JP6751301B2 - 研削装置 - Google Patents
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Description
該制御手段は、該冷却水供給手段から該第1の測定子に供給される冷却水量が、該相関データにおける該押圧力検出手段が検出した押圧力に対応する冷却水量となるように該流量調整部を調整し、該第1の測定子の周囲の空気の温度と該第2の測定子の周囲の空気の温度とを近づけて板状ワークを研削する。
図1に示す研削装置1は、チャックテーブル30上に保持された板状ワークWを、研削手段7によって研削する装置である。研削装置1のベース10上の前方(−Y方向側)は、図示しない搬送手段によってチャックテーブル30に対して板状ワークWの着脱が行われる領域である着脱領域Aとなっており、ベース10上の後方(+Y方向側)は、研削手段7によってチャックテーブル30上に保持された板状ワークWの研削が行われる領域である研削領域Bとなっている。
図4に示す研削装置1Aは、図1に示した研削装置1と同様に、チャックテーブル30上に保持された板状ワークWを、研削手段7によって研削する装置である。図4に示す研削装置1Aは、チャックテーブル30の下方に複数の押圧力検出手段80を配設した点、及び、研削装置1の第1の温度測定部902及び第2の温度測定部912に相当するものを備えていない点が、図1に示した研削装置1と相違しており、その他については同様に構成されている。したがって、図4に示す研削装置1Aでは、研削装置1と同様に構成される点については図1と同一の符号を付し、その説明を省略することとする。
A:着脱領域 B:研削領域
10:ベース
30:チャックテーブル 300:吸着部 301:枠体 300a:保持面
31:カバー
5:研削送り手段
50:ボールネジ 51:ガイドレール 52:モータ 53:昇降板 54:ホルダ
7:研削送り手段
70:スピンドル 71:スピンドルハウジング 72:スピンドルモータ
73:マウント
74:研削ホイール 740:研削砥石 740a:研削面 741:ホイール基台
80:押圧力検出手段 81:記憶部
9:厚さ測定手段
90:第1の測定手段 900:第1の測定子 901:第1の高さ測定部
902:第1の温度測定部 903:冷却水供給手段 903a:冷却水
904:冷却水供給源 905:流量調整部
91:第2の測定手段 910:第2の測定子 911:第2の高さ測定部
912:第2の温度測定部
92:制御手段
W:板状ワーク Wa:上面 Wb:下面 T:保護テープ
Claims (2)
- 板状ワークを保持する保持面を有するチャックテーブルと、
該チャックテーブルに保持される板状ワークを研削する研削砥石が環状に配設された研削ホイールを回転可能に装着する研削手段と、
該研削手段を該チャックテーブルに対して接近又は離間させる研削送り手段と、
該チャックテーブルに保持される板状ワークの上面の高さを測定する第1の測定手段と、
該チャックテーブルに保持される板状ワークの外側で該保持面の高さを測定する第2の測定手段と、
制御手段と、を備え、
該第1の測定手段は、
該保持面に対して垂直方向に延在し該保持面で保持された板状ワークの上面に先端が接触し昇降可能な第1の測定子と、
該第1の測定子の昇降方向の位置によって板状ワークの上面高さを測定する第1の高さ測定部と、
該第1の測定子の周囲の空気の温度を測定する第1の温度測定部と、
該第1の測定子に冷却水を供給する冷却水供給手段と、
該冷却水供給手段における該冷却水の流量を調整する流量調整部と、を備え、
該第2の測定手段は、
該保持面に対して垂直方向に延在し該保持面に先端が接触し昇降可能な第2の測定子と、
該第2の測定子の昇降方向の位置によって該保持面の高さを測定する第2の高さ測定部と、
該第2の測定子の周囲の空気の温度を測定する第2の温度測定部と、
を備え、
該制御手段は、
該第2の温度測定部が測定した温度より該第1の温度測定部が測定した温度が高いときに、該第2の温度測定部が測定した温度と該第1の温度測定部が測定した温度との温度差が大きくなるほど該第1の測定子に供給される該冷却水の流量を増やす方向に該流量調整部を調整し、該第1の温度測定部が測定した温度と該第2の温度測定部が測定した温度とを近づけて板状ワークを研削する
研削装置。 - 板状ワークを保持する保持面を有するチャックテーブルと、
該チャックテーブルに保持される板状ワークを研削する研削砥石が環状に配設された研削ホイールを回転可能に装着する研削手段と、
該研削手段を該チャックテーブルに対して接近又は離間させる研削送り手段と、
該チャックテーブルに保持される板状ワークの上面の高さを測定する第1の測定手段と、
該チャックテーブルに保持される板状ワークの外側で該保持面の高さを測定する第2の測定手段と、
研削加工時に該研削送り手段により該研削手段を該チャックテーブルに接近する方向に移動させて該研削砥石が板状ワークを押圧するときの押圧力を検出する押圧力検出手段と、
制御手段と、を備え、
該第1の測定手段は、
該保持面に対して垂直方向に延在し該保持面で保持された板状ワークの上面に先端が接触し昇降可能な第1の測定子と、
該第1の測定子の昇降方向の位置によって板状ワークの上面高さを測定する第1の高さ測定部と、
該第1の測定子に冷却水を供給する冷却水供給手段と、
該第1の冷却水供給手段における該冷却水の流量を調整する流量調整部と、を備え、
該第2の測定手段は、
該保持面に対して垂直方向に延在し該保持面に先端が接触し昇降可能な第2の測定子と、
該第2の測定子の昇降方向の位置によって該保持面の高さを測定する第2の高さ測定部と、
を備え、
該押圧力検出手段が検出する該押圧力が大きいほど該冷却水の流量が大きくなる、該押圧力と実際に供給された冷却水の量との関係が設定された相関データを記憶する記憶部を備え、
該制御手段は、該冷却水供給手段から該第1の測定子に供給される冷却水量が、該相関データにおける該押圧力検出手段が検出した押圧力に対応する冷却水量となるように該流量調整部を調整し、該第1の測定子の周囲の空気の温度と該第2の測定子の周囲の空気の温度とを近づけて板状ワークを研削する
研削装置。
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