JP6576747B2 - 研削装置 - Google Patents
研削装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6576747B2 JP6576747B2 JP2015173628A JP2015173628A JP6576747B2 JP 6576747 B2 JP6576747 B2 JP 6576747B2 JP 2015173628 A JP2015173628 A JP 2015173628A JP 2015173628 A JP2015173628 A JP 2015173628A JP 6576747 B2 JP6576747 B2 JP 6576747B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grinding
- wafer
- height
- ground
- holding surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Description
21 チャックテーブル
22 回転手段
23 保持面
48 砥石
61 算出部
62 被研削面高さ測定部
64 第1の測定子
65 保持面高さ測定部
67 第2の測定子
71、76 混合液噴射ノズル
81 被研削面
W ウエーハ
Claims (1)
- ウエーハを保持面で保持するチャックテーブルと、該保持面中心を軸に該チャックテーブルを回転させる回転手段と、該チャックテーブルに保持されたウエーハを砥石で研削する研削手段と、該チャックテーブルに保持されたウエーハの被研削面に第1の測定子を接触させ被研削面の高さを測定する被研削面高さ測定部と、該保持面に第2の測定子を接触させ該保持面の高さを測定する保持面高さ測定部と、該被研削面高さ測定部の値と該保持面高さ測定部の値との差からウエーハの厚みを算出する算出部と、を備える研削装置であって、
該第1の測定子および該第2の測定子のうち少なくとも第2の測定子の先端に向かって水とエアとを混合させた混合液を噴射させる混合液噴射ノズルを備え、該混合液噴射ノズルは混合液を温度調整するために混合液の水とエアとの割合を変化可能に設けられ、該被研削面および該保持面に接触する該第1の測定子および該第2の測定子のうち少なくとも第2の測定子が接触する該保持面の高さの値の変化を防止することを特徴とする研削装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015173628A JP6576747B2 (ja) | 2015-09-03 | 2015-09-03 | 研削装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015173628A JP6576747B2 (ja) | 2015-09-03 | 2015-09-03 | 研削装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017047510A JP2017047510A (ja) | 2017-03-09 |
JP6576747B2 true JP6576747B2 (ja) | 2019-09-18 |
Family
ID=58278506
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015173628A Active JP6576747B2 (ja) | 2015-09-03 | 2015-09-03 | 研削装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6576747B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6751301B2 (ja) * | 2016-03-14 | 2020-09-02 | 株式会社ディスコ | 研削装置 |
JP7014653B2 (ja) * | 2017-03-29 | 2022-02-01 | 日東電工株式会社 | 非直線加工された粘着剤層付光学積層体の製造方法 |
JP6910723B2 (ja) * | 2017-08-22 | 2021-07-28 | 株式会社ディスコ | 研削方法 |
JP7450700B2 (ja) | 2020-02-17 | 2024-03-15 | 東京エレクトロン株式会社 | 加工装置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100303396B1 (ko) * | 1998-05-26 | 2001-11-30 | 윤종용 | 반도체장치제조용웨이퍼그라인딩장치 |
JP2013184277A (ja) * | 2012-03-09 | 2013-09-19 | Disco Corp | バイト切削装置 |
JP2014079838A (ja) * | 2012-10-16 | 2014-05-08 | Disco Abrasive Syst Ltd | 研削装置 |
-
2015
- 2015-09-03 JP JP2015173628A patent/JP6576747B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017047510A (ja) | 2017-03-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6576747B2 (ja) | 研削装置 | |
US10279452B2 (en) | Processing apparatus | |
JP2006344878A (ja) | 加工装置および加工方法 | |
KR101530269B1 (ko) | 웨이퍼 그라인딩 장치 | |
JP2011167818A (ja) | 加工装置 | |
JP2013099828A (ja) | 研磨装置および方法 | |
JP6341724B2 (ja) | チャックテーブル、研削装置 | |
JP2017222003A (ja) | スピンドルユニット | |
JP2010069601A (ja) | 研磨パッドのドレッシング方法および研磨装置 | |
JP7152937B2 (ja) | 研削方法及び研削装置 | |
JP2006218553A (ja) | 研磨パッドのドレッシング方法 | |
CN110170892B (zh) | 磨削装置 | |
JP7320358B2 (ja) | 加工装置及び洗浄方法 | |
JP6517108B2 (ja) | Cmp研磨装置 | |
JP2012148389A (ja) | 硬質基板の研削方法 | |
JP4132652B2 (ja) | 砥石の洗浄装置を備える両頭平面研削装置および砥石の洗浄方法 | |
JP5679183B2 (ja) | 硬質基板の研削方法 | |
JP7339860B2 (ja) | 加工装置 | |
JP2001096461A (ja) | 研削砥石の目立て方法及び目立て装置 | |
JP2018012149A (ja) | スピンドルユニット | |
JP2022187203A (ja) | 研削装置、及び研削砥石のドレス方法 | |
JP2006159317A (ja) | 研磨パッドのドレッシング方法 | |
CN113889425A (zh) | 晶片清洗装置 | |
TWI546876B (zh) | Processing device | |
JP2017007013A (ja) | 面取り加工方法及び面取り加工装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180724 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190510 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190521 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190719 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190730 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190821 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6576747 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |