JP5768650B2 - ワイヤーソー装置および該装置に用いられるワークプレート - Google Patents
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Description
(1)ワイヤーを複数のローラ間に並列かつ走行可能に張り渡したワイヤー群と、ワークを保持し、前記ワイヤー群に対し前記ワークを押し込む方向に移動させるワーク保持機構と、前記ワイヤー群のうち前記ワークが押し込まれる領域の少なくともワイヤー走行方向上流側から、前記ワイヤー群にスラリーを供給するノズルと、を有し、
前記ワーク保持機構は、前記ワークを直接吊下げ保持するスライス台と、該スライス台を下面で保持するワークプレートと、該ワークプレートを吊下げ保持するワークプレート保持部と、を有するワイヤーソー装置であって、
前記ワークプレートは、ワイヤー延在方向の両側に向かって前記スライス台よりも突出し、前記ワークプレート保持部の下面と離間し、両側それぞれに開口部を有する一対の突出プレートを有し、
該突出プレートの前記ワイヤー延在方向両外側のうち、少なくとも前記ノズルが位置する側に溝部材を有し、
前記ワイヤー群から前記ワークプレート保持部に向けて舞い上がるスラリーを、前記開口部を通過させて前記溝部材で捕集可能としたことを特徴とするワイヤーソー装置。
図1〜図3に示す本発明に従うワイヤーソー装置を用いて、以下の表1に示す切断条件にて、シリコン単結晶インゴット(直径300mm、ブロック長さ400mm)の切断を実施した。切り出されるウェーハの厚さは、約0.7〜1.0mmとした。スライス台はカーボン製とした。ワークプレートは炭素鋼製、溝部材はアルミニウム製とし、両者をネジで連結した。ワークプレートの本体部と突出プレートは一体化形成したものを用いた。幅Aは250mm、幅Bは100mmとした。
図5に示す従来のワイヤーソー装置を用いて、実施例と同様の試験を実施した。このワイヤーソー装置のワーク保持機構18は、カーボン製のスライス台24、SUS製のワークプレート24、ワークプレート保持部26からなるが、ワークプレートには突出プレートを設けない。スライス台22の幅およびワークプレート24の幅は、ともに100mmとした。このワイヤーソー装置には溝部材を設けていない。
図5に示すワイヤーソー装置に対して、一対の溝部材のみ付加したワイヤーソー装置を用いて、実施例と同様の試験を実施した。溝部材は実施例と同様アルミニウム製とし、ワークプレート保持部に固定することにより実施例と同じ場所に位置するようにした。
ナノトポグラフィは、ウェーハの表面のうねり成分を現す指標の一つであり、数10mmの空間波長領域における微小な凹凸の大小を示す指標であるPeak Valley値を示す。数値が大きいほどうねりが大きく、表面のうねり形状が急峻であることを示す。実施例および比較例1,2により得られたウェーハに対し、KLA Tencor製のNanomapperを使用して、ウェーハ表面のナノトポグラフィを評価した。その結果を図4に示す。
各試験例での割れ発生率を調べた。割れ発生率は、各試験例において、1回のインゴット切断で加工したウェーハ数に占める割れたウェーハの数である。すると、比較例1では3.2%、比較例2では1.4%であったのに対し、実施例では0.1%であった。
12 ワイヤー
14 ローラ
16 ワイヤー群
18 ワーク保持機構
20 ノズル
22 スライス台
24 ワークプレート
26 ワークプレート保持部
26A ワークプレート保持部の下面
28 ワークプレートの本体部
28A ワークプレートの下面
28B ワークプレートの上部
28C,28D 本体部の側面
30A,30B 突出プレート
32A,32B 開口部
34A,34B 溝部材
W ワーク
Y ワイヤー走行方向
Z ワイヤー延在方向
Claims (4)
- ワイヤーを複数のローラ間に並列かつ走行可能に張り渡したワイヤー群と、
ワークを保持し、前記ワイヤー群に対し前記ワークを押し込む方向に移動させるワーク保持機構と、
前記ワイヤー群のうち前記ワークが押し込まれる領域の少なくともワイヤー走行方向上流側から、前記ワイヤー群にスラリーを供給するノズルと、
を有し、
前記ワーク保持機構は、前記ワークを直接吊下げ保持するスライス台と、該スライス台を下面で保持するワークプレートと、該ワークプレートを吊下げ保持するワークプレート保持部と、を有するワイヤーソー装置であって、
前記ワークプレートは、ワイヤー延在方向の両側に向かって前記スライス台よりも突出し、前記ワークプレート保持部の下面と離間し、両側それぞれに開口部を有する一対の突出プレートを有し、
該突出プレートの前記ワイヤー延在方向両外側のうち、少なくとも前記ノズルが位置する側に溝部材を有し、
前記ワイヤー群から前記ワークプレート保持部に向けて舞い上がるスラリーを、前記開口部を通過させて前記溝部材で捕集可能としたことを特徴とするワイヤーソー装置。 - 前記溝部材が、前記突出プレートに着脱可能に取り付けられ、または前記突出プレートと一体化している請求項1に記載のワイヤーソー装置。
- 前記ワイヤー延在方向における前記ワークプレートの幅が、円柱状の前記ワークの直径をRとして0.4R以上である請求項1または2に記載のワイヤーソー装置。
- ワイヤーソー装置に用いられるワークプレートであって、
ワークを直接吊下げ保持するスライス台を下面が保持し、上部が前記ワイヤーソー装置のワークプレート保持部に保持される、前記ワークの長手方向に延在する本体部と、
該本体部の側面から両側に突出し、両側それぞれに開口部を有する一対の突出プレートと、
該突出プレートの両外側のうち少なくとも一方に連結された溝部材と、
を有することを特徴とするワークプレート。
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