JP3180295B2 - ダイシング装置 - Google Patents
ダイシング装置Info
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- JP3180295B2 JP3180295B2 JP28121791A JP28121791A JP3180295B2 JP 3180295 B2 JP3180295 B2 JP 3180295B2 JP 28121791 A JP28121791 A JP 28121791A JP 28121791 A JP28121791 A JP 28121791A JP 3180295 B2 JP3180295 B2 JP 3180295B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はダイシング装置に係り、
特に切削刃（以下「ブレード」と称す。）で固体撮像素
子用のガラス板を切削するダイシング装置に関する。
特に切削刃（以下「ブレード」と称す。）で固体撮像素
子用のガラス板を切削するダイシング装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ダイシング装置で固体撮像素子用ガラス
板を切断する場合、接着シートでカッテイングテーブル
に接着したガラス板（以下「ワーク」と称す。）をブレ
ードで固体撮像素子に適用可能な形状に切断する。切断
時には加工精度を維持するために、ブレードに切削水を
吹きつけてブレードを冷却する。また、切削水はワーク
の切粉や接着シートの切断片等の汚濁物（以下「コンタ
ミ」と称す。）を切断部近傍から除去している。
板を切断する場合、接着シートでカッテイングテーブル
に接着したガラス板（以下「ワーク」と称す。）をブレ
ードで固体撮像素子に適用可能な形状に切断する。切断
時には加工精度を維持するために、ブレードに切削水を
吹きつけてブレードを冷却する。また、切削水はワーク
の切粉や接着シートの切断片等の汚濁物（以下「コンタ
ミ」と称す。）を切断部近傍から除去している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、切削水
ではブレードの周縁に付着したコンタミを除去すること
ができず、ブレードの周縁に付着したコンタミはブレー
ドと共に１回転してワーク表面に付着する。この場合、
ブレードは高速回転しているのでコンタミはワーク表面
上に強く叩きつけられた状態で付着する。従ってワーク
切断完了後、ワークを洗浄してもコンタミで汚染された
ワークからコンタミを除去できないので、生産性の歩留
りが悪いという問題がある。
ではブレードの周縁に付着したコンタミを除去すること
ができず、ブレードの周縁に付着したコンタミはブレー
ドと共に１回転してワーク表面に付着する。この場合、
ブレードは高速回転しているのでコンタミはワーク表面
上に強く叩きつけられた状態で付着する。従ってワーク
切断完了後、ワークを洗浄してもコンタミで汚染された
ワークからコンタミを除去できないので、生産性の歩留
りが悪いという問題がある。
【０００４】特に、加工製品を固体撮像素子に使用する
場合、コンタミの付着は画像の不鮮明さに直接影響する
ので付着量が少量でも不良品になる。本発明はこのよう
な事情に鑑みてなされたもので、ワークの汚染を防止し
て生産性の歩留りの向上を図ることができるダイシング
装置を提供することを目的とする。
場合、コンタミの付着は画像の不鮮明さに直接影響する
ので付着量が少量でも不良品になる。本発明はこのよう
な事情に鑑みてなされたもので、ワークの汚染を防止し
て生産性の歩留りの向上を図ることができるダイシング
装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決する為の手段】本発明は、前記目的を達成
する為に、回転する切削刃に切削水を吹きつけると共に
切削刃でワークを切断して所要の形状に加工するダイシ
ング装置において、前記切削刃周縁の両側部に近接して
配設され、前記ワーク切断時に生じた切粉等を切削刃か
ら除去するコンタミネイション除去部材が複数設けら
れ、前記コンタミネイション除去部材で除去された切粉
等を前記切削水で前記ワーク表面上から回避した位置に
搬出することを特徴とする。
する為に、回転する切削刃に切削水を吹きつけると共に
切削刃でワークを切断して所要の形状に加工するダイシ
ング装置において、前記切削刃周縁の両側部に近接して
配設され、前記ワーク切断時に生じた切粉等を切削刃か
ら除去するコンタミネイション除去部材が複数設けら
れ、前記コンタミネイション除去部材で除去された切粉
等を前記切削水で前記ワーク表面上から回避した位置に
搬出することを特徴とする。
【０００６】
【作用】本発明によれば、切削刃周縁の両側部に近接し
たコンタミネイション除去部材を少なくとも２つ設け、
このコンタミネイション除去部材で切削刃周縁から除去
された切粉等を切削水によりワーク表面上から回避した
位置に搬出することができる。
たコンタミネイション除去部材を少なくとも２つ設け、
このコンタミネイション除去部材で切削刃周縁から除去
された切粉等を切削水によりワーク表面上から回避した
位置に搬出することができる。
【０００７】
【実施例】以下添付図面に従って本発明に係るダイシン
グ装置の好ましい実施例について説明する。図１、図２
及び図３はそれぞれ本発明に係るダイシング装置１０の
斜視図、正面図及び底面図を示し、これらの図に示すダ
イシング装置１０はカッテイングテーブル１２にローデ
ィングされたワーク１４をファインアライメントし、そ
の後時計回り方向に高速回転しているブレード１６でワ
ーク１４を所要の形状に切断する。そして切断時にはワ
ーク１４の加工精度を維持するために、吹付け手段１８
Ａ、１８Ｂ、１８Ｃの各々の噴射口からブレード１６に
切削水を吹きつけてブレード１６の冷却等を行ってい
る。
グ装置の好ましい実施例について説明する。図１、図２
及び図３はそれぞれ本発明に係るダイシング装置１０の
斜視図、正面図及び底面図を示し、これらの図に示すダ
イシング装置１０はカッテイングテーブル１２にローデ
ィングされたワーク１４をファインアライメントし、そ
の後時計回り方向に高速回転しているブレード１６でワ
ーク１４を所要の形状に切断する。そして切断時にはワ
ーク１４の加工精度を維持するために、吹付け手段１８
Ａ、１８Ｂ、１８Ｃの各々の噴射口からブレード１６に
切削水を吹きつけてブレード１６の冷却等を行ってい
る。
【０００８】このような作用をするダイシング装置１０
は第１のコンタミ除去板２０、第２のコンタミ除去板２
２を備えている。第１のコンタミ除去板２０は図４に示
すように略く字型に折り曲げられていて、その一端部に
は開口孔（図示せず。）が形成されている。この開口孔
にはダイシング装置１０のフランジカバー２４の左端部
に螺着されているボルト２６が嵌入されていて、これに
より、第１のコンタミ除去板２０はフランジカバー２４
の左端部に固定される。この場合、第１のコンタミ除去
板２０の折曲げ部は、フランジカバー２４の左端部に形
成されている溝部（図１参照）を経てブレード１６の左
側に配置される。
は第１のコンタミ除去板２０、第２のコンタミ除去板２
２を備えている。第１のコンタミ除去板２０は図４に示
すように略く字型に折り曲げられていて、その一端部に
は開口孔（図示せず。）が形成されている。この開口孔
にはダイシング装置１０のフランジカバー２４の左端部
に螺着されているボルト２６が嵌入されていて、これに
より、第１のコンタミ除去板２０はフランジカバー２４
の左端部に固定される。この場合、第１のコンタミ除去
板２０の折曲げ部は、フランジカバー２４の左端部に形
成されている溝部（図１参照）を経てブレード１６の左
側に配置される。
【０００９】また、第１のコンタミ除去板２０の他端部
には図４に示す拡開部２０Ａ及び切欠２０Ｂが形成され
ていて、拡開部２０Ａ及び切欠２０Ｂはブレード１６の
断面形状に類似した形状に切り欠かれている。すなわ
ち、拡開部２０ＡはＶ形に拡開され、切欠２０Ｂは矩形
状に形成されている。そして、第１のコンタミ除去板２
０がフランジカバー２４の左端部に取り付けられると、
ブレード１６が第１のコンタミ除去板２０の拡開部２０
Ａ及び切欠２０Ｂ内に配置される。この場合、ブレード
１６と拡開部２０Ａ及び切欠２０Ｂとの隙間は微小寸法
に設定される。これにより、ブレード１６に付着したコ
ンタミ５０は第１のコンタミ除去板２０で除去される。
には図４に示す拡開部２０Ａ及び切欠２０Ｂが形成され
ていて、拡開部２０Ａ及び切欠２０Ｂはブレード１６の
断面形状に類似した形状に切り欠かれている。すなわ
ち、拡開部２０ＡはＶ形に拡開され、切欠２０Ｂは矩形
状に形成されている。そして、第１のコンタミ除去板２
０がフランジカバー２４の左端部に取り付けられると、
ブレード１６が第１のコンタミ除去板２０の拡開部２０
Ａ及び切欠２０Ｂ内に配置される。この場合、ブレード
１６と拡開部２０Ａ及び切欠２０Ｂとの隙間は微小寸法
に設定される。これにより、ブレード１６に付着したコ
ンタミ５０は第１のコンタミ除去板２０で除去される。
【００１０】第２のコンタミ除去板２２は図５に示すよ
うに平板状に形成され、その一端部には開口孔２２Ａが
形成されている。この開口孔にはボルト２８が嵌入され
ていて、ボルト２８はフランジカバー２４の右端部の底
面に螺合されている。これにより、第２のコンタミ除去
板２２はフランジカバー２４の左端部底面に固定され
る。この場合、第２のコンタミ除去板２２の他端部はブ
レード１６の右側に配置される。
うに平板状に形成され、その一端部には開口孔２２Ａが
形成されている。この開口孔にはボルト２８が嵌入され
ていて、ボルト２８はフランジカバー２４の右端部の底
面に螺合されている。これにより、第２のコンタミ除去
板２２はフランジカバー２４の左端部底面に固定され
る。この場合、第２のコンタミ除去板２２の他端部はブ
レード１６の右側に配置される。
【００１１】第２のコンタミ除去板２２の他端部には図
５に示す拡開部２２Ａ及び切欠２２Ｃが形成されてい
て、拡開部２２Ａ及び切欠２２Ｃは、第１のコンタミ除
去板２０の拡開部２０Ａ及び切欠２０Ｂの形状と略同一
形状に形成されている。そして、第２のコンタミ除去板
２２がフランジカバー２４の右端部に取り付けられる
と、ブレード１６が拡開部２２Ａ及び切欠２２Ｃ内に配
置される。この場合、ブレード１６と拡開部２２Ａ及び
切欠２２Ｃとの隙間は微小寸法に設定される。これによ
り、ブレード１６に付着したコンタミ５０は第２のコン
タミ除去板２２で除去される。
５に示す拡開部２２Ａ及び切欠２２Ｃが形成されてい
て、拡開部２２Ａ及び切欠２２Ｃは、第１のコンタミ除
去板２０の拡開部２０Ａ及び切欠２０Ｂの形状と略同一
形状に形成されている。そして、第２のコンタミ除去板
２２がフランジカバー２４の右端部に取り付けられる
と、ブレード１６が拡開部２２Ａ及び切欠２２Ｃ内に配
置される。この場合、ブレード１６と拡開部２２Ａ及び
切欠２２Ｃとの隙間は微小寸法に設定される。これによ
り、ブレード１６に付着したコンタミ５０は第２のコン
タミ除去板２２で除去される。
【００１２】尚、図１上で４０はブレード１６を駆動す
るためのモータ、４２Ａ、４２Ｂ及び４２Ｃはそれぞれ
吹付け手段１８Ａ、１８Ｂ及び１８Ｃの噴射口から噴射
される切削水を供給するホースであり、ホース４２Ａ、
４２Ｂ及び４２Ｃは切削水を供給するポンプ（図示せ
ず）に連通されている。前記の如く構成されたダイシン
グ装置の作用について説明する。
るためのモータ、４２Ａ、４２Ｂ及び４２Ｃはそれぞれ
吹付け手段１８Ａ、１８Ｂ及び１８Ｃの噴射口から噴射
される切削水を供給するホースであり、ホース４２Ａ、
４２Ｂ及び４２Ｃは切削水を供給するポンプ（図示せ
ず）に連通されている。前記の如く構成されたダイシン
グ装置の作用について説明する。
【００１３】先ず、モータ４０を駆動してブレード１６
を図１、図２上で時計回り方向に高速回転すると共にホ
ース４２Ａ、４２Ｂ及び４２Ｃを介して吹付け手段１８
Ａ、１８Ｂ及び１８Ｃに切削水を供給する。供給された
切削水を噴射口からブレード３４に噴射する。この状態
でブレード１６をワーク１４に切り込みが入る位置まで
下降して、カッテイングテーブル１２を移動してワーク
１４を所要の形状に切断する。
を図１、図２上で時計回り方向に高速回転すると共にホ
ース４２Ａ、４２Ｂ及び４２Ｃを介して吹付け手段１８
Ａ、１８Ｂ及び１８Ｃに切削水を供給する。供給された
切削水を噴射口からブレード３４に噴射する。この状態
でブレード１６をワーク１４に切り込みが入る位置まで
下降して、カッテイングテーブル１２を移動してワーク
１４を所要の形状に切断する。
【００１４】ワーク１４の切断で生じたコンタミ５０は
ブレード１６の周縁に付着し、ブレード１６と共に高速
回転して第１のコンタミ除去板２０の方向に搬送され
る。この場合、吹付け手段１８Ａ、１８Ｂの噴射口から
ブレード１６に切削水が噴射されているので、コンタミ
５０と共に切削水が第１のコンタミ除去板２０の方向に
搬送される。
ブレード１６の周縁に付着し、ブレード１６と共に高速
回転して第１のコンタミ除去板２０の方向に搬送され
る。この場合、吹付け手段１８Ａ、１８Ｂの噴射口から
ブレード１６に切削水が噴射されているので、コンタミ
５０と共に切削水が第１のコンタミ除去板２０の方向に
搬送される。
【００１５】そして、第１のコンタミ除去板２０の方向
に搬送されたコンタミ５０は第１のコンタミ除去板２０
でブレード１６の周縁から除去されて、切削水と共に第
１のコンタミ除去板２０に沿って左方向に飛散される。
従って、コンタミ５０はワーク１４の外側に搬出され
る。一方、第１のコンタミ除去板２０でブレード１６の
周縁から除去されないコンタミは５０ブレード１６と共
に、第２のコンタミ除去板２２まで搬送される。搬送さ
れたコンタミは第２のコンタミ除去板２２でブレード１
６の周縁から除去される。また、第２のコンタミ除去板
２２の上方には吹付け手段１８Ｃの噴射口が設けられて
いて、吹付け手段１８Ｃの噴射口からは第２のコンタミ
除去板２２の上面に切削水が噴射される。従って、第２
のコンタミ除去板２２で除去されたコンタミ５０は切削
水と共に第２のコンタミ除去板２２に沿って左方向に飛
散される。これにより、ブレード１６の周縁に付着され
ていたコンタミ５０が除去され、除去されたコンタミ５
０は切削水と共にワーク１４の外側に搬出される。
に搬送されたコンタミ５０は第１のコンタミ除去板２０
でブレード１６の周縁から除去されて、切削水と共に第
１のコンタミ除去板２０に沿って左方向に飛散される。
従って、コンタミ５０はワーク１４の外側に搬出され
る。一方、第１のコンタミ除去板２０でブレード１６の
周縁から除去されないコンタミは５０ブレード１６と共
に、第２のコンタミ除去板２２まで搬送される。搬送さ
れたコンタミは第２のコンタミ除去板２２でブレード１
６の周縁から除去される。また、第２のコンタミ除去板
２２の上方には吹付け手段１８Ｃの噴射口が設けられて
いて、吹付け手段１８Ｃの噴射口からは第２のコンタミ
除去板２２の上面に切削水が噴射される。従って、第２
のコンタミ除去板２２で除去されたコンタミ５０は切削
水と共に第２のコンタミ除去板２２に沿って左方向に飛
散される。これにより、ブレード１６の周縁に付着され
ていたコンタミ５０が除去され、除去されたコンタミ５
０は切削水と共にワーク１４の外側に搬出される。
【００１６】コンタミ５０が除去されたブレード１６は
ワーク１４の位置まで回転してワーク１４を切断する。
このように、第１、第２のコンタミ除去板２０、２２で
除去されたコンタミ５０はワーク１４の表面から回避し
た位置に落下するので、ワーク１４の汚染を防止するこ
とができる。
ワーク１４の位置まで回転してワーク１４を切断する。
このように、第１、第２のコンタミ除去板２０、２２で
除去されたコンタミ５０はワーク１４の表面から回避し
た位置に落下するので、ワーク１４の汚染を防止するこ
とができる。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るダイ
シング装置によれば、コンタミネイション除去部材を切
削刃周縁の両側部に近接して少なくとも２つ設け、この
コンタミネイション除去部材で除去された切粉等を切削
水でワーク表面上から回避した位置に搬出することがで
きるので、ワークの汚染を防止して生産性の歩留りの向
上を図ることができる
シング装置によれば、コンタミネイション除去部材を切
削刃周縁の両側部に近接して少なくとも２つ設け、この
コンタミネイション除去部材で除去された切粉等を切削
水でワーク表面上から回避した位置に搬出することがで
きるので、ワークの汚染を防止して生産性の歩留りの向
上を図ることができる
【図１】本発明に係るダイシング装置の傾斜図
【図２】本発明に係るダイシング装置の正面図
【図３】本発明に係るダイシング装置の底面図
【図４】本発明に係るダイシング装置の要部拡大図であ
る。
る。
【図５】本発明に係るダイシング装置の要部拡大図であ
る。
る。
１０…ダイシング装置 １４…ワーク １６…ブレード １８Ａ、１８Ｂ、１８Ｃ…吹付け手段 ２０…第１のコンタミ除去部材 ２２…第２のコンタミ除去部材 ５０…コンタミ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平４−74607（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−301208（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−70438（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−209806（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−80506（ＪＰ，Ａ) 実開 平４−87209（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭63−125510（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/301 B28D 5/00 - 5/02 B28D 7/02 B23Q 11/00
Claims (2)
- 【請求項１】 回転する切削刃に切削水を吹きつけると
共に切削刃でワークを切断して所要の形状に加工するダ
イシング装置において、 前記切削刃周縁の両側部に近接して配設され、前記ワー
ク切断時に生じた切粉等を切削刃から除去するコンタミ
ネイション除去部材が複数設けられ、 前記コンタミネイション除去部材で除去された切粉等を
前記切削水で前記ワーク表面上から回避した位置に搬出
することを特徴とするダイシング装置。 - 【請求項２】 前記コンタミネイション除去部材は、前
記切削刃のワーク切断位置から切削刃の回転方向に所定
間隔をおいて設けられた第１のコンタミネイション除去
部材と、 前記切削刃のワーク切断位置から切削刃の回転方向と反
対方向に所定間隔をおいて設けられた第２のコンタミネ
イション除去部材と、 から成なり、第１のコンタミネイション除去部材で除去
された切粉等を前記切削刃のワーク切断位置に吹きつけ
られた切削水で前記ワーク表面の外側に搬出し、第２の
コンタミネイション除去部材で除去された切粉等を第２
のコンタミネイション除去部材の上方から吹きつけられ
た切削水で前記ワーク表面上から回避した位置に搬出す
ることを特徴とする請求項１のダイシング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28121791A JP3180295B2 (ja) | 1991-10-28 | 1991-10-28 | ダイシング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28121791A JP3180295B2 (ja) | 1991-10-28 | 1991-10-28 | ダイシング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05121541A JPH05121541A (ja) | 1993-05-18 |
| JP3180295B2 true JP3180295B2 (ja) | 2001-06-25 |
Family
ID=17636000
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28121791A Expired - Fee Related JP3180295B2 (ja) | 1991-10-28 | 1991-10-28 | ダイシング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3180295B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6995619B2 (ja) | 2014-08-21 | 2022-01-14 | シグニファイ ホールディング ビー ヴィ | 発光デバイス |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4880244B2 (ja) * | 2005-04-05 | 2012-02-22 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
| JP2007216377A (ja) * | 2006-01-20 | 2007-08-30 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ダイシング装置及びダイシング方法 |
| WO2008004365A1 (fr) * | 2006-07-07 | 2008-01-10 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Appareil et procédé de découpage en dés |
| CN102785295A (zh) * | 2012-07-17 | 2012-11-21 | 曹县霸王机械有限公司 | 发泡水泥自吸式分块切割装置 |
| CN111761743B (zh) * | 2018-05-11 | 2021-09-21 | 安徽曲阳建设有限公司 | 一种工程施工用切割装置及使用方法 |
| CN109834855B (zh) * | 2019-03-26 | 2021-10-08 | 江苏繁华应材科技股份有限公司 | 一种智能玻璃加工装置 |
-
1991
- 1991-10-28 JP JP28121791A patent/JP3180295B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6995619B2 (ja) | 2014-08-21 | 2022-01-14 | シグニファイ ホールディング ビー ヴィ | 発光デバイス |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05121541A (ja) | 1993-05-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
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