JPH11198020A - 固定砥粒ワイヤソー - Google Patents
固定砥粒ワイヤソーInfo
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- JPH11198020A JPH11198020A JP29879498A JP29879498A JPH11198020A JP H11198020 A JPH11198020 A JP H11198020A JP 29879498 A JP29879498 A JP 29879498A JP 29879498 A JP29879498 A JP 29879498A JP H11198020 A JPH11198020 A JP H11198020A
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
- B28D5/0076—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for removing dust, e.g. by spraying liquids; for lubricating, cooling or cleaning tool or work
Abstract
(57)【要約】
【課題】ワイヤの線速を上げてワイヤ列を高速走行させ
てもクーラント液をワイヤ列に確実に付着させることの
できる固定砥粒ワイヤソーを提供する。 【解決手段】クーラント液槽５２からオーバーフローす
るクーラント液５０中にワイヤ列２２を走行させるよう
にしてワイヤ列２２にクーラント液５０を確実に付着さ
せるようにした。
てもクーラント液をワイヤ列に確実に付着させることの
できる固定砥粒ワイヤソーを提供する。 【解決手段】クーラント液槽５２からオーバーフローす
るクーラント液５０中にワイヤ列２２を走行させるよう
にしてワイヤ列２２にクーラント液５０を確実に付着さ
せるようにした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、固定砥粒ワイヤソ
ーに係り、特にシリコン、ガラス、セラミック等の硬脆
性材料を切断する固定砥粒ワイヤソーに関する。
ーに係り、特にシリコン、ガラス、セラミック等の硬脆
性材料を切断する固定砥粒ワイヤソーに関する。
【０００２】
【従来の技術】シリコン等の硬脆性材料のインゴットか
らウェーハを切り出す装置の一つに固定砥粒ワイヤソー
がある。この固定砥粒ワイヤソーは、ワイヤ（ピアノ線
やステンレス線等）の周面に固定砥粒（ダイヤモンド砥
粒やＳｉＣ、ＣＢＮ等のセラミックス砥粒等）が固着さ
れた固定砥粒付ワイヤでワイヤ列を形成する。そして、
そのワイヤ列を走行させると共に、ワイヤ列に押し付け
られたインゴットの切断部上流側でノズルからクーラン
ト液をワイヤ列に供給して切断部を冷却することにより
インゴットを多数枚のウェーハに切断する装置である。
らウェーハを切り出す装置の一つに固定砥粒ワイヤソー
がある。この固定砥粒ワイヤソーは、ワイヤ（ピアノ線
やステンレス線等）の周面に固定砥粒（ダイヤモンド砥
粒やＳｉＣ、ＣＢＮ等のセラミックス砥粒等）が固着さ
れた固定砥粒付ワイヤでワイヤ列を形成する。そして、
そのワイヤ列を走行させると共に、ワイヤ列に押し付け
られたインゴットの切断部上流側でノズルからクーラン
ト液をワイヤ列に供給して切断部を冷却することにより
インゴットを多数枚のウェーハに切断する装置である。
【０００３】例えば、従来のワイヤソーとしては、特開
平１─３１６１６２号公報や米国特許５２０１３０５号
がある。これらのワイヤソーは、被加工部材をワイヤ列
の上方から下方へ圧接させると共に、砥粒をスラリ状に
した加工液をノズルから被加工部材の切断部に供給する
ことにより被加工部材を切断する。更には、ワイヤ列の
下方に加工液溜り槽を設けてノズルから供給される加工
液を回収すると共に、被加工部材の切断終了部分が加工
液溜り槽に浸漬するようにしている。また、特開平１─
３１６１６２号公報の従来技術には、加工液供給槽内で
の切断方法も提案されているが、この場合には加工液を
被切断部へ充分供給できる反面、ワイヤのグルーブロー
ラへの巻き掛けや被加工部材の加工位置へのセット等の
作業性が阻害される他、切断したウェーハが傾き易くな
ることが欠点として記載されている。
平１─３１６１６２号公報や米国特許５２０１３０５号
がある。これらのワイヤソーは、被加工部材をワイヤ列
の上方から下方へ圧接させると共に、砥粒をスラリ状に
した加工液をノズルから被加工部材の切断部に供給する
ことにより被加工部材を切断する。更には、ワイヤ列の
下方に加工液溜り槽を設けてノズルから供給される加工
液を回収すると共に、被加工部材の切断終了部分が加工
液溜り槽に浸漬するようにしている。また、特開平１─
３１６１６２号公報の従来技術には、加工液供給槽内で
の切断方法も提案されているが、この場合には加工液を
被切断部へ充分供給できる反面、ワイヤのグルーブロー
ラへの巻き掛けや被加工部材の加工位置へのセット等の
作業性が阻害される他、切断したウェーハが傾き易くな
ることが欠点として記載されている。
【０００４】ところで、ワイヤソーは、そのワイヤ列の
形成方式から次の２つのタイプの固定砥粒ワイヤソーが
あった。１つは、一対のワイヤリール間を走行する固定
砥粒付ワイヤを２本以上のグルーブローラに巻き掛けて
ワイヤ列を形成するタイプのワイヤソーであり、ワイヤ
列は一対のワイヤリール及びグルーブローラに連結され
たモータを同期させて駆動することにより走行させる。
形成方式から次の２つのタイプの固定砥粒ワイヤソーが
あった。１つは、一対のワイヤリール間を走行する固定
砥粒付ワイヤを２本以上のグルーブローラに巻き掛けて
ワイヤ列を形成するタイプのワイヤソーであり、ワイヤ
列は一対のワイヤリール及びグルーブローラに連結され
たモータを同期させて駆動することにより走行させる。
【０００５】他の１つは、無端状に形成された複数本の
固定砥粒付エンドレスワイヤを２本以上のグルーブロー
ラに一定間隔で張架してワイヤ列を形成するタイプのワ
イヤソーであり、ワイヤ列はグルーブローラに連結され
たモータを駆動することにより走行させる。上記いずれ
のワイヤソーにおいても、ワイヤの線速を上げてワイヤ
列の高速走行を行うほど切断能力がアップし、インゴッ
トを効率的に切り出すことができる。
固定砥粒付エンドレスワイヤを２本以上のグルーブロー
ラに一定間隔で張架してワイヤ列を形成するタイプのワ
イヤソーであり、ワイヤ列はグルーブローラに連結され
たモータを駆動することにより走行させる。上記いずれ
のワイヤソーにおいても、ワイヤの線速を上げてワイヤ
列の高速走行を行うほど切断能力がアップし、インゴッ
トを効率的に切り出すことができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来のワイヤソー装置のようにノズルからクーラント
液をワイヤ列に供給する方式の場合、ワイヤの線速を例
えば２０００ｍ／分程度まで上げてワイヤ列を高速走行
させると、供給されたクーラント液がワイヤ列ではじき
飛ばされてしまいワイヤに付着しないために切断部の冷
却性が悪くなるという問題がある。
た従来のワイヤソー装置のようにノズルからクーラント
液をワイヤ列に供給する方式の場合、ワイヤの線速を例
えば２０００ｍ／分程度まで上げてワイヤ列を高速走行
させると、供給されたクーラント液がワイヤ列ではじき
飛ばされてしまいワイヤに付着しないために切断部の冷
却性が悪くなるという問題がある。
【０００７】このため、ワイヤの線速を上げてもクーラ
ント液をワイヤに確実に付着させる技術を開発すること
がワイヤソーの高速運転を行う上での大きな課題になっ
ている。本発明は、このような事情に鑑みてなされたも
ので、ワイヤの線速を上げてワイヤ列を高速走行させて
もクーラント液をワイヤ列に確実に付着させることので
きる固定砥粒ワイヤソーを提供することを目的とする。
ント液をワイヤに確実に付着させる技術を開発すること
がワイヤソーの高速運転を行う上での大きな課題になっ
ている。本発明は、このような事情に鑑みてなされたも
ので、ワイヤの線速を上げてワイヤ列を高速走行させて
もクーラント液をワイヤ列に確実に付着させることので
きる固定砥粒ワイヤソーを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は前記目的を達成
するために、複数本のグルーブローラにワイヤを巻き掛
けてワイヤ列を形成し、走行するワイヤ列にクーラント
液を供給しながら被加工物を押し当てることにより、該
被加工物を多数枚のウェーハに同時に切断する固定砥粒
付ワイヤソーにおいて、前記インゴットを切断するワイ
ヤ列の下側に配設され、その上面開放口が前記ワイヤ列
に近接した状態でクーラント液を貯留するクーラント液
槽と、前記クーラント液槽にクーラント液を連続供給し
て前記上面開放口からクーラント液をオーバーフローさ
せるクーラント液供給手段と、から成り、前記クーラン
ト液槽からオーバーフローするクーラント液の液中に前
記ワイヤ列を走行させることにより前記ワイヤ列にクー
ラント液を供給することを特徴とする。
するために、複数本のグルーブローラにワイヤを巻き掛
けてワイヤ列を形成し、走行するワイヤ列にクーラント
液を供給しながら被加工物を押し当てることにより、該
被加工物を多数枚のウェーハに同時に切断する固定砥粒
付ワイヤソーにおいて、前記インゴットを切断するワイ
ヤ列の下側に配設され、その上面開放口が前記ワイヤ列
に近接した状態でクーラント液を貯留するクーラント液
槽と、前記クーラント液槽にクーラント液を連続供給し
て前記上面開放口からクーラント液をオーバーフローさ
せるクーラント液供給手段と、から成り、前記クーラン
ト液槽からオーバーフローするクーラント液の液中に前
記ワイヤ列を走行させることにより前記ワイヤ列にクー
ラント液を供給することを特徴とする。
【０００９】本発明によれば、クーラント液槽からオー
バーフローするクーラント液の液中にワイヤ列を走行さ
せるので、ワイヤの線速を上げてワイヤ列を高速走行さ
せてもクーラント液をワイヤ列に確実に付着させること
ができる。
バーフローするクーラント液の液中にワイヤ列を走行さ
せるので、ワイヤの線速を上げてワイヤ列を高速走行さ
せてもクーラント液をワイヤ列に確実に付着させること
ができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
る固定砥粒ワイヤソーの実施の形態について詳説する。
図１は、本発明に係る固定砥粒ワイヤソーの実施の形態
を説明する断面図である。本実施の形態では、固定砥粒
付エンドレスワイヤを３本のグルーブローラに一定間隔
で張架してワイヤ列を形成するエンドレスタイプの固定
砥粒ワイヤソーの例で説明する。
る固定砥粒ワイヤソーの実施の形態について詳説する。
図１は、本発明に係る固定砥粒ワイヤソーの実施の形態
を説明する断面図である。本実施の形態では、固定砥粒
付エンドレスワイヤを３本のグルーブローラに一定間隔
で張架してワイヤ列を形成するエンドレスタイプの固定
砥粒ワイヤソーの例で説明する。
【００１１】図１に示すように、固定砥粒ワイヤソー１
０は、主として、インゴット１２の切断を行う切断ユニ
ット１４と、インゴット１２に送りを与えるワーク送り
ユニット１６とから構成されている。まず、切断ユニッ
ト１４は、逆三角形の各頂点位置に図示しないスピンド
ルユニットが配設され、各スピンドルユニットにはそれ
ぞれグルーブローラ１８Ａ、１８Ｂ、１８Ｃが回動自在
に支持されており、このグルーブローラ１８Ａ、１８
Ｂ、１８Ｃに固定砥粒付ワイヤ２０を巻き掛けることに
よりワイヤ列２２が形成される。
０は、主として、インゴット１２の切断を行う切断ユニ
ット１４と、インゴット１２に送りを与えるワーク送り
ユニット１６とから構成されている。まず、切断ユニッ
ト１４は、逆三角形の各頂点位置に図示しないスピンド
ルユニットが配設され、各スピンドルユニットにはそれ
ぞれグルーブローラ１８Ａ、１８Ｂ、１８Ｃが回動自在
に支持されており、このグルーブローラ１８Ａ、１８
Ｂ、１８Ｃに固定砥粒付ワイヤ２０を巻き掛けることに
よりワイヤ列２２が形成される。
【００１２】ここで、このワイヤ列２２を形成する方法
について説明する。グルーブローラ１８Ａ、１８Ｂ、１
８Ｃの外周には、それぞれ螺旋状の溝が形成されてお
り、ワイヤ列２２は、この溝に沿って固定砥粒付ワイヤ
２０を掛けてゆくことにより形成される。このとき、固
定砥粒付ワイヤ２０は、１本の線状の状態、すなわち両
端がつながっていない状態でグルーブローラ１８Ａ、１
８Ｂ、１８Ｃの一方端側（入側）から他方端側（出側）
に向けて巻き掛けてゆく。
について説明する。グルーブローラ１８Ａ、１８Ｂ、１
８Ｃの外周には、それぞれ螺旋状の溝が形成されてお
り、ワイヤ列２２は、この溝に沿って固定砥粒付ワイヤ
２０を掛けてゆくことにより形成される。このとき、固
定砥粒付ワイヤ２０は、１本の線状の状態、すなわち両
端がつながっていない状態でグルーブローラ１８Ａ、１
８Ｂ、１８Ｃの一方端側（入側）から他方端側（出側）
に向けて巻き掛けてゆく。
【００１３】前記のごとくワイヤ列２２を形成した固定
砥粒付ワイヤ２０は、グルーブローラ１８Ａ、１８Ｂ、
１８Ｃの出側から繰り出されて複数のガイドローラ２
４、２４…に巻き掛けられる。このガイドローラ２４に
巻きかけられることによって、固定砥粒付ワイヤ２０は
グルーブローラ１８Ａ、１８Ｂ、１８Ｃの出側からグル
ーブローラ１８Ａ、１８Ｂ、１８Ｃの入側に向けてガイ
ドされる。そして、入側にガイドされた固定砥粒付ワイ
ヤ２０は、そこで両端部をレーザー溶接、抵抗溶接等で
つなぎ合わされて無端状に形成される。
砥粒付ワイヤ２０は、グルーブローラ１８Ａ、１８Ｂ、
１８Ｃの出側から繰り出されて複数のガイドローラ２
４、２４…に巻き掛けられる。このガイドローラ２４に
巻きかけられることによって、固定砥粒付ワイヤ２０は
グルーブローラ１８Ａ、１８Ｂ、１８Ｃの出側からグル
ーブローラ１８Ａ、１８Ｂ、１８Ｃの入側に向けてガイ
ドされる。そして、入側にガイドされた固定砥粒付ワイ
ヤ２０は、そこで両端部をレーザー溶接、抵抗溶接等で
つなぎ合わされて無端状に形成される。
【００１４】このように、本実施の形態のエンドレスタ
イプの固定砥粒ワイヤソー１０では、ワイヤ列２２を無
端状の固定砥粒付ワイヤで形成する。なお、以上のよう
に形成されたワイヤ走行路には、固定砥粒付ワイヤ２０
に所定の張力を付与するためのテンションユニット２６
が配設されている。このテンションユニット２６は、前
記ガイドローラ２４、２４間に設置されており、一対の
固定ガイドローラ２８と、その固定ガイドローラ２８間
に配設されたテンションローラ３０とから構成されてい
る。固定ガイドローラ２８は、図示しないフレーム上に
回動自在に支持されており、一方、テンションローラ３
０は、図示しないガイドレール上を上下方向に摺動自在
に支持される。
イプの固定砥粒ワイヤソー１０では、ワイヤ列２２を無
端状の固定砥粒付ワイヤで形成する。なお、以上のよう
に形成されたワイヤ走行路には、固定砥粒付ワイヤ２０
に所定の張力を付与するためのテンションユニット２６
が配設されている。このテンションユニット２６は、前
記ガイドローラ２４、２４間に設置されており、一対の
固定ガイドローラ２８と、その固定ガイドローラ２８間
に配設されたテンションローラ３０とから構成されてい
る。固定ガイドローラ２８は、図示しないフレーム上に
回動自在に支持されており、一方、テンションローラ３
０は、図示しないガイドレール上を上下方向に摺動自在
に支持される。
【００１５】そして、この上下動自在に支持されたテン
ションローラ３０には、所定荷重のテンションウェイト
３２が吊設されている。前記ガイドローラ２４、２４間
を走行する固定砥粒付ワイヤ２０は、固定ガイドローラ
２８を経てテンションローラ３０に巻き掛けられ、これ
により所定の張力が付与される。
ションローラ３０には、所定荷重のテンションウェイト
３２が吊設されている。前記ガイドローラ２４、２４間
を走行する固定砥粒付ワイヤ２０は、固定ガイドローラ
２８を経てテンションローラ３０に巻き掛けられ、これ
により所定の張力が付与される。
【００１６】また、前記のごとく形成されたワイヤ列２
２の走行は、一つのグルーブローラ１８Ａを駆動モータ
３８で回転させることにより行われる。ワーク送りユニ
ット１６は、主としてワークフィードテーブル３４とワ
ーク送り機構３６とで構成される。そして、ワイヤ列２
２の上方に被加工物であるインゴット１２が装着される
ワークフィードテーブル３４が設定され、このワークフ
ィードテーブル３４がワーク送り機構３６によりワイヤ
列２２に対して垂直に昇降移動する。
２の走行は、一つのグルーブローラ１８Ａを駆動モータ
３８で回転させることにより行われる。ワーク送りユニ
ット１６は、主としてワークフィードテーブル３４とワ
ーク送り機構３６とで構成される。そして、ワイヤ列２
２の上方に被加工物であるインゴット１２が装着される
ワークフィードテーブル３４が設定され、このワークフ
ィードテーブル３４がワーク送り機構３６によりワイヤ
列２２に対して垂直に昇降移動する。
【００１７】ワーク送り機構３６は、ワイヤ列２２に対
して垂直に設置されたベース３８を有し、このベース３
８は図示しない固定砥粒ワイヤソーの本体フレームに固
定されている。そして、その前面部に一対のガイドレー
ル４０、４０が敷設され、前記ワークフィードテーブル
３４はこのガイドレール４０上をスライド自在に支持さ
れている。
して垂直に設置されたベース３８を有し、このベース３
８は図示しない固定砥粒ワイヤソーの本体フレームに固
定されている。そして、その前面部に一対のガイドレー
ル４０、４０が敷設され、前記ワークフィードテーブル
３４はこのガイドレール４０上をスライド自在に支持さ
れている。
【００１８】また、前記ベース３８の前面部には、ガイ
ドレール４０に沿ってネジ棒４２が回動自在に支持され
ている。このネジ棒４２は、前記ベース３８の頂部に設
置されたワーク送りモータ４４に連結されており、この
ワーク送りモータ４４を駆動することにより回転する。
ここで、ワークフィードテーブル３４は、ネジ棒４２に
螺合された図示しないナット部材と連結されており、ワ
ーク送りモータ４４を駆動することにより、そのネジ棒
４２とナット部材の作用によりガイドレール４０上をス
ライドして昇降移動する。
ドレール４０に沿ってネジ棒４２が回動自在に支持され
ている。このネジ棒４２は、前記ベース３８の頂部に設
置されたワーク送りモータ４４に連結されており、この
ワーク送りモータ４４を駆動することにより回転する。
ここで、ワークフィードテーブル３４は、ネジ棒４２に
螺合された図示しないナット部材と連結されており、ワ
ーク送りモータ４４を駆動することにより、そのネジ棒
４２とナット部材の作用によりガイドレール４０上をス
ライドして昇降移動する。
【００１９】前記インゴット１２は、この昇降するワー
クフィードテーブル３４の下部にスライスベース４６を
介して着脱自在に取付けられる。一方、図１及び図２に
示すように、インゴット１２を切断するワイヤ列２２の
下側には、その上面開放口４８がワイヤ列２２に近接し
た状態でクーラント液５０を貯留する箱状のクーラント
液槽５２が配設される。このクーラント液槽５２内に
は、その底部に連通された供給配管５４から常時クーラ
ント液５０が液槽５２内に供給され、上面開放口４８か
らクーラント液５０が常時オーバーフローする。そし
て、クーラント液５０を上面開放口４８からオーバーフ
ローさせることにより、クーラント液５０の液面５０Ａ
はクーラント液槽５２の上端縁５２Ａから盛り上がる。
この盛り上がった液中をワイヤ列２２が走行するように
ワイヤ列２２とクーラント液槽５２との位置関係が設定
される。この場合、クーラント液槽５２の少なくとも上
部をプラスチック樹脂等の樹脂板５２Ｂ（図３参照）で
形成することにより、クーラント液槽５２の上端縁５２
Ａと走行するワイヤ列２２とが万一接触してもワイヤ列
２２が破損しないようにすることができる。
クフィードテーブル３４の下部にスライスベース４６を
介して着脱自在に取付けられる。一方、図１及び図２に
示すように、インゴット１２を切断するワイヤ列２２の
下側には、その上面開放口４８がワイヤ列２２に近接し
た状態でクーラント液５０を貯留する箱状のクーラント
液槽５２が配設される。このクーラント液槽５２内に
は、その底部に連通された供給配管５４から常時クーラ
ント液５０が液槽５２内に供給され、上面開放口４８か
らクーラント液５０が常時オーバーフローする。そし
て、クーラント液５０を上面開放口４８からオーバーフ
ローさせることにより、クーラント液５０の液面５０Ａ
はクーラント液槽５２の上端縁５２Ａから盛り上がる。
この盛り上がった液中をワイヤ列２２が走行するように
ワイヤ列２２とクーラント液槽５２との位置関係が設定
される。この場合、クーラント液槽５２の少なくとも上
部をプラスチック樹脂等の樹脂板５２Ｂ（図３参照）で
形成することにより、クーラント液槽５２の上端縁５２
Ａと走行するワイヤ列２２とが万一接触してもワイヤ列
２２が破損しないようにすることができる。
【００２０】また、クーラント液槽５２は、前述したワ
ークフィードテーブル３４に装着されたインゴット１２
の真下に配置されると共に、そのワークフィードテーブ
ル３４によって送られたインゴット１２を収容できるよ
うになっている。前記のごとく構成された本実施の形態
の固定砥粒ワイヤソーの作用は次の通りである。
ークフィードテーブル３４に装着されたインゴット１２
の真下に配置されると共に、そのワークフィードテーブ
ル３４によって送られたインゴット１２を収容できるよ
うになっている。前記のごとく構成された本実施の形態
の固定砥粒ワイヤソーの作用は次の通りである。
【００２１】まず、切断対象であるインゴット１２をス
ライスベース４６を介してワークフィードテーブル３４
に取り付ける。次に、駆動モータ３８を駆動して、グル
ーブローラ１８Ａを回転駆動させることにより他のグル
ーブローラ１８Ｂ、１８Ｃを連れ回すことによりワイヤ
列２２を高速走行させる。なお、この際、固定砥粒付ワ
イヤ２０は無端状に形成されているので、一定の走行路
を周回することになる。
ライスベース４６を介してワークフィードテーブル３４
に取り付ける。次に、駆動モータ３８を駆動して、グル
ーブローラ１８Ａを回転駆動させることにより他のグル
ーブローラ１８Ｂ、１８Ｃを連れ回すことによりワイヤ
列２２を高速走行させる。なお、この際、固定砥粒付ワ
イヤ２０は無端状に形成されているので、一定の走行路
を周回することになる。
【００２２】次に、ワーク送りモータ４４を駆動して、
ワークフィードテーブル３４をワイヤ列２２に向けて下
降させる。この結果、インゴット１２が高速走行するワ
イヤ列２２に押し当てられる。ワイヤ列２２に押し当て
られたインゴット１２は、そのワイヤ列２２との接触部
を固定砥粒付ワイヤ２０の周面に固着された固定砥粒に
研削され、この結果、多数枚のウェーハに切断される。
この切断中において、クーラント液槽５２の上面開放口
４８からクーラント液５０をオーバーフローさせること
により、クーラント液はクーラント液槽５２の上端縁５
２Ａよりも盛り上がるので、その盛り上がった液中にワ
イヤ列２２を高速走行させる。これにより、固定砥粒付
ワイヤ２０の線速を上げてワイヤ列２２を高速走行させ
ても、クーラント液５０をワイヤ列２２に確実に付着さ
せることができる。
ワークフィードテーブル３４をワイヤ列２２に向けて下
降させる。この結果、インゴット１２が高速走行するワ
イヤ列２２に押し当てられる。ワイヤ列２２に押し当て
られたインゴット１２は、そのワイヤ列２２との接触部
を固定砥粒付ワイヤ２０の周面に固着された固定砥粒に
研削され、この結果、多数枚のウェーハに切断される。
この切断中において、クーラント液槽５２の上面開放口
４８からクーラント液５０をオーバーフローさせること
により、クーラント液はクーラント液槽５２の上端縁５
２Ａよりも盛り上がるので、その盛り上がった液中にワ
イヤ列２２を高速走行させる。これにより、固定砥粒付
ワイヤ２０の線速を上げてワイヤ列２２を高速走行させ
ても、クーラント液５０をワイヤ列２２に確実に付着さ
せることができる。
【００２３】この場合、図３に示すように、空気供給源
５８から空気を供給し、前記空気は外部信号または手動
により圧力及び流量の少なくとも一方を調整する調整手
段５７を通過するとともに、クーラント液槽５２内の底
部にクーラント液５０中に空気を曝気する曝気装置５６
を少なくとも一つ設け、前記曝気装置から噴出した前記
空気のエアリフト作用によりクーラント液槽５２内の液
面５０Ａの盛り上がりを大きくするようにしてもよい。
曝気する空気の大きさは小さい方が良い。これにより、
オーバーフローだけの場合に比べてワイヤ列２２とクー
ラント液槽５２の上面開放口４８との距離を離すことが
できる。更には、クーラント液５０中に空気を曝気する
ことにより、インゴット１２の切断部に残存する切削屑
を空気で除去することができると共に、ワイヤをも空気
で洗浄することができる。
５８から空気を供給し、前記空気は外部信号または手動
により圧力及び流量の少なくとも一方を調整する調整手
段５７を通過するとともに、クーラント液槽５２内の底
部にクーラント液５０中に空気を曝気する曝気装置５６
を少なくとも一つ設け、前記曝気装置から噴出した前記
空気のエアリフト作用によりクーラント液槽５２内の液
面５０Ａの盛り上がりを大きくするようにしてもよい。
曝気する空気の大きさは小さい方が良い。これにより、
オーバーフローだけの場合に比べてワイヤ列２２とクー
ラント液槽５２の上面開放口４８との距離を離すことが
できる。更には、クーラント液５０中に空気を曝気する
ことにより、インゴット１２の切断部に残存する切削屑
を空気で除去することができると共に、ワイヤをも空気
で洗浄することができる。
【００２４】また、液面５０Ａが盛り上がり易くなるよ
うに、クーラント液槽５２の４側面のうちワイヤ列２２
の走行方向と平行な２側面５２Ｅの高さを、ワイヤ列に
直交する２側面５２Ｄの高さよりも高くするとよい（図
２参照）。このように、本発明によれば、クーラント液
槽５２からオーバーフローするクーラント液５０中にワ
イヤ列２２を走行させるようにしてワイヤ列２２にクー
ラント液５０を確実に付着させるようにしたので、イン
ゴット１２とワイヤ列２２との切断部に、クーラント液
５０を確実に供給することができる。従って、ノズルか
らワイヤ列２２にクーラント液５０を供給する従来のよ
うに、クーラント液５０が高速走行するワイヤ列２２で
はじき飛ばされることがないので、ワイヤ列２２を高速
運転しても切断部の冷却不足を招くことがない。
うに、クーラント液槽５２の４側面のうちワイヤ列２２
の走行方向と平行な２側面５２Ｅの高さを、ワイヤ列に
直交する２側面５２Ｄの高さよりも高くするとよい（図
２参照）。このように、本発明によれば、クーラント液
槽５２からオーバーフローするクーラント液５０中にワ
イヤ列２２を走行させるようにしてワイヤ列２２にクー
ラント液５０を確実に付着させるようにしたので、イン
ゴット１２とワイヤ列２２との切断部に、クーラント液
５０を確実に供給することができる。従って、ノズルか
らワイヤ列２２にクーラント液５０を供給する従来のよ
うに、クーラント液５０が高速走行するワイヤ列２２で
はじき飛ばされることがないので、ワイヤ列２２を高速
運転しても切断部の冷却不足を招くことがない。
【００２５】尚、本実施の形態では、クーラント液槽５
２内にインゴット１２も収納されることで説明したが、
これに限定されることはなく、図４及び図５に示すよう
に、インゴット１２の切断上流側にクーラント液槽５２
を配置して、クーラント液槽５２の上面開放口４８から
クーラント液５０がオーバーフローするようにしてもよ
い。この場合も、液中に空気を曝気することを併用して
もよい。また、インゴット１２の切断下流側にも同様の
クーラント液槽５２を配置してもよい。
２内にインゴット１２も収納されることで説明したが、
これに限定されることはなく、図４及び図５に示すよう
に、インゴット１２の切断上流側にクーラント液槽５２
を配置して、クーラント液槽５２の上面開放口４８から
クーラント液５０がオーバーフローするようにしてもよ
い。この場合も、液中に空気を曝気することを併用して
もよい。また、インゴット１２の切断下流側にも同様の
クーラント液槽５２を配置してもよい。
【００２６】また、クーラント液槽５２内のクーラント
液面５０Ａを盛り上がらせることによって、クーラント
液５０を確実にインゴット１２とワイヤ列２２の切断部
に供給するための他の実施の形態を図６に示す。図６に
示す例では、クーラント液槽５２の内部に液面５０Ａを
盛り上がらせるための上向きの水流６１を発生させるス
クリュウ装置６０を設けた。スクリュウ装置６０は、羽
根６２と、前記羽根６２を回転させることにより上向き
の水流６１を発生させるための動力であるモータ６４か
ら構成されている。インゴット１２を切断中にクーラン
ト液槽５２内で羽根６２を回転させると図６に示すよう
に液面５０Ａが盛り上がり、クーラント液５０が確実に
インゴット１２とワイヤ列２２の切断部に供給される。
液面５０Ａを盛り上がらせることによって、クーラント
液５０を確実にインゴット１２とワイヤ列２２の切断部
に供給するための他の実施の形態を図６に示す。図６に
示す例では、クーラント液槽５２の内部に液面５０Ａを
盛り上がらせるための上向きの水流６１を発生させるス
クリュウ装置６０を設けた。スクリュウ装置６０は、羽
根６２と、前記羽根６２を回転させることにより上向き
の水流６１を発生させるための動力であるモータ６４か
ら構成されている。インゴット１２を切断中にクーラン
ト液槽５２内で羽根６２を回転させると図６に示すよう
に液面５０Ａが盛り上がり、クーラント液５０が確実に
インゴット１２とワイヤ列２２の切断部に供給される。
【００２７】更に、図６に示すようにクーラント供給配
管５４にノズル６６を接続して、液面５０Ａを盛り上が
らせる為の水流６８を生成するようにしてもよいし、図
示しない造波装置によって液面５０Ａに波を発生させて
も本発明の目的は達成される。また、本実施の形態で
は、エンドレスタイプの固定砥粒ワイヤソーの例で説明
したが、これに限定されるものではなく、一対のワイヤ
リール間を走行する固定砥粒付ワイヤを２本以上のグル
ーブローラに巻き掛けてワイヤ列を形成するタイプのワ
イヤソーに適用することもできる。
管５４にノズル６６を接続して、液面５０Ａを盛り上が
らせる為の水流６８を生成するようにしてもよいし、図
示しない造波装置によって液面５０Ａに波を発生させて
も本発明の目的は達成される。また、本実施の形態で
は、エンドレスタイプの固定砥粒ワイヤソーの例で説明
したが、これに限定されるものではなく、一対のワイヤ
リール間を走行する固定砥粒付ワイヤを２本以上のグル
ーブローラに巻き掛けてワイヤ列を形成するタイプのワ
イヤソーに適用することもできる。
【００２８】また、本実施の形態では、３本のグルーブ
ローラの例で説明したが、この数に限定するものではな
くワイヤ列を形成できる本数であればよい。また、本実
施の形態では、クーラント液槽５２からオーバフローさ
せたクーラント液を受ける容器を特に示さなかったが、
例えば、クーラント液槽５２の下側にドレンパンを設け
て、クーラント液を回収してもよい。
ローラの例で説明したが、この数に限定するものではな
くワイヤ列を形成できる本数であればよい。また、本実
施の形態では、クーラント液槽５２からオーバフローさ
せたクーラント液を受ける容器を特に示さなかったが、
例えば、クーラント液槽５２の下側にドレンパンを設け
て、クーラント液を回収してもよい。
【００２９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
クーラント液槽からオーバーフローするクーラント液中
にワイヤ列を走行させるようにしてワイヤ列に高速走行
させてもクーラント液が確実に付着するようにしたの
で、インゴットとワイヤ列との切断部に、クーラント液
を確実に供給することができる。
クーラント液槽からオーバーフローするクーラント液中
にワイヤ列を走行させるようにしてワイヤ列に高速走行
させてもクーラント液が確実に付着するようにしたの
で、インゴットとワイヤ列との切断部に、クーラント液
を確実に供給することができる。
【００３０】従って、ワイヤ列を高速運転しても切断部
の冷却不足を招くことがないので、精度の高いウェーハ
を効率的に切断することができる。
の冷却不足を招くことがないので、精度の高いウェーハ
を効率的に切断することができる。
【図１】エンドレスタイプの固定砥粒ワイヤソーの構成
を説明する構成図
を説明する構成図
【図２】固定砥粒ワイヤソーのクーラント液槽を説明す
る斜視図
る斜視図
【図３】クーラント液槽内に曝気装置を設けた場合の断
面図
面図
【図４】クーラント液槽をインゴットの切断上流側に設
けた時の斜視図
けた時の斜視図
【図５】クーラント液槽をインゴットの切断上流側に設
けた時の側面図
けた時の側面図
【図６】クーラント液槽内にスクリュウ装置とノズルを
設けた時の側面図
設けた時の側面図
１０…固定砥粒ワイヤソー １２…インゴット １４…切断ユニット １６…ワーク送りユニット １８Ａ、１８Ｂ、１８Ｃ…グルーブローラ ２０…固定砥粒付ワイヤ ２２…ワイヤ列 ２６…テンションユニット ４８…クーラント液槽の上面開放口 ５０…クーラント液 ５０Ａ…クーラント液槽内のクーラント液面 ５２…クーラント液槽 ５４…供給配管 ６０…スクリュウ装置
Claims (3)
- 【請求項１】複数本のグルーブローラにワイヤを巻き掛
けてワイヤ列を形成し、走行するワイヤ列にクーラント
液を供給しながら被加工物を押し当てることにより、該
被加工物を多数枚のウェーハに同時に切断する固定砥粒
付ワイヤソーにおいて、 前記インゴットを切断するワイヤ列の下側に配設され、
その上面開放口が前記ワイヤ列に近接した状態でクーラ
ント液を貯留するクーラント液槽と、 前記クーラント液槽にクーラント液を連続供給して前記
上面開放口からクーラント液をオーバーフローさせるク
ーラント液供給手段と、 から成り、前記クーラント液槽からオーバーフローする
クーラント液の液中に前記ワイヤ列を走行させることに
より前記ワイヤ列にクーラント液を付着することを特徴
とする固定砥粒ワイヤソー。 - 【請求項２】前記クーラント液槽の少なくとも上端部を
樹脂製の板で形成することを特徴とする請求項１の固定
砥粒ワイヤソー。 - 【請求項３】前記クーラント液槽の内部において、クー
ラント液槽の上方に向かって噴流を発生する装置を備え
たことを特徴とする請求項１の固定砥粒ワイヤソー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29879498A JPH11198020A (ja) | 1997-11-04 | 1998-10-20 | 固定砥粒ワイヤソー |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9-302151 | 1997-11-04 | ||
| JP30215197 | 1997-11-04 | ||
| JP29879498A JPH11198020A (ja) | 1997-11-04 | 1998-10-20 | 固定砥粒ワイヤソー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11198020A true JPH11198020A (ja) | 1999-07-27 |
Family
ID=26561660
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29879498A Pending JPH11198020A (ja) | 1997-11-04 | 1998-10-20 | 固定砥粒ワイヤソー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11198020A (ja) |
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0990498A1 (de) * | 1998-09-10 | 2000-04-05 | Wacker Siltronic Gesellschaft für Halbleitermaterialien Aktiengesellschaft | Verfahren und Vorrichtung zum Abtrennen einer Vielzahl von Scheiben von einem sprödharten Werkstück |
| JP2003080449A (ja) * | 2001-09-06 | 2003-03-18 | Sumitomo Special Metals Co Ltd | 希土類合金の切断方法および希土類磁石の製造方法 |
| KR20030056673A (ko) * | 2001-12-28 | 2003-07-04 | 주식회사 실트론 | 잉곳의 절단장치 |
| US6837778B2 (en) | 2000-11-24 | 2005-01-04 | Neomax Co., Ltd | Method for cutting rare earth alloy, method for manufacturing rare earth magnet, and wire-saw machine |
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| JP2008160124A (ja) * | 2006-12-20 | 2008-07-10 | Siltronic Ag | ワークピースを鋸断する装置及び方法 |
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| KR101249860B1 (ko) | 2011-09-06 | 2013-04-03 | 주식회사 엘지실트론 | 와이어 쏘잉 장치용 슬러리 배스 및 이를 포함한 와이어 쏘잉 장치 |
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| CN113510866A (zh) * | 2021-03-26 | 2021-10-19 | 浙江晶阳机电股份有限公司 | 一种铸锭硅芯截断装置及其截断方法 |
| WO2023119954A1 (ja) * | 2021-12-24 | 2023-06-29 | 株式会社Sumco | シリコンインゴットの切断方法 |
-
1998
- 1998-10-20 JP JP29879498A patent/JPH11198020A/ja active Pending
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| US7793647B2 (en) | 2006-12-20 | 2010-09-14 | Siltronic Ag | Method and device for sawing a workpiece |
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| US9314942B2 (en) | 2008-11-07 | 2016-04-19 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Ingot cutting apparatus and ingot cutting method |
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|---|---|---|---|
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