KR101672706B1 - 와이어 쏘 장치 - Google Patents

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KR101672706B1
KR101672706B1 KR1020150059949A KR20150059949A KR101672706B1 KR 101672706 B1 KR101672706 B1 KR 101672706B1 KR 1020150059949 A KR1020150059949 A KR 1020150059949A KR 20150059949 A KR20150059949 A KR 20150059949A KR 101672706 B1 KR101672706 B1 KR 101672706B1
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air
guide
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guide rollers
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백성선
우남규
장순호
최효일
김남기
배동우
정승구
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웅진에너지 주식회사
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Abstract

와이어 쏘 장치가 제공된다. 와이어 쏘 장치는 잉곳을 절단하는 와이어, 외주면에 형성된 가이드 홈에 와이어가 감긴 상태로 이동시키는 한 쌍의 가이드 롤러 및 한 쌍의 가이드 롤러의 외측에 인접하게 설치되고, 가이드 홈에 에어를 분사하여 이물질을 제거하는 에어토출부를 포함한다.

Description

와이어 쏘 장치{Wire saw apparatus}
본 발명은 와이어 쏘 장치에 관한 것이다.
반도체 소자 제조용 재료로서 광범위하게 사용되고 있는 웨이퍼는 단결정 실리콘 박판을 지칭한다. 이러한 웨이퍼(wafer)는, 단결정 실리콘 잉곳(ingot)을 웨이퍼 형태로 얇게 절단하는 슬라이싱 공정, 원하는 웨이퍼의 두께로 연마하면서 평탄도를 개선하는 래핑 공정(lapping), 웨이퍼 내부의 손상층 제거를 위한 식각 공정(etching), 표면 경면화 및 평탄도를 향상시키기 위한 폴리싱 공정(polishing), 웨이퍼 표면의 오염물질을 제거하기 위한 세정 공정(cleaning) 등의 단계를 거쳐 웨이퍼로 생산된다.
단결정 실리콘 잉곳은 일반적으로 쵸크랄스키법(Czochralski method)에 따라 성장되어 제조된다. 이 방법은 챔버 내의 도가니에서 다결정 실리콘을 용융시키고, 용융된 실리콘에 단결정인 종자 결정(seed crystal)을 담근 후, 이를 서서히 상승시키면서 원하는 지름의 실리콘 단결정 잉곳으로 성장시키는 방법이다.
잉곳의 성장이 완료된 후에는, 잉곳을 낱장의 웨이퍼 단위로 절단하는 슬라이싱 공정(slicing process)이 진행된다. 이러한 슬라이싱 공정에는 와이어를 빠른 속도로 주행시키면서 그 위에 슬러리(slurry) 용액을 분사시켜 와이어에 묻은 슬러리와 잉곳의 마찰에 의해 절단하는 와이어 쏘잉(Wire Saw) 방식이 있다.
한편 종래의 와이어 쏘 장치는 슬러지(sludge) 입자들이 눈메움을 발생시켜 절삭력을 저하시키고, 슬러지가 와이어가 삽입된 홈 사이에 끼어 와이어 점프의 원인이 되며 홈에 와이어가 안착되는 것을 방해하여 와이어 떨림을 발생시켜 웨이퍼의 품질을 저하시킬 수 있다.
본 발명의 일 실시예는 와이어의 점프 및 떨림을 방지하여 웨이퍼의 품질을 향상시킬 수 있는 와이어 쏘 장치를 제공하고자 한다.
본 발명의 일 측면에 따르면 잉곳을 절단하는 와이어; 외주면에 형성된 가이드 홈에 상기 와이어가 감긴 상태로 상기 와이어를 이동시키는 한 쌍의 가이드 롤러; 및 상기 한 쌍의 가이드 롤러의 외측에 인접하게 설치되고 상기 한 쌍의 가이드 롤러 중 상기 와이어가 감기는 가이드 롤러에 형성된 상기 가이드 홈에 에어를 분사하여 상기 가이드 홈에 존재하는 이물질을 제거하는 에어토출부를 포함하는 와이어 쏘 장치를 제공한다.
이때, 상기 가이드 홈은 상기 가이드 롤러의 길이방향을 따라 일정한 간격으로 형성될 수 있다.
이때, 상기 한 쌍의 가이드 롤러 중 어느 하나의 일측에는 상기 와이어를 공급하는 공급부 및 상기 한 쌍의 가이드 롤러 중 다른 하나의 일측에는 상기 와이어를 회수하는 회수부를 포함할 수 있다.
이때, 상기 한 쌍의 가이드 롤러가 양방향으로 회전 시 상기 에어토출부는 상기 한 쌍의 가이드 롤러의 외측에 한 쌍으로 형성될 수 있다.
이때, 상기 에어토출부는 상기 가이드 롤러의 길이방향으로 연장된 중공의 에어관 및 상기 에어관의 길이방향으로 적어도 하나이상 관통 형성된 통공인 에어배출공을 포함할 수 있다.
이때, 상기 에어토출부는 상기 가이드 홈에 소정의 분사각도로 에어를 분사할 수 있다.
이때, 상기 분사각도는 상기 절단되는 잉곳의 이동방향에 수직한 평면을 기준으로 볼 때 상기 가이드 롤러의 하단부를 향하는 방향으로 30도 내지 60도일 수 있다.
이때, 상기 가이드 홈에 경사지게 분사되는 분사각도를 조절하도록 상기 에어관을 회전시키는 조절부를 포함할 수 있다.
이때, 상기 조절부는 상기 에어관의 외주면에 구비되는 피동기어 및 상기 피동기어와 맞물려서 회전하는 구동기어를 포함할 수 있다.
이때, 상기 에어토출부의 분사 압력은 0.5Mpa 내지 1Mpa일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 와이어 쏘 장치는 에어토출부를 포함하여 가이드 롤러에 존재하는 슬러지 및 쿨란트 등 이물질을 제거하여 와이어 점프 및 와이어 떨림을 방지할 수 있다.
또한 본 발명의 일 실시예에 따른 와이어 쏘 장치는 가이드 홈에 와이어가 이탈되는 것을 방지하여 웨이퍼의 품질을 향상시키고 불량률을 줄일 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 와이어 쏘 장치를 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 와이어 쏘 장치의 정면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 와이어 쏘 장치의 에어토출부를 도시한 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 와이어 쏘 장치의 조절부를 도시한 사시도이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 붙였다.
본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. 또한, 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 있다고 할 경우, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "아래에" 있다고 할 경우, 이는 다른 부분 "바로 아래에" 있는 경우뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 와이어 쏘 장치를 보다 상세히 설명하도록 한다.
도 1 및 도 2를 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 와이어 쏘 장치(1)는 와이어(5), 잉곳 지지부(10), 가이드 롤러(7), 공급부(20), 회수부(30), 쿨란트분사부(41) 및 에어토출부(50)를 포함할 수 있다.
이를 통해 본 발명의 일 실시예에 따른 와이어 쏘 장치(1)는 에어토출부(50)를 포함하여 가이드 롤러(7)에 존재하는 슬러지 및 쿨란트를 제거하여 와이어 점프 및 와이어 떨림을 방지할 수 있다.
도 1 및 도 2를 참고하면, 본 발명의 일 실시예에서 와이어는 절삭용 입자가 표면에 고정된 타입으로써 예를 들어 다이아몬드 입자들이 일정한 크기로 니켈 전착 고정을 거쳐 표면에 고정된 형태로 제작될 수 있다.
이때, 본 발명의 일 실시예에서 절삭용 입자가 고정된 타입의 와이어는 절삭성을 높여 짧은 시간에 많은 웨이퍼를 절삭할 수 있다.
한편, 본 발명의 일 실시예에서 잉곳(3)은 와이어의 상부에 배치되며 슬라이싱 공정에서 와이어(5)를 향해 하강하면서 웨이퍼 단위로 절단된다.
도 1을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에서 잉곳 지지부(10)는 슬라이싱 공정에서 잉곳을 부착하여 지지하는 것으로, 워크플레이트(11) 및 빔(13)을 포함할 수 있다.
한편, 워크플레이트(11)는 에폭시와 같은 접착부재를 이용하여 빔(13)의 일 측면에 부착될 수 있다. 이때, 빔(13)은 염화칼슘, 유리, 및 석영 등의 재질로 구성될 수 있으며, 빔(13)의 타 측면에 잉곳(3)이 장착될 수 있다.
즉, 도 1에 도시된 바와 같이, 빔(13)의 상부에는 워크플레이트(11)가 부착될 수 있고, 빔의 하부에는 잉곳(3)이 부착될 수 있다.
이를 통해, 본 발명의 일 실시예에 따른 와이어 쏘 장치(1)는 워크플레이트(11) 및 빔(13)에 의해 잉곳(3)이 안정되게 장착됨으로써, 와이어(5)에 의해 절단된 잉곳이 하방으로 추락하는 것을 방지할 수 있다.
한편, 도 1을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에서 가이드 롤러(7)는 잉곳(3)의 하부에 설치되고, 적어도 한 쌍으로 구비될 수 있다.
이때, 한 쌍의 가이드 롤러(7)는 서로 일정 간격 예를 들어 도 1에 도시된 바와 같이 잉곳(3)의 직경보다 큰 간격으로 이격 배치될 수 있다.
한편, 가이드 롤러(7)는 원통형상으로 가이드 롤러의 외주면에 복수 개의 가이드 홈(미도시)이 형성되어 복수 개의 와이어(5)가 한 쌍의 가이드 롤러(7)에 동시에 감길 수 있다.
이때, 가이드 홈은 가이드 롤러(7)의 길이방향을 따라 일정한 간격으로 형성될 수 있다.
한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 와이어 쏘 장치(1)는 가이드 롤러(7)에 감긴 와이어(5)의 간격에 의해 슬라이싱된 웨이퍼의 개수 및 두께가 정해질 수 있다.
도 1을 참고하면, 한 쌍의 가이드 롤러(7)는 제1 가이드 롤러(7a) 및 제2 가이드 롤러(7b)를 포함할 수 있다.
이때 도 1에 도시된 바와 같이, 한 쌍의 가이드 롤러(7) 중 제1 가이드 롤러(7a)는 모터(9)가 직접 연결되어 모터에 의해 제1 가이드 롤러가 회전된다. 또한, 제1 가이드 롤러(7a)의 회전력이 복수 개의 와이어(5)를 통해 제2 가이드 롤러(7b)를 회전시킬 수 있다.
한편, 가이드 롤러(7)는 일방향 또는 양방향으로 회전할 수 있다. 이때, 가이드 롤러(7)가 시계방향 또는 반 시계방향으로 회전됨에 따라 와이어(5)가 일방향 또는 양방향으로 고속 주행하게 될 수 있다.
이렇게, 일방향 또는 양방향으로 이동되는 와이어(5)에 의해 잉곳(3)이 길이방향에 수직한 방향으로 절단되어 웨이퍼들이 생산될 수 있다.
다만, 본 발명의 일 실시예에 따른 와이어 쏘 장치(1)가 양방향으로 와이어(5)가 이동되어 웨이퍼를 생산하는 경우에는 와이어가 일방향으로 이동하여 웨이퍼를 생산하는 것보다 웨이퍼의 두께 편차를 줄일 수 있으며 웨이퍼의 품질을 향상시킬 수 있다.
한편, 본 발명의 일 실시예에서 한 쌍의 가이드 롤러(7) 중 제1 가이드 롤러(7a)의 일측에는 와이어를 공급하는 공급부(20)가 설치될 수 있으며, 제2 가이드 롤러(7b)의 일측에는 공급부(20)에서 공급된 와이어를 회수하는 회수부(30)가 설치될 수 있다.
도 1 및 도 2를 참고하면, 공급부(20)는 공급보빈(21), 제1 텐션풀리(23) 및 공급 풀리(25)를 포함하여 가이드 롤러(7)에 와이어를 공급할 수 있다.
한편, 공급 보빈(21)은 제1 가이드 롤러(7a)의 우측 상방에 이격 배치되고, 와이어(5)가 감겨져 있어 와이어를 공급할 수 있다.
도 1을 참고하면, 제1 텐션풀리(23)는 공급 보빈(21)의 하부측에 설치되고, 두 개가 설치될 수 있으나 이에 한정되지는 않는다. 이때 제1 텐션풀리(23)는 와이어(5)에 장력을 부여하고 와이어의 진행을 안내할 수 있다.
한편, 공급풀리(25)는 제1 가이드 롤러(7a)의 우측 하방에 배치되어 제1 가이드 롤러(7a)로 진입되는 와이어(5)의 진입 위치를 변경할 수 있다.
다만 공급 풀리(25)는 도 1에 도시된 바와 같이 제1 가이드 롤러(7a)의 우측 하방에 설치될 수 있으나 이에 한정되지는 않는다.
도 1 및 도 2를 참고하면, 회수부(30)는 회수보빈(31), 제2 텐션풀리(33) 및 회수 풀리(35)를 포함하여 가이드 롤러(7)로부터 와이어를 회수할 수 있다.
한편, 회수 보빈(31)은 제2 가이드 롤러(7b)의 좌측 상방에 이격 배치되고, 와이어를 감아 회수할 수 있다.
도 1을 참고하면, 제2 텐션풀리(33)는 회수 보빈(31)의 하부측에 설치되고, 두 개가 설치될 수 있으나 이에 한정되지는 않는다. 이때 제2 텐션풀리(33)는 와이어에 장력을 부여하고 와이어의 진행을 안내할 수 있다.
한편, 회수풀리(35)는 제2 가이드 롤러(7b)의 좌측 하방에 배치되어 제2 가이드 롤러(7b)로부터 회수되는 와이어의 회수 위치를 변경할 수 있다. 다만 회수 풀리(35)는 도 1에 도시된 바와 같이 제2 가이드 롤러(7b)의 좌측 하방에 설치될 수 있으나 이에 한정되지는 않는다.
도 1을 참고하면, 쿨란트분사부(41)는 가이드 롤러(7)의 길이방향을 따라 연장 형성된 파이프 형상으로 이루어질 수 있으나 이에 한정되지는 않고 쿨란트를 분사하면 어떠한 형태로도 이루어질 수 있다.
또한, 도 1을 참고하면, 쿨란트분사부(41)는 쿨란트가 분사될 수 있는 통공이 형성될 수 있다. 이때, 쿨란트분사부(41)는 잉곳의 절단이 용이하도록 하기 위한 것으로, 한 쌍의 가이드 롤러(7)의 상부측에 각각 설치될 수 있다.
한편, 한 쌍의 가이드 롤러(7)에 감겨져 있는 와이어(5)에 의해 잉곳이 절삭될 때 제1 가이드 롤러(7a)와 제2 가이드 롤러(7b) 사이에 위치하는 와이어(5)를 향하여 쿨란트가 분사될 수 있다.
이때, 쿨란트에는 연마 그레인이 포함될 수 있으며, 잉곳 지지부(10)에 장착된 잉곳(3)이 와이어(5)를 향해 이동하여 가압될 때, 와이어(5)에 도포되어 있는 연마 그레인에 의해 잉곳(3)이 절단될 수 있다.
이때, 본 발명의 일 실시예에서 쿨란트분사부(41)는 쿨란트공급부(43)와 연결되어 쿨란트가 공급될 수 있다.
쿨란트수집부(45)는 한 쌍의 가이드 롤러(7)의 하부측에 설치될 수 있으며, 상부측으로 개방된 수용홈(45a)이 형성되어 쿨란트가 수집될 수 있다.
쿨란트분사부(41)에서 한 쌍의 가이드 롤러(7)로 분사된 쿨란트의 일부가 쿨란트수집부(45)의 수용홈(45a)에 떨어져 수집될 수 있다.
이때, 쿨란트수집부(45)는 쿨란트공급부(43)와 연결되어 있어 쿨란트 수집부(45)로 수집된 쿨란트는 다시 쿨란트공급부(43)로 이동될 수 있다.
도 3을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 와이어 쏘 장치(1)의 에어토출부(50)는 에어배출공(51a)이 형성된 에어관(51)을 포함할 수 있다.
이를 통해 본 발명의 일 실시예에 따른 와이어 쏘 장치(1)는 잉곳(3)을 절단할 때 분비되는 슬러지 및 쿨란트 등과 같은 이물질이 가이드 홈에 끼는 것을 방지하여 와이어(5)가 가이드 홈에 안착될 수 있도록 한다.
한편, 본 발명의 일 실시예에서 에어관(51)은 도 1에 도시된 바와 같이 원기둥 형상으로 가이드 롤러(7)의 길이방향으로 연장되고 중공이 형성되어 에어가 유동될 수 있도록 한다.
또한, 에어관(51)은 길이 방향으로 적어도 하나이상 관통형성된 통공인 에어배출공(51a)이 형성되어 에어가 에어배출공을 통해 분사될 수 있도록 한다.
한편, 본 발명의 일 실시예에서 에어토출부(50)는 와이어가 삽입된 가이드 홈에 소정의 분사각도로 에어를 분사하도록 에어관(51)이 경사지게 형성될 수 있다.
또한, 분사각도(θ)는 절단되는 잉곳의 이동방향에 수직한 평면을 기준으로 볼 때 가이드 롤러(7)의 하단부를 향하는 방향으로 30도 내지 60도일 수 있다.
이때 본 발명의 일 실시예에 따른 와이어 쏘 장치(1)의 분사각도는 바람직하게는 45도일 수 있다.
이를 통해 본 발명의 일 실시예에서 에어토출부(50)는 가이드 롤러(7)면을 비스듬히 분사하여 가이드 홈에 손상을 주지 않을 수 있다.
또한, 분사각도(θ)가 하측 방향으로 향해 있어서 상측 방향으로 향할 때 보다 이물질을 제거하는 효과가 크다.
또한, 본 발명의 일 실시예에서 에어토출부(50)를 통한 에어 분사로 인해 와이어가 흔들려도 가이드 홈을 벗어나지 않을 수 있다.
도 4를 참고하면, 본 발명의 일 실시예에서 조절부(70)는 에어토출부(50)의 에어관(51)을 회전시켜서 에어배출공(51a)을 통해 분사되는 에어의 분사 각도(θ)를 조절할 수 있다.
이때, 조절부(70)는 에어관의 외주면에 구비되는 피동기어(71)와 피동기어와 맞물려서 회전하는 구동기어를 포함할 수 있으나 이에 한정되지는 않는다.
본 발명의 일 실시예에서 에어토출부(50)는 한 쌍의 가이드 롤러(7)가 양방향으로 회전 시 상기 한 쌍의 가이드 롤러의 외측에 한 쌍으로 구비될 수 있다.
또한 에어토출부(50)는 한 쌍의 가이드 롤러(7)와 인접하게 설치되어 가이드 롤러의 가이드 홈에 에어를 분사할 수 있다.
이때, 에어토출부(50)는 한 쌍의 가이드 롤러(50) 중 와이어(5)가 감기는 가이드 롤러에 형성된 가이드 홈에 에어를 분사할 수 있다.
즉, 도 1을 참고하면, 한 쌍의 가이드 롤러(7)가 시계 방향으로 회전 시 에어토출부(50)는 제1 가이드 롤러(7a)의 우측에서 분사할 수 있고, 반 시계 방향으로 회전 시 에어토출부(50)는 제2 가이드 롤러(7b)의 좌측에서 분사할 수 있다.
이는, 잉곳(3)을 절단한 와이어가 슬러지 및 쿨런트 등 이물질이 묻은 채로 한 쌍의 가이드 롤러(7) 중 하나에 감기기 때문에 이 지점에 에어를 분사하여 이물질을 제거하기 위함이다.
이를 통해 본 발명의 일 실시예에 따른 와이어 쏘 장치(1)는 잉곳(3)을 절단할 때 분비되는 슬러지 및 쿨란트 등과 같은 이물질이 가이드 홈에 끼는 것을 방지하여 와이어가 가이드 홈에 안착될 수 있도록 한다.
이때, 에어토출부(50)에서 분사하는 에어의 분사 압력은 0.5Mpa 내지 1Mpa일 수 있다. 이는 에어토출부(50)에서 분사되는 에어로 인해서 와이어가 가이드 홈에서 이탈하지 않고 이물질을 제거할 수 있는 압력이다.
이를 통해 본 발명의 일 실시예에 따른 와이어 쏘 장치(1)는 잉곳(3)을 절단한 와이어(5)가 한 쌍의 가이드 롤러(7)의 가이드 홈 상을 이동할 때 이물질이 가이드 홈에 끼는 것을 방지할 수 있다.
또한 본 발명의 일 실시예에 따른 와이어 쏘 장치(1)는 가이드 홈에 존재하는 이물질을 제거하여 와이어 점프 및 와이어 떨림을 방지할 수 있고 와이어가 이탈되는 것을 방지하여 웨이퍼의 품질을 향상시키고 불량률을 줄일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 와이어 쏘 장치(1)의 작동에 대하여 이하 설명한다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 와이어 쏘 장치(1)는 공급보빈(21)에 감긴 와이어가 제1 텐션풀리(23), 공급풀리(25), 제1 가이드 롤러(7a), 제2 가이드 롤러(7b), 회수풀리(35), 제2 텐션풀리(33) 및 회수보빈(31)으로 이동하면서 잉곳을 원하는 개수 및 두께로 웨이퍼 단위로 절단한다.
이때, 와이어는 공급보빈(21)에서 회수보빈(31) 방향으로 진행하며 감기고, 마주보는 한 쌍의 가이드 롤러(7)의 외주면을 왕복 회전하면서 회수될 수 있다.
이와 동시에 잉곳(3)이 장착된 워크플레이트(11)가 하방으로 이동되고, 전체 잉곳(3) 중 절단하고자 하는 부분만 왕복 회전하는 와이어에 접촉하므로 원하는 개수의 웨이퍼만 절단하게 된다. 또한, 절단된 웨이퍼는 하방에 마련된 회수장치(미도시)에 의해 회수된다.
이때 에어토출부(50)는 와이어가 가이드 홈에 이탈하지 않도록 가이드 홈에 에어를 분사하여 가이드홈 및 와이어에 존재하는 슬러지 및 쿨란트 등과 같은 이물질을 제거할 수 있다.
이를 통해 본 발명의 일 실시예에 따른 와이어 쏘 장치는 에어토출부를 포함하여 가이드 롤러에 존재하는 슬러지 및 쿨란트 등 이물질을 제거하여 와이어 점프 및 와이어 떨림을 방지할 수 있다.
또한 본 발명의 일 실시예에 따른 와이어 쏘 장치는 가이드 홈에 와이어가 이탈되는 것을 방지하여 웨이퍼의 품질을 향상시키고 불량률을 줄일 수 있다.
이상에서 본 발명의 일 실시예에 대하여 설명하였으나, 본 발명의 사상은 본 명세서에 제시되는 실시 예에 제한되지 아니하며, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서, 구성요소의 부가, 변경, 삭제, 추가 등에 의해서 다른 실시 예를 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본 발명의 사상범위 내에 든다고 할 것이다.
1 : 와이어 쏘 장치 3 : 잉곳
5 : 와이어 7 : 가이드 롤러
7a : 제1 가이드 롤러 7b : 제2 가이드 롤러
9 : 모터 10 : 잉곳 지지부
11 : 워크플레이트 13 : 빔
20 : 공급부 21 : 공급보빈
23 : 제1 텐션풀리 25 : 공급풀리
30 : 회수부 31 : 회수보빈
33 : 제2 텐션풀리 35 : 회수풀리
41 : 쿨란트분사부 43 : 쿨란트공급부
45 : 쿨란트수집부 45a : 수용홈
50 : 에어토출부 51 : 에어관
51a : 에어배출공 70 : 조절부
71 : 피동기어 73 : 구동기어

Claims (10)

  1. 잉곳을 절단하는 와이어;
    외주면에 형성된 가이드 홈에 상기 와이어가 감긴 상태로 상기 와이어를 이동시키는 한 쌍의 가이드 롤러; 및
    상기 한 쌍의 가이드 롤러의 외측에 인접하게 설치되고 상기 한 쌍의 가이드 롤러 중 상기 와이어가 감기는 가이드 롤러에 형성된 상기 가이드 홈에 에어를 분사하여 상기 가이드 홈에 존재하는 이물질을 제거하는 에어토출부를 포함하는 와이어 쏘 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 가이드 홈은 상기 가이드 롤러의 길이방향을 따라 일정한 간격으로 형성된 와이어 쏘 장치.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 한 쌍의 가이드 롤러 중 어느 하나의 일측에는 상기 와이어를 공급하는 공급부 및
    상기 한 쌍의 가이드 롤러 중 다른 하나의 일측에는 상기 와이어를 회수하는 회수부를 포함하는 와이어 쏘 장치.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 한 쌍의 가이드 롤러가 양방향으로 회전 시 상기 에어토출부는 상기 한 쌍의 가이드 롤러의 외측에 한 쌍으로 형성된 와이어 쏘 장치.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 에어토출부는
    상기 가이드 롤러의 길이방향으로 연장된 중공의 에어관; 및
    상기 에어관의 길이방향으로 적어도 하나이상 관통 형성된 통공인 에어배출공;을 포함하는 와이어 쏘 장치.
  6. 제5 항에 있어서,
    상기 에어토출부는 상기 가이드 홈에 소정의 분사각도로 에어를 분사하는 와이어 쏘 장치.
  7. 제6 항에 있어서,
    상기 분사각도는 상기 절단되는 잉곳의 이동방향에 수직한 평면을 기준으로 볼 때 상기 가이드 롤러의 하단부를 향하는 방향으로 30도 내지 60도인 와이어 쏘 장치.
  8. 제7 항에 있어서,
    상기 가이드 홈에 경사지게 분사되는 분사각도를 조절하도록 상기 에어관을 회전시키는 조절부를 포함하는 와이어 쏘 장치.
  9. 제8 항에 있어서,
    상기 조절부는 상기 에어관의 외주면에 구비되는 피동기어 및 상기 피동기어와 맞물려서 회전하는 구동기어를 포함하는 와이어 쏘 장치.
  10. 제1 항에 있어서,
    상기 에어토출부의 분사 압력은 0.5Mpa 내지 1Mpa인 와이어 쏘 장치.
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