JP4786949B2 - 切削装置 - Google Patents
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Description
まず,図1に基づいて,本発明の第1の実施形態に係る切削装置の一例であるダイシング装置10の全体構成について説明する。なお,図1は,本実施形態に係るダイシング装置10を示す全体斜視図である。
12 被加工物
15 チャックテーブル
20 切削ユニット
22 切削ブレード
26 切削ブレードカバー
28 切削液供給ノズル
30 切削液供給部材
32 基体部
33 溝部
34 噴射口
36 切削液供給経路
Claims (2)
- 被加工物を切削する切削ブレードと,前記切削ブレードの外周を覆う切削ブレードカバーと,前記切削ブレードカバーの加工点における前記切削ブレードの回転方向に対して反対側に設けられ,切削液を被加工物の加工点に供給する切削液供給部材と,を備える切削装置において:
前記切削液供給部材は,前記切削ブレードの外周を囲むように形成された溝部内に切削液を供給し,前記溝部に供給された切削液が,前記切削ブレードの回転力によって前記溝部から前記加工点を含む範囲に向けて排出されるように,前記溝部が形成されており,
前記溝部は,前記切削ブレードの径よりも大きな同心円の円弧状に形成される第1溝部と,前記第1溝部の前記切削ブレードの回転方向側に連続して形成される第2溝部とからなり,
前記第2溝部は,前記第2溝部から排出された切削液が前記加工点を含む範囲に向けて供給されるように,前記第1溝部とは異なる中心を有する円弧状に形成されることを特徴とする,切削装置。 - 前記溝部には,前記切削ブレードの外周の両側面に対して切削液を噴射する複数の噴射口が形成され,
前記複数の噴射口は,前記加工点に近い前記噴射口ほど切削液の噴射量が多くなるように配設されていることを特徴とする,請求項1に記載の切削装置。
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