JP4243364B2

JP4243364B2 - 切削方法

Info

Publication number: JP4243364B2
Application number: JP7533598A
Authority: JP
Inventors: 伸一波岡; 茂石井
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 1998-03-24
Filing date: 1998-03-24
Publication date: 2009-03-25
Anticipated expiration: 2018-03-24
Also published as: JPH11267940A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、切削水を供給しながら被加工物の切削を行う切削装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、図５に示すような切削手段３０を有する切削装置においては、被加工物を適宜の保持手段に固定させた上で、被加工物に切削水を供給しながら切削を行う。
【０００３】
ここで、切削手段３０は、スピンドルハウジング３１内において回転可能に支持されたスピンドル３２にブレード３３を装着してフランジ３４等によって固定した構成となっており、スピンドル３２の回転に伴って回転するブレード３３が被加工物に接触することにより切削が行われる。
【０００４】
また、ブレード３３を両側から挟むようにして切削水供給ノズル３５、３６が配設されており、切削時は、図６に示すように、被加工物３７とブレード３３との接触部を重点的に冷却するために、ここから切削水が供給される。これにより切削によって形成される製品の品質を高めることができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、切削水供給ノズル３５、３６から供給された切削水は被加工物の表面全体に滞留し、滞留した切削水には切削により発生したコンタミ（切削屑）が混じっているため、被加工物の表面全体が汚染されるという問題がある。特に、被加工物が液晶ガラス板のように僅かなコンタミの付着をも嫌うようなものである場合には、大きな問題となる。
【０００６】
また、切削後に適宜の洗浄手段によって被加工物の表面を洗浄することも可能であるが、被加工物の種類によっては事後的に洗浄をできない場合もあり、このような場合には、切削中におけるコンタミの付着を極力少なくする必要がある。
【０００７】
従って、切削装置において切削水を供給しながら被加工物の切削を行う場合においては、切削中に被加工物の表面に極力コンタミが付着しないようにすることに課題を有している。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための具体的手段として本発明は、少なくとも、被加工物を保持して回転可能なチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物に切削水を供給しながら切削を遂行する切削手段とを含み、チャックテーブルが移動する方向である切削送り方向をＸ軸方向、切削手段が移動する方向である割り出し送り方向をＹ軸方向とし、該チャックテーブルの回転中心をＹ軸の原点とした場合、該原点を基準としてＹ軸方向におけるプラス側の領域であるプラス領域には、該原点を基準としてＹ軸方向におけるマイナス側の領域であるマイナス領域に向けて流体を噴出することにより被加工物との間で流体カーテンを形成するカーテンノズルをＸ軸に平行に配設した切削装置を使用し、マイナス領域に切削手段を位置させると共に、被加工物の切削すべき箇所をチャックテーブルの回転によって常にマイナス領域に位置付けることにより、切削すべき箇所の切削をマイナス領域のみにおいて遂行すると共に、切削中に流体カーテンを形成してプラス領域には切削水が流入しないようにした切削方法を提供するものである。
【０００９】
そして、被加工物は液晶ガラス板であることを付加的要件とするものである。
【００１０】
このように構成される切削方法によってチャックテーブルに保持された被加工物を切削するときは、切削がマイナス領域において行われると共に、プラス領域に配設されたカーテンノズルから噴出される水やエアー等の流体によって流体カーテンが形成されるため、切削手段から供給される切削水がプラス領域側に流入しなくなり、プラス領域側においては被加工物の表面にコンタミが付着しなくなる。また、流体カーテンをマイナス領域に向けて傾斜して形成することにより、コンタミが混入した切削水を被加工物の表面から効果的に排除することができ、マイナス領域における被加工物の表面へのコンタミの付着を防止することができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態として、図１に示す切削装置１０を例に挙げて説明する。この切削装置１０において、被加工物、例えば、液晶ガラス板Ｇを切削するときは、液晶ガラス板Ｇは、保持テープＴを介してフレームＦに保持されて、チャックテーブル１１に吸引保持される。そして、チャックテーブル１１がＸ軸方向に移動してアライメント手段１２の直下に位置付けられ、切削すべき領域が検出された後、切削手段１３の作用を受ける。
【００１２】
切削手段１３は、図２に示すように、スピンドルハウジング１４内において回転可能に支持されたスピンドル１５にブレード１６を装着してフランジ１７等によって固定した構成となっており、図３に示すように、ブレード１６を両側から挟むようにして切削水供給ノズル１８、１９が配設されている。
【００１３】
図２に示したように、チャックテーブル１１は、回転中心２０を中心として回転可能となっており、チャックテーブル１１の回転中心２０を通ってＸ軸方向にのびる中心線２１を境目にして切削手段１３が配設されている方の側をマイナス領域、その逆側をプラス領域とする。そして、中心線２１から若干プラス領域側に入った位置には、Ｘ軸と平行にカーテンノズル２２を配設している。このカーテンノズル２２には、マイナス領域側下方に向けて水を噴出する多数の噴出口を備えている。
【００１４】
このように構成される切削手段１３を用いて、図４（Ａ）に示す矩形の２層構造の液晶ガラス板Ｇの外周の１層のみを切削して図４（Ｂ）の形状にする場合について説明する。
【００１５】
まず最初に、切削しようとする箇所である切削ライン２３がＸ軸方向と一致し、かつ、切削ライン２３がマイナス領域に位置するように、チャックテーブル１１を回転させる。そして、アライメント手段１２によって切削ライン２３を検出し、検出した切削ライン２３とブレード１６との位置合わせを行う。
【００１６】
切削ライン２３とブレード１６との位置合わせがなされると、切削手段１３が降下して、回転するブレード１６が液晶ガラス板Ｇの１層のみを切削できる高さに維持されると共に、チャックテーブル１１がＸ軸方向に移動することによって切削ライン２３に一定の深さの切り込みが入る。またこのとき、図３のように、ブレード１６と液晶ガラス板Ｇとの接触部に重点的に切削水供給ノズル１８、１９から切削液が供給される。
【００１７】
更に、プラス領域に位置するカーテンノズル２２に設けられた多数の噴出口からは、マイナス領域側に向けて水が噴出され、噴出された水はウォーターカーテン２４を形成する。
【００１８】
このように、切削中にウォーターカーテン２４が形成されることにより、切削水供給ノズル１８、１９から供給された切削水がプラス領域側に流れることがなくなる。従って、プラス領域において、液晶ガラス板Ｇの表面はクリーンな状態が維持され、マイナス領域における切削により発生したコンタミが付着することがなくなる。
【００１９】
また、ウォーターカーテン２４はマイナス領域に向けて傾斜して形成され、水流によりマイナス領域側の切削水を効率良く排除することができるため、切削水が液晶ガラス板Ｇの表面に滞留することがなく、切削水に混入したコンタミがマイナス領域において液晶ガラス板Ｇの表面に付着するのを防止することができる。
【００２０】
こうして切削ライン２３を切削した後は、チャックテーブル１１を９０度間欠回転させて、次の切削ラインがＸ軸方向と一致し、かつ、次の切削ラインがマイナス領域に位置するようにして、同様の切削を行う。
【００２１】
このようにして切削を行っていくことにより、切削は常にマイナス領域において遂行されるため、プラス領域における液晶ガラス板Ｇの表面はコンタミにより汚染されない。また、マイナス領域においては、切削時にカーテンノズル２２から供給される水によってコンタミが混入した切削水が滞留することがなくなる。従って、本実施の形態で説明した液晶ガラス板Ｇの切削のように、外周のみを切削すればよいような場合には、切削ラインの内側がコンタミにより汚染されることが少なく、汚染を最小限に抑えることができる。
【００２２】
なお、本実施の形態においては、カーテンノズルから水が噴出されてウォーターカーテンが形成される場合を例に挙げて説明したが、カーテンノズルから噴出される流体をエアーとしてエアーカーテンを形成するようにしてもよい。
【００２３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る切削方法によれば、切削がマイナス領域において行われると共に、プラス領域に配設されたカーテンノズルから噴出される水やエアー等の流体によって流体カーテンが形成されるため、切削手段から供給される切削水がプラス領域側に流入しなくなり、プラス領域側においてコンタミが付着しなくなる。また、流体カーテンをＹ軸のマイナス領域に向けて傾斜して形成することにより、コンタミが混入した切削水を被加工物の表面から効果的に排除することができ、コンタミの付着を防止することができる。従って、汚染されていない品質の高い製品を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る切削装置の実施の形態の一例を示す斜視図である。
【図２】同切削装置において被加工物が切削される様子を示す斜視図である。
【図３】同切削装置において被加工物が切削される様子を示す略示的正面図である。
【図４】切削される液晶ガラス板及び切削後の液晶ガラス板を示す斜視図である。
【図５】従来の切削手段の構成を示す分解斜視図である。
【図６】同切削手段により被加工物が切削される様子を示す略示的正面図である。
【符号の説明】
１０……切削装置１１……チャックテーブル１２……アライメント手段
１３……切削手段１４……スピンドルハウジング１５……スピンドル
１６……ブレード１７……フランジ１８、１９……切削水供給ノズル
２０……回転中心２１……中心線２２……カーテンノズル
２３……切削ライン２４……ウォーターカーテン
３０……切削手段３１……スピンドルハウジング３２……スピンドル
３３……ブレード３４……フランジ３５、３６……切削水供給ノズル
３７……被加工物

Claims

少なくとも、被加工物を保持して回転可能なチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物に切削水を供給しながら切削を遂行する切削手段とを含み、該チャックテーブルが移動する方向である切削送り方向をＸ軸方向、該切削手段が移動する方向である割り出し送り方向をＹ軸方向とし、該チャックテーブルの回転中心をＹ軸の原点とした場合、該原点を基準としてＹ軸方向におけるプラス側の領域であるプラス領域には、該原点を基準としてＹ軸方向におけるマイナス側の領域であるマイナス領域に向けて流体を噴出することにより該被加工物との間で流体カーテンを形成するカーテンノズルをＸ軸に平行に配設した切削装置を使用し、
該マイナス領域に切削手段を位置させると共に、該被加工物の切削すべき箇所を該チャックテーブルの回転によって常に該マイナス領域に位置付けることにより、該切削すべき箇所の切削を該マイナス領域のみにおいて遂行すると共に、切削中に該流体カーテンを形成して該プラス領域には切削水が流入しないようにした切削方法。
被加工物は液晶ガラス板である請求項１に記載の切削方法。