JP6704714B2 - 切削装置 - Google Patents
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Description
3 チャックテーブル
18 切削手段
18b 切削ブレード
18c 噴射ノズル(切削水供給手段)
31 水槽
32 超音波振動子
33 洗浄水ノズル(洗浄水供給手段)
36 側壁
P 洗浄水
W 被加工物
Claims (1)
- 被加工物を上面に保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削するための切削ブレードを備えた切削手段と、を備える切削装置において、
該チャックテーブルを上方を開放した側壁で囲繞して該チャックテーブルに保持された被加工物を水没させる水槽と、該側壁に該チャックテーブルを挟んで対向して配設された超音波振動子と、該水槽内を洗浄水で満たし被加工物を水没させると共に被加工物の上面に該切削ブレードで被加工物を切削する状態での該チャックテーブルの相対移動方向となる切削方向の上流から下流に向かう洗浄水の流れを該水槽内への洗浄水の吐出によって生じさせる洗浄水ノズルとを備え、
該水槽の底壁の2箇所位置には洗浄水を排出させる排水口が設けられ、一方の該排水口は、該洗浄水ノズルと該切削方向に該チャックテーブルを挟んで反対側に設けられ、もう一方の該排水口は、該チャックテーブルの中心位置で該水槽を90度回転させたときに、回転前に一方の該排出口が配設された位置と同じになる位置に形成され、
該被加工物を水没させた状態で該水槽内の洗浄水に超音波を付与し、切削時に発生する切削屑を浮遊させて被加工物上面を該切削方向に洗浄水を流しながら被加工物の切削を行うことを特徴とする切削装置。
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