JP5256910B2 - グルーブローラの構造 - Google Patents
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Description
例えば、特許文献1に記載されたワイヤソー切断装置は、図3に示すように、3本のグルーブローラ1〜3を備えており、そのうちの1本が駆動モータ4に連結されている。グルーブローラ1〜3を周回するワイヤ5は、一方のワイヤリール6から繰り出され、他方のワイヤリール7に巻き取られるが、このとき、ワイヤ5が一方向のみに進行する一方向方式と、ワイヤ5がワイヤリール6,7の相互間で往復しながら次第に一方のワイヤリール7に巻き取られる往復走行方式とがある。また、ワイヤ5には、引っ張られた状態でグルーブローラ1〜3を周回するようにテンショナー8で張力が付与される。
往復走行方式は、図4(a)に示すようにインゴット9をスライスする際、図4(b)に示したようにワイヤ5を往復走行させる。たとえば、新線供給側のグルーブローラ1から300mだけワイヤ5を送り出した後、反対方向に200mだけワイヤ5を走行させ、次いで新線供給側のグルーブローラ1からワイヤ回収側のグルーブローラ2に向けて300mだけワイヤ5を送り出す。この往復走行を繰り返すことにより、ワイヤ5は、全体としてグルーブローラ1からグルーブローラ2に毎分100m程度の速度で順次送られる。
しかしながら、その一方で往復走行方式には、ワイヤ5の摩耗によって新線供給側とワイヤ回収側とでウェーハの厚みにバラツキが生じる欠点がある。これは、ワイヤ5は、新線供給側に比べてワイヤ回収側で摩耗量が大きいため、ワイヤ5の実効径が小さくなり、ウェーハの厚みが大きくなる傾向にある。
つまり、インゴットは、グルーブローラの各溝に案内されて互いに平行に位置して往復動するワイヤの各部分によって切断されるが、ワイヤ摩耗量を考慮してグルーブローラのピッチを設定することで、切断されるウェーハの厚みを所定のものにすることができるが、ワイヤの摩耗、つまり、ワイヤの径の減少は、互いに平行に位置してインゴットを切断するワイヤ各部分と、インゴットとが接触する位置(図3の鉛直方向位置)を微小に変化させるため、切断に微妙な影響を与える。
切断性能を考えると、可能な限り、上流側と下流側とのワイヤ各部分のインゴット内への進入深さを均一に近づけたい。
図1,図2は本発明の一実施形態に係るグルーブローラの構造を示すもので、図1はその正面図及び要部拡大断面図、図2はその溝について説明する断面図である。なお、本実施形態にかかるワイヤソー切断装置自体は従来のものと同様に構成されるので、ここでは、図3を流用して説明する。
本実施形態にかかるワイヤソー切断装置は、図3に示すように、複数(ここでは、3本)のグルーブローラ1〜3を備えており、そのうちの1本が駆動モータ4に連結されている。グルーブローラ1〜3を周回するワイヤ5は、一方のワイヤリール6から繰り出され、他方のワイヤリール7に巻き取られるが、このとき、ワイヤ5が一方向のみに進行する一方向方式と、ワイヤ5がワイヤリール6,7の相互間で往復しながら次第に一方のワイヤリール7に巻き取られる往復走行方式とがある。また、ワイヤ5には、引っ張られた状態でグルーブローラ1〜3を周回するようにテンショナー8で張力が付与される。
ワイヤソー切断方法は、ワイヤ5の走行形態から上述のように一方向走行方式と往復走行方式に分類されるが、本ワイヤソー切断装置には、往復走行方式が採用される。
上記のグルーブローラ1〜3に適用される本実施形態のグルーブローラ21は、図1(a)に示すように、外周に多数の溝22を有し、これらの溝22でワイヤ5を案内して螺旋状に周回させるが、これらの溝22の配置されるピッチ(間隔)は、インゴット9をスライスする際に摩耗するワイヤ5の径減少分に対応して、下流側に行くに従って縮小されている。
本発明の一実施形態にかかるグルーブローラの構造は上述のように構成されているので、グルーブローラ21の多数の溝22の配置ピッチがインゴット9をスライスする際に摩耗するワイヤ5の径減少分に対応して、下流側に行くに従って縮小されることにより、スライスにより形成されるウェーハの厚みの均一化が図られる。
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形することが可能である。
また、溝22はV溝に限らず、半円断面形状の溝等を適用してもよく、この場合、V角
度αによるワイヤのガイド位置の調整はできないので、溝22の深さDにより調整すればよい。
4 駆動モータ
5 ワイヤ
6,7 ワイヤリール
8 テンショナー
9 インゴット
10 ホルダ
11 スラリー
12 スラリータンク
13 供給管
14 ノズル
15 パン
16 熱交換器
21 グルーブローラ
22 溝(V溝)
D 溝22の深さ
α V角度(V溝22の両面のなす角度)
Claims (2)
- インゴットを挟むように複数平行に配置された多数の溝を有するグルーブローラ間にワイヤを螺旋状に周回させ、往復走行する前記ワイヤにスラリーを供給しながら前記インゴットをスライスするワイヤソー切断装置に装備される前記グルーブローラの構造であって、
前記多数の溝の配置ピッチは、前記インゴットをスライスする際に摩耗する前記ワイヤの径減少分に対応して、下流側に行くに従って縮小されると共に、
前記多数の溝は、下流側に行くに従って深さが小さく形成されている
ことを特徴とする、グルーブローラの構造。 - 前記多数の溝は、断面が略V形状のV溝であって、
前記V溝の両面角度は、下流側に行くに従って小さく設定されている
ことを特徴とする、請求項1記載のグルーブローラの構造。
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