JP3873490B2 - マルチワイヤソー装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、マルチワイヤソー装置に関し、特に、走行するスライス用ワイヤによって、スライス対象のワークを複数のスライス品あるいは切断品に一括してスライスあるいは切断するタイプのマルチワイヤソー装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
シリコンインゴット、化合物半導体インゴット等からウエハを作るとき、あるいは電子部品用磁性材料、水晶等の硬脆性材料の加工を行うときのスライス法として、ディスク状の外周刃や内周刃を使用した回転刃によるスライス法と、ピアノ線等のワイヤを走行させながら砥粒スラリを併用使用した一般的にはワイヤソー方式と呼称される遊離砥粒によるワイヤスライス法が知られている。
【0003】
前者の方法は、適用が可能なスライス対象品の大きさに制約があることから、シリコンインゴット、化合物半導体インゴットのように年々大径化するスライス対象品には適用困難であり、従って、最近では遊離砥粒を使用したワイヤスライス法であるワイヤソー方式が主流となっている。
【0004】
図4の(a)、(b)は、遊離砥粒ワイヤスライス法を示したもので、表面にスライス用ワイヤを収納するための複数の溝(図示せず。以下、この種の溝はすべて図示せず)を有する溝付きロール1a、1b、1cを三角状に対向配置し、これらロール1a、1b、1c間にピアノ線等のスライス用ワイヤ4を所定の回数巻き回し、溝付きロール1a、1b、1cを回転させることによってスライス用ワイヤ4を走行させるように構成されている。スライス用ワイヤ4は、各ロール1a、1b、1cの表面の溝に収納され、緊張された状態でロール1a、1b、1c間を走行する。
【0005】
5はスライス用ワイヤ4に押し付けられたスライス対象品としてのシリコンインゴットを示し、このシリコンインゴット5とスライス用ワイヤ4との接触部には、SiC等の砥粒を含んだスラリ23が供給され、砥粒による研削作用によってシリコンインゴット5をスライスする。(a)はワイヤが左右方向に往復移動する場合で、スラリ23はパイプ24に設けた孔から供給される例を示し、(b)はワイヤが一方向に走行する場合で、下方に細い開口部を有したジョウゴ状のスラリ供給装置25を使用した例を示す。
【0006】
図5は、図4のスライス法を発展させたもので、スライス用ワイヤ4自身に研削能力を持たせたものである。ピアノ線等の素線26の表面に例えばポリアミド等の耐熱耐摩耗性バインダ27を介して砥粒28を固着させた構成を有し、図4の遊離砥粒方式のスライス能力を向上させ、あるいは砥粒スラリが不要となるため、より有効なスライス法として注目されている。(特開平10−138114号、特開平10−151560号等に開示あり)
【0007】
これら図4および図5のようなワイヤスライス法は、回転刃方式におけるようなスライス対象品のサイズ制限がなく、また、溝付きロール1a、1b、1c間に巻き回したスライス用ワイヤ4の巻き回し回数に応じて一挙に多数のスライス加工を行うことが可能であることから、効率的に優れ、シリコンインゴット等からウエハを作る製造手段としては最適の手段と言える。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来のワイヤスライス法によると、溝付きロール間に巻き回されるスライス用ワイヤの張力は、その出入口部の両端部でしか印加、制御されていないために、その張力レベルを巻き回し全体において均等に保つことが難しく、このため、スライス用ワイヤが振れたり、あるいはスライス中心位置が目標の位置から徐々にずれて走行ワイヤが蛇行する現象が発生するようになる。
【0009】
これらの現象が発生すると、製品のスライス面が波を打つソーマーク現象が生じたり、スライス面がわん曲するソリが生ずるようになり、品質を著しく損なうようになる。
また、張力が低下したときの図5のスライス用ワイヤにおける特有の問題として、スライス対象品への押し付け力不足からくるスライス能力の低下と、溝付きロールとの間でのスリップ発生による溝付きロールの摩耗の問題がある。
【0010】
従って、本発明の目的は、溝付きロール間に巻き回されたスライス用ワイヤの張力を、巻き回し全体において均等化し、かつ、所定の張力レベルに設定することのできるマルチワイヤソー装置を提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記の目的を達成するため、所定の間隔で配置された複数の溝付きロールの外周に所定のピッチで形成された溝にスライス用ワイヤを通して走行させることによって前記スライス用ワイヤでシリコンインゴット等のワークをスライスあるいは切断する(以下、スライスとのみ表現する)マルチワイヤソー装置において、前記複数の溝付きロールから選択された2つの溝付きロールの間に、前記複数の溝付きロールに巻き回された前記スライス用ワイヤの一部のワイヤ列グループを張架する外部ロールが所定の間隔で複数設けられ、該外部ロールの各々に前記スライス用ワイヤの張力を増減させる方向に前記外部ロールを変位させる変位手段が設けられていることを特徴とするマルチワイヤソー装置を提供するものである。
【0012】
上記のスライス用ワイヤとしては、裸のピアノ線、ブラスメッキピアノ線等の抗張力金属線、あるいは炭素繊維、芳香族ポリアラミド繊維等の抗張力化学繊維を素材とした集合あるいは撚合線などが使用される。スライス用ワイヤによるスライス形式としては、砥粒含有スラリを使用する形式、あるいはスライス用ワイヤ自体が砥粒を備える形式のいずれでもよい。スライス用ワイヤとして裸のピアノ線等砥粒を備えないものを使用する場合は、砥粒含有スラリを使用することになる。
【0013】
外部ロールの配置数は、溝付きロール間へのスライス用ワイヤの巻き回し回数に応じて決められる。また、配置数は、外部ロールに張架したスライス用ワイヤのターン数を多くするときは少なく、ターン数が少ないときに多くなるが、張力を均等化させる目的からすれば、外部ロールへの過剰な巻き回しは避ける必要がある。
【0014】
外部ロールへの張架の具体例としては、たとえば、溝付きロールへ巻き回されたスライス用ワイヤの列数が150〜250列としたとき、溝付きロールの端部から15〜25列を経た位置で最初の15〜25列を引き出して第1の外部ロールに張架し、次いで、同じく15〜25列を経て次の15〜25列を引き出して第2の外部ロールに張架し、以下、これを繰り返す等列張架が挙げられる。
【0015】
複数の外部ロールを使用するときには、溝付きロールの軸方向に沿って一定間隔ごとに配置するのが普通である。外部ロールの配置数が多いときには、溝付きロールの軸方向に沿って上下方向へ交互に配置する千鳥配置が好ましい。
【0016】
この配置様式を採用するときには、外部ロール同士が位置的に干渉し合うような小ピッチ配置のときでも多数の外部ロールの配置を可能とし、たとえば、シリコンウエハをスライスするときのように、スライス幅が0.5〜2.0mmと小さく、数多くの外部ロールの配置を必要とするような用例に好適である。
【0017】
外部ロールの表面には、溝付きロールの溝と同一ピッチの溝を形成することが好ましい。溝のない外部ロールの使用も可能であるが、スライス用ワイヤ同士が接触してこすれたり、あるいは重なり合ったりし、断線の恐れが生ずるようになるので好ましくない。
【0018】
たとえば、シリコンインゴット、あるいは化合物半導体インゴット等の断面円形のワークをスライスする場合には、スライス加工が、スライス開始位置から断面円形の中央位置へ進行するのに伴ってスライス抵抗が増え、断面円形の中央位置からスライス終了位置へ進むにつれてスライス抵抗は減少する。
【0019】
スライス用ワイヤの張力均等化のためには、このスライス抵抗の増減に対する策も講じておくべきであり、このためには、溝付きロールから外へ引き出されたスライス用ワイヤに対しての外部ロールによる張力調整を可変にする必要がある。
【0020】
引き出されたスライス用ワイヤに与える張力を、スライス抵抗の変動に応じて増減させる構成が必要であり、このためには、たとえば、外部ロールをエアシリンダのような空圧機器によって支持し、スライス抵抗の増加に応じて張力付加が増大するように外部ロールを変位させ、あるいはスライス抵抗の減少に応じて外部ロールを変位させる構成とすることが望ましい。
【0021】
この間の外部ロールによる支持力の増減は、外部ロールへの負荷の状態を検出し、この検出に基づくことによって自動的に行うことが可能である。支持力の増減は、外部ロールに加わるスライス抵抗の度合に比例させて連続的に行ってもよく、あるいは段階的に行ってもよい。
外部ロールをバックアップする手段としては、空圧以外に、油圧、バネ力、あるいは重錘の利用が好適である。電気モータを利用することも考えられる。
【0022】
溝付きロール間でのスライス用ワイヤの走行は、一定方向の場合と双方向の場合とがある。後者の場合、ワイヤの送出側から巻取側への走行時間をこれとは逆方向への走行時間よりも長く設定することが好ましく、このようにするときには、往復のたびに走行時間差に応じた新しいスライス用ワイヤが供給されるので、長時間運転に適した実際的なスライス加工を行うことが可能となる。
【0023】
【発明の実施の形態】
次に、本発明によるマルチワイヤソー装置の実施の形態について説明する。
図1において、1と2は溝付きロールを示し、表面に複数の溝を平行に刻設した構造を有する。3は溝付きロール1、2の中間の下方位置に設置された駆動ロール、4はロール1、2、3の間に繰り返し巻き回された砥粒付きのスライス用ワイヤを示す。
【0024】
駆動ロール3の表面には溝が形成されており、スライス用ワイヤ4は、溝付きロール1、2、および駆動ロール3の各溝に通された形でこれらのロール間を走行する。溝付きロール1、2は、駆動ロール3に対して従動の関係にあり、スライス用ワイヤ4を介して駆動ロール3に牽引されて回転する。
【0025】
5は走行するスライス用ワイヤ4に対して押し付けられたシリコンインゴット等のワーク、6はその固定治具を示す。ワーク5は、固定治具6の下降とスライス用ワイヤ4の走行のもとに徐々にスライスされ、隣接して走行するスライス用ワイヤ4間のピッチに応じた厚さに切り出され、所定のシリコンウエハとなる。
【0026】
7、8は、ロール1、2、3のうちの溝付きロール1と駆動ロール3の間、および溝付きロール2と駆動ロール3の間に配置されてワイヤ走行に従動して回転する外部ロール、9、10は外部ロール7、8を変位させるための変位手段としてのエアシリンダを示す。
【0027】
11、12は、溝付きロール1、2と外部ロール7、8間を走行するスライス用ワイヤ4を押さえ、従動回転するガイドロール、13、14は、駆動ロール3と外部ロール7、8間を走行するスライス用ワイヤ4を押さえ、同じく従動回転するガイドロールを示す。
【0028】
外部ロール7、8の表面には、溝付きロール1、2の溝と同一ピッチの溝が形成されており、溝付きロール1、2から引き出されたスライス用ワイヤ4のワイヤ列グループ15、16が、この溝に収納されて外部ロール7、8に張架されている。
【0029】
以上の構成により、スライス用ワイヤ4には、ワイヤ列グループ15、16の部分において、エアシリンダ9、10により支持された外部ロール7、8からの張力が作用する。この結果、スライス用ワイヤ4は、図(a)の左から右へ走行する場合を例にとると、溝付きロール1への入口Aと溝付きロール2からの出口B、そして外部ロール7、8の4個所において張力を与えられることになる。
【0030】
図2は、図1のマルチワイヤソー装置における張力均等化の機能を説明するための模擬図であり、W1、W2、W3・・・は、溝付きロール1、2間における入口A側からのスライス用ワイヤ4の配列位置を示す。
【0031】
溝付きロール1へ矢印方向に送り込まれるスライス用ワイヤ4には、所定の張力が負荷されており、一方、溝付きロール2の端部(図示せず)の巻取側においても、溝付きロール2から送り出されるスライス用ワイヤ4には、所定の張力が負荷される。このことは、以前から行われており、従来においては、これによって溝付きロール1、2間を走行するスライス用ワイヤW1、W2、W3・・・間の張力が、均等に維持されるものとされてきた。
【0032】
しかし、これらW1、W2、W3・・・の張力は、溝付きロール1、2(あるいは駆動ロール3)とスライス用ワイヤ4間の摩擦抵抗のために、配列がW1、W2、W3・・・と進むにつれて低下することになり、このため、溝付きロール1、2の中央部には、入口Aにおいて与えられた張力との関係を断つ低張力の領域(不動領域)が出現するようになる。
【0033】
この領域のワイヤ張力は、入口Aにおいて与えられた張力よりも大きく低下し、外部から調整することは不可能であり、従って、切り出されるウエハの表面にはソーマークが発生し、品質の低下を招くようになる。また、表面に砥粒を固着したスライス用ワイヤを使用するときには、所定のスライス能力が得られなくなるとともに、溝付きロール1、2等を摩耗するようになる。
【0034】
これに対して、本実施形態のマルチワイヤソー装置の場合には、外部ロール8によるワイヤ列グループ16への張力作用が介入することから、たとえば、このワイヤ列グループ16に所属したワイヤW5〜W8に所定の張力を与えれば、これらワイヤには張力に関してほぼW5=W6=W7=W8で所定レベルの張力に設定できることになる。
【0035】
従って、外部ロール8によるワイヤ列グループ16への張力付加を適切なものに設定すれば、入口A側のゾーンCのワイヤ列部分と、ワイヤ列グループ16に相当するゾーンDのワイヤ列部分と、ワイヤ列グループ16に近いゾーンEのワイヤ列部分のワイヤの張力を相互に近似したものとすることができ、全体として所定レベルでかつ均等化された張力分布を構築することができる。
W1、W2、W3・・・間の張力が所定レベルでかつ均等化される結果、不均
等な張力の分布、必要な張力レベルからの逸脱を原因とした
【0033】のような不具合現象は防がれることになる。
また、従動ガイドロール11、12、13、14の表面にも溝付ロール1、2と同一ピッチの溝を形成して、その溝にワイヤを収納して走行させれば、より安定化させることができるのは言うまでもない。
【0036】
図3は、本発明によるマルチワイヤソー装置の他の実施の形態を示したもので、外部ロール8の数を増やし、溝付きロール2側に千鳥に配置した例を示す。スライスの対象となるワークは省略してある。
【0037】
溝付きロール2側から、それぞれ所定の数のスライス用ワイヤ4のワイヤ列グループ17〜20が引き出され、これらが各グループごとに外部ロール8に張架され、これら外部ロール8を変位手段としてのエアシリンダ10によって支持したものである。
【0038】
3は駆動ロールを示し、このロールの回転によって溝付きロール1、2が従動回転するように構成されている。12、12′は、溝付きロール2と外部ロール8との間、および駆動ロール3と外部ロール8との間を走行するスライス用ワイヤ4を押さえて従動回転するガイドロールを示す。ロール1、2、3、8の表面には、それぞれ同一ピッチの溝が設けられており、スライス用ワイヤ4はこれらの溝に収納された状態でロール1、2、3、8間を走行する。
【0039】
以上の構成による本実施形態のマルチワイヤソー装置によれば、溝付きロール2から引き出されたスライス用ワイヤ4のグループの数が多いことから、全走行範囲Fにおけるスライス用ワイヤ4の張力は、図2で述べた原理によってより均等化することになり、従って、安定したスライス加工が可能となる。
【0040】
この図3においては、外部ロール8とこれの付属品から成るセット21、22を上下方向に交互に千鳥に配置していることから、たとえば、セット21、22を平面配列したときにセット同士が位置的に干渉し合うような場合でも、外部ロール8を余裕をもって設置することができる。
【0041】
実施例1として、図1では砥粒付きのスライスワイヤを用いた場合を示したが、砥粒スラリを併用した場合でも、あるいは図4に示したような裸ワイヤを使用した遊離砥粒方式でスライスを行う場合でも、以上説明したのと同様な方法を適用することができる。
【0042】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によるマルチワイヤソー装置によれば、選択された2つの溝付きロール間に配置された外部ロールに、所定のターン数でスライス用ワイヤを張架し、さらに、このスライス用ワイヤの張力を、外部ロールの変位により増減させるための変位手段を備えていることから、外部ロールに張架されたスライス用ワイヤの張力を調整することによって、溝付きロール間のスライス用ワイヤの張力を所定レベルで均一化することができ、従って、ワイヤ列全列に対して所定レベルで均等な張力のもとにスライス作業を進めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるマルチワイヤソー装置の実施の形態を示す説明図であり、(a)は平面図、(b)は正面図を示す。
【図2】図1のマルチワイヤソー装置の機能を説明するための模擬図。
【図3】本発明によるマルチワイヤソー装置の他の実施の形態を示す説明図であり、(a)は平面図、(b)は正面図を示す。
【図4】従来のマルチワイヤソー装置の説明図。
【図5】従来の他のマルチワイヤソー装置において使用されるスライス用ワイヤの説明図。
【符号の説明】
1、2 溝付きロール
3 駆動ロール
4 スライス用ワイヤ
5 ワーク
7、8 外部ロール
9、10 エアシリンダ
11〜14、12′ ガイドロール
Claims (6)
- 所定の間隔で配置された複数の溝付きロールの外周に所定のピッチで形成された溝にスライス用ワイヤを通して走行させることによって前記スライス用ワイヤでシリコンインゴット等のワークをスライスあるいは切断するマルチワイヤソー装置において、
前記複数の溝付きロールから選択された2つの溝付きロールの間に、前記複数の溝付きロールに巻き回された前記スライス用ワイヤの一部のワイヤ列グループを張架する外部ロールが所定の間隔で複数設けられ、
該外部ロールの各々に前記スライス用ワイヤの張力を増減させる方向に前記外部ロールを変位させる変位手段が設けられていることを特徴とするマルチワイヤソー装置。 - 前記スライス用ワイヤは、その表面に砥粒を有する構成の請求項第1項記載のマルチワイヤソー装置。
- 前記外部ロールは、前記スライス用ワイヤの異なった走行位置に設けられた複数の外部ロールを含むことを特徴とする請求項第1項あるいは第2項記載のマルチワイヤソー装置。
- 前記外部ロールは、前記複数の溝付きロールの前記溝と同一ピッチの溝をその外周に有することを特徴とする請求項第1項ないし第3項のいずれかに記載のマルチワイヤソー装置。
- 前記変位手段は、前記ワークが断面円形のとき、前記スライス用ワイヤの前記張力を、スライス加工がスライス開始位置から前記断面円形の中央位置に進行するにしたがって大きく設定し、スライス加工が前記中央位置からスライス終了位置に進行するにしたがって小さく設定する構成の請求項第1項ないし第4項のいずれかに記載のマルチワイヤソー装置。
- 前記外部変位手段は、空圧、油圧等による流体圧力、またはバネ力、あるいは重錘のバックアップによって前記外部ロールを変位させる構成の請求項第1項ないし第5項のいずれかに記載のマルチワイヤソー装置。
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