JP2015030082A - ワイヤーソー用加工液供給ノズルおよびワイヤーソーへの加工液供給方法 - Google Patents

Abstract

【課題】ノズル内への加工液の供給条件や加工液の状態などに影響されることなく、ワイヤーソー用加工液供給ノズルの延在方向における加工液の吐出量の調整を精度良く、しかも簡易に行うことができる二重管構造のワイヤーソー用加工液供給ノズルを提供する。【解決手段】本発明のワイヤーソー用加工液供給ノズル１００は、内管１０および外管２０の二重管構造を有する。内管の内部１４に供給された加工液が、内管の複数の孔１２を介して外管の内部２４に放出され、さらに外管のスリット２２を介してワイヤーソーに吐出される。外管２０には、内管の複数の孔１２に対向した位置にそれぞれ孔２６が設けられる。これら外管の複数の孔２６には棒状部材３０が取り付けられ、これら棒状部材３０の位置を外管２０の外部から動かすことで、内管の孔１２のそれぞれにおける加工液の放出量を個別に調整可能とした。【選択図】図１

Description

本発明は、シリコン等のインゴットから多数のウェーハを切り出すワイヤーソーに、スラリーやクーラントなどの加工液を供給するために用いるワイヤーソー用加工液供給ノズル、およびワイヤーソーへの加工液供給方法に関する。

半導体基板となるウェーハは、シリコンや化合物半導体等からなるインゴットを切断して製造される。近年、インゴットの切断方法は、ワイヤーソーにより同時に多数枚のウェーハを切り出す方法が主流になっている。これらインゴットを含め、ワイヤーソーによる切断処理を受ける対象物を本明細書では「ワーク」という。

ここで、図２を用いてワイヤーソーの概略を説明する。ワイヤーソー４０は、ワイヤーを複数のローラ４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃ間に並列かつ往復走行可能に張り渡したワイヤー群４４と、ワークＷを保持するワーク保持機構４６と、ワイヤー群４４に加工液を供給するノズル２００と、を有する。ワークの切断方法は、遊離砥粒方式と固定砥粒方式とに大別される。遊離砥粒方式の場合、砥粒を含むスラリーをノズル２００からワイヤー群４４に連続供給しながらワイヤー群４４をその延在方向Ｚに沿って高速で往復走行させる。これと同時に、ワーク保持機構４６により、ワイヤー群４４に対しワークＷを押し込む方向に移動させる。このときの砥粒の切削作用により、ワークＷを多数枚のウェーハに同時に切り出すことができる。固定砥粒方式の場合、樹脂または電気鍍金にて砥粒を定着させたワイヤー（固定砥粒ワイヤー）を用いてスライス加工を行うため、ノズル２００からは砥粒を含まないクーラントをワイヤー群４４に供給する。なお、図２ではワイヤー群４４が図中左から右へ移動している状態を描いている。

ここで、ワイヤー群４４に加工液を吐出するノズル２００として、図３（Ａ）〜（Ｃ）に示すような、二重管構造のものが知られている。図３に示すワイヤーソー用加工液供給ノズル２００は、内管１０および外管２０を含む。内管１０は直線状に延在し、その延在方向Ｅ１に沿って同一直径の複数の孔１２が設けられている。外管２０は内管１０の外側に延在し、その延在方向Ｅ１に沿って内管の孔１２と反対側の位置に一定幅のスリット２２が設けられている。加工液Ｌは、内管の内部１４に供給され、内管の複数の孔１２を介して外管の内部２４に放出され、さらにスリット２２を介して吐出される。図２および図３に示すように、ワークおよびノズル２００は、ワイヤー群４４上にその延在方向Ｚと直行するように位置する。このため、ノズルのスリット２２から吐出された加工液Ｌは、図３（Ａ）に示すように、ワイヤー群４４上に供給された後、ワイヤー群４４の走行方向に移動する。

その際、スリット２２からの加工液の吐出量がノズル２００の延在方向Ｅ１に沿ってばらつくことがある。例えば、図３に示すノズル２００では、片方の端部２００Ａから内管の内部１４に加工液が供給され、他方の端部２００Ｂは封止されている。この場合、加工液としてクーラントを用いると、内管の孔１２からのクーラントの単位時間当たりの放出量は、端部２００Ａに近い上流側の孔よりも端部２００Ｂに近い下流側の孔で多くなることが判明した。そのため、図３（Ａ）に示すように、スリット２２から吐出されたクーラントＬのワイヤー群４４上での到達位置も、ノズル２００の上流側より下流側で遠くなる。一方、加工液としてスラリーを用いると、内管の孔１２からのスラリーの単位時間当りの放出量は、下流側より上流側で多くなる。

このように、スリット２２からの加工液の吐出量や到達位置がノズル２００の延在方向Ｅ１に沿ってばらつくと、上流側のワイヤーで切断されたウェーハと下流側のワイヤーで切断されたウェーハとで加工精度が異なるという加工精度のばらつきを招く。そのため、このような加工液の違いによる吐出量や到達位置のばらつきを抑制することが望まれる。なお、以下本明細書では、ノズルの内管の内部における加工液の流れにおいて、端部２００Ａ側を「上流」、端部２００Ｂ側を「下流」と表現する。

特許文献１には、遊離砥粒方式で砥粒を含むスラリーを吐出するノズルとして、単管式のノズルと、二重管構造のノズルが記載されている。単管式のノズルでは、スラリーを吐出するスリットの幅を、上流から下流に向けて漸増させて、スリットからスラリーが均一に落下するようにすることが記載されている（引用文献１図３参照）。ただし、二重管構造のノズルでは、スリットの幅がその延在方向に一定でも、スリットからスラリーが均一に落下すると記載されている（引用文献１段落［００１２］参照）。

特許文献２には、遊離砥粒方式で砥粒を含むスラリーを吐出するノズルとして、二重管構造のノズルが記載されている。このノズルでは、上流から下流に向けて内管の孔の直径を漸増させることにより、各孔からのスラリーの放出量を一定にすることを意図している。

特開平７−１９５３５８号公報 特開平１０−２９１２１２号公報

特許文献１では、二重管構造のノズルでもスリットからの加工液の吐出量がばらつくという図３で説明したような技術的課題を認識していない。また、仮に図３において、スリット２２の幅を上流側で狭く、下流側で広くした場合にも、既述の課題を解決することはできない。この場合、スリット２２の上流側からは下流側より勢いよく加工液が吐出されることから、図３（Ａ）に示す加工液の到達位置のばらつきは抑制される。しかしながら、到達位置は揃う傾向となるものの、内管の孔からの放出量のばらつきは残ったままなので、スリット２２からの実際の吐出量は、上流よりも下流側で多い状態が変わらないからである。このため、ウェーハの加工精度のばらつきを解消することはできない。

特許文献２は、内管の孔からの放出量を調整する技術であるので、スリットからの吐出量のばらつきも抑制しうるものである。しかしながら、本発明者らの検討によると、予め内管の孔のサイズを調整する方法では、吐出量の調整を精度よくかつ簡易に行うことができないことが判明した。本発明者らが実際に行った実験では、同一サイズの複数の孔をアルミテープで覆い、アルミテープに開ける孔の大きさを微調整しながら、それぞれの孔からの放出量を揃えることを試みた。しかし、ある程度の放出量の調整は可能であるものの、高精度の調整は難しく、また、再現性は得られにくかった。その上、内管の孔からの放出量のばらつきは、ノズル内への加工液供給条件や加工液の状態など種々の要因によって様々に変化するが、特許文献２のように予め孔の直径を定めてしまうと、これら種々の要因に対応することができない。

そこで本発明は、上記課題に鑑み、ノズル内への加工液の供給条件や加工液の状態などに影響されることなく、ワイヤーソー用加工液供給ノズルの延在方向における加工液の吐出量の調整を精度良く、しかも簡易に行うことができる二重管構造のワイヤーソー用加工液供給ノズルを提供することを目的とする。あわせて本発明は、このワイヤーソー用加工液供給ノズルを用いたワイヤーソーへの加工液供給方法も提供する。

上記目的を達成することができる本発明の要旨構成は以下のとおりである。
本発明のワイヤーソー用加工液供給ノズルは、
直線状に延在し、その延在方向に沿って複数の孔が設けられた内管と、
該内管の外側に延在し、その延在方向に沿って前記内管の孔とずらした位置に一定幅のスリットが設けられた外管と、
を有し、
前記内管の内部に供給された加工液が、前記内管の複数の孔を介して前記外管の内部に放出され、さらに前記外管のスリットを介してワイヤーソーに吐出されるようにした二重管構造のワイヤーソー用加工液供給ノズルであって、
前記外管には、前記内管の複数の孔に対向した位置にそれぞれ孔が設けられ、
該外管の複数の孔には、それぞれ対向する前記内管の孔に向かって延び、その延在方向にスライド可能でかつ固定可能な棒状部材が取り付けられ、該棒状部材の固定位置を前記外管の外部から動かすことで、前記内管の孔のそれぞれにおける加工液の放出量を個別に調整可能としたことを特徴とする。

ここで、前記外管が、前記外管の複数の孔を含む上部パーツと、前記スリットを含む下部パーツとからなり、前記上部パーツと前記下部パーツとは着脱可能であることが好ましい。

また、前記棒状部材は、前記内管の孔に向けて直径が漸減する先端部を有することが好ましい。

さらに、前記棒状部材の直径が、前記内管の孔の直径以上であることが好ましい。

本発明のワイヤーソーへの加工液供給方法は、
直線状に延在し、その延在方向に沿って複数の孔が設けられた内管と、
該内管の外側に延在し、その延在方向に沿って前記内管の孔とずらした位置にスリットが設けられた外管と、
を有する二重管構造のワイヤーソー用加工液供給ノズルを用いて、
前記内管の内部に供給された加工液が、前記内管の複数の孔を介して前記外管の内部に放出され、さらに前記外管のスリットを介してワイヤーソーに吐出されるようにしたワイヤーソーへの加工液供給方法であって、
前記外管には、前記内管の複数の孔に対向した位置にそれぞれ孔が設けられ、
該外管の複数の孔には、それぞれ対向する前記内管の孔に向かって延び、その延在方向にスライド可能でかつ固定可能な棒状部材が取り付けられ、該棒状部材の固定位置を前記外管の外部から動かすことで、前記内管の孔のそれぞれにおける加工液の放出量を個別に調整することを特徴とする。

この方法の一実施形態として、前記ワイヤーソー用加工液供給ノズルは、前記内管の片方の端部から前記内管の内部に加工液が供給され、前記内管の他方の端部は封止されている。この場合、前記片方の端部から他方の端部に向かうほど、前記棒状部材を押し込むようにすることが好ましい。

この方法の一実施形態として、前記ワイヤーソーが固定砥粒ワイヤーを含み、前記加工液が砥粒を含まないクーラントであることが好ましい。

本発明のワイヤーソー用加工液供給ノズルおよびワイヤーソーへの加工液供給方法によれば、ノズル内への加工液の供給条件や加工液の状態などに影響されることなく、ワイヤーソー用加工液供給ノズルの延在方向における加工液の吐出量の調整を精度良く、しかも簡易に行うことができる。

（Ａ）は、本発明の一実施形態によるワイヤーソー用加工液供給ノズル１００の、内管および外管の延在方向Ｅ１に沿った部分断面図である。（Ｂ）は、（Ａ）のＩ−Ｉ断面図である。 本発明または比較例によるワイヤーソー用加工液供給ノズルを含むワイヤーソーを示す模式図である。 比較例によるワイヤーソー用加工液供給ノズル２００を示す図であり、（Ａ）は上面図、（Ｂ）は正面図、（Ｃ）は（Ｂ）のII-II断面図である。 実施例の結果を示すグラフであり、（Ａ）はワイヤーソー用加工液供給ノズルの延在方向に沿ったクーラントの流量分布を示し、（Ｂ）はワークが切断されて得られたウェーハの反り（Ｗａｒｐ）のワイヤーソー用加工液供給ノズルに沿った分布を示す。 比較例の結果を示すグラフであり、（Ａ）は図４（Ａ）と同様のグラフ、（Ｂ）は図４（Ｂ）と同様のグラフである。

以下、図面を参照しつつ本発明の実施形態を説明する。

本実施形態のワイヤーソー用加工液供給ノズル１００（以下、単に「ノズル１００」という。）を含むワイヤーソーは、例えば図２に示すワイヤーソー４０と同じであるので説明は省略する。

次に、図１（Ａ），（Ｂ）を参照してノズル１００の構成を説明する。ノズル１００において、図３に示す比較例によるノズル２００と共通の構成や部位には同じ符号を用いている。

ノズル１００は、内管１０および外管２０を含む。内管１０は直線状に延在し、その延在方向Ｅ１に沿って等間隔で同一直径の複数の孔１２が設けられている。図１では、複数の孔の一部として、上流側から４つの孔１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ，１２Ｄを示した。外管２０は内管１０の外側に延在し、その延在方向Ｅ１に沿って内管の孔１２と反対側の位置に一定幅のスリット２２が設けられている。このため、内管の内部１４に供給された加工液Ｌは、内管の複数の孔１２を介して外管の内部２４に放出され、さらに外管のスリット２２を介してワイヤーソー４０のワイヤー群４４に吐出される。

ノズル１００の特徴的構成は以下のとおりである。まず、外管２０には、内管の複数の孔１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ，１２Ｄに対向した位置にそれぞれ孔２６Ａ，２６Ｂ，２６Ｃ，２６Ｄが設けられる。そして、これらの外管の複数の孔２６Ａ，２６Ｂ，２６Ｃ，２６Ｄには、それぞれ棒状部材３０Ａ，３０Ｂ，３０Ｃ，３０Ｄが取り付けられる。これら棒状部材３０Ａ，３０Ｂ，３０Ｃ，３０Ｄは、それぞれ対向する内管の孔１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ，１２Ｄに向かって延び、その延在方向Ｅ２にスライド可能かつ固定可能となっている。そのため、棒状部材３０Ａ，３０Ｂ，３０Ｃ，３０Ｄの固定位置を外管２０の外部から動かすことで、内管の孔１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ，１２Ｄのそれぞれにおける加工液の放出量を個別に調整可能である。

このような特徴的構成を採用したことの技術的意義を、作用効果とともに説明する。スリット２２からの加工液の吐出量の延在方向Ｅ１におけるばらつきを低減するには、既述のとおり、外管のスリット幅２２の調整では不十分であり、内管の孔１２から外管の内部２４へ加工液が放出される段階で、その放出量を延在方向Ｅ１で均一に揃えておく必要がある。このような調整を精度よくかつ簡易に行う方法として、本発明者らは、内管の孔１２の近傍に棒状部材３０を配置して、この棒状部材３０の固定位置を種々とることによって、孔ごとに内管１０と外管２０との連通空間の大きさを調整することを着想した。

本実施形態では、ノズル１００の両端部１００Ａ，１００Ｂは図３と同じ構造となっている。すなわち、ノズル１００の片方の端部１００Ａから内管の内部１４に加工液が供給され、他方の端部１００Ｂは封止されている。この構成で加工液としてクーラントを用いる場合、既述のとおり、内管の孔１２からの加工液の放出量は、仮に棒状部材３０がないとすると、孔１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ，１２Ｄの順に多くなる。そこで、図１（Ａ）に示すように、片方の端部１００Ａから他方の端部１００Ｂに向かうほど、すなわち、棒状部材３０Ａ，３０Ｂ，３０Ｃ，３０Ｄの順に、その押し込み量を大きくする。その結果、内管の孔１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ，１２Ｄからの加工液の放出量のばらつきを精度よく抑制することができる。そのため、ウェーハの加工精度のばらつきを抑制することができる。なお、他方の端部１００Ｂに関しては、内管の端部のみが封止されており、外管の端部には小孔があるような場合でも、同様に棒状部材３０Ａ，３０Ｂ，３０Ｃ，３０Ｄの順に、その押し込み量を大きくすればよい。

しかも、棒状部材３０の固定位置の変更は、ノズル１００の外から行えるので、簡易に調整ができる。また、ノズル１００内への加工液の供給条件や加工液の状態が変わった場合でも、容易に再度の微調整を行うことができ、様々な加工液供給条件に対応できる。

図１（Ａ）では、棒状部材３０Ａ，３０Ｂ，３０Ｃ，３０Ｄの順に、押し込み量を大きくしたが、本発明はこれに限られず、ノズルの態様や加工液供給条件に合わせて、加工液の吐出量の延在方向Ｅ１におけるばらつきが抑制されるようにすればよい。例えば、図１（Ａ）のノズル１００を用いて加工液としてスラリーを吐出する場合には、仮に棒状部材３０がないとすると、内管の孔１２からのスラリーの単位時間当りの放出量は、下流側より上流側で多くなる。そのため、図１（Ａ）とは逆に、棒状部材３０Ａ，３０Ｂ，３０Ｃ，３０Ｄの順に、押し込み量を小さくすればよい。なお、加工液がクーラントの場合とスラリーの場合とで、このように放出量のばらつき方が異なることは実験的に得られた知見ではあるが、クーラントは比較的粘度が低いのに対し、スラリーはクーラントより粘度が高いことが一つの原因と推測される。

本実施形態のノズル１００は、遊離砥粒方式でスラリーを吐出する場合にも、固定砥粒方式でクーラントを吐出する場合にも適用可能である。スラリーまたはクーラントの種類、ノズルの内管内部１４への供給流量などの条件は、適宜設定することができる。また、ワイヤーの種類、張力、走行速度等の切削条件も適宜設定することができる。ただし、クーラントは一般にスラリーよりも粘度が低いため、ノズルからの吐出量のばらつきが出やすいことから、本実施形態のノズル１００は、固定砥粒方式の場合に特に好適である。また、固定砥粒方式では、砥粒を含まないクーラントを使用するため、クーラントは、ワークに直接は当たらず、かつ、できるだけワークに近づける位置に供給する必要がある。その際、ノズルに傾斜をつけることが多く、このため、従来のノズルのままでは確実に吐出量のばらつきが出てしまうが、本実施形態のノズル１００により、ばらつきが是正できる。

内管１０の素材は特に限定されないが、ステンレス、鍍金された鉄、樹脂などとすることができる。内管１０は、図１（Ｂ）に示すように、延在方向Ｅ１に垂直な断面形状を円形とすることができ、内径は１０〜５０ｍｍとすることができる。内管の孔１２の間隔（ピッチ）は、３〜３０ｍｍとすることができ、孔１２の形状は円形が好ましく、直径ｒ１は２〜５ｍｍとすることができる。なお、図１（Ａ）では内管の孔１２が等間隔に配置される例を示したが、本発明はこれに限定されない。また、本発明において「複数の孔１２の直径が同一である」ことは、厳密に数学的な意味で直径が同一であることを意味するものではなく、加工時の寸法公差を許容するものであることは勿論である。

外管２０の素材は特に限定されないが、ステンレス、鍍金された鉄、樹脂などとすることができる。外管２０は、図１（Ｂ）に示すように、延在方向Ｅ１に垂直な断面形状を円形とすることができ、内径は１４〜５４ｍｍとすることができる。スリット２２の幅ｄは、１〜５ｍｍの範囲内の一定値することができる。なお、スリット２２の幅ｄについても加工時の寸法公差を許容するものであることは勿論である。外管の孔２６の直径は、内管の孔１２の直径ｒ１以上とする。また、図１（Ａ）では内管の孔１２と反対側の位置にスリット２２を設ける例を示したが、本発明はこれに限定されない。内管の孔と対向した位置には孔３０を配置するためスリットを設けることはできないが、それ以外の位置、すなわち内管の孔とずらした位置であれば、任意の位置にスリットを設けることができる。

外管２０は、図１（Ｂ）に示すように、外管の孔２６を含む上部パーツ２０Ａと、スリット２２を含む下部パーツ２０Ｂとからなり、上部パーツ２０Ａと下部パーツ２０Ｂとは着脱可能とすることが好ましい。理由は以下のとおりである。内管１０および外管２０は定期的に洗浄する必要がある。図１（Ａ）の棒状部材３０Ｄのように、その先端が内管の孔１２Ｄに進入している場合には、棒状部材３０Ｄを一度上方に退避した後、外管２０から内管１０を引き抜く必要があるが、そうすると、洗浄後に棒状部材３０を再度調整する必要があり煩雑である。上部パーツ２０Ａと下部パーツ２０Ｂとを着脱可能とすれば、棒状部材３０を動かすことなく外管２０から内管１０を取り外すことができ、洗浄後、棒状部材３０の再度の調整が不要である。

棒状部材３０は特に限定されないが、例えばスクリューボルト、六角ボルトなどを挙げることができる。複数の棒状部材３０は互いに同一形状とする。また、棒状部材３０は外管の孔２６に液密に取り付けられる。棒状部材３０は、内管の孔１２を完全に塞ぐことができ、かつ、完全に開放することができる寸法であることが好ましい。この観点から、棒状部材３０の直径ｒ２は、内管の孔１２の直径ｒ１以上であることが好ましい。

棒状部材３０は、内管の孔１２に向けて直径が漸減する先端部３２を有することが好ましい。これにより、内管１０と外管２０との連通空間の大きさを容易に調整することができる。図１（Ａ），（Ｂ）に示すように、先端部３２を円錐状にしてもよく、あるいは半球状にしてもよい。

（実施例）
図１に示すノズルを含む図２に示すワイヤーソーを用いて、以下の切断条件にて、シリコン単結晶インゴット（直径３００ｍｍ、長さ１５０ｍｍ）の切断を実施した。

＜切断条件＞
ワイヤー：固定砥粒ワイヤー
ワイヤー径：０．１２ｍｍ（芯線）
ワイヤー張力：２０〜３０Ｎ
ワイヤー走行速度：４００〜９００ｍ／分（往復走行）
クーラント：グリコール系クーラント
ノズル内管内部へのクーラント供給量：１００Ｌ／分
クーラント温度：１８〜２６℃

ノズルの緒元は以下のとおりである。
ノズル長さ：６７．７ｃｍ
内管の内径：２２．５ｍｍ
内管の孔：数５２個、間隔１２ｍｍ、直径５ｍｍ
外管の内径：２７．５ｍｍ
スリット幅：２ｍｍ
外管の孔：数、間隔、直径ともに内管の孔と同様とした。
棒状部材：六角穴付きボルト（先端円錐加工、長さ：２５ｍｍ、径：Ｍ６）
棒状部材は、上流側から下流側に向かって押し込み量を多くした。

（比較例）
図３に示すノズルを含む図２に示すワイヤーソーを用いて、実施例と同様の切断条件でシリコン単結晶インゴット（直径３００ｍｍ、長さ１５０ｍｍ）の切断を実施した。ノズルの構成および緒元は、外管の孔および棒状部材がなく、外管部材が上部パーツと下部パーツとに分かれていない点を除いて、実施例と同様とした。

＜クーラントの流量測定＞
実施例および比較例において、まずはワイヤーを張らない状態でクーラントを吐出し、ノズルからのクーラントの単位時間当たり吐出量を測定した。具体的には、ノズルの延在方向に沿って、上流から下流に向けて等間隔に５箇所、スリットの直下に計量カップを設置して、吐出量の測定を行った。各測定位置での１分間当りの吐出量（流量）を、実施例については図４（Ａ）に、比較例については図５（Ａ）にそれぞれ示す。なお、グラフ中、「奥」と示したのは図２における右側のノズル、「前」と示したのは左側のノズルである。

図５（Ａ）に示す比較例では、上流側から下流側に向かうにつれて、ワイヤー群上のクーラント流量が多くなっていた。一方、図４（Ａ）に示す実施例では、このようなクーラント流量のばらつきが抑制されていた。

＜クーラント到達位置の評価、および、ウェーハの加工ばらつきの評価＞
次に、実施例および比較例において、ワイヤーを張ってインゴットの切断を行った。

ワイヤー上でのワイヤーの延在方向へのクーラントの到達位置を目視で確認したところ、比較例では図３に示すように上流側よりも下流側で遠くまでクーラントが到達して到達位置がばらついていたが、実施例では上流側と下流側で到達位置が揃っていることが確認された。

切断後の全てのウェーハについて、平坦度測定装置（株式会社コベルコ科研製、ＳＢＷ）を用いて反りを示すｗａｒｐを測定した。実施例および比較例について、下流側のワイヤーで切断されたウェーハから上流側のワイヤーで切断されたウェーハまで計１３０枚のＷａｒｐ（μｍ）をノズルの延在方向に並べたグラフを、それぞれ図４（Ｂ）および図５（Ｂ）に示す。

図５（Ｂ）に示すように、比較例では、上流側のワイヤーで切断されたウェーハよりも下流側のワイヤーで切断されたウェーハの方でＷａｒｐが小さくなっており、加工精度のばらつきが観察された。一方、図４（Ｂ）に示すように、実施例では、Ｗａｒｐのばらつきが比較例よりも抑制された。

本発明のワイヤーソー用加工液供給ノズルおよびワイヤーソーへの加工液供給方法によれば、ノズル内への加工液の供給条件や加工液の状態などに影響されることなく、ワイヤーソー用加工液供給ノズルの延在方向における加工液の吐出量の調整を精度良く、しかも簡易に行うことができる。

１００ ワイヤーソー用加工液供給ノズル
１００Ａ ワイヤーソー用加工液供給ノズルの片方の端部
１００Ｂ ワイヤーソー用加工液供給ノズルの他方の端部
１０ 内管
１２ 内管の孔
１４ 内管の内部
２０ 外管
２０Ａ 上部パーツ
２０Ｂ 下部パーツ
２２ スリット
２４ 外管の内部
２６ 外管の孔
３０ 棒状部材
３２ 棒状部材の先端部
Ｅ１ 内管および外管の延在方向
Ｅ２ 棒状部材の延在方向
ｒ１ 内管の孔の直径
ｒ２ 棒状部材の直径
ｄ スリットの幅

Claims (7)

1. 直線状に延在し、その延在方向に沿って複数の孔が設けられた内管と、
   該内管の外側に延在し、その延在方向に沿って前記内管の孔とずらした位置にスリットが設けられた外管と、
   を有し、
   前記内管の内部に供給された加工液が、前記内管の複数の孔を介して前記外管の内部に放出され、さらに前記外管のスリットを介してワイヤーソーに吐出されるようにした二重管構造のワイヤーソー用加工液供給ノズルであって、
   前記外管には、前記内管の複数の孔に対向した位置にそれぞれ孔が設けられ、
   該外管の複数の孔には、それぞれ対向する前記内管の孔に向かって延び、その延在方向にスライド可能でかつ固定可能な棒状部材が取り付けられ、該棒状部材の固定位置を前記外管の外部から動かすことで、前記内管の孔のそれぞれにおける加工液の放出量を個別に調整可能としたことを特徴とするワイヤーソー用加工液供給ノズル。
2. 前記外管が、前記外管の複数の孔を含む上部パーツと、前記スリットを含む下部パーツとからなり、前記上部パーツと前記下部パーツとは着脱可能である請求項１に記載のワイヤーソー用加工液供給ノズル。
3. 前記棒状部材は、前記内管の孔に向けて直径が漸減する先端部を有する請求項１または２に記載のワイヤーソー用加工液供給ノズル。
4. 前記棒状部材の直径が、前記内管の孔の直径以上である請求項１〜３のいずれか１項に記載のワイヤーソー用加工液供給ノズル。
5. 直線状に延在し、その延在方向に沿って複数の孔が設けられた内管と、
   該内管の外側に延在し、その延在方向に沿って前記内管の孔とずらした位置にスリットが設けられた外管と、
   を有する二重管構造のワイヤーソー用加工液供給ノズルを用いて、
   前記内管の内部に供給された加工液が、前記内管の複数の孔を介して前記外管の内部に放出され、さらに前記外管のスリットを介してワイヤーソーに吐出されるようにしたワイヤーソーへの加工液供給方法であって、
   前記外管には、前記内管の複数の孔に対向した位置にそれぞれ孔が設けられ、
   該外管の複数の孔には、それぞれ対向する前記内管の孔に向かって延び、その延在方向にスライド可能でかつ固定可能な棒状部材が取り付けられ、該棒状部材の固定位置を前記外管の外部から動かすことで、前記内管の孔のそれぞれにおける加工液の放出量を個別に調整することを特徴とするワイヤーソーへの加工液供給方法。
6. 前記ワイヤーソー用加工液供給ノズルは、前記内管の片方の端部から前記内管の内部に加工液が供給され、前記内管の他方の端部は封止されており、
   この場合、前記片方の端部から他方の端部に向かうほど、前記棒状部材を押し込む請求項５に記載のワイヤーソーへの加工液供給方法。
7. 前記ワイヤーソーが固定砥粒ワイヤーを含み、前記加工液が砥粒を含まないクーラントである請求項５または６に記載のワイヤーソーへの加工液供給方法。
   

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