JP2000084824A - ワイヤソーのスラリ供給方法及び装置 - Google Patents
ワイヤソーのスラリ供給方法及び装置Info
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- JP2000084824A JP2000084824A JP10258043A JP25804398A JP2000084824A JP 2000084824 A JP2000084824 A JP 2000084824A JP 10258043 A JP10258043 A JP 10258043A JP 25804398 A JP25804398 A JP 25804398A JP 2000084824 A JP2000084824 A JP 2000084824A
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- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
- B28D5/007—Use, recovery or regeneration of abrasive mediums
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/10—Greenhouse gas [GHG] capture, material saving, heat recovery or other energy efficient measures, e.g. motor control, characterised by manufacturing processes, e.g. for rolling metal or metal working
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】被加工物を精度良く加工できるとともに、経済
的に優れたワイヤソーのスラリ供給方法及び装置を提供
すること。 【解決手段】ワイヤ列２０の上方に、ワイヤ列２０の幅
全体に渡ってスラリを供給するスラリノズル４２が設置
される。スラリノズル４２には、外筒４６が外嵌してお
り、この外筒４６をスライドさせることにより、スラリ
の供給範囲を調節する。スラリの供給範囲は、インゴッ
ト３２を切断する切断範囲に応じて調節される。
的に優れたワイヤソーのスラリ供給方法及び装置を提供
すること。 【解決手段】ワイヤ列２０の上方に、ワイヤ列２０の幅
全体に渡ってスラリを供給するスラリノズル４２が設置
される。スラリノズル４２には、外筒４６が外嵌してお
り、この外筒４６をスライドさせることにより、スラリ
の供給範囲を調節する。スラリの供給範囲は、インゴッ
ト３２を切断する切断範囲に応じて調節される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はワイヤソーのスラリ
供給方法及び装置に係り、特にシリコン、ガラス、セラ
ミックス等の脆性材料を切断するワイヤソーのスラリ供
給方法及び装置に関する。
供給方法及び装置に係り、特にシリコン、ガラス、セラ
ミックス等の脆性材料を切断するワイヤソーのスラリ供
給方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ワイヤソーは、一対のワイヤリール間の
ワイヤを複数のグルーブローラに巻き掛けてワイヤ列を
形成し、ワイヤを高速で往復走行させるとともに前記ワ
イヤ列にスラリを供給しながら被加工物を押し付けて、
被加工物を一度に多数枚のウェーハを切断する装置であ
る。
ワイヤを複数のグルーブローラに巻き掛けてワイヤ列を
形成し、ワイヤを高速で往復走行させるとともに前記ワ
イヤ列にスラリを供給しながら被加工物を押し付けて、
被加工物を一度に多数枚のウェーハを切断する装置であ
る。
【０００３】ところで、前記ワイヤ列で被加工物を切断
すると、前記ワイヤ列の切断範囲では加工熱が発生し、
ワイヤ列やグルーブローラの温度が上昇する。そこで、
従来のワイヤソーでは、ワイヤ列の幅全体に渡って温度
調節したスラリを供給し、ワイヤ列やグルーブローラの
温度上昇を抑制していた。
すると、前記ワイヤ列の切断範囲では加工熱が発生し、
ワイヤ列やグルーブローラの温度が上昇する。そこで、
従来のワイヤソーでは、ワイヤ列の幅全体に渡って温度
調節したスラリを供給し、ワイヤ列やグルーブローラの
温度上昇を抑制していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ワイヤソーで短い被加工物を切断した場合、グルーブロ
ーラが熱変形して、切断した被加工物の精度が悪化する
という欠点があった。これは、供給したスラリによって
ワイヤ列が幅全体にわたって冷却される一方で、加工熱
によって温度上昇する範囲が被加工物の大きさに伴って
小さくなり、ワイヤ列に著しい温度分布を発生するから
である。このワイヤ列の温度分布は、ワイヤを介してグ
ルーブローラに伝播し、グルーブローラは熱変形を生じ
る。グルーブローラに熱変形を生じると、グルーブロー
ラに巻き掛けられたワイヤ同士の間隔が変化して、切断
したウェーハに反りや厚さムラを発生する。
ワイヤソーで短い被加工物を切断した場合、グルーブロ
ーラが熱変形して、切断した被加工物の精度が悪化する
という欠点があった。これは、供給したスラリによって
ワイヤ列が幅全体にわたって冷却される一方で、加工熱
によって温度上昇する範囲が被加工物の大きさに伴って
小さくなり、ワイヤ列に著しい温度分布を発生するから
である。このワイヤ列の温度分布は、ワイヤを介してグ
ルーブローラに伝播し、グルーブローラは熱変形を生じ
る。グルーブローラに熱変形を生じると、グルーブロー
ラに巻き掛けられたワイヤ同士の間隔が変化して、切断
したウェーハに反りや厚さムラを発生する。
【０００５】また、従来のワイヤソーは、短い被加工物
を切断すると、過剰のスラリを供給することになり、経
済的にみて無駄が多いという欠点があった。本発明はこ
のような事情に鑑みてなされたもので、被加工物を精度
良く加工できるとともに、経済的に優れたワイヤソーの
スラリ供給方法及び装置を提供することを目的とする。
を切断すると、過剰のスラリを供給することになり、経
済的にみて無駄が多いという欠点があった。本発明はこ
のような事情に鑑みてなされたもので、被加工物を精度
良く加工できるとともに、経済的に優れたワイヤソーの
スラリ供給方法及び装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は前記目的を達成
するために、ワイヤを複数個のグルーブローラに巻き掛
けてワイヤ列を形成し、前記ワイヤを走行させるととも
に前記ワイヤ列にスラリを供給しながら被加工物を押し
つけることにより、多数のウェーハに切断するワイヤソ
ーにおいて、前記被加工物を切断するワイヤ列の切断範
囲に応じて前記スラリの供給範囲を調節することを特徴
とする。
するために、ワイヤを複数個のグルーブローラに巻き掛
けてワイヤ列を形成し、前記ワイヤを走行させるととも
に前記ワイヤ列にスラリを供給しながら被加工物を押し
つけることにより、多数のウェーハに切断するワイヤソ
ーにおいて、前記被加工物を切断するワイヤ列の切断範
囲に応じて前記スラリの供給範囲を調節することを特徴
とする。
【０００７】また、本発明は前記目的を達成するため
に、ワイヤを複数個のグルーブローラに巻き掛けてワイ
ヤ列を形成し、前記ワイヤを走行させるとともに前記ワ
イヤ列にスラリを供給しながら被加工物を押しつけるこ
とにより、多数のウェーハに切断するワイヤソーにおい
て、前記ワイヤ列の上方に、該ワイヤ列にスラリを供給
する供給口と、該供給口を開閉することにより前記スラ
リの供給範囲を調節する調節手段を設け、該調節手段を
操作して、前記被加工物を切断する切断範囲に応じて前
記スラリの供給範囲を調節することを特徴とする。
に、ワイヤを複数個のグルーブローラに巻き掛けてワイ
ヤ列を形成し、前記ワイヤを走行させるとともに前記ワ
イヤ列にスラリを供給しながら被加工物を押しつけるこ
とにより、多数のウェーハに切断するワイヤソーにおい
て、前記ワイヤ列の上方に、該ワイヤ列にスラリを供給
する供給口と、該供給口を開閉することにより前記スラ
リの供給範囲を調節する調節手段を設け、該調節手段を
操作して、前記被加工物を切断する切断範囲に応じて前
記スラリの供給範囲を調節することを特徴とする。
【０００８】本発明によれば、ワイヤ列においてスラリ
が供給される供給範囲は、被加工物を切断する切断範囲
に応じて調節される。したがって、切断範囲で発生した
加工熱によって温度上昇するワイヤに、温度調節したス
ラリを的確に供給して冷却することができる。これによ
り、ワイヤ列の温度分布の偏りを抑制して、グルーブロ
ーラの熱変形を防止することができる。
が供給される供給範囲は、被加工物を切断する切断範囲
に応じて調節される。したがって、切断範囲で発生した
加工熱によって温度上昇するワイヤに、温度調節したス
ラリを的確に供給して冷却することができる。これによ
り、ワイヤ列の温度分布の偏りを抑制して、グルーブロ
ーラの熱変形を防止することができる。
【０００９】また、本発明では、被加工物の切断、及び
ワイヤ列等の冷却に必要な最低量のスラリを供給するこ
とになるので、スラリを節約することができ、経済的に
優れたワイヤソーを提供することができる。
ワイヤ列等の冷却に必要な最低量のスラリを供給するこ
とになるので、スラリを節約することができ、経済的に
優れたワイヤソーを提供することができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るワイヤソーのスラリ供給方法及び装置の実施の形態に
ついて詳説する。図１は、本発明のスラリ供給装置を適
用したワイヤソーの全体構成を示す斜視図である。
るワイヤソーのスラリ供給方法及び装置の実施の形態に
ついて詳説する。図１は、本発明のスラリ供給装置を適
用したワイヤソーの全体構成を示す斜視図である。
【００１１】同図に示すように、ワイヤリール１２に巻
かれたワイヤ１４は、多数のガイドローラ１６、１６、
…で形成されるワイヤ走行路を経て３本のグルーブロー
ラ１８Ａ、１８Ｂ、１８Ｃに巻き掛けられ、平行なワイ
ヤ列２０を形成する。ワイヤ列２０を形成したワイヤ１
４は、ワイヤ列２０を挟んで左右対称に形成された他方
側のワイヤ走行路を経て図示しないワイヤリールに巻き
取られる。なお、グルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃの具体
的な構造については後に詳説する。
かれたワイヤ１４は、多数のガイドローラ１６、１６、
…で形成されるワイヤ走行路を経て３本のグルーブロー
ラ１８Ａ、１８Ｂ、１８Ｃに巻き掛けられ、平行なワイ
ヤ列２０を形成する。ワイヤ列２０を形成したワイヤ１
４は、ワイヤ列２０を挟んで左右対称に形成された他方
側のワイヤ走行路を経て図示しないワイヤリールに巻き
取られる。なお、グルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃの具体
的な構造については後に詳説する。
【００１２】前記ワイヤ列２０の両側に形成されるワイ
ヤ走行路には、それぞれワイヤ案内装置２２、ダンサロ
ーラ２４及びワイヤ洗浄装置２６が配設されており（一
方側のみ図示）、ワイヤ案内装置２２は、ワイヤリール
１２からワイヤ１４を一定ピッチでガイドする。また、
ダンサローラ２４は、所定重量のウェイト（図示せず）
が架設されていて、走行するワイヤ１４にこのウェイト
で一定の張力を付与する。ワイヤ洗浄装置２６は、走行
するワイヤ１４に洗浄液を噴射してワイヤ１４に付着し
たスラリをワイヤ１４から除去する。
ヤ走行路には、それぞれワイヤ案内装置２２、ダンサロ
ーラ２４及びワイヤ洗浄装置２６が配設されており（一
方側のみ図示）、ワイヤ案内装置２２は、ワイヤリール
１２からワイヤ１４を一定ピッチでガイドする。また、
ダンサローラ２４は、所定重量のウェイト（図示せず）
が架設されていて、走行するワイヤ１４にこのウェイト
で一定の張力を付与する。ワイヤ洗浄装置２６は、走行
するワイヤ１４に洗浄液を噴射してワイヤ１４に付着し
たスラリをワイヤ１４から除去する。
【００１３】前記一対のワイヤリール１２及びグルーブ
ローラ１８Ｃには正逆回転可能なモータ（図示せず）が
連結されており、前記ワイヤ１４は、これらモータを駆
動することにより、一対のワイヤリール１２間を高速で
往復走行する。前記ワイヤ列２０の上方には、ワイヤ列
２０に対して垂直に昇降移動するワークフィードテーブ
ル２８が設置されている。ワークフィードテーブル２８
には保持部３０が備えられており、インゴット３２は、
この保持部３０の下部に結晶方位合わせして保持され
る。
ローラ１８Ｃには正逆回転可能なモータ（図示せず）が
連結されており、前記ワイヤ１４は、これらモータを駆
動することにより、一対のワイヤリール１２間を高速で
往復走行する。前記ワイヤ列２０の上方には、ワイヤ列
２０に対して垂直に昇降移動するワークフィードテーブ
ル２８が設置されている。ワークフィードテーブル２８
には保持部３０が備えられており、インゴット３２は、
この保持部３０の下部に結晶方位合わせして保持され
る。
【００１４】ワイヤソー１０の下部には、スラリタンク
３４が設置され、内部にスラリが貯留されている。スラ
リタンク３４内のスラリは、図示しないポンプで汲み上
げられ、ワイヤ列２０の上方に設置したスラリノズル４
２（図２参照）に供給され、該スラリノズル４２からワ
イヤ列２０に噴射される。また、ワイヤ列２０の下方に
は、オイルパン３６が設置されており、前記ワイヤ列２
０に噴射したスラリを回収して前記スラリタンク３４に
送液する。
３４が設置され、内部にスラリが貯留されている。スラ
リタンク３４内のスラリは、図示しないポンプで汲み上
げられ、ワイヤ列２０の上方に設置したスラリノズル４
２（図２参照）に供給され、該スラリノズル４２からワ
イヤ列２０に噴射される。また、ワイヤ列２０の下方に
は、オイルパン３６が設置されており、前記ワイヤ列２
０に噴射したスラリを回収して前記スラリタンク３４に
送液する。
【００１５】また、ワイヤソー１０には、熱交換器３８
が設置されている。前記スラリタンク３４内のスラリ
は、この熱交換器３８に循環供給されて熱交換される。
図２及び図３は、本発明のスラリ供給装置の斜視図及び
側面断面図である。これらの図に示すように、ワイヤ列
２０の上方には、一対のスラリノズル４２、４２が設置
されている。一対のスラリノズル４２、４２はそれぞ
れ、グルーブローラ１８Ａ、１８Ｂの近傍で且つグルー
ブローラ１８Ａ、１８Ｂと同軸方向に設置される。スラ
リノズル４２の一端は、図示しないポンプを配設したチ
ューブ６０を介してスラリタンク３４に連結され、前記
ポンプを駆動することによりスラリタンク３４内のスラ
リがチューブ６０を介してスラリノズル４２に供給され
る。また、前記スラリノズル４２は、下面に噴射口（供
給口）が多数形成され、スラリノズル４２に供給された
スラリをワイヤ列２０の幅全体に渡って噴出するように
形成される。また、スラリノズル４２とスラリタンク３
４とを連結するチューブ６０には、スラリの圧力を調節
する圧力調節器（図示せず）が設けられ、ワイヤ列２０
に噴出するスラリの圧力が一定になるように調節され
る。
が設置されている。前記スラリタンク３４内のスラリ
は、この熱交換器３８に循環供給されて熱交換される。
図２及び図３は、本発明のスラリ供給装置の斜視図及び
側面断面図である。これらの図に示すように、ワイヤ列
２０の上方には、一対のスラリノズル４２、４２が設置
されている。一対のスラリノズル４２、４２はそれぞ
れ、グルーブローラ１８Ａ、１８Ｂの近傍で且つグルー
ブローラ１８Ａ、１８Ｂと同軸方向に設置される。スラ
リノズル４２の一端は、図示しないポンプを配設したチ
ューブ６０を介してスラリタンク３４に連結され、前記
ポンプを駆動することによりスラリタンク３４内のスラ
リがチューブ６０を介してスラリノズル４２に供給され
る。また、前記スラリノズル４２は、下面に噴射口（供
給口）が多数形成され、スラリノズル４２に供給された
スラリをワイヤ列２０の幅全体に渡って噴出するように
形成される。また、スラリノズル４２とスラリタンク３
４とを連結するチューブ６０には、スラリの圧力を調節
する圧力調節器（図示せず）が設けられ、ワイヤ列２０
に噴出するスラリの圧力が一定になるように調節され
る。
【００１６】前記スラリノズル４２にはそれぞれ、一対
の外筒４６、４６が外嵌されている。外筒４６は、スラ
リノズル４２に対してスライド自在に取り付けられ、外
筒４６が外嵌した範囲の噴出口を閉塞するように構成さ
れる。これにより、外筒４６をスライドさせることによ
り、ワイヤ列２０においてスラリが供給される範囲（以
下、スラリの供給範囲）を調節することができる。
の外筒４６、４６が外嵌されている。外筒４６は、スラ
リノズル４２に対してスライド自在に取り付けられ、外
筒４６が外嵌した範囲の噴出口を閉塞するように構成さ
れる。これにより、外筒４６をスライドさせることによ
り、ワイヤ列２０においてスラリが供給される範囲（以
下、スラリの供給範囲）を調節することができる。
【００１７】スラリの供給範囲Ｌは、図３に示すよう
に、ワイヤ列２０においてインゴット３２を切断する切
断範囲ｌにαとβを加えた範囲に調節される。ここで、
αとβは、インゴット３２の半径、ワークフィードテー
ブル２８の下降速度、ワイヤ１４の走行速度及びワイヤ
列２０に対するインゴット３２の位置等によって決定さ
れる値であり、このα及びβにもスラリを供給すること
により、切断範囲ｌを通過するワイヤ１４にインゴット
３２の切断に必要なスラリを十分に付着させる。なお、
スラリノズル４２の形状や噴出するスラリの圧力を変え
ることにより、αやβを形成しなくても切断範囲ｌのワ
イヤ１４にスラリを十分に付着させることができるので
あれば、切断範囲ｌをスラリの供給範囲Ｌとしても良
い。
に、ワイヤ列２０においてインゴット３２を切断する切
断範囲ｌにαとβを加えた範囲に調節される。ここで、
αとβは、インゴット３２の半径、ワークフィードテー
ブル２８の下降速度、ワイヤ１４の走行速度及びワイヤ
列２０に対するインゴット３２の位置等によって決定さ
れる値であり、このα及びβにもスラリを供給すること
により、切断範囲ｌを通過するワイヤ１４にインゴット
３２の切断に必要なスラリを十分に付着させる。なお、
スラリノズル４２の形状や噴出するスラリの圧力を変え
ることにより、αやβを形成しなくても切断範囲ｌのワ
イヤ１４にスラリを十分に付着させることができるので
あれば、切断範囲ｌをスラリの供給範囲Ｌとしても良
い。
【００１８】また、外筒４６は、一端が固定リング４８
に固着されている。固定リング４８は、スラリノズル４
２に外嵌するリング状に形成され、図４に示すように一
箇所をラジアル方向に切断して形成される。また、固定
リング４８には、前記切断部分を挟んで一方に孔５０、
他方にネジ孔５２が同軸上に形成される。したがって、
固定リング４８をスラリノズル４２に外嵌し、ボルト５
４を前記孔５０に挿通してネジ孔５２に締結すると、固
定リング４８の内周面がスラリノズル４２を締めつけ、
固定リング４２をスラリノズル４２に固定することがで
きる。
に固着されている。固定リング４８は、スラリノズル４
２に外嵌するリング状に形成され、図４に示すように一
箇所をラジアル方向に切断して形成される。また、固定
リング４８には、前記切断部分を挟んで一方に孔５０、
他方にネジ孔５２が同軸上に形成される。したがって、
固定リング４８をスラリノズル４２に外嵌し、ボルト５
４を前記孔５０に挿通してネジ孔５２に締結すると、固
定リング４８の内周面がスラリノズル４２を締めつけ、
固定リング４２をスラリノズル４２に固定することがで
きる。
【００１９】上記の如く構成したスラリ供給装置の作用
は、次の通りである。まず、インゴット３２を保持部３
０に装着するとともに、インゴット３２の長さ、即ち切
断範囲ｌに応じて、スラリの供給範囲Ｌを調節する。即
ち、外筒４６をスライドさせ、スラリの供給範囲Ｌをｌ
＋α＋βに調節した後、固定リング４８のボルト５４を
締結して外筒４６を固定する。
は、次の通りである。まず、インゴット３２を保持部３
０に装着するとともに、インゴット３２の長さ、即ち切
断範囲ｌに応じて、スラリの供給範囲Ｌを調節する。即
ち、外筒４６をスライドさせ、スラリの供給範囲Ｌをｌ
＋α＋βに調節した後、固定リング４８のボルト５４を
締結して外筒４６を固定する。
【００２０】次に、図示しないモータを駆動してワイヤ
リール１２及びグルーブローラ１８Ｃを高速回転させ、
ワイヤ１４を高速で往復走行させる。そして、ワイヤ１
４の走行が安定したところで、走行するワイヤ列２０に
スラリノズル４２の噴射口からスラリを噴射しながら、
ワークフィードテーブル２８を下降させてワイヤ列２０
にインゴット３２を押し付ける。このとき、スラリの供
給範囲Ｌが切断範囲ｌに応じて設定されているので、切
断範囲ｌを通過するワイヤ１４にスラリが十分付着し、
インゴット３２は、このスラリ中に含有される砥粒のラ
ッピング作用で多数枚のウェーハに切断される。
リール１２及びグルーブローラ１８Ｃを高速回転させ、
ワイヤ１４を高速で往復走行させる。そして、ワイヤ１
４の走行が安定したところで、走行するワイヤ列２０に
スラリノズル４２の噴射口からスラリを噴射しながら、
ワークフィードテーブル２８を下降させてワイヤ列２０
にインゴット３２を押し付ける。このとき、スラリの供
給範囲Ｌが切断範囲ｌに応じて設定されているので、切
断範囲ｌを通過するワイヤ１４にスラリが十分付着し、
インゴット３２は、このスラリ中に含有される砥粒のラ
ッピング作用で多数枚のウェーハに切断される。
【００２１】ところで、インゴット３２を切断した際
に、ワイヤ列２０の切断範囲ｌでは、加工熱が発生し、
切断範囲ｌは温度上昇する。前述したように、ワイヤ列
２０に供給されるスラリは、熱交換器３８で温度調節さ
れており、ワイヤ列２０はスラリの供給範囲Ｌ冷却さ
れ、加工熱による前記切断範囲ｌの温度上昇を抑制する
ことができる。このとき、スラリの供給範囲Ｌが切断範
囲ｌに応じて設定されているので、ワイヤ列２０の幅全
体に渡ってスラリを供給したときのように温度上昇しな
い範囲もスラリで冷却してワイヤ列２０に偏った温度分
布を生じることがない。したがって、ワイヤ列２０の温
度分布の偏りを抑制することができ、グルーブローラ１
８Ａ〜１８Ｃの熱変形を抑えることができるので、イン
ゴット３２の加工精度を向上させることができる。
に、ワイヤ列２０の切断範囲ｌでは、加工熱が発生し、
切断範囲ｌは温度上昇する。前述したように、ワイヤ列
２０に供給されるスラリは、熱交換器３８で温度調節さ
れており、ワイヤ列２０はスラリの供給範囲Ｌ冷却さ
れ、加工熱による前記切断範囲ｌの温度上昇を抑制する
ことができる。このとき、スラリの供給範囲Ｌが切断範
囲ｌに応じて設定されているので、ワイヤ列２０の幅全
体に渡ってスラリを供給したときのように温度上昇しな
い範囲もスラリで冷却してワイヤ列２０に偏った温度分
布を生じることがない。したがって、ワイヤ列２０の温
度分布の偏りを抑制することができ、グルーブローラ１
８Ａ〜１８Ｃの熱変形を抑えることができるので、イン
ゴット３２の加工精度を向上させることができる。
【００２２】このように本発明のスラリ供給装置では、
外筒４６の位置を調節することにより、スラリの供給範
囲Ｌを切断範囲ｌに応じて調節することができる。これ
により、ワイヤ列２０の温度分布の偏りを抑制してイン
ゴット３２の加工精度を向上させることができる。ま
た、本発明のスラリ供給装置では、切断範囲ｌに応じて
スラリの供給範囲Ｌを設定するので、スラリの使用量が
減少し、スラリを節約することができる。
外筒４６の位置を調節することにより、スラリの供給範
囲Ｌを切断範囲ｌに応じて調節することができる。これ
により、ワイヤ列２０の温度分布の偏りを抑制してイン
ゴット３２の加工精度を向上させることができる。ま
た、本発明のスラリ供給装置では、切断範囲ｌに応じて
スラリの供給範囲Ｌを設定するので、スラリの使用量が
減少し、スラリを節約することができる。
【００２３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
スラリの供給範囲を被加工物の切断範囲に応じて最適な
範囲に調節するので、スラリを節約することができ、さ
らに、グルーブローラの熱変形を抑制して切断した被加
工物の精度を向上させることができる。
スラリの供給範囲を被加工物の切断範囲に応じて最適な
範囲に調節するので、スラリを節約することができ、さ
らに、グルーブローラの熱変形を抑制して切断した被加
工物の精度を向上させることができる。
【図１】本発明に係るスラリ供給装置を適用したワイヤ
ソーの全体構成を示す斜視図
ソーの全体構成を示す斜視図
【図２】図１のスラリ供給装置の斜視図
【図３】図２の正面断面図
【図４】図２の外筒の側面断面図
１０…ワイヤソー １４…ワイヤ １８Ａ〜１８Ｃ…グルーブローラ ３２…インゴット ４２…スラリノズル ４６…外筒
Claims (3)
- 【請求項１】 ワイヤを複数個のグルーブローラに巻き
掛けてワイヤ列を形成し、前記ワイヤを走行させるとと
もに前記ワイヤ列にスラリを供給しながら被加工物を押
しつけることにより、多数のウェーハに切断するワイヤ
ソーにおいて、 前記被加工物を切断するワイヤ列の切断範囲に応じて、
前記スラリの供給範囲を調節することを特徴とするワイ
ヤソーのスラリ供給方法。 - 【請求項２】 ワイヤを複数個のグルーブローラに巻き
掛けてワイヤ列を形成し、前記ワイヤを走行させるとと
もに前記ワイヤ列にスラリを供給しながら被加工物を押
し付けることにより、多数のウェーハに切断するワイヤ
ソーにおいて、 前記ワイヤ列の上方に、該ワイヤ列にスラリを供給する
供給口と、該供給口を開閉することにより前記スラリの
供給範囲を調節する調節手段を設け、該調節手段を操作
して、前記被加工物を切断する切断範囲に応じて前記ス
ラリの供給範囲を調節することを特徴とするワイヤソー
のスラリ供給装置。 - 【請求項３】 前記調節手段は、前記供給口が形成され
た内筒に外筒を外嵌させることにより形成され、該外筒
をスライドさせることにより前記スラリ供給範囲を調節
することを特徴とする請求項２のワイヤソーのスラリ供
給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10258043A JP2000084824A (ja) | 1998-09-11 | 1998-09-11 | ワイヤソーのスラリ供給方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10258043A JP2000084824A (ja) | 1998-09-11 | 1998-09-11 | ワイヤソーのスラリ供給方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000084824A true JP2000084824A (ja) | 2000-03-28 |
Family
ID=17314755
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10258043A Pending JP2000084824A (ja) | 1998-09-11 | 1998-09-11 | ワイヤソーのスラリ供給方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000084824A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015030082A (ja) * | 2013-08-06 | 2015-02-16 | 株式会社Sumco | ワイヤーソー用加工液供給ノズルおよびワイヤーソーへの加工液供給方法 |
| CN105599152A (zh) * | 2015-12-17 | 2016-05-25 | 浙江昊能光电有限公司 | 一种新型砂浆喷管装置 |
| CN108381798A (zh) * | 2018-03-29 | 2018-08-10 | 安徽三电光伏科技有限公司 | 一种太阳能硅片线锯切割机 |
| CN110962248A (zh) * | 2018-09-28 | 2020-04-07 | 胜高股份有限公司 | 线锯用加工液供给喷嘴及向线锯供给加工液的方法 |
-
1998
- 1998-09-11 JP JP10258043A patent/JP2000084824A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2015030082A (ja) * | 2013-08-06 | 2015-02-16 | 株式会社Sumco | ワイヤーソー用加工液供給ノズルおよびワイヤーソーへの加工液供給方法 |
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| CN105599152B (zh) * | 2015-12-17 | 2019-04-05 | 浙江昊能光电股份有限公司 | 一种砂浆喷管装置 |
| CN108381798A (zh) * | 2018-03-29 | 2018-08-10 | 安徽三电光伏科技有限公司 | 一种太阳能硅片线锯切割机 |
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