JP4880244B2

JP4880244B2 - 切削装置

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Publication number: JP4880244B2
Application number: JP2005109244A
Authority: JP
Inventors: 正視佐藤
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2005-04-05
Filing date: 2005-04-05
Publication date: 2012-02-22
Anticipated expiration: 2025-04-05
Also published as: JP2006289509A

Description

本発明は，ダイシング装置などの切削装置に関し，特に，切削時に切削ブレードの外周部に付着したコンタミネーションを除去するためのコンタミネーション除去部材を備える切削装置に関する。

ダイシング装置等の切削装置を用いて，固体撮像素子用ガラス板を切断する場合，接着シートでカッティングテーブルに接着したガラス板を切削ブレードで固体撮像素子に適用可能な形状に切断する。切断時には加工精度を維持するために，切削ブレードに切削液を吹きつけて切削ブレードを冷却する。また，切削液は被加工物の切削粉や接着シートの切断片等の汚濁物（以下，「コンタミネーションまたはコンタミ」と言う）を加工点付近から除去している。

ところが，加工点付近に切削液を吹きつけるだけでは，切削ブレードの外周部に付着したコンタミを除去することができない。このような切削ブレードの外周部に付着したコンタミは，高速回転している切削ブレードと共に１回転して遠心力により被加工物の表面に強く叩きつけられて，被加工物の表面に付着する。したがって，被加工物の切削加工が完了した後に被加工物を洗浄しても，被加工物から付着したコンタミを除去できないので，生産性の歩留りが悪い，という問題があった。

特に，切削加工後のガラス板等の被加工物を固体撮像素子に使用する場合には，コンタミの付着は画像の不鮮明さに直接影響することから，付着量が少量でも不良品となる。

このような理由から，例えば，特許文献１に記載されているように，切削ブレードの外周の両側部に近接した位置に，板状のコンタミネーション除去部材を複数配置して，コンタミを被加工物の表面から離れた位置に搬出することが可能なダイシング装置が記載されている。

特開平５−１２１５４１号公報

しかしながら，切削ブレードの外周上ではコンタミを含んだ切削液が回流となっており，この回流により切削ブレードの外周部に付着したコンタミがブレードと共に１回転して被加工物の表面に付着してしまう。このような場合に，上記特許文献１に記載されたコンタミネーション除去部材では，切削ブレードの外周に接触させることはできないため，切削ブレードの外周上に存在する回流を完全に遮断させることはできず，結果的に切削ブレードの外周に付着したコンタミを剥離させて除去するには十分ではないことが現状であった。

そこで，本発明は，このような問題に鑑みてなされたもので，その目的は，切削ブレードの外周上におけるコンタミを含んだ切削液の回流を完全に遮断することにより，切削ブレードの外周部に付着したコンタミが切削ブレードと共に１回転して被加工物の表面に付着することを防止することが可能な，新規かつ改良された切削装置を提供することにある。

上記課題を解決するために，本発明のある観点によれば，被加工物を切削する切削ブレードと，切削ブレードの外周を覆うブレードカバーと，切削ブレードの一側面または両側面と対向配置されて切削ブレードに切削液を供給する切削液供給ノズルと，を備える切削装置が提供される。

上記切削装置において，前記ブレードカバーには，加工点における前記切削ブレードの回転方向側に，前記切削ブレードと対向配置されるコンタミネーション除去部材が設けられており，前記コンタミネーション除去部材は，前記切削ブレードの外周部を囲むように形成された溝部と，前記溝部に高さ方向に複数箇所配置され，前記加工点における前記切削ブレードの回転方向側の前記切削ブレードの外周の両側面に対して切削液を噴射する複数の切削液噴射口とを有し，前記切削液供給ノズルの支持部材と一体的に構成され，更に，前記コンタミネーション除去部材の内部には，隔壁で区切られた排出経路が形成されており，前記排出経路は，前記切削液噴射口からの切削液の噴射により，前記溝部に形成された隙間から前記コンタミネーション除去部材の内部に流入した切削液を，前記隔壁で受け止めて，前記コンタミネーション除去部材の外部に排出することを特徴としている。

上記溝部の形状は，例えば略コの字型，略円弧状等，特に限定はされないが，溝部を略Ｖ字形状に形成した場合には，噴射口から噴射された切削液が切削ブレードに当たって，溝部と切削ブレードとの間の空間に切削液が満たされた場合に，コンタミが溝部の壁面に衝突して後述する排出経路からコンタミネーション除去部材の外部に排出し易いと考えられるため，好ましい。

また，噴射口は，上記溝部に，切削ブレードの外周部の正面および背面に対して切削液を直接当てるように噴射することが可能なように設けられている。さらに，噴射口と切削ブレードとの距離は，１〜５ｍｍの範囲になるようにすることが好ましい。１ｍｍ未満の場合には，噴射口から噴射された切削液が切削ブレードに衝突して跳ね返ってくることにより噴射口が詰まる場合があり，効果的に切削液を噴射することができないため，好ましくない。一方，５ｍｍを超える場合には，切削液が切削ブレードに当たるときの水圧が弱くなり，回流遮断効果が十分に得られないと考えられるため，好ましくない。

このようにして切削ブレードの外周部に切削液を供給することによって，切削時に切削ブレードの外周上に存在するコンタミを含んだ切削液の回流を，切削ブレードに近接した位置から回流に対して切削液を直接噴射させて回流の流れを遮断させることができる。

また，噴射口から切削液が切削ブレードの正面と背面の回流に当たることによって渦流が発生し，切削液に含まれるコンタミが噴射口のある溝部に衝突しやすい状態となるので，コンタミの除去を促すこととなる。

さらに，切削液噴射口から供給された切削液により，溝部の壁面と切削ブレードとから形成される狭い空間が満たされりことになるため，この空間内に満たされた切削液によって回流が妨げられ，一層回流の遮断効果が高まる。

また，上記切削装置においては，コンタミネーション除去部材は，切削液供給ノズルの支持部材と一体的に構成されるようにしてもよい。

このように，従来のブレードクーラノズルが取り付けられた支持部材を改良し，コンタミネーション除去部材を取り付けることにより，コンタミネーション除去部材を設けるための余分なスペースをほとんど必要としないため，切削ブレードカバーの大きさを変えずにすむ。

また，上記切削装置においては，コンタミネーション除去部材の内部には，噴射口からの切削液の噴射により内部に流入した切削液を外部に排出する排出経路が形成されていてもよい。

かかる排出経路は，コンタミネーション除去部材の内部に形成された複数の隔壁と，コンタミネーション除去部材の上部とで区切られた空間として構成されている。

具体的には，切削ブレードの外周上で回流となっているコンタミを含んだ切削液は，切削液噴射口から噴射された切削液によって切削ブレードに接触した後に，切削液噴射口の周囲の溝部の壁面に接触して，排出経路を介してコンタミネーション除去部材の外部に排出される。このとき，コンタミネーション除去部材の内部に上記隔壁が設けられていることにより，コンタミネーション除去部材の内部に流入した切削液を受け止めて，周囲にコンタミを含んだ切削液を拡散しないようにさせることができる。

このように，切削液噴出口から切削ブレードの外周部（加工点における切削ブレードの回転方向側）に切削液を噴射して，切削ブレード外周上の回流を遮断することによって，コンタミを含んだ切削液は，切削ブレードと共に１回転せずに，コンタミ除去部材が配置された位置で，切削ブレード回転方向に排出される。

本発明によれば，切削時に切削ブレード外周上に存在するコンタミを含んだ切削液の回流を，切削ブレードに近接した位置から切削ブレードに対して切削液を直接噴射させて回流の流れを遮断させることにより，切削ブレードの外周部に付着したコンタミが切削ブレードと共に１回転して被加工物の表面に付着することを防止することが可能な切削装置を提供することができる。

以下に添付図面を参照しながら，本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお，本明細書及び図面において，実質的に同一の機能構成を有する構成要素については，同一の符号を付することにより重複説明を省略する。

（第１の実施形態）
まず，図１に基づいて，本発明の第１の実施形態に係る切削装置の一例であるダイシング装置１０の全体構成について説明する。なお，図１は，本実施形態に係るダイシング装置１０を示す全体斜視図である。

図１に示すように，ダイシング装置１０は，例えば，半導体ウェハなどの被加工物１２を切削加工する切削手段である切削ユニット２０と，被加工物１２を保持する被加工物保持手段であるチャックテーブル１５と，切削ユニット移動機構（図示せず。）と，チャックテーブル移動機構（図示せず。）とを備える。

切削ユニット２０は，スピンドル（図示せず）に装着された切削ブレード２２を備えている。この切削ユニット２０は，切削ブレード２２を高速回転させながら被加工物１２に切り込ませることにより，被加工物１２を切削して極薄のカーフ（切溝）を形成する。

また，チャックテーブル１５は，例えば，その上面が略平坦な円盤状のテーブルであり，その上面に真空チャック（図示せず。）等を具備している。このチャックテーブル１５上には，例えば，ウェハテープ１３を介してフレーム１４に支持された状態の被加工物１２が載置される。チャックテーブル１５は，かかる被加工物１２を真空吸着して安定的に保持する。

切削ユニット移動機構は，切削ユニット２０をＹ軸方向に移動させる。このＹ軸方向は，切削方向（Ｘ軸方向）に対して直交する水平方向であり，切削ユニット２０内に延設されたスピンドルの軸方向と一致する。切削ユニット２０をＹ軸方向に移動させることにより，切削ブレード２２の刃先を被加工物１２の切削位置（切削ライン）に位置合わせすることができる。また，切削ブレード２２の交換作業等のメンテナンス時には，切削ユニット２０をＹ軸正方向側（オペレータ側），即ち，ダイシング装置１０の前面（正面）側に前進させて，切削ユニット２０をオペレータが作業しやすい位置に配置することができる。さらに，この切削ユニット移動機構は，切削ユニット２０をＺ軸方向（垂直方向）にも移動させる。これにより，被加工物１２に対する切削ブレード２２の切り込み深さを調整することができる。

チャックテーブル移動機構は，切削加工時に，被加工物１２を保持したチャックテーブル１５を切削方向（Ｘ軸方向）に往復移動させて，被加工物１２に対し切削ブレード２２の刃先を直線的な軌跡で作用させる。

かかる構成のダイシング装置１０は，高速回転する切削ブレード２２を被加工物１２に切り込ませながら，切削ユニット２０とチャックテーブル１５とを相対移動させることにより，被加工物１２の格子状に配置された複数の切削ラインを切削する。これによって，被加工物１２をダイシング加工して，複数のチップに分割することができる。

次に，図２に基づいて，本実施形態に係る切削ユニット２０の構成について詳細に説明する。なお，図２は，本実施形態に係る切削ユニット２０を示す左側面図（ａ）および正面図（ｂ）である。

図２に示すように，切削ユニット２０は，例えば，切削ブレード２２と，スピンドル（図示せず）と，スピンドルハウジング（図示せず）と，ブレードカバーと，切削液供給ノズル（ブレードクーラノズル）２８と，を主に備える。

切削ブレード２２は，例えば，略リング形状を有する極薄の切削砥石である。かかる切削ブレード２２は，例えば，フランジおよびナット（いずれも図示せず）などによって，スピンドルの先端部に装着される。本実施形態に係る切削ブレード２２は，例えば，外周部に配される切削砥石部と，当該切削砥石部をスピンドルに軸着するための基体部とが一体構成されたハブブレードで構成されている。しかし，かかる例に限定されず，切削ブレード２２は，所謂ワッシャーブレードで構成されており，その両側をフランジで挟持してナットで固定することによって，スピンドルに軸着される構成であってもよい。

また，スピンドルは，例えば，モータ（図示せず。）の回転駆動力を切削ブレード２２に伝達するための回転軸であり，装着された切削ブレード２２を例えば３０，０００ｒｐｍで高速回転させることができる。このスピンドルの大部分は，スピンドルハウジング（図示せず）に覆われているが，その先端部は，スピンドルハウジングから露出しており，かかる先端部に切削ブレード２２等が装着される。なお，このスピンドルは，切削方向（Ｘ軸方向）と直交するＹ軸方向に延設されている。

また，スピンドルハウジングは，スピンドルの外周を覆うようにして設けられたハウジングである。このスピンドルハウジングは，内部に設けられたエアベアリング（図示せず。）等によって，スピンドルを回転可能に支持する。

また，本実施形態に係るブレードカバーは，切削ブレード２２の外周を覆うようにして配設され，スピンドルハウジングの先端部に固定される。このブレードカバーは，切削ブレード２２を保護するとともに，切削加工に伴う切削液や切削屑，破損したブレード片などが，切削ユニット２０外部に飛散することを防止する。

具体的には，このブレードカバーは，ブレードカバー支持部２４と，上部ブレードカバー２６と，コンタミネーション除去部材３０とから構成されている。上部ブレードカバー２６およびコンタミネーション除去部材３０は，ブレードカバー支持部２４にネジ等により固定支持されている。上部ブレードカバー２６は，切削ブレード２２の上側（Ｚ軸正方向側）に切削ブレード２２を覆うように配設されている。なお，コンタミネーション除去部材３０の詳細な構成については，後述する。

また，本実施形態に係るブレードカバーには，切削ブレード２２の側面側から切削液を供給する一対の切削液供給ノズル（ブレードクーラノズル）２８が設けられている。切削液供給ノズル２８は，切削ブレード２２の側面（切削ブレード２２のＹ軸方向側の平坦面をいう）の下部に隣接して配設されており，後述する図６等で示すように，切削ブレード２２の正面側および背面側と対向配置されている。なお，切削ブレード２２の正面とは，スピンドルの軸方向先端側（Ｙ軸正方向側）の側面であり，切削ブレード２２の背面とは，スピンドルの軸方向奥側（Ｙ軸負方向側）の側面である。かかる切削液供給ノズル２８は，切削ブレード２２の側面下部および加工点に向けて，切削液（例えば，切削水）を噴射する。このようにして切削液を供給することによって，切削ブレード２２および加工点を冷却して，切削加工時に被加工物にチッピングが発生することを防止できる。

次に，図２および図３に基づいて，本実施形態に係る特徴的構成要素であるコンタミネーション除去部材３０の外観構成について詳細に説明する。なお，図３は，本実施形態に係るコンタミネーション除去部材３０の外観構成を示す斜視図である。

図２および図３に示すように，上記ブレードカバーには，切削ブレード２２による被加工物の加工点Ｓにおける切削ブレード２２の回転方向（図２（ｂ）の矢印Ｆ方向）側，すなわち，図２（ｂ）の矢印Ｆ_Ｓの方向側（Ｘ軸負方向側）に，コンタミネーション除去部材３０が設けられている。このコンタミネーション除去部材３０は，切削時に切削ブレード２２の外周上を回流するコンタミの除去を目的としてブレードカバーに取り付けられており，例えば，ステンレス等の金属で形成された部材である。

また，コンタミネーション除去部材３０は，基体部３１の切削ブレード２２と対向する側（Ｘ軸正方向側）に，切削ブレード２２の外周部を覆うように略Ｖ字形状の溝部３２が形成されている。さらに，この溝部３２には，切削ブレード２２の外周の両側面（切削ブレード２２の外周の正面および背面）に対して切削液を噴射する複数の切削液噴射口３４が形成されている。

さらに，本実施形態においては，上記切削液供給ノズル（ブレードクーラノズル）２８は，コンタミネーション除去部材３０の基体部３１に取り付けられて支持されている。言い換えると，複数の噴射口３４は，基体部３１に取り付けられたブレードクーラノズル２８と一体的に構成されており，着脱自在に構成されてはいない。具体的には，図２（ｂ）等に示すように，基体部３１の上部側（Ｚ軸正方向側）に複数の噴射口３４が形成され，基体部３１の下部側（Ｚ軸負方向側）にブレードクーラノズル２８が取り付けられている。

このように，コンタミネーション除去部材３０は，ブレードクーラノズル２８が取り付けられた基体部３１と，複数の噴射口３４とを一体的に構成することにより，従来のブレードクーラノズルが取り付けられた支持部材（本実施形態に係る基体部３１に相当）を改良し，この支持部材に溝部３２や複数の噴射口３４を形成するだけでよい。すなわち，本実施形態に係るコンタミネーション除去部材３０を適用する際には，従来のブレードクーラノズルが取り付けられた支持部材の代わりにコンタミネーション除去部材３０を設ければよい。したがって，コンタミネーション除去部材３０を設けるための余分なスペースをほとんど必要としないため，切削ブレードカバーの大きさを変えずにすむ。

ここで，図４および図５に基づいて，溝部３２および切削液供給口３４の構成について詳細に説明する。なお，図４は，本実施形態に係るコンタミネーション除去部材３０に形成された溝部３２および切削液供給口３４の構成を示す拡大斜視図であり，図５は，図３の切削ブレードおよびコンタミネーション除去部材のＸＹ平面に平行な平面で切断した断面図であって，（ａ）は切削液の噴射方向を説明するための図であり，（ｂ）は溝部３２と切削ブレード２２との距離を説明するための図である。

図４に示すように，溝部３２は，基体部３１の切削ブレード２２と対向する側（Ｘ軸正方向側）に，略Ｖ字形状に形成されており，この溝部３２の複数箇所（図４では３箇所）に，切削ブレード２２の外周部の正面および背面に対して切削液を直接当てるように噴射することが可能な１対の噴射口３４Ｃ，３４Ｄ（以下，まとめて「噴射口３４」という場合もある）が設けられている。この１対の噴射口３４Ｃ，３４Ｄは，図５（ａ）に示すように，切削ブレード２２外周部の正面および背面に対して略垂直方向（略Ｙ軸方向）から切削液を噴射できる位置に配置されており，高さ方向に複数箇所配置される。この噴射口３４は，図４では合計６個設けられているが，噴射口３４の数は特に限定はされず，切削条件によって自由に選択することができる。例えば，切削ブレード２２の回転数を高くする場合には，回流の遮断効果をより高める必要があるため，噴射口３４の数を多くすることが望ましい。

また，噴射口３４と切削ブレード２２との距離（図５（ｂ）に示すＬ_１，Ｌ_２）は，１〜５ｍｍの範囲になるようにすることが好ましい。Ｌ_１，Ｌ_２が１ｍｍ未満となり，噴射口３４と切削ブレード２２との距離があまりに近くなり過ぎると，噴射口３４から噴射された切削液が切削ブレード２２に衝突して跳ね返ってくることにより噴射口３４が詰まる場合があり，効果的に切削液を噴射することができないため，好ましくない。一方，Ｌ_１，Ｌ_２が５ｍｍを超えて，噴射口３４と切削ブレード２２との距離が遠くなりすぎると，切削液が切削ブレード２２に当たるときの水圧が弱くなり，回流遮断効果が十分に得られないと考えられるため，好ましくない。

さらに，噴射口３４から噴射する切削液の流量は，例えば，１対の噴射口３４Ｃ，３４Ｄを図４に示すように，高さ方向（Ｚ軸方向）に３箇所設けた場合には，例えば，全体の流量を１．２Ｌ／分としたときに，下の段では０．５Ｌ／分，中段では０．４Ｌ／分，上の段では０．３Ｌ／分とすることが好ましい。このように，加工点に近い噴射口３４ほど流量を多くして大量の切削液を噴射することにより，コンタミを含む切削液の回流を効果的に遮断することができる。

また，噴射口３４が設けられる溝部３２は，本実施形態においては略Ｖ字形状に形成されているが，その形状は特に限定はされず，例えば，略コの字形状，略円弧状等であってもよい。ただし，噴射口３４から噴射された切削液が切削ブレード２２に当たって，溝部３２と切削ブレード２２との間の空間に切削液が満たされた場合に，本実施形態に係る溝部３２にように略Ｖ字形状に形成すると，コンタミが溝部３２の壁面に衝突して後述する排出経路（図７等参照）からコンタミネーション除去部材３０の外部に排出し易い，と推察される。なお，本実施形態に係る溝部３２は，溝の奥側（Ｘ軸負方向側）が閉じられた構造となっているが，このような場合に限られず，溝の奥側が開放されて溝部３２が基体部３１に貫通形成されている場合であってもよい。

次に，図２および図６に基づいて，本実施形態に係るコンタミネーション除去部材３０の内部に形成された切削液の供給経路について説明する。なお，図６は，本実施形態に係るコンタミネーション除去部材３０内部に形成された切削液の供給経路を示す斜視図である。

図２および図６に示すように，切削ブレード２２の外周上の回流を遮断するために切削ブレード２２外周部の正面および背面に噴射される切削液のノズルは，切削液を噴射する例えば略円形の噴射口３４Ｃ，３４Ｄ（図４ではそれぞれ３箇所ずつ）と，この噴射口３４Ｃ，３４Ｄに連通される流路３６２Ｃ，３６２Ｄとを有する。噴射口３４は，上述したように，基体部３１の切削ブレード２２と対向する側に形成された溝部３２に，切削ブレード２２外周部の正面および背面に対して略垂直方向から切削液を噴射できる位置に配置されている。また，流路３６２Ｃ，３６２Ｄは，一方が噴射口３４に連通しており，他方が，基体部３１の奥側（Ｘ軸負方向側）の上部に設けられてホース連結部３７（図２参照）が設置される凹部３６Ｃ，３６Ｄに連通している。この流路３６２Ｃ，３６２Ｄは，凹部３６Ｃ，３６Ｄの底面から垂直方向下方（Ｚ軸負方向）に向かって延び，所定の高さ（例えば，下段の噴出口３４がある高さ）の位置で折曲し，水平方向（Ｘ軸正方向）に延設されている。流路３６２Ｃ，３６２Ｄは，さらに，所定の位置で複数箇所（図６では３箇所）ある噴射口３４に連通するように分岐している。

また，ホース連結部３７には，コンタミネーション除去部材３０の外部に設けられた切削液供給手段（図示せず）に連通された給液ホース（図示せず）が連結される。かかる構成により，切削液供給手段から給液ホースを介して供給された切削液は，基体部３１の内部に形成された流路３６２Ｃ，３６２Ｄを通り，噴射口３４から切削ブレード２２外周部の正面および背面，より詳しくは，加工点Ｓにおける切削ブレード２２の回転方向Ｆ_Ｓ側の切削ブレード２２の外周面に向けて噴射される。

このようにして切削液を供給することによって，切削時に切削ブレード２２の外周上に存在するコンタミを含んだ切削液の回流を，切削ブレード２２に近接した位置から回流に対して切削液を直接噴射させて回流の流れを遮断させることができる。また，噴射口３４から切削液が切削ブレード２２の正面と背面の回流に当たることによって渦流が発生し，切削液に含まれるコンタミが噴射口３４のあるＶ字形状の溝部３２に衝突しやすい状態となるので，コンタミの除去を促すこととなる。さらに，１対の噴射口３４があるエリアを複数設けることによって回流遮断効果をより高めることができる。加えて，供給された切削液は，溝部３２の壁面と切削ブレード２２とから形成される狭い空間を満たすことになるため，一層回流の遮断効果が高まる。

また，切削液噴射ノズル２８は，切削液を噴射する噴射口（図示せず）と，この噴射口に連通される流路３６２Ａ，３６２Ｂとを有する。この流路３６２Ａ，３６２Ｂは，基体部３１の内部に形成され，凹部３６Ｃ，３６Ｄよりもさらに奥側（Ｘ軸負方向側）に形成された凹部３６Ａ，３６Ｂの底面から垂直方向下方に向かって延び，所定の位置で折曲した後，切削ブレード２２の下部に沿って水平方向に延設されている。この切削液供給ノズル２８の水平部分には，例えばスリット状または微細孔状の噴射口（図示せず）が複数形成されている。

また，凹部３６Ａ，３６Ｂにもホース連結部３７が設置され，コンタミネーション除去部材３０の外部の切削液供給手段から給液ホースを介して供給された切削液は，基体部３１の内部に形成された流路３６２Ａ，３６２Ｂを通り，噴射口から切削ブレードの外周面に向けて噴射される。

このようにして切削液を供給することによって，切削ブレード２２および加工点を冷却して，切削加工時に被加工物１２にチッピングが発生することを防止できる。

次に，図７に基づいて，本実施形態に係るコンタミネーション除去部材３０の内部に形成された排出経路３９について説明する。なお，図７は，本実施形態に係るコンタミネーション除去部材３０内部に形成された切削液の排出経路３９を示す断面斜視図である。

図７に示すように，コンタミネーション除去部材３０の基体部３１の内部には，水平方向（切削ブレード２２の切削方向，すなわちＸ軸方向）に延設された３つの隔壁３８が配設されている。そして，排出経路３９は，上記３つの隔壁３８および基体部３１の上部（図７の略クの字上の部分）により区切られた空間として構成されている。なお，上記基体部３１の上部，上段の隔壁３８および中段の隔壁３８の切削ブレード２２と対向する側に上述した溝部３２が形成されている。基体部３１の溝部３２が形成されていない部分については，隙間（開口部）となっており，ここからコンタミを含んだ切削液が外部に排出される。

具体的には，切削ブレード２２の外周上で回流となっているコンタミを含んだ切削液は，噴射口３４から噴射された切削液によって切削ブレード２２に接触した後に，噴射口３４の周囲の略Ｖ字形状の溝部３２の壁面に接触して，図７の矢印で示すように，溝部３２の上または下にある隙間を通って，基体部３１の内部の空間，すなわち排出経路３９を介してコンタミネーション除去部材の外部に排出される。このとき，基体部３１の内部に隔壁３８が設けられていることにより，上記隙間から流入した切削液を受け止めて，周囲にコンタミを含んだ切削液を拡散しないようにさせることができる。

さらに，図示していないが，この排出経路３９の下流側（Ｘ軸負方向側）に，流された切削液を強制的に吸引する吸引機構を設けて，切削液を回収することも可能である。このように構成することにより，コンタミが排出され易くなるため，切削ブレード２２の外周上の回流により被加工物の表面に付着しにくくなる。

以上，添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが，本発明はかかる例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば，特許請求の範囲に記載された範疇内において，各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり，それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。

例えば，上述した実施形態では，切削装置としてダイシング装置１０の例を挙げて説明したが，本発明はかかる例に限定されない。例えば，スピンドル２５により高速回転する切削ブレード２２を用いて被加工物１２を切削加工する装置であれば，例えば，ダイシング加工以外の切削加工を行う各種の切削装置であってもよい。

また，上述した実施形態では，噴射口３４の形状が略円形状である例を挙げて説明したが，本発明はかかる例に限定されない。切削ブレード２２外周部の正面および背面に切削液を噴射して回流を遮断できるものであれば，例えば，噴射口の形状は略矩形状，スリット状などであってもよい。

また，上述した実施形態では，コンタミネーション除去部材３０の材質はステンレス等の金属であったが，本発明はかかる例に限定されず，プラスチック等の合成樹脂など任意の材質であってもよい。

本発明は，ダイシング装置などの切削装置に適用可能であり，特に，切削時に切削ブレードの外周部に付着したコンタミネーションを除去するためのコンタミネーション除去部材を備える切削装置に適用可能である。

本発明の第１の実施形態に係るダイシング装置を示す全体斜視図である。同実施の形態における切削ユニットの構成を示しており，（ａ）は左側面図であり，（ｂ）は正面図である。同実施の形態における切削ブレードおよびコンタミネーション除去部材の外観構成を示す斜視図である。同実施の形態におけるコンタミネーション除去部材に形成された溝部および切削液供給口の構成を示す拡大斜視図である。図３の切削ブレードおよびコンタミネーション除去部材のＸＹ平面に平行な平面で切断した断面図である。同実施の形態におけるコンタミネーション除去部材内部に形成された切削液の供給経路を示す斜視図である。同実施の形態におけるコンタミネーション除去部材内部に形成された切削液の排出経路を示す断面斜視図である。

符号の説明

１０ダイシング装置
２０切削ユニット
２２切削ブレード
２８切削液供給ノズル
３０コンタミネーション除去部材
３２溝部
３４切削液噴射口
３８隔壁
３９排出経路

Claims

被加工物を切削する切削ブレードと，前記切削ブレードの外周を覆うブレードカバーと，前記切削ブレードの一側面または両側面と対向配置されて前記切削ブレードに切削液を供給する切削液供給ノズルと，を備える切削装置において：
前記ブレードカバーには，加工点における前記切削ブレードの回転方向側に，前記切削ブレードと対向配置されるコンタミネーション除去部材が設けられており，
前記コンタミネーション除去部材は，前記切削ブレードの外周部を囲むように形成された溝部と，前記溝部に高さ方向に複数箇所配置され，前記加工点における前記切削ブレードの回転方向側の前記切削ブレードの外周の両側面に対して切削液を噴射する複数の切削液噴射口とを有し，前記切削液供給ノズルの支持部材と一体的に構成され，
更に，前記コンタミネーション除去部材の内部には，隔壁で区切られた排出経路が形成されており，前記排出経路は，前記切削液噴射口からの切削液の噴射により，前記溝部に形成された隙間から前記コンタミネーション除去部材の内部に流入した切削液を，前記隔壁で受け止めて，前記コンタミネーション除去部材の外部に排出することを特徴とする切削装置。