JP6032466B2 - ダイシング装置 - Google Patents

Description

本発明はダイシング装置に係り、特にブレード突き出し量の大きいハブレスブレードを使用するダイシング装置に関する。

半導体装置や電子部品が形成されたウェーハ等のワークに対して切断や溝入れ等の切削加工を施すダイシング装置は、スピンドルに装着されて高速で回転するブレード（回転歯）を備えており、ワークテーブル上のワークに回転するブレードの周端部を接触させることによってワークの切削加工を行っている。

また、スピンドルには、ブレードを覆うフランジカバーが取り付けられており、そのフランジカバーには、切削水をブレードに噴射する切削水ノズルや、冷却水をブレード及びワークとの加工点に噴射する１対の冷却水ノズルが取り付けられている。それら１対の冷却水ノズルはブレードの両面側にブレードを挟むようにして配置されており、ブレードの両面側から冷却水が供給されるようになっている。

このようなダイシング装置に使用されるブレードには、ハブが一体となって支持部を備えたハブ型のもの（ハブブレード）と（例えば特許文献１参照）、ハブのような支持部を備えないハブレス型のもの（ハブレスブレード）とが知られており（例えば特許文献２参照）、これらのブレードは、いずれもスピンドルの回転軸に固定される円環状の固定部材（フランジやナット）の間に狭持されてスピンドルの回転軸に固定されるようになっている。

特開２００２−３４３７４６号公報 特開２０１０−５８８号公報

ところで、ハブレスブレードは、一般に、スピンドルの回転軸に固定部材により固定したときの固定部材から径方向への突き出し量が大きい。ブレードの突き出し量が大きい状態で切断を行うと、被切削物が強固であったり、タクト向上のために加工速度を上げようとすると、ブレードの剛性不足により、ブレードに振れや変形が生じてブレードがワーク上を蛇行し、結果としてカットラインが蛇行したり、最悪の場合にはブレード破損に至る等の現象が発生する。

このような現象を防止するために、現状ではブレードを両側から挟み、且つ、ブレードの回転軸への固定部材よりも外径の大きい円盤状のサポート部材を使用する場合がある。しかしながら、サポート部材を追加すると、アンバランスによる振動が増加し、加工品質に影響が生じる可能性が高くなる。また、ブレードの摩耗による小径化に備えて、複数サイズのサポート部材を準備する必要があり、コストの増加を招くという問題もある。更に、サポート部材の取付作業や調整に手間を要するという問題もある。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、ハブレスブレードのようにスピンドルへの固定部材からの径方向の突き出し量が多い場合であっても、手間を要することなく、ブレードの振れや変形を好適に抑止してワークに対するブレードの蛇行を防止することができるダイシング装置を提供することを目的とする。

前記目的を達成するため、本発明に係るダイシング装置は、スピンドルによって回転するブレードによりワークを切削するダイシング装置において、前記ブレードと前記ワークとが接触する加工点近傍に配置され、ブレードの蛇行を防止する蛇行防止手段を備え、前記蛇行防止手段は、前記ブレードの周方向に沿って前記ブレードの両面側に隙間部を形成する隙間形成面と、流体が供給される管路と、前記管路に連通して前記隙間形成面に形成され、前記流体を前記隙間部に供給する供給口と、を備えたことを特徴としている。

本発明によれば、蛇行防止手段の隙間形成面によりブレードの両面側に隙間部が形成され、その隙間部に流体ブレードサポートノズルの管路を介して供給口から吐出された流体が供給される。そして、ブレードの回転によってブレードの加工点近傍に対して流体潤滑による動圧が発生し、ブレードの振れや変形が抑止され、ワークに対するブレードの蛇行が防止される。

本発明では、前記隙間形成面は、回転する前記ブレードの上流側の方が下流側よりも前記隙間部の幅が広くなるように形成されている形態とすることができる。これによれば、回転するブレードの隙間部への入口側と出口側での流速に差が生じブレードに好適に動圧を与えることができる。

本発明では、前記供給口は、前記ブレードの周方向に沿った円弧状のスリットである形態とすることができる。これによれば、ブレードの周方向に沿った隙間部に流体が好適に供給される。

本発明では、前記蛇行防止手段は、１つの基端部から二股状に延設される１対のノズル部を有し、該１対のノズル部の中央に前記ブレードを挟むようにして配置される形態とすることができる。本形態はブレードの両面側に隙間部を形成するための蛇行防止手段の一形態を示す。

本発明では、前記流体は前記ブレードを冷却するための冷却水である形態とすることができる。本形態は冷却水供給用のノズルとして蛇行防止手段を兼用する態様を示す。これによれば、ダイシング装置が備える構成要素の増加を招くことなくブレードの蛇行を防止するための蛇行防止手段を設置することができ、装置の大型化やコストの増加を防止することができる。

本発明によれば、ハブレスブレードのようにスピンドルへの固定部材からの径方向の突き出し量が多い場合であっても、手間を要することなく、ブレードの振れや変形を好適に抑止してワークに対するブレードの蛇行を防止することができる。

本発明が適用されるダイシング装置の外観斜視図 本発明が適用されるダイシング装置の加工部の構造を説明する斜視図 加工部の正面側からみて右側のブレード周辺部を正面側の斜め左方向から示した斜視図 ブレードの回転軸を含む鉛直面でブレード周辺部を切断してブレード周辺部の構造を示した断面図 図４における冷却水供給部を拡大して示した断面図 冷却水供給部の斜視図 ブレード及び冷却水供給部の３面図（正面図、平面図、右側面図） 冷却水供給部を中央で切断して一方のノズル部のみを示した斜視図 ブレードとノズル部の吐出面とをブレードの周縁部に沿って円弧状に湾曲する面で切断した切断面

以下、添付図面に従って本発明の好ましい実施の形態について詳説する。

図１はダイシング装置の外観を示す斜視図である。

ダイシング装置１は、先端にブレード（回転刃）１０、１２が取り付けられた高周波モータ内蔵型のスピンドル１４、１６と、ワークＷを吸着保持するワークテーブル１８とを有する加工部２と、加工済みのワークＷをスピン洗浄する洗浄部４と、多数枚のワークＷを収納したカセットを載置するロードポート６と、ワークＷを搬送する搬送手段８等とから構成されている。

加工部２は、図２に示すように構成されており、Ｘベース３６に設けられたＸガイド３４、３４でガイドされ、リニアモータ３５によって図のＸ−Ｘで示すＸ方向に駆動されるＸテーブル３３があり、Ｘテーブル３３にはθ方向に回転する回転テーブル３２を介してワークテーブル１８が設けられている。

一方、Ｙベース４４の側面には、Ｙガイド４２、４２でガイドされ、図示しないステッピングモータとボールスクリューによって図のＹ−Ｙで示すＹ方向に駆動されるＹテーブル４１、４１があり、Ｙテーブル４１、４１には夫々図示しない駆動手段によってＺ方向に駆動されるＺテーブル４３、４３が設けられている。Ｚテーブル４３、４３の各々には高周波モータ内蔵型のスピンドル１４、１６が対向した状態で固定され、スピンドル１４、１６の各々の先端（回転軸）にブレード１０、１２が取り付けられ、それらのブレード１０、１２が対向配置されている。

加工部２の構造は以上のようになっているので、ブレード１０、１２はＹ方向にインデックス送りされると共にＺ方向に切込み送りされ、ワークテーブル１８はＸ方向に切削送りされる。

次に、図２に示した加工部２におけるブレード１０の周辺部の構造について説明する。なお、ブレード１０の周辺部とブレード１２の周辺部とは同一又は類似の構成を有するためブレード１２の周辺部の構造については説明を省略する。

図３は、加工部２を正面側からみて右側に配置されるブレード１０の周辺部（ブレード周辺部５０）を正面側の斜め左方向から示した斜視図であり、図４は、ブレード１０の回転軸を含む鉛直面でブレード周辺部５０を切断してブレード周辺部５０の構造を示した断面図である。なお、以下のブレード周辺部５０の説明において、ブレード１０の回転軸の方向（後述のスピンドル１４の回転軸１４Ｂの軸方向）、即ち、Ｙ方向を前後方向とし、ブレード周辺部５０の各構成部の位置においてスピンドル１４が配置される側を後側、その反対側（スピンドル１６が配置される側）を前側とする。

これらの図に示すように、ブレード周辺部５０は、ブレード１０を回転させるためのスピンドル１４と、スピンドル１４にブレード１０を取り付けるためのブレード装着部６０と、ブレード１０を覆うフランジカバー６４等から構成されている。

スピンドル１４は、不図示のモータ（高周波モータ）を内蔵したスピンドル本体１４Ａと、回動可能に軸支されてスピンドル本体１４Ａの先端から突出配備された回転軸１４Ｂとを備えており、その回転軸１４Ｂがスピンドル本体１４Ａ内のモータによって回転するようになっている。回転軸１４Ｂの外周面は先細のテーパ状に形成されている。

ブレード装着部６０は、環状のハブレス型のブレード１０をスピンドル１４の回転軸１４Ｂに固定するための構成部であり、図４に示すようにブレード装着部６０は、スピンドル１４の回転軸１４Ｂに取り付けられる後フランジ７０と、後フランジ７０を回転軸１４Ｂに固定する後フランジ固定用ネジ７２と、ブレード１０を後フランジ７０との間で狭持する前フランジ７４と、前フランジ７４を固定する前フランジ固定用ナット７６から構成されている。

後フランジ７０は、中央の円筒部７０Ａにテーパ状の内周面を有する嵌合孔７０Ｃを有しており、その嵌合孔７０Ｃをスピンドル１４の回転軸１４Ｂに嵌合させ、後フランジ固定用ネジ７２を回転軸１４Ｂの先端のネジ孔１４Ｃに螺合することによって、後フランジ７０がスピンドル１４の回転軸１４Ｂに取り付けられている。

後フランジ７０の円筒部７０Ａの外周側には、環状に形成されたブレード１０が嵌挿されており、後フランジ７０の円環状の背面部７０Ｂにブレード１０が対向配置されている。

ブレード１０の前側には、環状に形成された前フランジ７４が後フランジ７０の円筒部７０Ａの外周部に嵌挿されて配置されており、ブレード１０に対向配置されている。

前フランジ７４の前側には、後フランジ７０の円筒部７０Ａに螺合された環状の前フランジ固定用ナット７６が当接配置されている。

従って、前フランジ固定用ナット７６を締め込むことによって、前フランジ７４が後フランジ７０に固定されると共に、ブレード１０が前フランジ７４と後フランジ７０の背面部７０Ｂとの間に狭持されて固持されるようになっている。これにより、スピンドル１４の回転軸１４Ｂが回転すると、ブレード１０が回転軸１４Ｂと共にその中心軸周りに回転する。

フランジカバー６４は、スピンドル１４のスピンドル本体１４Ａに固定されており、ブレード１０がワークＷと接触する加工点（ブレード１０の下側）及びブレード装着部６０の前面側を除いたブレード１０の外周部を覆うようにして配置されている。本実施の形態のフランジカバー６４は、図３の如くスピンドル本体１４Ａに固定された後部カバー６４Ａと、後部カバー６４Ａの前側に取り付けられる前部カバー６４Ｂとから構成されている。ただし、それらは一体形成されているものであっても良いし、複数の部材のどのような組み合わせで構成されているものであっても良く、以下、後部カバー６４Ａ及び前部カバー６４Ｂのいずれもフランジカバー６４の一部分として図４の断面図の如くそれらを区別せずに説明する。

このフランジカバー６４には、図３に示すように切削水供給部８０と冷却水供給部（蛇行防止手段）８２とが取り付けられている。切削水供給部８０は、不図示の冷却水・切削水供給装置と供給チューブ８０Ａにより接続されると共に、供給チューブ８０Ａの管路と連通した不図示の切削水ノズルを有しており、切削水供給装置から供給チューブ８０Ａを介して供給された切削水が切削水ノズルからブレード１０に向けて噴出されるようになっている。なお、ブレード１０の回転方向は図３の矢印Ａ方向であり、加工点に対してブレード１０の回転方向上流側となる位置から切削水が吹き付けられるようになっている。

冷却水供給部８２は、ブレード１０やワークＷを冷却するための冷却水を供給する冷却水ノズルとしての作用の他に、ブレード１０の振れや変形を抑止してワークＷに対するブレード１０の蛇行を防止する蛇行防止手段（流体ブレードサポートノズル）としての作用も有しており、図３に示すようにブレード１０の下側の加工点の近傍に配置されている。この冷却水供給部８２は、ブレード１０の回転方向上流側に配置された基端部８４と、基端部８４から二股状に別れてブレード１０を挟むようにしてブレード１０の前面側と後面側の両側に延設された１対のノズル部８６Ａ、８６Ｂを備えている。

基端部８４には、流体供給配管８８Ａ、８８Ｂが接続され、各ノズル部８６Ａ、８６Ｂの先端には、流体供給配管９０Ａ、９０Ｂが接続されており、各流体供給配管８８Ａ、８８Ｂ、９０Ａ、９０Ｂの他端は、不図示の冷却水・洗浄水供給装置に接続されている。

図４の冷却水供給部８２の部分を拡大した図５に示すように、各ノズル部８６Ａ、８６Ｂの内部には基端側から先端側まで連通する管路９２Ａ、９２Ｂが形成されており、各管路９２Ａ、９２Ｂの基端側には、流体供給配管８８Ａ、８８Ｂ（図３参照）の各々の管路が基端部８４内の管路（不図示）を通じて連通され、各管路９２Ａ、９２Ｂの先端側には、流体供給配管９０Ａ、９０Ｂ（図３参照）の各々の管路が連通されている。

従って、冷却水・洗浄水供給装置から各流体供給配管８８Ａ、８８Ｂ、９０Ａ、９０Ｂを介して供給された冷却水が、各ノズル部８６Ａ、８６Ｂ内の管路９２Ａ、９２Ｂに両端側から供給されるようになっている。

また、図５に示すように各ノズル部８６Ａ、８６Ｂの各々には、内部の管路９２Ａ、９２Ｂから外部空間まで連通するスリット９４Ａ、９４Ｂがブレード１０に向けて形成されており、各管路９２Ａ、９２Ｂに供給された冷却水が、各スリット９４Ａ、９４Ｂからブレード１０に向けて吐出され、ブレード１０の前面１０Ａとノズル部８６Ａの吐出面９６Ａとの間の隙間部９８Ａと、ブレード１０の後面１０Ｂとノズル部８６Ｂの吐出面９６Ｂとの間の隙間部９８Ｂに冷却水が供給されるようになっている。

なお、冷却水供給部８２は、図３のようにフランジカバー６４に固着された昇降装置１００にアーム１０２を介して支持されて昇降装置１００によって手動又は電動で上下方向に昇降移動するようになっており、冷却水供給部８２の上下方向の位置を調整することができるようになっている。

以下、冷却水供給部８２の構成、作用について詳説する。

図６は、ブレード周辺部５０の冷却水供給部８２を抽出して示した斜視図であり、図７は、ブレード１０及び冷却水供給部８２の３面図（正面図、平面図、右側面図）である。

これらの図、及び図５に示すように冷却水供給部８２の基端部８４から１対のノズル部８６Ａ、８６Ｂが延設され、それらのノズル部８６Ａ、８６Ｂの各々は、ブレード１０との間に隙間を形成し、かつ、冷却水を供給する隙間形成面として吐出面９６Ａ、９６Ｂ（主に図５参照）を有し、それらの吐出面９６Ａ、９６Ｂが、ブレード１０の周縁部の周方向に沿ってブレード１０の前面１０Ａ及び後面１０Ｂの各々に対向して近接して配置されている。これによって、ブレード１０の前面１０Ａと吐出面９６Ａとの間、及び、ブレード１０の後面１０Ｂと吐出面９６Ｂとの間の各々に微小な空間幅の隙間部９８Ａ、９８Ｂが形成されるようになっている。

吐出面９６Ａ、９６Ｂの各々には、冷却水をブレード１０に向けて吐出する流体吐出部（流体の供給口）として、上記のスリット９４Ａ、９４Ｂ（図５参照）が形成されており、図７の正面図における黒塗り部分で示すようにブレード１０の周縁部において周方向に沿うようにして円弧状に形成されている。

図８には、冷却水供給部８２の中央部をブレード１０の回転軸に直交する平面で切断して一方のノズル部８６Ａのみの吐出面９６Ａが示されており、同図のように吐出面９６Ａにおいて、スリット９４Ａが円弧状に形成されている。

そして、各ノズル部８６Ａ、８６Ｂのスリット９４Ａ、９４Ｂから吐出された冷却水により、隙間部９８Ａ、９８Ｂの各々に冷却水が供給され、流体膜が形成されるようになっている。なお、図７の符号８１はブレード１０の回転方向上流側に切削水を吐出する切削水ノズルである。

これによれば、切削の際のブレード１０の回転時（高速回転時）には、各ノズル部８６Ａ、８６Ｂのスリット９４Ａ、９４Ｂから隙間部９８Ａ、９８Ｂに供給された冷却水、及び、切削水ノズル８１から供給されて隙間部９８Ａ、９８Ｂに流れ込んだ切削水により、ブレード１０の前面１０Ａとノズル部８６Ａの吐出面９６Ａとの間、及び、ブレード１０の後面１０Ｂとノズル部８６Ｂの吐出面９６Ｂとの間が流体潤滑の状態となり、ブレード１０に対して前面１０Ａ及び後面１０Ｂの両面側から動圧が加えられるようになる。これにより、加工点の冷却が行われると共に、ブレード１０の振れ（ウェービング）や変形が抑制され、ワークＷに対するブレード１０の蛇行が防止されるようになっている。

ここで、ブレード１０とノズル部８６Ａ、８６Ｂの吐出面９６Ａ、９６Ｂとの間の流体潤滑による動圧の発生原理と吐出面９６Ａ、９６Ｂ（隙間部９８Ａ、９８Ｂ）の好適な形態について説明する。

図９は、ブレード１０とノズル部８６Ａ、８６Ｂの吐出面９６Ａ、９６Ｂとをブレード１０の周縁部に沿って円弧状に湾曲する面で切断した切断面を拡大して示した断面図である。同図に示すように１対のノズル部８６Ａ、８６Ｂの吐出面９６Ａ、９６Ｂで挟まれる空間の中央にブレード１０が配置されており、ブレード１０の前面１０Ａとノズル部８６Ａの吐出面９６Ａとの間の距離（隙間部９８Ａの幅）とブレード１０の後面１０Ｂとノズル部８６Ｂの吐出面９６Ｂとの間の距離（隙間部９８Ｂの幅）は、ブレード１０の回転方向上流側（図中右側）の端部から回転方向下流側（図中左側）に向かって徐々に短くなり、ある位置よりも下流側の範囲では一定距離となるように各々の吐出面９６Ａ、９６Ｂが形成されている。

一般的に動圧軸受効果を発生させる条件は以下のようになっており、本実施の形態においてもブレード１０の回転時には以下の条件を満たしている。
１．２物体の表面が非常に接近しており、その隙間がわずかであること
２．その隙間は流体膜（油など）で満たされており、２物体は完全に離れていること
３．２物体は互いに相対運動していること
具体的には、ブレード１０の前面１０Ａと吐出面９６Ａとの間の距離、及び、ブレード１０の後面１０Ｂと吐出面９６Ｂとの間の距離が一定となる範囲での隙間部９８Ａ、９８Ｂの幅は、好適な動圧を発生させるために０．５ｍｍ以下とすることが望ましい。ただし、それらの各面は接触しない位置に配置する。これによって、上記条件１、２が満たされている。

また、ブレード１０が回動することによって上記条件３が満たされている。

ブレード１０が回動している際にブレード１０に働く動圧の大きさに関しては、ブレード１０の回転速度に依存する。ここで、図９のようにｘ軸をブレードの動く方向、ｙ軸を隙間部９８Ａ、９８Ｂの幅方向として、例えば、隙間部９８Ｂ内の所定位置における微小要素（ｄｘ）×（ｄｙ）×１に働く力のつりあいを前提とした関係式から、流速と圧力の関係式が求められる。

まず、微小要素において、剪断応力τのｙ軸方向の変化量をｄτ、流体圧力ｐのｘ軸方向の変化量をｄｐとすると、ｘ軸方向の力のつりあいから次式（１）が成り立つ。

ｄｐ／ｄｘ＝ｄτ／ｄｙ ・・・（１）
ｘ軸方向の流速をｖとすると、流体吐出部から吐出される冷却水がニュートン流体であるため、次式（２）、（３）が成り立つ。

τ＝η×ｄｖ／ｄｙ ・・・（２）
ｄｐ／ｄｘ＝η×ｄ^２ｘ／ｄｙ^２ ・・・（３）
そして、流体圧力ｐは隙間部９８Ａの幅方向（ｙ軸方向）に一定であることを条件とし、また、ｘ軸方向にブレード１０が動く速度をＶ、隙間部９８Ａの幅をｈとして、境界条件をｙ＝０でｖ＝Ｖ、ｙ＝ｈ（ｘの関数）でｖ＝０として与えると、流速と圧力分布の関係が次式（４）のように求まる。

ｖ＝Ｖ（（ｈ−ｙ）／ｈ）−（１／２η）×（ｄｐ／ｄｘ）×ｙ（ｈ―ｙ）） ・・・（４）
この式（４）によれば、動圧を効果的に発生させるためには、ブレード１０の前面１０Ａと吐出面９６Ａとの間の隙間部９８Ａ、及び、ブレード１０の後面１０Ｂと吐出面９６Ｂとの間の隙間部９８Ｂにおけるくさび効果によって、流体の入口／出口での流速の差を持たせてブレード１０に好適に動圧を与えることができる。

そこで、本実施の形態では図９に示すように冷却水供給部８２（ノズル部８６Ａ、ノズル部８６Ｂ）におけるブレード１０の入口側（回転方向上流側）となる図中右側の隙間部９８Ａ及び隙間部９８Ｂの幅が出口側（回転方向下流側）となる図中左側の一定幅の領域よりも拡くなるように吐出面９６Ａ、９６Ｂが出口側から入口側に向けて互いに離間する方向に湾曲した形状に形成されている。

以上、上記実施の形態では、各冷却水供給部８２の各ノズル部８６Ａ、８６Ｂの吐出面９６Ａ、９６Ｂに冷却水の供給口として図７、図８に示したようなスリット９４Ａ、９４Ｂを形成したが、供給口はこれに限らず、断続的に配列された複数の開口から形成されたものであっても良いし、その配列も一列ではなく、複数列、又は、ランダムに配列されたものであっても良い。

また、上記実施の形態は、ブレード１０としてハブレスブレードを使用するダイシング装置の一実施の形態を示したものであり、ブレードをスピンドルに装着するためのブレード挿着部（６０）の構造は、上記実施の形態以外の構造であっても本発明を適用できる。また、ハブレスブレードを使用するダイシング装置に限らず、ハブブレードを使用するダイシング装置であっても、ブレードの径方向の突き出し量が多い場合には、ブレードの振れや変形を抑止するために本発明を有効に適用することができる。

また、上記実施の形態では、冷却水供給部８２をブレードの加工点に冷却水を供給する冷却水ノズルと、ブレードの蛇行を防止するための蛇行防止手段（流体ブレードサポートノズル）とに兼用したが、上記の冷却水供給部８２と同様の構成の蛇行防止手段（流体ブレードサポートノズル）と、任意の構成の冷却水ノズル（例えば、従来の冷却水ノズル）を個別に設けてもよく、蛇行防止手段において使用する流体（液体）として、冷却以外の用途に使用される流体を用いても良い。

１…ダイシング装置、２…加工部、４…洗浄部、６…ロードポート、８…搬送手段、１０、１２…ブレード、１４、１６…スピンドル、１４Ａ、１６Ａ…スピンドル本体、１４Ｂ、１６Ｂ…回転軸、１８…ワークテーブル、５０…ブレード周辺部、６０…ブレード装着部、６４…フランジカバー、７０…後フランジ、７２…後フランジ固定用ネジ、７４…前フランジ、７６…前フランジ固定用ナット、８０…切削水供給部、８１…切削水ノズル、８２…冷却水供給部、８４…基端部、８６Ａ、８６Ｂ…ノズル部、８８Ａ、８８Ｂ、９０Ａ、９０Ｂ…流体供給配管、９２Ａ、９２Ｂ…管路、９４Ａ、９４Ｂ…スリット、９６Ａ、９６Ｂ…吐出面、９８Ａ、９８Ｂ…隙間部、１００…昇降装置、１０２…アーム

Claims (5)

1. スピンドルによって回転するブレードによりワークを切削するダイシング装置において、
   前記ブレードと前記ワークとが接触する加工点近傍に配置され、ブレードの蛇行を防止する蛇行防止手段を備え、
   前記蛇行防止手段は、
   前記ブレードの周方向に沿って前記ブレードの両面側に隙間部を形成する隙間形成面と、
   流体が供給される管路と、
   前記管路に連通して前記隙間形成面に形成され、前記流体を前記隙間部に供給する供給口と、
   を備えたことを特徴とするダイシング装置。
2. 前記隙間形成面は、回転する前記ブレードの上流側の方が下流側よりも前記隙間部の幅が広くなるように形成されていることを特徴とする請求項１に記載のダイシング装置。
3. 前記供給口は、前記ブレードの周方向に沿った円弧状のスリットであることを特徴とする請求項１、又は、２に記載のダイシング装置。
4. 前記蛇行防止手段は、１つの基端部から二股状に延設される１対のノズル部を有し、該１対のノズル部の中央に前記ブレードを挟むようにして配置されることを特徴とする請求項１、２、又は、３に記載のダイシング装置。
5. 前記流体は前記ブレードを冷却するための冷却水であることを特徴とする請求項１、２、３、又は、４に記載のダイシング装置。

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