JP2000094298A - ワイヤソー - Google Patents
ワイヤソーInfo
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- roller
- lead
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
- B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
- B23D57/0053—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of drives for saw wires; of wheel mountings; of wheels
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ワイヤの走行によってメインローラの環状溝
が偏摩耗することなく、ワイヤの１巻毎に１ピッチのリ
ードが与えられるようにすること。 【解決手段】 ３本のメインローラは、ワイヤ列１６の
端部にある２本の圧接側ローラ１２ａ，１２ｂと、下側
のリードローラ１２ｃとからなり、外表面には軸周りに
環状溝Ｇが形成されている。２本の圧接側ローラ１２
ａ，１２ｂは互いに平行に配置されており、リードロー
ラ１２ｃは圧接側ローラ１２ａ，１２ｂと平行な軸に対
して傾斜して配置されており、圧接側ローラ１２ａ，１
２ｂとの間でワイヤに１ピッチのリードを与えるように
なっている。
が偏摩耗することなく、ワイヤの１巻毎に１ピッチのリ
ードが与えられるようにすること。 【解決手段】 ３本のメインローラは、ワイヤ列１６の
端部にある２本の圧接側ローラ１２ａ，１２ｂと、下側
のリードローラ１２ｃとからなり、外表面には軸周りに
環状溝Ｇが形成されている。２本の圧接側ローラ１２
ａ，１２ｂは互いに平行に配置されており、リードロー
ラ１２ｃは圧接側ローラ１２ａ，１２ｂと平行な軸に対
して傾斜して配置されており、圧接側ローラ１２ａ，１
２ｂとの間でワイヤに１ピッチのリードを与えるように
なっている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体材料、磁性
体等の硬脆性材料のワークと走行するワイヤ列とを圧接
させ、ラッピング作用によってワークを薄いスライス片
（ウエハ）に切断するためのワイヤソーの技術分野に属
する。
体等の硬脆性材料のワークと走行するワイヤ列とを圧接
させ、ラッピング作用によってワークを薄いスライス片
（ウエハ）に切断するためのワイヤソーの技術分野に属
する。
【０００２】
【従来の技術】従来のワイヤソーについて、図３に示す
従来のワイヤソーのカバーを除いた側面図を使用して説
明する。このワイヤソーは、ワーク加工部１０と、ワイ
ヤの走行及び装置全体を制御する制御部１００からな
り、基台５０に立設されたコラム６０の一側には、ワー
ク加工部１０とワーク支持機構７０が取付けられてい
る。このワイヤソーのワーク加工部１０は、互いに平行
となるように配置された３本のメインローラ２２ａ，２
２ｂ，２２ｃ間に、１本のワイヤ１４を巻き回して形成
されたワイヤ列１６と、このワイヤ列１６に砥粒を含ん
だ水性又は油性のスラリを供給するスラリノズル１８，
１８からなる。
従来のワイヤソーのカバーを除いた側面図を使用して説
明する。このワイヤソーは、ワーク加工部１０と、ワイ
ヤの走行及び装置全体を制御する制御部１００からな
り、基台５０に立設されたコラム６０の一側には、ワー
ク加工部１０とワーク支持機構７０が取付けられてい
る。このワイヤソーのワーク加工部１０は、互いに平行
となるように配置された３本のメインローラ２２ａ，２
２ｂ，２２ｃ間に、１本のワイヤ１４を巻き回して形成
されたワイヤ列１６と、このワイヤ列１６に砥粒を含ん
だ水性又は油性のスラリを供給するスラリノズル１８，
１８からなる。
【０００３】スラリに含まれる砥粒の粒度は、通常、数
１０ミクロンオーダーであり、スラリの粘度により、ス
ラリは砥粒とともにワイヤ表面に付着してワイヤ列１６
の走行によって、ワークＷ切断面に持ち込まれる。
１０ミクロンオーダーであり、スラリの粘度により、ス
ラリは砥粒とともにワイヤ表面に付着してワイヤ列１６
の走行によって、ワークＷ切断面に持ち込まれる。
【０００４】図４はワーク加工部１０を構成する、メイ
ンローラ２２ａ，２２ｂ，２２ｃの配置状態を示す斜視
図である。互いに平行となるように配置された３本のメ
インローラ２２ａ，２２ｂ，２２ｃの外表面には、環状
溝Ｇが所定のピッチで形成され、これらの環状溝Ｇに案
内されてメインローラ２２ａ，２２ｂ，２２ｃ間に一本
のワイヤ１４が多重に巻回されている。メインローラ２
２ａにはワイヤ送行用モータ２３が連結されており、こ
のモータ２３の駆動によりワイヤ１４を送行させ、他の
メインローラ２２ｂ，２２ｃの回転を伴って、ワイヤ１
４が一方向又は双方向に走行送りされる。メインローラ
２２ａ，２２ｂ間には、各メインローラに対して傾斜し
ていない平行なワイヤ列１６が構成されており、下側の
メインローラ２２ｃにおいてワイヤ１４にリードが与え
られ、１巻毎に１ピッチ分進むようになっている。
ンローラ２２ａ，２２ｂ，２２ｃの配置状態を示す斜視
図である。互いに平行となるように配置された３本のメ
インローラ２２ａ，２２ｂ，２２ｃの外表面には、環状
溝Ｇが所定のピッチで形成され、これらの環状溝Ｇに案
内されてメインローラ２２ａ，２２ｂ，２２ｃ間に一本
のワイヤ１４が多重に巻回されている。メインローラ２
２ａにはワイヤ送行用モータ２３が連結されており、こ
のモータ２３の駆動によりワイヤ１４を送行させ、他の
メインローラ２２ｂ，２２ｃの回転を伴って、ワイヤ１
４が一方向又は双方向に走行送りされる。メインローラ
２２ａ，２２ｂ間には、各メインローラに対して傾斜し
ていない平行なワイヤ列１６が構成されており、下側の
メインローラ２２ｃにおいてワイヤ１４にリードが与え
られ、１巻毎に１ピッチ分進むようになっている。
【０００５】ワイヤ１４にリードを与える構成として
は、メインローラ２２ａ，２２ｃ間、及びメインローラ
２２ｃ，２２ｂ間で、ワイヤ１４の走行をそれぞれ半ピ
ッチずつずらせて全体として１ピッチのずれを得るもの
や、ワイヤ列１６の端部にあるメインローラ２２ａ，２
２ｂのどちらか一方と、下側のメインローラ２２ｃとの
間でワイヤ１４を１ピッチずらせて走行させるものがあ
る。図５（ａ）、図５（ｂ）は、図４のように配置され
たメインローラ２２ａ，２２ｂ，２２ｃを矢印Ａ方向か
ら見た上面図であり、図５（ａ）は、メインローラ２２
ａ，２２ｃ間、及びメインローラ２２ｂ，２２ｃ間でワ
イヤ１４をそれぞれ半ピッチずつずらせたもの、図５
（ｂ）は、メインローラ２２ｂ，２２ｃ間で、ワイヤ１
４を１ピッチずらせたものである。
は、メインローラ２２ａ，２２ｃ間、及びメインローラ
２２ｃ，２２ｂ間で、ワイヤ１４の走行をそれぞれ半ピ
ッチずつずらせて全体として１ピッチのずれを得るもの
や、ワイヤ列１６の端部にあるメインローラ２２ａ，２
２ｂのどちらか一方と、下側のメインローラ２２ｃとの
間でワイヤ１４を１ピッチずらせて走行させるものがあ
る。図５（ａ）、図５（ｂ）は、図４のように配置され
たメインローラ２２ａ，２２ｂ，２２ｃを矢印Ａ方向か
ら見た上面図であり、図５（ａ）は、メインローラ２２
ａ，２２ｃ間、及びメインローラ２２ｂ，２２ｃ間でワ
イヤ１４をそれぞれ半ピッチずつずらせたもの、図５
（ｂ）は、メインローラ２２ｂ，２２ｃ間で、ワイヤ１
４を１ピッチずらせたものである。
【０００６】一対のリール１０１にはそれぞれリール回
転用モータ１０２が連結され、これらのリール回転用モ
ータ１０２及びワイヤ送行用モータ２３の回転方向及び
回転速度の制御によってワイヤ１４の繰出し及び巻取り
が行なわれると、同時にワーク加工部１０でワイヤ列１
６が所定の速度で走行する。繰出されたワイヤ１４は、
トラバース機構１０４によって上下にトラバースされ、
さらに張力付与機構１０６によって張力が与えられて、
ワーク加工部１０に案内される。従ってワーク加工部１
０のワイヤ列１６にも、切断に必要な所定の張力が、常
に与えられている。
転用モータ１０２が連結され、これらのリール回転用モ
ータ１０２及びワイヤ送行用モータ２３の回転方向及び
回転速度の制御によってワイヤ１４の繰出し及び巻取り
が行なわれると、同時にワーク加工部１０でワイヤ列１
６が所定の速度で走行する。繰出されたワイヤ１４は、
トラバース機構１０４によって上下にトラバースされ、
さらに張力付与機構１０６によって張力が与えられて、
ワーク加工部１０に案内される。従ってワーク加工部１
０のワイヤ列１６にも、切断に必要な所定の張力が、常
に与えられている。
【０００７】コラム６０に取付けられたワーク保持機構
７０は、ワイヤ列１６に対して昇降移動が可能であり、
硬脆性材料からなるワークＷが保持されている。ワーク
保持機構７０に保持されたワークＷが下降して、走行す
るワイヤ列１６に押し付けられて接触する。このとき、
ワイヤ列１６にはスラリノズル１８から砥粒を含むスラ
リが供給される。砥粒を含むスラリがワークＷの切断面
に持ち込まれて、ラッピング作用によってワークＷの切
断が比較的長時間をかけて行なわれる。
７０は、ワイヤ列１６に対して昇降移動が可能であり、
硬脆性材料からなるワークＷが保持されている。ワーク
保持機構７０に保持されたワークＷが下降して、走行す
るワイヤ列１６に押し付けられて接触する。このとき、
ワイヤ列１６にはスラリノズル１８から砥粒を含むスラ
リが供給される。砥粒を含むスラリがワークＷの切断面
に持ち込まれて、ラッピング作用によってワークＷの切
断が比較的長時間をかけて行なわれる。
【０００８】リール回転用モータ１０２によってリール
１０１の回転方向を反転させて、ワーク加工部のワイヤ
列の走行方向を正逆反転させることができる。
１０１の回転方向を反転させて、ワーク加工部のワイヤ
列の走行方向を正逆反転させることができる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上記のワイヤソーのワ
イヤ１４には、１巻毎に１ピッチのリードが与えられて
いるため、図５（ａ）ではメインローラ２２ａ，２２ｃ
間、及びメインローラ２２ｂ，２２ｃ間において、図５
（ｂ）ではメインローラ２２ｂ，２２ｃ間において、図
中の点線で示すように、環状溝Ｇに対してワイヤ１４が
斜めに走行する。このようなワイヤ１４の斜め走行によ
って、図５（ａ）では全てのメインローラ２２ａ，２２
ｂ，２２ｃの環状溝Ｇに、図５（ｂ）ではメインローラ
２２ｂ，２２ｃの環状溝Ｇに偏摩耗が生じ、その結果、
ワイヤ間のピッチや張力が変動し、ワイヤ１４の走行に
悪影響を与えるばかりでなく、スライス片（ウエハ）の
切断加工精度が低下するという問題がある。
イヤ１４には、１巻毎に１ピッチのリードが与えられて
いるため、図５（ａ）ではメインローラ２２ａ，２２ｃ
間、及びメインローラ２２ｂ，２２ｃ間において、図５
（ｂ）ではメインローラ２２ｂ，２２ｃ間において、図
中の点線で示すように、環状溝Ｇに対してワイヤ１４が
斜めに走行する。このようなワイヤ１４の斜め走行によ
って、図５（ａ）では全てのメインローラ２２ａ，２２
ｂ，２２ｃの環状溝Ｇに、図５（ｂ）ではメインローラ
２２ｂ，２２ｃの環状溝Ｇに偏摩耗が生じ、その結果、
ワイヤ間のピッチや張力が変動し、ワイヤ１４の走行に
悪影響を与えるばかりでなく、スライス片（ウエハ）の
切断加工精度が低下するという問題がある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は、外表面に所定
のピッチで環状溝が形成された３本のメインローラに所
定のピッチで巻き回されたワイヤによって形成されるワ
イヤ列を走行させ、該ワイヤ列とワークとを圧接させて
前記ワークの切断加工を行なうワイヤソーにおいて、前
記３本のメインローラは前記ワイヤ列の端部にある２本
の圧接側ローラと、下側の１本のリードローラとからな
り、前記２本の圧接列ローラは互いに平行に配置され、
前記リードローラは前記２本の圧接列ローラと平行な軸
に対して傾斜して配置され、前記２本の圧接側ローラと
の間で前記ワイヤに１ピッチのリードを与えるようにな
っているワイヤソーによって、前記の課題を解決した。
のピッチで環状溝が形成された３本のメインローラに所
定のピッチで巻き回されたワイヤによって形成されるワ
イヤ列を走行させ、該ワイヤ列とワークとを圧接させて
前記ワークの切断加工を行なうワイヤソーにおいて、前
記３本のメインローラは前記ワイヤ列の端部にある２本
の圧接側ローラと、下側の１本のリードローラとからな
り、前記２本の圧接列ローラは互いに平行に配置され、
前記リードローラは前記２本の圧接列ローラと平行な軸
に対して傾斜して配置され、前記２本の圧接側ローラと
の間で前記ワイヤに１ピッチのリードを与えるようにな
っているワイヤソーによって、前記の課題を解決した。
【００１１】
【作用】本発明では、ワイヤ列の端部にある圧接側ロー
ラに対して、ワイヤにリードを与える下側のリードロー
ラを傾斜させたため、リードローラ部分においてワイヤ
が斜めに走行し、２本の圧接側ローラではワイヤは環状
溝に沿って走行するので、圧接側ローラの環状溝には偏
摩耗が生じない。
ラに対して、ワイヤにリードを与える下側のリードロー
ラを傾斜させたため、リードローラ部分においてワイヤ
が斜めに走行し、２本の圧接側ローラではワイヤは環状
溝に沿って走行するので、圧接側ローラの環状溝には偏
摩耗が生じない。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下に、本発明のワイヤソーのメ
インローラについて説明する。なお、本発明のワイヤソ
ーにおいて、後述するメインローラの配置状態以外の全
体的構造、ワイヤ１４の走行方法、装置全体を制御する
制御部１００、及びこの装置によるワークＷの切断方法
については、従来のものと同一であるので、ここでは説
明を省略する。
インローラについて説明する。なお、本発明のワイヤソ
ーにおいて、後述するメインローラの配置状態以外の全
体的構造、ワイヤ１４の走行方法、装置全体を制御する
制御部１００、及びこの装置によるワークＷの切断方法
については、従来のものと同一であるので、ここでは説
明を省略する。
【００１３】図１は、本発明のワイヤソーに使用される
メインローラ１２ａ，１２ｂ，１２ｃの配置を示す斜視
図であり、図２は図１を矢印Ａ方向から見た上面図であ
る。なお、３本のメインローラ１２ａ，１２ｂ，１２ｃ
を区別するため、以下、ワイヤ列１６の端部ある２本の
ローラ１２ａ，１２ｂを「圧接側ローラ」、ワイヤ１４
にリードを与える下側のローラ１２ｃを「リードロー
ラ」と呼ぶことにする。なお、「下側」というのは、図
１の配置関係を基準にしたものである。これらの圧接側
ローラ１２ａ，１２ｂ、リードローラ１２ｃの外表面に
は、従来のものと同様に、環状溝Ｇが形成されている。
環状溝Ｇの断面形状（図示省略。）には、Ｖ形、Ｕ形、
矩形等があるが、特に限定されない。
メインローラ１２ａ，１２ｂ，１２ｃの配置を示す斜視
図であり、図２は図１を矢印Ａ方向から見た上面図であ
る。なお、３本のメインローラ１２ａ，１２ｂ，１２ｃ
を区別するため、以下、ワイヤ列１６の端部ある２本の
ローラ１２ａ，１２ｂを「圧接側ローラ」、ワイヤ１４
にリードを与える下側のローラ１２ｃを「リードロー
ラ」と呼ぶことにする。なお、「下側」というのは、図
１の配置関係を基準にしたものである。これらの圧接側
ローラ１２ａ，１２ｂ、リードローラ１２ｃの外表面に
は、従来のものと同様に、環状溝Ｇが形成されている。
環状溝Ｇの断面形状（図示省略。）には、Ｖ形、Ｕ形、
矩形等があるが、特に限定されない。
【００１４】ワイヤ列１６の端部の圧接側ローラ１２
ａ，１２ｂは互いに平行に配置されており、下側のリー
ドローラ１２ｃは、軸方向中央部を中心として圧接側ロ
ーラ１２ａ，１２ｂと平行な軸Ｃに対して角度αだけ傾
けられている（図２参照）。この傾斜角αは、リードロ
ーラ１２ｃの環状溝Ｇに沿って案内されたワイヤ１４
に、圧接側ローラ１２ａ，１２ｂとの間で１巻毎に１ピ
ッチのリードを与える大きさであり、環状溝Ｇのピッチ
Ｐやローラ１２ｃにかかるワイヤ１４との接触径Ｄ等の
条件によって、適宜設定される。環状溝ＧのピッチＰが
小さい程、また、接触径Ｄが大きい程、傾斜角αは小さ
く設定できる。傾斜角αが小さい程、リードローラ１２
ｃの環状溝Ｇの偏摩耗が少なくなるから、両圧接側ロー
ラ１２ａ，１２ｂ間の間隔を狭く配置したり、リードロ
ーラ１２ｃのローラ径を大きくしたりして、接触径Ｄが
大きくなるようにするとよい。
ａ，１２ｂは互いに平行に配置されており、下側のリー
ドローラ１２ｃは、軸方向中央部を中心として圧接側ロ
ーラ１２ａ，１２ｂと平行な軸Ｃに対して角度αだけ傾
けられている（図２参照）。この傾斜角αは、リードロ
ーラ１２ｃの環状溝Ｇに沿って案内されたワイヤ１４
に、圧接側ローラ１２ａ，１２ｂとの間で１巻毎に１ピ
ッチのリードを与える大きさであり、環状溝Ｇのピッチ
Ｐやローラ１２ｃにかかるワイヤ１４との接触径Ｄ等の
条件によって、適宜設定される。環状溝ＧのピッチＰが
小さい程、また、接触径Ｄが大きい程、傾斜角αは小さ
く設定できる。傾斜角αが小さい程、リードローラ１２
ｃの環状溝Ｇの偏摩耗が少なくなるから、両圧接側ロー
ラ１２ａ，１２ｂ間の間隔を狭く配置したり、リードロ
ーラ１２ｃのローラ径を大きくしたりして、接触径Ｄが
大きくなるようにするとよい。
【００１５】上記のように、傾斜して配置された下側の
リードローラ１２ｃの環状溝Ｇに沿ってワイヤ１４が案
内されると、圧接側ローラ１２ａ，１２ｂとの間で、ワ
イヤ１４に１ピッチのリードが与えられる。圧接側ロー
ラ１２ａ，１２ｂの環状溝Ｇに案内されるワイヤ１４
は、環状溝Ｇに対して斜めに走行することがないため、
圧接側ローラ１２ａ，１２ｂの環状溝Ｇは偏摩耗せず、
その結果、圧接側ローラ１２ａ，１２ｂ間に張り渡され
るワイヤ列１６は常に平行に保持される。従って、圧接
側ローラ１２ａ，１２ｂの寿命が向上するため、リード
ローラ１２ｃだけを適宜交換すればよいことになる。
リードローラ１２ｃの環状溝Ｇに沿ってワイヤ１４が案
内されると、圧接側ローラ１２ａ，１２ｂとの間で、ワ
イヤ１４に１ピッチのリードが与えられる。圧接側ロー
ラ１２ａ，１２ｂの環状溝Ｇに案内されるワイヤ１４
は、環状溝Ｇに対して斜めに走行することがないため、
圧接側ローラ１２ａ，１２ｂの環状溝Ｇは偏摩耗せず、
その結果、圧接側ローラ１２ａ，１２ｂ間に張り渡され
るワイヤ列１６は常に平行に保持される。従って、圧接
側ローラ１２ａ，１２ｂの寿命が向上するため、リード
ローラ１２ｃだけを適宜交換すればよいことになる。
【００１６】以上に説明した本発明のワイヤソーは、ワ
イヤ列に砥粒を含むスラリを供給しながら切断を行なう
ワイヤソーに、下側のメインローラの軸を傾斜させた構
成を適用したものであるが、本発明は、表面にダイヤモ
ンド砥粒を電着させたワイヤを使用して切断を行なう
「ダイヤモンドワイヤソー」にも適用することができる
ことは当然である。
イヤ列に砥粒を含むスラリを供給しながら切断を行なう
ワイヤソーに、下側のメインローラの軸を傾斜させた構
成を適用したものであるが、本発明は、表面にダイヤモ
ンド砥粒を電着させたワイヤを使用して切断を行なう
「ダイヤモンドワイヤソー」にも適用することができる
ことは当然である。
【００１７】なお、ワイヤ列とワークの間の圧接は、ワ
ークがワイヤ列に押し付けられる場合と、逆に、ワイヤ
列がワークに押し付けられる場合とがある。
ークがワイヤ列に押し付けられる場合と、逆に、ワイヤ
列がワークに押し付けられる場合とがある。
【００１８】
【発明の効果】本発明によれば、２本の圧接側ローラに
対して、下側のリードローラをワイヤの１巻毎に１ピッ
チのリードを与える傾斜角を持って配置するという簡単
な構成によって、ローラ間に巻回されたワイヤが圧接側
ローラの環状溝に対して斜めに走行することがなくな
り、その結果、圧接側ローラの環状溝の偏摩耗がなくな
る効果がある。従って、圧接側ローラの寿命を長くする
ことができ、リードローラだけを適宜交換すればよいこ
とになる。また、長時間の使用においても圧接側ローラ
の環状溝のピッチが変動することがないので、ワークの
加工精度と加工効率が向上する効果がある。
対して、下側のリードローラをワイヤの１巻毎に１ピッ
チのリードを与える傾斜角を持って配置するという簡単
な構成によって、ローラ間に巻回されたワイヤが圧接側
ローラの環状溝に対して斜めに走行することがなくな
り、その結果、圧接側ローラの環状溝の偏摩耗がなくな
る効果がある。従って、圧接側ローラの寿命を長くする
ことができ、リードローラだけを適宜交換すればよいこ
とになる。また、長時間の使用においても圧接側ローラ
の環状溝のピッチが変動することがないので、ワークの
加工精度と加工効率が向上する効果がある。
【図１】 本発明のワイヤソーのメインローラの配置状
態を示す斜視図。
態を示す斜視図。
【図２】 図１を矢印Ａ方向から見た上面図。
【図３】 従来のワイヤソーの構造を示すカバーを除い
た側面図。
た側面図。
【図４】 従来のワイヤソーのメインローラの配置状態
を示す斜視図。
を示す斜視図。
【図５】 図４を矢印Ａ方向から見た上面図であり、図
５（ａ）は下側のメインローラで上両側のメインローラ
に対して半ピッチずつのリードを与える場合、図５
（ｂ）は、下側のメインローラで上側の一方のメインロ
ーラに対して１ピッチのリードを与える場合の説明図。
５（ａ）は下側のメインローラで上両側のメインローラ
に対して半ピッチずつのリードを与える場合、図５
（ｂ）は、下側のメインローラで上側の一方のメインロ
ーラに対して１ピッチのリードを与える場合の説明図。
１２ａ，１２ｂ：圧接側ローラ（メインローラ） １２ｃ：リードローラ（メインローラ） １４：ワイヤ １６：ワイヤ列 Ｗ：ワーク Ｇ：環状溝 Ｐ：環状溝のピッチ
Claims (1)
- 【請求項１】 外表面に所定のピッチで環状溝が形成さ
れた３本のメインローラに所定のピッチで巻き回された
ワイヤによって形成されるワイヤ列を走行させ、該ワイ
ヤ列とワークとを圧接させて前記ワークの切断加工を行
なうワイヤソーにおいて、 前記３本のメインローラは前記ワイヤ列の端部にある２
本の圧接側ローラと、下側の１本のリードローラとから
なり、 前記２本の圧接列ローラは互いに平行に配置され、 前記リードローラは前記２本の圧接列ローラと平行な軸
に対して傾斜して配置され、前記２本の圧接側ローラと
の間で前記ワイヤに１ピッチのリードを与えるようにな
っていることを特徴とする、 ワイヤソー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28867498A JP2000094298A (ja) | 1998-09-28 | 1998-09-28 | ワイヤソー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28867498A JP2000094298A (ja) | 1998-09-28 | 1998-09-28 | ワイヤソー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000094298A true JP2000094298A (ja) | 2000-04-04 |
Family
ID=17733226
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28867498A Withdrawn JP2000094298A (ja) | 1998-09-28 | 1998-09-28 | ワイヤソー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000094298A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008122564A1 (de) * | 2007-04-04 | 2008-10-16 | Siemens Aktiengesellschaft | Drahtsäge und verfahren zur herstellung einer drahtsäge |
| CN109648723A (zh) * | 2019-02-03 | 2019-04-19 | 玉田县昌通电子有限公司 | 一种多线切割机用的刀架及其多线切割机 |
| CN114227960A (zh) * | 2021-11-17 | 2022-03-25 | 青岛高测科技股份有限公司 | 一种用于金刚线多线切割机的放电四辊机构 |
| CN114274382A (zh) * | 2021-11-17 | 2022-04-05 | 青岛高测科技股份有限公司 | 一种三辊金刚线多线切割机的走线结构 |
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1998
- 1998-09-28 JP JP28867498A patent/JP2000094298A/ja not_active Withdrawn
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