JP2007301687A - ワーク切断装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 クーラント2の貯留部2a内に、少なくとも研削工具1aと被削材Bとが接触する切断部B1を配置し、この切断部B1をクーラント2中に浸漬しながら研削工具1aを移動させて被削材Bを切断加工することにより、研削工具1aの移動方向に関係なく、切断部B1の全体がクーラント2で満たされたまま切断が行われ、凹溝状の切断部B1が新に形成される度にクーラント2が入り込む。
【選択図】 図1
Description
詳しくは、スラリーの代わりにクーラントを用いながら研削工具で被削材を切断加工するワーク切断装置に関する。
特に、研削工具がダイヤモンド砥粒を固着したワイヤである場合には、ワイヤに供給されたクーラントのほとんどが凹溝状の切断部に入り込まず、それによりワイヤに振動が生じたり変形が生じたりして切断面の粗さが悪くなり、切断面にうねりが発生するという問題があった。
更に、切断部が空中に配置されるため、切断部に注入されたクーラントや切り屑などが周囲に飛散し易く、これらの飛散を防止するために装置全体の周囲をカバーで完全に密閉する必要があると共に、飛散したクーラントや切り屑などがカバーに降りかかることで振動や騒音が発生するという問題があった。
また、研削切断機がワイヤソーであり、その研削工具であるワイヤと被削材との間にクーラントを供給してウエハ状に薄くスライスする場合には、供給されたクーラントの一部が切断部に達する前にワイヤから飛散して、被削材や被削材を支持する支持部材に当たるが、このように飛散したクーラントが既に切断が終了した部分に降りかかると、切断終了部分に振動が生じて、特に切断が完了する直前には切断が終了した部分の振動が大きくなり、それによりスライスした薄板に割れが発生する恐れもあった。
請求項2記載の発明は、請求項1に記載の発明の目的に加えて、ワイヤから被削材へのクーラントの飛散を完全に防止することを目的としたものである。
請求項3記載の発明は、請求項1または2に記載の発明の目的に加えて、砥粒の目詰まりを防止することを目的としたものである。
請求項2記載の発明は、請求項1記載の発明の構成に、前記研削切断機がワイヤソーで、被削材をウエハ状に薄くスライスする構成を加えたことを特徴とする。
請求項3記載の発明は、請求項1または2記載の発明の構成に、前記研削切断機が固定砥粒ワイヤソーである構成を加えたことを特徴とする。
従って、研削工具の入り側と抜き側において同じ条件で切断すると共にクーラントや切り屑などが周囲に飛散するのを防止することができる。
その結果、切断部が空中に支持された状態でクーラントを供給しながら切断する従来のものに比べ、研削工具の入り側と抜き側において、夫々の切断部の冷却性能や切り屑の排出性能や脱落した砥粒の洗浄性能の差が発生せず、切断代が一定になって、それにより切断面の寸法精度を向上でき、切断面の傾斜、厚さムラ、切断面のうねりなどを改善して切断面の品質向上が図れる。
特に、研削工具がダイヤモンド砥粒を固着したワイヤであっても、ダイヤモンド砥粒が被削材に食い込むことで形成された凹溝状の切断部にクーラントが確実に入り込むため、ワイヤの振動や変形が減少して切断面の粗さが良くなり、切断面のうねりを減少できる。
更に、クーラントや切り屑などが周囲に飛散しないから、装置全体の周囲をカバーで完全に密閉する必要がなくなって、全体構造を簡素化できると共に、飛散したクーラントや切り屑などがカバーに降りかかることによる振動や騒音も発生しない。
従って、ワイヤから被削材へのクーラントの飛散を完全に防止することができる。
その結果、ワイヤと被削材との間に供給されたクーラントの一部が切断部に達する前にワイヤから飛散して、被削材や被削材を支持する支持部材に当たる従来のものに比べ、飛散したクーラントによる切断終了部分の振動がないため、切断時に薄板の割れ発生率が低減され、切断歩留、生産性の改善を図ることができる。
従って、砥粒の目詰まりを防止することができる。
その結果、ワイヤソーの切れ味が落ちることなく、長時間に亘って被削材を切断できる。
以下、本発明の各実施例を図面に基づいて説明する。
先ず、前記研削工具1aのワイヤと被削材Bとが圧接する切断部B1がクーラント2中に浸漬している状態で、マルチワイヤソー1の駆動ローラ1bの回転によりワイヤ1aを移動して切断を開始すると、この切断部B1はクーラント2で満たされているため、該ワイヤ1aに固着した砥粒が被削材Bに食い込んで凹溝状の切断部B1が新に形成される度に、この凹溝状切断部B1へクーラント2が入り込む。
これらの場合も上述した結果と同様な作用効果が得られる。
B1 切断部 B2 切断面
1 研削切断機 1a 研削工具(ワイヤ)
1b,1c,1d ローラ 2 クーラント
2a 貯留部 2b 液槽
Claims (3)
- 研削切断機(1)の研削工具(1a)を被削材(B)に接触させ、クーラント(2)を用いながら該研削工具(1a)の移動により被削材(B)を切断加工するワーク切断装置において、
前記クーラント(2)の貯留部(2a)内に、少なくとも研削工具(1a)と被削材(B)とが接触する切断部(B1)を配置し、この切断部(B1)をクーラント(2)中に浸漬しながら研削工具(1a)を移動させて被削材(B)を切断加工することを特徴とするワーク切断装置。 - 前記研削切断機(1)がワイヤソーで、被削材(B)をウエハ状に薄くスライスする請求項1記載のワーク切断装置。
- 前記研削切断機(1)が固定砥粒ワイヤソーである請求項1または2記載のワーク切断装置。
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