JPH064219B2 - ワイヤ式切断加工装置の溝ロ−ラ駆動方法 - Google Patents
ワイヤ式切断加工装置の溝ロ−ラ駆動方法Info
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- JPH064219B2 JPH064219B2 JP60023157A JP2315785A JPH064219B2 JP H064219 B2 JPH064219 B2 JP H064219B2 JP 60023157 A JP60023157 A JP 60023157A JP 2315785 A JP2315785 A JP 2315785A JP H064219 B2 JPH064219 B2 JP H064219B2
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- groove roller
- cut
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
- B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
- B23D57/0053—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of drives for saw wires; of wheel mountings; of wheels
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/04—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools
- B28D5/045—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools by cutting with wires or closed-loop blades
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 この発明は半導体材料、磁性材料、セラミツクス等のい
わゆる脆性材料（以下「被切断部材」という）をワイヤ
によりウエハ状に切断（切込みを含む）するワイヤ式切
断加工装置に係り、特に被切断部材の切断加工部におけ
る溝ローラの駆動方法に関する。
わゆる脆性材料（以下「被切断部材」という）をワイヤ
によりウエハ状に切断（切込みを含む）するワイヤ式切
断加工装置に係り、特に被切断部材の切断加工部におけ
る溝ローラの駆動方法に関する。
従来技術とその問題点 半導体材料等の被切断部材をワイヤによりウエハ状に切
断する方法は、基本的には走行するワイヤ被切断部材を
押し付けつつ切断する方法であり、既知の技術である。
最近では同一素材を同一寸法に多数枚切断できるワイヤ
ソーが多用されている。
断する方法は、基本的には走行するワイヤ被切断部材を
押し付けつつ切断する方法であり、既知の技術である。
最近では同一素材を同一寸法に多数枚切断できるワイヤ
ソーが多用されている。
通常、ワイヤソーの切断方法は、ワイヤを３ないし４本
の溝ローラ相互間にわたって任意設定間隔で平行に張設
し、このワイヤ部分に被切断部材を押し当てながらワイ
ヤを走行させるとともにこの部分に砥粒を含む加工液を
供給することにより、いわゆるラッピング作用を行なわ
せて切断するものである。このような方式のワイヤソー
としては、例えば特公昭52-12954公報、特開昭52-98291
号公報、特開昭55-70545号公報、特公昭56-198号公報等
に開示されている。
の溝ローラ相互間にわたって任意設定間隔で平行に張設
し、このワイヤ部分に被切断部材を押し当てながらワイ
ヤを走行させるとともにこの部分に砥粒を含む加工液を
供給することにより、いわゆるラッピング作用を行なわ
せて切断するものである。このような方式のワイヤソー
としては、例えば特公昭52-12954公報、特開昭52-98291
号公報、特開昭55-70545号公報、特公昭56-198号公報等
に開示されている。
第３図は従来のワイヤソーの基本的な装置構成例を示す
概略図であり、平行に配置された３本の溝ローラ(1-1)
〜(1-3)に所定の間隔で切断用ワイヤ(2)が張設され、被
切断部材(W)の上方に配設された加工液供給ノズル(3)か
ら砥粒を含む加工液(6)が供給されるようになってお
り、被切断部材(W)の切断加工部における溝ローラの駆
動は、上方の溝ローラ(1-1)をモータ(4)にて駆動し、残
りの溝ローラ(1-2)(1-3)はワイヤ列との摩擦力により追
随回転させる方式がとられている。
概略図であり、平行に配置された３本の溝ローラ(1-1)
〜(1-3)に所定の間隔で切断用ワイヤ(2)が張設され、被
切断部材(W)の上方に配設された加工液供給ノズル(3)か
ら砥粒を含む加工液(6)が供給されるようになってお
り、被切断部材(W)の切断加工部における溝ローラの駆
動は、上方の溝ローラ(1-1)をモータ(4)にて駆動し、残
りの溝ローラ(1-2)(1-3)はワイヤ列との摩擦力により追
随回転させる方式がとられている。
しかるに、上記のごとく複数本の溝ローラのうちの一つ
をモータで駆動し、残りの溝ローラを従動式とした従来
の溝ローラ駆動方法では、被切断部材(W)の両サイドに
位置する加工用の溝ローラ(1-2)(1-3)に比較して駆動用
の溝ローラ(1-1)は多条ワイヤの張力差によるワイヤと
溝ローラのすべりが大きく、それにより生じる摩耗によ
り駆動用溝ローラ(1-1)の寿命が短かくなる欠点があつ
た。
をモータで駆動し、残りの溝ローラを従動式とした従来
の溝ローラ駆動方法では、被切断部材(W)の両サイドに
位置する加工用の溝ローラ(1-2)(1-3)に比較して駆動用
の溝ローラ(1-1)は多条ワイヤの張力差によるワイヤと
溝ローラのすべりが大きく、それにより生じる摩耗によ
り駆動用溝ローラ(1-1)の寿命が短かくなる欠点があつ
た。
発明の目的 この発明は従来の前記問題を解決するためになされたも
ので、被切断部材の切断加工部における溝ローラを一台
の駆動モータに連動させてワイヤ走行速度と各溝ローラ
の周速度を同一速度で回転させることが可能な溝ローラ
駆動方法を提案することを目的とするものである。
ので、被切断部材の切断加工部における溝ローラを一台
の駆動モータに連動させてワイヤ走行速度と各溝ローラ
の周速度を同一速度で回転させることが可能な溝ローラ
駆動方法を提案することを目的とするものである。
発明の構成 この発明に係る溝ローラ駆動方法は、ワイヤを張設する
複数本の溝ローラを一台の駆動モータにて動力伝達手段
を介して回転駆動することを特徴とするものである。
複数本の溝ローラを一台の駆動モータにて動力伝達手段
を介して回転駆動することを特徴とするものである。
すなわちこの発明は、被切断部材の切断加工部における
溝ローラを、一台の駆動モータにて同一周速度で回転さ
せる方法として、すべりの生じない動力伝達手段、例え
ば歯付き車と歯付きベルトを用い、溝ローラを同時に駆
動する方法である。
溝ローラを、一台の駆動モータにて同一周速度で回転さ
せる方法として、すべりの生じない動力伝達手段、例え
ば歯付き車と歯付きベルトを用い、溝ローラを同時に駆
動する方法である。
以下、この発明方法を図面に基づいて説明する。
第１図はこの発明の一実施例を示すもので、３本の溝ロ
ーラ(1-1)〜(1-3)に所定の間隔で張設されたワイヤ(2)
と被切断部材(W)とを相互に接触させつつ、加工液供給
ノズル(3)より砥粒を含む加工液(6)を供給して切断加工
するワイヤソーにおいて、駆動用溝ローラ(1-1)と２本
の加工用溝ローラ(1-2)(1-3)のそれぞれの回転軸(11-1)
〜(11-3)に、例えば歯付きベルト車(21-1)〜(21-3)を取
付け、この各歯付きベルト車相互間に歯付きベルト(7)
を掛け、一台の駆動モータ(4)の動力を３個の歯付きベ
ルト車(21-1)〜(21-3)と１本の歯付きベルト(7)により
３個の溝ローラ(1-1)〜(1-3)に伝達する方法である。
ーラ(1-1)〜(1-3)に所定の間隔で張設されたワイヤ(2)
と被切断部材(W)とを相互に接触させつつ、加工液供給
ノズル(3)より砥粒を含む加工液(6)を供給して切断加工
するワイヤソーにおいて、駆動用溝ローラ(1-1)と２本
の加工用溝ローラ(1-2)(1-3)のそれぞれの回転軸(11-1)
〜(11-3)に、例えば歯付きベルト車(21-1)〜(21-3)を取
付け、この各歯付きベルト車相互間に歯付きベルト(7)
を掛け、一台の駆動モータ(4)の動力を３個の歯付きベ
ルト車(21-1)〜(21-3)と１本の歯付きベルト(7)により
３個の溝ローラ(1-1)〜(1-3)に伝達する方法である。
なお、ここでは動力の伝達手段として、歯付きベルト車
および歯付きベルトを列にあげたが、すべりがなく確実
に回転力を伝達する手段としては他に歯車、チエーン等
による伝達手段を用いることができる。
および歯付きベルトを列にあげたが、すべりがなく確実
に回転力を伝達する手段としては他に歯車、チエーン等
による伝達手段を用いることができる。
実施例 第１図に示す装置構成のワイヤソーにより下記の切断条
件でシリコン単結晶を切断したときの駆動用溝ローラの
摩耗状態を第３図に示す従来方式による場合と比較して
第２図に示す。
件でシリコン単結晶を切断したときの駆動用溝ローラの
摩耗状態を第３図に示す従来方式による場合と比較して
第２図に示す。
なお、第２図ａは初期の駆動用溝ローラの溝形状、同図
ｂは従来方式による３回切断後の駆動用溝ローラの溝形
状、同図ｃはこの発明方法による３回切断後の駆動用溝
ローラの溝形状をおれぞれ示す。
ｂは従来方式による３回切断後の駆動用溝ローラの溝形
状、同図ｃはこの発明方法による３回切断後の駆動用溝
ローラの溝形状をおれぞれ示す。
切断条件 切断用ワイヤ：ピアノ線．0.16φ 溝ローラ：超高分子量ポリエチレン製．120φ．溝底巾
0.1mm．台形状溝ピッチ0.7mm ワイヤ走行速度：４００ｍ／mim 被切断部材：シリコン単結晶．φ５″．長さ１００mm 第２図より明らかなごとく、従来の溝ローラ駆動方法で
は張力差によりワイヤと溝ローラ間のすべりが避けられ
ず、駆動用溝ローラの摩耗が大きいのに対し、溝ローラ
を同時に駆動するこの発明方法では、駆動用溝ローラの
摩耗は大巾に軽減された。
0.1mm．台形状溝ピッチ0.7mm ワイヤ走行速度：４００ｍ／mim 被切断部材：シリコン単結晶．φ５″．長さ１００mm 第２図より明らかなごとく、従来の溝ローラ駆動方法で
は張力差によりワイヤと溝ローラ間のすべりが避けられ
ず、駆動用溝ローラの摩耗が大きいのに対し、溝ローラ
を同時に駆動するこの発明方法では、駆動用溝ローラの
摩耗は大巾に軽減された。
発明の効果 上記の実施例からも明らかなごとく、この発明方法によ
れば、駆動用溝ローラ以外の加工用溝ローラも同時に駆
動することができるので、駆動用溝ローラの摩耗を軽減
できると同時に、各溝ローラ相互間に張設されているワ
イヤ列の各々のワイヤ張力バラツキが緩和されて被切断
部材の切断条件のバラツキが小さくなり、切断された薄
板片の平面精度の向上が期待できる。
れば、駆動用溝ローラ以外の加工用溝ローラも同時に駆
動することができるので、駆動用溝ローラの摩耗を軽減
できると同時に、各溝ローラ相互間に張設されているワ
イヤ列の各々のワイヤ張力バラツキが緩和されて被切断
部材の切断条件のバラツキが小さくなり、切断された薄
板片の平面精度の向上が期待できる。
第１図はこの発明の一実施例を示す概略図、第２図は同
上の実施例における駆動用溝ローラの溝形状を示す断面
図で、同図ａは初期の溝形状を、同図ｂは従来方式によ
る溝形状を、同図ｃはこの発明方法による溝形状をそれ
ぞれ示す断面図、第３図は従来のワイヤソーの基本的な
装置構成例を示す概略図である。 1-1〜1-3‥‥溝ローラ、２‥‥ワイヤ、３‥‥加工液供
給ノズル、４‥‥駆動モータ、７‥‥歯付きベルト、11
-1〜11-3‥‥回転軸、21-1〜21-3‥‥歯付きベルト車。
上の実施例における駆動用溝ローラの溝形状を示す断面
図で、同図ａは初期の溝形状を、同図ｂは従来方式によ
る溝形状を、同図ｃはこの発明方法による溝形状をそれ
ぞれ示す断面図、第３図は従来のワイヤソーの基本的な
装置構成例を示す概略図である。 1-1〜1-3‥‥溝ローラ、２‥‥ワイヤ、３‥‥加工液供
給ノズル、４‥‥駆動モータ、７‥‥歯付きベルト、11
-1〜11-3‥‥回転軸、21-1〜21-3‥‥歯付きベルト車。
Claims (1)
- 【請求項１】ワイヤと被切断部材とを相互に接触させつ
つ砥粒を含む加工液を供給して切断加工する方式のワイ
ヤ式切断加工装置において、ワイヤを張設する複数本の
溝ローラを一台の駆動モータにより動力伝達手段を介し
て回転駆動することを特徴とするワイヤ式切断加工装置
の溝ローラ駆動方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60023157A JPH064219B2 (ja) | 1985-02-07 | 1985-02-07 | ワイヤ式切断加工装置の溝ロ−ラ駆動方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60023157A JPH064219B2 (ja) | 1985-02-07 | 1985-02-07 | ワイヤ式切断加工装置の溝ロ−ラ駆動方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61182759A JPS61182759A (ja) | 1986-08-15 |
| JPH064219B2 true JPH064219B2 (ja) | 1994-01-19 |
Family
ID=12102762
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60023157A Expired - Lifetime JPH064219B2 (ja) | 1985-02-07 | 1985-02-07 | ワイヤ式切断加工装置の溝ロ−ラ駆動方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH064219B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2607992B2 (ja) * | 1991-07-18 | 1997-05-07 | 憲一 石川 | 硬質脆性材料の加工装置 |
| ATE200449T1 (de) * | 1993-12-29 | 2001-04-15 | Wifag Maschf | Rotationsdruckmaschine |
| US5896851A (en) * | 1995-04-21 | 1999-04-27 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Wire saw |
| DE29821386U1 (de) | 1998-12-01 | 2000-03-30 | Steiner Andreas | Seilsägemaschine |
| JP5355249B2 (ja) * | 2009-06-29 | 2013-11-27 | 京セラ株式会社 | ワイヤーソー装置 |
| JP5929992B2 (ja) * | 2013-09-30 | 2016-06-08 | キヤノンマーケティングジャパン株式会社 | ワイヤ放電加工装置、ワイヤ放電加工方法 |
| CN106113299A (zh) * | 2016-08-25 | 2016-11-16 | 中国有色桂林矿产地质研究院有限公司 | 环形多线切割机 |
| CN110202709A (zh) * | 2019-07-09 | 2019-09-06 | 深圳市雯逸水晶有限公司 | 一种单晶产品的可调式切割水洗脱胶装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60172460A (ja) * | 1984-02-18 | 1985-09-05 | Kenichi Ishikawa | 偏心多溝滑車式マルチワイヤ−振動切断装置 |
-
1985
- 1985-02-07 JP JP60023157A patent/JPH064219B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60172460A (ja) * | 1984-02-18 | 1985-09-05 | Kenichi Ishikawa | 偏心多溝滑車式マルチワイヤ−振動切断装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61182759A (ja) | 1986-08-15 |
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