JPH11267940A - 切削装置 - Google Patents
切削装置Info
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- JPH11267940A JPH11267940A JP7533598A JP7533598A JPH11267940A JP H11267940 A JPH11267940 A JP H11267940A JP 7533598 A JP7533598 A JP 7533598A JP 7533598 A JP7533598 A JP 7533598A JP H11267940 A JPH11267940 A JP H11267940A
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- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 43
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 16
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 15
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 claims description 14
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 abstract description 5
- 238000002347 injection Methods 0.000 abstract 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 abstract 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 abstract 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 11
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 239000002173 cutting fluid Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】
【課題】 切削装置において切削水を供給しながら被加
工物の切削を行う場合において、切削により発生した切
削屑（コンタミ）が被加工物の表面に極力付着しないよ
うにする。 【解決手段】 被加工物を保持して回転可能なチャック
テーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物に
切削水を供給しながら切削を遂行する切削手段とを含む
切削装置であって、チャックテーブルが移動する方向で
ある切削送り方向をＸ軸方向、切削手段が移動する方向
である割り出し送り方向をＹ軸方向とし、チャックテー
ブルの回転中心をＹ軸の原点とした場合、原点を基準と
して、マイナス側の領域であるマイナス領域には切削手
段が位置し、プラス側の領域であるプラス領域には流体
を噴出することにより被加工物との間で流体カーテンを
形成するカーテンノズルをＸ軸に平行に配設した切削装
置を提供する。
工物の切削を行う場合において、切削により発生した切
削屑（コンタミ）が被加工物の表面に極力付着しないよ
うにする。 【解決手段】 被加工物を保持して回転可能なチャック
テーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物に
切削水を供給しながら切削を遂行する切削手段とを含む
切削装置であって、チャックテーブルが移動する方向で
ある切削送り方向をＸ軸方向、切削手段が移動する方向
である割り出し送り方向をＹ軸方向とし、チャックテー
ブルの回転中心をＹ軸の原点とした場合、原点を基準と
して、マイナス側の領域であるマイナス領域には切削手
段が位置し、プラス側の領域であるプラス領域には流体
を噴出することにより被加工物との間で流体カーテンを
形成するカーテンノズルをＸ軸に平行に配設した切削装
置を提供する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、切削水を供給しな
がら被加工物の切削を行う切削装置に関するものであ
る。
がら被加工物の切削を行う切削装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】例えば、図５に示すような切削手段３０
を有する切削装置においては、被加工物を適宜の保持手
段に固定させた上で、被加工物に切削水を供給しながら
切削を行う。
を有する切削装置においては、被加工物を適宜の保持手
段に固定させた上で、被加工物に切削水を供給しながら
切削を行う。
【０００３】ここで、切削手段３０は、スピンドルハウ
ジング３１内において回転可能に支持されたスピンドル
３２にブレード３３を装着してフランジ３４等によって
固定した構成となっており、スピンドル３２の回転に伴
って回転するブレード３３が被加工物に接触することに
より切削が行われる。
ジング３１内において回転可能に支持されたスピンドル
３２にブレード３３を装着してフランジ３４等によって
固定した構成となっており、スピンドル３２の回転に伴
って回転するブレード３３が被加工物に接触することに
より切削が行われる。
【０００４】また、ブレード３３を両側から挟むように
して切削水供給ノズル３５、３６が配設されており、切
削時は、図６に示すように、被加工物３７とブレード３
３との接触部を重点的に冷却するために、ここから切削
水が供給される。これにより切削によって形成される製
品の品質を高めることができる。
して切削水供給ノズル３５、３６が配設されており、切
削時は、図６に示すように、被加工物３７とブレード３
３との接触部を重点的に冷却するために、ここから切削
水が供給される。これにより切削によって形成される製
品の品質を高めることができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、切削水
供給ノズル３５、３６から供給された切削水は被加工物
の表面全体に滞留し、滞留した切削水には切削により発
生したコンタミ（切削屑）が混じっているため、被加工
物の表面全体が汚染されるという問題がある。特に、被
加工物が液晶ガラス板のように僅かなコンタミの付着を
も嫌うようなものである場合には、大きな問題となる。
供給ノズル３５、３６から供給された切削水は被加工物
の表面全体に滞留し、滞留した切削水には切削により発
生したコンタミ（切削屑）が混じっているため、被加工
物の表面全体が汚染されるという問題がある。特に、被
加工物が液晶ガラス板のように僅かなコンタミの付着を
も嫌うようなものである場合には、大きな問題となる。
【０００６】また、切削後に適宜の洗浄手段によって被
加工物の表面を洗浄することも可能であるが、被加工物
の種類によっては事後的に洗浄をできない場合もあり、
このような場合には、切削中におけるコンタミの付着を
極力少なくする必要がある。
加工物の表面を洗浄することも可能であるが、被加工物
の種類によっては事後的に洗浄をできない場合もあり、
このような場合には、切削中におけるコンタミの付着を
極力少なくする必要がある。
【０００７】従って、切削装置において切削水を供給し
ながら被加工物の切削を行う場合においては、切削中に
被加工物の表面に極力コンタミが付着しないようにする
ことに課題を有している。
ながら被加工物の切削を行う場合においては、切削中に
被加工物の表面に極力コンタミが付着しないようにする
ことに課題を有している。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の具体的手段として本発明は、少なくとも、被加工物を
保持して回転可能なチャックテーブルと、該チャックテ
ーブルに保持された被加工物に切削水を供給しながら切
削を遂行する切削手段とを含む切削装置であって、チャ
ックテーブルが移動する方向である切削送り方向をＸ軸
方向、切削手段が移動する方向である割り出し送り方向
をＹ軸方向とし、チャックテーブルの回転中心をＹ軸の
原点とした場合、該原点を基準として、Ｙ軸方向におけ
るマイナス側の領域であるマイナス領域には切削手段が
位置し、Ｙ軸方向におけるプラス側の領域であるプラス
領域には流体を噴出することにより被加工物との間で流
体カーテンを形成するカーテンノズルをＸ軸に平行に配
設した切削装置を提供するものである。
の具体的手段として本発明は、少なくとも、被加工物を
保持して回転可能なチャックテーブルと、該チャックテ
ーブルに保持された被加工物に切削水を供給しながら切
削を遂行する切削手段とを含む切削装置であって、チャ
ックテーブルが移動する方向である切削送り方向をＸ軸
方向、切削手段が移動する方向である割り出し送り方向
をＹ軸方向とし、チャックテーブルの回転中心をＹ軸の
原点とした場合、該原点を基準として、Ｙ軸方向におけ
るマイナス側の領域であるマイナス領域には切削手段が
位置し、Ｙ軸方向におけるプラス側の領域であるプラス
領域には流体を噴出することにより被加工物との間で流
体カーテンを形成するカーテンノズルをＸ軸に平行に配
設した切削装置を提供するものである。
【０００９】そして、流体カーテンは、マイナス領域に
向けて傾斜して形成され、切削手段から供給される切削
水が被加工物の表面に滞留するのを防止すること、流体
カーテンは、ウォーターカーテンまたはエアーカーテン
であること、被加工物の切削すべき箇所は、チャックテ
ーブルの回転によって適宜マイナス領域に位置付けら
れ、該切削すべき箇所の切削はマイナス領域のみにおい
て遂行されること、被加工物は液晶ガラス板であること
を付加的要件とするものである。
向けて傾斜して形成され、切削手段から供給される切削
水が被加工物の表面に滞留するのを防止すること、流体
カーテンは、ウォーターカーテンまたはエアーカーテン
であること、被加工物の切削すべき箇所は、チャックテ
ーブルの回転によって適宜マイナス領域に位置付けら
れ、該切削すべき箇所の切削はマイナス領域のみにおい
て遂行されること、被加工物は液晶ガラス板であること
を付加的要件とするものである。
【００１０】このように構成される切削装置を用いてチ
ャックテーブルに保持された被加工物を切削するとき
は、切削がマイナス領域において行われると共に、プラ
ス領域に配設されたカーテンノズルから噴出される水や
エアー等の流体によって流体カーテンが形成されるた
め、切削手段から供給される切削水がプラス領域側に流
入しなくなり、プラス領域側においては被加工物の表面
にコンタミが付着しなくなる。また、流体カーテンをマ
イナス領域に向けて傾斜して形成することにより、コン
タミが混入した切削水を被加工物の表面から効果的に排
除することができ、マイナス領域における被加工物の表
面へのコンタミの付着を防止することができる。
ャックテーブルに保持された被加工物を切削するとき
は、切削がマイナス領域において行われると共に、プラ
ス領域に配設されたカーテンノズルから噴出される水や
エアー等の流体によって流体カーテンが形成されるた
め、切削手段から供給される切削水がプラス領域側に流
入しなくなり、プラス領域側においては被加工物の表面
にコンタミが付着しなくなる。また、流体カーテンをマ
イナス領域に向けて傾斜して形成することにより、コン
タミが混入した切削水を被加工物の表面から効果的に排
除することができ、マイナス領域における被加工物の表
面へのコンタミの付着を防止することができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態として、図１
に示す切削装置１０を例に挙げて説明する。この切削装
置１０において、被加工物、例えば、液晶ガラス板Ｇを
切削するときは、液晶ガラス板Ｇは、保持テープＴを介
してフレームＦに保持されて、チャックテーブル１１に
吸引保持される。そして、チャックテーブル１１がＸ軸
方向に移動してアライメント手段１２の直下に位置付け
られ、切削すべき領域が検出された後、切削手段１３の
作用を受ける。
に示す切削装置１０を例に挙げて説明する。この切削装
置１０において、被加工物、例えば、液晶ガラス板Ｇを
切削するときは、液晶ガラス板Ｇは、保持テープＴを介
してフレームＦに保持されて、チャックテーブル１１に
吸引保持される。そして、チャックテーブル１１がＸ軸
方向に移動してアライメント手段１２の直下に位置付け
られ、切削すべき領域が検出された後、切削手段１３の
作用を受ける。
【００１２】切削手段１３は、図２に示すように、スピ
ンドルハウジング１４内において回転可能に支持された
スピンドル１５にブレード１６を装着してフランジ１７
等によって固定した構成となっており、図３に示すよう
に、ブレード１６を両側から挟むようにして切削水供給
ノズル１８、１９が配設されている。
ンドルハウジング１４内において回転可能に支持された
スピンドル１５にブレード１６を装着してフランジ１７
等によって固定した構成となっており、図３に示すよう
に、ブレード１６を両側から挟むようにして切削水供給
ノズル１８、１９が配設されている。
【００１３】図２に示したように、チャックテーブル１
１は、回転中心２０を中心として回転可能となってお
り、チャックテーブル１１の回転中心２０を通ってＸ軸
方向にのびる中心線２１を境目にして切削手段１３が配
設されている方の側をマイナス領域、その逆側をプラス
領域とする。そして、中心線２１から若干プラス領域側
に入った位置には、Ｘ軸と平行にカーテンノズル２２を
配設している。このカーテンノズル２２には、マイナス
領域側下方に向けて水を噴出する多数の噴出口を備えて
いる。
１は、回転中心２０を中心として回転可能となってお
り、チャックテーブル１１の回転中心２０を通ってＸ軸
方向にのびる中心線２１を境目にして切削手段１３が配
設されている方の側をマイナス領域、その逆側をプラス
領域とする。そして、中心線２１から若干プラス領域側
に入った位置には、Ｘ軸と平行にカーテンノズル２２を
配設している。このカーテンノズル２２には、マイナス
領域側下方に向けて水を噴出する多数の噴出口を備えて
いる。
【００１４】このように構成される切削手段１３を用い
て、図４（Ａ）に示す矩形の２層構造の液晶ガラス板Ｇ
の外周の１層のみを切削して図４（Ｂ）の形状にする場
合について説明する。
て、図４（Ａ）に示す矩形の２層構造の液晶ガラス板Ｇ
の外周の１層のみを切削して図４（Ｂ）の形状にする場
合について説明する。
【００１５】まず最初に、切削しようとする箇所である
切削ライン２３がＸ軸方向と一致し、かつ、切削ライン
２３がマイナス領域に位置するように、チャックテーブ
ル１１を回転させる。そして、アライメント手段１２に
よって切削ライン２３を検出し、検出した切削ライン２
３とブレード１６との位置合わせを行う。
切削ライン２３がＸ軸方向と一致し、かつ、切削ライン
２３がマイナス領域に位置するように、チャックテーブ
ル１１を回転させる。そして、アライメント手段１２に
よって切削ライン２３を検出し、検出した切削ライン２
３とブレード１６との位置合わせを行う。
【００１６】切削ライン２３とブレード１６との位置合
わせがなされると、切削手段１３が降下して、回転する
ブレード１６が液晶ガラス板Ｇの１層のみを切削できる
高さに維持されると共に、チャックテーブル１１がＸ軸
方向に移動することによって切削ライン２３に一定の深
さの切り込みが入る。またこのとき、図３のように、ブ
レード１６と液晶ガラス板Ｇとの接触部に重点的に切削
水供給ノズル１８、１９から切削液が供給される。
わせがなされると、切削手段１３が降下して、回転する
ブレード１６が液晶ガラス板Ｇの１層のみを切削できる
高さに維持されると共に、チャックテーブル１１がＸ軸
方向に移動することによって切削ライン２３に一定の深
さの切り込みが入る。またこのとき、図３のように、ブ
レード１６と液晶ガラス板Ｇとの接触部に重点的に切削
水供給ノズル１８、１９から切削液が供給される。
【００１７】更に、プラス領域に位置するカーテンノズ
ル２２に設けられた多数の噴出口からは、マイナス領域
側に向けて水が噴出され、噴出された水はウォーターカ
ーテン２４を形成する。
ル２２に設けられた多数の噴出口からは、マイナス領域
側に向けて水が噴出され、噴出された水はウォーターカ
ーテン２４を形成する。
【００１８】このように、切削中にウォーターカーテン
２４が形成されることにより、切削水供給ノズル１８、
１９から供給された切削水がプラス領域側に流れること
がなくなる。従って、プラス領域において、液晶ガラス
板Ｇの表面はクリーンな状態が維持され、マイナス領域
における切削により発生したコンタミが付着することが
なくなる。
２４が形成されることにより、切削水供給ノズル１８、
１９から供給された切削水がプラス領域側に流れること
がなくなる。従って、プラス領域において、液晶ガラス
板Ｇの表面はクリーンな状態が維持され、マイナス領域
における切削により発生したコンタミが付着することが
なくなる。
【００１９】また、ウォーターカーテン２４はマイナス
領域に向けて傾斜して形成され、水流によりマイナス領
域側の切削水を効率良く排除することができるため、切
削水が液晶ガラス板Ｇの表面に滞留することがなく、切
削水に混入したコンタミがマイナス領域において液晶ガ
ラス板Ｇの表面に付着するのを防止することができる。
領域に向けて傾斜して形成され、水流によりマイナス領
域側の切削水を効率良く排除することができるため、切
削水が液晶ガラス板Ｇの表面に滞留することがなく、切
削水に混入したコンタミがマイナス領域において液晶ガ
ラス板Ｇの表面に付着するのを防止することができる。
【００２０】こうして切削ライン２３を切削した後は、
チャックテーブル１１を９０度間欠回転させて、次の切
削ラインがＸ軸方向と一致し、かつ、次の切削ラインが
マイナス領域に位置するようにして、同様の切削を行
う。
チャックテーブル１１を９０度間欠回転させて、次の切
削ラインがＸ軸方向と一致し、かつ、次の切削ラインが
マイナス領域に位置するようにして、同様の切削を行
う。
【００２１】このようにして切削を行っていくことによ
り、切削は常にマイナス領域において遂行されるため、
プラス領域における液晶ガラス板Ｇの表面はコンタミに
より汚染されない。また、マイナス領域においては、切
削時にカーテンノズル２２から供給される水によってコ
ンタミが混入した切削水が滞留することがなくなる。従
って、本実施の形態で説明した液晶ガラス板Ｇの切削の
ように、外周のみを切削すればよいような場合には、切
削ラインの内側がコンタミにより汚染されることが少な
く、汚染を最小限に抑えることができる。
り、切削は常にマイナス領域において遂行されるため、
プラス領域における液晶ガラス板Ｇの表面はコンタミに
より汚染されない。また、マイナス領域においては、切
削時にカーテンノズル２２から供給される水によってコ
ンタミが混入した切削水が滞留することがなくなる。従
って、本実施の形態で説明した液晶ガラス板Ｇの切削の
ように、外周のみを切削すればよいような場合には、切
削ラインの内側がコンタミにより汚染されることが少な
く、汚染を最小限に抑えることができる。
【００２２】なお、本実施の形態においては、カーテン
ノズルから水が噴出されてウォーターカーテンが形成さ
れる場合を例に挙げて説明したが、カーテンノズルから
噴出される流体をエアーとしてエアーカーテンを形成す
るようにしてもよい。
ノズルから水が噴出されてウォーターカーテンが形成さ
れる場合を例に挙げて説明したが、カーテンノズルから
噴出される流体をエアーとしてエアーカーテンを形成す
るようにしてもよい。
【００２３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る切削
装置によれば、切削がマイナス領域において行われると
共に、プラス領域に配設されたカーテンノズルから噴出
される水やエアー等の流体によって流体カーテンが形成
されるため、切削手段から供給される切削水がプラス領
域側に流入しなくなり、プラス領域側においてコンタミ
が付着しなくなる。また、流体カーテンをＹ軸のマイナ
ス領域に向けて傾斜して形成することにより、コンタミ
が混入した切削水を被加工物の表面から効果的に排除す
ることができ、コンタミの付着を防止することができ
る。従って、汚染されていない品質の高い製品を製造す
ることができる。
装置によれば、切削がマイナス領域において行われると
共に、プラス領域に配設されたカーテンノズルから噴出
される水やエアー等の流体によって流体カーテンが形成
されるため、切削手段から供給される切削水がプラス領
域側に流入しなくなり、プラス領域側においてコンタミ
が付着しなくなる。また、流体カーテンをＹ軸のマイナ
ス領域に向けて傾斜して形成することにより、コンタミ
が混入した切削水を被加工物の表面から効果的に排除す
ることができ、コンタミの付着を防止することができ
る。従って、汚染されていない品質の高い製品を製造す
ることができる。
【図１】本発明に係る切削装置の実施の形態の一例を示
す斜視図である。
す斜視図である。
【図２】同切削装置において被加工物が切削される様子
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
【図３】同切削装置において被加工物が切削される様子
を示す略示的正面図である。
を示す略示的正面図である。
【図４】切削される液晶ガラス板及び切削後の液晶ガラ
ス板を示す斜視図である。
ス板を示す斜視図である。
【図５】従来の切削手段の構成を示す分解斜視図であ
る。
る。
【図６】同切削手段により被加工物が切削される様子を
示す略示的正面図である。
示す略示的正面図である。
１０……切削装置 １１……チャックテーブル １２…
…アライメント手段 １３……切削手段 １４……スピンドルハウジング １
５……スピンドル １６……ブレード １７……フランジ １８、１９……
切削水供給ノズル ２０……回転中心 ２１……中心線 ２２……カーテン
ノズル ２３……切削ライン ２４……ウォーターカーテン ３０……切削手段 ３１……スピンドルハウジング ３
２……スピンドル ３３……ブレード ３４……フランジ ３５、３６……
切削水供給ノズル ３７……被加工物
…アライメント手段 １３……切削手段 １４……スピンドルハウジング １
５……スピンドル １６……ブレード １７……フランジ １８、１９……
切削水供給ノズル ２０……回転中心 ２１……中心線 ２２……カーテン
ノズル ２３……切削ライン ２４……ウォーターカーテン ３０……切削手段 ３１……スピンドルハウジング ３
２……スピンドル ３３……ブレード ３４……フランジ ３５、３６……
切削水供給ノズル ３７……被加工物
Claims (5)
- 【請求項１】 少なくとも、被加工物を保持して回転可
能なチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持さ
れた被加工物に切削水を供給しながら切削を遂行する切
削手段とを含む切削装置であって、 該チャックテーブルが移動する方向である切削送り方向
をＸ軸方向、該切削手段が移動する方向である割り出し
送り方向をＹ軸方向とし、該チャックテーブルの回転中
心をＹ軸の原点とした場合、該原点を基準として、Ｙ軸
方向におけるマイナス側の領域であるマイナス領域には
切削手段が位置し、Ｙ軸方向におけるプラス側の領域で
あるプラス領域には流体を噴出することにより該被加工
物との間で流体カーテンを形成するカーテンノズルをＸ
軸に平行に配設した切削装置。 - 【請求項２】 流体カーテンは、マイナス領域に向けて
傾斜して形成され、切削手段から供給される切削水が被
加工物の表面に滞留するのを防止する請求項１に記載の
切削装置。 - 【請求項３】 流体カーテンは、ウォーターカーテンま
たはエアーカーテンである請求項１または２に記載の切
削装置。 - 【請求項４】 被加工物の切削すべき箇所は、チャック
テーブルの回転によって適宜マイナス領域に位置付けら
れ、該切削すべき箇所の切削はマイナス領域のみにおい
て遂行される請求項１、２または３に記載の切削装置。 - 【請求項５】 被加工物は液晶ガラス板である請求項
１、２、３または４に記載の切削装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7533598A JP4243364B2 (ja) | 1998-03-24 | 1998-03-24 | 切削方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7533598A JP4243364B2 (ja) | 1998-03-24 | 1998-03-24 | 切削方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11267940A true JPH11267940A (ja) | 1999-10-05 |
| JP4243364B2 JP4243364B2 (ja) | 2009-03-25 |
Family
ID=13573294
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7533598A Expired - Lifetime JP4243364B2 (ja) | 1998-03-24 | 1998-03-24 | 切削方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4243364B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6250990B1 (en) * | 1998-11-06 | 2001-06-26 | Disco Corporation | CSP plate cutting apparatus |
| JP2012024885A (ja) * | 2010-07-23 | 2012-02-09 | Disco Corp | バイト工具を備えた加工装置 |
| CN102873609A (zh) * | 2012-10-09 | 2013-01-16 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 玻璃基板磨边机的防尘方法 |
| JP2013187471A (ja) * | 2012-03-09 | 2013-09-19 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ダイシング装置 |
-
1998
- 1998-03-24 JP JP7533598A patent/JP4243364B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6250990B1 (en) * | 1998-11-06 | 2001-06-26 | Disco Corporation | CSP plate cutting apparatus |
| SG82030A1 (en) * | 1998-11-06 | 2001-07-24 | Disco Corp | Csp plate cutting apparatus |
| JP2012024885A (ja) * | 2010-07-23 | 2012-02-09 | Disco Corp | バイト工具を備えた加工装置 |
| JP2013187471A (ja) * | 2012-03-09 | 2013-09-19 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ダイシング装置 |
| CN102873609A (zh) * | 2012-10-09 | 2013-01-16 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 玻璃基板磨边机的防尘方法 |
| WO2014056253A1 (zh) * | 2012-10-09 | 2014-04-17 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 玻璃基板磨边机的防尘方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4243364B2 (ja) | 2009-03-25 |
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