CN110682213A - 砂轮修整器 - Google Patents

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Abstract

本发明公开一种砂轮修整器。本发明提供的一种砂轮修整器,包括:金刚笔座,金刚笔座内设置有进水通道和出水通道,使用时可以将管接头安装孔设置管接头以通过柔性管与外部冷却水供水系统连接,将冷却水通入进水通道,使冷却水喷出至金刚笔安装孔内的金刚笔上,实现在利用金刚笔对砂轮进行修整的同时,对金刚笔进行冷却降温,此外,本发明还设置有第一调节塞和第二调节塞,可通过第一调节塞对进水通道直径进行调节,通过第二调节塞对出水通道直径进行调节,从而实现在进水压力不变的情况下,对出水压力进行调节,以及实现对冷却水流量和喷射距离的调节,确保冷却水以水柱形式喷射在金刚修整头上,实现有效冷却。

Description

砂轮修整器
技术领域
本发明涉及加工设备技术领域,具体涉及一种可实现冷却水固定喷射到金刚笔修整头的砂轮修整器。
背景技术
砂轮是磨削加工作业中最为常用的部件。砂轮在长期运行使用后,表面会发生一定程度的磨损,需要对砂轮进行修整。砂轮修整器是对磨床砂轮进行尺寸、形状、几何角度等进行修整的辅助工具。
现有的砂轮修整器通常设置有金刚笔座,在金刚笔座上安装金刚笔,使用时利用金刚笔的笔尖与转动的砂轮相接触,从而实现对砂轮的单点修正。在金刚笔与砂轮摩擦会导致金刚笔尖温度升高,为了保证金刚笔对砂轮的修正效果,需要及时对金刚笔进行冷却。目前对金刚笔冷却的方式多采用额外的冷却装置来实现,将冷却装置的出水口对准金刚笔,向金刚笔进行浇水以实现降温。
然而,在实际的使用过程中,为了调整对砂轮的修正区域,往往需要改变金刚笔的笔尖与砂轮的接触位置以及角度等,这样一来,就需要不断地随之调整冷却装置的出水口所对准的位置,导致对金刚笔的冷却操作十分繁琐。
发明内容
本发明的目的在于提供一种砂轮修整器,以解决现有砂轮修整器在使用时,对金刚笔的冷却操作较为繁琐的问题。
本发明提供一种砂轮修整器,包括:金刚笔座,所述金刚笔座的一端设置有第一堵塞孔,所述第一堵塞孔内设置有第一调节塞,所述金刚笔座的另一端设置有金刚笔安装孔,所述金刚笔座上靠近第一堵塞孔一端的侧壁设置有管接头安装孔;所述金刚笔座内设置有进水通道和出水通道,所述进水通道一端与所述第一堵塞孔连通,所述管接头安装孔与进水通道连通;所述出水通道设置于进水通道另一端的侧部,所述出水通道一端与所述进水通道另一端的侧部连通,所述出水通道另一端贯穿金刚笔座另一端的端面,所述出水通道上设置有第二堵塞孔,所述第二堵塞孔内设置有第二调节塞。
可选的,上述砂轮修整器还包括:驱动进给装置、下滑板、中滑板以及上滑板;所述下滑板与中滑板通过所述驱动进给装置实现砂轮轴向的往复运动,所述中滑板与上滑板通过所述驱动进给装置实现砂轮径向进给运动,所述金刚笔座设置于所述上滑板上。
可选的,所述驱动进给装置为丝杆导轨装置。
可选的,所述管接头安装孔内设置有管接头,所述管接头用于通过柔性管与外部冷却水供水系统连接。
可选的,所述金刚笔安装孔内设置有金刚笔。
可选的,所述出水通道为两个,两个所述出水通道对称设置于所述进水通道的下方两侧。
可选的,所述出水通道的内径小于所述进水通道的内径。
本发明具有以下有益效果:本发明提供的一种砂轮修整器,通过在金刚笔座的内部设置进水通道和出水通道,并在金刚笔座侧部设置管接头安装孔,使用时可以将管接头安装孔设置管接头以通过柔性管与外部冷却水供水系统连接,将冷却水通入进水通道,使冷却水喷出至金刚笔安装孔内的金刚笔上,实现在利用金刚笔对砂轮进行修整的同时,对金刚笔进行冷却降温,此外,本发明还设置有第一调节塞和第二调节塞,可通过第一调节塞对进水通道直径进行调节,通过第二调节塞对出水通道直径进行调节,从而实现在进水压力不变的情况下,对出水压力进行调节,以及实现对冷却水流量和喷射距离的调节,确保冷却水以水柱形式喷射在金刚修整头上,实现有效冷却。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明提供的一种砂轮修整器的金刚笔座立体结构示意图。
图2为本发明提供的一种砂轮修整器的金刚笔座的俯视图。
图3为图2沿B-B方向的剖视图。
图4为图2沿C-C方向的剖视图。
图5为本发明提供的一种砂轮修整器的具体实施例的结构示意图。
图6为图5中的部分结构示意图。
图7为图6沿A-A方向的剖视图。
图8为本发明提供的一种砂轮修整器的端面的示意图。
图示说明:1-驱动进给装置;2-下滑板;3-中滑板;4-上滑板;5-金刚笔座;6-金刚笔;7-管接头;8-第一调节塞;9-第二调节塞;10-砂轮;51-进水通道;52-出水通道;53-金刚笔安装孔;54-第一堵塞孔;55-第二堵塞孔;56-管接头安装孔。
具体实施方式
需要说明的是,在不冲突的情况下,本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本发明。应该指出,以下详细说明都是例示性的,旨在对本申请提供进一步的说明。除非另有指明,本文使用的所有技术和科学术语具有与本申请所属技术领域的普通技术人员通常理解的相同含义。
为了便于描述,在这里可以使用空间相对术语,如“在……之上”、“在……上方”、“在……上表面”、“上面的”等,用来描述如在图中所示的一个器件或特征与其他器件或特征的空间位置关系。应当理解的是,空间相对术语旨在包含除了器件在图中所描述的方位之外的在使用或操作中的不同方位。例如,如果附图中的器件被倒置,则描述为“在其他器件或构造上方”或“在其他器件或构造之上”的器件之后将被定位为“在其他器件或构造下方”或“在其他器件或构造之下”。因而,示例性术语“在……上方”可以包括“在……上方”和“在……下方”两种方位。该器件也可以其他不同方式定位(旋转90度或处于其他方位),并且对这里所使用的空间相对描述作出相应解释。
现在,将参照附图更详细地描述根据本申请的示例性实施方式。然而,这些示例性实施方式可以由多种不同的形式来实施,并且不应当被解释为只限于这里所阐述的实施方式。应当理解的是,提供这些实施方式是为了使得本申请的公开彻底且完整,并且将这些示例性实施方式的构思充分传达给本领域普通技术人员,在附图中,为了清楚起见,扩大了层和区域的厚度,并且使用相同的附图标记表示相同的器件,因而将省略对它们的描述。
请参阅图1至图8,本发明实施例提供一种砂轮修整器,该砂轮修整器具体可以包括驱动进给装置1、下滑板2、中滑板3、上滑板4、金刚笔座5、金刚笔6、管接头7、第一调节塞8以及第二调节塞9,该砂轮修整器用于对砂轮10进行修整。
在本实施例中,下滑板2、中滑板3以及上滑板4由下至上依次设置,驱动进给装置1设置于下滑板2、中滑板3以及上滑板4的一端,下滑板2与中滑板3通过驱动进给装置1实现砂轮10轴向的往复运动,中滑板3与上滑板4通过驱动进给装置1实现砂轮10径向进给运动,驱动进给装置1具体可以是丝杆导轨装置,具体可以包含电机、联轴器、丝杆、导轨、电机座以及丝杆座等结构,以实现对下滑板2、中滑板3以及上滑板4的驱动调节,驱动进给装置1、下滑板2、中滑板3以及上滑板4组成的结构,具体也可以根据现有技术进行设置。
金刚笔座5设置于上滑板4上,金刚笔座5上设置有金刚笔安装孔53,金刚笔安装孔53内设置有金刚笔6,驱动进给装置1带动上滑板4进给,实现金刚笔座5的进给,金刚笔座5与上滑板4在进给运动过程中相对固定,通过金刚笔6对砂轮10进行修整。
在本实施例中,金刚笔座5的一端设置有第一堵塞孔54,第一堵塞孔54内设置有第一调节塞8,金刚笔座5的另一端设置金刚笔安装孔53,金刚笔座5上靠近第一堵塞孔54一端的侧壁设置有管接头安装孔56。金刚笔座5内设置有进水通道51和出水通道52,进水通道51一端与第一堵塞孔54连通,管接头安装孔56与进水通道51连通。管接头安装孔56内设置有管接头7,管接头7用于通过柔性管与外部冷却水供水系统连接,将冷却水经由管接头7输送至进水通道51。可通过调节第一调节塞8伸入第一堵塞孔54的深度,来控制第一调节塞8遮住的管接头7的面积,间接实现对进水通道51直径的调节,控制流入进水通道51的冷却水的量。
出水通道52设置于进水通道51另一端的侧部,出水通道52一端与进水通道51另一端的侧部连通,出水通道52另一端贯穿金刚笔座5另一端的端面,出水通道52上设置有第二堵塞孔55,第二堵塞孔55内设置有第二调节塞9。出水通道52的数量具有可以是两个,两个出水通道52对称设置于进水通道51的下方两侧,并且出水通道52的内径小于进水通道51的内径。进水通道51与金刚笔6同轴,出水通道52可以与进水通道平行或成一定角度,保证出水通道52喷出的冷却水可以浇到金刚笔6上需要冷却的区域即可,以便在利用金刚笔6对砂轮10进行修整的同时,对金刚笔进行冷却降温。可通过第二调节塞9对出水通道52的可通过水流量进行调节,从而实现对冷却水流量和喷射距离的调节,确保冷却水以水柱形式喷射在金刚笔6的修整头上,实现有效冷却。
综上所述,本发明提供的一种砂轮修整器,使用时可以将管接头安装孔56设置管接头7以通过柔性管与外部冷却水供水系统连接,将冷却水通入进水通道51,使冷却水喷出至金刚笔安装孔53内的金刚笔6上,实现在利用金刚笔6对砂轮10进行修整的同时,对金刚笔6进行冷却降温,可通过第一调节塞8和第二调节塞9进行管径调节,从而实现在进水压力不变的情况下,对出水压力进行调节,以及实现对冷却水流量和喷射距离进行调节,确保冷却水以水柱形式喷射在金刚笔6的修整头上,实现有效冷却,在修整砂轮10的过程中,无需在随着金刚笔6位置的变换而反复调整冷却装置的出水口,显著提升工作效率。
需要注意的是,这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式,而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的,除非上下文另外明确指出,否则单数形式也意图包括复数形式,此外,还应当理解的是,当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时,其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。
需要说明的是,本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象,而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换,以便这里描述的本申请的实施方式例如能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。
以上所述仅为本发明的优选实施例而已,并不用于限制本发明,对于本领域的技术人员来说,本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种砂轮修整器,其特征在于,包括:金刚笔座(5),所述金刚笔座(5)的一端设置有第一堵塞孔(54),所述第一堵塞孔(54)内设置有第一调节塞(8),所述金刚笔座(5)的另一端设置有金刚笔安装孔(53),所述金刚笔座(5)上靠近第一堵塞孔(54)一端的侧壁设置有管接头安装孔(56);
所述金刚笔座(5)内设置有进水通道(51)和出水通道(52),所述进水通道(51)一端与所述第一堵塞孔(54)连通,所述管接头安装孔(56)与进水通道(51)连通;
所述出水通道(52)设置于进水通道(51)另一端的侧部,所述出水通道(52)一端与所述进水通道(51)另一端的侧部连通,所述出水通道(52)另一端贯穿金刚笔座(5)另一端的端面,所述出水通道(52)上设置有第二堵塞孔(55),所述第二堵塞孔(55)内设置有第二调节塞(9)。
2.根据权利要求1所述的砂轮修整器,其特征在于,所述砂轮修整器还包括:驱动进给装置(1)、下滑板(2)、中滑板(3)以及上滑板(4);所述下滑板(2)与中滑板(3)通过所述驱动进给装置(1)实现砂轮(10)轴向的往复运动,所述中滑板(3)与上滑板(4)通过所述驱动进给装置(1)实现砂轮(10)径向进给运动,所述金刚笔座(5)设置于所述上滑板(4)上。
3.根据权利要求2所述的砂轮修整器,其特征在于,所述驱动进给装置(1)为丝杆导轨装置。
4.根据权利要求1所述的砂轮修整器,其特征在于,所述管接头安装孔(56)内设置有管接头(7),所述管接头(7)用于通过柔性管与外部冷却水供水系统连接。
5.根据权利要求1所述的砂轮修整器,其特征在于,所述金刚笔安装孔(53)内设置有金刚笔(6)。
6.根据权利要求1所述的砂轮修整器,其特征在于,所述出水通道(52)为两个,两个所述出水通道(52)对称设置于所述进水通道(51)的下方两侧。
7.根据权利要求6所述的砂轮修整器,其特征在于,所述出水通道(52)的内径小于所述进水通道(51)的内径。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN117103125A (zh) * 2023-09-19 2023-11-24 广东豪特曼机床股份有限公司 一种多段复合轮廓加工用磨削加工设备及其磨削加工系统

Citations (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1216612A (en) * 1968-02-28 1970-12-23 Lindner Gmbh Herbert Method and apparatus for dressing grinding wheels
US4091792A (en) * 1977-03-25 1978-05-30 Cincinnati Milacron Inc. Grinding wheel dresser unit with improved heat transferring capability
CN1395031A (zh) * 2001-07-04 2003-02-05 邦塔兹中心股份有限公司 活塞冷却喷嘴
CN202803096U (zh) * 2012-05-25 2013-03-20 中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司 一种水冷空气雾化喷枪
CN203696764U (zh) * 2014-03-10 2014-07-09 河北富恒轴承科技开发有限公司 圆锥滚子无心磨床的修整器
CN103949977A (zh) * 2014-05-19 2014-07-30 无锡市飞象精密机床制造有限公司 砂轮修整器
CN203973393U (zh) * 2014-07-09 2014-12-03 袁泽 无心磨束流冷却砂轮修整机构
DE202015103465U1 (de) * 2015-07-01 2015-07-14 Shin-Yain Industrial Co., Ltd. Mit Wasserzufuhrstruktur versehenes Aufbohrwerkzeug für Werkstücke mit kleinem Durchmesser
CN205673488U (zh) * 2016-06-08 2016-11-09 新昌县大市聚镇职业中学 冷却式筒体缩口压轮装置
CN205852539U (zh) * 2016-07-06 2017-01-04 宁波民盛机械有限公司 一种磨刀机的冷却装置
CN205968651U (zh) * 2016-08-26 2017-02-22 威海市银河光电设备有限公司 一种研磨轮修整装置
CN206622638U (zh) * 2017-02-24 2017-11-10 杭州超尔切削工具有限公司 一种高压冷却液内孔车刀
CN207086936U (zh) * 2017-09-04 2018-03-13 马鞍山市凤天合金刀模有限公司 一种具有自冷却降温结构的合金刀具
US20180272442A1 (en) * 2017-03-27 2018-09-27 Kennametal Inc. Modular rotary tool and modular tool system
CN109158624A (zh) * 2018-11-02 2019-01-08 哈尔滨理工大学 一种应用于大螺距螺杆加工的冷却减振刀杆
CN210819124U (zh) * 2019-11-13 2020-06-23 浙江方圆机床制造有限公司 砂轮修整器

Patent Citations (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1216612A (en) * 1968-02-28 1970-12-23 Lindner Gmbh Herbert Method and apparatus for dressing grinding wheels
US4091792A (en) * 1977-03-25 1978-05-30 Cincinnati Milacron Inc. Grinding wheel dresser unit with improved heat transferring capability
CN1395031A (zh) * 2001-07-04 2003-02-05 邦塔兹中心股份有限公司 活塞冷却喷嘴
CN202803096U (zh) * 2012-05-25 2013-03-20 中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司 一种水冷空气雾化喷枪
CN203696764U (zh) * 2014-03-10 2014-07-09 河北富恒轴承科技开发有限公司 圆锥滚子无心磨床的修整器
CN103949977A (zh) * 2014-05-19 2014-07-30 无锡市飞象精密机床制造有限公司 砂轮修整器
CN203973393U (zh) * 2014-07-09 2014-12-03 袁泽 无心磨束流冷却砂轮修整机构
DE202015103465U1 (de) * 2015-07-01 2015-07-14 Shin-Yain Industrial Co., Ltd. Mit Wasserzufuhrstruktur versehenes Aufbohrwerkzeug für Werkstücke mit kleinem Durchmesser
CN205673488U (zh) * 2016-06-08 2016-11-09 新昌县大市聚镇职业中学 冷却式筒体缩口压轮装置
CN205852539U (zh) * 2016-07-06 2017-01-04 宁波民盛机械有限公司 一种磨刀机的冷却装置
CN205968651U (zh) * 2016-08-26 2017-02-22 威海市银河光电设备有限公司 一种研磨轮修整装置
CN206622638U (zh) * 2017-02-24 2017-11-10 杭州超尔切削工具有限公司 一种高压冷却液内孔车刀
US20180272442A1 (en) * 2017-03-27 2018-09-27 Kennametal Inc. Modular rotary tool and modular tool system
CN207086936U (zh) * 2017-09-04 2018-03-13 马鞍山市凤天合金刀模有限公司 一种具有自冷却降温结构的合金刀具
CN109158624A (zh) * 2018-11-02 2019-01-08 哈尔滨理工大学 一种应用于大螺距螺杆加工的冷却减振刀杆
CN210819124U (zh) * 2019-11-13 2020-06-23 浙江方圆机床制造有限公司 砂轮修整器

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN117103125A (zh) * 2023-09-19 2023-11-24 广东豪特曼机床股份有限公司 一种多段复合轮廓加工用磨削加工设备及其磨削加工系统
CN117103125B (zh) * 2023-09-19 2024-01-19 广东豪特曼机床股份有限公司 一种多段复合轮廓加工用磨削加工设备及其磨削加工系统

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