CN111954586B - 锭的切断方法及线锯 - Google Patents

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Abstract

本发明为一种锭的切断方法，由在多个导线器之间呈螺旋状卷绕且在轴向上移动的金属线形成金属线列，一边从喷嘴向锭与所述金属线的接触部供给浆料，一边将所述锭抵靠至所述金属线列，从而将所述锭切断成晶圆状，其中，从所述喷嘴的、与所述金属线列的移动方向正交的两个以上区间分别供给通过两个以上系统的热交换器单独进行温度控制的浆料，而进行所述浆料的供给。由此，提供能够根据锭的切断部位而进行晶圆形状的单独控制的线锯及锭的切断方法。

Description

锭的切断方法及线锯
技术领域
本发明涉及锭的切断方法及线锯。
背景技术
近年来，期望晶圆的大型化，伴随着该大型化而使用专用于切断锭的线锯。线锯是这样的装置，其使金属线(高张力钢线)高速移动，一边在此喷洒浆料，一边使工件(例如可以举出：硅、玻璃、陶瓷等脆性材料的锭。以下也简称为锭)抵靠而进行切断，从而同时切出多个晶圆。
在此，图12表示现有的线锯的一例的概要。如图12所示，线锯101主要具备：用于切断锭的金属线102、将金属线102卷绕于多个导线器103而形成的金属线列111、用于对金属线102赋予张力的张力赋予机构104、以及对进行切断的锭进行输送的锭输送机构105等。另外，具有由浆料箱116、热交换器117及喷嘴115所构成的浆料供给机构106。
金属线102从一侧的金属线卷盘107送出，经由平行移动装置(日语：トラバーサ)108，再经过由磁粉离合器(固定力矩马达109)及张力调节辊(固定载荷(日语：デットウェイト))(未图示)等构成的张力机构104，而进入导线器103。金属线102在该导线器103上卷绕300～400周左右之后，经过另一侧的张力赋予机构104’而卷绕于金属线卷盘107’。
另外，导线器103是在钢铁制圆筒的周围压入聚氨酯树脂并在其表面以恒定的间距切出槽的辊，且能够利用驱动用马达110使卷绕的金属线102以预先确定的周期沿往复方向进行驱动。
另外，在进行工件的切断时，锭通过锭输送机构105而被保持且被按压下降，并且在卷绕于导线器103的金属线102的附近设置有喷嘴115，其能够在进行切断时从浆料箱116向金属线102供给浆料。另外，浆料箱116与热交换器117连接，而能够调节所供给的浆料的温度。
对于上述所供给的浆料，以使预先设定的锭切断位置(切入位置)成为目标温度的方式，通过热交换器117调节温度，而能够在控制到所要温度的状态下进行供给。
在切断锭时，导线器103会由于与金属线的磨擦热及在保持导线器的轴承部所产生的摩擦热而向轴向延伸，因此，存在导致呈螺旋状卷绕于导线器的金属线列与锭的相对位置在切断中发生变化的情况。
已知该带槽辊的轴向的位移与在锭的切断中所供给的浆料的温度有一定的相关(参考专利文献1)。
以往，使用这样的线锯101，并使用金属线张力赋予机构104对金属线102施加适当的张力，通过驱动用马达110，使金属线102在往复方向上移动，并一边供给浆料一边对锭进行切片，从而获得期望的切片晶圆。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开平5-185419号公报
发明内容
(一)要解决的技术问题
如果对以上述那样的线锯101将锭切断而得到的晶圆的工件(锭)输送方向的翘曲形状进行确认，则根据锭内的位置，混合存在有呈现凸形状的晶圆及呈现凹形状的晶圆。
这是由于在锭的切断中，锭与金属线的磨擦导致锭切断部发热，致使锭在切断中热膨胀所引起的。因此，由于该热膨胀，在锭与金属线的相对位置没有改变的情况下，如果以锭的中央为分界而确认工件输送方向的翘曲形状，则装置近前侧(金属线供给侧)更容易与锭中央的晶圆相比呈现凸形状，装置深处侧(金属线回收侧)更容易与锭中央的晶圆相比呈现凹形状。
期望晶圆的翘曲小，作为用于使翘曲减小的晶圆的形状控制方法之一，有改变所供给的浆料的温度的方法。
作为控制的方法，由于如上所述，浆料温度与导线器的轴向的延伸所造成的位移存在相关，因此通过改变浆料温度而改变导线器轴的延伸情况，且伴随于此改变卷绕于导线器的金属线相对于锭的相对位置，其结果，金属线切入锭并移动时的切断轨迹改变，从而控制晶圆的形状。
具体而言，例如在从最近刚切断的块(锭)所得的晶圆的工件输送方向的翘曲形状为凸形状的情况下，当进行下一次的锭切断时，在切断中改变所供给的浆料的温度，使得抵消凸形状，也就是使得线锯的轨迹形成为凹形。
相反，在从切断的块(锭)所得的晶圆的工件输送方向的翘曲形状为凹形状的情况下，当下一次的锭切断时，在切断中改变所供给的浆料的温度，使得抵消凹形状，也就是使得线锯的轨迹形成为凸形。
不论锭内的切断位置，只要所切出的晶圆全部为相同方向的翘曲形状，则能够通过如上所述的方法，得到与浆料温度改变前相比更为平坦的晶圆。
另一方面，是锭中央部的晶圆的形状平坦的情况。由于锭的热膨胀，从装置近前侧切出的晶圆容易成为凸形状，从装置深处侧切出的晶圆容易成为凹形状。
在这样的情况下，当希望使装置近前侧的成为凸形状的晶圆平坦时，采用目标为凹形状的浆料温度条件作为浆料温度条件。这样，块内位置为装置近前侧的晶圆成为平坦形状，能够实现目的，但是另一方面，关于以块中央为基准处于对称的位置的装置深处侧的晶圆，原本为凹形状，由于浆料温度改变而进一步呈现为凹形状。以翘曲的大小而言，虽然装置近前侧的晶圆的翘曲减小，但是装置深处侧的晶圆的翘曲反而增大。
反之，在锭中央部的晶圆的形状平坦的情况下，当希望使装置深处侧的成为凹形状的晶圆平坦时，采用目标为凸形状的浆料温度条件。这样，块内位置为装置深处侧的晶圆成为平坦形状，能够实现目的，但是另一方面，关于以块中央为基准处于对称的位置的装置近前侧的晶圆，原本为凸形状，由于浆料温度改变而进一步呈现为凸形状。以翘曲的大小而言，虽然装置深处侧的晶圆的翘曲减小，但是装置近前侧的晶圆的翘曲反而增大。
这样，在现有的锭的切断方法中，存在如果要使单侧的翘曲改善则另一侧会恶化的情况。也就是说，无法根据锭的切断部位(晶圆的切出位置)进行晶圆形状的单独控制，难以使锭内的全部位置的晶圆的翘曲减小。
本发明为了解决上述问题而做出，其目的在于提供能够根据锭的切断部位而进行晶圆形状的单独控制的锭的切断方法。
(二)技术方案
为了解决上述课题，在本发明中提供一种锭的切断方法，由在多个导线器之间呈螺旋状卷绕且在轴向上移动的金属线形成金属线列，一边从喷嘴向锭与所述金属线的接触部供给浆料，一边将所述锭抵靠至所述金属线列，从而将所述锭切断成晶圆状，其特征在于，从所述喷嘴的、与所述金属线列的移动方向正交的两个以上区间分别供给通过两个以上系统的热交换器单独进行温度控制的浆料，而进行所述浆料的供给。
如果是这样的方法，则能够根据锭的切断部位而进行晶圆形状的单独控制，因此能够减小进行切断的锭内的全部位置的晶圆的翘曲。
另外，此时优选地，该浆料的单独的温度控制根据相对于进行切断的锭的浆料供给位置而进行。
这样，能够根据供给浆料的位置进行温度控制，从而对锭的每个切断部位单独供给合适温度的浆料。
另外，优选地，预先切断锭并确认该锭的部位处的晶圆形状，并且根据各个部位的形状而分别供给经单独温度控制的浆料，而进行所述浆料的供给。
这样，能够更有效地减小进行切断的锭内的全部位置的晶圆的翘曲。
另外，可以是，在所述喷嘴的两个以上区间中，从至少一个区间供给在所述锭的切断中使温度变化来进行控制的浆料，从至少一个区间供给在所述锭的切断中控制为温度恒定的浆料，而进行所述浆料的供给。
在本发明中，能够对喷嘴的每个区间供给这样进行了温度控制的浆料。
另外，在本发明中提供一种线锯，具备：金属线列，由在多个导线器之间呈螺旋状卷绕且在轴向上移动的金属线形成；锭输送机构，一边保持锭一边将所述锭抵靠至所述金属线列；以及喷嘴，向所述锭与所述金属线的接触部供给浆料，一边从所述喷嘴向所述锭与所述金属线的接触部供给浆料，一边通过所述锭输送机构将所述锭抵靠至所述金属线列而将所述锭切断成晶圆状，其特征在于，具有两个以上系统的热交换器，所述热交换器单独控制所述浆料的温度，并且所述喷嘴相对于与所述金属线列的移动方向正交的方向被分割为两个以上区间，对每个所分割的区间供给来自进行单独控制的热交换器的浆料。
如果是这样的线锯，则能够根据锭的切断部位而进行晶圆形状的单独控制，因此能够减小进行切断的锭内的全部位置的晶圆的翘曲。
另外，可以是，所述两个以上系统的热交换器根据相对于进行切断的锭的浆料供给位置而单独地控制浆料的温度。
如果是具有这样的热交换器的线锯，则成为能够对锭的每个切断部位单独供给合适温度的浆料的线锯。
可以是，所述两个以上系统的热交换器根据预先将锭切断并进行确认的该锭的部位处的晶圆形状，而分别单独控制所述浆料的温度。
如果是具有这样的热交换器的线锯，则能够更有效地减小进行切断的锭内的全部位置的晶圆的翘曲。
(三)有益效果
如上所述，如果是本发明，则由于能够根据锭的切断部位而分别供给单独进行温度控制的浆料，因此能够根据锭的切断部位而进行晶圆形状的单独控制，从而能够减小进行切断的锭内的全部位置的晶圆的翘曲。
附图说明
图1是表示本发明的线锯的一例的示意图。
图2是表示本发明的线锯中的喷嘴的一例的俯视图。
图3是表示实施例、比较例及参考例中的、使切出的晶圆凹形状化的浆料温度条件的图。
图4是表示实施例及比较例中的、使温度恒定的浆料温度条件的图。
图5是表示实施例、比较例及参考例中的、使切出的晶圆凸形状化的浆料温度条件的图。
图6是表示比较例1的切断后的晶圆的锭输送方向的翘曲形状的图。
图7是表示比较例2的切断后的晶圆的锭输送方向的翘曲形状的图。
图8是表示比较例3的切断后的晶圆的锭输送方向的翘曲形状的图。
图9是表示实施例1的切断后的晶圆的锭输送方向的翘曲形状的图。
图10是表示实施例2的切断后的晶圆的锭输送方向的翘曲形状的图。
图11是表示参考例的切断后的晶圆的锭输送方向的翘曲形状的图。
图12是表示现有的线锯的一例的示意图。
图13是表示现有的线锯中的喷嘴的一例的俯视图。
具体实施方式
如上所述，寻求开发能够根据锭的切断部位而进行晶圆形状的单独控制的锭的切断方法。
本发明者们针对上述课题而反复努力研究，结果发现以现有的锭的切断方法无法根据锭的切断部位而进行晶圆形状的单独控制，其原因是由于浆料温度的控制不依赖于切断部位，均为一致且无法改变，因而想到将现有仅以单一系统进行的浆料的温度控制改为以两个以上系统单独地进行，进而完成了本发明。
即，本发明涉及一种锭的切断方法，由在多个导线器之间呈螺旋状卷绕且在轴向上移动的金属线形成金属线列，一边从喷嘴向锭与所述金属线的接触部供给浆料，一边将所述锭抵靠至所述金属线列，从而将所述锭切断成晶圆状，其中，从所述喷嘴的、与所述金属线列的移动方向正交的两个以上区间分别供给通过两个以上系统的热交换器单独进行温度控制的浆料，而进行所述浆料的供给。
另外，本发明涉及一种线锯，具备：金属线列，由在多个导线器之间呈螺旋状卷绕且在轴向上移动的金属线形成；锭输送机构，一边保持锭一边将所述锭抵靠至所述金属线列；以及喷嘴，向所述锭与所述金属线的接触部供给浆料，一边从所述喷嘴向所述锭与所述金属线的接触部供给浆料，一边通过所述锭输送机构将所述锭抵靠至所述金属线列而将所述锭切断成晶圆状，其中，具有两个以上系统的热交换器，所述热交换器单独控制所述浆料的温度，并且所述喷嘴相对于与所述金属线列的移动方向正交的方向被分割为两个以上区间，对每个所分割的区间供给来自进行单独控制的热交换器的浆料。
以下针对本发明详细地进行说明，但是本发明并不限定于这些。
首先，参考图1来说明本发明的线锯的一例。如图1所示，线锯1主要由通过将用于切断锭的金属线2卷绕于多个导线器3而形成的金属线列11、对进行切断的锭进行输送的锭输送机构5、以及用于在切断时供给将磨粒分散至冷却剂中并混合而成的浆料的喷嘴15等构成。
金属线2从一侧的金属线卷盘7送出，经由平行移动装置8，再经过由磁粉离合器(固定力矩马达9)及张力调节辊(固定载荷)(未图示)等构成的张力赋予机构4，而进入导线器3。金属线2在该导线器3上卷绕300～400周左右之后，经过另一侧的张力赋予机构4’而卷绕于金属线卷盘7’。
另外，导线器3是在钢铁制圆筒的周围压入聚氨酯树脂，并在其表面以一定的节距切出槽的辊，卷绕的金属线2通过驱动用马达10而能够以预定的周期于往复方向驱动。
线锯1具有两个以上系统的单独控制浆料的温度的热交换器。在图1中示出线锯1，在该线锯1中，两个供给浆料的浆料供给机构6及6’与一个浆料箱16相连，且各自的机构中存在热交换器17及17’。但是，线锯1也能够具有三个以上系统的热交换器。
热交换器17及17’能够分别单独地进行浆料的温度控制，且能够具有同等的能力。另外，能够使用与已有的热交换器相同的热交换器。
另外，本发明中的喷嘴15相对于与金属线列11的移动方向正交的方向被分割为两个以上区间，对每个所分割的区间供给来自进行单独控制的热交换器17、17’的浆料。
在此，使用图2及表示现有喷嘴的一例的图13而更详细地说明本发明的喷嘴及浆料的供给流程。
如图13所示，现有的线锯101中的喷嘴115为一个区间。从浆料箱116通过热交换器117进行温度调节后的浆料经过配管而进入浆料喷嘴115，以从喷嘴底面的缝隙自由下落的形式，向金属线、导线器供给。之后，浆料回到存在于装置底侧的浆料箱116。
另一方面，如图2所示，本发明的线锯1中的喷嘴15相对于与金属线列11的移动方向正交的方向被分割为两个以上区间。在图2中，喷嘴15被分割为喷嘴15A及喷嘴15B的两个区间，供通过热交换器17进行温度控制的浆料流动的配管与喷嘴15A相连，供通过另一个热交换器17’进行温度控制的浆料流动的配管与喷嘴15B相连，从而能够从一个喷嘴15对每个区间供给经单独温度调节的不同的浆料。对于喷嘴15的分割，例如只要在喷嘴15内侧中央部设置分隔板等即可。喷嘴15A及喷嘴15B为不会使分别以不同的系统进行温度调节的浆料互相混合的形式。另外，虽然在图2中示出了分割为两个区间的喷嘴15，但是当然也能够是分割为三个以上区间的喷嘴。
图1及图2所示的浆料供给机构6是这样的机构，在该机构中，从浆料箱16通过热交换器17进行温度调节的浆料经过配管而进入喷嘴15A，以从喷嘴底面的缝隙自由下落的形式，向存在于装置内的一侧(例如金属线供给侧)的位置的金属线及导线器供给。之后，浆料回到存在于装置底侧的浆料箱16。
另外，浆料供给机构6’是这样的机构，在该机构中，从浆料箱16通过热交换器17’进行温度调节的浆料经过配管而进入喷嘴15B，以从喷嘴底面的缝隙自由下落的形式，向存在于装置内的另一侧(例如金属线回收侧)的位置的金属线及导线器供给。之后，浆料回到存在于装置底侧的浆料箱16。
本发明中，通过热交换器17或热交换器17’进行的温度调节，能够控制为温度分别可变，另外，也能够控制为一方温度可变而另一方温度恒定。
另外，热交换器17、17’能够根据相对于进行切断的锭的浆料供给位置而单独控制浆料的温度。如果是具有这样的热交换器17、17’的线锯1，则能够对锭的每个切断部位单独供给合适温度的浆料。
此外，热交换器17、17’能够根据预先将锭切断并进行确认的该锭的部位处的晶圆形状，而分别单独控制浆料温度。如果是具有这样的热交换器17、17’的线锯1，则能够更有效地减小进行切断的锭内的全部位置的晶圆的翘曲。
这样，如果是本发明的线锯1，则由于能够根据锭的切断部位而分别供给单独进行温度控制的浆料，因此能够根据锭的切断部位而进行晶圆形状的单独控制，从而能够减小进行切断的锭内的全部位置的晶圆的翘曲。
接着，以使用上述本发明的线锯1的情况为例对本发明的锭的切断方法进行说明。
在本发明的锭的切断方法中，从喷嘴15的、与金属线列11的移动方向正交的两个以上区间(例如喷嘴15A及15B)分别供给通过两个以上系统的热交换器(例如热交换器17及17’)单独进行温度控制的浆料，而进行浆料的供给。
在本发明的锭的切断方法中，能够在喷嘴15的两个以上区间中，从至少一个区间供给在锭的切断中使温度变化的浆料，从至少一个区间供给在所述锭的切断中使温度恒定的浆料，而进行所述浆料的供给。在本发明中，能够对喷嘴的每个区间供给这样进行了温度控制的浆料。
例如，能够从装置近前侧供给以目标为凹形状的浆料温度条件进行控制的浆料，使得为凸形状的晶圆平坦，另外，能够单独从装置深处侧供给以目标为凸形状的浆料温度条件进行控制的浆料，使得为凹形状的晶圆平坦。这样，不会发生如果要使单侧的翘曲改善则另一侧会恶化的情况，而能够减小进行切断的锭内的全部位置的晶圆的翘曲。
实施例
以下，利用实施例、比较例及参考例具体地说明本发明，但是本发明并不限定于这些。
(比较例1)
使用如图12所示的现有的线锯101，如图4所示以浆料温度恒定的条件进行锭切断，并确认了切断部位处的晶圆的形状。
将切出的晶圆的形状示于图6。如图6所示，以锭的中央为分界，从装置近前侧(金属线供给侧)切出的晶圆的形状为凸形状，从装置深处侧(金属线回收侧)切出的晶圆的形状为凹形状。另外，在以下的比较例2～3及实施例1～2中，将在比较例1中所得的晶圆形状作为已有的形状，与其进行比较来评价晶圆形状的翘曲。
(比较例2)
如图3所示，除了在以晶圆形状成为凹形状的方式控制浆料温度的条件下进行锭的切断以外，与比较例1同样地进行。
将切出的晶圆的形状示于图7。如图7所示，虽然从装置近前侧切出的晶圆的形状从已有的凸形状变为平坦形状，但是从装置深处侧切出的晶圆的形状从已有的凹形状变为更深的凹形状。
(比较例3)
如图5所示，除了在以晶圆形状成为凸形状的方式控制浆料温度的条件下进行锭的切断以外，与比较例1同样地进行。
将切出的晶圆的形状示于图8。如图8所示，虽然从装置深处侧切出的晶圆的形状从已有的凹形状变为平坦形状，但是从装置近前侧切出的晶圆的形状从已有的凸形状变为更深的凸形状。
(实施例1)
使用如图1所示的本发明的线锯1，在以锭的中央为分界的装置近前侧及装置深处侧，一边分别供给通过两个系统的热交换器17、17’进行了单独的温度控制的浆料，一边进行了锭的切断。
如图3所示，在锭切断中，从装置近前侧，供给以晶圆形状成为凹形状的方式改变了温度的浆料。如图4所示，从装置深处侧，供给温度恒定的浆料。将切出的晶圆的形状示于图9。
如图9所示，对于供给以成为凹形状的方式改变了温度的浆料而切出的装置近前侧的晶圆的形状，从已有的凸形状抵消翘曲的方向，而成为平坦的形状。另一方面，供给温度恒定的浆料而切出的装置深处侧的晶圆的形状维持了与比较例1同等的形状。
(实施例2)
如图5所示，除了从装置深处侧供给以从已有的凸形状成为凸形状的温度条件的浆料以外，与实施例1同样地进行锭的切断。将从装置近前侧及装置深处侧切出的晶圆的形状示于图10。
如图10所示，与实施例1同样，对于装置近前侧的晶圆，从已有的翘曲形状即凸形状朝凹形的方向改变，抵消翘曲的方向而成为平坦的形状。另外，对于目标为朝反方向进行控制的装置深处侧的晶圆，也从已有的凹形状朝凸形的方向改变，抵消翘曲的方向而成为平坦的形状。
(参考例)
与实施例2相反的浆料温度的控制，也就是说，使从装置近前侧供给的浆料的温度如图5那样变化，使从装置深处侧供给的浆料的温度如图3那样变化，而进行了锭的切断。将切出的晶圆的形状示于图11。
如图11所示，对于从装置近前侧切出的晶圆的形状，从已有的翘曲形状即凸形状变为更凸的形状，另外，从装置深处侧切出的晶圆的形状变为更凹的形状，平坦度恶化。
将实施例、比较例及参考例的结果总结于表1。
[表1]
Figure BDA0002717798390000131
评价◎：特别良好
○：良好
△：一部分有问题
×：有问题
在供给没有根据锭的切断部位而统一进行温度控制的浆料的比较例2及比较例3中，无法根据锭的切断部位进行晶圆形状的单独控制，为了使从装置深处侧或装置近前侧其中一侧切出的晶圆的形状改善而进行的浆料温度条件的改变，会导致对从另一侧切出的晶圆的形状造成不良影响。
另一方面，在分别供给根据锭的切断部位而单独进行温度控制的浆料的实施例1中，为了使装置深处侧或装置近前侧其中一侧改善而进行的浆料温度条件的改变，不会对另一侧造成影响，并且如实施例2那样两侧都能够改善。
如上所述，可以确认：如果是本发明，则能够根据锭的切断部位进行晶圆形状的单独控制。特别是在实施例2中，由于根据锭的部位而单独供给使翘曲的方向抵消的温度条件的浆料，因此能够减小进行切断的锭内的全部位置的晶圆的翘曲。
另外，本发明并不限定于上述实施方式。上述实施方式为示例，凡具有与本发明的权利要求书所记载的技术思想实质上同样的结构并产生相同作用效果的任何方案都包含在本发明的技术范围内。

Claims (8)

1.一种锭的切断方法，由在多个导线器之间呈螺旋状卷绕且在轴向上移动的金属线形成金属线列，一边从喷嘴向锭与所述金属线的接触部供给浆料，一边将所述锭抵靠至所述金属线列，从而将所述锭切断成晶圆状，其特征在于，
从所述喷嘴的、与所述金属线列的移动方向正交且相邻的两个以上区间分别供给通过两个以上系统的热交换器单独进行温度控制的浆料，而进行所述浆料的供给。
2.根据权利要求1所述的锭的切断方法，其特征在于，
所述浆料的单独的温度控制根据相对于进行切断的锭的浆料供给位置而进行。
3.根据权利要求1所述的锭的切断方法，其特征在于，
预先切断锭并确认该锭的部位处的晶圆形状，并且根据各个部位的形状而分别供给经单独温度控制的浆料，而进行所述浆料的供给。
4.根据权利要求2所述的锭的切断方法，其特征在于，
预先切断锭并确认该锭的部位处的晶圆形状，并且根据各个部位的形状而分别供给经单独温度控制的浆料，而进行所述浆料的供给。
5.根据权利要求1-4中任一项所述的锭的切断方法，其特征在于，
在所述喷嘴的两个以上区间中，从至少一个区间供给在所述锭的切断中使温度变化来进行控制的浆料，从至少一个区间供给在所述锭的切断中控制为温度恒定的浆料，而进行所述浆料的供给。
6.一种线锯，具备：金属线列，由在多个导线器之间呈螺旋状卷绕且在轴向上移动的金属线形成；锭输送机构，一边保持锭一边将所述锭抵靠至所述金属线列；以及喷嘴，向所述锭与所述金属线的接触部供给浆料，一边从所述喷嘴向所述锭与所述金属线的接触部供给浆料，一边通过所述锭输送机构将所述锭抵靠至所述金属线列而将所述锭切断成晶圆状，其特征在于，
具有两个以上系统的热交换器，所述热交换器单独控制所述浆料的温度，并且所述喷嘴相对于与所述金属线列的移动方向正交的方向被分割为相邻的两个以上区间，对每个所分割的区间供给来自进行单独控制的热交换器的浆料。
7.根据权利要求6所述的线锯，其特征在于，
所述两个以上系统的热交换器根据相对于进行切断的锭的浆料供给位置而单独地控制浆料的温度。
8.根据权利要求6或7所述的线锯，其特征在于，
所述两个以上系统的热交换器根据预先将锭切断并进行确认的该锭的部位处的晶圆形状，而分别单独控制所述浆料的温度。
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