JP5885083B2 - ダイシング装置 - Google Patents
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- 239000002173 cutting fluid Substances 0.000 claims description 57
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 57
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 55
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 50
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 26
- 238000003754 machining Methods 0.000 claims description 20
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 15
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 15
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 13
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 7
- 230000001154 acute effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 42
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 16
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 10
- 239000003595 mist Substances 0.000 description 9
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 4
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 2
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000005461 lubrication Methods 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
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- Dicing (AREA)
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
(付記)
上記に詳述した実施形態についての記載から把握されるとおり、本明細書では以下に示す発明を含む多様な技術思想の開示を含んでいる。
Claims (9)
- 円盤状のブレードと、
前記ブレードを回転させるスピンドルと、
前記スピンドルに設けられ、前記ブレードを覆うカバーと、
前記ブレードにより切削加工されるワークを保持するワークテーブルと、
前記ワークテーブルと前記ブレードとを相対的に移動させる移動軸と、
前記ワークと前記ブレードとが接触する加工点付近へ切削液を噴射する切削水ノズルと、
前記ブレードの前記加工点における回転方向に対向した方向に導入口を向けて該ブレードの近傍に配置され、流体を噴出口に向けて噴射することにより加工後の切削液を前記導入口より吸引するノズルを複数備えた吸引手段と、を備え、
前記ブレードの回転方向の上流側に位置する前記ノズルは下流側に位置する前記ノズルよりも加工後の切削水の流量が多くなるように形成されていることを特徴とするダイシング装置。 - 円盤状のブレードと、
前記ブレードを回転させるスピンドルと、
前記スピンドルに設けられ、前記ブレードを覆うカバーと、
前記ブレードにより切削加工されるワークを保持するワークテーブルと、
前記ワークテーブルと前記ブレードとを相対的に移動させる移動軸と、
前記ワークと前記ブレードとが接触する加工点付近へ切削液を噴射する切削水ノズルと、
前記ブレードの前記加工点における回転方向に対向した方向に導入口を向けて該ブレードの近傍に配置され、流体を噴出口に向けて噴射することにより加工後の切削液を前記導入口より吸引するノズルを複数備えた吸引手段と、を備え、
前記ブレードの回転方向の上流側に位置する前記ノズルは下流側に位置する前記ノズルよりも導入口から噴出口までの流路の径が大きいことを特徴とするダイシング装置。 - 円盤状のブレードと、
前記ブレードを回転させるスピンドルと、
前記スピンドルに設けられ、前記ブレードを覆うカバーと、
前記ブレードにより切削加工されるワークを保持するワークテーブルと、
前記ワークテーブルと前記ブレードとを相対的に移動させる移動軸と、
前記ワークと前記ブレードとが接触する加工点付近へ切削液を噴射する切削水ノズルと、
前記ブレードの前記加工点における回転方向に対向した方向に導入口を向けて該ブレードの近傍に配置され、流体を噴出口に向けて噴射することにより加工後の切削液を前記導入口より吸引するノズルを複数備えた吸引手段と、を備え、
前記ブレードの回転方向の下流側に位置する前記ノズルは上流側に位置する前記ノズルよりも吸引力が高くなるように、
前記ブレードの回転方向の下流側に位置する前記ノズルの内部に向けて流体を噴出する噴射口を備え、
前記ブレードの回転方向の上流側に位置する前記ノズルの内部に向けて流体を噴出する噴射口を備え、
それぞれの噴射口の噴出角度を前記ノズルの流体の導入口から噴出口までの流路に対する角度としたときに、
前記ブレードの回転方向の下流側に位置する前記ノズルの内部に向けて流体を噴出しうる噴射口の噴射角度が、
前記ブレードの回転方向の上流側に位置する前記ノズルの内部に向けて流体を噴出しうる噴射口の噴射角度よりも鋭角であることを特徴とするダイシング装置。 - 円盤状のブレードと、
前記ブレードを回転させるスピンドルと、
前記スピンドルに設けられ、前記ブレードを覆うカバーと、
前記ブレードにより切削加工されるワークを保持するワークテーブルと、
前記ワークテーブルと前記ブレードとを相対的に移動させる移動軸と、
前記ワークと前記ブレードとが接触する加工点付近へ切削液を噴射する切削水ノズルと、
前記ブレードの前記加工点における回転方向に対向した方向に導入口を向けて該ブレードの近傍に配置され、流体を噴出口に向けて噴射することにより加工後の切削液を前記導入口より吸引するノズルを複数備えた吸引手段と、を備え、
前記ノズルの噴出口側には、前記噴出口から噴出された加工後の前記切削液を所定の方向へ流す案内部材が設けられていることを特徴とするダイシング装置。 - 前記案内部材は前記噴出口に向かって開口した吸引口を一端に備え前記吸引口から排出口に向って拡張するように内部が傾斜した筒状部材、または前記ワークテーブルと前記ノズルの噴出口の間に位置する隔壁であることを特徴とする請求項4に記載のダイシング装置。
- 前記ブレードの回転方向と同方向に向かう傾斜面が形成されたブロックが前記吸引手段下部に設けられていることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載のダイシング装置。
- 下方に向って流体を帯状または扇状に噴射する噴射口が形成されたブロックが前記吸引手段下部に設けられていることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載のダイシング装置。
- 前記カバーには、前記ブレードの回転面の両側に前記ブレードの回転面に向うように前記加工点付近へ帯状または扇状に流体を噴射する吸引補助ノズルが備えられていることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載のダイシング装置。
- 前記カバーには、該ブレードの厚みよりも広いスリットが形成された分離ブロックが、前記スリット内を該ブレードが通過するように且つ複数設けられた前記ノズルの中間に位置するように設けられていることを特徴とする請求項2及び6から8のいずれか1項に記載のダイシング装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013271970A JP5885083B2 (ja) | 2007-09-25 | 2013-12-27 | ダイシング装置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007246870 | 2007-09-25 | ||
JP2007246870 | 2007-09-25 | ||
JP2013271970A JP5885083B2 (ja) | 2007-09-25 | 2013-12-27 | ダイシング装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008122378A Division JP5446027B2 (ja) | 2007-09-25 | 2008-05-08 | ダイシング装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016026056A Division JP6094696B2 (ja) | 2007-09-25 | 2016-02-15 | ダイシング装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014112693A JP2014112693A (ja) | 2014-06-19 |
JP5885083B2 true JP5885083B2 (ja) | 2016-03-15 |
Family
ID=40702610
Family Applications (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008122378A Active JP5446027B2 (ja) | 2007-09-25 | 2008-05-08 | ダイシング装置 |
JP2013271970A Active JP5885083B2 (ja) | 2007-09-25 | 2013-12-27 | ダイシング装置 |
JP2016026056A Active JP6094696B2 (ja) | 2007-09-25 | 2016-02-15 | ダイシング装置 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008122378A Active JP5446027B2 (ja) | 2007-09-25 | 2008-05-08 | ダイシング装置 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016026056A Active JP6094696B2 (ja) | 2007-09-25 | 2016-02-15 | ダイシング装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (3) | JP5446027B2 (ja) |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5446027B2 (ja) * | 2007-09-25 | 2014-03-19 | 株式会社東京精密 | ダイシング装置 |
JP5365343B2 (ja) * | 2009-05-22 | 2013-12-11 | 株式会社ジェイテクト | 研削装置 |
JP5415184B2 (ja) * | 2009-08-21 | 2014-02-12 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP5600266B2 (ja) * | 2010-04-08 | 2014-10-01 | 創研工業株式会社 | 研磨ベルトの表面クリーニング機構、ベルト研磨装置における研磨ベルトの表面クリーニング方法および物品のベルト研磨方法における研磨ベルトの表面クリーニング方法 |
JP5528245B2 (ja) * | 2010-07-26 | 2014-06-25 | 株式会社ディスコ | 切削方法 |
JP5680955B2 (ja) * | 2010-12-27 | 2015-03-04 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
JP5615735B2 (ja) * | 2011-02-24 | 2014-10-29 | Ntn株式会社 | 工作機械 |
JP6101140B2 (ja) * | 2013-04-18 | 2017-03-22 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP2015020237A (ja) | 2013-07-18 | 2015-02-02 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP6108999B2 (ja) * | 2013-07-18 | 2017-04-05 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP6069122B2 (ja) * | 2013-07-22 | 2017-02-01 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP6255238B2 (ja) * | 2013-12-27 | 2017-12-27 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP6206205B2 (ja) * | 2014-01-21 | 2017-10-04 | 株式会社東京精密 | 切削装置 |
JP6267977B2 (ja) * | 2014-01-30 | 2018-01-24 | 株式会社ディスコ | 切削方法 |
JP2016120569A (ja) * | 2014-12-25 | 2016-07-07 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
JP6746208B2 (ja) * | 2016-07-14 | 2020-08-26 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP6887722B2 (ja) * | 2016-10-25 | 2021-06-16 | 株式会社ディスコ | ウェーハの加工方法及び切削装置 |
JP6489453B2 (ja) * | 2017-09-07 | 2019-03-27 | 株式会社東京精密 | 液体カーテン形成装置 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10308366A (ja) * | 1997-05-07 | 1998-11-17 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置の排気ダクト及び該排気ダクトを備えたダイシング装置 |
JPH11320406A (ja) * | 1998-05-06 | 1999-11-24 | Speedfam-Ipec Co Ltd | 研磨装置における排液・排気の処理方法及び装置 |
JP4880244B2 (ja) * | 2005-04-05 | 2012-02-22 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP4880267B2 (ja) * | 2005-09-05 | 2012-02-22 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP4943688B2 (ja) * | 2005-10-21 | 2012-05-30 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP5446027B2 (ja) * | 2007-09-25 | 2014-03-19 | 株式会社東京精密 | ダイシング装置 |
-
2008
- 2008-05-08 JP JP2008122378A patent/JP5446027B2/ja active Active
-
2013
- 2013-12-27 JP JP2013271970A patent/JP5885083B2/ja active Active
-
2016
- 2016-02-15 JP JP2016026056A patent/JP6094696B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016122854A (ja) | 2016-07-07 |
JP2014112693A (ja) | 2014-06-19 |
JP2009099940A (ja) | 2009-05-07 |
JP6094696B2 (ja) | 2017-03-15 |
JP5446027B2 (ja) | 2014-03-19 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150119 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Request for written amendment filed |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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