JP2003191158A - 希土類合金の切断方法および希土類磁石の製造方法ならびにワイヤソー装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 水を主成分とする冷却液を用いて実行でき
る、固定砥粒ワイヤによる希土類合金の切断方法を提供
する。 【解決手段】 芯線に砥粒を固着させたワイヤを用いる
希土類合金の切断方法であって、希土類合金がワイヤに
よって切削される部分を２５℃における表面張力が２５
ｍＮ／ｍ〜６０ｍＮ／ｍの範囲内にある水を主成分とす
る冷却液中に浸漬した状態で、ワイヤを走行させること
によって希土類合金を切削する工程を包含する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、希土類合金の切断
方法および希土類磁石の製造方法ならびにワイヤソー装
置に関し、特に、芯線に砥粒を固着させたワイヤを用い
て希土類合金を切断する方法およびそれを用いた希土類
磁石の製造方法ならびにワイヤソー装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】希土類合金は、例えば、強力な磁石材料
として利用されている。希土類合金を着磁することによ
って得られる希土類磁石は、例えば、磁気記録装置の磁
気ヘッドの位置決めに用いられるボイスコイルモータ用
の磁石として好適に用いられている。

【０００３】希土類合金のインゴット（焼結体を含むも
のとする。）を切断する方法としては、従来から、例え
ば回転するスライシングブレードを用いてインゴットを
スライスする技術が採用されている。しかしながら、ス
ライシングブレードで切断する方法によれば、切断刃の
厚さが比較的大きいため、削りしろが多くなり、希土類
合金材料の歩留まりが低く、希土類合金製品（例えば希
土類磁石）のコストを上昇させる要因となっている。

【０００４】スライシングブレードよりも削りしろが少
ない切断方法として、ワイヤを用いた方法がある。例え
ば、特開平１１−１９８０２０号公報は、高強度の芯線
の周面上に超砥粒をボンド層により固定したワイヤ
（「固定砥粒ワイヤ」という。）を用いて、シリコン、
ガラス、ネオジム、フェライト等の硬脆材料を切断でき
ることを開示している。

【０００５】上述のような固定砥粒ワイヤを用いて、希
土類合金のインゴットから少ない削り代で所定厚さの板
を多数枚同時に作製することができれば、希土類磁石の
製造コストが大幅に低減される。しかしながら、固定砥
粒ワイヤを用いて希土類合金を量産レベルで切断したと
の報告は未だに無い。

【０００６】発明者が種々検討した結果から、この主な
原因として、希土類合金、特に、焼結法によって製造さ
れた希土類合金（以下、「希土類焼結合金」を呼ぶ。）
の機械的な性質が、シリコン等と大きく異なることが挙
げられる。具体的には、希土類焼結合金は、全体として
脆く、且つ、硬い主相（すなわちＲ₂Ｆｅ₁₄Ｂ結晶粒）
と、延性的な破壊を起こす粒界相とを有するので、シリ
コンに代表される硬脆材料と異なり、切削され難い。す
なわち、シリコン等の硬脆材料を切断する場合に比べ
て、切削抵抗が高く、その結果、発熱量も多い。また、
希土類合金の比重は、約７．５とシリコン等の材料に比
べて大きく、切削によって生成される切削屑（スラッ
ジ）が切削部から排出され難い。

【０００７】従って、希土類合金を、高い加工精度で、
効率良く切削するためには、切削抵抗を十分に低下させ
るとともに、切削時に発生する熱を効率良く放熱する、
すなわち切削部を効率良く冷却する必要がある。また、
切削によって生成される切削屑を効率良く排出する必要
がある。

【０００８】潤滑性に優れた冷却液（「切削液」ともい
う。）を希土類合金の切削部に十分に供給することによ
って、切削抵抗を低下するとともに、切削時に発生する
熱を効率良く放散することができる。発明者による実験
の結果、油性の冷却液を用いて、ワイヤを十分な量の冷
却液で濡らしておけば、走行するワイヤによって、狭い
切削部に冷却液を十分に供給することができる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、油性の
冷却液には、環境破壊を起こさないように廃液を処理す
るためにコストがかかること、および、廃液中の切削屑
を分別することが困難であり、廃液や切削屑の再利用が
困難であるという問題がある。これらのことを考慮する
と、冷却液としては水（または水溶性の冷却液）が好ま
しいのであるが、水を冷却液として用いると、水は粘度
（１．０ｍｍ²／ｓ）が低いので、走行するワイヤに十
分な量を付着させることができないので、ワイヤを水で
濡らしても切削部に十分な量の水を供給することができ
ない。

【００１０】特開平１１−１９８０２０号公報は、冷却
液の槽からオーバーフローする冷却液中にワイヤを走行
させることによって、固定砥粒ワイヤを高速（例えば２
０００ｍ／ｍｉｎ）で走行させる場合においても、冷却
液をワイヤに確実に付着させることができることを開示
している。しかしながら、本発明者の実験によると、オ
ーバーフローしている水の中にワイヤ（例えば、特開平
１１−１９８０２０号公報に開示されている）を走行さ
せながら希土類合金を切削しても、砥粒の脱落や、ひど
い場合にはワイヤの断線が発生する。この不具合は、ワ
イヤの走行速度が例えば８００ｍ／ｍｉｎ程度でも発生
した。これは、上記の方法を採用しても、水が切削部に
十分に供給されないためと考えられる。

【００１１】また、本発明者が検討した結果、水を主成
分とする冷却液を用いると、ワイヤが巻き付けられるリ
ールボビンにおいて、ワイヤ同士の接触摩擦によって、
砥粒がワイヤから剥がれる（脱粒と呼ぶことがある。）
という現象が生じるという問題があることがわかった。

【００１２】これは、水を主成分とする冷却液は油性の
冷却液に比べてワイヤに対する付着力が低いので簡単に
振り落とされ且つ蒸発しやすいので、リールボビンに巻
き取られるときにはワイヤに付着している冷却液は僅か
またはほとんど無く、ワイヤ同士の摩擦による発熱およ
び機械的な摩擦力を低減することができないためである
ことが分かった。すなわち、これは切断部には冷却液が
ワイヤに供給されるものの、リールボビンに巻きとられ
るまでに走行中において冷却液がはじき飛ばされるから
であると推測される。

【００１３】また、ワイヤ同士の摩擦は、砥粒の脱粒に
至らなくとも、砥粒に機械的なダメージを与えるので、
切削精度を低下させたり、切削効率が低下したりする。
さらにひどい場合には、砥粒がボンド層とともに剥がれ
てしまうこともある。すなわち、水を主成分とする冷却
液を用いると、リールボビンにおけるワイヤ同士の摩擦
によってワイヤの寿命が短くなる。固定砥粒ワイヤは比
較的高価なので、切断加工にかかる費用を低減するため
にも、ワイヤの寿命を長くすることが望ましい。

【００１４】さらに、水を主成分とする冷却液を用いる
と、油性の冷却液を用いた場合に比べ、ワイヤの断線が
起こる頻度が高くなり、ワイヤの寿命が短くなるという
問題が発生することも分かった。

【００１５】本発明は上記の諸点に鑑みてなされたもの
であり、その目的の１つは、水を主成分とする冷却液を
用いて実行できる、固定砥粒ワイヤによる希土類合金の
切断方法を提供することにある。本発明の他の目的は、
ワイヤソー装置で水を主成分とする冷却液を用いて希土
類合金を切断する際のワイヤの寿命を長くすることにあ
る。また、本発明の他の目的は、上記のような切断方法
に好適に使用されるワイヤソー装置を提供することを目
的とする。また、本発明の他の目的は、上記希土類合金
の切断方法を用いた希土類磁石の製造方法、ならびに当
該希土類磁石を備えたボイスコイルモータを提供するこ
とにある。

【００１６】

【課題を解決するための手段】本発明の第１の局面によ
る希土類合金の切断方法は、芯線に砥粒を固着させたワ
イヤを用いる希土類合金の切断方法であって、前記希土
類合金が前記ワイヤによって切削される部分を２５℃に
おける表面張力が２５ｍＮ／ｍ〜６０ｍＮ／ｍの範囲内
にある水を主成分とする冷却液中に浸漬した状態で、前
記ワイヤを走行させることによって前記希土類合金を切
削する工程を包含する。

【００１７】前記冷却液は、水溶性の合成潤滑剤と、前
記合成潤滑剤の重量の１０倍〜５０倍の範囲内の重量の
水を含んでいることが好ましい。

【００１８】前記冷却液は、界面活性剤と、界面活性剤
の重量の１０倍〜５０倍の範囲内の重量の水を含んでも
よい。

【００１９】前記冷却液は、消泡剤を含んでもよい。

【００２０】前記冷却液は、ＰＨが８〜１１であること
が好ましく、ＰＨは９以上であることがさらに好まし
い。

【００２１】前記冷却液は、防錆剤を含んでもよい。

【００２２】ある好ましい実施形態において、前記砥粒
は、前記芯線の外周面に形成された樹脂層によって固着
されている。

【００２３】ある好ましい実施形態において、前記ワイ
ヤの走行方向における、互いに隣接する前記砥粒間の平
均距離は、前記砥粒の平均粒径の１５０％〜６００％の
範囲内にあり、且つ、前記砥粒が前記樹脂層の表面から
突出している部分の平均高さは、１０μｍ〜４０μｍの
範囲内にある。

【００２４】前記砥粒の平均粒径Ｄは、２０μｍ≦Ｄ≦
６０μｍの関係を満足することが好ましい。

【００２５】前記切削工程において、前記希土類合金が
前記ワイヤによって切削される部分が槽内に収容された
前記冷却液に浸漬され、前記冷却液は、前記槽の底部か
ら前記槽内に供給されるとともに、前記槽の開口部から
供給されることによって、前記開口部から溢れ出る状態
に維持されることが好ましい。

【００２６】前記切削工程において、前記冷却液が１分
間に溢れ出る量は、前記槽の容積の５０％以上であるこ
とが好ましい。

【００２７】前記切削工程において、前記開口部から供
給される前記冷却液の量は、前記底部から供給される前
記冷却液の量よりも多いことが好ましい。

【００２８】前記切削工程において、前記槽の前記開口
部の前記ワイヤの走行方向と交差する辺上に、カーテン
状の気流または冷却液流を形成することによって、前記
冷却液が前記槽の前記開口部から溢れ出るのを抑制する
構成としてもよい。

【００２９】前記ワイヤは、ローラによって駆動され、
前記ローラは、案内溝が形成された高分子層を有し、前
記案内溝は、少なくとも一方の斜面が前記ローラの表面
に対して５０°以上の角度を成す一対の斜面を有し、前
記ワイヤは前記一対の斜面の間を走行させられる構成と
することが好ましい。

【００３０】前記希土類合金は、Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系希土類
焼結合金であってもよく、前記希土類合金は、Ｎｄ−Ｆ
ｅ−Ｂ系希土類焼結合金であってもよい。

【００３１】本発明の第１の局面による希土類磁石の製
造方法は、希土類合金粉末から希土類磁石の焼結体を作
製する工程と、上記本発明の第１の局面による希土類合
金の切断方法のいずれかを用いて前記焼結体から複数の
希土類磁石を分離する工程とを包含する。

【００３２】本発明の第１の局面によるボイスコイルモ
ータは、上記第１の局面による希土類磁石の製造方法に
よって製造された希土類磁石を備える。前記希土類磁石
の厚さが０．５ｍｍ〜３．０ｍｍの範囲にあってもよ
い。

【００３３】本発明の第２の局面による希土類合金の切
断方法は、芯線に砥粒を固着させたワイヤを用いる希土
類合金の切断方法であって、リールボビンに巻かれたワ
イヤを複数のローラの間で走行させる工程と、前記リー
ルボビンに巻かれた前記ワイヤまたは前記リールボビン
の近傍を走行する前記ワイヤに、水を主成分とする第１
冷却液を供給する工程と、前記希土類合金が前記ワイヤ
によって切削される部分に水を主成分とする第２冷却液
を供給しながら、走行している前記ワイヤで前記希土類
合金を切削する工程とを包含する。

【００３４】前記第１冷却液は、希土類合金に対する２
５℃における動摩擦係数が０．３以下であることが好ま
しい。

【００３５】前記第２冷却液は、希土類合金に対する２
５℃における動摩擦係数が０．１〜０．３の範囲内にあ
ることが好ましい。

【００３６】前記第１冷却液は噴霧法によって前記ワイ
ヤに供給されることが好ましい。

【００３７】ある好ましい実施形態において、前記砥粒
は、前記芯線の外周面に形成された樹脂層によって固着
されている。

【００３８】前記樹脂は、フェノール樹脂、エポキシ樹
脂またはポリイミド樹脂であることが好ましい。

【００３９】ある好ましい実施形態において、前記ワイ
ヤの走行方向における、互いに隣接する前記砥粒間の平
均距離は、前記砥粒の平均粒径の１５０％〜６００％の
範囲内にあり、且つ、前記砥粒が前記樹脂層の表面から
突出している部分の平均高さは、１０μｍ〜４０μｍの
範囲内にある。

【００４０】前記第１冷却液は前記第２冷却液よりも粘
度が高い構成としてもよい。

【００４１】前記第１冷却液および前記第２冷却液は、
１５℃から３５℃の範囲にあることが好ましい。

【００４２】前記複数のローラのそれぞれは、案内溝が
形成された高分子層を有し、前記案内溝は、少なくとも
一方の斜面が前記ローラの表面に対して５０°以上の角
度を成す一対の斜面を有し、前記ワイヤは前記一対の斜
面の間を走行させられる構成とすることが好ましい。

【００４３】前記希土類合金は、Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系希土類
焼結合金であってもよく、前記希土類合金は、Ｎｄ−Ｆ
ｅ−Ｂ系希土類焼結合金であってもよい。

【００４４】本発明の第２の局面による希土類磁石の製
造方法は、希土類合金粉末から希土類磁石の焼結体を作
製する工程と、上記本発明の第２の局面による希土類合
金の切断方法のいずれかを用いて前記焼結体から複数の
希土類磁石を分離する工程とを包含する。

【００４５】本発明の第２の局面によるボイスコイルモ
ータは、上記第２の局面による希土類磁石の製造方法に
よって製造された希土類磁石を備える。前記希土類磁石
の厚さが０．５ｍｍ〜３．０ｍｍの範囲にあってもよ
い。

【００４６】本発明の第２の局面によるワイヤソー装置
は、芯線に砥粒を固着させたワイヤと、前記ワイヤがそ
の周辺に巻きつけられるリールボビンと、前記リールボ
ビンに巻きつけられた前記ワイヤを引き出し、走行させ
る複数のローラと、前記ワイヤが被切削物を切削する部
分に第１冷却液を供給する装置と、前記リールボビンに
巻き付けられている前記ワイヤまたは前記リールボビン
の近傍を走行する前記ワイヤに第２冷却液を供給する装
置とを備える。

【００４７】前記第２冷却液を供給する装置は噴霧装置
を備えていることが好ましい。

【００４８】前記複数のローラのそれぞれは、案内溝が
形成された高分子層を有し、前記案内溝は、少なくとも
一方の斜面が前記ローラの表面に対して５０°以上の角
度を成す一対の斜面を有し、前記ワイヤは前記一対の斜
面の間を走行させられる構成を備えていることが好まし
い。

【００４９】本発明による他のワイヤソー装置は、芯線
に砥粒を固着させたワイヤと、前記ワイヤがその周辺に
巻きつけられるリールボビンと、前記リールボビンに巻
きつけられた前記ワイヤを引き出し、走行させる複数の
ローラと、前記ワイヤが被切削物を切削する部分に冷却
液を供給する装置とを有し、前記複数のローラのそれぞ
れは、案内溝が形成された高分子層を有し、前記案内溝
は、少なくとも一方の斜面が前記ローラの表面に対して
５０°以上の角度を成す一対の斜面を有し、前記ワイヤ
は前記一対の斜面の間を走行させられる。

【００５０】前記複数のローラ間を走行させられる前記
ワイヤの張力は２５Ｎ以上３５Ｎ以下であることが好ま
しい。

【００５１】

【発明の実施の形態】以下に、本発明の第１の局面によ
る実施形態の希土類合金の切断方法および希土類磁石の
製造方法を説明する。

【００５２】本発明の第１の局面による希土類合金の切
断方法は、芯線（典型的にはピアノ線）に砥粒（典型的
にはダイヤモンド砥粒）を固着させたワイヤを用いる希
土類合金の切断方法であって、希土類合金がワイヤによ
って切削される部分を２５℃における表面張力が２５ｍ
Ｎ／ｍ〜６０ｍＮ／ｍの範囲内にある水溶性の冷却液中
に浸漬した状態で、ワイヤを走行させることによって希
土類合金を切削する工程を包含する。冷却液として、希
土類合金に対する２５℃における動摩擦係数が０．１〜
０．３のものを用いてもよい。

【００５３】本発明の第１の局面による希土類合金の切
断方法において、希土類合金を固定砥粒ワイヤを用いて
切削する工程は、２５℃における表面張力が約２５ｍＮ
／ｍ〜約６０ｍＮ／ｍ（約２５ｄｙｎ／ｃｍ〜約６０ｄ
ｙｎ／ｃｍ）の範囲内にある冷却液に切削部が浸漬され
た状態で実行されるので、ワイヤを効率良く冷却するこ
とができる。上記の範囲内の表面張力を有する冷却液
は、水に比べて、希土類合金および／またはワイヤに対
する濡れ性（またはなじみ）が優れるので、切削部（希
土類合金とワイヤとが互いに接触し、希土類合金が切削
される部分。切削溝ともいう。）に冷却液が効率よく浸
透するためと考えられる。勿論、水を主成分とする冷却
液は、油性冷却液（例えば鉱油）に比べ比熱が高いの
で、冷却効率が高い。なお、本明細書において、「水を
主成分とする冷却液」とは、全体の７０重量％以上が水
である冷却液をいう。

【００５４】本発明の希土類合金の切断方法において好
適に用いられる冷却液は、上記希土類合金に対する動摩
擦係数によって選別することも可能で、２５℃における
上記動摩擦係数が約０．１〜約０．３の範囲内にある冷
却液は、上記の範囲内の表面張力を有する冷却液と同等
の作用・効果を発揮し得る。表面張力が切削部に対する
冷却液の浸透性を示す指標と考えられるのに対し、動摩
擦係数は切削部に対して冷却液が与える潤滑性の指標と
考えられる。なお、表面張力と動摩擦係数との間に、定
性的な相関関係があることが知られている。

【００５５】冷却液の表面張力は、よく知られているデ
ュヌイ表面張力計を用いて測定される。また、希土類合
金に対する冷却液の動的摩擦係数は、日本で基礎的な試
験機として多用されている増田式「四球式摩擦試験機」
を用いて測定される。本明細書においては、表面張力お
よび動摩擦係数のいずれについても、２５℃における値
を、冷却液を特徴付ける値として採用する。

【００５６】なお、以下の実施例で示す動摩擦係数は、
鉄球を用いて四球式摩擦試験機で求めた値である。実施
例で例示するＲ−Ｆｅ−Ｂ系希土類合金（ＲはＹを含む
希土類元素で、例えば、Ｎｄ₂Ｆｅ₁₄Ｂ金属間化合物を
主相とする合金）は、鉄の含有量が成分元素の中で最も
多いので、鉄球を用いて求めた冷却液の動摩擦係数は、
良い近似で、希土類合金に対する動摩擦係数として採用
することができる。このことは実験的に確かめた。希土
類磁石として好適に用いられる希土類合金の組成および
製造方法は、例えば、米国特許第４，７７０，７２３号
および米国特許第４，７９２，３６８号に記載されてい
る。Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系希土類合金の典型的な組成では、Ｒ
としてＮｄまたはＰｒが主に用いられ、Ｆｅは部分的に
遷移元素（例えばＣｏ）に部分的に置換されてもよく、
ＢはＣによって置換されてもよい。

【００５７】また、２５℃の表面張力または動摩擦係数
を用いて、本発明の切断方法で用いられる冷却液を特定
したが、実際に使用する際の冷却液の温度は、２５℃に
限られない。但し、本発明の効果を得るためには、１５
℃〜３５℃の範囲内に温度制御された冷却液を用いるこ
とが好ましく、２０℃〜３０℃の範囲内にあることがさ
らに好ましく、２０℃〜２５℃の範囲内にあることがさ
らに好ましい。よく知られているように、冷却液の表面
張力や動摩擦係数は温度に依存するので、実際に使用す
る冷却液の温度が上記の温度範囲からあまり外れると、
冷却液の表面張力や動摩擦係数がそれぞれ上記の数値範
囲から外れた状態と良く似た状態となり、冷却効率また
は切削効率が低下する。

【００５８】上記の冷却液を用いることによって、ワイ
ヤの温度の異常上昇を抑制することができるので、砥粒
の異常脱粒やワイヤの断線を抑制・防止することができ
る。その結果、加工精度の低下が防止されるとともに、
従来よりも長い期間に亘ってワイヤを使用することが可
能となるので製造コストを低減することができる。

【００５９】上記の冷却液は、界面活性剤や、いわゆる
「シンセティック（Ｓｙｎｔｈｅｔｉｃ）」と呼ばれる
合成潤滑剤を水に添加することによって調製される。種
類や添加量を調整することによって、所定の表面張力や
動摩擦係数を得ることができる。また、水を主成分とす
る冷却液を用いると、比較的粘度が低いので、切削によ
って生成したスラッジから磁石を用いて希土類合金の切
削屑を容易に分別することが可能で、冷却液を再利用す
ることができる。また、冷却液の廃棄処理によって自然
環境に悪影響を及ぼすことを防止することができる。ま
た、スラッジ中に含まれる炭素の量を減らすことがで
き、スラッジから回収された切削屑を原料とする磁石の
磁気特性を向上することができる。

【００６０】ワイヤを高速で走行させながら切削を行う
と、冷却液が発泡し、冷却効率が低下することがある。
消泡剤を含む冷却液を用いることによって、冷却液の発
泡による冷却効率の低下を抑制することができる。さら
に、ＰＨが８〜１１の範囲内にある冷却液を用いること
によって、希土類合金の腐食を抑制することができる。
ＰＨが９以上の冷却液を用いることがさらに好ましい。
また、防錆剤を含む冷却液を用いることによって、希土
類合金の酸化を抑制することができる。これらは、希土
類合金の種類や切断条件等を考慮して、適宜調整すれば
よい。

【００６１】ワイヤとしては、ダイヤモンド系砥粒を樹
脂で固着したものが好適に用いられる。すなわち、芯線
（典型的にはピアノ線）の外周面にダイヤモンド系砥粒
を樹脂を用いて固着したワイヤを好適に用いることがで
きる。そのなかでも、樹脂としてフェノール樹脂、エポ
キシ樹脂またはポリイミド樹脂を用いることが好まし
い。これらの樹脂は、ピアノ線（硬鋼線）の外周面への
接着強度が高く、また後述する冷却液に対する濡れ性
（浸透性）にも優れる。また、電着法を用いて製造され
るワイヤよりも安価であり、希土類合金の切断にかかる
コストを低減することができる。なお、ワイヤの芯線
は、ピアノ線に限られず、Ｎｉ−ＣｒやＦｅ−Ｎｉ等の
合金、ＷやＭｏ等の高融点金属から形成されたもの、ま
たはナイロン繊維などの高強度繊維を束ねたものから形
成されていても良い。また、砥粒の材料はダイヤモンド
に限定されず、ＳｉＣ、Ｂ、Ｃ、ＣＢＮ(Cubic Boron N
itride)等であってもよい。

【００６２】切削しろが少ないという利点を得るために
は、ワイヤの外径は、０．３ｍｍ以下が好ましく、０．
２５ｍｍ以下であることがさらに好ましい。ワイヤの外
径の下限値は、十分な強度が得られるように設定され、
且つ、所定の大きさの砥粒を十分な強度で固着するため
に、０．１２ｍｍ〜０．２０ｍｍ、より好ましくは０．
１５ｍｍ〜０．２ｍｍ程度の直径の芯線が用いられる。
砥粒の平均粒径Ｄは、切削効率の観点から、２０μｍ≦
Ｄ≦６０μｍの関係を満足することが好ましく、３０μ
ｍ≦Ｄ≦６０μｍの関係を満足することがさらに好まし
く、特に、４０μｍ≦Ｄ≦６０μｍの関係を満足するこ
とが好ましい。また、切削効率と切削屑（スラッジ）の
排出効率の観点から、ワイヤの走行方向における、互い
に隣接する砥粒間の平均距離は、砥粒の平均粒径Ｄの１
５０％〜６００％の範囲内にあることが好ましく、且
つ、砥粒が樹脂層の表面から突出している部分の平均高
さは、１０μｍ〜４０μｍの範囲内にあることが好まし
く、１５μｍ〜４０μｍの範囲内にあることがさらに好
ましい。このワイヤは、上記の仕様を指定すれば一般の
ワイヤの製造業者（例えば、株式会社アライドマテリア
ル）から供給され得る。

【００６３】このようなワイヤを用いると、良好な切削
効率が実現でき、且つ、切削屑の排出性にも優れるの
で、比較的高い走行速度（例えば１０００ｍ／ｍｉｎ）
でも切削できる。また、上記の冷却液によって効率良く
冷却されるので、良好な加工精度で、長期間に亘って安
定に希土類合金を切削することができる。水を主成分と
する冷却液を用いると、油性の冷却液を用いる場合より
も、走行速度を２０〜３０％程度速く（例えば、１１０
０ｍ／ｍｉｎ〜１２００ｍ／ｍｉｎ）設定することによ
って、切削効率を最適化できる。

【００６４】本発明の切断方法に用いる水を主成分とす
る冷却液は、粘度が低い（動粘度が約１ｍｍ²／ｓ）の
で、切削屑の排出性が油性の冷却液（一般に動粘度は５
ｍｍ²／ｓ以上）よりも低い。そこで、切削屑の排出性
を高めるために、切削工程において、切削部が槽内に収
容された冷却液に浸漬された状態に維持され、且つ、冷
却液は、槽の底部から槽内に供給されるとともに、槽の
開口部から供給されることによって、槽の開口部から溢
れ出る状態に維持されることが好ましい。

【００６５】粘度の低い冷却液中に排出された切削屑
は、容易に沈降し、槽の開口部付近に浮遊する切削屑は
僅かである。切削部を冷却液中に浸漬した状態で切削す
るためには、ワイヤは槽の開口部付近の冷却液中を走行
するように配置されるので、ワイヤは切削屑の少ない冷
却液中を走行し、切削部には切削屑の少ない冷却液が供
給される。特に、槽の開口部からも冷却液を供給し、開
口部から溢れる状態に維持することによって、切削部に
供給される冷却液中の切削屑の量を低下させることがで
きる。さらに、槽の開口部から供給される冷却液の流れ
によって、ワイヤに付着した切削屑を機械的に洗い流す
効果も得られる。冷却液が１分間に溢れ出る量は、槽の
容積の５０％以上であることが好ましい。また、開口部
から供給される冷却液の量は、槽の底部から供給される
冷却液の量よりも多いことが好ましい。

【００６６】さらに、槽の開口部のワイヤの走行方向と
交差する辺上に、カーテン状の冷却液流（または気流）
を形成することによって、冷却液が槽の開口部から溢れ
出るのを抑制することによって、溢れ出る冷却液の液面
を槽の壁よりも高くすると、より多くの冷却液が切削部
の周囲に供給されることになるので、冷却液中の切削屑
の量をさらに低下させることができる。冷却液流を形成
するための吐出圧は、０．２ＭＰａ（２ｋｇｆ／ｃ
ｍ²）〜１．０ＭＰａ（１０ｋｇｆ／ｃｍ²）の範囲内に
あることが好ましく、０．４ＭＰａ（４ｋｇｆ／ｃ
ｍ²）〜０．６ＭＰａ（６ｋｇｆ／ｃｍ²）の範囲内にあ
ることがさらに好ましい。この範囲よりも吐出圧が低い
と充分な効果が得られないことがあり、この範囲よりも
高いとワイヤがたわみ加工精度が低下することがある。

【００６７】また、ワイヤを走行させるために設けられ
るメインローラのうち、槽の両側に配置され、ワイヤの
走行位置を規制する一対のメインローラにも冷却液を吐
出することが好ましい。これらのメインローラに冷却液
を吐出することによって、メインローラの表面に設けら
れている、ワイヤを案内するための溝を有する高分子層
（例えばウレタンゴム層などの有機高分子層）の温度上
昇を抑制するとともに、ワイヤまたは案内溝に付着また
は滞留した切削屑（またはスラッジ）を洗い流すことに
よって、ワイヤの走行位置がずれたり、ワイヤが溝から
外れたりするのを防止することができる。

【００６８】また、切削工程で生成された、希土類合金
の切削屑を含むスラッジと冷却液とからなるダーティ液
を回収し、スラッジのなかから希土類合金の切削屑を磁
石を用いて分別することによって、冷却液を再利用（例
えば、循環的に使用）することができる。上述したよう
に、水を主成分とする冷却液は粘度が低いので、切削屑
を容易に分別することができる。また、希土類合金の切
削屑を分別することによって、冷却液の廃液処理を容易
に且つ環境にダメージを与えないように実施することが
できる。さらに、Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系合金（ＲはＹを含む希
土類元素）から容易に分離できない炭素を少なくできる
ために、切削屑を希土類合金の再生原料として利用する
こともできる。冷却液は水を主成分とするので、切削屑
から再生された希土類合金に含まれる炭素の量を低くす
ることが容易なので、希土類磁石の材料として用いられ
る原料を得ることができる。スラッジからの切削屑の分
別方法は、例えば、本願出願人が特願２０００−２２４
４８１号に開示した方法を用いることができる。

【００６９】本発明による切断方法は、上述したよう
に、切断が難しい希土類焼結合金、特に、Ｒ−Ｆｅ−Ｂ
系希土類焼結合金の切断に好適に適用される。本発明に
よる切断方法によって切断された希土類合金を着磁する
ことによって、希土類磁石が得られる。着磁工程は、切
削工程の前に行ってもよいし、後に行ってもよい。Ｒ−
Ｆｅ−Ｂ系希土類焼結合金を用いて製造される希土類焼
結磁石は、磁気ヘッドの位置決めに用いられるボイスコ
イルモータ用の材料として好適に用いられる。本発明に
よる切断方法は、特に、本願出願人らによる米国特許第
４，７７０，７２３号明細書および米国特許第４，７９
２，３６８号明細書に開示されているＲ−Ｆｅ−Ｂ系希
土類焼結磁石（合金）の切断に好適に用いられる。さら
に、そのなかでも、ネオジム（Ｎｄ）、鉄（Ｆｅ）およ
びホウ素（Ｂ）を主成分とし、正方晶構造のＮｄ₂Ｆｅ
₁₄Ｂ金属間化合物からなる硬い主相（鉄リッチ相）と、
Ｎｄリッチな粘りのある粒界相とを有する希土類焼結磁
石（合金）（以下、「ネオジム磁石（合金）」と称す
る。）の切断および製造に好適に適用される。ネオジム
磁石の代表的な例として、住友特殊金属社製、商品名Ｎ
ＥＯＭＡＸがある。

【００７０】本発明の第１の局面による切断方法を採用
すると、希土類合金を高精度で且つ効率良く切断できる
ので、例えば、磁気ヘッドの位置決めに用いられるボイ
スコイルモータ用の小さな希土類磁石（例えば、厚さが
０．５ｍｍ〜３．０ｍｍ）を高精度で且つ効率良く製造
することができる。

【００７１】次に、本発明の第２の局面による実施形態
の希土類合金の切断方法および希土類磁石の製造方法を
説明する。

【００７２】本発明の第２の局面による希土類合金の切
断は、芯線（典型的にはピアノ線）に砥粒（典型的には
ダイヤモンド砥粒）を固着させたワイヤ（固定砥粒ワイ
ヤ）を用いる。リールボビンに巻かれたワイヤを複数の
ローラの間で走行させ、走行しているワイヤに希土類合
金（ワークピース）を降下させ押し当てながら切断す
る。このとき、希土類合金がワイヤによって切削される
部分に水を主成分とする冷却液（第２冷却液）を供給し
ながら切削を行う。さらに、リールボビンに巻かれたワ
イヤまたはリールボビンの近傍を走行するワイヤにも水
を主成分とする冷却液（第１冷却液）を供給する。

【００７３】本発明の第２の局面による実施形態では、
リールボビンに巻かれたワイヤにも冷却液を供給するこ
とによって、リールボビンにおけるワイヤ同士の摩擦に
よる発熱および機械的な摩擦力が低減される。その結
果、ワイヤが受ける機械的なダメージが低減されるの
で、切削精度や切削効率の低下が抑制され、且つ、ワイ
ヤの寿命が長くなる。切断部へ供給する冷却液（第２冷
却液）およびその供給方法は、本発明の第１の局面の実
施形態と同様であることが好ましい。

【００７４】第１冷却液は、希土類合金に対する２５℃
における動摩擦係数が０．３以下でることが好ましく、
０．１５以下であることがさらに好ましい。また、第２
冷却液は、希土類合金に対する２５℃における動摩擦係
数が０．１〜０．３の範囲内にあることが好ましい。

【００７５】なお、２５℃の動摩擦係数を用いて、本発
明の切断方法で用いられる第１および第２冷却液を特定
したが、実際に使用する際の冷却液の温度は、２５℃に
限られない。但し、本発明の効果を得るためには、１５
℃〜３５℃の範囲内に温度制御された冷却液を用いるこ
とが好ましく、２０℃〜３０℃の範囲内にあることがさ
らに好ましく、２０℃〜２５℃の範囲内にあることがさ
らに好ましい。

【００７６】上記の動摩擦係数を有する冷却液を用いる
ことによって、ワイヤの温度の異常上昇を効果的に抑制
することができるので、砥粒の異常脱粒やワイヤの断線
を効果的に抑制・防止することができる。その結果、加
工精度の低下が防止されるとともに、従来よりも長い期
間に亘ってワイヤを使用することが可能となるので製造
コストを低減することができる。

【００７７】この効果は、リールボビンに巻かれたワイ
ヤまたはリールボビンの近傍を走行するワイヤに供給す
る第１冷却液および切削部に供給する第２冷却液に共通
であるので、第１冷却液と第２冷却液として同じ冷却液
を用いても良い。但し、第１冷却液がリールボビンに巻
かれたワイヤまたはリールボビンの近傍を走行するワイ
ヤに付着しやすいように、第２冷却液より粘度の高い冷
却液を用いてもよい。なお、第１冷却液および第２冷却
液としては、粘度が１ｍＰａ・ｓから５０ｍＰａ・ｓ
（動粘度：１ｍｍ²／ｓから５０ｍｍ²／ｓ）の冷却液を
好適に用いることができる。第１冷却液のワイヤへの付
着性を高めるためには、５ｍＰａ・ｓ以上の粘度（５ｍ
ｍ²／ｓ以上の動粘度）を有する冷却液を用いることが
好ましい。冷却液の粘度は、上述した水と混合する潤滑
剤の濃度を制御することによって調整することができ
る。

【００７８】第１冷却液は、切削工程の全期間に亘って
供給する必要は必ずしも無く、リールボビンに巻かれた
ワイヤに十分な量の冷却液が付与された状態を維持でき
るのであれば、第１冷却液を間欠的に供給していても良
い。なお、水を主成分とする冷却液（特にアルカノール
アミンなどを含むもの）は油性冷却液よりも樹脂に対し
て悪影響を及ぼすので、樹脂層を用いて砥粒を固定した
ワイヤを用いる場合には、冷却液の量は少ない方が好ま
しい。従って、リールボビンに巻かれたワイヤまたはリ
ールボビンの近傍を走行するワイヤに対しては、噴霧法
や滴下法を用いて冷却液を供給することが好ましい。特
に、噴霧法は少量の冷却液をリールボビンに巻かれたワ
イヤに均一に供給することができるので好ましい。冷却
液の供給量は、ワイヤの種類、長さ、走査速度などに適
宜設定すればよく、例えば、５０ｍｌ／ｍｉｎ〜５００
ｍｌ／ｍｉｎの範囲に設定される。但し、電着ワイヤ
（例えばＮｉめっき層を用いて砥粒を固定してワイヤ）
など水系冷却液に対する耐性に優れたワイヤを用いる場
合には、例えばリールボビン全体を冷却液に浸漬しても
よい。

【００７９】上述のように本発明の第１の局面および第
２の局面の実施形態において、さらに、ワイヤを走行さ
せるローラの高分子層に形成された案内溝が、少なくと
も一方の斜面がローラの表面に対して５０°以上の角度
を成す一対の斜面を有する構成を採用し、ワイヤが一対
の斜面の間を走行させることによって、水を主成分とす
る冷却液を用いた場合に発生するワイヤの切断を抑制す
ることができる。勿論、一対の斜面がローラの表面に対
して５０°以上の角度を成すことが好ましい。特に、ロ
ーラ間を走行させられるワイヤの張力は２５Ｎ以上３５
Ｎ以下であることが好ましい。なお、ローラの表面と
は、ローラの軸方向に平行な平面である。

【００８０】（実施形態１）以下、図面を参照しなが
ら、本発明による希土類合金の切断方法の実施形態をさ
らに具体的に説明する。本実施形態では、上述のネオジ
ム磁石の製造に用いられるネオジム磁石焼結体の切断方
法を説明する。

【００８１】ネオジム（Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ）焼結磁石を作
製する方法を簡単に説明する。なお、磁石材料としての
希土類合金を作製する方法は、例えば、上述の米国特許
第４，７７０，７２３号明細書およびに米国特許第４，
７９２，３６８号明細書に詳細に開示されている。

【００８２】まず、原料金属を所定の成分比に正確に秤
量した後、真空またはアルゴンガス雰囲気で高周波溶解
炉にて原料金属を溶解する。溶解した原料金属を水冷の
鋳型に鋳込み、所定の組成の原料合金を形成する。この
原料合金を粉砕し、平均粒径３〜４μｍ程度の微粉末を
作製する。この微粉末を金型に入れ、磁界中でプレス成
形する。このとき必要に応じて微粉末を潤滑剤と混合し
てからプレス成形を行う。次に、約１０００℃〜約１２
００℃程度の焼結工程を行えばネオジム磁石焼結体を作
製することができる。この後、磁石の保磁力を向上させ
るために約６００℃での時効処理を実行し、希土類磁石
焼結体の作製を完了する。焼結体のサイズは、例えば３
０ｍｍ×５０ｍｍ×５０ｍｍである。

【００８３】得られた焼結体の切断加工を行い、焼結体
から切断した複数の薄板（基板またはウェハと称される
場合がある）を形成する。得られた焼結体の薄板のそれ
ぞれに対して研磨による仕上げ加工を行い、寸法と形状
を整えた後、長期的な信頼性を向上させるため、表面処
理を施す。この後、着磁工程を実行した後、検査工程を
経てネオジム永久磁石が完成する。なお、着磁工程を切
断工程の前に行ってもよい。

【００８４】次に、本発明による切断方法を図１から図
３を参照しながら説明する。

【００８５】図１は、本発明による実施形態の希土類合
金の切断方法を実行するために好適に用いられるワイヤ
ソー装置１００を示す概略構成図である。

【００８６】ワイヤソー装置１００は、３本のメインロ
ーラ１０ａ、１０ｂおよび１０ｃと、一対のリールボビ
ン４０ａおよび４０ｂとを有している。冷却液を収容す
る槽３０の下部に設けられているメインローラ１０ａが
駆動ローラで、槽３０の両側に設けられているメインロ
ーラ１０ｂおよび１０ｃは従動ローラである。ワイヤ２
０は、往復走行しながら、例えば、一方のリールボビン
４０ａから他方のリールボビン４０ｂに巻き取られる
（いわゆる、往復駆動法）。このとき、リールボビンの
４０ａの巻き取り時間を他方のリールボビン４０ｂの巻
き取り時間よりも長くすることによって、ワイヤ２０を
往復走行させながら、リールボビン４０ａ側に新しいワ
イヤ２０を供給することができる。ワイヤ２０の走行速
度は、例えば、６００ｍ／ｍｉｎから１５００ｍ／ｍｉ
ｎの範囲であり、新線を供給する速度は、例えば、１ｍ
／ｍｉｎ〜５ｍ／ｍｉｎの範囲である。

【００８７】メインローラ１０ａ、１０ｂおよび１０ｃ
の間には、ワイヤ２０が例えば１５０列に張設される。
ワイヤ２０の走行位置を決めるために、メインローラ１
０ａ、１０ｂおよび１０ｃの表面には、ワイヤ２０を案
内するための溝（例えば深さ約０．６ｍｍ、不図示）を
有する高分子層（例えばウレタンゴム層などの有機高分
子層）が設けられている。ワイヤ２０の列間の間隔は、
この案内溝のピッチによって決められる。案内溝のピッ
チは、ワークピースから切り出すべき板の厚さに応じて
設定される。高分子層としては、シリコーン系エラスト
マ等から形成された無機高分子層を用いることもでき
る。

【００８８】リールボビン４０ａおよび４０ｂの近傍に
は、巻き取り位置を調整するためのトラバーサ４２ａお
よび４２ｂがそれぞれ設けられている。リールボビン４
０ａおよび４０ｂからメインローラ１０ａに至るまでの
経路中には、それぞれの側に５つのガイドローラ４４
と、１つのテンションローラ４６とが設けられており、
ワイヤ２０を案内するとともに、その張力が調整され
る。ワイヤ２０の張力は、種々の条件（切削長、切断速
度、走行速度など）に応じて適宜変更され得るが、例え
ば２０Ｎ〜４０Ｎの範囲に設定される。

【００８９】上述したようにして作製された焼結体ワー
クピース５０は、以下の様にして、ワイヤソー装置１０
０にセットされる。

【００９０】複数のワークピース５０は、例えばエポキ
シ系の接着剤（不図示）によって相互に固着され、複数
のブロックとして組み立てられた状態で、炭素ベースプ
レート５２を間に介して、鉄製のワークプレート５４に
固定される。ワークプレート５４、ワークピース５０の
各ブロックおよび炭素ベースプレート５２も接着剤（不
図示）によって互いに固着されている。炭素ベースプレ
ート５２は、ワークピース５０の切断加工が終了した
後、ワークプレート５４の下降動作が停止するまでワイ
ヤ２０による切断加工を受け、ワークプレート５４を保
護するというダミーとして機能する。

【００９１】本実施形態では、ワイヤ２０の走行方向に
沿って計測した各ブロックのサイズが１００ｍｍ程度に
なるように各ブロックの大きさを設計している。従っ
て、ここでは、ワイヤ２０による切削長さは、約２００
ｍｍである。本実施形態では上述のようにワークピース
５０を複数のブロックに分割して配置しているが、ワイ
ヤ２０の走行方向におけるサイズをどの程度の大きさに
設定すべきかは、冷却液の表面張力や走行速度によって
も変化する。また、各ワークピース５０の大きさによっ
て、ひとつのブロックを構成するワークピース５０の数
や配置も変化する。これらを考慮して、適宜最適なサイ
ズのブロックに分けてワークピース５０を配置すればよ
い。

【００９２】上述のようにセットされたワークピース５
０は、モータ５８を備える昇降装置によって下降され、
走行するワイヤ２０に押し付けられ、切削加工される。
ワークピース５０の下降速度は、種々の条件に応じて変
化し得るが、例えば、２０ｍｍ／ｈｒ〜５０ｍｍ／ｈｒ
の範囲内に設定される。

【００９３】冷却液タンク６０に貯蔵されている冷却液
は、吐出ポンプ６２によって、配管６３を介して圧送さ
れる。配管６３は、途中で、下部配管６４と上部配管６
６とに分岐されている。下部配管６４および上部配管６
６には、それぞれへの冷却液の流量を調整するためのバ
ルブ６３ｂおよび６３ａが設けられている。下部配管６
４は、切削部を浸漬するための槽３０の底部に設けられ
た下部ノズル６４ａに接続されている。上部配管６６
は、槽３０の開口部から冷却液を供給するための上部ノ
ズル６６ａ、６６ｂおよび６６ｃと、メインローラ１０
ｂおよび１０ｃをそれぞれ冷却するために設けられた上
部ノズル６６ｄおよび６６ｃとに接続されている。

【００９４】槽３０には、上部ノズル６６ａ、６６ｂお
よび６６ｃと下部ノズル６４ａとから冷却液が供給さ
れ、少なくとも切削工程の間は、図１中に矢印Ｆで示し
たように、冷却液が槽３０の開口部から溢れ出る状態に
維持される。槽３０から溢れ出た冷却液は、槽３０の下
方に設けられた回収用パン７０によって回収タンク７２
に導かれ、蓄積される。回収された冷却液は、例えば図
１に示したように、吐出ポンプ７４によって循環用配管
７６を介して、冷却液タンク６０に送られる。循環用配
管７６の途中には、フィルタ７８が設けられており、回
収された冷却液中の切削屑が分別除去される。回収方法
は、これに限られず、磁力を利用して切削屑を分別する
機構を設けてもよい（例えば特願２０００−２２４４８
１号参照）。

【００９５】次に、図２を参照しながら、本発明による
切断工程をさらに詳細に説明する。

【００９６】槽３０は、ワイヤ２０の走行方向と交差す
る側壁の開口部付近に補助壁３２を有している。この補
助壁３２は、プラスチック板（例えばアクリル板）で形
成されており、図２中に破線で示した無負荷のワイヤの
走行位置と近接するように設けられている。切断するた
めにワークピース５０を下降し、ワイヤ２０に接触させ
るとワイヤ２０はたわみ、図２中に実線で示したよう
に、槽３０内の冷却液に切削部が浸漬された状態とな
る。このとき、ワイヤ２０がたわむに連れて、ワイヤ２
０は補助壁３２を切削し、スリットを形成する。ワイヤ
２０による切削が定常状態になると、たわみ量は一定
し、ワイヤ２０は補助壁３２に形成されたスリット内を
通過しながら、ワークピース５０を切削する。従って、
補助壁３２に形成されたスリットは、ワイヤ２０の走行
位置を規制するように機能し、加工精度の安定にも寄与
する。

【００９７】槽３０は、例えば約３５Ｌ（リットル）の
容量を有しており、切削工程中は、下部ノズル６４ａか
ら約３０Ｌ／ｍｉｎの流量で冷却液が供給され、上部ノ
ズル６６ａ、６６ｂおよび６６ｃから約９０Ｌ／ｍｉｎ
の流量で冷却液が供給され、常に冷却液が開口部から溢
れ出る状態に維持される。ワイヤ２０に冷却液を供給す
ることだけを考えると、図２に示したように、切削中は
ワイヤ２９がたわむので、冷却液を溢れさせる必要は必
ずしも無いが、例示するネオジ磁石焼結体では切削屑の
排出性を向上するために、上記のような構成を採用する
ことが好ましい。

【００９８】切削屑の排出性を高めるためには、切削部
付近の冷却液内に含まれる切削屑の量を減らすことが有
効である。十分な排出性を得るためには、冷却液が１分
間に溢れ出る量は、槽の容積の５０％以上であることが
好ましい。さらに、新鮮な冷却液は、槽３０の底部より
も開口部から多く供給することが好ましい。水を主成分
とする粘度の低い冷却液を用いているので、冷却液中に
排出された切削屑は容易に沈降するので、槽３０の底部
から多くの冷却液を供給すると、沈降した切削屑が切削
部近傍に浮遊する原因となるので好ましくない。

【００９９】また、開口部から供給される新鮮な冷却液
が占める割合を多くするために、走行するワイヤ２０よ
りも上部に存在する冷却液を多くすることが好ましい。
すなわち、槽３０の開口部からも冷却液を供給し、開口
部から溢れる状態に維持することによって、切削部に供
給される冷却液中の切削屑の量を低下させることができ
る。さらに、槽３０の開口部から供給される冷却液の流
れによって、ワイヤ２０に付着した切削屑を機械的に洗
い流す効果も得られる。

【０１００】また、上述した補助壁３２は、ワイヤ２０
によって形成されたスリット以外の部分は、槽３０の側
壁として機能するので、冷却液の液面Ｓを高く保つよう
に機能する。さらに、槽３０の開口部のワイヤ２０の走
行方向と交差する辺に、ノズル６６ｂおよび６６ｃを用
いて、カーテン状の冷却液流を形成し、冷却液が槽３０
の開口部から溢れ出るのを抑制することによって、溢れ
出る冷却液の液面Ｓを槽３０の補助壁３２よりも高くす
ると、より多くの冷却液が切削部の周囲に供給されるこ
とになるので、冷却液中の切削屑の量をさらに低下させ
ることができる。冷却液流を形成するための吐出圧は、
０．２ＭＰａ（２ｋｇｆ／ｃｍ²）〜１．０ＭＰａ（１
０ｋｇｆ／ｃｍ²）の範囲内にあることが好ましく、
０．４ＭＰａ（４ｋｇｆ／ｃｍ²）〜０．６ＭＰａ（６
ｋｇｆ／ｃｍ²）の範囲内にあることがさらに好まし
い。この範囲よりも吐出圧が低いと充分な効果が得られ
ないことがあり、この範囲よりも高いとワイヤ２０にぶ
れが発生し、その結果、加工精度が低下することがあ
る。

【０１０１】また、槽３０の両側に配置され、ワイヤ２
０の走行位置を規制する一対のメインローラ１０ｂおよ
び１０ｃにも冷却液を吐出することが好ましい。これら
のメインローラ１０ｂおよび１０ｃに冷却液を吐出する
ことによって、メインローラ１０ｂおよび１０ｃの表面
に設けられている、ワイヤ２０を案内するための溝を有
する高分子層（例えばウレタンゴム層）の温度上昇を抑
制するとともに、ワイヤ２０または案内溝に付着または
滞留した切削屑（またはスラッジ）を洗い流すことがで
きるので、ワイヤ２０の走行位置がずれたり、ワイヤ２
０が溝から外れたりするのを防止することができるとと
もに、排出性を向上する効果も得られる。

【０１０２】水を主成分とする冷却液に添加される界面
活性剤としては、アニオン系として、脂肪酸石鹸やナフ
テン酸石鹸等の脂肪酸誘導体、又は長鎖アルコール硫酸
エステルや動植物油の硫酸化油等の硫酸エステル型、又
は石油スルホン酸塩等のスルホン酸型、非イオン系とし
て、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテルやポ
リオキシエチレンモノ脂肪酸エステル等のポリオキシエ
チレン系、ソルビタンモノ脂肪酸エステル等の多価アル
コール系、又は脂肪酸ジエタノールアミド等のアルキロ
ールアミド系を用いることができる。具体的には、ケミ
カルソリューションタイプのＪＰ−０４９７Ｎ（カスト
ロール社製）を水に２重量％程度添加することによっ
て、表面張力および動摩擦係数を所定の範囲内に調整す
ることができる。

【０１０３】また、シンセティックタイプ合成潤滑剤と
しては、シンセティック・ソリューションタイプ、シン
セティック・エマルションタイプおよびシンセティック
ソリュブルタイプを用いることができ、そのなかでも、
シンセティック・ソリューションタイプが好ましく、具
体的には、シンタイロ９９５４（カストロール社製）
や、＃８３０および＃８７０（ユシロ化学工業社製）を
挙げることができる。いずれも、水に２重量％〜１０重
量％程度添加することによって、表面張力（または動摩
擦係数）を好適な範囲内に調整することができる。

【０１０４】また、錆止め剤を含有させることで、希土
類合金の腐食を防止することができる。特に、Ｒ−Ｆｅ
−Ｂ系希土類合金を切断する際には、ＰＨを８〜１１と
することが好ましく、ＰＨは９以上であることがさらに
好ましい。錆止め剤としては、有機系として、オレイン
酸塩や安息香酸塩等のカルボン酸塩、又はトリエタノー
ルアミン等のアミン類、無機系として、りん酸塩、ホウ
酸塩、モリブデン酸塩、タングステン酸塩、又は炭酸塩
を用いることができる。

【０１０５】また、非鉄金属防食剤としては、例えばベ
ンズトリアゾール等の窒素化合物を、防腐剤としては、
ヘキサハイドロトリアジン等のホルムアルデヒド供与体
を用いることができる。

【０１０６】また消泡剤としては、シリコーンエマルジ
ョンを用いることができる。消泡剤を含有させること
で、冷却液の泡立ちを少なくし、冷却液の浸透性をよく
し、冷却効果を高め、ワイヤ２０での温度上昇を防ぎ、
ワイヤ２０の温度の異常上昇や異常摩耗が起こりにくく
なる。

【０１０７】図３を参照しながら、本実施形態で好適に
用いられるワイヤ２０の構造を説明する。なお、図中で
は、ワイヤ２０の一点鎖線で示した中央線から下半分は
簡略化している。

【０１０８】ワイヤ２０としては、芯線（ピアノ線）２
２の外周面にダイヤモンド砥粒２４を樹脂層２６で固着
したものが好適に用いられる。そのなかでも、樹脂とし
てフェノール樹脂、エポキシ樹脂またはポリイミド樹脂
を用いることが好ましい。これらの樹脂は、ピアノ線
（硬鋼線）２２の外周面への接着強度が高く、また上述
した冷却液に対する濡れ性（浸透性）にも優れる。

【０１０９】好適なワイヤ２０の具体例としては、直径
が約０．１８ｍｍのピアノ線２２の外周に、平均粒径が
約４５μｍのダイヤモンド砥粒を、フェノール樹脂層２
６で固着し、外径が約０．２４ｍｍのワイヤ２０が挙げ
られる。また、切削効率と切削屑（スラッジ）の排出効
率の観点から、ワイヤ２０の走行方向（軸方向：図中の
一点破線に平行な方向）における、互いに隣接する砥粒
２６間の平均距離は、砥粒の平均粒径Ｄの１５０％〜６
００％の範囲内にあるものが好ましい。特に、平均粒径
Ｄが小さな砥粒を砥粒間の平均距離が砥粒の平均粒径Ｄ
の１５０％〜４００％とすることによって、個々の砥粒
に掛かる負荷を低減できるので好ましい。さらに、砥粒
２２がフェノール樹脂層２６の表面から突出している部
分の平均高さは、１０μｍ〜４０μｍの範囲内にあるこ
とが好ましい。このようなワイヤ２０は、砥粒２２間に
適度な大きさの空間（「チップポケット」と呼ばれるこ
ともある）２８が形成されているので、良好な切削効率
を有するとともに、良好な排出性を有する。

【０１１０】（実施形態２）次に、本発明による実施形
態２の希土類合金の切断方法を図４を参照しながら説明
する。

【０１１１】図４は、本発明による実施形態の希土類合
金の切断方法を実行するために好適に用いられるワイヤ
ソー装置２００を示す概略構成図である。

【０１１２】ワイヤソー装置２００は、実施形態１のワ
イヤソー装置１００にさらにリールボビン４０ａおよび
４０ｂに巻き取られているワイヤ２０に冷却液を供給す
るための噴霧装置８０ａおよび８０ｂを備えている。本
実施形態では、樹脂で砥粒を固定したワイヤ２０を用い
るので、少量の冷却液を効率的にワイヤ２０に付与する
ために噴霧法を採用する。

【０１１３】噴霧装置８０ａおよび８０ｂは、例えば、
図５に示したように、冷却液（例えば２００ｍｌ／ｍｉ
ｎ）とエアー（例えば０．４ＭＰａ）とを噴霧ノズルに
供給することによって、後述する冷却液６０切削部に供
給される後述の冷却液と同じものを用いる。リールボビ
ン４０ａ、４０ｂ（例えば、芯外径１７０ｍｍ、高さ３
４０ｍｍ）に巻き付けられているワイヤ２０の全体に亘
って冷却液を噴霧することができる。ここでは、冷却液
として、後述する冷却液タンク６０に貯蔵されている冷
却液を共通に用い、吐出ポンプによって配管を介して噴
霧装置８０ａおよび８０ｂまでそれぞれ圧送される。勿
論、噴霧装置８０ａおよび８０ｂに冷却液を供給するた
めに冷却液タンクを別途設け、切削部に供給する冷却液
と異なる冷却液を用いてもよい。

【０１１４】さらに、冷却液によるワイヤへのダメージ
および／または冷却液の使用量を減らすために、冷却液
を噴霧する領域を限定してもよい。図４に示したトラバ
ーサ４２ａおよび４２ｂの動きに同期させ、巻き取り
（および繰り出し）動作が行われ、ワイヤ２０同士の摩
擦が発生している領域に選択的に冷却液を供給する機構
としても良い。特に、ワイヤに固定された砥粒はワイヤ
の樹脂層を傷つけることが多い。なお、実施形態１で示
したように、ワイヤは往復走行されるため、走行方向が
反転されたときに強い張力が発生する。

【０１１５】冷却液を供給する手段は、例示した噴霧装
置８０ａおよび８０ｂに限られず滴下装置などを用いて
も良い。比較的多くの冷却水を供給する場合には、必要
に応じて、リールボビン４０ａおよび４０ｂの下部に余
剰の冷却液を回収、再利用するための回収用パンを設け
ることが好ましい。冷却液の回収経路にはフィルタおよ
び／またはマグネットセパレータを設け、回収した冷却
液に含まれる切屑を分別除去することが好ましい。

【０１１６】なお、本実施形態では、リールボビンに巻
き取られたワイヤに冷却液を噴霧する構成を例示した
が、リールボビンに巻き取られる直前のワイヤに対して
冷却液を供給しても良い。互いに接触するワイヤの少な
くとも一方が濡れた状態であれば砥粒へのダメージを小
さくすることができる。

【０１１７】なお、リールボビン４０ａおよび４０ｂに
巻き取られたワイヤ２０が互いに摩擦し合うことによっ
てうけるダメージは、ワイヤ２０の張力にも依存する。
そこで、リールリボン４０ａおよび４０ｂに巻き取るた
めの張力を低減する機構を設けることが好ましい。巻き
取り張力を低減する機構としては、例えば、特開平９−
２９６０７号公報、特開平９−３１４５４８号公報、特
開平１０−１６６３５３号公報や特開平１０−２７７９
１４号公報に記載されているような機構を用いることが
できる。リールボビン４０ａおよび４０ｂにおける巻取
り張力は１５Ｎ以下とすることが好ましい。また、リー
ルボビン４０ａおよび４０ｂにおいて巻き取ったワイヤ
が撓んだり、ずり落ちたりして、乱れることがないよう
に、巻取り張力は４Ｎ以上であることが好ましい。４Ｎ
よりも小さいと樹脂はがれがかえって発生しやすくなる
ことがある。

【０１１８】上述のワイヤソー装置２００で、ワイヤと
して実施形態１について説明した仕様を満足するアライ
ドマテリアル製のワイヤを用いて、上述のネオジム磁石
合金を切断した場合の効果を検証した。冷却液としてユ
シロ化学工業社製＃８３０の約１０％水溶液（液温２３
℃）を供給量２００ｍｌ／ｍｉｎでリールボビンに噴霧
しながら、最大走行速度１１００ｍ／分、張力３０Ｎ、
切り込み量４０ｍｍ／時間、新線供給量２ｍ／分の条件
で、ワイヤを双方向に走行させながら切断した。その結
果、リールボビン４０ａおよび４０ｂ（ワイヤ長３８ｋ
ｍ）に冷却液を噴霧しない場合に比べ、砥粒および樹脂
層の脱離量が３分の１程度に低減した。ユシロ化学製＃
８３０の濃度を調節することによって得られた、動摩擦
係数０．１１〜０．１３、表面張力３３〜３６ｍＮ／
ｍ、粘度１〜４ｍＰａ・ｓ（動粘度１〜４ｍｍ²／ｓ）
の冷却液を用いた場合にほぼ同様の結果が得られた。

【０１１９】上述したように、本発明の実施形態２によ
ると、ワイヤソー装置で水を主成分とする冷却液を用い
希土類合金を切断する際のワイヤの寿命を長くすること
が可能となる。実施形態１の切断方法と組み合わせるこ
とによって、最善の効果を得ることができるが、切断部
への冷却液の供給の仕方は他の方法であっても良い。

【０１２０】次に、実施形態１のワイヤソー装置１００
および実施形態２のワイヤソー装置２００のメインロー
ラ１０ａ、１０ｂおよび１０ｃの好ましい構造を説明す
る。

【０１２１】水を主成分とする冷却液を用いると、油性
の冷却液を用いた場合よりもワイヤの断線率が増加す
る、すなわち、短時間で断線する。種々検討した結果、
これは、水系の冷却液が油性の冷却液に比べて潤滑能力
が低いために、ワイヤとローラの案内溝の斜面との摩擦
を十分に低減することができず、ワイヤ表面の砥粒がス
ロープ表面に食い込み、張力が加えられることでワイヤ
にねじれ力が加わるためと考えられる。

【０１２２】ローラ１０ａの高分子層１０Ｐに形成され
た案内溝１０Ｇの断面形状を、図６に模式的に示すよう
に、案内溝１０Ｇが有する一対の斜面１０Ｓがローラ１
０ａの表面１０Ｔに対して５０°以上の角度（傾斜角と
いうこともある。）を成す構成を採用することによっ
て、ワイヤ２０の断線の発生を抑制することができる。
なお、例示したように、案内溝１０Ｇが有する一対の斜
面１０Ｓの両方がローラ１０ａの表面１０Ｔに対して５
０°以上の角度を有することが好ましいが、一対の斜面
１０Ｓの内の少なくとも一方が表面１０Ｔに対して５０
°以上の角度を有していれば、断線の発生を抑制する効
果が得られる。

【０１２３】これに対し、従来は、例えば図７に示すよ
うに、案内溝１０Ｇの斜面１０Ｓがローラの表面１０Ｔ
に対して４５°以下の角度を成す構造を採用していた。
これは、希土類合金は脆性的な破壊を起こす主相と延性
的な破壊を粒界相とを有するために切削抵抗が高く、且
つ、比重が大きいのでスラッジの排出性が悪いため、案
内溝１０Ｇから効率よくスラッジを十分に排出させるた
めである。しかしながら、案内溝１０Ｇの斜面１０Ｓの
傾斜角が４５°以下であると、上述した斜面１０Ｓとワ
イヤ２０との摩擦力が大きく、断線が発生しやすいと考
えられる。特に、ワイヤ２０が往復走行される場合は、
走行方向が反転されるときに強い張力が発生する。

【０１２４】斜面１０Ｓの傾斜角が異なるローラ１０
ａ、１０ｂおよび１０ｃを用意し、ワイヤソー装置１０
０を用いて断線の発生回数を評価した。高分子層１０Ｐ
としてはウレタンゴム層を用い、冷却液としてはユシロ
化学工業社製＃８３０の約１０％水溶液を用いた。実施
形態１と同じ希土類焼結磁石のワークピースを３００時
間連続で切断した際のワイヤ２０の断線発生回数を求め
た。斜面１０Ｓの傾斜角と断線発生回数との関係を表１
に示す。

【０１２５】

【表１】

【０１２６】表１から分かるように、案内溝１０Ｇの傾
斜面１０Ｓの傾斜角を５０°以上にすることによって、
ワイヤ２０の断線回数が低減される。これは、傾斜角が
５０°以上であると斜面１０Ｓとワイヤ２０との摩擦が
低減されることによってワイヤ２０に加えられるねじれ
力が低減したためと考えられる。また、傾斜角が７０°
以上では断線回数が若干増加する傾向が見られた。これ
は、スラッジの排出性が低下するためと考えられる。こ
の実験結果から、案内溝１０Ｇの傾斜面１０Ｓの傾斜角
は５０°以上８０°以下であることが好ましく、５０°
以上６５°以下であることがさらに好ましいと言える。
また、傾斜角が８０°を超えると、ワイヤ２０が案内溝
１０Ｇから外れるおそれが増すため、８０°以下である
ことが好ましい。なお、案内溝１０Ｇの底部１０Ｂは、
ワイヤ２０の半径よりもやや小さめの曲率半径に加工し
ておくことが好ましい。

【０１２７】また、ワイヤ２０の断線の発生回数は、ロ
ーラ間を走行させられるワイヤ２０の張力にも依存す
る。表１に示した結果は、ワイヤ２０の張力を３０Ｎと
した場合の結果であり、ワイヤの張力が２５Ｎ以上３５
Ｎ以下である場合にほぼ同様の結果を得ることができ
る。

【０１２８】ワイヤソー装置１００および２００を例示
しながら本発明の実施形態を説明したが、本発明はこれ
に限られず、単一のリールボビンを用いるエンドレス型
のワイヤソー装置（例えば特開平１１−１９８０１８号
公報参照）に適用することができる。

【０１２９】

【発明の効果】本発明によると、水を主成分とする冷却
液を用いて実行できる、固定砥粒ワイヤによる希土類合
金の切断方法が提供される。また、本発明によるとワイ
ヤの砥粒およびワイヤが受けるダメージを低減すること
によって、ワイヤの寿命を長くすることもできる。さら
に、本発明によると、上記のような切断方法に好適に使
用されるワイヤソー装置が提供される。

【０１３０】本発明の切断方法を用いると、高い加工精
度で、且つ、少ない切削しろで、希土類合金を切断する
ことができるので、高価な希土類金属合金の材料のロス
を軽減することができる。また、冷却液の循環使用を容
易に実現できるので、環境に優しく、また、廃液の処理
のコストを低減することができる。従って、希土類金属
合金の加工コストが低減され、切断品、例えば、磁気ヘ
ッド用のボイスコイルモータに使用される希土類磁石を
低価格で製造することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による実施形態の希土類合金の切断方法
を実行するために好適に用いられるワイヤソー装置１０
０を示す模式図である。

【図２】図１に示したワイヤソー装置１００の切削部近
傍の構成を示す模式図である。

【図３】本発明による実施形態の希土類合金の切断方法
を実行するために好適に用いられるワイヤ２０の断面構
造を模式的に示す図である。

【図４】本発明による他の実施形態の希土類合金の切断
方法を実行するために好適に用いられるワイヤソー装置
２００を示す模式図である。

【図５】ワイヤソー装置２００におけるリールボビン４
０ａおよび４０ｂに巻かれたワイヤ２０に冷却液を供給
するための構造を模式的に示す図である。

【図６】ワイヤソー装置１００および２００に好適に用
いられるローラの断面構造を模式的に示す図である。

【図７】従来のローラの断面構造を模式的に示す図であ
る。

【符号の説明】

１０ａ、１０ｂ、１０ｃ メインローラ ２０ ワイヤ ３０ 槽 ４０ａ、４０ｂ リールボビン ４２ａ、４２ｂ トラバーサ ５０ ワーク ６０ 冷却液タンク ７０ 回収用パン ８０ａ、８０ｂ 噴霧装置

フロントページの続き (72)発明者 石田 一 大阪府三島郡島本町江川２丁目15番17号 住友特殊金属株式会社山崎製作所内 Ｆターム(参考） 3C058 AA05 AA09 AC04 BA08 CB06 CB10 DA03 DA12

Claims (35)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 芯線に砥粒を固着させたワイヤを用いる
   希土類合金の切断方法であって、 前記希土類合金が前記ワイヤによって切削される部分を
   ２５℃における表面張力が２５ｍＮ／ｍ〜６０ｍＮ／ｍ
   の範囲内にある水を主成分とする冷却液中に浸漬した状
   態で、前記ワイヤを走行させることによって前記希土類
   合金を切削する工程を包含する、希土類合金の切断方
   法。
2. 【請求項２】 前記冷却液は、水溶性の合成潤滑剤と、
   前記合成潤滑剤の重量の１０倍〜５０倍の範囲内の重量
   の水を含んでいる、請求項１に記載の希土類合金の切断
   方法。
3. 【請求項３】 前記冷却液は、界面活性剤と、界面活性
   剤の重量の１０倍〜５０倍の範囲内の重量の水を含んで
   いる、請求項１または２に記載の希土類合金の切断方
   法。
4. 【請求項４】 前記冷却液は、消泡剤を含んでいる請求
   項１から３のいずれかに記載の希土類合金の切断方法。
5. 【請求項５】 前記冷却液は、ＰＨが８〜１１である請
   求項１から４のいずれかに記載の希土類合金の切断方
   法。
6. 【請求項６】 前記冷却液は、防錆剤を含んでいる請求
   項１から５のいずれかに記載の希土類合金の切断方法。
7. 【請求項７】 前記砥粒は、前記芯線の外周面に形成さ
   れた樹脂層によって固着されている、請求項１から６の
   いずれかに記載の希土類合金の切断方法。
8. 【請求項８】 前記ワイヤの走行方向における、互いに
   隣接する前記砥粒間の平均距離は、前記砥粒の平均粒径
   の１５０％〜６００％の範囲内にあり、且つ、前記砥粒
   が前記樹脂層の表面から突出している部分の平均高さ
   は、１０μｍ〜４０μｍの範囲内にある、請求項１から
   ７のいずれかに記載の希土類合金の切断方法。
9. 【請求項９】 前記砥粒の平均粒径Ｄは、２０μｍ≦Ｄ
   ≦６０μｍの関係を満足する、請求項１から８のいずれ
   かに記載の希土類合金の切断方法。
10. 【請求項１０】 前記切削工程において、前記希土類合
    金が前記ワイヤによって切削される部分が槽内に収容さ
    れた前記冷却液に浸漬され、前記冷却液は、前記槽の底
    部から前記槽内に供給されるとともに、前記槽の開口部
    から供給されることによって、前記開口部から溢れ出る
    状態に維持される、請求項１から９のいずれかに記載の
    希土類合金の切断方法。
11. 【請求項１１】 前記切削工程において、前記冷却液が
    １分間に溢れ出る量は、前記槽の容積の５０％以上であ
    る、請求項１０に記載の希土類合金の切断方法。
12. 【請求項１２】 前記切削工程において、前記開口部か
    ら供給される前記冷却液の量は、前記底部から供給され
    る前記冷却液の量よりも多い、請求項１０または１１に
    記載の希土類合金の切断方法。
13. 【請求項１３】 前記切削工程において、前記槽の前記
    開口部の前記ワイヤの走行方向と交差する辺上に、カー
    テン状の気流または冷却液流を形成することによって、
    前記冷却液が前記槽の前記開口部から溢れ出るのを抑制
    する、請求項１０から１２のいずれかに記載の希土類合
    金の切断方法。
14. 【請求項１４】 前記ワイヤは、ローラによって駆動さ
    れ、前記ローラは、案内溝が形成された高分子層を有
    し、前記案内溝は、少なくとも一方の斜面が前記ローラ
    の表面に対して５０°以上の角度を成す一対の斜面を有
    し、前記ワイヤは前記一対の斜面の間を走行させられ
    る、請求項１から１３のいずれかに記載の希土類合金の
    切断方法。
15. 【請求項１５】 前記希土類合金は、Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系希
    土類焼結合金である請求項１から１４のいずれかに記載
    の希土類合金の切断方法。
16. 【請求項１６】 前記希土類合金は、Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ系
    希土類焼結合金である請求項１５に記載の希土類合金の
    切断方法。
17. 【請求項１７】 芯線に砥粒を固着させたワイヤを用い
    る希土類合金の切断方法であって、リールボビンに巻か
    れたワイヤを複数のローラの間で走行させる工程と、前
    記リールボビンに巻かれた前記ワイヤまたは前記リール
    ボビンの近傍を走行する前記ワイヤに、水を主成分とす
    る第１冷却液を供給する工程と、前記希土類合金が前記
    ワイヤによって切削される部分に水を主成分とする第２
    冷却液を供給しながら、走行している前記ワイヤで前記
    希土類合金を切削する工程と、を包含する希土類合金の
    切断方法。
18. 【請求項１８】 前記第１冷却液は、希土類合金に対す
    る２５℃における動摩擦係数が０．３以下である、請求
    項１７に記載の希土類合金の切断方法。
19. 【請求項１９】 前記第２冷却液は、希土類合金に対す
    る２５℃における動摩擦係数が０．１〜０．３の範囲内
    にある、請求項１７または１８に記載の希土類合金の切
    断方法。
20. 【請求項２０】 前記第１冷却液は噴霧法によって前記
    ワイヤに供給される、請求項１７から１９のいずれかに
    記載の希土類合金の切断方法。
21. 【請求項２１】 前記砥粒は、前記芯線の外周面に形成
    された樹脂層によって固着されている、請求項１７から
    ２０のいずれかに記載の希土類合金の切断方法。
22. 【請求項２２】 前記樹脂は、フェノール樹脂、エポキ
    シ樹脂またはポリイミド樹脂である、請求項２１に記載
    の希土類合金の切断方法。
23. 【請求項２３】 前記ワイヤの走行方向における、互い
    に隣接する前記砥粒間の平均距離は、前記砥粒の平均粒
    径の１５０％〜６００％の範囲内にあり、且つ、前記砥
    粒が前記樹脂層の表面から突出している部分の平均高さ
    は、１０μｍ〜４０μｍの範囲内にある、請求項２１ま
    たは２２に記載の希土類合金の切断方法。
24. 【請求項２４】 前記第１冷却液は前記第２冷却液より
    も粘度が高い、請求項１７から２３のいずれかに記載の
    希土類合金の切断方法。
25. 【請求項２５】 前記第１冷却液および前記第２冷却液
    は、１５℃から３５℃の範囲にある、請求項１７から２
    ４のいずれかに記載の希土類合金の切断方法。
26. 【請求項２６】 前記複数のローラのそれぞれは、案内
    溝が形成された高分子層を有し、前記案内溝は、少なく
    とも一方の斜面が前記ローラの表面に対して５０°以上
    の角度を成す一対の斜面を有し、前記ワイヤは前記一対
    の斜面の間を走行させられる、請求項１７から２５のい
    ずれかに記載の希土類合金の切断方法。
27. 【請求項２７】 前記希土類合金は、Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系希
    土類焼結合金である請求項１７から２６のいずれかに記
    載の希土類合金の切断方法。
28. 【請求項２８】 前記希土類合金は、Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ系
    希土類焼結合金である請求項２７に記載の希土類合金の
    切断方法。
29. 【請求項２９】 希土類合金粉末から希土類磁石の焼結
    体を作製する工程と、請求項１から２８のいずれかに記
    載の希土類合金の切断方法を用いて、前記焼結体から複
    数の希土類磁石を分離する工程と、 を包含する、希土類磁石の製造方法。
30. 【請求項３０】 芯線に砥粒を固着させたワイヤと、 前記ワイヤがその周辺に巻きつけられるリールボビン
    と、 前記リールボビンに巻きつけられた前記ワイヤを引き出
    し、走行させる複数のローラと、 前記ワイヤが被切削物を切削する部分に第１冷却液を供
    給する装置と、 前記リールボビンに巻き付けられている前記ワイヤまた
    は前記リールボビンの近傍を走行する前記ワイヤに第２
    冷却液を供給する装置と、 を備える、ワイヤソー装置。
31. 【請求項３１】 前記第２冷却液を供給する装置は噴霧
    装置を備えている請求項３０に記載のワイヤソー装置。
32. 【請求項３２】 前記複数のローラのそれぞれは、案内
    溝が形成された高分子層を有し、前記案内溝は、少なく
    とも一方の斜面が前記ローラの表面に対して５０°以上
    の角度を成す一対の斜面を有し、前記ワイヤは前記一対
    の斜面の間を走行させられる、請求項３０または３１に
    記載のワイヤソー装置。
33. 【請求項３３】 芯線に砥粒を固着させたワイヤと、 前記ワイヤがその周辺に巻きつけられるリールボビン
    と、 前記リールボビンに巻きつけられた前記ワイヤを引き出
    し、走行させる複数のローラと、 前記ワイヤが被切削物を切削する部分に冷却液を供給す
    る装置とを有し、 前記複数のローラのそれぞれは、案内溝が形成された高
    分子層を有し、前記案内溝は、少なくとも一方の斜面が
    前記ローラの表面に対して５０°以上の角度を成す一対
    の斜面を有し、前記ワイヤは前記一対の斜面の間を走行
    させられる、ワイヤソー装置。
34. 【請求項３４】 前記複数のローラ間を走行させられる
    前記ワイヤの張力は２５Ｎ以上３５Ｎ以下である、請求
    項３３に記載のワイヤソー装置。
35. 【請求項３５】 請求項２９に記載の希土類磁石の製造
    方法によって製造された希土類磁石を備えるボイスコイ
    ルモータ。