JP2003225844A - 中心給水式フランジ及び給水方式 - Google Patents
中心給水式フランジ及び給水方式Info
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- JP2003225844A JP2003225844A JP2002025422A JP2002025422A JP2003225844A JP 2003225844 A JP2003225844 A JP 2003225844A JP 2002025422 A JP2002025422 A JP 2002025422A JP 2002025422 A JP2002025422 A JP 2002025422A JP 2003225844 A JP2003225844 A JP 2003225844A
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- Japan
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- cutting
- blade
- flange
- cutting fluid
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- Auxiliary Devices For Machine Tools (AREA)
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 例えば半導体ウエハのような電子部品又は光
学部品等を、回転するブレードによって切削する場合、
最適かつ必要量の切削液を供給するため。そして切削液
の位置や流量の調整を簡便にするため。 【解決手段】 例として図１に示す、ダイサー、スライ
サーと呼ばれる装置がある。図２示すように高速回転す
るブレ−ド１に切削液を供給する場合、フランジ２への
切削液流入口をその後背面３（又は前面も可）に複数個
の孔にて開口形成し、そこへ切削液を離れた所（ノズル
４）から吹き付けることによりフランジの流通経路５へ
と導かれる、導かれた切削液は回転するフランジの遠心
力で外周部の複数個の開口部６から放射状に噴出され、
そしてブレードの外周刃先部へと導かれる給水方式。そ
してノズル１３、１４の組み合わせによって切削水供給
の補助およびブレ−ド洗浄を行う注水方式。
学部品等を、回転するブレードによって切削する場合、
最適かつ必要量の切削液を供給するため。そして切削液
の位置や流量の調整を簡便にするため。 【解決手段】 例として図１に示す、ダイサー、スライ
サーと呼ばれる装置がある。図２示すように高速回転す
るブレ−ド１に切削液を供給する場合、フランジ２への
切削液流入口をその後背面３（又は前面も可）に複数個
の孔にて開口形成し、そこへ切削液を離れた所（ノズル
４）から吹き付けることによりフランジの流通経路５へ
と導かれる、導かれた切削液は回転するフランジの遠心
力で外周部の複数個の開口部６から放射状に噴出され、
そしてブレードの外周刃先部へと導かれる給水方式。そ
してノズル１３、１４の組み合わせによって切削水供給
の補助およびブレ−ド洗浄を行う注水方式。
Description
【０００１】
【発明が属する技術分野】本発明は回転するブレードに
よって被加工物を切削する際（又はバリ取り洗浄等）
に、切削液を供給する装置に関するものである。例えば
被加工物は半導体ウエハ等の電子部品または光学部品等
がある。
よって被加工物を切削する際（又はバリ取り洗浄等）
に、切削液を供給する装置に関するものである。例えば
被加工物は半導体ウエハ等の電子部品または光学部品等
がある。
【０００２】
【従来の技術】例として、ダイサー、スライサーと呼ば
れる装置があり、これは電子部品又は光学部品等を回転
するブレードによって、切削する装置として知られてい
る。通常回転するブレ−ドに切削液を供給する場合、例
えば図３（ａ）に示すノズル７のようにブレードの外周
８または切削点９へ噴射するのが一般的である。噴射ノ
ズルの位置、切削水の量は加工条件によりその都度調整
が必要となってくる。
れる装置があり、これは電子部品又は光学部品等を回転
するブレードによって、切削する装置として知られてい
る。通常回転するブレ−ドに切削液を供給する場合、例
えば図３（ａ）に示すノズル７のようにブレードの外周
８または切削点９へ噴射するのが一般的である。噴射ノ
ズルの位置、切削水の量は加工条件によりその都度調整
が必要となってくる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】図３（ｂ）に示すよう
に通常ノズル７から噴射された切削液はブレードの外周
８にあたってから切削点９へと導かれていくが、その大
部分は高速回転するブレードによって外周方向に、はじ
き飛ばされていく。昨今電子部品、光学部品の小型化に
ともない切削して切り出す加工物のサイズが小さくそし
て薄くなってきており、切り出す寸法が例えば１mm以下
になってくるとブレードの外周方向からはじき飛ばされ
てきた切削水が、切り出した後の小さなサイズとなった
被加工物にあたり飛散してしまう事がある。
に通常ノズル７から噴射された切削液はブレードの外周
８にあたってから切削点９へと導かれていくが、その大
部分は高速回転するブレードによって外周方向に、はじ
き飛ばされていく。昨今電子部品、光学部品の小型化に
ともない切削して切り出す加工物のサイズが小さくそし
て薄くなってきており、切り出す寸法が例えば１mm以下
になってくるとブレードの外周方向からはじき飛ばされ
てきた切削水が、切り出した後の小さなサイズとなった
被加工物にあたり飛散してしまう事がある。
【０００４】本発明は最低限必要な少量の切削液を確実
に切削点へと導いて、はじき飛ばされて被加工物に当た
る余分な切削液を少なくし、被加工物が飛散しないよう
にする事を目的とする。
に切削点へと導いて、はじき飛ばされて被加工物に当た
る余分な切削液を少なくし、被加工物が飛散しないよう
にする事を目的とする。
【０００５】電子部品、光学部品等の加工において高能
率、高精度にともない切削時にブレード外周そして切削
点に確実かつ最適に切削液を供給する必要があるが、通
常図３（ｂ）に示すようにノズル７から噴射された切削
液は被加工物とブレードの接触部分１５においてブレー
ドの刃先へは導き難く、高速回転するブレードの目詰り
や焼けの原因となり加工能率、精度に悪影響を及ぼす。
率、高精度にともない切削時にブレード外周そして切削
点に確実かつ最適に切削液を供給する必要があるが、通
常図３（ｂ）に示すようにノズル７から噴射された切削
液は被加工物とブレードの接触部分１５においてブレー
ドの刃先へは導き難く、高速回転するブレードの目詰り
や焼けの原因となり加工能率、精度に悪影響を及ぼす。
【０００６】中心給水の場合、通常はフランジが取り付
けられるスピンドル軸１２に切削液が供給できる構造が
必要となるが、中心給水フランジを使用する事により、
その供給構造を必要とする事なくどんなスピンドルにも
対応でき、中心給水が可能となる。また加工条件による
切削水の噴射位置、流量の調整がほとんど必要なく簡便
である。
けられるスピンドル軸１２に切削液が供給できる構造が
必要となるが、中心給水フランジを使用する事により、
その供給構造を必要とする事なくどんなスピンドルにも
対応でき、中心給水が可能となる。また加工条件による
切削水の噴射位置、流量の調整がほとんど必要なく簡便
である。
【０００７】
【課題を解決しようとする手段】本発明のフランジは前
記目的を達成するために、図１（ａ）に示すようにフラ
ンジ内に流通経路５を形成し、フランジ外周の孔よりフ
ランジの回転による遠心力で放射状にブレード外周の刃
先へと最適かつ必要量の切削液が導かれるものである。
詳細には図１（ｂ）に示すようにブレードと被加工物の
接触部分つまり切削部分の１５において、切削液が確実
にブレードの刃先へと導かれる。
記目的を達成するために、図１（ａ）に示すようにフラ
ンジ内に流通経路５を形成し、フランジ外周の孔よりフ
ランジの回転による遠心力で放射状にブレード外周の刃
先へと最適かつ必要量の切削液が導かれるものである。
詳細には図１（ｂ）に示すようにブレードと被加工物の
接触部分つまり切削部分の１５において、切削液が確実
にブレードの刃先へと導かれる。
【０００８】フランジへの切削水の供給はフランジ後背
面または前面に複数個の孔による開口部があり、通常毎
分１００００〜３００００で高速回転するフランジへ離
れたところから切削液を噴射し、非接触での供給を可能
としている。
面または前面に複数個の孔による開口部があり、通常毎
分１００００〜３００００で高速回転するフランジへ離
れたところから切削液を噴射し、非接触での供給を可能
としている。
【０００９】フランジ外周の孔から出る切削水とは別に
図１（ａ）に示すノズル１３を設け補助をし、またその
他にノズル１４を設けブレード洗浄の役割を果たす。
図１（ａ）に示すノズル１３を設け補助をし、またその
他にノズル１４を設けブレード洗浄の役割を果たす。
【００１０】
【発明実施の形態】フランジ内へ供給された切削液はフ
ランジ外周部からブレード外周部の刃先へと最適かつ必
要量の供給がされる。
ランジ外周部からブレード外周部の刃先へと最適かつ必
要量の供給がされる。
【００１１】切削液は図２に示すようにノズル４から噴
射され非接触でフランジ内に供給されるので中心給水方
式の変更も容易で、加工条件による切削液の位置、流量
の調整もほとんど必要としない。また図１（ａ）のノズ
ル１３、１４についても切削点９への供給方法ではない
のでフランジの交換時以外は位置の調整等は必要としな
い。
射され非接触でフランジ内に供給されるので中心給水方
式の変更も容易で、加工条件による切削液の位置、流量
の調整もほとんど必要としない。また図１（ａ）のノズ
ル１３、１４についても切削点９への供給方法ではない
のでフランジの交換時以外は位置の調整等は必要としな
い。
【００１２】
【実施例】次に本発明の実施例を図１（ａ）に示す切削
装置の概略図を参照しながら説明する。被加工物１０は
水平面内で回転するテーブル１１の上に保持され、その
テーブル１１が切削方向（図において左右方向）へ移動
すると共に高速回転するブレード１によって切削加工す
るようになっている。
装置の概略図を参照しながら説明する。被加工物１０は
水平面内で回転するテーブル１１の上に保持され、その
テーブル１１が切削方向（図において左右方向）へ移動
すると共に高速回転するブレード１によって切削加工す
るようになっている。
【００１３】次に側面から見ると、図２に示すように回
転ブレード１はフランジ２によってはさまれていて、そ
のフランジはナット等でスピンドル軸１２に固定され高
速回転する。
転ブレード１はフランジ２によってはさまれていて、そ
のフランジはナット等でスピンドル軸１２に固定され高
速回転する。
【００１４】切削液供給の手段の一例として、回転する
フランジの後部に設置されているノズル４からフランジ
後背面の複数個の孔からなる開口された部分３へ噴射さ
れ、フランジ内部の切削液供給路５へと導かれる。
フランジの後部に設置されているノズル４からフランジ
後背面の複数個の孔からなる開口された部分３へ噴射さ
れ、フランジ内部の切削液供給路５へと導かれる。
【００１５】フランジ内部へ導かれた切削液は、フラン
ジの回転により生じる遠心力で外周部の複数個の開口部
６から放射状に噴出される。そして図１（ａ）に示すよ
うに確実にブレードの刃先１へ切削液が導かれる。
ジの回転により生じる遠心力で外周部の複数個の開口部
６から放射状に噴出される。そして図１（ａ）に示すよ
うに確実にブレードの刃先１へ切削液が導かれる。
【００１６】本発明は切削液の供給量が少量でも確実に
ブレードの刃先へ、そして切削点へと導かれる事が可能
となり、ブレードの遠心力で余分な切削液が飛ばされ、
切断された被加工物１０へ当たり、飛散することを防ぐ
役割をはたす。
ブレードの刃先へ、そして切削点へと導かれる事が可能
となり、ブレードの遠心力で余分な切削液が飛ばされ、
切断された被加工物１０へ当たり、飛散することを防ぐ
役割をはたす。
【００１７】またフランジ内部への切削液供給方法につ
いては、例えばフランジ後方のノズル４からの噴射によ
る非接触のものなので、スピンドル軸の改造等は必要な
く簡便に中心給水方式を行う事ができる。
いては、例えばフランジ後方のノズル４からの噴射によ
る非接触のものなので、スピンドル軸の改造等は必要な
く簡便に中心給水方式を行う事ができる。
【００１８】通常は図３（ａ）のような注水方式でノズ
ル７のようなフランジ外周方向からの噴射では加工条件
が変わるたびに調整が必要となる。この方式であれば最
初の調整だけでその後の調整はほとんど必要なく、簡便
である。
ル７のようなフランジ外周方向からの噴射では加工条件
が変わるたびに調整が必要となる。この方式であれば最
初の調整だけでその後の調整はほとんど必要なく、簡便
である。
【００１９】図１（ａ）においてノズル１３につては切
削液の供給を切削点９へ噴射するのではなく、ブレード
回転の反対方向約９０度の位置に設置してブレード外周
へ噴射し、ブレード回転の遠心力で切削点へ導かれる。
またノズル１３については切削点からブレード回転方向
約９０度の位置に設けブレード洗浄を行う。
削液の供給を切削点９へ噴射するのではなく、ブレード
回転の反対方向約９０度の位置に設置してブレード外周
へ噴射し、ブレード回転の遠心力で切削点へ導かれる。
またノズル１３については切削点からブレード回転方向
約９０度の位置に設けブレード洗浄を行う。
【００２０】
【発明の効果】本発明はブレードを保持するフランジ内
に切削液の流通経路を設けフランジ外周からブレードの
外周部の刃先へと最適かつ確実に切削液を供給し、高能
率、高精度に被加工物を切削する事ができる。また必要
な最適量の切削液で済むので、切り出された被加工物へ
余分な切削液がかかるのを防ぎ被加工物の飛散をなく
す。またノズル１３、１４による組み合わせで切削液供
給の補助及びブレードの洗浄を行う。
に切削液の流通経路を設けフランジ外周からブレードの
外周部の刃先へと最適かつ確実に切削液を供給し、高能
率、高精度に被加工物を切削する事ができる。また必要
な最適量の切削液で済むので、切り出された被加工物へ
余分な切削液がかかるのを防ぎ被加工物の飛散をなく
す。またノズル１３、１４による組み合わせで切削液供
給の補助及びブレードの洗浄を行う。
【００２１】ノズル７のような加工条件による切削液の
位置、流量の調整はほとんど必要としない。またノズル
１３，１４についてもフランジの交換時以外はノズル位
置の調整は必要なく簡便である。
位置、流量の調整はほとんど必要としない。またノズル
１３，１４についてもフランジの交換時以外はノズル位
置の調整は必要なく簡便である。
【００２２】またノズル４から、回転するフランジの後
背面（または前面）へ切削液を噴射する非接触の供給方
式であればスピンドル軸等の改造をする必要などなく、
ノズル４の付加だけで簡単に中心給水方式が可能であ
る。
背面（または前面）へ切削液を噴射する非接触の供給方
式であればスピンドル軸等の改造をする必要などなく、
ノズル４の付加だけで簡単に中心給水方式が可能であ
る。
【図１】（ａ）は本発明による実施例の切削装置を略示
した平面図、（ｂ）はその切削点付近を拡大した図であ
る
した平面図、（ｂ）はその切削点付近を拡大した図であ
る
【図２】図1の側面図であり切削液の流通経路を示した
ものである
ものである
【図３】（ａ）は従来の切削液注水方法を示したもの、
（ｂ）はその切削点付近を拡大した図である
（ｂ）はその切削点付近を拡大した図である
１ ブレード
２ 中心給水フランジ
３ 切削水流入口（フランジ後背面）
４ ノズル
５ フランジ内切削水流通経路
６ フランジ外周部切削水噴射口
７ ノズル
８ ブレード外周部
９ 切削点
１０ 被加工物
１１ テーブル
１２ スピンドル軸
１３ ノズル（切削水供給用）
１４ ノズル（ブレード洗浄用）
１５ 切削部分（ブレードと被加工物の接触部分）
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考）
Ｈ０１Ｌ 21/301 Ｈ０１Ｌ 21/78 Ｆ
Claims (3)
- 【請求項１】加工物を切削する際に高速回転するブレー
ド（砥石、メタルソー等の加工工具及びバリ取り洗浄用
ブラシ等も含む）を保持するフランジで、その後背面又
は前面に複数の孔部からなる切削液（ガスを含む）の流
入口があり、内部に流通経路を形成し、外周部の噴き出
し口に連通させたもの。 - 【請求項２】前記高速回転するフランジへの切削液流入
口をその後背面又は前面に複数個の孔にて開口形成し、
そこへ切削液（ガスを含む）を離れた所から噴射する事
により非接触で供給を可能とする方法。 - 【請求項３】図１（ａ）に示すように請求項１のフラン
ジを使用してその遠心力でフランジ外周部からブレード
の刃先へと向かう切削水の他に、切削水用ノズル１３と
ブレード洗浄用ノズル１４を組み合わせた注水方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002025422A JP2003225844A (ja) | 2002-02-01 | 2002-02-01 | 中心給水式フランジ及び給水方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002025422A JP2003225844A (ja) | 2002-02-01 | 2002-02-01 | 中心給水式フランジ及び給水方式 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003225844A true JP2003225844A (ja) | 2003-08-12 |
Family
ID=27747581
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002025422A Pending JP2003225844A (ja) | 2002-02-01 | 2002-02-01 | 中心給水式フランジ及び給水方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003225844A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102848479A (zh) * | 2011-06-28 | 2013-01-02 | 常州远量机器人技术有限公司 | 一种组合式的精密钻孔设备 |
| TWI419759B (ja) * | 2009-02-26 | 2013-12-21 | ||
| KR20160024754A (ko) | 2014-08-26 | 2016-03-07 | 가부시기가이샤 디스코 | 플랜지 기구 및 절삭 장치 |
| JP2016068165A (ja) * | 2014-09-26 | 2016-05-09 | 株式会社ディスコ | 切削液供給機構 |
| WO2024140373A1 (zh) * | 2022-12-30 | 2024-07-04 | 桂林磨院材料科技有限公司 | 半导体划片刀复合功能压板 |
-
2002
- 2002-02-01 JP JP2002025422A patent/JP2003225844A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI419759B (ja) * | 2009-02-26 | 2013-12-21 | ||
| CN102848479A (zh) * | 2011-06-28 | 2013-01-02 | 常州远量机器人技术有限公司 | 一种组合式的精密钻孔设备 |
| CN102848479B (zh) * | 2011-06-28 | 2015-06-10 | 常州远量机器人技术有限公司 | 一种组合式的精密钻孔设备 |
| KR20160024754A (ko) | 2014-08-26 | 2016-03-07 | 가부시기가이샤 디스코 | 플랜지 기구 및 절삭 장치 |
| US10071433B2 (en) | 2014-08-26 | 2018-09-11 | Disco Corporation | Flange mechanism and cutting apparatus |
| JP2016068165A (ja) * | 2014-09-26 | 2016-05-09 | 株式会社ディスコ | 切削液供給機構 |
| WO2024140373A1 (zh) * | 2022-12-30 | 2024-07-04 | 桂林磨院材料科技有限公司 | 半导体划片刀复合功能压板 |
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