JP2000024905A - 固定砥粒付ワイヤ及びワイヤソー - Google Patents
固定砥粒付ワイヤ及びワイヤソーInfo
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- JP2000024905A JP2000024905A JP19913098A JP19913098A JP2000024905A JP 2000024905 A JP2000024905 A JP 2000024905A JP 19913098 A JP19913098 A JP 19913098A JP 19913098 A JP19913098 A JP 19913098A JP 2000024905 A JP2000024905 A JP 2000024905A
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- abrasive grain
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 固定砥粒付ワイヤによる各種ローラの磨耗を
防止するとともに、ワイヤリール内で固定砥粒付ワイヤ
の砥粒や結合剤の剥離を防止する。 【構成】 固定砥粒付ワイヤ１２において、切削に寄与
しない部分には砥粒を固着しないので、安価な固定砥粒
付ワイヤ１２を供給できるとともに、ガイドローラ１
６、ダンサローラ２４Ａ、２４Ｂの磨耗が減少し、ワイ
ヤリール１４Ａ、１４Ｂ内においても固定砥粒付ワイヤ
１２の砥粒や結合剤の剥離が発生しない。更に、ワイヤ
ソー装置内の加工部と、ワイヤリール部の経路の途中に
貯線部２Ａ、２Ｂを設けることにより、固定砥粒付ワイ
ヤ１２の砥粒部分を長く取り、加工の効率を向上するこ
とができる。
防止するとともに、ワイヤリール内で固定砥粒付ワイヤ
の砥粒や結合剤の剥離を防止する。 【構成】 固定砥粒付ワイヤ１２において、切削に寄与
しない部分には砥粒を固着しないので、安価な固定砥粒
付ワイヤ１２を供給できるとともに、ガイドローラ１
６、ダンサローラ２４Ａ、２４Ｂの磨耗が減少し、ワイ
ヤリール１４Ａ、１４Ｂ内においても固定砥粒付ワイヤ
１２の砥粒や結合剤の剥離が発生しない。更に、ワイヤ
ソー装置内の加工部と、ワイヤリール部の経路の途中に
貯線部２Ａ、２Ｂを設けることにより、固定砥粒付ワイ
ヤ１２の砥粒部分を長く取り、加工の効率を向上するこ
とができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は固定砥粒付ワイヤの
構造及び前記固定砥粒付ワイヤを用いたワイヤソーに係
り、特にシリコン、ガラス、セラミックス等の脆性材料
を切断する固定砥粒付ワイヤ及びワイヤソーに関する。
構造及び前記固定砥粒付ワイヤを用いたワイヤソーに係
り、特にシリコン、ガラス、セラミックス等の脆性材料
を切断する固定砥粒付ワイヤ及びワイヤソーに関する。
【０００２】
【従来の技術】棒状の材料（インゴット）を切断して薄
板（ウェーハ）を製造する装置の一つにワイヤソーがあ
る。ワイヤソーは所定のピッチで張架されたワイヤ列を
高速走行させ、そのワイヤ列に被加工物を押し当てるこ
とにより多数枚のウェーハを同時に切断する装置であ
る。
板（ウェーハ）を製造する装置の一つにワイヤソーがあ
る。ワイヤソーは所定のピッチで張架されたワイヤ列を
高速走行させ、そのワイヤ列に被加工物を押し当てるこ
とにより多数枚のウェーハを同時に切断する装置であ
る。
【０００３】このワイヤソーには、遊離砥粒方式による
ものと固定砥粒方式によるものがあり、おのおの次のよ
うに構成されている。遊離砥粒方式によるワイヤソー
は、所定のピッチで張架されたワイヤ列を高速走行さ
せ、ワイヤ列とインゴットの接触部にスラリ（遊離砥粒
を水や油などの研磨液に分散させた加工液）を供給する
ことにより、一種のラッピング作用によってインゴット
を切断する。
ものと固定砥粒方式によるものがあり、おのおの次のよ
うに構成されている。遊離砥粒方式によるワイヤソー
は、所定のピッチで張架されたワイヤ列を高速走行さ
せ、ワイヤ列とインゴットの接触部にスラリ（遊離砥粒
を水や油などの研磨液に分散させた加工液）を供給する
ことにより、一種のラッピング作用によってインゴット
を切断する。
【０００４】一方、固定砥粒方式によるワイヤソーは、
ワイヤ全長にわたり表面に砥粒が固着されたワイヤを用
いてワイヤ列を形成し、そのワイヤ列を高速走行させる
ことによりインゴットを切断する。現在、一般に使用さ
れているワイヤソーは遊離砥粒方式によるものである
が、この遊離砥粒方式によるワイヤソーは、スラリを用
いた切断であるため、遊離砥粒の扱いが面倒であり、更
に遊離砥粒の飛散などにより作業環境が悪いという欠点
がある。この点、固定砥粒方式によるワイヤソーでは、
スラリを用いていないため、比較的清潔な環境でインゴ
ットの切断を行うことができる。
ワイヤ全長にわたり表面に砥粒が固着されたワイヤを用
いてワイヤ列を形成し、そのワイヤ列を高速走行させる
ことによりインゴットを切断する。現在、一般に使用さ
れているワイヤソーは遊離砥粒方式によるものである
が、この遊離砥粒方式によるワイヤソーは、スラリを用
いた切断であるため、遊離砥粒の扱いが面倒であり、更
に遊離砥粒の飛散などにより作業環境が悪いという欠点
がある。この点、固定砥粒方式によるワイヤソーでは、
スラリを用いていないため、比較的清潔な環境でインゴ
ットの切断を行うことができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、固定砥
粒方式によるワイヤソーでは、直接固定砥粒がワイヤに
固着された構成であるため、ワイヤに固着した固定砥粒
によってワイヤソー装置内のダンサローラ、ガイドロー
ラの磨耗量が増大する。また、ワイヤリール内において
固定砥粒付ワイヤ同士が擦れ合って、砥粒や結合剤が剥
がれてしまうという欠点がある。
粒方式によるワイヤソーでは、直接固定砥粒がワイヤに
固着された構成であるため、ワイヤに固着した固定砥粒
によってワイヤソー装置内のダンサローラ、ガイドロー
ラの磨耗量が増大する。また、ワイヤリール内において
固定砥粒付ワイヤ同士が擦れ合って、砥粒や結合剤が剥
がれてしまうという欠点がある。
【０００６】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、固定砥粒付ワイヤによるガイドローラ、ダンサ
ローラの磨耗を防止するとともに、ワイヤリール内にお
いて固定砥粒付ワイヤの砥粒や結合剤の剥離を防止する
ことを目的とする。
もので、固定砥粒付ワイヤによるガイドローラ、ダンサ
ローラの磨耗を防止するとともに、ワイヤリール内にお
いて固定砥粒付ワイヤの砥粒や結合剤の剥離を防止する
ことを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は前記目的を達成
するために、表面に砥粒が固着された固定砥粒付ワイヤ
を走行させながら被加工物を押し当てることにより、該
被加工物を切断する固定砥粒ワイヤソーにおいて、前記
固定砥粒付ワイヤの両端部分に、固定砥粒が固着されて
いない部分を設けたことを特徴とする。
するために、表面に砥粒が固着された固定砥粒付ワイヤ
を走行させながら被加工物を押し当てることにより、該
被加工物を切断する固定砥粒ワイヤソーにおいて、前記
固定砥粒付ワイヤの両端部分に、固定砥粒が固着されて
いない部分を設けたことを特徴とする。
【０００８】本発明によれば、固定砥粒付ワイヤの切削
に寄与しない部分には砥粒を固着しないので、安価な固
定砥粒付ワイヤを供給できるとともに、ガイドローラ、
ダンサローラの磨耗が減少し、ワイヤリール内において
も固定砥粒付ワイヤの砥粒や結合剤の剥離が発生しな
い。更に、ワイヤソー装置内の加工部とワイヤリールの
経路の途中に、前記固定砥粒付ワイヤの砥粒が付着した
部分を巻き取る貯線部を設けたことにより、固定砥粒付
ワイヤの砥粒の付いた部分を長く構成することが可能と
なり、加工の効率を向上することができる。
に寄与しない部分には砥粒を固着しないので、安価な固
定砥粒付ワイヤを供給できるとともに、ガイドローラ、
ダンサローラの磨耗が減少し、ワイヤリール内において
も固定砥粒付ワイヤの砥粒や結合剤の剥離が発生しな
い。更に、ワイヤソー装置内の加工部とワイヤリールの
経路の途中に、前記固定砥粒付ワイヤの砥粒が付着した
部分を巻き取る貯線部を設けたことにより、固定砥粒付
ワイヤの砥粒の付いた部分を長く構成することが可能と
なり、加工の効率を向上することができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
る固定砥粒付ワイヤ及びワイヤソーの好ましい形態につ
いて説明する。図１、図２は、本考案に係る固定砥粒付
ワイヤの側面図である。次に、図に示した固定砥粒付ワ
イヤ１２の構造について説明する。
る固定砥粒付ワイヤ及びワイヤソーの好ましい形態につ
いて説明する。図１、図２は、本考案に係る固定砥粒付
ワイヤの側面図である。次に、図に示した固定砥粒付ワ
イヤ１２の構造について説明する。
【００１０】図１に示されるように、本考案に係る固定
砥粒付ワイヤは、固定砥粒が固着されていない部分３２
と、固定砥粒付部分３３とから構成されている。砥粒は
ワイヤの中央部に、たとえば数Ｋｍにわたって固着さ
れ、その両端に砥粒が固着されていない部分が数Ｋｍ設
けられている。図２に示される本考案に係る固定砥粒付
ワイヤは、全長にわたって固定砥粒を固着した固定砥粒
付ワイヤ３３の両端に固定砥粒が固着されていないワイ
ヤ３２を溶接部３６Ａ、３６Ｂにより接続した構造であ
ることを示している。
砥粒付ワイヤは、固定砥粒が固着されていない部分３２
と、固定砥粒付部分３３とから構成されている。砥粒は
ワイヤの中央部に、たとえば数Ｋｍにわたって固着さ
れ、その両端に砥粒が固着されていない部分が数Ｋｍ設
けられている。図２に示される本考案に係る固定砥粒付
ワイヤは、全長にわたって固定砥粒を固着した固定砥粒
付ワイヤ３３の両端に固定砥粒が固着されていないワイ
ヤ３２を溶接部３６Ａ、３６Ｂにより接続した構造であ
ることを示している。
【００１１】図３は、表面に砥粒が固着された固定砥粒
付ワイヤを複数個のグルーブローラに巻き付けてワイヤ
列を形成し、該ワイヤを走行させながら被加工物である
インゴットをワイヤ列に押し当てることにより、インゴ
ットを多数のウェーハに切断する装置のワイヤ経路を示
した例である。図３に示すように、本考案による固定砥
粒ワイヤソーのワイヤ経路は、ワイヤ巻き取り部１Ａ、
１Ｂと、貯線部２Ａ、２Ｂと、加工部３とから構成され
ている。
付ワイヤを複数個のグルーブローラに巻き付けてワイヤ
列を形成し、該ワイヤを走行させながら被加工物である
インゴットをワイヤ列に押し当てることにより、インゴ
ットを多数のウェーハに切断する装置のワイヤ経路を示
した例である。図３に示すように、本考案による固定砥
粒ワイヤソーのワイヤ経路は、ワイヤ巻き取り部１Ａ、
１Ｂと、貯線部２Ａ、２Ｂと、加工部３とから構成され
ている。
【００１２】ワイヤ巻き取り部１Ａ、１Ｂにおいて、固
定砥粒付ワイヤ１２は、一対のワイヤリール１４Ａ、１
４Ｂに巻回されており、固定砥粒付ワイヤ１２は、この
一対のワイヤリール１４Ａ、１４Ｂ間を複数のガイドロ
ーラ１６、１６…にガイドされながら往復走行する。図
３に示した構造例においては、ワイヤ走行路にはそれぞ
れトラバース装置２２Ａ、２２Ｂ、ダンサローラ２４
Ａ、２４Ｂが配置されている。トラバース装置２２Ａ、
２２Ｂは、ワイヤリール１４Ａ、１４Ｂから固定砥粒付
ワイヤ１２を一定間隔で案内し、また、ダンサローラ２
４Ａ、２４Ｂは走行する固定砥粒付ワイヤ１２に一定の
張力を付与する。前記一対のワイヤリール１４Ａ、１４
Ｂには、それぞれモータ２６Ａ、２６Ｂが連結されてお
り、このモータを駆動することにより、前記固定砥粒付
ワイヤ１２が一対のワイヤリール１４Ａ、１４Ｂ間を走
行する。
定砥粒付ワイヤ１２は、一対のワイヤリール１４Ａ、１
４Ｂに巻回されており、固定砥粒付ワイヤ１２は、この
一対のワイヤリール１４Ａ、１４Ｂ間を複数のガイドロ
ーラ１６、１６…にガイドされながら往復走行する。図
３に示した構造例においては、ワイヤ走行路にはそれぞ
れトラバース装置２２Ａ、２２Ｂ、ダンサローラ２４
Ａ、２４Ｂが配置されている。トラバース装置２２Ａ、
２２Ｂは、ワイヤリール１４Ａ、１４Ｂから固定砥粒付
ワイヤ１２を一定間隔で案内し、また、ダンサローラ２
４Ａ、２４Ｂは走行する固定砥粒付ワイヤ１２に一定の
張力を付与する。前記一対のワイヤリール１４Ａ、１４
Ｂには、それぞれモータ２６Ａ、２６Ｂが連結されてお
り、このモータを駆動することにより、前記固定砥粒付
ワイヤ１２が一対のワイヤリール１４Ａ、１４Ｂ間を走
行する。
【００１３】貯線部２Ａ、２Ｂにおいては、貯線ローラ
３１Ａ、３１Ｂ上に固定砥粒付部分３３と固定砥粒が固
着されていない部分３２の境界がくるように設定されて
いる。貯線ローラ３１Ａ、３１Ｂには、固定砥粒付ワイ
ヤ１２が往復走行した場合においても固定砥粒付ワイヤ
１２の固定砥粒付部分３３が、貯線ローラ３１Ａ、３１
Ｂよりダンサローラ２４Ａ、２４Ｂ側へ送られないよ
う、固定砥粒付ワイヤ１２の砥粒付部付分３３を貯めて
おく。
３１Ａ、３１Ｂ上に固定砥粒付部分３３と固定砥粒が固
着されていない部分３２の境界がくるように設定されて
いる。貯線ローラ３１Ａ、３１Ｂには、固定砥粒付ワイ
ヤ１２が往復走行した場合においても固定砥粒付ワイヤ
１２の固定砥粒付部分３３が、貯線ローラ３１Ａ、３１
Ｂよりダンサローラ２４Ａ、２４Ｂ側へ送られないよ
う、固定砥粒付ワイヤ１２の砥粒付部付分３３を貯めて
おく。
【００１４】そして、加工部３においては、三本のグル
ーブローラ１８、１８、１８に、ワイヤの固定砥粒付部
分３３が巻き掛けられ、水平な固定砥粒付ワイヤ１２の
ワイヤ列２０が形成される。前記ワイヤ列２０の下方に
はワークフィードテーブル２８が設置されている。この
ワークフィードテーブル２８は、前記ワイヤ列２０に対
して垂直に昇降移動し、このワークフィードテーブル２
８の上部に被加工物であるインゴット３０が保持され
る。
ーブローラ１８、１８、１８に、ワイヤの固定砥粒付部
分３３が巻き掛けられ、水平な固定砥粒付ワイヤ１２の
ワイヤ列２０が形成される。前記ワイヤ列２０の下方に
はワークフィードテーブル２８が設置されている。この
ワークフィードテーブル２８は、前記ワイヤ列２０に対
して垂直に昇降移動し、このワークフィードテーブル２
８の上部に被加工物であるインゴット３０が保持され
る。
【００１５】以上のように構成された固定砥粒ワイヤソ
ー１０において、インゴット３０は次のように切断され
る。まず、インゴット３０をワークフィードテーブル２
８に取り付ける。次に、ワイヤリール１４Ａ、１４Ｂに
連結されたモータ２６Ａ、２６Ｂを駆動して、固定砥粒
付ワイヤ１２を走行させる。
ー１０において、インゴット３０は次のように切断され
る。まず、インゴット３０をワークフィードテーブル２
８に取り付ける。次に、ワイヤリール１４Ａ、１４Ｂに
連結されたモータ２６Ａ、２６Ｂを駆動して、固定砥粒
付ワイヤ１２を走行させる。
【００１６】そして、固定砥粒付ワイヤ１２の走行が安
定したところで、ワークフィードテーブル２８をワイヤ
列２０に向けて上昇させ、インゴット３０を走行するワ
イヤ列２０に押し当てる。ワイヤ列２０に押し当てられ
たインゴット３０は、そのワイヤ列２０を構成する固定
砥粒付ワイヤ１２によって接触部が研削され、これによ
り、ウェーハに切断される。
定したところで、ワークフィードテーブル２８をワイヤ
列２０に向けて上昇させ、インゴット３０を走行するワ
イヤ列２０に押し当てる。ワイヤ列２０に押し当てられ
たインゴット３０は、そのワイヤ列２０を構成する固定
砥粒付ワイヤ１２によって接触部が研削され、これによ
り、ウェーハに切断される。
【００１７】この切断動作において固定砥粒付ワイヤ１
２は往復走行するが、固定砥粒付の部分は、貯線部２
Ａ、２Ｂ間を往復するのみであり、ワイヤ巻き取り部１
Ａ、１Ｂへは到達しない。従って、固定砥粒付ワイヤの
固定砥粒によるガイドローラ１６や、ダンサローラ２４
Ａ、２４Ｂの磨耗を防ぐことが可能となり、ワイヤリー
ル１４Ａ、１４Ｂ内においても固定砥粒付ワイヤの砥粒
や結合材の剥離は発生しない。
２は往復走行するが、固定砥粒付の部分は、貯線部２
Ａ、２Ｂ間を往復するのみであり、ワイヤ巻き取り部１
Ａ、１Ｂへは到達しない。従って、固定砥粒付ワイヤの
固定砥粒によるガイドローラ１６や、ダンサローラ２４
Ａ、２４Ｂの磨耗を防ぐことが可能となり、ワイヤリー
ル１４Ａ、１４Ｂ内においても固定砥粒付ワイヤの砥粒
や結合材の剥離は発生しない。
【００１８】更に、ワイヤソー装置内の加工部３と、ワ
イヤリール部１４Ａ、１４Ｂの経路の途中に設けた貯線
部２Ａ、２Ｂにより、固定砥粒付ワイヤ１２の固定砥粒
付部分３３を長く取ることが可能となり、加工の効率を
向上することができる。なお、本実施の形態では、特に
記載していないが、砥粒としてダイヤモンド、セラミッ
ク、ＳｉＣ、ＣＢＮが一般に知られている。また、砥粒
の固着方法についても、電着、樹脂固定等が知られてい
るが、これらに限定されるものではない。
イヤリール部１４Ａ、１４Ｂの経路の途中に設けた貯線
部２Ａ、２Ｂにより、固定砥粒付ワイヤ１２の固定砥粒
付部分３３を長く取ることが可能となり、加工の効率を
向上することができる。なお、本実施の形態では、特に
記載していないが、砥粒としてダイヤモンド、セラミッ
ク、ＳｉＣ、ＣＢＮが一般に知られている。また、砥粒
の固着方法についても、電着、樹脂固定等が知られてい
るが、これらに限定されるものではない。
【００１９】また、図２に示したワイヤの接続方法につ
いても本実施の形態では溶接による例を示したが、この
方法に限定されるものではない。また、図３に示した本
実施の形態では、本発明による貯線ローラ３１Ａ、３１
Ｂは、各１本で示してあるが、複数設けて貯線量を増す
ことも可能であるし、貯線ローラ等を用いずにグルーブ
ローラ１８と、ガイドローラ１６の間隔を長く確保する
ことでも目的は達成可能である。
いても本実施の形態では溶接による例を示したが、この
方法に限定されるものではない。また、図３に示した本
実施の形態では、本発明による貯線ローラ３１Ａ、３１
Ｂは、各１本で示してあるが、複数設けて貯線量を増す
ことも可能であるし、貯線ローラ等を用いずにグルーブ
ローラ１８と、ガイドローラ１６の間隔を長く確保する
ことでも目的は達成可能である。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る固定
砥粒付ワイヤ及びワイヤソーによれば、固定砥粒付ワイ
ヤの両端に固定砥粒を固着しない部分を設けたことによ
り、切削に寄与しない部分には砥粒を固着しないので、
安価な固定砥粒付ワイヤを供給できるとともに、ガイド
ローラ、ダンサローラの磨耗が減少し、ワイヤリール内
においても固定砥粒付ワイヤの砥粒や結合剤の剥離が発
生しない。更に、ワイヤソー装置内の加工部と、ワイヤ
リール部の経路の途中に貯線部を設けることにより、固
定砥粒付ワイヤの固定砥粒付部分を長く取ることが可能
となり、加工の効率を向上することができる。
砥粒付ワイヤ及びワイヤソーによれば、固定砥粒付ワイ
ヤの両端に固定砥粒を固着しない部分を設けたことによ
り、切削に寄与しない部分には砥粒を固着しないので、
安価な固定砥粒付ワイヤを供給できるとともに、ガイド
ローラ、ダンサローラの磨耗が減少し、ワイヤリール内
においても固定砥粒付ワイヤの砥粒や結合剤の剥離が発
生しない。更に、ワイヤソー装置内の加工部と、ワイヤ
リール部の経路の途中に貯線部を設けることにより、固
定砥粒付ワイヤの固定砥粒付部分を長く取ることが可能
となり、加工の効率を向上することができる。
【図１】本発明の固定砥粒付ワイヤの側面図
【図２】本発明の、固定砥粒を固着していないワイヤと
固定砥粒付ワイヤを接続した場合の側面図
固定砥粒付ワイヤを接続した場合の側面図
【図３】本発明による固定砥粒ワイヤソーのワイヤ経路
構成図
構成図
１Ａ、１Ｂ…ワイヤ巻き取り部 ２Ａ、２Ｂ…貯線部 ３…加工部 １０…固定砥粒ワイヤソー １２…固定砥粒付ワイヤ １４Ａ、１４Ｂ…ワイヤリール ３０…インゴット ３１Ａ、３１Ｂ…貯線ローラ ３２…固定砥粒付ワイヤにおいて固定砥粒が固着されて
いない部分 ３３…固定砥粒付ワイヤにおいて固定砥粒付部分 ３６Ａ、３６Ｂ…溶接部
いない部分 ３３…固定砥粒付ワイヤにおいて固定砥粒付部分 ３６Ａ、３６Ｂ…溶接部
Claims (5)
- 【請求項１】 表面に砥粒が固着された固定砥粒付ワイ
ヤを走行させながら被加工物を押し当てることにより、
該被加工物を切断する固定砥粒ワイヤソーにおいて、 前記固定砥粒付ワイヤの両端部分に、固定砥粒を固着し
ない部分を設けたことを特徴とする固定砥粒付ワイヤ。 - 【請求項２】 前記固定砥粒付ワイヤは、ワイヤの素材
は全体を通して同じ素材により構成され、前記ワイヤの
中央部に固定砥粒を付加したことを特徴とする請求項１
の固定砥粒付ワイヤ。 - 【請求項３】 前記固定砥粒付ワイヤは、固定砥粒付ワ
イヤと、固定砥粒を付着していないワイヤを、接続して
構成したことを特徴とする請求項１の固定砥粒付ワイ
ヤ。 - 【請求項４】 表面に砥粒が固着された固定砥粒付ワイ
ヤを走行させながら被加工物を押し当てることにより、
該被加工物を切断する固定砥粒ワイヤソーにおいて、 前記固定砥粒付ワイヤの両端部分に、固定砥粒が固着さ
れていない部分を設けた固定砥粒付ワイヤを用いたこと
を特徴とする固定砥粒ワイヤソー。 - 【請求項５】 表面に砥粒が固着された固定砥粒付ワイ
ヤを走行させながら被加工物を押し当てることにより、
該被加工物を切断する固定砥粒ワイヤソーにおいて、 前記固定砥粒付ワイヤの両端部分に、固定砥粒が固着さ
れていない部分を設けた固定砥粒付ワイヤを用い、ワイ
ヤソー装置内の加工部と、ワイヤリールとの間に、前記
固定砥粒付ワイヤの両端部分以外の固定砥粒付部分を巻
き取る貯線部を設けたことを特徴とする固定砥粒ワイヤ
ソー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19913098A JP2000024905A (ja) | 1998-07-14 | 1998-07-14 | 固定砥粒付ワイヤ及びワイヤソー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19913098A JP2000024905A (ja) | 1998-07-14 | 1998-07-14 | 固定砥粒付ワイヤ及びワイヤソー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000024905A true JP2000024905A (ja) | 2000-01-25 |
Family
ID=16402649
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19913098A Pending JP2000024905A (ja) | 1998-07-14 | 1998-07-14 | 固定砥粒付ワイヤ及びワイヤソー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000024905A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010284755A (ja) * | 2009-06-12 | 2010-12-24 | Sumco Corp | ワイヤーソーによる加工方法 |
| WO2014087340A2 (en) | 2012-12-04 | 2014-06-12 | Meyer Burger Ag | Wire management system |
-
1998
- 1998-07-14 JP JP19913098A patent/JP2000024905A/ja active Pending
Cited By (8)
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| WO2014087340A2 (en) | 2012-12-04 | 2014-06-12 | Meyer Burger Ag | Wire management system |
| WO2014087340A3 (en) * | 2012-12-04 | 2014-07-31 | Meyer Burger Ag | Wire management system |
| CN104411434A (zh) * | 2012-12-04 | 2015-03-11 | 梅耶博格公司 | 线材管理系统 |
| CN104411434B (zh) * | 2012-12-04 | 2016-11-16 | 梅耶博格公司 | 线材管理系统 |
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