JP3075393B2 - ワイヤソーの熱交換機監視方法 - Google Patents
ワイヤソーの熱交換機監視方法Info
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D1/00—Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor
- B28D1/02—Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor by sawing
- B28D1/025—Use, recovery or regeneration of abrasive mediums
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はワイヤソーの熱交換
機監視方法に係り、特に被加工物を走行するワイヤ列で
多数のウェーハに切断するワイヤソーの熱交換機監視方
法に関する。
機監視方法に係り、特に被加工物を走行するワイヤ列で
多数のウェーハに切断するワイヤソーの熱交換機監視方
法に関する。
【０００２】
【従来の技術】ワイヤソーでは、一度使用した加工液
（スラリ）を再び回収し、循環供給しているが、この加
工液は切断に際して熱を吸収するため、回収時には高温
度となっている。この高温状態にある加工液を再び切断
に用いると、ワイヤ列を形成する溝付ローラの熱変形を
もたらし、ウェーハの加工精度を低下させるといった問
題がある。このため、加工液は熱交換機に循環供給して
温度を所定温度にコントロールしている。
（スラリ）を再び回収し、循環供給しているが、この加
工液は切断に際して熱を吸収するため、回収時には高温
度となっている。この高温状態にある加工液を再び切断
に用いると、ワイヤ列を形成する溝付ローラの熱変形を
もたらし、ウェーハの加工精度を低下させるといった問
題がある。このため、加工液は熱交換機に循環供給して
温度を所定温度にコントロールしている。
【０００３】ところで、このワイヤソーで使用する加工
液には砥粒が含有されているため、熱交換機は、長期使
用すると、その加工液流通用のチューブ内に砥粒が堆積
し、能力が低下してくる。このため、熱交換機は、ウェ
ーハ精度の状態、運転時間等から、清掃時期を定め、定
期的にチューブ内の洗浄をしている。
液には砥粒が含有されているため、熱交換機は、長期使
用すると、その加工液流通用のチューブ内に砥粒が堆積
し、能力が低下してくる。このため、熱交換機は、ウェ
ーハ精度の状態、運転時間等から、清掃時期を定め、定
期的にチューブ内の洗浄をしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような方法では、適正な清掃時期を把握することができ
ず、清掃期間が短すぎて生産効率が低下したり、長すぎ
てウェーハ精度が低下するといった問題が生じていた。
また、上記方法では、熱交換機自体の寿命であるといっ
た、熱交換機自体の能力の限界に近い場合が検知できな
いため、異常となることがある。
ような方法では、適正な清掃時期を把握することができ
ず、清掃期間が短すぎて生産効率が低下したり、長すぎ
てウェーハ精度が低下するといった問題が生じていた。
また、上記方法では、熱交換機自体の寿命であるといっ
た、熱交換機自体の能力の限界に近い場合が検知できな
いため、異常となることがある。
【０００５】本発明は、このような事情を鑑みてなされ
たもので、熱交換機の汚れ状態を確実に検出することが
できるワイヤソーの熱交換機監視方法を提供することを
目的とする。
たもので、熱交換機の汚れ状態を確実に検出することが
できるワイヤソーの熱交換機監視方法を提供することを
目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、ワイヤ列と被加工物との接触部に循環供
給される加工液を熱交換機に循環供給し、その加工液の
温度を所定温度にコントロールしながら前記被加工物の
切断を行うワイヤソーにおいて、前記熱交換機の能力が
限界になったときの加工液の熱交換前と熱交換後の温度
差を基準値として定め、この基準値と、前記熱交換機に
所定温度の加工液を流し、その熱交換機に流した加工液
の熱交換前と熱交換後の温度差の測定値と、とを比較す
ることにより、前記熱交換機の能力を監視することを特
徴とする。
成するために、ワイヤ列と被加工物との接触部に循環供
給される加工液を熱交換機に循環供給し、その加工液の
温度を所定温度にコントロールしながら前記被加工物の
切断を行うワイヤソーにおいて、前記熱交換機の能力が
限界になったときの加工液の熱交換前と熱交換後の温度
差を基準値として定め、この基準値と、前記熱交換機に
所定温度の加工液を流し、その熱交換機に流した加工液
の熱交換前と熱交換後の温度差の測定値と、とを比較す
ることにより、前記熱交換機の能力を監視することを特
徴とする。
【０００７】本発明は、所定温度、所定流量の加工液を
熱交換機に通したときの、加工液の温度変化から熱交換
機の能力を判別する。すなわち、熱交換機が正常な状態
であるならば、加工液は熱交換後一定温度に冷却される
が、チューブ内に砥粒等が堆積している等、熱交換機に
異常が発生している場合は、熱交換される加工液の温度
は、正常な状態よりも高くなる。このことに基づき、熱
交換機による熱交換の前後の加工液の温度を測定し、そ
の温度差が、あらかじめ設定した値よりも低い場合は、
熱交換機の異常と判断し、点検、清掃時期と判断する。
これにより、熱交換機の適正な点検、清掃時期を判断す
ることができる。
熱交換機に通したときの、加工液の温度変化から熱交換
機の能力を判別する。すなわち、熱交換機が正常な状態
であるならば、加工液は熱交換後一定温度に冷却される
が、チューブ内に砥粒等が堆積している等、熱交換機に
異常が発生している場合は、熱交換される加工液の温度
は、正常な状態よりも高くなる。このことに基づき、熱
交換機による熱交換の前後の加工液の温度を測定し、そ
の温度差が、あらかじめ設定した値よりも低い場合は、
熱交換機の異常と判断し、点検、清掃時期と判断する。
これにより、熱交換機の適正な点検、清掃時期を判断す
ることができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るワイヤソーの熱交換機監視方法の好ましい実施例につ
いて詳説する。図１は、本発明に係るワイヤソーの熱交
換機監視方法が適用されたワイヤソー１０の全体構成図
である。
るワイヤソーの熱交換機監視方法の好ましい実施例につ
いて詳説する。図１は、本発明に係るワイヤソーの熱交
換機監視方法が適用されたワイヤソー１０の全体構成図
である。
【０００９】同図に示すように、ワイヤリール１２に巻
かれたワイヤ１４は、ガイドローラ１６、１６、…で形
成されるワイヤ走行路を通って３本の溝付きローラ１８
Ａ、１８Ｂ、１８Ｃに巻き掛けられる。この３本の溝付
きローラ１８Ａ〜１８Ｃの外周には、多数の溝が一定ピ
ッチで形成されており、該溝に前記ワイヤ１４を順次巻
きかけてゆくことにより、その上面に水平なワイヤ列２
０が形成される。
かれたワイヤ１４は、ガイドローラ１６、１６、…で形
成されるワイヤ走行路を通って３本の溝付きローラ１８
Ａ、１８Ｂ、１８Ｃに巻き掛けられる。この３本の溝付
きローラ１８Ａ〜１８Ｃの外周には、多数の溝が一定ピ
ッチで形成されており、該溝に前記ワイヤ１４を順次巻
きかけてゆくことにより、その上面に水平なワイヤ列２
０が形成される。
【００１０】前記溝付ローラ１８Ａ〜１８Ｃに巻き掛け
られたワイヤ１４は、溝付ローラ１８Ａ〜１８Ｃを挟ん
で左右対称に形成された他方側のワイヤ走行路を通っ
て、図示しない他方側のワイヤリールに巻き取られる。
ここで、前記一対のワイヤリール１２及び溝付ローラ１
８Ｃには、それぞれモータ（図示せず）が連結されてお
り、このモータを駆動することにより、前記ワイヤ１４
は一対のワイヤリール１２間を高速走行する。
られたワイヤ１４は、溝付ローラ１８Ａ〜１８Ｃを挟ん
で左右対称に形成された他方側のワイヤ走行路を通っ
て、図示しない他方側のワイヤリールに巻き取られる。
ここで、前記一対のワイヤリール１２及び溝付ローラ１
８Ｃには、それぞれモータ（図示せず）が連結されてお
り、このモータを駆動することにより、前記ワイヤ１４
は一対のワイヤリール１２間を高速走行する。
【００１１】前記ワイヤ列２０の両側に形成されたワイ
ヤ走行路には、それぞれワイヤ案内装置２２、ダンサロ
ーラ２４及びワイヤ洗浄装置２６が配設されている（一
方側のみ図示）。ワイヤ案内装置２２は、両ワイヤリー
ルの近傍に設置され、繰り出し側では、ワイヤ１４がワ
イヤリール１２から一定ピッチで繰り出されるようにガ
イドし、巻き取り側では、ワイヤ１４がワイヤリール１
２に一定ピッチで巻き取られるようにガイドする。ま
た、ダンサローラ２４は、走行するワイヤ１４に一定の
張力を付与し、ワイヤ洗浄装置２６は、加工時に付着し
たスラリ（加工液）をワイヤ１４から除去する。
ヤ走行路には、それぞれワイヤ案内装置２２、ダンサロ
ーラ２４及びワイヤ洗浄装置２６が配設されている（一
方側のみ図示）。ワイヤ案内装置２２は、両ワイヤリー
ルの近傍に設置され、繰り出し側では、ワイヤ１４がワ
イヤリール１２から一定ピッチで繰り出されるようにガ
イドし、巻き取り側では、ワイヤ１４がワイヤリール１
２に一定ピッチで巻き取られるようにガイドする。ま
た、ダンサローラ２４は、走行するワイヤ１４に一定の
張力を付与し、ワイヤ洗浄装置２６は、加工時に付着し
たスラリ（加工液）をワイヤ１４から除去する。
【００１２】前記ワイヤ列２０の上方には、ワイヤ列２
０に対して垂直に昇降移動するワークフィードテーブル
２８が設置されている。このワークフィードテーブル２
８には、チルチング装置３０が備えられており、被加工
物であるインゴット３２は、このチルチング装置３０の
下部に保持されて、その傾斜角度を調整される。以上よ
うに構成されたワイヤソー１０において、インゴット３
２の切断は、次のように行う。
０に対して垂直に昇降移動するワークフィードテーブル
２８が設置されている。このワークフィードテーブル２
８には、チルチング装置３０が備えられており、被加工
物であるインゴット３２は、このチルチング装置３０の
下部に保持されて、その傾斜角度を調整される。以上よ
うに構成されたワイヤソー１０において、インゴット３
２の切断は、次のように行う。
【００１３】まず、インゴット３２をチルチング装置３
０に装着し、所定の結晶方位となるように、インゴット
３２を傾斜させる。そして、ワークフィードテーブル２
８を駆動してインゴット３２を降下させ、インゴット２
を高速走行するワイヤ列２０にインゴット３２を押し当
てる。この際、図２に示すように、前記ワイヤ列２０に
は、スラリタンク３４から供給されたスラリ（加工液）
３６がノズル３８、３８を介して噴射され、インゴット
３２との接触部に供給される。インゴット３２は、この
スラリ３６中に含有される砥粒のラッピング作用でウェ
ーハに切断される。
０に装着し、所定の結晶方位となるように、インゴット
３２を傾斜させる。そして、ワークフィードテーブル２
８を駆動してインゴット３２を降下させ、インゴット２
を高速走行するワイヤ列２０にインゴット３２を押し当
てる。この際、図２に示すように、前記ワイヤ列２０に
は、スラリタンク３４から供給されたスラリ（加工液）
３６がノズル３８、３８を介して噴射され、インゴット
３２との接触部に供給される。インゴット３２は、この
スラリ３６中に含有される砥粒のラッピング作用でウェ
ーハに切断される。
【００１４】供給されたスラリ３６は、ワイヤ列２０の
下方に設置されたオイルパン４０を介して前記スラリタ
ンク３４に回収される。回収されたスラリは、不足分を
補給されながら循環利用される。この際、スラリ３６は
加工時に発生する熱を吸熱して温度上昇するので、スラ
リタンク３４内のスラリ３６は、熱交換機４２に通して
一定温度に冷却する。
下方に設置されたオイルパン４０を介して前記スラリタ
ンク３４に回収される。回収されたスラリは、不足分を
補給されながら循環利用される。この際、スラリ３６は
加工時に発生する熱を吸熱して温度上昇するので、スラ
リタンク３４内のスラリ３６は、熱交換機４２に通して
一定温度に冷却する。
【００１５】前述したように、前記熱交換機４２は、長
期間使用すると、その内部に設置されたスラリ流通用の
チューブにスラリ３６中の砥粒が堆積し、熱交換能力が
低下する。このため、定期的に洗浄する必要が生じる
が、この熱交換機４２の洗浄時期を、次の説明する本発
明に係る熱交換機監視方法で判断する。図２に示すよう
に、前記スラリタンク３４から熱交換機４２にスラリ３
６を供給する供給ライン４４には、該供給ライン４４中
を流れるスラリ３６の温度を検出する供給側温度センサ
４６が設置されている。一方、前記熱交換機４２に通し
たスラリ３６を前記スラリタンク３４に戻す排出ライン
４８には、該排出ライン４８中を流れるスラリ３６の温
度を検出する排出側温度センサ５０が設置されている。
期間使用すると、その内部に設置されたスラリ流通用の
チューブにスラリ３６中の砥粒が堆積し、熱交換能力が
低下する。このため、定期的に洗浄する必要が生じる
が、この熱交換機４２の洗浄時期を、次の説明する本発
明に係る熱交換機監視方法で判断する。図２に示すよう
に、前記スラリタンク３４から熱交換機４２にスラリ３
６を供給する供給ライン４４には、該供給ライン４４中
を流れるスラリ３６の温度を検出する供給側温度センサ
４６が設置されている。一方、前記熱交換機４２に通し
たスラリ３６を前記スラリタンク３４に戻す排出ライン
４８には、該排出ライン４８中を流れるスラリ３６の温
度を検出する排出側温度センサ５０が設置されている。
【００１６】この供給側温度センサ４６及び排出側温度
センサ５０の検出値は、それぞれ制御装置５２に出力さ
れ、該制御装置５２はこの２つの温度センサの検出値か
ら、熱交換機４２の能力を判断し、その結果をモニター
５４に出力する。また、この制御装置５２は、前記スラ
リタンク３４から熱交換機４２にスラリ３６を供給する
供給ポンプ５６及び前記スラリタンク３４内に貯留され
たスラリ３６を加熱するヒータ５８の駆動制御も同時に
行っている。このうち、前記供給ポンプ５６は、前記供
給ライン４４に設置された流量計６０の検出値に基づい
て駆動制御をされ、前記ヒータ５８は、前記スラリタン
ク３４内に設置された温度センサ６２の検出値に基づい
て駆動制御される。
センサ５０の検出値は、それぞれ制御装置５２に出力さ
れ、該制御装置５２はこの２つの温度センサの検出値か
ら、熱交換機４２の能力を判断し、その結果をモニター
５４に出力する。また、この制御装置５２は、前記スラ
リタンク３４から熱交換機４２にスラリ３６を供給する
供給ポンプ５６及び前記スラリタンク３４内に貯留され
たスラリ３６を加熱するヒータ５８の駆動制御も同時に
行っている。このうち、前記供給ポンプ５６は、前記供
給ライン４４に設置された流量計６０の検出値に基づい
て駆動制御をされ、前記ヒータ５８は、前記スラリタン
ク３４内に設置された温度センサ６２の検出値に基づい
て駆動制御される。
【００１７】前記のごとく構成された本発明に係るワイ
ヤソーの熱交換機監視方法の実施の形態の作用は次の通
りである。以下の測定は、インゴット３２の切断前に行
い、また、新たなインゴット３２を切断するたびに行
う。まず、スラリタンク３４内に貯留されたスラリ３６
の温度を温度センサ６２で検出する。検出結果は、制御
装置５２に出力され、該制御装置５２は、この温度セン
サ６２の検出結果に基づきスラリタンク３４内に貯留さ
れたスラリ３６の温度の調整を行う。すなわち、スラリ
タンク３４内のスラリ３６の温度が、あらかじめ設定さ
れた所定の温度となるように、ヒータ５８を駆動する。
ヤソーの熱交換機監視方法の実施の形態の作用は次の通
りである。以下の測定は、インゴット３２の切断前に行
い、また、新たなインゴット３２を切断するたびに行
う。まず、スラリタンク３４内に貯留されたスラリ３６
の温度を温度センサ６２で検出する。検出結果は、制御
装置５２に出力され、該制御装置５２は、この温度セン
サ６２の検出結果に基づきスラリタンク３４内に貯留さ
れたスラリ３６の温度の調整を行う。すなわち、スラリ
タンク３４内のスラリ３６の温度が、あらかじめ設定さ
れた所定の温度となるように、ヒータ５８を駆動する。
【００１８】スラリタンク３４内のスラリ３６の温度が
所定温度となったところで、制御装置５２はポンプ５６
を駆動し、スラリタンク３４内に貯留されたスラリ３６
を熱交換機４２内に流通させる。このとき、前記制御装
置５２は、熱交換機４２に流入されるスラリ３６の流量
をあらかじめ設定された所定の流量となるように前記ポ
ンプ５６を駆動制御する。すなわち、供給ライン４４を
流れるスラリ３６の流量を流量計６０で検出し、その検
出値があらかじめ設定された所定の流量となるように前
記ポンプ５６を駆動制御する。
所定温度となったところで、制御装置５２はポンプ５６
を駆動し、スラリタンク３４内に貯留されたスラリ３６
を熱交換機４２内に流通させる。このとき、前記制御装
置５２は、熱交換機４２に流入されるスラリ３６の流量
をあらかじめ設定された所定の流量となるように前記ポ
ンプ５６を駆動制御する。すなわち、供給ライン４４を
流れるスラリ３６の流量を流量計６０で検出し、その検
出値があらかじめ設定された所定の流量となるように前
記ポンプ５６を駆動制御する。
【００１９】そして、前記熱交換機４２内を流れるスラ
リ３６の流量が所定の流量となったところで、供給側温
度センサ４６と排出側温度センサ５０で、前記供給ライ
ン４４内を流れるスラリ３６の温度と、前記排出ライン
４８内を流れるスラリ３６の温度を検出する。前記供給
側温度センサ４６及び排出側温度センサ５０で検出され
た検出値は、それぞれ制御装置５２に出力される。制御
装置５２は、この２つのセンサで検出された熱交換機４
２の上流側と下流側の温度の温度差を算出し、その算出
した値をあらかじめ設定された基準値と比較する。
リ３６の流量が所定の流量となったところで、供給側温
度センサ４６と排出側温度センサ５０で、前記供給ライ
ン４４内を流れるスラリ３６の温度と、前記排出ライン
４８内を流れるスラリ３６の温度を検出する。前記供給
側温度センサ４６及び排出側温度センサ５０で検出され
た検出値は、それぞれ制御装置５２に出力される。制御
装置５２は、この２つのセンサで検出された熱交換機４
２の上流側と下流側の温度の温度差を算出し、その算出
した値をあらかじめ設定された基準値と比較する。
【００２０】この基準値は、過去のデータや経験値に基
づいて設定し、熱交換機４２の能力の限界について定め
る。すなわち、熱交換機４２は使用を重ねることによ
り、内部のチューブに砥粒が堆積してゆくため、徐々に
能力が低下する。したがって、供給ライン４４を流れる
スラリ３６と排出ライン４８を流れるスラリ３６の温度
差も、熱交換機４２の使用時間に比例して小さくなる。
づいて設定し、熱交換機４２の能力の限界について定め
る。すなわち、熱交換機４２は使用を重ねることによ
り、内部のチューブに砥粒が堆積してゆくため、徐々に
能力が低下する。したがって、供給ライン４４を流れる
スラリ３６と排出ライン４８を流れるスラリ３６の温度
差も、熱交換機４２の使用時間に比例して小さくなる。
【００２１】このことから、熱交換機４２の能力が限界
になったときの供給ライン４４を流れるスラリ３６と排
出ライン４８を流れるスラリ３６の温度差を基準値とし
て定めておけば、以下、この基準値と測定値とを比較す
ることにより、熱交換機４２の能力の限界を知ることが
できる。たとえば、測定した温度差と基準値とを比較し
て、測定温度差の方が大きければ、熱交換機４２は、ま
だ使用可能であると判断することができ、基準値よりも
測定温度差の方が小さければ、熱交換機４２は能力の限
界であると判断することができる。
になったときの供給ライン４４を流れるスラリ３６と排
出ライン４８を流れるスラリ３６の温度差を基準値とし
て定めておけば、以下、この基準値と測定値とを比較す
ることにより、熱交換機４２の能力の限界を知ることが
できる。たとえば、測定した温度差と基準値とを比較し
て、測定温度差の方が大きければ、熱交換機４２は、ま
だ使用可能であると判断することができ、基準値よりも
測定温度差の方が小さければ、熱交換機４２は能力の限
界であると判断することができる。
【００２２】この判断結果はモニター５４に表示され、
オペレータは、このモニター５４の表示から、熱交換機
４２の能力を判断する。そして、この結果、熱交換機４
２の能力が限界に達している場合は、切断を中止して、
熱交換機４２の清掃又は交換を行う。このように、本実
施の形態の熱交換機監視方法によれば、正確に熱交換機
４２の能力を把握することができ、適正な清掃、点検時
期を知ることができる。これにより、余分な保守作業を
行う必要がなくなり、ワイヤソー１０の稼働効率が向上
する。
オペレータは、このモニター５４の表示から、熱交換機
４２の能力を判断する。そして、この結果、熱交換機４
２の能力が限界に達している場合は、切断を中止して、
熱交換機４２の清掃又は交換を行う。このように、本実
施の形態の熱交換機監視方法によれば、正確に熱交換機
４２の能力を把握することができ、適正な清掃、点検時
期を知ることができる。これにより、余分な保守作業を
行う必要がなくなり、ワイヤソー１０の稼働効率が向上
する。
【００２３】また、熱交換機４２を常に正常な状態で運
転させることができるので、スラリ３６の温度コントロ
ールが安定し、切断されるウェーハの精度も安定する。
なお、本実施の形態では、測定開始前にあらかじめスラ
リ３６を所定温度に設定し、その所定温度のスラリ３６
を熱交換機４２に所定流量通して、その熱交換の前後の
温度差から、熱交換機４２の能力を判断していたが、次
の方法で判断してもよい。
転させることができるので、スラリ３６の温度コントロ
ールが安定し、切断されるウェーハの精度も安定する。
なお、本実施の形態では、測定開始前にあらかじめスラ
リ３６を所定温度に設定し、その所定温度のスラリ３６
を熱交換機４２に所定流量通して、その熱交換の前後の
温度差から、熱交換機４２の能力を判断していたが、次
の方法で判断してもよい。
【００２４】すなわち、各入力温度に対する出力温度の
基準値をあらかじめ設定しておき、出力温度が基準値よ
りも高くなった場合を熱交換機４２の能力の限界と判断
する。これにより、スラリ３６の温度を所定温度に設定
するという手間が省け、迅速な検出が可能になる。な
お、この際、制御装置５２には、各入力温度に対する出
力温度の基準値をあらかじめ設定しておく。例えば、入
力温度０．１℃間隔ごとの出力温度の基準値を設定して
おく。
基準値をあらかじめ設定しておき、出力温度が基準値よ
りも高くなった場合を熱交換機４２の能力の限界と判断
する。これにより、スラリ３６の温度を所定温度に設定
するという手間が省け、迅速な検出が可能になる。な
お、この際、制御装置５２には、各入力温度に対する出
力温度の基準値をあらかじめ設定しておく。例えば、入
力温度０．１℃間隔ごとの出力温度の基準値を設定して
おく。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
熱交換機の能力が限界になったときの加工液の熱交換前
と熱交換後の温度差を基準値として定め、この基準値
と、前記熱交換機に所定温度の加工液を流し、その熱交
換機に流した加工液の熱交換前と熱交換後の温度差の測
定値と、とを比較することにより、正確に熱交換機の能
力を把握することができ、適正な清掃、点検時期を知る
ことができる。これにより、余分な保守作業を行う必要
がなくなり、ワイヤソーの稼働効率が向上する。また、
熱交換機を常に正常な状態で運転させることができるの
で、加工液の温度コントロールが安定し、切断されるウ
ェーハの精度も安定する。
熱交換機の能力が限界になったときの加工液の熱交換前
と熱交換後の温度差を基準値として定め、この基準値
と、前記熱交換機に所定温度の加工液を流し、その熱交
換機に流した加工液の熱交換前と熱交換後の温度差の測
定値と、とを比較することにより、正確に熱交換機の能
力を把握することができ、適正な清掃、点検時期を知る
ことができる。これにより、余分な保守作業を行う必要
がなくなり、ワイヤソーの稼働効率が向上する。また、
熱交換機を常に正常な状態で運転させることができるの
で、加工液の温度コントロールが安定し、切断されるウ
ェーハの精度も安定する。
【図１】ワイヤソーの全体構成図
【図２】本発明に係るワイヤソーの熱交換機監視方法の
実施例のブロック図
実施例のブロック図
１０…ワイヤソー １２…ワイヤリール １４…ワイヤ １８Ａ〜１８Ｃ…溝付ローラ ２０…ワイヤ列 ３２…インゴット ３４…スラリタンク ３６…スラリ（加工液） ４２…熱交換機 ４６…供給側温度センサ ５０…排出側温度センサ ５２…制御装置 ６０…流量計
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B28D 7/02 B24B 27/06 B24B 57/00 B23Q 11/10 B23Q 11/14 B28F 27/00 511
Claims (1)
- 【請求項１】 ワイヤ列と被加工物との接触部に循環供
給される加工液を熱交換機に循環供給し、その加工液の
温度を所定温度にコントロールしながら前記被加工物の
切断を行うワイヤソーにおいて、前記熱交換機の能力が限界になったときの加工液の熱交
換前と熱交換後の温度差を基準値として定め、この基準
値と、 前記熱交換機に所定温度の加工液を流し、その熱
交換機に流した加工液の熱交換前と熱交換後の温度差の
測定値と、とを比較することにより、前記熱交換機の能
力を監視することを特徴とするワイヤソーの熱交換機監
視方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24320996A JP3075393B2 (ja) | 1996-09-13 | 1996-09-13 | ワイヤソーの熱交換機監視方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24320996A JP3075393B2 (ja) | 1996-09-13 | 1996-09-13 | ワイヤソーの熱交換機監視方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1086144A JPH1086144A (ja) | 1998-04-07 |
| JP3075393B2 true JP3075393B2 (ja) | 2000-08-14 |
Family
ID=17100458
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24320996A Expired - Fee Related JP3075393B2 (ja) | 1996-09-13 | 1996-09-13 | ワイヤソーの熱交換機監視方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3075393B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102482041B1 (ko) * | 2021-04-13 | 2022-12-26 | 부산대학교 산학협력단 | 회전과 진동운동의 조합을 이용하여 왕복 직선운동하는 결정 절단기 |
-
1996
- 1996-09-13 JP JP24320996A patent/JP3075393B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH1086144A (ja) | 1998-04-07 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |