesehen, dass der Träger an einer von dem Siliziumblock abgewandten Oberseite mindestens eine hinterschnittene Nut aufweist, vorteilhaft zwei, die dann voneinander beabstandet sind. In der Nut ist mindestens ein verschiebbares Gewindeelement mit einem Innengewinde vorgesehen, in das eine Schraube eingreift von oben, vorteilhaft mit Richtung senkrecht zur Nut. Das Gewindeelement ist breiter als die Nut an ihrer schmalsten Stelle, hintergreift also deren Hinterschneidung. Erfindungsgemäß ist zwischen Gewindeelement und der hinterschnittenen Nut zumindest an zwei seitlichen Längsseiten des Gewindeelements oder der Nut, die aneinander anliegen, Kunststoff, Gummi oder ein anderes Elastomer vorgesehen. Hier wird der Einfachheit halber im folgenden der Begriff Kunststoff stellvertretend für alle drei verwendet, diese sind aber stets mit inbegriffen.
  • Der Kunststoff liegt als Beschichtung oder dünne Schicht oder dünner Streifen vor. Dieser Kunststoff dient dazu, bei unterschiedlichen Materialien für Träger und Gewindeelement, beispielsweise Keramik für den Träger und Metall für das Gewindeelement, auftretende Spannungen oder Verformungen, beispielsweise aufgrund Temperaturänderungen, sowie mögliche Oberflächenrauheiten auszugleichen. Gerade hier kann bei Festziehen einer in das Gewindeelement greifenden Schraube das Gewindeelement aus Metall bei zu großer Kraft die Keramik überlasten bzw. zum Abbrechen oder Zerbrechen bringen.
  • Des weiteren kann beispielsweise bei leichten Formabweichungen einer der beiden aneinander anliegenden Oberflächen ebenfalls ein Auftreten von Punktbelastungen und somit ein Beschädigen von Keramikmaterial vermieden werden. Es kann auch durch einen zumindest unter großem Druck plastisch oder elastisch verformbaren Kunststoff ein gewisser Druckausgleich hinsichtlich einer Flächenbelastung stattfinden, so dass das Gewindeelement sehr gut und flächig in der hinterschnittenen Nut an den Nutwänden anliegt bei Befestigung.
  • In vorteilhafter Ausgestaltung der Erfindung kann der Kunststoff an dem Gewindeelement selbst vorgesehen bzw. befestigt sein. Dies erfolgt bevorzugt zumindest an zwei der seitlichen Längsseiten des Gewindeelements, mit dem dieses an der hinterschnittenen Nut anliegt. Vorteilhaft ist das Gewindeelement überall dort mit Kunststoff versehen, wo es unter Kraftbelastung an der hinterschnittenen Nut bzw. dem Träger anliegt.
  • In weiterer vorteilhafter Ausgestaltung der Erfindung ist die Kunststoffbeschichtung bzw. die Kunststoffschicht vollflächig an den Längsseiten vorgesehen, insbesondere am Gewindeelement, und verläuft über deren gesamte Länge. Dies ermöglicht eine vereinfachte Herstellung, wobei darauf nachfolgend noch näher eingegangen wird.
  • Eine Kunststoffbeschichtung oder Kunststoffschicht kann relativ dünn sein, beispielsweise wenige Millimeter dick sein. Vorteilhaft beträgt die Dicke mindestens 1 mm für ausreichende Ausgleichsmöglichkeiten.
  • Einerseits ist es möglich, dass ein Träger in seiner Nut mehrere einzelne und kurze Gewindeelemente aufweist. Diese sind dann jeweils an der Seite mit dem Kunststoff versehen. Andererseits kann ein Gewindeelement in etwa so lang sein wie die hinterschnittene Nut. Dann sind vorteilhaft ebenfalls dessen gesamte seitliche Längsseiten mit Kunststoff versehen.
  • Bevorzugt ist die hinterschnittene Nut nach Art einer Schwalbenschwanzführung ausgebildet, also im Querschnitt viereckig und trapezartig. Besonders bevorzugt ist sie symmetrisch ausgebildet. Das Gewindeelement weist vorteilhaft eine dazu korrespondierende Querschnittsform auf, allerdings eben etwas kleiner, insbesondere ebenfalls als symmetrisches Trapez.
  • Das Gewindeelement kann allgemein so dimensioniert sein, dass es mit der Kunststoffschicht noch gut und problemlos in der Nut geführt und bewegt werden kann. Gleichzeitig sollte der Sitz nicht zu lose sein, damit eine für das Verschrauben vorteilhafte Lage des Gewindeelements vorgegeben ist und bestehen bleiben kann. Dann entfällt ein möglicherweise aufwendiges Hin- und Herbewegen des Gewindeelements um die Schrauben einzuschrauben.
  • In weiterer Ausgestaltung der Erfindung kann vorgesehen sein, auch an einer Unterseite und/oder Oberseite des Gewindeelements Kunststoff vorzusehen, selbst wenn diese nicht großflächig unter Kraftbeaufschlagung an dem Träger in der Nut anliegen. Dies kann insbesondere so sein, dass diese Unterseite oder Oberseite die beiden seitlichen Längsseiten, die den Kunststoff als Schicht oder Beschichtung aufweisen, miteinander verbindet. So kann besonders vorteilhaft eine durchgängige dreiseitige Kunststoffbeschichtung oder Kunststoffschicht geschaffen werden, die besonders leicht herstellbar ist bzw. befestigbar ist, insbesondere auf dem Gewindeelement. Möglicherweise kann Kunststoff auch an allen Seiten vorgesehen sein, also vollständig.
  • Um den Kunststoff an dem Gewindeelement oder auch an der Nut vorzusehen bzw. zu befestigen gibt es mehrere Möglichkeiten. Einerseits kann er als Beschichtung bzw. Schicht fest und unlösbar aufgebracht werden, insbesondere auf das Gewindeelement, beispielsweise verklebt oder durch Tauchen bzw. Sprühen. Dabei können entweder einzelne flache Kunststoffleisten oder ein entsprechend geformtes Profil aufgebracht werden. Alternativ kann der Kunststoff als separates, schienenartiges oder kastenartiges Profil hergestellt werden. Dann kann er auf das Gewindeelement aufgeschoben oder in die Nut eingeschoben werden und möglicherweise fixiert oder befestigt werden. Dies kann ein Klemmsitz sein oder ein Verkleben. Dies ermöglicht eine relativ leichte Herstellung von dem Gewindeelement in langer Stangenform einerseits und dem Kunststoff in langer Profilform andererseits. Entweder werden die beiden Teile dann aneinander befestigt und in gewünschter Länge abgelängt oder aber zuvor als Einzelteile abgelängt und dann miteinander verbunden.
  • Um eine Krafteinleitung des Gewindeelements beim Festschrauben möglichst nicht an den Überhängen der hinterschnittenen Nut zu erzeugen oder dies zumindest am Anfang zu vermeiden, kann vorgesehen sein, dass die Kunststoffschicht an den seitlichen Längsseiten des Gewindeelements nahe dem Boden der Nut dicker ist als nahe der oberen Öffnung der Nut. Dort wird also bei parallelen, gegenüberliegenden Wandungen von Gewindeelement und Nut zuerst eine Druckkraft auftreten. Durch eine plastische Verformbarkeit des Kunststoffs kann sich diese Krafteinleitung dann auf die übrigen Bereiche der Längsseiten, also auch näher zu der Öffnung der Nut, ausbreiten, so dass diese vor belastenden bzw. überlastenden Kraftspitzen geschützt werden.
  • Als Kunststoff kommen prinzipiell viele Kunststoffe in Betracht, insbesondere auch solche, die als Kunststoffunterlegscheiben verwendet werden. Mögliche Kunststoffe sind Tetrafluorethylen, Polyamid etc. Elastomere wie Gummi bzw. natürliches Kautschuk sind ebenfalls gut verwendbar, insbesondere wenn sie inkompressibel sind.
  • Diese und weitere Merkmale gehen außer aus den Ansprüchen auch aus der Beschreibung und den Zeichnungen hervor, wobei die einzelnen Merkmale jeweils für sich allein oder zu mehreren in Form von Unterkombinationen bei einer Ausführungsform der Erfindung und auf anderen Gebieten verwirklicht sein und vorteilhafte sowie für sich schutzfähige Ausführungen darstellen können, für die hier Schutz beansprucht wird. Die Unterteilung der Anmeldung in einzelne Abschnitte sowie Zwischen-Überschriften beschränken die unter diesen gemachten Aussagen nicht in ihrer Allgemeingültigkeit.
  • Kurzbeschreibung der Zeichnungen
  • Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Zeichnungen schematisch dargestellt und werden im folgenden näher erläutert. In den Zeichnungen zeigen:
  • 1 einen Schnitt durch einen erfindungsgemäßen Träger mit zwei länglichen Nuten in seiner Oberseite,
  • 2 und 3 verschiedene Ausbildungen einer Kunststoffschicht zwischen einem Gewindeelement in der Nut und der Nut selbst.
  • Detaillierte Beschreibung der Ausführungsbeispiele
  • In 1 ist ein erfindungsgemäßer Träger 11 dargestellt, der plattenartig ausgebildet ist und eine Oberseite 12 sowie eine Unterseite 13 aufweist. Der Träger ist beispielsweise etwa 600 mm lang, etwa 200 mm breit und etwa 20 mm bis 30 mm stark. An der Unterseite 13 ist ein gestrichelt dargestellter Siliziumblock 14 angebracht bzw. fest angeklebt. Der Träger 11 dient also zur Handhabung des Siliziumblocks 14, an dem selbst bis auf die Verklebung mit dem Träger 11 keine anderen Kräfte oder Haltevorrichtungen angreifen sollten.
  • Aus diesem Grund weist der Träger 11 an seiner Oberseite 12 anstelle einer bislang üblichen Verklebung mit einer Metallschiene, die zur Befestigung an der Haltevorrichtung beispielsweise Gewindebohrungen aufweist, zwei längliche Nuten 15a und 15b auf. Diese erstrecken sich über die gesamte Länge des Trägers 11 und sind parallel zueinander, wobei sie jeweils gleich von einem linken und rechten Außenrand des Trägers 11 nach innen versetzt sind. Der Querschnitt dieser Nuten 15a und 15b samt Hinterschnitt ist in den 2 und 3 in Vergrößerung besser zu erkennen.
  • In diese Nuten 15a und 15b werden Gewindeelemente eingesetzt, wobei ein kurzes Gewindeelement 20 links dargestellt ist zum Einsetzen in die linke Nut 15a. Es ist zu erkennen, wie aus den 2 und 3 noch deutlicher wird, dass das Gewindeelement 20 vom Querschnitt her an die Nut 15a angepasst ist mit korrespondierender Trapezform, allerdings etwas kleiner ist. Des weiteren weist das Gewindeelement an seiner Oberseite eine Gewindebohrung 26 auf, in welche von oben eine Schraube eingreifen kann zur Schraubbefestigung an einer genannten Haltevorrichtung. An einer linken Längsseite 22, einer rechten Längsseite 23 und einer Unterseite 24 weist das Gewindeelement 20 einen eingangs erläu terten, Kunststoff 28 auf, beispielsweise in Schichtform bzw. als Beschichtung. Hierzu wird in den vergrößerten Darstellungen in 2 und 3 noch mehr ausgeführt.
  • Das Gewindeelement 20 gemäß 1 ist relativ kurz und weist nur eine einzige Gewindebohrung 26 auf. Es ist für den Fachmann jedoch leicht vorstellbar, dass es auch erheblich länger sein kann, unter Umständen sogar einen wesentlichen oder den gesamten Teil der Länge der Nut 15a oder 15b im Träger 11 einnehmen kann. Dann weist es auch entsprechend mehrere Gewindebohrungen auf, beispielsweise vier bis acht Stück oder noch mehr.
  • In der Vergrößerung gemäß 2 ist dargestellt, dass die Nut 15a einen trapezförmigen Querschnitt aufweist und deutlich hinterschnitten ausgebildet ist. Sie bildet also eine Art Schwalbenschwanzführung für das darin angeordnete Gewindeelement 20. Dieses weist eine korrespondierende Form auf mit den Längsseiten 22 und 23a sowie der Unterseite 24a, die parallel zu den entsprechenden Wandungen der Nut 15a sind. Der Abstand dazwischen kann beispielsweise 1 mm bis 2 mm betragen. Im wesentlichen befindet sich in diesem Zwischenraum die Kunststoffschicht 28, die die genannten drei Seiten des Gewindeelements 20a bedeckt. Dabei ist die Kunststoffschicht 28 entweder als Beschichtung aufgebracht, beispielsweise durch eines der vorgenannten Verfahren. Alternativ kann sie durch ein separat hergestelltes entsprechend geformtes Profil gebildet sein, in welche das Gewindeelement 20 eingesetzt ist. Unter Umständen ist es auch möglich, die Kunststoffschicht 28 fest an den drei Wandungen der Nut 15a zu befestigen, insbesondere wieder als separat eingesetztes und dann beispielsweise verklebtes Profil.
  • Von oben wird auf die Oberseite 12 des Trägers 11 eine Haltevorrichtung 30 aufgesetzt und die Verbindung zum Gewindeelement 20 mittels einer Schraube 31 hergestellt. Auf bekannte Art und Weise zieht die Schraube 31 beim Einschrauben in die Gewindebohrung 26a das Gewindeelement 20a nach oben. Dabei drückt es über die Kunststoffschicht 28, insbesondere an der linken Längsseite 22a und der rechten Längsseite 23a, gegen die hinterschnittene Nut 15a und ermöglicht so eine feste Verbindung von Haltevorrichtung 30 und Träger 11. Durch die Kunststoffschicht 28 können mögliche Formabweichungen zwischen den Oberflächen der Nut 15a und des Gewindeelements, insbesondere der linken Längsseite 22a und der rechten Längsseite 23a, ausgeglichen werden. Der Kunststoff der Schicht 28 passt sich dabei nämlich durch seine plastische Verformbarkeit an. Des weiteren können beispielsweise restliche hervorstehende Spitzen in der Oberfläche vor allem der Nut 15 nicht mehr zu einer Punktbelastung durch das anliegende Gewindeelement 20a führen und zum Bruch eines keramischen Trägers 11.
  • Eine prinzipiell ähnliche, etwas abgewandelte Ausbildung eines Gewindeelements 20b ist in 3 dargestellt. Das Gewindeelement 20b sowie der Träger 11 samt Nut 15b sind gleich ausgebildet wie zuvor beschrieben. Lediglich die Kunststoffschicht 28 ist in der Hinsicht anders ausgebildet, dass sie im unteren Bereich der linken Längsseite 22b und der rechten Längsseite 23b dicker ist als in deren oberen Bereichen, insbesondere etwa doppelt so dick. Dadurch wird, wie gut zu ersehen ist, beim Anschrauben an eine Haltevorrichtung entsprechend 2 die Kraftanlage zuerst im unteren Bereich bewirkt. Dies bedeutet also, dass eine Kraft zuerst dort aufgebaut wird, wo der Bereich der seitlichen Nutwände möglichst dick ist, also weit weg von der Öffnung der Nut 15b nach oben. Auch hier kann bei weiterem festen Anziehen der Schraubverbindung die Kunststoffschicht 28b so verformt werden, dass der verdickte Bereich stärker zusammengedrückt wird und es zu einer Anlage auch der übrigen Seitenbereiche der Kunststoffschicht 28b an den Seitenwandungen der Nut 15b kommt. Dadurch kann bei einer letztlich sehr ähnlichen endgültigen Kraftverteilung wie in 2 erreicht werden, dass sich die Haltekraft zuerst in einem Bereich aufbaut, bei dem die Nut 15 bzw. der Träger 11 sehr gut gegen Ausbrechen gesichert sind durch den dickeren Überstand an den Seiten der Nut 15b.
  • Die Kunststoffschicht 28 kann aus einem der vorstehend beschriebenen Kunststoffe bestehen, vorteilhaft aus Polyamid bzw. einem Elastomer. Des weiteren kann vorgesehen sein, dass an der Außenseite der Kunststoffschicht 28 kleine abstehende Vorsprünge odgl. vorgesehen sind, die eine gewisse Fixierung von Gewindeelement 20 und Kunststoffschicht 28 in der Nut 15 bewirken, damit beispielsweise das Gewindeelement 20 nicht von alleine heraus fällt. Dennoch sollten Gewindeelemente mit überschaubarem Kraftaufwand leicht von Hand bewegt werden können zum Einführen sowie zu ihrer genauen Einstellung.
  • Beispielsweise kann eine Verschraubung stattfinden mit Schrauben mit Gewindegröße M6, die mit in etwa 40 mm Abstand voneinander in jeweils einzelne Gewindeelement eingreifen oder aber in ein langes, im wesentliches durchgehendes. Zur Reduzierung der maximalen Kraft und zur besseren Verteilung können auch kleinere M4-Schrauben verwendet werden, dafür aber mehr davon in geringerem Abstand.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • - US 2005/0217656 [0002]
    • - EP 1555101 A [0002]

Claims (11)

  1. Träger für einen Siliziumblock, wobei der Siliziumblock mit dem Träger fest verbunden ist und zusammen mit diesem bewegt wird zur Bearbeitung durch Sägen, Reinigen odgl., wobei der Träger an einer von dem Siliziumblock abgewandten Oberseite mindestens eine hinterschnittene Nut aufweist, und wobei in der Nut mindestens ein verschiebbares Gewindeelement mit Innengewinde zum Eingriff einer Schraube an der Oberseite in Richtung senkrecht zur Nut vorgesehen ist, wobei das Gewindeelement breiter ist als die Nut an ihrer schmalsten Stelle, wobei der Träger vorzugsweise aus Keramikmaterial besteht, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen Gewindeelement und der hinterschnittenen Nut zumindest an zwei seitlichen Längsseiten zur Anlage der beiden aneinander Kunststoff, Gummi oder ein anderes Elastomer als Beschichtung oder dünne Schicht vorgesehen ist.
  2. Träger nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Gewindeelement zumindest an zwei seiner seitlichen Längsseiten zur Anlage an der hinterschnittenen Nut den Kunststoff aufweist.
  3. Träger nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Kunststoffbeschichtung bzw. Kunststoffschicht vollflächig und über die gesamte Länge der beiden seitlichen Längsseiten des Gewindeelements verläuft.
  4. Träger nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Kunststoffbeschichtung bzw. Kunststoffschicht eine Dicke von mindestens 1 mm aufweist.
  5. Träger nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Gewindeelement in Längsrichtung der Nuten länglich ist, vorzugsweise in etwa so lang ist wie der gesamte Träger bzw. die darin verlaufende Nut.
  6. Träger nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die hinterschnittene Nut nach Art einer Schwalbenschwanzführung ausgebildet ist, vorzugsweise symmetrisch, und das Gewindeelement eine dazu korrespondierende Querschnittsform mit kleinerer Fläche aufweist, insbesondere als gleichmäßiges Trapez.
  7. Träger nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass auch eine Unterseite und/oder Oberseite des Gewindeelements, die die beiden seitlichen Längsseiten miteinander verbindet, eine Kunststoffbeschichtung bzw. Kunststoffschicht aufweist, insbesondere einstückig in den Übergängen zu den Kunststoffbeschichtungen bzw. Kunststoffschichten der seitlichen Längsseiten als mindestens dreiseitige einstückige und durchgängige Kunststoffbeschichtung bzw. Kunststoffschicht.
  8. Träger nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Kunststoff als Beschichtung bzw. Schicht fest und unlösbar auf das Gewindeelement aufgebracht ist, insbesondere verklebt ist.
  9. Träger nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Kunststoff als von dem Gewindeelement separates, schienenartiges oder kastenartiges Profil hergestellt ist und auf das Gewindeelement aufgeschoben ist, insbesondere darauf durch Kleben odgl. darauf befestigt wird.
  10. Träger nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Kunststoffbeschichtung bzw. Kunststoffschicht an den seitlichen Längsseiten des Gewindeelements nahe dem Boden der Nut dicker ist als nahe der oberen Öffnung der Nut, vorzugsweise mit gleichmäßigem Übergang zwischen unterschiedlichen Dicken.
  11. Träger nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Kunststoff aus der folgenden Gruppe ausgewählt ist: Tetrafluorethylen, Polyamid, Elastomer bzw. Gummi, etc.
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