KR101880518B1 - 실리콘 웨이퍼의 제조 방법 - Google Patents

실리콘 웨이퍼의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

물결 형상 와이어(7)가 나선 형상으로 감겨진 복수의 메인 롤러를 회전시킴으로써, 물결 형상 와이어(7)를 메인 롤러의 축 방향과 대략 직교하는 방향으로 주행시키는 와이어 주행 공정과, 물결 형상 와이어(7)에 잉곳(T)을 눌러댐으로써 잉곳(T)을 절단하고, 외연부에 대하여 중앙부가 일방향으로 오목한 돔 형상으로 휜 복수의 실리콘 웨이퍼를 제조하는 절단 공정을 행한다.

Description

실리콘 웨이퍼의 제조 방법{SILICON WAFER MANUFACTURING METHOD}
본 발명은, 실리콘 웨이퍼의 제조 방법 및 실리콘 웨이퍼에 관한 것이다.
실리콘 단결정 잉곳(ingot)을 잘라내어 얻어지는 실리콘 웨이퍼 상에, 에피택셜막을 성장시킨 에피택셜 실리콘 웨이퍼가 알려져 있다.
에피택셜 실리콘 웨이퍼에서는, 실리콘 웨이퍼에 있어서의 저항값과, 에피택셜막에 있어서의 저항값이 상이한 경우, 휨이 발생하는 것이 알려져 있다. 이 원인은, 실리콘 웨이퍼와 에피택셜막의 격자 정수의 미스피트(misfit)에 의한 탄성변형이 발생하기 때문이라고 생각되고 있다. 통상, 이 휨이 커지면, 디바이스 제조 공정에 있어서의 마스크 맞춤이나, 진공척에 의한 지지(hold) 등이 곤란해지는 문제가 있다.
이러한 문제를 해소하기 위해, 실리콘 웨이퍼의 휨 형상의 요철을 식별하고, 그 표면에 에피택셜막을 형성한 경우에 발생하는 휨 방향을 예측하고, 표면이 오목한 실리콘 웨이퍼의 표면 상에, 에피택셜막을 성장시키는 에피택셜 실리콘 웨이퍼의 제조 방법이 제안되어 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조).
또한, 실리콘 웨이퍼의 연마 공정 또는 연삭 공정에 있어서, 실리콘 웨이퍼의 휨 방향을 고의로 오목 형상으로 제어하여, 그릇 형상(돔 형상)으로 함으로써 에피택셜 실리콘 웨이퍼의 평탄도를 향상시키는 에피택셜 실리콘 웨이퍼의 제조 방법이 제안되어 있다(예를 들면, 특허문헌 2 참조).
그런데, 반도체 웨이퍼의 제조 과정에는, 반도체 블록을 슬라이스 가공함으로써 웨이퍼로 하는 공정이 있다. 이 공정에서는, 일반적으로, 와이어를 이용한 와이어 소(wire saw)가 이용되고 있다. 와이어 소는, 복수의 메인 롤러의 사이에 와이어를 다중으로 감아 걸고, 주행 상태의 와이어에 반도체 등의 피절삭물(이후 워크)을 눌러댐으로써, 워크를 소정의 두께의 다수의 판상체로 절단한다.
와이어 소에 의한 슬라이스 방법에는, 유리지립(遊離砥粒) 방식이 있다. 유성 또는 수용성의 오일 등에 GC(녹색 탄화규소) 등의 지립(abrasive grains)을 혼합한 슬러리를 절단 부위에 공급하면서, 표면을 황동 도금한 철강제 와이어로 슬라이스하는 방법이다.
와이어 소에서는, 얻어지는 웨이퍼의 형상을 제어하기 위한 제어 파라미터가다항목 존재한다. 대표적인 것으로서는, 슬러리(slurry)(또는 쿨런트(coolant))를 가공부에 공급하는 유량(슬러리 유량)이나, 실리콘 등의 워크를 주행 상태의 와이어로 눌러대는 속도(피드 속도(feed rate)) 등이다.
그런데, 일반적으로, 와이어 소에 의한 절단으로 얻어지는 실리콘 웨이퍼의 형상은, 당해 실리콘 웨이퍼의 열팽창 수축에 의해, 임의의 방향으로 휘는 경향이 있다. 이러한 휨의 방향을 통일하기 위해서는, 냉각 등에 의해 열변동을 제어함으로써 열팽창 수축에 의한 영향을 배제하는 것을 생각할 수 있지만, 열변동의 요인이 불특정 다수 존재하여, 완전한 제어가 곤란하다. 그래서, 휨의 방향을 통일하기 위한 다른 방법이 검토되고 있다(예를 들면, 특허문헌 3 참조).
이 특허문헌 3에서는, 서로 소정 간격을 두고 배치된 복수의 메인 롤러 간에 와이어를 권회시킨 와이어 소를 이용하고, 소망하는 휨을 갖는 실리콘 웨이퍼를 얻는 실리콘 웨이퍼의 제조 방법이 제안되어 있다. 이 제조 방법에서는, 잉곳을 절단하고 있는 동안에 각각의 메인 롤러를 축 방향으로 변위시키고 있다. 이 메인 롤러의 변위에 의해, 잉곳을 절단하고 있는 와이어가 메인 롤러와 함께 잉곳의 축 방향으로 이동하고, 절단 후에 얻어지는 실리콘 웨이퍼의 표면에, 그 와이어의 이동량에 따른 소망하는 휨이 형성된다.
일본공개특허공보 평6-112120호 일본공개특허공보 2008-140856호 일본공개특허공보 평8-323741호
그러나, 특허문헌 1, 2에 기재된 바와 같은 구성에서는, 잉곳으로부터 실리콘 웨이퍼를 얻은 후에, 휨 방향을 예측하는 공정이나, 휨 방향을 고의로 오목 형상으로 제어하는 공정과 같은, 종래 형성되어 있지 않은 공정이 필요해지는 문제점이 있다. 또한, 특허문헌 3에 기재된 바와 같은 구성에서는, 잉곳의 절단 중에 메인 롤러를 축 방향으로 변위시킬 필요가 있어, 와이어 소의 제어가 복잡해진다는 문제점이 있다.
본 발명의 목적은, 외연부에 대하여 중앙부가 일방향으로 오목한 돔 형상으로 휜 복수의 실리콘 웨이퍼를 얻는 것이 가능한 실리콘 웨이퍼의 제조 방법 및 실리콘 웨이퍼를 제공하는 것에 있다.
본 발명자는, 예의 연구를 거듭한 결과, 와이어 소의 와이어로서, 물결 형상으로 모양이 잡힌 와이어를 이용함으로써, 중앙부가 일방향으로 오목한 돔 형상으로 휜 복수의 실리콘 웨이퍼가 얻어질 가능성이 있는 것에 착안했다. 그래서, 본 발명자는, 이하의 실험을 행했다.
[물결 형상으로 모양이 잡힌 와이어(물결 형상 와이어)에 대해서]
우선, 물결 형상 와이어의 구성에 대해서 설명한다.
도 1a에 나타내는 바와 같이, 물결 형상 와이어(corrugated wire;7)는, 통상의 직선 형상의 와이어에 이용하는 선재(wire rod;71)를 나선 형상으로 모양 잡음으로써 형성되어 있다. 또한, 선재(71)의 직경으로서는, 0.12㎜∼0.16㎜를 예시할 수 있다. 또한, 선재(71)의 재질로서는, 황동 도금 탄소강을 예시할 수 있다.
물결 형상 와이어(7)는, 그 길이 방향과 직교하는 방향에서 보면, 물결 형상(대략 정현파 형상(sine wave shape))으로 모양이 잡혀있다. 모양 잡힘의 피치 P(도 1a에 있어서의 서로 이웃하는 최고점(72)의 간격)는, 2.5㎜∼5.0㎜인 것이 바람직하다. 또한, 모양 잡힘의 변위 D((도 1a에 있어서의 최고점(72)과 최저점(73)과의 거리(d1))－(선재(71)의 선경(d2)))는, 6㎛∼12㎛인 것이 바람직하다.
다음으로, 물결 형상 와이어의 이점에 대해서 설명한다.
도 1b에 나타내는 바와 같이, 물결 형상 와이어(7)에서는, 잉곳(T)을 절단할 때에, 서로 이웃하는 최고점(72)의 사이나, 서로 이웃하는 최저점(73)의 사이에 지립(G1)이 들어간 상태로 주행하는 것이 가능하기 때문에, 주행 방향의 전방측(와이어 빠지는 측)에도 지립(G1)이 충분히 공급되어, 당해 전방측의 절삭성이 후방측(와이어 들어가는 측)의 절삭성과 동일하게 좋아진다고 추정할 수 있다.
이에 대하여, 도 1c에 나타내는 바와 같이, 통상의 직선 형상의 와이어(9)에서는, 물결 형상 와이어(7)와 같이 지립(G1)이 들어갈 부분이 없기 때문에, 주행 방향의 전방측에 지립(G1)이 충분히 공급되지 않아, 당해 전방측의 절삭성이 후방측의 절삭성보다 나빠진다고 추정할 수 있다.
[와이어 소의 구성]
다음으로, 와이어 소의 구성에 대해서 설명한다.
또한, 이하에 있어서, 도 2의 앞쪽 방향에서 본 경우를 기준으로 하여, 방향을 나타낸 경우, 「상」이 +Z 방향이고 「하(중력 방향)」가 -Z 방향, 「좌」가 +X 방향이고 「우」가 -X 방향, 「전」이 -Y 방향으로서 지면에 직교하는 앞쪽 방향으로 「후」가 +Y 방향으로서 안쪽 방향으로 한다.
도 2에 나타내는 바와 같이, 와이어 소(1)는, 동일 수평면 상에 2개, 이들 2개의 중간의 하방에 1개 배치된 합계 3개의 메인 롤러(2)를 구비하고 있다. 이들 3개의 메인 롤러(2)의 주위에는, 축 방향(전후 방향)을 따라 나선 형상으로 물결 형상 와이어(7)가 감겨 있다. 물결 형상 와이어(7)의 양단측에는, 각각 1개씩의 가이드 롤러(3)를 통하여 물결 형상 와이어(7)를 송출하거나 권취하거나 하는 와이어 릴(41, 42)이 설치되어 있다. 또한, 각 가이드 롤러(3)와 와이어 릴(41, 42)의 사이에는, 각각 트래버서(traverser;43, 44)가 설치되어 있다. 트래버서(43, 44)는, 물결 형상 와이어(7)의 송출 위치, 권취 위치를 조정하는 기능을 갖고 있다. 또한, 상측의 2개의 메인 롤러(2)(이하, 상측 메인 롤러(21)라고 칭함)의 상방에는, 2개의 상측 메인 롤러(21)의 중간 위치에 슬러리 형상의 지액(abrasive liquid)(G)을 공급하는 노즐(5)이 각각 설치되어 있다. 또한, 노즐(5)의 상방에는, 잉곳(T)을 지지하여 승강시키는 이송 수단(6)이 설치되어 있다.
그리고, 와이어 소(1)는, 복수의 메인 롤러(2)를 회전시킴으로써, 물결 형상 와이어(7)를 메인 롤러(2)의 축 방향과 대략 직교하는 방향(좌우 방향(이하, 와이어 주행 방향이라고 칭함))으로 주행시키고, 2개의 상측 메인 롤러(21) 간에 지액(G)을 공급하면서, 잉곳(T)을 하강시켜 주행 중의 물결 형상 와이어(7)에 눌러댐으로써, 잉곳(T)을 절단하여 복수의 실리콘 웨이퍼를 제조한다.
여기에서, 통상, 실리콘 웨이퍼를 휘게 하지 않기 위해, 잉곳(T)을 물결 형상 와이어(7)에 대하여 중력 방향으로 직선적으로 하강시킨다. 이 때문에, 외부의 영향을 받지 않는 경우의 잉곳(T)의 절단 방향(이하, 절단 목표 방향이라고 칭함)은, 중력 방향과 반대 방향이 된다. 또한, 실리콘 웨이퍼를 휘게 하지 않기 위해, 물결 형상 와이어(7)를 잉곳(T)의 축 방향에 대하여 대략 직교하는 방향으로 직선적으로 주행시킨다. 이 때문에, 외부의 영향을 받지 않는 경우의 물결 형상 와이어(7)의 주행 방향(이하, 와이어 주행 목표 방향이라고 칭함)은, 직선적으로 된다.
[실험 1]
우선, 이하와 같은 가설에 기초하는 실험 1을 행했다.
[가설]
도 2에 나타내는 와이어 소(1)에 있어서, 물결 형상 와이어(7)를 앞에서 뒤를 향하여, 또한, 앞에서 보아 좌감기의 나선 형상으로 감은 경우를 생각한다. 이러한 상태에서, 물결 형상 와이어(7)가 상측 메인 롤러(21) 간을 좌방향으로 주행하도록, 트래버서(43, 44)를 구동함과 함께, 3개의 메인 롤러(2)와 와이어 릴(41, 42)을 회전시키면, 물결 형상 와이어(7)는, 메인 롤러(2)와 평행한 일방향으로 진행한다(이하, 이 때의 진행 방향(도 2에 나타내는 경우에 있어서는 뒤를 향하는 방향)을, 와이어 진행 방향이라고 칭함).
또한, 물결 형상 와이어(7)가 일방향으로 진행한다는 것은, 예를 들면, 물결 형상 와이어(7)를 와이어 릴(42)로부터 와이어 릴(41)에 일방적으로 송출하는 실시 형태뿐만 아니라, 와이어 릴(42)로부터 송출하고 와이어 릴(41)로 권취하는 물결 형상 와이어(7)의 길이가, 와이어 릴(41)로부터 송출하고 와이어 릴(42)로 권취하는 물결 형상 와이어(7)의 길이보다 길어지도록, 물결 형상 와이어(7)를 왕복으로 주행시켜, 물결 형상 와이어(7)를 일방향으로 진행시키는 실시 형태도 포함한다.
그리고, 잉곳(T)을 하강시키면, 물결 형상 와이어(7)가 도 3a에 실선 및 파선으로 나타내는 하부로부터, 2점 쇄선으로 나타내는 상부로 상대적으로 이동하고, 잉곳(T)이 아래로부터 위를 향하여 절단된다.
이 절단시, 와이어 진행 방향이 도 2에 있어서의 후방향으로서, 물결 형상 와이어(7)가 상측 메인 롤러(21) 간에서 좌방향으로 주행하는 경우, 물결 형상 와이어(7)는, 도 3b, 도 3c에 나타내는 바와 같이, 메인 롤러(2)에 감긴 궤적을 따라서, 좌방향으로 선회하면서(뒤틀리면서) 주행한다. 이 경우, 선회입측(T1)에서는, 지립(G1)이 윤택하게 공급되어, 절삭성이 좋아진다. 한편, 선회출측(T2)에서는, 잉곳(T)의 절분(切粉)(T3)에 의해 눈막힘이 일어나, 절삭성이 나빠진다.
또한, 물결 형상 와이어(7)는, 물결 형상으로 모양 잡혀있지만, 장력이 작용하는 상태로 주행하기 때문에, 대략 직선 형상으로 연신된 상태로 주행한다.
그리고, 절단 초기의 상태(예를 들면, 도 3a에 실선으로 나타내는 바와 같이, 잉곳(T)의 하부를 절단하고 있는 상태)에서는, 물결 형상 와이어(7)의 휘어짐이 커지기 때문에, 도 3b에 나타내는 바와 같이, 물결 형상 와이어(7)로의 지립(G1)의 공급이 부족하다. 특히, 선회출측(T2)에서는, 절분(T3)에 의한 절삭성의 저하가 현저하게 나타난다. 그 결과, 선회입측(T1)의 절삭성이 선회출측(T2)과 비교하여 높아지고, 절단 중의 물결 형상 와이어(7)의 진행 방향(이하, 절단 진행 방향이라고 칭함)이 절단 목표 방향에 대하여, 도 3b에 있어서의 우측으로 기운다.
또한, 도 3a에 2점 쇄선으로 나타내는 바와 같이, 잉곳(T)의 상부를 절단하고 있는 절단 종기(終期)의 상태에서는, 잉곳(T)과 물결 형상 와이어(7)의 접촉 부분의 길이가 서서히 짧아지는 것에 더하여, 지립(G1)의 튀어오름에 의해 물결 형상 와이어(7)로의 지립(G1)의 공급량이 많아짐으로써, 절삭성이 양호한 상태가 된다. 이러한 절삭성이 양호한 상태에서는, 도 3c에 나타내는 바와 같이, 절단 진행 방향이 기울기 전의 상태로 되돌아가려는 힘이 물결 형상 와이어(7)에 작용하기 때문에, 절단 진행 방향은, 절단 초기에 기운 방향과는, 역측(좌측)으로 기운다.
이상과 같이 절단 초기의 상태에서는, 절단 진행 방향이 절단 목표 방향에 대하여 우측으로 기울고, 절단 종기의 상태에서는, 절단 목표 방향에 대하여 좌측으로 기울기 때문에, 도 3d에 나타내는 바와 같이, 실리콘 웨이퍼(WF)의 형상을 절단 방향으로 측정한 경우의 휨(이하, 절단 방향의 휨이라고 칭함)은, 상하 방향 중앙부(도 3d에 있어서의 상하 방향 중앙부)가, 도 2에 있어서의 후측(도 3d에 있어서의 우측), 즉 와이어 진행 방향측으로 오목한 원호 형상이 된다고 추정할 수 있다.
또한, 와이어 진행 방향을 도 2에 있어서의 전(前)방향으로 한 경우, 실리콘 웨이퍼(WF)의 절단 방향의 휨은, 도 3d에 나타내는 상태와는 역으로, 상하 방향 중앙부가 도 2에 있어서의 전(前)측으로 오목한 원호 형상이 된다고 추정할 수 있다.
또한, 메인 롤러(2) 근방에 있어서, 물결 형상 와이어(7)는 메인 롤러(2)의 홈의 내벽에 의해 전방향 및 후방향으로의 이동이 제한된다(자유도가 낮음). 물결 형상 와이어(7)가 잉곳(T)의 중앙부에 가까워짐에 따라, 메인 롤러(2)의 홈의 내벽에 의한 이동 제한이 느슨해지고(자유도가 높음), 전술의 절단 진행 방향의 기울기에 따라가게 된다고 추정할 수 있다.
그 결과, 도 4b에 나타내는 바와 같이, 실리콘 웨이퍼(WF)의 형상을 물결 형상 와이어(7)의 주행 방향으로 측정한 경우의 휨(이하, 주행 방향의 휨이라고 칭함)은, 좌우 방향 중앙부(도 4b에 있어서의 상하 방향 중앙부)가, 도 2에 있어서의 후측(도 4b에 있어서의 우측), 즉 와이어 진행 방향측으로 오목한 원호 형상이 된다고 추정할 수 있다.
또한, 와이어 진행 방향을 도 2에 있어서의 전방향으로 한 경우, 실리콘 웨이퍼(WF)의 주행 방향의 휨은, 도 4b에 나타내는 상태와는 역으로, 상하 방향 중앙부가 도 2에 있어서의 전측(도 4b에 있어서의 좌측)으로 오목한 원호 형상이 된다고 추정할 수 있다.
이상으로부터, 물결 형상으로 모양이 잡힌 물결 형상 와이어(7)를 이용하여 잉곳(T)을 절단함으로써, 중앙부가 일방향(와이어 진행 방향)으로 오목한 돔 형상으로 휜 복수의 실리콘 웨이퍼(WF)를 얻을 수 있는 가능성이 있다고 추정했다.
[실험 내용]
전술의 와이어 소(1)를 이용하여, 이하의 표 1에 나타내는 바와 같은 와이어를 이용하고, 표 2에 나타내는 바와 같은 실험예 1-1, 1-2의 조건, 비교예 1-1, 1-2의 조건으로, 잉곳(T)을 절단하여 실리콘 웨이퍼(WF)를 제조했다.
또한, 표 1 중, 직선 형상 와이어란, 물결 형상이나 나선 형상 등의 소정 형상의 모양 잡힘이 되어 있지 않은 직선 형상의 와이어를 의미한다.
또한, 각 와이어는, 전술의 가설에서 설명한 바와 같은 상태로 메인 롤러(2)에 감았다.
또한, 와이어 진행 방향을 전(前)방향으로 할 때에는, 물결 형상 와이어(7)를 전술의 가설의 경우와 동일하게 메인 롤러(2)에 감은 구성에 있어서, 물결 형상 와이어(7)가 상측 메인 롤러(21)간을 우방향으로 주행하도록, 3개의 메인 롤러(2)와 와이어 릴(41, 42)을 회전시켰다.
또한, 직경이 300㎜인 잉곳(T)을 이용했다.
Figure 112016088729511-pct00001
Figure 112016088729511-pct00002
또한, 실험예 1-1, 1-2, 비교예 1-1, 1-2에 있어서, 이하의 표 3에 나타내는 조건은 동일하게 했다.
Figure 112016088729511-pct00003
여기에서, 절단 초기, 중기, 종기에서 피드 속도를 변경하고 있는 이유에 대해서 설명한다. 또한, 피드 속도란, 잉곳의 절단시에 있어서, 잉곳을 와이어에 눌러댈 때의 잉곳의 이송 속도(도 2에 나타내는 와이어 소의 경우는 하강 속도)를 의미한다.
실리콘 웨이퍼를 제조할 때, 절단 초기(예를 들면, 물결 형상 와이어(7)가 도 3a의 실선으로 나타내는 위치를 절단하고 있는 경우) 및 절단 종기(예를 들면, 물결 형상 와이어(7)가 도 3a의 2점 쇄선으로 나타내는 위치를 절단하고 있는 경우)에 있어서의 잉곳과 와이어의 접촉 부분은, 절단 중기(예를 들면, 물결 형상 와이어(7)가 도 3a의 일점쇄선으로 나타내는 위치를 절단하고 있는 경우)의 접촉 부분과 비교하여 짧아진다. 이 때문에, 절단 초기 및 절단 종기에 와이어에 작용하는 부하는, 절단 중기에 작용하는 부하보다 작아진다.
그래서, 절단 중에 와이어에 작용하는 부하의 차를 최소한으로 억제하기 위해, 절단 중기의 피드 속도를, 절단 초기 및 절단 종기의 피드 속도보다도 느리게 하고 있다.
그리고, 실험예 1-1, 1-2, 비교예 1-1, 1-2에서 제조한 복수의 실리콘 웨이퍼 중, 잉곳의 전측 및 후측의 실리콘 웨이퍼에 대해서, 잉곳의 절단 방향(도 2의 상하 방향)의 형상과, 와이어의 주행 방향(도 2의 좌우 방향)의 형상을 측정했다. 또한, 이하의 도 5 및 도 6에 나타내는 형상은, 잉곳의 전측에 위치하는 면을 상면으로 하여 측정한 결과이다.
도 5에 나타내는 바와 같이, 실험예 1-1, 1-2의 실리콘 웨이퍼에 대해서는, 절단 방향 및 주행 방향의 양쪽에 있어서, 외연부에 대하여 대략 중앙부가 와이어 진행 방향과 동일한 방향(실험예 1-1에 대해서는 도 2에 있어서의 후측, 실험예 1-2에 대해서는 전측)으로 오목한 형상인 것을 확인할 수 있었다.
이 점에서, 실험예 1-1, 1-2의 실리콘 웨이퍼에서는, 절단 방향 및 주행 방향에 있어서, 외연부에 대하여 대략 중앙부가, 와이어 진행 방향과 동일한 방향으로 오목한 돔 형상으로 휘어있다고 추정할 수 있다. 즉, 상기 가설이 올바른 것을 확인할 수 있었다.
한편, 도 6에 나타내는 바와 같이, 비교예 1-1, 1-2의 실리콘 웨이퍼에 대해서는, 절단 방향 및 주행 방향에 있어서, 휨 형상에 와이어 진행 방향과의 상관이 보이지 않는다.
[실험 2]
통상, 잉곳의 절단에 의해 얻어진 실리콘 웨이퍼에 대하여, 에피택셜막을 형성하기 전에 양면의 연삭이 행해진다. 물결 형상 와이어(7)를 이용함으로써 얻어진 실리콘 웨이퍼의 휨이, 연삭을 행함으로써 소실해 버릴 가능성이 있다.
그래서, 양면의 연삭에 의해, 실리콘 웨이퍼의 휨이 소실하지 않는 것을 확인하는 실험을 행했다.
우선, 상기 실험예 1-2와 동일한 조건으로 작성한 실리콘 웨이퍼를, 실험예 2-1, 2-2의 실리콘 웨이퍼로서 준비했다. 그리고, 실험예 2-1, 2-2의 실리콘 웨이퍼에 대하여, 양면의 여유분이 각각 20㎛가 되는 조건으로 연삭을 행했다. 또한, 연삭은, 편면씩 행했다. 이는, 양면을 한번에 연삭하면, 각각의 면에서 깎이는 방법이 상이한 경우, 그 영향으로 실리콘 웨이퍼에 휨이 발생해 버려, 연삭 후의 휨이, 절단에 의한 것인지, 연삭에 의한 것인지가 모르게 되기 때문이다. 또한, 직경이 300㎜인 실리콘 웨이퍼를 이용했다.
도 7에 나타내는 바와 같이, 실험예 2-1, 2-2의 실리콘 웨이퍼에 있어서, 절단 후의 형상과 양면의 연삭 후의 형상이 거의 동일하다는 것을 확인할 수 있었다.
본 발명은, 이러한 인식에 기초하여 완성된 것이다.
즉, 본 발명의 실리콘 웨이퍼의 제조 방법은, 와이어가 나선 형상으로 감겨진 복수의 메인 롤러를 회전시킴으로써, 상기 와이어를 상기 메인 롤러의 축 방향과 대략 직교하는 방향으로 주행시키는 와이어 주행 공정과, 상기 와이어에 잉곳을 눌러댐으로써 상기 잉곳을 절단하고, 외연부에 대하여 중앙부가 일방향으로 오목한 돔 형상으로 휜 복수의 실리콘 웨이퍼를 제조하는 절단 공정을 행하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 실리콘 웨이퍼의 제조 방법에서는, 상기 와이어로서, 물결 형상으로 모양이 잡힌 물결 형상 와이어를 이용하는 것이 바람직하다.
본 발명에 의하면, 물결 형상으로 모양 잡혀있지 않은 와이어나 물결 형상 와이어를 이용하여 잉곳을 절단하기만 하는 간단한 구성으로, 외연부에 대하여 중앙부가 일방향으로 오목한 돔 형상으로 휜 복수의 실리콘 웨이퍼를 얻을 수 있다.
또한, 물결 형상 와이어로서는, 길이 방향의 일단측으로부터 보았을 때에, 원으로 보이도록 나선 형상으로 모양 잡힌 것이라도 좋고, 길이 방향의 일단측으로부터 보았을 때, 직선으로 보이도록 단순히 물결 형상으로 모양 잡힌 것이라도 좋다.
또한, 도 5에 나타내는 바와 같이, 실험예 1-1, 1-2의 실리콘 웨이퍼에 있어서, 주행 방향의 휨은 원호 형상이지만, 절단 방향의 휨은 매끄러운 원호 형상이 아니다. 실리콘 웨이퍼에 에피택셜막을 형성할 때에는, 실리콘 웨이퍼가 매끄러운 원호 형상으로 휘어 있는 것이 바람직하다.
그래서, 본 발명자는, 예의 연구를 거듭한 결과, 피드 속도를 적절히 설정함으로써, 절단 방향의 휨이 매끄러운 원호 형상이 되는 실리콘 웨이퍼가 얻어질 가능성이 있는 것에 착안했다. 그래서, 본 발명자는, 이하의 실험 3을 행했다.
[실험 3]
우선, 원주(円柱) 형상의 잉곳의 피드 속도를 F, 와이어와 잉곳의 접촉 부분의 길이를 L로 하고, 잉곳을 절단할 때의 와이어의 워크량 W를, 이하의 식 (1)과 같이 정의했다.
W=F×L…(1)
그리고, 실험예 1-2와 동일한 조건으로 잉곳을 절단하고, 그 때의 워크량 W와 실리콘 웨이퍼의 절단 방향의 휨(형상)의 관계를 조사했다. 그 결과를 도 8에 나타낸다. 또한, 실리콘 웨이퍼의 직경은, 300㎜이다.
실험 1에 있어서 설명한 바와 같이, 절단 중기의 피드 속도를, 절단 초기 및 절단 종기의 피드 속도보다도 느리게 하고 있다. 이 때문에, 도 8에 나타내는 바와 같이, 절단 초기로부터 절단 중기로 이행하는 전후, 절단 중기로부터 절단 종기로 이행하는 전후에는, 워크량 W의 변화의 비율이 크게 상이하다.
한편, 실리콘 웨이퍼의 절단 방향의 휨의 형상에 착안하면, 워크량 W의 추이와 거의 일치하는 것을 확인할 수 있었다.
이상으로부터, 워크량 W가, 잉곳의 직경이 최대가 되는 절단 위치에서 최대값이 되는 대략 원호 형상으로 변화하도록, 피드 속도를 제어함으로써, 절단 방향의 휨이 대략 원호 형상이 되는 실리콘 웨이퍼가 얻어진다고 추정할 수 있다. 즉, 워크량 W가 매끄러운 곡선 형상으로 변화하도록, 피드 속도를 제어함으로써, 절단 방향의 휨이 매끄러운 원호 형상이 되는 실리콘 웨이퍼가 얻어진다고 추정할 수 있다.
본 발명의 바람직한 실시 형태는, 이러한 인식에 기초하여 완성된 것이다.
즉, 본 발명의 실리콘 웨이퍼의 제조 방법에서는, 상기 절단 공정은, 원주 형상의 상기 잉곳을 상기 물결 형상 와이어에 눌러댈 때의 상기 잉곳의 피드 속도를 F, 상기 물결 형상 와이어와 상기 잉곳의 접촉 부분의 길이를 L로 하고, 원주 형상의 상기 잉곳에 있어서의 당해 잉곳의 지름 방향의 절단 위치에 대하여, 상기식 (1)에서 정의되는 워크량 W가, 상기 잉곳의 직경이 최대가 되는 절단 위치에서 최대값이 되는 대략 원호 형상으로 변화하도록, 상기 잉곳의 상기 피드 속도를 제어하는 것이 바람직하다.
본 발명에 의하면, 잉곳의 피드 속도를 제어하기만 하는 간단한 방법으로, 절단 방향의 휨이 매끄러운 원호 형상이 되고, 전체적으로 돔 형상으로 휘는 실리콘 웨이퍼를 얻을 수 있다.
통상, 비교예 1-1, 1-2와 같은 직선 형상 와이어에 의해 제조되는 실리콘 웨이퍼에는, 도 6에 나타내는 바와 같이, 휨이 발생한다. 한편, 실리콘 웨이퍼에 에피택셜막을 형성하면, 이 에피택셜막의 영향으로 실리콘 웨이퍼에 휨이 발생한다. 이 때문에, 에피택셜막 형성 전의 휨을 가능한 한 없애기 위해, 실리콘 웨이퍼를 적절히 반전시켜, 에피택셜막을 형성하고 있다.
그래서, 에피택셜막의 형성에 의해, 당해 막의 형성 전의 휨이 없어져 있는지 아닌지를 확인하기 위해, 직선 형상 와이어로 실리콘 웨이퍼를 제조하고, 당해 막의 형성 전후의 실리콘 웨이퍼의 형상을 조사했다. 그 결과를 도 9a, 도 9b에 나타낸다.
도 9a, 도 9b에 나타내는 바와 같이, 절단 방향 및 주행 방향의 양쪽에 대해서, 에피택셜막 형성 후의 실리콘 웨이퍼의 휨은, 잉곳(실리콘 웨이퍼)의 직경이 최대가 되는 중심 위치를 중심으로 한, 직경의 50％(0.5×R(직경))의 범위(이하, 절단 중앙 범위 A라고 칭함)가 특히 커지는 것을 확인할 수 있었다.
이 점에서, 에피택셜막 형성 전에 절단 중앙 범위 A의 휨을 크게 함으로써, 절단 중앙 범위 A에 있어서의 에피택셜막 형성 후의 휨이 작아진다고 추정할 수 있다. 그래서, 이 추정이 맞는지를 확인하는 실험 4를 행했다.
[실험 4]
우선, 직선 형상 와이어로 제조한 실리콘 웨이퍼에 대하여 연삭을 행하고, 강제적으로 절단 중앙 범위 A의 휨을 크게 했다. 그리고, 이 실리콘 웨이퍼에 대해서, 에피택셜막을 형성하는 전후의 형상을 조사했다. 그 결과를 도 10a, 도 10b에 나타낸다. 도 10a, 도 10b에 나타내는 바와 같이, 절단 방향 및 주행 방향의 양쪽에 대해서, 에피택셜막 형성 후의 절단 중앙 범위 A의 실리콘 웨이퍼의 휨은, 도 9a, 도 9b에 나타내는 경우와 비교하여 작아지는 것을 확인할 수 있었다.
또한, 도 9a, 도 9b, 도 10a, 도 10b에 결과를 나타내는 실리콘 웨이퍼의 직경은, 300㎜이다.
이 점에서, 절단 중앙 범위 A에 있어서의 워크량 W를 제어하고, 당해 절단 중앙 범위 A에 있어서의 휨을 크게 함으로써, 에피택셜막 형성 후의 휨을 작게할 수 있다고 추정할 수 있다.
여기에서, 원주 형상의 잉곳의 절단 위치와, 당해 잉곳과 와이어의 접촉 부분의 길이의 관계는, 잉곳의 직경이 최대가 되는 절단 위치에서 최대값이 되는 2차 곡선 형상(원호 형상)이 된다. 또한, 상기식 (1)에서 정의되는 워크량 W는, 피드 속도가 대략 일정하면, 잉곳과 와이어의 접촉 부분의 길이에 비례한다. 이 때문에, 피드 속도를 일정하게 한 경우의 절단 위치와 워크량의 관계는, 도 11에 나타내는 바와 같이, 잉곳의 중심 위치에서 최대값이 되는 2차 곡선 형상이 된다. 또한, 도 11에 결과를 나타내는 잉곳의 직경은, 300㎜이다.
실험 3의 결과에 기초하는 추정에서는, 실리콘 웨이퍼의 절단 방향의 휨과 워크량 W의 추이가 거의 일치하기 때문에, 피드 속도를 대략 일정하게 한 경우, 실리콘 웨이퍼의 절단 방향의 휨의 형상은, 도 11에 나타내는 워크량 W의 추이와 거의 일치한다고 추정할 수 있다. 이 경우, 절단 중앙 범위 A의 휨은, 도 9a에 휨 형상을 나타내는 실리콘 웨이퍼보다도 커진다고 추정할 수 있다.
그리고, 워크량 W가 도 11에 나타내는 바와 같이 변화하는 경우, 절단 위치가 잉곳의 중심 위치의 경우의 워크량을 Wmax, 절단 중앙 범위 A에서의 워크량을 Wcnt로 하면, 이하의 식 (2)의 관계가 충족된다.
Wcnt≥0.85×Wmax…(2)
본 발명의 바람직한 실시 형태는, 이러한 인식에 기초하여 완성된 것이다.
즉, 본 발명의 실리콘 웨이퍼의 제조 방법에서는, 상기 절단 공정은, 상기 잉곳의 직경이 최대가 되는 절단 위치에서의 워크량을 Wmax, 상기 잉곳의 직경이 최대가 되는 절단 위치를 중심으로 한 상기 잉곳의 직경의 50％의 범위에서의 워크량을 Wcnt로 하고, 상기식 (2)에서 나타내는 관계를 충족하도록 상기 잉곳의 상기 피드 속도를 제어하는 것이 바람직하다.
본 발명에 의하면, 에피택셜막 형성 후의 휨을 작게 하는 것이 가능한 실리콘 웨이퍼를 얻을 수 있다.
또한, 본 발명의 실리콘 웨이퍼의 제조 방법에서는, 상기 절단 공정은, 상기 잉곳의 절단 개시부터 절단 종료까지의 동안, 상기 잉곳의 상기 피드 속도를 대략 일정하게 유지하도록 제어하는 것이 바람직하다.
본 발명에 따르면, 피드 속도를 대략 일정하게만 하는 간단한 방법으로, 절단 방향의 휨이 매끄러운 돔 형상의 실리콘 웨이퍼를 얻을 수 있다.
또한, 전술한 바와 같이, 중앙부가 일방향으로 오목한 돔 형상으로 휜 복수의 실리콘 웨이퍼를 얻기 위해서는, 물결 형상으로 모양이 잡힌 와이어를 이용하는 것이 바람직한 것을 알았지만, 와이어의 장력의 크기에 따라서는, 절단 중에 단선해버릴 가능성이 있다.
그래서, 본 발명자는, 이하의 실험 5를 행했다.
[실험 5]
장력을 10N, 15N, 25N, 30N으로 한 것 이외에는, 상기 실험 1의 실험예 1-1과 동일한 조건으로 직경이 300㎜인 잉곳을 절단했다.
그 결과, 장력이 10N, 30N인 경우에 단선(breakage)이 발생하고, 15N, 25N인 경우에 단선이 발생하지 않는 것을 확인할 수 있었다.
또한, 장력이 15N, 25N인 조건으로 제조한 실리콘 웨이퍼에 대해서, Warp와 Bow를 산출했다. Warp의 산출 결과를 도 12a에, Bow의 산출 결과를 도 12b에 각각 나타낸다.
또한, Warp 및 Bow란, 흡착 고정하지 않는 실리콘 웨이퍼(WF)의 형상을 나타내는 파라미터이다. 측정면 CP로서, 실리콘 웨이퍼(WF)의 두께 방향의 중앙면을 사용하고, 기준면 RP로서, 측정면 CP의 베스트 피트면(best fit plane)을 사용한다. 그리고, Warp는, 기준면 RP로부터 측정면 CP까지의 어긋남의 최대값을 나타낸다. 또한, Bow는, 실리콘 웨이퍼(WF)의 중심 CT에 있어서의 기준면 RP와 측정면 CP의 차를 나타낸다.
도 12a에 나타내는 바와 같이, 장력이 클수록, Warp가 작아지는 것을 확인할 수 있었다. 또한, 도 12b에 나타내는 바와 같이, 장력이 클수록, Bow가 0에 가까워지는 것을 확인할 수 있었다.
본 발명의 바람직한 실시 형태는, 이러한 인식에 기초하여 완성된 것이다.
즉, 본 발명의 실리콘 웨이퍼의 제조 방법에서는, 상기 절단 공정은, 장력이 15N 이상 25N 이하로 설정된 상기 물결 형상 와이어에 상기 잉곳을 눌러대는 것이 바람직하다.
본 발명에 의하면, 물결 형상 와이어를 단선시키는 일 없이, 실리콘 웨이퍼를 제조할 수 있다.
본 발명의 실리콘 웨이퍼는, 전술의 실리콘 웨이퍼의 제조 방법에 의해 제조된 것을 특징으로 한다.
도 1a는 본 발명에 있어서의 와이어의 구성을 나타내는 도면으로, 물결 형상 와이어의 측면도이다.
도 1b는 본 발명에 있어서의 와이어의 구성을 나타내는 도면으로, 물결 형상 와이어에 의한 절단 상태를 나타내는 도면이다.
도 1c는 본 발명에 있어서의 와이어의 구성을 나타내는 도면으로, 직선 형상 와이어에 의한 절단 상태를 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명에서 이용하는 와이어 소를 나타내는 개략도이다.
도 3a는 실험 1에 있어서의 가설의 설명도로서, 잉곳에 대한 물결 형상 와이어의 위치를 나타내는 도면이다.
도 3b는 실험 1에 있어서의 가설의 설명도로서, 절단 초기 상태에서의 물결 형상 와이어의 절삭 상태를 나타내는 도면이다.
도 3c는 실험 1에 있어서의 가설의 설명도로서, 절단 종기 상태에서의 물결 형상 와이어의 절삭 상태를 나타내는 도면이다.
도 3d는 실험 1에 있어서의 가설의 설명도로서, 실리콘 웨이퍼의 절단 방향의 휨을 나타내는 종단면도이다.
도 4a는 실험 1에 있어서의 가설의 설명도로서, 와이어 소의 평면도이다.
도 4b는 실험 1에 있어서의 가설의 설명도로서, 실리콘 웨이퍼의 주행 방향의 휨을 나타내는 횡단면도이다.
도 5는 실험 1에 있어서의 실험예 1-1, 1-2의 실리콘 웨이퍼의 절단 방향 및 주행 방향의 형상을 나타내는 도면이다.
도 6은 실험 1에 있어서의 비교예 1-1, 1-2의 실리콘 웨이퍼의 절단 방향 및 주행 방향의 형상을 나타내는 도면이다.
도 7은 실험 2에 있어서의 실험예 2-1, 2-2의 실리콘 웨이퍼의 연삭 전후에서의 절단 방향 및 주행 방향의 형상을 나타내는 도면이다.
도 8은 실험 3에 있어서의 절단 위치와 워크량 및 실리콘 웨이퍼의 절단 방향의 형상의 관계를 나타내는 도면이다.
도 9a는 종래의 실리콘 웨이퍼의 에피택셜막 형성 전후의 절단 방향의 형상을 나타내는 도면이다.
도 9b는 종래의 실리콘 웨이퍼의 에피택셜막 형성 전후의 주행 방향의 형상을 나타내는 도면이다.
도 10a는 실험 4에 있어서의 강제적으로 절단 중앙 범위의 휨을 크게 한 실리콘 웨이퍼의 에피택셜막 형성 전후의 절단 방향의 형상을 나타내는 도면이다.
도 10b는 실험 4에 있어서의 강제적으로 절단 중앙 범위의 휨을 크게 한 실리콘 웨이퍼의 에피택셜막 형성 전후의 주행 방향의 형상을 나타내는 도면이다.
도 11은 실험 4에 있어서의 피드 속도를 일정하게 한 경우의 절단 위치와 워크량의 관계를 나타내는 도면이다.
도 12a는 실험 5의 결과를 나타내는 도면으로, 와이어의 장력과 Warp의 관계를 나타내는 도면이다.
도 12b는 실험 5의 결과를 나타내는 도면으로, 와이어의 장력과 Bow의 관계를 나타내는 도면이다.
도 13은 Warp 및 Bow의 설명도이다.
(발명을 실시하기 위한 형태)
이하, 본 발명의 실시 형태를 도면을 참조하여 설명한다.
본 실시 형태에 있어서는, 도 2에 나타내는 바와 같은 와이어 소(1)를 이용하여, 잉곳(T)을 절단한다. 여기에서, 잉곳(T)의 형상은 특별히 한정되지 않지만, 통상은 원주 형상이다. 또한, 잉곳(T)의 직경은 특별히 한정되지 않지만, 통상, 100㎜∼450㎜이다.
잉곳(T)을 절단할 때에는, 우선, 와이어 소(1)의 복수의 메인 롤러(2)에, 도 1a에 나타내는 와이어로서의 물결 형상 와이어(7)를 나선 형상으로 감는다. 물결 형상 와이어(7)를 감는 방향은, 앞으로부터 보아 좌(左)감기라도 좋고, 우(右)감기라도 좋다.
그리고, 트래버서(43, 44)를 구동함과 함께, 복수의 메인 롤러(2)와 와이어 릴(41, 42)을 회전시킴으로써, 물결 형상 와이어(7)를 메인 롤러(2)의 축 방향과 대략 직교하는 방향으로 주행시켜(와이어 주행 공정), 2개의 상측 메인 롤러(21) 간에 지액(G)을 공급하면서, 잉곳(T)을 하강시켜 주행 중의 물결 형상 와이어(7)에 눌러댐으로써, 잉곳(T)을 절단하여 복수의 실리콘 웨이퍼(WF)를 제조한다(절단 공정).
여기에서, 와이어 주행 방향은, 실리콘 웨이퍼(WF)를 휘게 하고 싶은 방향에 따라서 설정할 수 있다. 즉, 실리콘 웨이퍼(WF)를 도 2에 있어서의 후측으로 오목한 돔 형상으로 휘게 하고 싶은 경우에는, 와이어 진행 방향을 도 2에 있어서의 후방향으로 설정하면 좋고, 전측으로 오목한 돔 형상으로 휘게 하고 싶은 경우에는, 도 2에 있어서의 전방향으로 설정하면 좋다.
또한, 피드 속도는, 실리콘 웨이퍼(WF)의 절단 방향의 휨을, 어떠한 형상으로 할지에 따라서 설정할 수 있다. 절단 방향의 휨을 매끄러운 원호 형상으로 하여, 전체적으로 돔 형상으로 휘게 하기 위해서는, 상기식 (1)에서 정의되는 워크량 W가, 대략 원호 형상으로 변화하도록, 피드 속도를 설정하면 좋다.
이 때, 잉곳(T)의 직경이 최대가 되는 절단 위치에서, 워크량 W가 최대값이 되도록, 피드 속도를 설정해도 좋다. 또한, 이와 같이, 워크량 W가 대략 원호 형상으로 변화하도록 절단 위치에 따라 피드 속도를 변경해도 좋고, 절단 위치에 따르지 않고 피드 속도를 대략 일정하게 해도 좋다.
또한, 절단 중앙 범위 A의 워크량 Wcnt가 상기식 (2)의 관계를 충족하도록, 피드 속도를 제어해도 좋다.
또한, 도 11에 나타내는 바와 같이, 절단 중앙 범위 A의 하단측 단부(중앙으로부터, 하단측으로 직경(R)의 25％ 이동한 위치) Ab에서의 워크량을 Wb, 상단측 단부(중앙으로부터, 상단측으로 직경(R)의 25％ 이동한 위치) At에서의 워크량을 Wt로 한 경우, 워크량 Wb와 워크량 Wt는 동일해도 좋고 상이해도 좋다.
또한, 물결 형상 와이어(7)의 장력은, 물결 형상 와이어(7)의 단선을 방지하기 위해, 15N 이상 25N 이하로 하는 것이 바람직하다.
[실시 형태의 작용 효과]
전술한 바와 같이, 상기 실시 형태에서는, 이하와 같은 작용 효과를 가져올 수 있다.
(1) 물결 형상으로 모양이 잡힌 물결 형상 와이어(7)를 와이어 소(1)에 이용하고, 잉곳(T)을 절단하기만 하는 간단한 구성으로, 외연부에 대하여 중앙부가 일방향으로 오목한 돔 형상으로 휜 복수의 실리콘 웨이퍼(WF)를 얻을 수 있다.
(2) 상기식 (1)에서 정의되는 워크량 W가 대략 원호 형상으로 변화하도록, 피드 속도를 제어하면, 절단 방향의 휨이 매끄러운 원호 형상이 되고, 전체적으로 돔 형상으로 휘는 실리콘 웨이퍼(WF)를 얻을 수 있다.
(3) 절단 중앙 범위의 워크량 Wcnt가 상기식 (2)의 관계를 충족하도록, 피드 속도를 제어하면, 에피택셜막 형성 후의 휨을 작게 하는 것이 가능한 실리콘 웨이퍼(WF)를 얻을 수 있다.
(4) 피드 속도를 대략 일정하게 하면, 절단 중에 피드 속도를 변경하는 일 없이 절단 방향의 휨이 매끄러운 원호 형상의 실리콘 웨이퍼(WF)를 얻을 수 있다.
(5) 장력이 15N 이상 25N 이하로 설정된 물결 형상 와이어(7)에 잉곳(T)을 눌러대면, 물결 형상 와이어(7)를 단선시키는 일 없이, 실리콘 웨이퍼(WF)를 제조할 수 있다.
[기타 실시 형태]
또한, 본 발명은 상기 실시 형태에만 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위 내에 있어서 여러 가지의 개량 그리고 설계의 변경 등이 가능하다.
즉, 상기식 (1)에서 정의되는 워크량 W가, 대략 원호 형상으로 변화하지 않도록, 피드 속도를 설정해도 좋다.
또한, 절단 중앙 범위 A의 워크량 Wcnt가 상기식 (2)의 관계를 충족하지 않도록, 피드 속도를 제어해도 좋다.
또한, 물결 형상으로 모양이 잡혀 있지 않은 와이어를 이용하고, 돔 형상으로 휘는 실리콘 웨이퍼(WF)를 제조해도 좋다.
2 : 메인 롤러
7 : 물결 형상 와이어(와이어)
T : 잉곳
WF : 실리콘 웨이퍼

Claims (7)

  1. 물결 형상으로 모양이 잡힌 물결 형상 와이어가 나선 형상으로 감겨진 복수의 메인 롤러를 회전시킴으로써, 상기 물결 형상 와이어를 상기 메인 롤러의 축 방향과 직교하는 방향으로 주행시키는 와이어 주행 공정과,
    상기 물결 형상 와이어에 잉곳을 눌러댐으로써 상기 잉곳을 절단하여, 외연부에 대하여 중앙부가 일방향으로 오목한 돔 형상으로 휜 복수의 실리콘 웨이퍼를 제조하는 절단 공정을 행하고,
    상기 절단 공정은,
    원주(円柱) 형상의 상기 잉곳을 상기 물결 형상 와이어에 눌러댈 때의 상기 잉곳의 피드 속도를 F,
    상기 물결 형상 와이어와 상기 잉곳의 접촉 부분의 길이를 L로 하고,
    원주 형상의 상기 잉곳에 있어서의 당해 잉곳의 지름 방향의 절단 위치에 대하여, 이하의 식 (1)에서 정의되는 워크량 W가, 상기 잉곳의 직경이 최대가 되는 절단 위치에서 최대값이 되는 원호 형상으로 변화하도록, 상기 잉곳의 상기 피드 속도를 제어하는 것을 특징으로 하는 실리콘 웨이퍼의 제조 방법.
    W=F×L…(1)
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 절단 공정은,
    상기 잉곳의 직경이 최대가 되는 절단 위치에서의 워크량을 Wmax,
    상기 잉곳의 직경이 최대가 되는 절단 위치를 중심으로 한 상기 잉곳의 직경의 50％의 범위에서의 워크량을 Wcnt로 하고,
    이하의 식 (2)에서 나타내는 관계를 충족하도록 상기 잉곳의 상기 피드 속도를 제어하는 것을 특징으로 하는 실리콘 웨이퍼의 제조 방법.
    Wcnt≥0.85×Wmax…(2)
  5. 제1항에 있어서,
    상기 절단 공정은, 상기 잉곳의 절단 개시부터 절단 종료까지의 동안, 상기 잉곳의 상기 피드 속도를 일정하게 유지하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 실리콘 웨이퍼의 제조 방법.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 절단 공정은, 장력이 15N 이상 25N 이하로 설정된 상기 물결 형상 와이어에 상기 잉곳을 눌러대는 것을 특징으로 하는 실리콘 웨이퍼의 제조 방법.
  7. 삭제
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