JPH1199465A - 固定砥粒ワイヤソー - Google Patents
固定砥粒ワイヤソーInfo
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- JPH1199465A JPH1199465A JP26177097A JP26177097A JPH1199465A JP H1199465 A JPH1199465 A JP H1199465A JP 26177097 A JP26177097 A JP 26177097A JP 26177097 A JP26177097 A JP 26177097A JP H1199465 A JPH1199465 A JP H1199465A
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- fixed
- abrasive
- fixed abrasive
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-
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- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
- B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
- B23D57/0053—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of drives for saw wires; of wheel mountings; of wheels
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- Mechanical Engineering (AREA)
- Press-Shaping Or Shaping Using Conveyers (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】ガイドローラやグルーブローラに生じる磨耗を
抑制することができる固定砥粒ワイヤソーの提供。 【解決手段】ガイドローラ２０とグルーブローラ２２の
表面を、固定砥粒付ワイヤ１４の表面に固着された砥粒
と同程度の硬度を有する物質でコーティングする。これ
により、ガイドローラ２０とグルーブローラ２２の耐磨
耗性が向上する。
抑制することができる固定砥粒ワイヤソーの提供。 【解決手段】ガイドローラ２０とグルーブローラ２２の
表面を、固定砥粒付ワイヤ１４の表面に固着された砥粒
と同程度の硬度を有する物質でコーティングする。これ
により、ガイドローラ２０とグルーブローラ２２の耐磨
耗性が向上する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は固定砥粒ワイヤソー
に係り、特にシリコン、ガラス、セラミック等の硬脆性
材料を切断する固定砥粒ワイヤソーに関する。
に係り、特にシリコン、ガラス、セラミック等の硬脆性
材料を切断する固定砥粒ワイヤソーに関する。
【０００２】
【従来の技術】固定砥粒ワイヤソーは、固定砥粒付ワイ
ヤで形成したワイヤ列を高速走行させ、その高速走行す
るワイヤ列に被加工物を押し当てることにより、被加工
物を多数のウェーハに切断する装置である。
ヤで形成したワイヤ列を高速走行させ、その高速走行す
るワイヤ列に被加工物を押し当てることにより、被加工
物を多数のウェーハに切断する装置である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この固定砥粒ワイヤソ
ーで使用する固定砥粒付ワイヤは、ワイヤの表面に直接
砥粒が固着されている。このため、この固定砥粒ワイヤ
ソーでは、ワイヤをガイドするガイドローラやワイヤ列
を形成するグルーブローラが磨耗しやすいという欠点が
ある。
ーで使用する固定砥粒付ワイヤは、ワイヤの表面に直接
砥粒が固着されている。このため、この固定砥粒ワイヤ
ソーでは、ワイヤをガイドするガイドローラやワイヤ列
を形成するグルーブローラが磨耗しやすいという欠点が
ある。
【０００４】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、ガイドローラやグルーブローラに生じる磨耗
を抑制することができる固定砥粒ワイヤソーを提供する
ことを目的とする。
たもので、ガイドローラやグルーブローラに生じる磨耗
を抑制することができる固定砥粒ワイヤソーを提供する
ことを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】請求項１に係る発明は、
前記目的を達成するために、一対のワイヤリール間を複
数のガイドローラにガイドされながら走行する固定砥粒
付ワイヤを複数個のグルーブローラに巻き掛けてワイヤ
列を形成し、その走行するワイヤ列に被加工物を押し当
てることにより、被加工物を多数のウェーハに切断する
固定砥粒ワイヤソーにおいて、前記ガイドローラ及び／
又はグルーブローラの表面を、前記固定砥粒付ワイヤの
表面に固着された砥粒と同程度の硬度を有する物質でコ
ーティングしたことを特徴とする。
前記目的を達成するために、一対のワイヤリール間を複
数のガイドローラにガイドされながら走行する固定砥粒
付ワイヤを複数個のグルーブローラに巻き掛けてワイヤ
列を形成し、その走行するワイヤ列に被加工物を押し当
てることにより、被加工物を多数のウェーハに切断する
固定砥粒ワイヤソーにおいて、前記ガイドローラ及び／
又はグルーブローラの表面を、前記固定砥粒付ワイヤの
表面に固着された砥粒と同程度の硬度を有する物質でコ
ーティングしたことを特徴とする。
【０００６】本発明では、ガイドローラ及び／又はグル
ーブローラの表面を、固定砥粒付ワイヤの表面に固着さ
れた砥粒と同程度の硬度を有する物質でコーティングす
る。これにより、ガイドローラ及び／又はグルーブロー
ラの磨耗が抑制される。また、請求項３に係る発明は、
前記目的を達成するために、一対のワイヤリール間を複
数のガイドローラにガイドされながら走行する固定砥粒
付ワイヤを複数個のグルーブローラに巻き掛けてワイヤ
列を形成し、その走行するワイヤ列に被加工物を押し当
てることにより、被加工物を多数のウェーハに切断する
固定砥粒ワイヤソーにおいて、前記ガイドローラ及び／
又はグルーブローラを、ＣＢＮ、Ａｌ2 Ｏ3 、ＳｉＣ等
の耐磨耗性の高いセラミックスで成形したことを特徴と
する本発明では、ガイドローラ自体及び／又はグルーブ
ローラ自体を、ＣＢＮ、Ａｌ2 Ｏ3 、ＳｉＣ等の耐磨耗
性の高いセラミックスで成形する。これにより、ガイド
ローラ及び／又はグルーブローラの磨耗が抑制される。
ーブローラの表面を、固定砥粒付ワイヤの表面に固着さ
れた砥粒と同程度の硬度を有する物質でコーティングす
る。これにより、ガイドローラ及び／又はグルーブロー
ラの磨耗が抑制される。また、請求項３に係る発明は、
前記目的を達成するために、一対のワイヤリール間を複
数のガイドローラにガイドされながら走行する固定砥粒
付ワイヤを複数個のグルーブローラに巻き掛けてワイヤ
列を形成し、その走行するワイヤ列に被加工物を押し当
てることにより、被加工物を多数のウェーハに切断する
固定砥粒ワイヤソーにおいて、前記ガイドローラ及び／
又はグルーブローラを、ＣＢＮ、Ａｌ2 Ｏ3 、ＳｉＣ等
の耐磨耗性の高いセラミックスで成形したことを特徴と
する本発明では、ガイドローラ自体及び／又はグルーブ
ローラ自体を、ＣＢＮ、Ａｌ2 Ｏ3 、ＳｉＣ等の耐磨耗
性の高いセラミックスで成形する。これにより、ガイド
ローラ及び／又はグルーブローラの磨耗が抑制される。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
る固定砥粒ワイヤソーの実施の形態について詳説する。
まず、本発明が適用される固定砥粒ワイヤソー１０の全
体構成について説明する。
る固定砥粒ワイヤソーの実施の形態について詳説する。
まず、本発明が適用される固定砥粒ワイヤソー１０の全
体構成について説明する。
【０００８】図１に示すように、固定砥粒ワイヤソー１
０は、一対のワイヤリール１２Ａ、１２Ｂを有してお
り、うち一方のワイヤリール１２Ａには、周面に砥粒が
固着された固定砥粒付ワイヤ１４が巻回されている。前
記一対のワイヤリール１２Ａ、１２Ｂは、共にターンテ
ーブル１６Ａ、１６Ｂ上に固定されており、該ターンテ
ーブル１６Ａ、１６Ｂにはリール駆動用モータ１８Ａ、
１８Ｂが連結されている。ワイヤリール１２Ａ、１２Ｂ
は、このリール駆動用モータ１８Ａ、１８Ｂを駆動する
ことにより回転し、この結果、一方のワイヤリール１２
Ａに巻回された固定砥粒付ワイヤ１４が、他方のワイヤ
リール１２Ｂに向かって走行する。
０は、一対のワイヤリール１２Ａ、１２Ｂを有してお
り、うち一方のワイヤリール１２Ａには、周面に砥粒が
固着された固定砥粒付ワイヤ１４が巻回されている。前
記一対のワイヤリール１２Ａ、１２Ｂは、共にターンテ
ーブル１６Ａ、１６Ｂ上に固定されており、該ターンテ
ーブル１６Ａ、１６Ｂにはリール駆動用モータ１８Ａ、
１８Ｂが連結されている。ワイヤリール１２Ａ、１２Ｂ
は、このリール駆動用モータ１８Ａ、１８Ｂを駆動する
ことにより回転し、この結果、一方のワイヤリール１２
Ａに巻回された固定砥粒付ワイヤ１４が、他方のワイヤ
リール１２Ｂに向かって走行する。
【０００９】ここで、前記ワイヤリール１２Ａから繰り
出された固定砥粒付ワイヤ１４は、複数のガイドローラ
２０、２０、…にガイドされながら走行する。そして、
そのワイヤ走行路に配設された三本のグルーブローラ２
２、２２、２２に順次巻きかけられることにより、水平
なワイヤ列２４を形成する。ワイヤ列２４を形成した固
定砥粒付ワイヤ１４は、再び複数のガイドローラ２０、
２０、…にガイドされながら走行し、他方側のワイヤリ
ール１２Ｂに巻き取られる。
出された固定砥粒付ワイヤ１４は、複数のガイドローラ
２０、２０、…にガイドされながら走行する。そして、
そのワイヤ走行路に配設された三本のグルーブローラ２
２、２２、２２に順次巻きかけられることにより、水平
なワイヤ列２４を形成する。ワイヤ列２４を形成した固
定砥粒付ワイヤ１４は、再び複数のガイドローラ２０、
２０、…にガイドされながら走行し、他方側のワイヤリ
ール１２Ｂに巻き取られる。
【００１０】前記ワイヤ列２４の上方には、ワイヤ列２
４に対して垂直に昇降移動するワークフィードテーブル
（図示せず）が設けられている。被加工物であるインゴ
ット２６は、このワークフィードテーブルに装着され
る。そして、このワークフィードテーブルによって、ワ
イヤ列２４に対して垂直な送りが与えられる。固定砥粒
付ワイヤ１０は、以上のように構成され、インゴット２
６は次のように切断される。
４に対して垂直に昇降移動するワークフィードテーブル
（図示せず）が設けられている。被加工物であるインゴ
ット２６は、このワークフィードテーブルに装着され
る。そして、このワークフィードテーブルによって、ワ
イヤ列２４に対して垂直な送りが与えられる。固定砥粒
付ワイヤ１０は、以上のように構成され、インゴット２
６は次のように切断される。
【００１１】まず、インゴット２６を図示しないワーク
フィードテーブルに取り付ける。次に、リール駆動用モ
ータ１８Ａ、１８Ｂを駆動してワイヤリール１２Ａ、１
２Ｂを同期回転させ、一方のワイヤリール１２Ａから他
方のワイヤリール１２Ｂに向けて固定砥粒付ワイヤ１４
を高速走行させる。次に、ワークフィードテーブルをワ
イヤ列２４に向けて下降させ、インゴット２６を走行す
るワイヤ列２４に押し当てる。ワイヤ列２４に押し当た
られたインゴット２６は、そのワイヤ列２４との接触部
を固定砥粒付ワイヤ１４に研削され、これによりウェー
ハに切断される。
フィードテーブルに取り付ける。次に、リール駆動用モ
ータ１８Ａ、１８Ｂを駆動してワイヤリール１２Ａ、１
２Ｂを同期回転させ、一方のワイヤリール１２Ａから他
方のワイヤリール１２Ｂに向けて固定砥粒付ワイヤ１４
を高速走行させる。次に、ワークフィードテーブルをワ
イヤ列２４に向けて下降させ、インゴット２６を走行す
るワイヤ列２４に押し当てる。ワイヤ列２４に押し当た
られたインゴット２６は、そのワイヤ列２４との接触部
を固定砥粒付ワイヤ１４に研削され、これによりウェー
ハに切断される。
【００１２】次に、上述した固定砥粒ワイヤソー１０に
本発明を適用した実施の形態について説明する。図２
は、上述した固定砥粒ワイヤソー１０に適用されている
グルーブローラ２２の構成を示す正面図である。同図に
示すように、グルーブローラ２２は、その周面に多数の
溝２２ａ、２２ａ、…が一定ピッチで形成されている。
ワイヤ列２４は、このグルーブローラ２２の溝２２ａ、
２２ａ、…に固定砥粒付ワイヤ１４を順次巻きかけてゆ
くことにより形成される。
本発明を適用した実施の形態について説明する。図２
は、上述した固定砥粒ワイヤソー１０に適用されている
グルーブローラ２２の構成を示す正面図である。同図に
示すように、グルーブローラ２２は、その周面に多数の
溝２２ａ、２２ａ、…が一定ピッチで形成されている。
ワイヤ列２４は、このグルーブローラ２２の溝２２ａ、
２２ａ、…に固定砥粒付ワイヤ１４を順次巻きかけてゆ
くことにより形成される。
【００１３】ところで、この固定砥粒ワイヤソー１０に
使用される固定砥粒付ワイヤ１４は、図３に示すよう
に、その周面全体に砥粒１４ａが固着された構成を有し
ている。このため、この固定砥粒付ワイヤ１４をガイド
するグルーブローラ２２やガイドローラ２０が磨耗しや
すいという問題がある。そして、このグルーブローラ２
２やガイドローラ２０が磨耗すると、ワイヤ列２４に振
動が発生して切断精度が低下したり、ワイヤ断線の原因
にもなる。このため、グルーブローラ２２やガイドロー
ラ２０の磨耗は、防止しなければならない。
使用される固定砥粒付ワイヤ１４は、図３に示すよう
に、その周面全体に砥粒１４ａが固着された構成を有し
ている。このため、この固定砥粒付ワイヤ１４をガイド
するグルーブローラ２２やガイドローラ２０が磨耗しや
すいという問題がある。そして、このグルーブローラ２
２やガイドローラ２０が磨耗すると、ワイヤ列２４に振
動が発生して切断精度が低下したり、ワイヤ断線の原因
にもなる。このため、グルーブローラ２２やガイドロー
ラ２０の磨耗は、防止しなければならない。
【００１４】グルーブローラ２２やガイドローラ２０に
生じる磨耗の原因には種々の要因が考えられるが、その
中でも固定砥粒付ワイヤ１４とグルーブローラ２２等と
の硬度の差が主な要因であるものと思われる。すなわ
ち、固定砥粒付ワイヤ１４の砥粒１４ａには、ダイヤモ
ンド砥粒やＳｉＣ砥粒などの比較的硬度の高い砥粒が利
用されているが、グルーブローラ２２やガイドローラ２
０には、ウレタンゴム等の比較的柔らかい材質のものが
使用されている。このため、固定砥粒付ワイヤ１４の表
面の砥粒１４ａが、ガイド時に、グルーブローラ２２等
の溝２２ａの表面を引っかいてしまい、この結果、溝の
表面がミクロ的に研削されて、すり減るという現象が生
じる。
生じる磨耗の原因には種々の要因が考えられるが、その
中でも固定砥粒付ワイヤ１４とグルーブローラ２２等と
の硬度の差が主な要因であるものと思われる。すなわ
ち、固定砥粒付ワイヤ１４の砥粒１４ａには、ダイヤモ
ンド砥粒やＳｉＣ砥粒などの比較的硬度の高い砥粒が利
用されているが、グルーブローラ２２やガイドローラ２
０には、ウレタンゴム等の比較的柔らかい材質のものが
使用されている。このため、固定砥粒付ワイヤ１４の表
面の砥粒１４ａが、ガイド時に、グルーブローラ２２等
の溝２２ａの表面を引っかいてしまい、この結果、溝の
表面がミクロ的に研削されて、すり減るという現象が生
じる。
【００１５】これを防止するためには、グルーブローラ
２２等を固定砥粒付ワイヤ１４の砥粒１４ａよりも高い
硬度の材質でグルーブローラ２２等を形成すればよい。
しかし、実際問題として、固定砥粒付ワイヤ１４の砥粒
１４ａよりも高い硬度のものでグルーブローラ２２等を
形成することは困難である。また、固定砥粒付ワイヤ１
４の砥粒１４ａよりも高い硬度のグルーブローラ２２等
で固定砥粒付ワイヤ１４をガイドすると、逆に砥粒側が
目こぼれを起こしてしまうというおそれもある。
２２等を固定砥粒付ワイヤ１４の砥粒１４ａよりも高い
硬度の材質でグルーブローラ２２等を形成すればよい。
しかし、実際問題として、固定砥粒付ワイヤ１４の砥粒
１４ａよりも高い硬度のものでグルーブローラ２２等を
形成することは困難である。また、固定砥粒付ワイヤ１
４の砥粒１４ａよりも高い硬度のグルーブローラ２２等
で固定砥粒付ワイヤ１４をガイドすると、逆に砥粒側が
目こぼれを起こしてしまうというおそれもある。
【００１６】そこで、本実施の形態の固定砥粒ワイヤソ
ー１０では、固定砥粒付ワイヤ１４の砥粒１４ａと同程
度の硬度を有する材質のものでグルーブローラ２２とガ
イドローラ２０の表面をコーティングする。たとえば、
上述したように、現状の固定砥粒付ワイヤ１４では、砥
粒としてダイヤモンド砥粒やＳｉＣ砥粒などを使用して
いるので、グルーブローラ２２等の表面もダイヤモンド
膜やＳｉＣ膜でコーティングする。
ー１０では、固定砥粒付ワイヤ１４の砥粒１４ａと同程
度の硬度を有する材質のものでグルーブローラ２２とガ
イドローラ２０の表面をコーティングする。たとえば、
上述したように、現状の固定砥粒付ワイヤ１４では、砥
粒としてダイヤモンド砥粒やＳｉＣ砥粒などを使用して
いるので、グルーブローラ２２等の表面もダイヤモンド
膜やＳｉＣ膜でコーティングする。
【００１７】このように、ダイヤモンド膜やＳｉＣ膜で
グルーブローラ２２やガイドローラ２０の表面をコーテ
ィングすることにより硬度の差がなくなり、グルーブロ
ーラ２２等の溝の表面が砥粒１４ａに削られて、すり減
るということが抑制される。すなわち、耐磨耗性が向上
する。また、砥粒１４ａと同程度の硬度を有する材質の
ものでコーティングするので、砥粒側が目こぼれを起こ
すこともない。
グルーブローラ２２やガイドローラ２０の表面をコーテ
ィングすることにより硬度の差がなくなり、グルーブロ
ーラ２２等の溝の表面が砥粒１４ａに削られて、すり減
るということが抑制される。すなわち、耐磨耗性が向上
する。また、砥粒１４ａと同程度の硬度を有する材質の
ものでコーティングするので、砥粒側が目こぼれを起こ
すこともない。
【００１８】なお、グルーブローラ２２等の表面にダイ
ヤモンド膜やＳｉＣ膜等を形成する方法としては、ＣＶ
Ｄ法（化学気相成長法）、ＰＶＤ法（物理蒸着）等、公
知の薄膜生成法を利用する。なお、ダイヤモンド膜であ
れば、電着という方法もある。また、グルーブローラ２
２等の表面にコーティングする膜は、固定砥粒付ワイヤ
１４の砥粒１４ａと同じ材質のものをコーティングする
のが好ましい（例えば、固定砥粒付ワイヤ１４の砥粒１
４ａがダイヤモンド砥粒であればダイヤモンド膜、Ｓｉ
Ｃ砥粒であればＳｉＣ膜をコーティングするのが好まし
い）が、同程度の硬度を有するものであれば、十分耐磨
耗性の向上を図ることは可能である。例えば、ダイヤモ
ンド砥粒を使用している固定砥粒付ワイヤ１４に対し
て、グルーブローラ２２等をＳｉＣ膜でコーティングし
ても同様に磨耗を抑制することができる。
ヤモンド膜やＳｉＣ膜等を形成する方法としては、ＣＶ
Ｄ法（化学気相成長法）、ＰＶＤ法（物理蒸着）等、公
知の薄膜生成法を利用する。なお、ダイヤモンド膜であ
れば、電着という方法もある。また、グルーブローラ２
２等の表面にコーティングする膜は、固定砥粒付ワイヤ
１４の砥粒１４ａと同じ材質のものをコーティングする
のが好ましい（例えば、固定砥粒付ワイヤ１４の砥粒１
４ａがダイヤモンド砥粒であればダイヤモンド膜、Ｓｉ
Ｃ砥粒であればＳｉＣ膜をコーティングするのが好まし
い）が、同程度の硬度を有するものであれば、十分耐磨
耗性の向上を図ることは可能である。例えば、ダイヤモ
ンド砥粒を使用している固定砥粒付ワイヤ１４に対し
て、グルーブローラ２２等をＳｉＣ膜でコーティングし
ても同様に磨耗を抑制することができる。
【００１９】また、本実施の形態では、コーティングす
る物質としてダイヤモンド、ＳｉＣを挙げているが、こ
の他、ＣＢＮ（立方晶窒化ほう素）、Ａｌ2 Ｏ3 等の耐
磨耗性の高いセラミックスを用いても同様の効果を得る
ことができる。さらに、本実施の形態では、コーティン
グによりグルーブローラ等の耐磨耗性の向上を図ってい
るが、ＳｉＣ、Ａｌ2 Ｏ3 等のセラミックスであれば、
グルーブローラ自体又はガイドローラ自体を前記のセラ
ミクッスで作製してもよく、これによって、コーティン
グしたときと同様の効果を得ることができる。
る物質としてダイヤモンド、ＳｉＣを挙げているが、こ
の他、ＣＢＮ（立方晶窒化ほう素）、Ａｌ2 Ｏ3 等の耐
磨耗性の高いセラミックスを用いても同様の効果を得る
ことができる。さらに、本実施の形態では、コーティン
グによりグルーブローラ等の耐磨耗性の向上を図ってい
るが、ＳｉＣ、Ａｌ2 Ｏ3 等のセラミックスであれば、
グルーブローラ自体又はガイドローラ自体を前記のセラ
ミクッスで作製してもよく、これによって、コーティン
グしたときと同様の効果を得ることができる。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ガイドローラ及びグルーブローラの耐磨耗性が向上す
る。
ガイドローラ及びグルーブローラの耐磨耗性が向上す
る。
【図１】固定砥粒ワイヤソーの全体構成を示す斜視図
【図２】グルーブローラの構成を示す正面図
【図３】固定砥粒付ワイヤの断面図
１０…固定砥粒ワイヤソー １２Ａ、１２Ｂ…ワイヤリール １４…固定砥粒付ワイヤ ２０…ガイドローラ ２２…グルーブローラ ２４…ワイヤ列 ２６…インゴット
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成９年１０月２２日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００５】
【課題を解決するための手段】請求項１に係る発明は、
前記目的を達成するために、複数のガイドローラにガイ
ドされながら走行する固定砥粒付ワイヤを複数個のグル
ーブローラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、その走行す
るワイヤ列に被加工物を押し当てることにより、被加工
物を多数のウェーハに切断する固定砥粒ワイヤソーにお
いて、前記ガイドローラ及び／又はグルーブローラの表
面を、前記固定砥粒付ワイヤの表面に固着された砥粒と
同程度の硬度を有する物質でコーティングしたことを特
徴とする。
前記目的を達成するために、複数のガイドローラにガイ
ドされながら走行する固定砥粒付ワイヤを複数個のグル
ーブローラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、その走行す
るワイヤ列に被加工物を押し当てることにより、被加工
物を多数のウェーハに切断する固定砥粒ワイヤソーにお
いて、前記ガイドローラ及び／又はグルーブローラの表
面を、前記固定砥粒付ワイヤの表面に固着された砥粒と
同程度の硬度を有する物質でコーティングしたことを特
徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００６】本発明では、ガイドローラ及び／又はグル
ーブローラの表面を、固定砥粒付ワイヤの表面に固着さ
れた砥粒と同程度の硬度を有する物質でコーティングす
る。これにより、ガイドローラ及び／又はグルーブロー
ラの磨耗が抑制される。また、請求項３に係る発明は、
前記目的を達成するために、複数のガイドローラにガイ
ドされながら走行する固定砥粒付ワイヤを複数個のグル
ーブローラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、その走行す
るワイヤ列に被加工物を押し当てることにより、被加工
物を多数のウェーハに切断する固定砥粒ワイヤソーにお
いて、前記ガイドローラ及び／又はグルーブローラを、
ＣＢＮ、Ａｌ2 Ｏ3 、ＳｉＣ等の耐磨耗性の高いセラミ
ックスで成形したことを特徴とする。本発明では、ガイ
ドローラ自体及び／又はグルーブローラ自体を、ＣＢ
Ｎ、Ａｌ2 Ｏ3 、ＳｉＣ等の耐磨耗性の高いセラミック
スで成形する。これにより、ガイドローラ及び／又はグ
ルーブローラの磨耗が抑制される。
ーブローラの表面を、固定砥粒付ワイヤの表面に固着さ
れた砥粒と同程度の硬度を有する物質でコーティングす
る。これにより、ガイドローラ及び／又はグルーブロー
ラの磨耗が抑制される。また、請求項３に係る発明は、
前記目的を達成するために、複数のガイドローラにガイ
ドされながら走行する固定砥粒付ワイヤを複数個のグル
ーブローラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、その走行す
るワイヤ列に被加工物を押し当てることにより、被加工
物を多数のウェーハに切断する固定砥粒ワイヤソーにお
いて、前記ガイドローラ及び／又はグルーブローラを、
ＣＢＮ、Ａｌ2 Ｏ3 、ＳｉＣ等の耐磨耗性の高いセラミ
ックスで成形したことを特徴とする。本発明では、ガイ
ドローラ自体及び／又はグルーブローラ自体を、ＣＢ
Ｎ、Ａｌ2 Ｏ3 、ＳｉＣ等の耐磨耗性の高いセラミック
スで成形する。これにより、ガイドローラ及び／又はグ
ルーブローラの磨耗が抑制される。
Claims (3)
- 【請求項１】 一対のワイヤリール間を複数のガイドロ
ーラにガイドされながら走行する固定砥粒付ワイヤを複
数個のグルーブローラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、
その走行するワイヤ列に被加工物を押し当てることによ
り、被加工物を多数のウェーハに切断する固定砥粒ワイ
ヤソーにおいて、 前記ガイドローラ及び／又はグルーブローラの表面を、
前記固定砥粒付ワイヤの表面に固着された砥粒と同程度
の硬度を有する物質でコーティングしたことを特徴とす
る請求項１記載の固定砥粒ワイヤソー。 - 【請求項２】 コーティングする物質をダイヤモンド又
はＣＢＮ、Ａｌ2 Ｏ 3 、ＳｉＣ等の耐磨耗性の高いセラ
ミックスとしたことを特徴とする請求項１記載の固定砥
粒ワイヤソー。 - 【請求項３】 一対のワイヤリール間を複数のガイドロ
ーラにガイドされながら走行する固定砥粒付ワイヤを複
数個のグルーブローラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、
その走行するワイヤ列に被加工物を押し当てることによ
り、被加工物を多数のウェーハに切断する固定砥粒ワイ
ヤソーにおいて、 前記ガイドローラ及び／又はグルーブローラを、ＣＢ
Ｎ、Ａｌ2 Ｏ3 、ＳｉＣ等の耐磨耗性の高いセラミック
スで成形したことを特徴とする固定砥粒ワイヤソー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26177097A JPH1199465A (ja) | 1997-09-26 | 1997-09-26 | 固定砥粒ワイヤソー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26177097A JPH1199465A (ja) | 1997-09-26 | 1997-09-26 | 固定砥粒ワイヤソー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1199465A true JPH1199465A (ja) | 1999-04-13 |
Family
ID=17366462
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26177097A Pending JPH1199465A (ja) | 1997-09-26 | 1997-09-26 | 固定砥粒ワイヤソー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1199465A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0720221A1 (en) * | 1994-12-28 | 1996-07-03 | International Business Machines Corporation | High density trench capacitor DRAM cell |
| ES2172393A1 (es) * | 1999-04-30 | 2002-09-16 | Bideseimpianti S T L | Tambor portahilos para maquinas cortabloques con hilo diamantado. |
| DE102007019566A1 (de) | 2007-04-25 | 2008-10-30 | Siltronic Ag | Drahtführungsrolle für Drahtsäge |
| JP2010105114A (ja) * | 2008-10-29 | 2010-05-13 | Kyocera Corp | ワイヤーソー装置 |
| ITVI20100133A1 (it) * | 2010-05-12 | 2011-11-13 | Bideseimpianti S R L | Dispositivo per il sostegno e la movimentazione dei fili di taglio in una macchina multifilo per il taglio in lastre di blocchi in materiale lapideo |
| ITVI20100231A1 (it) * | 2010-08-06 | 2012-02-07 | Bideseimpianti S R L | Dispositivo per il sostegno e la movimentazione dei fili di taglio in una macchina multifilo per il taglio in lastre di blocchi in materiale lapideo |
| ITVI20100229A1 (it) * | 2010-08-06 | 2012-02-07 | Bideseimpianti S R L | Dispositivo per il sostegno e la movimentazione dei fili di taglio in una macchina multifilo per il taglio in lastre di blocchi in materiale lapideo |
-
1997
- 1997-09-26 JP JP26177097A patent/JPH1199465A/ja active Pending
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| DE102007019566B4 (de) * | 2007-04-25 | 2012-11-29 | Siltronic Ag | Drahtführungsrolle für Drahtsäge |
| US10245661B2 (en) | 2007-04-25 | 2019-04-02 | Siltronic Ag | Wire guide roll for wire saw and method |
| JP2010105114A (ja) * | 2008-10-29 | 2010-05-13 | Kyocera Corp | ワイヤーソー装置 |
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| ITVI20100231A1 (it) * | 2010-08-06 | 2012-02-07 | Bideseimpianti S R L | Dispositivo per il sostegno e la movimentazione dei fili di taglio in una macchina multifilo per il taglio in lastre di blocchi in materiale lapideo |
| ITVI20100229A1 (it) * | 2010-08-06 | 2012-02-07 | Bideseimpianti S R L | Dispositivo per il sostegno e la movimentazione dei fili di taglio in una macchina multifilo per il taglio in lastre di blocchi in materiale lapideo |
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