JPH06126733A - ワイヤソーによる切断方法 - Google Patents
ワイヤソーによる切断方法Info
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- JPH06126733A JPH06126733A JP27749092A JP27749092A JPH06126733A JP H06126733 A JPH06126733 A JP H06126733A JP 27749092 A JP27749092 A JP 27749092A JP 27749092 A JP27749092 A JP 27749092A JP H06126733 A JPH06126733 A JP H06126733A
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- wire array
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/04—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools
- B28D5/045—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools by cutting with wires or closed-loop blades
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】マルチワイヤソーの高精度高能率の切断能力を
維持しつつ、溝ローラの熱膨張も防止してその溝部分の
損耗を防止することで、切断精度の低下を防止し、結果
として溝ローラの耐久性を向上させる。 【構成】マルチワイヤソーにおいて、ワイヤ列３を一方
向に走行させ、ワーク５に砥液７を供給しながらワーク
昇降台４を徐々に上昇させワーク５をワイヤ列３に押圧
し、ワーク５をスライス片に切断する。このとき、矢印
の方向に溝ローラ１，１，１が回転しているとすれば、
砥液供給管６ａより研削に適した温度の砥液７ａを、砥
液供給管６ｂより、溝ローラ１，１，１の保護に適した
温度の砥液７ｂを供給する。砥液供給管６ａより供給さ
れた砥液７ａは、ワイヤ列３の走行によってワーク５の
切断部へとひきこまれ、ワーク昇降台４の上昇とともに
徐々にワーク５の研削が進行する。砥液供給管６ｂより
溝ローラ１，１，１の保護に適した温度の砥液７ｂが供
給されているため、溝ローラ１，１，１の温度は、その
保護に適した温度となる。
維持しつつ、溝ローラの熱膨張も防止してその溝部分の
損耗を防止することで、切断精度の低下を防止し、結果
として溝ローラの耐久性を向上させる。 【構成】マルチワイヤソーにおいて、ワイヤ列３を一方
向に走行させ、ワーク５に砥液７を供給しながらワーク
昇降台４を徐々に上昇させワーク５をワイヤ列３に押圧
し、ワーク５をスライス片に切断する。このとき、矢印
の方向に溝ローラ１，１，１が回転しているとすれば、
砥液供給管６ａより研削に適した温度の砥液７ａを、砥
液供給管６ｂより、溝ローラ１，１，１の保護に適した
温度の砥液７ｂを供給する。砥液供給管６ａより供給さ
れた砥液７ａは、ワイヤ列３の走行によってワーク５の
切断部へとひきこまれ、ワーク昇降台４の上昇とともに
徐々にワーク５の研削が進行する。砥液供給管６ｂより
溝ローラ１，１，１の保護に適した温度の砥液７ｂが供
給されているため、溝ローラ１，１，１の温度は、その
保護に適した温度となる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体材料、磁性材
料、セラミックス等の脆性物体をワイヤにより多数のス
ライス片（ウエハ）に切断する方法に関する。
料、セラミックス等の脆性物体をワイヤにより多数のス
ライス片（ウエハ）に切断する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】複数のワイヤが水平面に沿って平行に緊
張されたマルチワイヤソーは、太陽電池のシリコンイン
ゴットのような脆性物体を薄厚のウエハに切断する場合
に用いられ、平行配設された複数の溝付ローラに所定の
ピッチで多条掛けされたワイヤ列を被切断物体（ワー
ク）に押し付け、その過程で砥粒を含む加工液（砥液）
をワイヤによる切断部位に供給しながら切断する装置で
ある。このマルチワイヤソーは、半導体材料、磁性材
料、セラミックス等の脆性物体を薄厚のウエハ状に切断
するのに汎用されている。
張されたマルチワイヤソーは、太陽電池のシリコンイン
ゴットのような脆性物体を薄厚のウエハに切断する場合
に用いられ、平行配設された複数の溝付ローラに所定の
ピッチで多条掛けされたワイヤ列を被切断物体（ワー
ク）に押し付け、その過程で砥粒を含む加工液（砥液）
をワイヤによる切断部位に供給しながら切断する装置で
ある。このマルチワイヤソーは、半導体材料、磁性材
料、セラミックス等の脆性物体を薄厚のウエハ状に切断
するのに汎用されている。
【０００３】図１はその例として挙げられる代表的なマ
ルチワイヤソーの斜視図である。回転自在に保持された
３個の溝ローラ１，１，１の外周面に嵌装された円筒状
の樹脂スリーブに所定のピッチで刻設されたワイヤガイ
ド溝に１本のワイヤ２を巻き付けて、所定のピッチのワ
イヤ列３を形成させる。このワイヤ列３を走行させる
（具体的にはワイヤを走行させる）とともに、ワーク昇
降台４によってワーク５を徐々に上昇させ、ワーク５を
スライス片に切断する。このとき、同時にワーク５の上
方に設置された砥液供給ノズル６から、砥液を含む砥液
７が供給され、スリットノズル６下部の孔から砥液７を
流出せしめ、ワーク５に供給する。供給された砥液７
は、走行するワイヤ列３とワーク５の間に入り研削切断
が進行する。
ルチワイヤソーの斜視図である。回転自在に保持された
３個の溝ローラ１，１，１の外周面に嵌装された円筒状
の樹脂スリーブに所定のピッチで刻設されたワイヤガイ
ド溝に１本のワイヤ２を巻き付けて、所定のピッチのワ
イヤ列３を形成させる。このワイヤ列３を走行させる
（具体的にはワイヤを走行させる）とともに、ワーク昇
降台４によってワーク５を徐々に上昇させ、ワーク５を
スライス片に切断する。このとき、同時にワーク５の上
方に設置された砥液供給ノズル６から、砥液を含む砥液
７が供給され、スリットノズル６下部の孔から砥液７を
流出せしめ、ワーク５に供給する。供給された砥液７
は、走行するワイヤ列３とワーク５の間に入り研削切断
が進行する。
【０００４】ワーク５は、脆性材料性のダミー板８に接
着され、ダミー板８はベース９に接着されている。な
お、ベース９は、ワーク昇降台４に締めつけネジ１０に
て脱着自在にとりつけられている。
着され、ダミー板８はベース９に接着されている。な
お、ベース９は、ワーク昇降台４に締めつけネジ１０に
て脱着自在にとりつけられている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】マルチワイヤソーによ
る切断のような遊離砥粒による研削加工においては、砥
液の条件、すなわち砥粒の材質と直径、砥液中の混合物
の混合比率、砥液温度の選定が高精度高能率切断を実現
するうえで重要な要素となる。それらの条件の中で、砥
液温度は粘性をコントロールすると共に化学反応を促進
する要素であるため、高精度高能率切断を実現するため
には、最適な温度の砥液を供給することは欠かせないも
のである。
る切断のような遊離砥粒による研削加工においては、砥
液の条件、すなわち砥粒の材質と直径、砥液中の混合物
の混合比率、砥液温度の選定が高精度高能率切断を実現
するうえで重要な要素となる。それらの条件の中で、砥
液温度は粘性をコントロールすると共に化学反応を促進
する要素であるため、高精度高能率切断を実現するため
には、最適な温度の砥液を供給することは欠かせないも
のである。
【０００６】したがって、上記従来技術によるマルチワ
イヤソーによる切断方法においても、砥液の温度を研削
に最適なレベルにセットして使用していた。しかし、研
削に最適である砥液の温度が、マルチワイヤソーの溝ロ
ーラに対して適しているとは限らない。
イヤソーによる切断方法においても、砥液の温度を研削
に最適なレベルにセットして使用していた。しかし、研
削に最適である砥液の温度が、マルチワイヤソーの溝ロ
ーラに対して適しているとは限らない。
【０００７】溝ローラの樹脂スリーブの温度が上昇する
と、線膨張係数が大きい樹脂スリーブに熱変形を生じ、
切断中のワイヤガイド溝の位置が微妙に変化して切断の
精度が悪化してしまう。また、ワイヤによってワイヤガ
イド溝が損耗したり、切れ込みが生じ易くなる。ワイヤ
ガイド溝の損耗はワイヤの位置を不安定にするもので、
切断精度の低下をもたらし、ワイヤガイド溝の切れ込み
はワイヤ切断の原因ともなる。すなわち、樹脂スリーブ
の温度は低くかつ安定的に保つことが必要である。な
お、回転する樹脂スリーブはまわりの空気によって冷却
されるので、温度の安定化という観点にたてば入熱を防
止して室温と同レベルに維持するのが理想的といえる。
と、線膨張係数が大きい樹脂スリーブに熱変形を生じ、
切断中のワイヤガイド溝の位置が微妙に変化して切断の
精度が悪化してしまう。また、ワイヤによってワイヤガ
イド溝が損耗したり、切れ込みが生じ易くなる。ワイヤ
ガイド溝の損耗はワイヤの位置を不安定にするもので、
切断精度の低下をもたらし、ワイヤガイド溝の切れ込み
はワイヤ切断の原因ともなる。すなわち、樹脂スリーブ
の温度は低くかつ安定的に保つことが必要である。な
お、回転する樹脂スリーブはまわりの空気によって冷却
されるので、温度の安定化という観点にたてば入熱を防
止して室温と同レベルに維持するのが理想的といえる。
【０００８】ところで、樹脂スリーブへの直接的な入熱
はワイヤとワイヤに付着した砥液によって行われる。研
削時の加工熱および摺動熱の影響により、ワークから出
るワイヤの温度はワークに入るワイヤの温度よりも高
く、ワイヤに付着してワークからでる砥液の温度はスリ
ットノズルから供給される砥液の温度よりも高い。すな
わち、ワークから出るワイヤおよびワイヤに付着した砥
液によって溝ローラの樹脂スリーブの温度が上昇するの
である。溝ローラへの入熱は、当然のことながら、ワー
クから出た直後のワイヤが巻きつく溝ローラで大きい。
図１において、ワイヤ列３を往復走行させながら切断す
る往復式ワイヤソー（例えば特公昭56-198号）の場合に
は、ワーク５の左右の溝ローラに交互に入熱させる。ま
た、ワイヤ列３を一方向に走行させて切断する一方向ワ
イヤソーの場合には、ワーク５からワイヤ列３が出る側
に位置する溝ローラへの入熱が大きい。
はワイヤとワイヤに付着した砥液によって行われる。研
削時の加工熱および摺動熱の影響により、ワークから出
るワイヤの温度はワークに入るワイヤの温度よりも高
く、ワイヤに付着してワークからでる砥液の温度はスリ
ットノズルから供給される砥液の温度よりも高い。すな
わち、ワークから出るワイヤおよびワイヤに付着した砥
液によって溝ローラの樹脂スリーブの温度が上昇するの
である。溝ローラへの入熱は、当然のことながら、ワー
クから出た直後のワイヤが巻きつく溝ローラで大きい。
図１において、ワイヤ列３を往復走行させながら切断す
る往復式ワイヤソー（例えば特公昭56-198号）の場合に
は、ワーク５の左右の溝ローラに交互に入熱させる。ま
た、ワイヤ列３を一方向に走行させて切断する一方向ワ
イヤソーの場合には、ワーク５からワイヤ列３が出る側
に位置する溝ローラへの入熱が大きい。
【０００９】エレクトロニクス分野のウエハは極めて高
い切断精度が要求されるので、樹脂スリーブの熱変形あ
るいはワイヤガイド溝の損傷は最小限に抑制する必要が
ある。ワイヤガイド溝の寿命が延長されれば、溝ローラ
の交換頻度が減少し、コストおよび工数の削減につなが
る。
い切断精度が要求されるので、樹脂スリーブの熱変形あ
るいはワイヤガイド溝の損傷は最小限に抑制する必要が
ある。ワイヤガイド溝の寿命が延長されれば、溝ローラ
の交換頻度が減少し、コストおよび工数の削減につなが
る。
【００１０】したがって本発明の主たる課題は、マルチ
ワイヤソーの切断能率を維持しつつ、溝ローラの樹脂ス
リーブの切断中の熱変形等を防止して高い切断精度を保
つとともに、ワイヤガイド溝の損耗や切れ込みを防止す
ることで、溝ローラの耐久性を向上させることにある。
ワイヤソーの切断能率を維持しつつ、溝ローラの樹脂ス
リーブの切断中の熱変形等を防止して高い切断精度を保
つとともに、ワイヤガイド溝の損耗や切れ込みを防止す
ることで、溝ローラの耐久性を向上させることにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、ワイヤが平行に張設されたワイヤ列を走
行させ該ワイヤ列に対象の被切断物体の切断を押し付
け、各ワイヤによる被切断物体の切断部位に砥粒を含む
砥液を供給しながら複数のスライス片に切断する方法に
おいて、走行する前記ワイヤ列が被切断物へ進入する側
の前記ワイヤ列に供給する砥液の温度と、被切断物から
出る側の前記ワイヤ列に供給する砥液の温度とをそれぞ
れ独立に調整して供給する点を、その構成とするもので
ある。
め、本発明は、ワイヤが平行に張設されたワイヤ列を走
行させ該ワイヤ列に対象の被切断物体の切断を押し付
け、各ワイヤによる被切断物体の切断部位に砥粒を含む
砥液を供給しながら複数のスライス片に切断する方法に
おいて、走行する前記ワイヤ列が被切断物へ進入する側
の前記ワイヤ列に供給する砥液の温度と、被切断物から
出る側の前記ワイヤ列に供給する砥液の温度とをそれぞ
れ独立に調整して供給する点を、その構成とするもので
ある。
【００１２】
【作用】高能率切断を実現するために適した砥液温度Ｔ
ｃは、ワークと砥粒の材質の組合せによって決まる。し
かし一方、溝ローラの樹脂スリーブの熱変形の防止、あ
るいは溝ローラの耐久性維持のために適した温度Ｔｒ
は、一般的にＴｃよりも低いことが多い。
ｃは、ワークと砥粒の材質の組合せによって決まる。し
かし一方、溝ローラの樹脂スリーブの熱変形の防止、あ
るいは溝ローラの耐久性維持のために適した温度Ｔｒ
は、一般的にＴｃよりも低いことが多い。
【００１３】したがってワークを切断するためのワーク
入側のワイヤ列に供給する砥液の温度Ｔ1 は、Ｔｃに等
しいか研削による発熱を考慮してＴｃより若干低めに調
整する。また、ワーク出側のワイヤ列に供給する砥液の
温度Ｔ2 は、Ｔｒに等しいか摺動で発熱したワイヤから
の伝熱を考慮してＴｒより低めに調整し、好ましくは溝
ローラに巻きつく時の温度を室温と同一にする。
入側のワイヤ列に供給する砥液の温度Ｔ1 は、Ｔｃに等
しいか研削による発熱を考慮してＴｃより若干低めに調
整する。また、ワーク出側のワイヤ列に供給する砥液の
温度Ｔ2 は、Ｔｒに等しいか摺動で発熱したワイヤから
の伝熱を考慮してＴｒより低めに調整し、好ましくは溝
ローラに巻きつく時の温度を室温と同一にする。
【００１４】これによって、切断に寄与する砥液温度は
Ｔｃに、溝ローラ表面の温度はＴｒと、ほとんど同じ値
とすることができ、溝ローラの熱変形を防止できるた
め、切断能力の低下を招くことなく、溝ローラの消耗を
減少させることができる。
Ｔｃに、溝ローラ表面の温度はＴｒと、ほとんど同じ値
とすることができ、溝ローラの熱変形を防止できるた
め、切断能力の低下を招くことなく、溝ローラの消耗を
減少させることができる。
【００１５】切断に寄与するための砥液と溝ローラ耐久
のための砥液に独立した温度の砥液を供給する方法とし
ては、それぞれに独立した供給管を設ければよい。ある
いは、１つの供給管で砥液を途中まで運び、以後分岐さ
せてそれぞれの側で加熱、または冷却手段からなる温度
を調整する手段によって温度を調整してもよい。
のための砥液に独立した温度の砥液を供給する方法とし
ては、それぞれに独立した供給管を設ければよい。ある
いは、１つの供給管で砥液を途中まで運び、以後分岐さ
せてそれぞれの側で加熱、または冷却手段からなる温度
を調整する手段によって温度を調整してもよい。
【００１６】なお、Ｔ1 は、Ｔｃがワークの種類により
異なるため、Ｔｃの値により適宜決定すればよいが、通
常は２５℃以上４０℃以下の範囲で選定される。また、
Ｔ2については、Ｔｒを考慮して、１５℃以上２５℃未
満の範囲であるのが望ましい。
異なるため、Ｔｃの値により適宜決定すればよいが、通
常は２５℃以上４０℃以下の範囲で選定される。また、
Ｔ2については、Ｔｒを考慮して、１５℃以上２５℃未
満の範囲であるのが望ましい。
【００１７】
【実施例】本発明による実施例を図２により具体的に説
明する。図２は本発明の方法に使用するマルチワイヤソ
ーの例を示した図である。回転自在に保持された３個の
溝ローラ１，１，１の外周面に溝ローラ１，１，１の長
手方向に所定のピッチで刻設された溝に線刃となる１本
のワイヤ２を巻き付けて所定のピッチのワイヤ列３を形
成する。溝ローラ１，１，１のいずれかを回転させるこ
とで、ワイヤ列３を一方向に走行させる。このとき、砥
液供給管６ａより砥液７をワイヤ列３に供給し、ワイヤ
列３の走行に引きずられて砥液７はワーク５とワイヤ列
３の間に供給される。あわせて、ワーク昇降台４を徐々
に上昇させることで、ワーク５はワイヤ列３に押圧さ
れ、研削作用によりワーク５はスライス片に切断され
る。
明する。図２は本発明の方法に使用するマルチワイヤソ
ーの例を示した図である。回転自在に保持された３個の
溝ローラ１，１，１の外周面に溝ローラ１，１，１の長
手方向に所定のピッチで刻設された溝に線刃となる１本
のワイヤ２を巻き付けて所定のピッチのワイヤ列３を形
成する。溝ローラ１，１，１のいずれかを回転させるこ
とで、ワイヤ列３を一方向に走行させる。このとき、砥
液供給管６ａより砥液７をワイヤ列３に供給し、ワイヤ
列３の走行に引きずられて砥液７はワーク５とワイヤ列
３の間に供給される。あわせて、ワーク昇降台４を徐々
に上昇させることで、ワーク５はワイヤ列３に押圧さ
れ、研削作用によりワーク５はスライス片に切断され
る。
【００１８】このとき、たとえば溝ローラ１，１，１内
に示す矢印の方向に溝ローラ１，１，１が回転している
とすれば、砥液供給管６ａより研削に適した温度Ｔ1 の
砥液７ａを、砥液供給管６ｂより、溝ローラ１，１，１
の保護に適した温度Ｔ2 の砥液７ｂを供給する。砥液供
給管６ａより供給された砥液７ａは、ワイヤ列３の走行
によってワーク５の切断部へと引き込まれ、ワーク昇降
台４の上昇に伴って徐々にワーク５の研削が進行する。
一方、砥液供給管６ｂより溝ローラ１，１，１の保護に
適した温度の砥液７ｂが供給されているため、溝ローラ
１，１，１の保護、あるいは熱膨張防止に適した温度で
ワイヤ列３が走行することとなる。
に示す矢印の方向に溝ローラ１，１，１が回転している
とすれば、砥液供給管６ａより研削に適した温度Ｔ1 の
砥液７ａを、砥液供給管６ｂより、溝ローラ１，１，１
の保護に適した温度Ｔ2 の砥液７ｂを供給する。砥液供
給管６ａより供給された砥液７ａは、ワイヤ列３の走行
によってワーク５の切断部へと引き込まれ、ワーク昇降
台４の上昇に伴って徐々にワーク５の研削が進行する。
一方、砥液供給管６ｂより溝ローラ１，１，１の保護に
適した温度の砥液７ｂが供給されているため、溝ローラ
１，１，１の保護、あるいは熱膨張防止に適した温度で
ワイヤ列３が走行することとなる。
【００１９】他方、スライス片に切断されたワーク５
は、従来と同様の方法によって取り出される。すなわち
ワーク５は、脆性材料のダミー板８に接着され、ダミー
板８は、ベース９に接着されている。また、ベース９
は、ワーク昇降台４に締めつけネジ１０にて脱着自在に
とりつけられている。マルチワイヤソーによりワーク５
の最上部からダミー板８の途中まで切断を行い、切断終
了後締めつけネジ１０を緩めてベース９を取り外す。続
いて、ベース９よりダミー板８を取り外し、スライス片
に切断されているワーク５を１枚ずつダミー板８より取
り外して薄厚のスライス片が完成する。
は、従来と同様の方法によって取り出される。すなわち
ワーク５は、脆性材料のダミー板８に接着され、ダミー
板８は、ベース９に接着されている。また、ベース９
は、ワーク昇降台４に締めつけネジ１０にて脱着自在に
とりつけられている。マルチワイヤソーによりワーク５
の最上部からダミー板８の途中まで切断を行い、切断終
了後締めつけネジ１０を緩めてベース９を取り外す。続
いて、ベース９よりダミー板８を取り外し、スライス片
に切断されているワーク５を１枚ずつダミー板８より取
り外して薄厚のスライス片が完成する。
【００２０】なお、本実施例においては温度Ｔ1 の砥液
をワイヤ列に供給したが、ワークに直接供給しても同様
の効果が得られるのは言うまでもない。
をワイヤ列に供給したが、ワークに直接供給しても同様
の効果が得られるのは言うまでもない。
【００２１】〔実施例１〕断面φ２００ｍｍ、長さ１５
０ｍｍのシリコンインゴットをＧＣ♯600 砥粒とラッピ
ングオイルからなる比重１．７５の砥液を用い、ワイヤ
列数１２０、ワイヤピッチ１．１５ｍｍ、ワイヤ走行速
度４００ｍ／ｍｉｎ、切込み速度０．４０ｍｍ／ｍｉｎ
の条件で切断し、超高分子量ポリエチレン製の溝ローラ
の耐久試験を行った。なお、特開平1-306171号公報にも
記載されているように、この条件下での切断精度、切断
能率に優れる砥液温度は、３５℃前後である。
０ｍｍのシリコンインゴットをＧＣ♯600 砥粒とラッピ
ングオイルからなる比重１．７５の砥液を用い、ワイヤ
列数１２０、ワイヤピッチ１．１５ｍｍ、ワイヤ走行速
度４００ｍ／ｍｉｎ、切込み速度０．４０ｍｍ／ｍｉｎ
の条件で切断し、超高分子量ポリエチレン製の溝ローラ
の耐久試験を行った。なお、特開平1-306171号公報にも
記載されているように、この条件下での切断精度、切断
能率に優れる砥液温度は、３５℃前後である。
【００２２】図２における装置を用いて３５℃に調整し
た砥液を、砥液供給管６ａ、６ｂの両方より供給して切
断試験を行った結果、４回目の切断でワイヤが溝ローラ
に切れ込んだ。一方、砥液供給管６ａからは、３５℃の
砥液、６ｂからは、２５℃の砥液を供給して切断試験を
行った結果、１０回目の切断後も溝ローラへのワイヤの
切れ込みは見られなかった。
た砥液を、砥液供給管６ａ、６ｂの両方より供給して切
断試験を行った結果、４回目の切断でワイヤが溝ローラ
に切れ込んだ。一方、砥液供給管６ａからは、３５℃の
砥液、６ｂからは、２５℃の砥液を供給して切断試験を
行った結果、１０回目の切断後も溝ローラへのワイヤの
切れ込みは見られなかった。
【００２３】〔実施例２〕断面１２５×１２５ｍｍ、長
さ１５０ｍｍの石英インゴットをＧＣ♯600 砥粒とラッ
ピングオイルからなる比重１．７５の砥液を用いて、ワ
イヤ列数７０、ワイヤピッチ２．０ｍｍ、ワイヤ径０．
２０ｍｍ、ワイヤ走行速度４００ｍ／ｍｉｎの条件で切
断し、超高分子量ポリエチレンの溝ローラの耐久試験と
切断能率の測定を行った。
さ１５０ｍｍの石英インゴットをＧＣ♯600 砥粒とラッ
ピングオイルからなる比重１．７５の砥液を用いて、ワ
イヤ列数７０、ワイヤピッチ２．０ｍｍ、ワイヤ径０．
２０ｍｍ、ワイヤ走行速度４００ｍ／ｍｉｎの条件で切
断し、超高分子量ポリエチレンの溝ローラの耐久試験と
切断能率の測定を行った。
【００２４】図２における装置を用いて３５℃に調整し
た砥液を、砥液供給管６ａおよび６ｂの両方より供給し
て切断試験を行った結果、ワークを押し上げる速度は、
０．７ｍｍ／ｍｉｎまで可能であったが、３回目の切断
にてワイヤが溝ローラ切れ込んだ。また、砥液供給管６
ａおよび６ｂから２５℃に調整した砥液を供給して切断
試験を行った結果、１０回切断してもワイヤは溝ローラ
に切り込まなかったが、ワークを押し上げる速度は、
０．５ｍｍ／ｍｉｎが限界であった。さらに、図２にお
ける装置を用いて砥液供給管６ａからは３５℃に調整し
た砥液を、砥液供給管６ｂからは２５℃に調整した砥液
を供給し、切断試験を行った。その結果、１０回目の切
断後も溝ローラへのワイヤの切れ込みは発生せず、ワー
クの押し上げ速度は０．７ｍｍ／ｍｉｎまで可能であっ
た。
た砥液を、砥液供給管６ａおよび６ｂの両方より供給し
て切断試験を行った結果、ワークを押し上げる速度は、
０．７ｍｍ／ｍｉｎまで可能であったが、３回目の切断
にてワイヤが溝ローラ切れ込んだ。また、砥液供給管６
ａおよび６ｂから２５℃に調整した砥液を供給して切断
試験を行った結果、１０回切断してもワイヤは溝ローラ
に切り込まなかったが、ワークを押し上げる速度は、
０．５ｍｍ／ｍｉｎが限界であった。さらに、図２にお
ける装置を用いて砥液供給管６ａからは３５℃に調整し
た砥液を、砥液供給管６ｂからは２５℃に調整した砥液
を供給し、切断試験を行った。その結果、１０回目の切
断後も溝ローラへのワイヤの切れ込みは発生せず、ワー
クの押し上げ速度は０．７ｍｍ／ｍｉｎまで可能であっ
た。
【００２５】
【発明の効果】以上の説明から明らかな如く、本発明に
よれば、マルチワイヤソーの高精度高能率の切断能力を
維持しつつ、溝ローラの熱膨張も防止してその溝部分の
損耗を防止することで、切断精度の低下を防止し、結果
として溝ローラの耐久性を向上させることができる。
よれば、マルチワイヤソーの高精度高能率の切断能力を
維持しつつ、溝ローラの熱膨張も防止してその溝部分の
損耗を防止することで、切断精度の低下を防止し、結果
として溝ローラの耐久性を向上させることができる。
【図１】従来のマルチワイヤソーの斜視図である。
【図２】本発明の方法に実施の使用するマルチワイヤソ
ー例の斜視図である。
ー例の斜視図である。
１…溝ローラ、２…ワイヤ、３…ワイヤ列、４…ワーク
昇降台、５…ワーク、６…砥液供給管、７…砥液。
昇降台、５…ワーク、６…砥液供給管、７…砥液。
Claims (1)
- 【請求項１】ワイヤが平行に張設されたワイヤ列を走行
させ、該ワイヤ列に被切断物体を押しつけ、各ワイヤに
よる被切断物体の切断部位に砥粒を含む砥液を供給しな
がら複数のスライス片に切断する方法において、 走行する前記ワイヤ列が被切断物へ進入する側の前記ワ
イヤ列に供給する砥液の温度と、被切断物から出る側の
前記ワイヤ列に供給する砥液の温度とをそれぞれ独立に
調整して供給することを特徴とするワイヤソーによる切
断方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27749092A JP2671728B2 (ja) | 1992-10-15 | 1992-10-15 | ワイヤソーによる切断方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27749092A JP2671728B2 (ja) | 1992-10-15 | 1992-10-15 | ワイヤソーによる切断方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06126733A true JPH06126733A (ja) | 1994-05-10 |
| JP2671728B2 JP2671728B2 (ja) | 1997-10-29 |
Family
ID=17584327
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27749092A Expired - Lifetime JP2671728B2 (ja) | 1992-10-15 | 1992-10-15 | ワイヤソーによる切断方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2671728B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007281176A (ja) * | 2006-04-06 | 2007-10-25 | Ｓｕｍｃｏ Ｔｅｃｈｘｉｖ株式会社 | 半導体インゴットの切断方法 |
| JP2009029078A (ja) * | 2007-07-30 | 2009-02-12 | Toyo Advanced Technologies Co Ltd | ワイヤーソー装置 |
| CN107553763A (zh) * | 2016-06-30 | 2018-01-09 | 广东先导先进材料股份有限公司 | 一种多线切割晶片的方法以及切割装置 |
| CN110587831A (zh) * | 2019-09-16 | 2019-12-20 | 顺德中山大学太阳能研究院 | 一种用于光伏双玻组件的线切割设备 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5515593B2 (ja) * | 2009-10-07 | 2014-06-11 | 株式会社Ｓｕｍｃｏ | ワイヤーソーによるシリコンインゴットの切断方法およびワイヤーソー |
| CN107962693A (zh) * | 2017-11-28 | 2018-04-27 | 乐山新天源太阳能科技有限公司 | 金刚线硅片切割机的喷淋装置 |
-
1992
- 1992-10-15 JP JP27749092A patent/JP2671728B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| JP2007281176A (ja) * | 2006-04-06 | 2007-10-25 | Ｓｕｍｃｏ Ｔｅｃｈｘｉｖ株式会社 | 半導体インゴットの切断方法 |
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| CN107553763A (zh) * | 2016-06-30 | 2018-01-09 | 广东先导先进材料股份有限公司 | 一种多线切割晶片的方法以及切割装置 |
| CN110587831A (zh) * | 2019-09-16 | 2019-12-20 | 顺德中山大学太阳能研究院 | 一种用于光伏双玻组件的线切割设备 |
| CN110587831B (zh) * | 2019-09-16 | 2022-02-01 | 顺德中山大学太阳能研究院 | 一种用于光伏双玻组件的线切割设备 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2671728B2 (ja) | 1997-10-29 |
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