JPH09193140A - ワイヤ式切断加工装置 - Google Patents
ワイヤ式切断加工装置Info
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- JPH09193140A JPH09193140A JP441396A JP441396A JPH09193140A JP H09193140 A JPH09193140 A JP H09193140A JP 441396 A JP441396 A JP 441396A JP 441396 A JP441396 A JP 441396A JP H09193140 A JPH09193140 A JP H09193140A
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
- B28D5/0076—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for removing dust, e.g. by spraying liquids; for lubricating, cooling or cleaning tool or work
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- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ワイヤ式切断加工装置において、溝ローラを
効果的に冷却するとともに高寿命化を図ることを課題と
する。 【解決手段】 複数の溝ローラの間に張設されたワイヤ
をワイヤ走行装置によって所定速度で走行させながら、
被切断部材を押付装置によって上記ワイヤに押し付ける
とともに、加工液供給装置から前記被切断部材の切断加
工部に砥粒を含む加工液を供給しつつ前記被切断部材を
切断加工するワイヤ式切断加工装置であって、前記溝ロ
ーラに付着した前記加工液を洗い流す洗浄液を溝ローラ
に供給する洗浄液供給装置を具備する技術が採用され
る。
効果的に冷却するとともに高寿命化を図ることを課題と
する。 【解決手段】 複数の溝ローラの間に張設されたワイヤ
をワイヤ走行装置によって所定速度で走行させながら、
被切断部材を押付装置によって上記ワイヤに押し付ける
とともに、加工液供給装置から前記被切断部材の切断加
工部に砥粒を含む加工液を供給しつつ前記被切断部材を
切断加工するワイヤ式切断加工装置であって、前記溝ロ
ーラに付着した前記加工液を洗い流す洗浄液を溝ローラ
に供給する洗浄液供給装置を具備する技術が採用され
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体材料や磁性
材料、あるいはセラミックス等の高硬度脆性材料をワイ
ヤによって切断するためのワイヤ式切断加工装置に関す
る。
材料、あるいはセラミックス等の高硬度脆性材料をワイ
ヤによって切断するためのワイヤ式切断加工装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】ワイヤ式切断加工装置は、複数の溝ロー
ラの間に張設されたワイヤをワイヤ走行装置によって一
定方向に所定速度で走行させながら、被切断部材を押付
装置によって上記ワイヤに押し付けるとともに被切断部
材の切断加工部に砥粒を含む加工液を供給して被切断部
材を切断加工するもの、および、ワイヤを交互に逆方向
に走行させて切断加工するものが知られている。
ラの間に張設されたワイヤをワイヤ走行装置によって一
定方向に所定速度で走行させながら、被切断部材を押付
装置によって上記ワイヤに押し付けるとともに被切断部
材の切断加工部に砥粒を含む加工液を供給して被切断部
材を切断加工するもの、および、ワイヤを交互に逆方向
に走行させて切断加工するものが知られている。
【０００３】従来のワイヤ式切断加工装置において、砥
粒を含む加工液は、例えば、特開昭５９−２３２７６２
号公報に示されるように、被切断部材の切断加工を行う
直前段においてワイヤに向けて、上方から散布され、そ
の一部がワイヤに付着する。この加工液が付着した状態
のワイヤによって被切断部材を切断している。なお、ワ
イヤを通過して落下した加工液は、下方に配されている
受皿に回収され、再循環利用されるようになっている。
粒を含む加工液は、例えば、特開昭５９−２３２７６２
号公報に示されるように、被切断部材の切断加工を行う
直前段においてワイヤに向けて、上方から散布され、そ
の一部がワイヤに付着する。この加工液が付着した状態
のワイヤによって被切断部材を切断している。なお、ワ
イヤを通過して落下した加工液は、下方に配されている
受皿に回収され、再循環利用されるようになっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ワイヤ式切断加工装置には、以下のような課題が残され
ている。すなわち、ワイヤの位置精度等を維持するため
に高速回転する溝ローラの加熱による熱膨張を抑制する
必要がある。該溝ローラの冷却手段として、前記加工液
をワイヤに付着させるととともに溝ローラに直接供給し
て熱を吸収する方法があるが、加工液には、砥粒が含ま
れているため、溝ローラの表面（ウレタンゴム等で形成
されている）が研磨されてしまい溝ローラの寿命が短く
なってしまう不都合があった。また、溝ローラに直接加
工液を供給しない場合でも、ワイヤに付着した加工液が
溝ローラの表面に付着して上記と同様に研磨されてしま
う不都合があった。
ワイヤ式切断加工装置には、以下のような課題が残され
ている。すなわち、ワイヤの位置精度等を維持するため
に高速回転する溝ローラの加熱による熱膨張を抑制する
必要がある。該溝ローラの冷却手段として、前記加工液
をワイヤに付着させるととともに溝ローラに直接供給し
て熱を吸収する方法があるが、加工液には、砥粒が含ま
れているため、溝ローラの表面（ウレタンゴム等で形成
されている）が研磨されてしまい溝ローラの寿命が短く
なってしまう不都合があった。また、溝ローラに直接加
工液を供給しない場合でも、ワイヤに付着した加工液が
溝ローラの表面に付着して上記と同様に研磨されてしま
う不都合があった。
【０００５】本発明は、前述の課題に鑑みてなされたも
ので、溝ローラを効果的に冷却するとともに高寿命化を
図ることができるワイヤ式切断加工装置を提供すること
を目的とする。
ので、溝ローラを効果的に冷却するとともに高寿命化を
図ることができるワイヤ式切断加工装置を提供すること
を目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記課題を解
決するために以下の構成を採用した。すなわち、請求項
１記載のワイヤ式切断加工装置では、複数の溝ローラの
間に張設されたワイヤをワイヤ走行装置によって所定速
度で走行させながら、被切断部材を押付装置によって上
記ワイヤに押し付けるとともに、加工液供給装置から前
記被切断部材の切断加工部に砥粒を含む加工液を供給し
つつ前記被切断部材を切断加工するワイヤ式切断加工装
置であって、洗浄液を溝ローラの表面に供給する洗浄液
供給装置を具備する技術が採用される。
決するために以下の構成を採用した。すなわち、請求項
１記載のワイヤ式切断加工装置では、複数の溝ローラの
間に張設されたワイヤをワイヤ走行装置によって所定速
度で走行させながら、被切断部材を押付装置によって上
記ワイヤに押し付けるとともに、加工液供給装置から前
記被切断部材の切断加工部に砥粒を含む加工液を供給し
つつ前記被切断部材を切断加工するワイヤ式切断加工装
置であって、洗浄液を溝ローラの表面に供給する洗浄液
供給装置を具備する技術が採用される。
【０００７】このワイヤ式切断加工装置では、洗浄液供
給装置によって溝ローラに洗浄液を供給して溝ローラに
付着した加工液を洗い流すことにより、加工液に含まれ
る砥粒で溝ローラの表面が研磨されることを防ぐととも
に、洗浄液によって溝ローラの熱が吸収されて、熱膨張
が抑制され安定したワイヤの位置精度が得られる。
給装置によって溝ローラに洗浄液を供給して溝ローラに
付着した加工液を洗い流すことにより、加工液に含まれ
る砥粒で溝ローラの表面が研磨されることを防ぐととも
に、洗浄液によって溝ローラの熱が吸収されて、熱膨張
が抑制され安定したワイヤの位置精度が得られる。
【０００８】請求項２記載のワイヤ式切断加工装置で
は、請求項１記載のワイヤ式切断加工装置において、前
記洗浄液供給装置は、その供給口が前記溝ローラの上方
に配され、前記被切断部材の切断加工域とこれに隣接す
る溝ローラとの間には、溝ローラから飛散する前記洗浄
液を溝ローラの下方に誘導するガイド板が設けられ、該
ガイド板の下方には、ガイド板によって誘導され下方に
流れ落ちる洗浄液を受けて回収する洗浄液受け部材が設
けられている技術が採用される。
は、請求項１記載のワイヤ式切断加工装置において、前
記洗浄液供給装置は、その供給口が前記溝ローラの上方
に配され、前記被切断部材の切断加工域とこれに隣接す
る溝ローラとの間には、溝ローラから飛散する前記洗浄
液を溝ローラの下方に誘導するガイド板が設けられ、該
ガイド板の下方には、ガイド板によって誘導され下方に
流れ落ちる洗浄液を受けて回収する洗浄液受け部材が設
けられている技術が採用される。
【０００９】このワイヤ式切断加工装置では、溝ローラ
の回転によってその内側方に飛散する洗浄液を、前記被
切断部材の切断加工域とこれに隣接する溝ローラとの間
に設けたガイド板によって溝ローラの下方に誘導するの
で、切断加工時における洗浄液の被切断部材への付着が
抑制される。また、ガイド板によって洗浄液を下方に流
れ落として、洗浄液受け部材に回収するので、加工液を
含む洗浄液が他の部材に飛散して付着することを防ぐこ
とができるとともに、洗浄液の再循環利用が可能とな
る。
の回転によってその内側方に飛散する洗浄液を、前記被
切断部材の切断加工域とこれに隣接する溝ローラとの間
に設けたガイド板によって溝ローラの下方に誘導するの
で、切断加工時における洗浄液の被切断部材への付着が
抑制される。また、ガイド板によって洗浄液を下方に流
れ落として、洗浄液受け部材に回収するので、加工液を
含む洗浄液が他の部材に飛散して付着することを防ぐこ
とができるとともに、洗浄液の再循環利用が可能とな
る。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の一形態を図
１から図４を参照しながら説明する。
１から図４を参照しながら説明する。
【００１１】本形態に係るワイヤ式切断加工装置１は、
図１に示すように、装置フレーム２に、ワイヤ走行装置
３と押付装置４と加工液供給装置５と洗浄液供給装置６
等とを搭載して構成されている。
図１に示すように、装置フレーム２に、ワイヤ走行装置
３と押付装置４と加工液供給装置５と洗浄液供給装置６
等とを搭載して構成されている。
【００１２】前記ワイヤ走行装置３は、例えば、図示し
ないサーボモータ等の駆動モータによってそれぞれ個々
に回転させられる一対のリール、張力保持機構、張力検
出機構、切断機構７および走行量検出機構等を備えてお
り、ワイヤ８を一方のリールから上記種々の機構を経て
他方のリールまで送る際に、両リールによるワイヤ８の
走行方向と走行量を交互に変えて走行させるようになっ
ている。
ないサーボモータ等の駆動モータによってそれぞれ個々
に回転させられる一対のリール、張力保持機構、張力検
出機構、切断機構７および走行量検出機構等を備えてお
り、ワイヤ８を一方のリールから上記種々の機構を経て
他方のリールまで送る際に、両リールによるワイヤ８の
走行方向と走行量を交互に変えて走行させるようになっ
ている。
【００１３】上記ワイヤ走行装置３を構成する各機構の
内、切断機構７は、図１から図３に示すように、互いに
平行かつ水平に逆三角形状に配設された３個の溝ローラ
７ａ，７ｂ，７ｃと、下の溝ローラ７ａを回転させる切
断走行用の駆動モータ７ｄを備えている。ワイヤ８は、
各溝ローラ７ａ，７ｂ，７ｃに所定の間隔で形成された
複数の溝に平行に巻き付けられている。上の２個の溝ロ
ーラ７ｂ，７ｃ間のワイヤ８は、水平に張られており、
その中央付近に後述する押付装置４によって被切断部材
９を押し付けて切断加工する切断加工域Ａが形成される
ようになっている。
内、切断機構７は、図１から図３に示すように、互いに
平行かつ水平に逆三角形状に配設された３個の溝ローラ
７ａ，７ｂ，７ｃと、下の溝ローラ７ａを回転させる切
断走行用の駆動モータ７ｄを備えている。ワイヤ８は、
各溝ローラ７ａ，７ｂ，７ｃに所定の間隔で形成された
複数の溝に平行に巻き付けられている。上の２個の溝ロ
ーラ７ｂ，７ｃ間のワイヤ８は、水平に張られており、
その中央付近に後述する押付装置４によって被切断部材
９を押し付けて切断加工する切断加工域Ａが形成される
ようになっている。
【００１４】前記押付装置４は、被切断部材９を支持す
る支持機構１０と、該支持機構１０を上下させるボール
ネジ等よりなる移動機構１１と、該移動機構１１を作動
させるサーボモータ等の移動用駆動モータ１２とワイヤ
８に対する被切断部材９の押付力（反力）を検出するロ
ードセル等の押付力検出器１３と、移動用駆動モータ１
２の回転数から支持機構１０の移動量を検出するロータ
リエンコーダ等の移動量検出器１４とを備えている。
る支持機構１０と、該支持機構１０を上下させるボール
ネジ等よりなる移動機構１１と、該移動機構１１を作動
させるサーボモータ等の移動用駆動モータ１２とワイヤ
８に対する被切断部材９の押付力（反力）を検出するロ
ードセル等の押付力検出器１３と、移動用駆動モータ１
２の回転数から支持機構１０の移動量を検出するロータ
リエンコーダ等の移動量検出器１４とを備えている。
【００１５】この押付装置４は、被切断部材９を支持機
構１０に支持してこれを切断機構７の溝ローラ７ｂ，７
ｃの間にワイヤ８に垂直に押し付けるものであり、押付
力検出器１３の検出信号によって、ワイヤ８に対する被
切断部材９の押付力が一定に保たれるように、移動用駆
動モータ１２による被切断部材９の押付移動速度を調整
するようになっている。
構１０に支持してこれを切断機構７の溝ローラ７ｂ，７
ｃの間にワイヤ８に垂直に押し付けるものであり、押付
力検出器１３の検出信号によって、ワイヤ８に対する被
切断部材９の押付力が一定に保たれるように、移動用駆
動モータ１２による被切断部材９の押付移動速度を調整
するようになっている。
【００１６】前記加工液供給装置５は、例えば、砥粒を
含む加工液Ｌを貯留する加工液タンク（図示略）と、該
加工液タンクから加工液Ｌを汲み上げるポンプ（図示
略）と、該ポンプから供給される加工液Ｌをワイヤ８上
に散布する供給口としての一対の加工液供給ノズル１５
と、ワイヤ８から落下した削りかすを含む加工液Ｌを回
収する回収装置（図示略）等とを具備している。
含む加工液Ｌを貯留する加工液タンク（図示略）と、該
加工液タンクから加工液Ｌを汲み上げるポンプ（図示
略）と、該ポンプから供給される加工液Ｌをワイヤ８上
に散布する供給口としての一対の加工液供給ノズル１５
と、ワイヤ８から落下した削りかすを含む加工液Ｌを回
収する回収装置（図示略）等とを具備している。
【００１７】前記各加工液供給ノズル１５は、例えば、
スリットノズルであって、図４に示すように、ワイヤ８
に対して直交するように配置される加工液供給パイプ１
５ａと、加工液供給パイプ１５ａに設けたスリット状の
開口部１５ｂに配置され、該開口部１５ｂの開口面積を
調整し得るように調整ネジ１５ｃによって固定される調
整ブロック１５ｄとから構成されている。
スリットノズルであって、図４に示すように、ワイヤ８
に対して直交するように配置される加工液供給パイプ１
５ａと、加工液供給パイプ１５ａに設けたスリット状の
開口部１５ｂに配置され、該開口部１５ｂの開口面積を
調整し得るように調整ネジ１５ｃによって固定される調
整ブロック１５ｄとから構成されている。
【００１８】また、前記加工液供給ノズル１５は、前記
切断加工域Ａと溝ローラ７ｂ，７ｃとの間に配置される
とともに、加工液Ｌがワイヤ８に対して斜めに入射させ
られるように、その開口部１５ｂを切断加工域Ａ側に向
かう斜め下方に傾けて配置されている。
切断加工域Ａと溝ローラ７ｂ，７ｃとの間に配置される
とともに、加工液Ｌがワイヤ８に対して斜めに入射させ
られるように、その開口部１５ｂを切断加工域Ａ側に向
かう斜め下方に傾けて配置されている。
【００１９】前記洗浄液供給装置６は、例えば、油、純
水等の洗浄液Ｓを供給する洗浄液用ポンプ（図示略）
と、該洗浄液用ポンプから供給される洗浄液Ｓを溝ロー
ラ７ｂ，７ｃ上に散布する供給口としての一対の洗浄液
供給ノズル１６と、被切断部材９の切断加工域Ａとこれ
に隣接する溝ローラ７ｂ，７ｃとの間に設けられ溝ロー
ラ７ｂ，７ｃから飛散する加工液Ｌを含む洗浄液Ｓを溝
ローラ７ｂ，７ｃの下方に誘導するガイド板２０と、該
ガイド板２０の下方に設けられガイド板２０によって誘
導され下方に流れ落ちる前記洗浄液Ｓを受けて回収する
洗浄液受け部材２１等とを具備している。
水等の洗浄液Ｓを供給する洗浄液用ポンプ（図示略）
と、該洗浄液用ポンプから供給される洗浄液Ｓを溝ロー
ラ７ｂ，７ｃ上に散布する供給口としての一対の洗浄液
供給ノズル１６と、被切断部材９の切断加工域Ａとこれ
に隣接する溝ローラ７ｂ，７ｃとの間に設けられ溝ロー
ラ７ｂ，７ｃから飛散する加工液Ｌを含む洗浄液Ｓを溝
ローラ７ｂ，７ｃの下方に誘導するガイド板２０と、該
ガイド板２０の下方に設けられガイド板２０によって誘
導され下方に流れ落ちる前記洗浄液Ｓを受けて回収する
洗浄液受け部材２１等とを具備している。
【００２０】前記各洗浄液供給ノズル１６は、例えば、
図４に示すように、前記加工液供給ノズル１５と同様
に、スリットノズルであって、ワイヤ８に対して直交す
るように配置される洗浄液供給パイプ１６ａと、洗浄液
供給パイプ１６ａに設けたスリット状の開口部１６ｂに
配置され、該開口部１６ｂの開口面積を調整し得るよう
に調整ネジ１６ｃによって固定される調整ブロック１６
ｄとから構成されている。
図４に示すように、前記加工液供給ノズル１５と同様
に、スリットノズルであって、ワイヤ８に対して直交す
るように配置される洗浄液供給パイプ１６ａと、洗浄液
供給パイプ１６ａに設けたスリット状の開口部１６ｂに
配置され、該開口部１６ｂの開口面積を調整し得るよう
に調整ネジ１６ｃによって固定される調整ブロック１６
ｄとから構成されている。
【００２１】また、前記洗浄液供給ノズル１６は、溝ロ
ーラ７ｂ，７ｃの直上に配置されるとともに、洗浄液Ｓ
が溝ローラ７ｂ，７ｃに対して垂直に入射させられるよ
うに、その開口部１６ｂが溝ローラ７ｂ，７ｃに対向状
態となるように配置されている。
ーラ７ｂ，７ｃの直上に配置されるとともに、洗浄液Ｓ
が溝ローラ７ｂ，７ｃに対して垂直に入射させられるよ
うに、その開口部１６ｂが溝ローラ７ｂ，７ｃに対向状
態となるように配置されている。
【００２２】前記ガイド板２０は、溝ローラ７ｂ，７ｃ
に沿って配置されるとともに、下部が外方に屈曲して形
成されている。前記洗浄液受け部材２１は、断面矩形状
に形成され溝ローラ７ｂ，７ｃに沿って前記ガイド板２
０の下端部の直下に配されるとともに、ワイヤ８の外方
に配置されている。
に沿って配置されるとともに、下部が外方に屈曲して形
成されている。前記洗浄液受け部材２１は、断面矩形状
に形成され溝ローラ７ｂ，７ｃに沿って前記ガイド板２
０の下端部の直下に配されるとともに、ワイヤ８の外方
に配置されている。
【００２３】このように構成された本形態のワイヤ式切
断加工装置１の作用について、以下に説明する。
断加工装置１の作用について、以下に説明する。
【００２４】本形態のワイヤ式切断加工装置１により被
切断部材９を切断加工するには、ワイヤ走行装置３を作
動させてワイヤ８を交互に逆方向に走行させる。そし
て、加工液供給装置５のポンプを作動させて、加工液タ
ンク内の砥粒を含む加工液Ｌを各加工液供給ノズル１５
から散布するとともに、洗浄液供給装置６の洗浄液用ポ
ンプを作動させて、純水等の洗浄液Ｓを各洗浄液供給ノ
ズル１６から散布する。この状態で、押付装置４を作動
させて被切断部材９を下降させ、水平方向に往復走行さ
せられているワイヤ８に上方から押し付けると、加工液
Ｌが付着したワイヤ８によって被切断部材９が切断され
る。
切断部材９を切断加工するには、ワイヤ走行装置３を作
動させてワイヤ８を交互に逆方向に走行させる。そし
て、加工液供給装置５のポンプを作動させて、加工液タ
ンク内の砥粒を含む加工液Ｌを各加工液供給ノズル１５
から散布するとともに、洗浄液供給装置６の洗浄液用ポ
ンプを作動させて、純水等の洗浄液Ｓを各洗浄液供給ノ
ズル１６から散布する。この状態で、押付装置４を作動
させて被切断部材９を下降させ、水平方向に往復走行さ
せられているワイヤ８に上方から押し付けると、加工液
Ｌが付着したワイヤ８によって被切断部材９が切断され
る。
【００２５】このとき、高速回転する溝ローラ７ｂ，７
ｃは、常に洗浄液供給装置６によって供給される洗浄液
Ｓで冷却され、熱膨張が抑制されて安定したワイヤ８の
位置精度が得られる。また、溝ローラ７ｂ，７ｃに付着
する加工液Ｌを洗浄液Ｓで洗い流すことにより、加工液
Ｌに含まれる砥粒で溝ローラ７ｂ，７ｃの表面が研磨さ
れることを防ぐことができる。
ｃは、常に洗浄液供給装置６によって供給される洗浄液
Ｓで冷却され、熱膨張が抑制されて安定したワイヤ８の
位置精度が得られる。また、溝ローラ７ｂ，７ｃに付着
する加工液Ｌを洗浄液Ｓで洗い流すことにより、加工液
Ｌに含まれる砥粒で溝ローラ７ｂ，７ｃの表面が研磨さ
れることを防ぐことができる。
【００２６】さらに、溝ローラ７ｂ，７ｃの回転によっ
てその内側方に飛散する洗浄液Ｓをガイド板２０によっ
て溝ローラ７ｂ，７ｃの下方に誘導するので、切断加工
時における洗浄液Ｓの被切断部材９への付着が抑制され
る。また、ガイド板２０によって洗浄液Ｓを下方に流れ
落として、洗浄液受け部材２１に回収するので、加工液
Ｌを含む洗浄液Ｓが他の部材に飛散して付着することを
防ぐことができるとともに、洗浄液Ｓの再循環利用が可
能となる。
てその内側方に飛散する洗浄液Ｓをガイド板２０によっ
て溝ローラ７ｂ，７ｃの下方に誘導するので、切断加工
時における洗浄液Ｓの被切断部材９への付着が抑制され
る。また、ガイド板２０によって洗浄液Ｓを下方に流れ
落として、洗浄液受け部材２１に回収するので、加工液
Ｌを含む洗浄液Ｓが他の部材に飛散して付着することを
防ぐことができるとともに、洗浄液Ｓの再循環利用が可
能となる。
【００２７】なお、本形態においては、ワイヤ８を交互
に逆方向に走行させる形式のワイヤ式切断加工装置１に
ついて説明したが、ワイヤ８を一方向に走行させる形式
のワイヤ式切断加工装置１についても同様に適用するこ
とができる。
に逆方向に走行させる形式のワイヤ式切断加工装置１に
ついて説明したが、ワイヤ８を一方向に走行させる形式
のワイヤ式切断加工装置１についても同様に適用するこ
とができる。
【００２８】また、洗浄液供給装置６を切断加工中、常
に作動させて洗浄液Ｓを供給したが、溝ローラ７ｂ，７
ｃの温度および加工液Ｌの付着度合いに応じて、連続的
でなく適宜間欠的に供給しても構わない。
に作動させて洗浄液Ｓを供給したが、溝ローラ７ｂ，７
ｃの温度および加工液Ｌの付着度合いに応じて、連続的
でなく適宜間欠的に供給しても構わない。
【００２９】
【発明の効果】本発明によれば、以下の効果を奏する。 （１）請求項１記載のワイヤ式切断加工装置によれば、
洗浄液供給装置によって溝ローラに洗浄液を供給して溝
ローラに付着した加工液を洗い流すことにより、加工液
による溝ローラ表面の劣化が防止され、溝ローラの高寿
命化を図ることができる。また、洗浄液によって溝ロー
ラが冷却され、熱膨張が抑制されて安定したワイヤの位
置精度が得られることにより、切断加工精度の向上を図
ることができる。
洗浄液供給装置によって溝ローラに洗浄液を供給して溝
ローラに付着した加工液を洗い流すことにより、加工液
による溝ローラ表面の劣化が防止され、溝ローラの高寿
命化を図ることができる。また、洗浄液によって溝ロー
ラが冷却され、熱膨張が抑制されて安定したワイヤの位
置精度が得られることにより、切断加工精度の向上を図
ることができる。
【００３０】（２）請求項２記載のワイヤ式切断加工装
置によれば、溝ローラの回転によって被切断部材側に飛
散する洗浄液をガイド板によって溝ローラの下方に誘導
するので、切断加工時における洗浄液の被切断部材への
付着が抑制され、良好な切断加工を得ることができる。
また、ガイド板によって洗浄液を下方に流れ落として、
洗浄液受け部材に回収するので、加工液を含む洗浄液が
他の部材に飛散して付着することを防止して、装置の良
好な状態を維持することができるとともに、回収した洗
浄液の再循環利用が可能となり、洗浄液の使用量を低減
することができる。
置によれば、溝ローラの回転によって被切断部材側に飛
散する洗浄液をガイド板によって溝ローラの下方に誘導
するので、切断加工時における洗浄液の被切断部材への
付着が抑制され、良好な切断加工を得ることができる。
また、ガイド板によって洗浄液を下方に流れ落として、
洗浄液受け部材に回収するので、加工液を含む洗浄液が
他の部材に飛散して付着することを防止して、装置の良
好な状態を維持することができるとともに、回収した洗
浄液の再循環利用が可能となり、洗浄液の使用量を低減
することができる。
【図１】本発明に係るワイヤ式切断加工装置の一形態を
示す切断機構と押付装置の正面図である。
示す切断機構と押付装置の正面図である。
【図２】図１のワイヤ式切断加工装置の溝ローラの上方
に配される洗浄液供給ノズルと下方に配される洗浄液受
け部材とを示す斜視図である。
に配される洗浄液供給ノズルと下方に配される洗浄液受
け部材とを示す斜視図である。
【図３】図１のワイヤ式切断加工装置の溝ローラの上方
に配される洗浄液供給ノズルと下方に配される洗浄液受
け部材とを示す正面図である。
に配される洗浄液供給ノズルと下方に配される洗浄液受
け部材とを示す正面図である。
【図４】本発明に係るワイヤ式切断加工装置の一形態に
おける加工液供給ノズルおよび洗浄液供給ノズルを示す
断面図である。
おける加工液供給ノズルおよび洗浄液供給ノズルを示す
断面図である。
１ ワイヤ式切断加工装置 ３ ワイヤ走行装置 ４ 押付装置 ５ 加工液供給装置 ６ 洗浄液供給装置 ７ａ，７ｂ，７ｃ 溝ローラ ８ ワイヤ ９ 被切断部材 １５ 加工液供給ノズル １６ 洗浄液供給ノズル（供給口） ２０ ガイド板 ２１ 洗浄液受け部材 Ａ 切断加工域 Ｌ 加工液 Ｓ 洗浄液
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 坂本 敦 埼玉県大宮市桜木町１丁目７番５号 ソニ ックシティビル21階 三菱マテリアル株式 会社生野製作所大宮事務所内 (72)発明者 内田 高広 埼玉県大宮市桜木町１丁目７番５号 ソニ ックシティビル21階 三菱マテリアル株式 会社生野製作所大宮事務所内
Claims (2)
- 【請求項１】 複数の溝ローラの間に張設されたワイヤ
をワイヤ走行装置によって所定速度で走行させながら、
被切断部材を押付装置によって上記ワイヤに押し付ける
とともに、加工液供給装置から前記被切断部材の切断加
工部に砥粒を含む加工液を供給しつつ前記被切断部材を
切断加工するワイヤ式切断加工装置であって、 洗浄液を溝ローラの表面に供給する洗浄液供給装置を具
備することを特徴とするワイヤ式切断加工装置。 - 【請求項２】 請求項１記載のワイヤ式切断加工装置に
おいて、 前記洗浄液供給装置は、その供給口が前記溝ローラの上
方に配され、 前記被切断部材の切断加工域とこれに隣接する溝ローラ
との間には、溝ローラから飛散する前記洗浄液を溝ロー
ラの下方に誘導するガイド板が設けられ、 該ガイド板の下方には、ガイド板によって誘導され下方
に流れ落ちる洗浄液を受けて回収する洗浄液受け部材が
設けられていることを特徴とするワイヤ式切断加工装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP441396A JPH09193140A (ja) | 1996-01-12 | 1996-01-12 | ワイヤ式切断加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP441396A JPH09193140A (ja) | 1996-01-12 | 1996-01-12 | ワイヤ式切断加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09193140A true JPH09193140A (ja) | 1997-07-29 |
Family
ID=11583629
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP441396A Withdrawn JPH09193140A (ja) | 1996-01-12 | 1996-01-12 | ワイヤ式切断加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09193140A (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1996
- 1996-01-12 JP JP441396A patent/JPH09193140A/ja not_active Withdrawn
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