JP3106294B2 - ワイヤソーのワイヤ断線検出装置 - Google Patents
ワイヤソーのワイヤ断線検出装置Info
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- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B27/00—Other grinding machines or devices
- B24B27/06—Grinders for cutting-off
-
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- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- B23D57/0007—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00 using saw wires
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- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はワイヤソーのワイヤ
断線検出装置に係り、特にシリコン、ガラス、セラミッ
クス等の脆性材料を切断するワイヤソーのワイヤ断線検
出装置に関する。
断線検出装置に係り、特にシリコン、ガラス、セラミッ
クス等の脆性材料を切断するワイヤソーのワイヤ断線検
出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ワイヤソーのワイヤ断線検出方法として
は、走行するワイヤに一定の電圧をかけ、その電圧値の
降下を検出することにより、ワイヤの断線を検出する方
法が知られている。
は、走行するワイヤに一定の電圧をかけ、その電圧値の
降下を検出することにより、ワイヤの断線を検出する方
法が知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記電
気的な断線検出方法では、水溶性スラリ等の導電性の高
いスラリを用いて切断するワイヤソーに適用すると、ス
ラリが電気を通してしまうため、誤動作を起こしやす
く、また、検出が遅れるという欠点がある。本発明は、
このような事情を鑑みてなされたもので、導電性の高い
スラリを用いて切断するワイヤソーにおいては、ワイヤ
の断線を確実に検出することができ、また、導電性の低
いスラリを用いて切断するワイヤソーにおいては、迅速
にワイヤの断線を検出することができるワイヤソーのワ
イヤ断線検出装置を提供することを目的とする。
気的な断線検出方法では、水溶性スラリ等の導電性の高
いスラリを用いて切断するワイヤソーに適用すると、ス
ラリが電気を通してしまうため、誤動作を起こしやす
く、また、検出が遅れるという欠点がある。本発明は、
このような事情を鑑みてなされたもので、導電性の高い
スラリを用いて切断するワイヤソーにおいては、ワイヤ
の断線を確実に検出することができ、また、導電性の低
いスラリを用いて切断するワイヤソーにおいては、迅速
にワイヤの断線を検出することができるワイヤソーのワ
イヤ断線検出装置を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、一対のワイヤリール間を走行するワイヤ
を複数個の溝付ローラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、
該ワイヤ列に加工液を供給しながら被加工物を押しつけ
ることにより、該被加工物を多数のウェーハに切断する
ワイヤソーにおいて、前記ワイヤの走行路近傍に接触検
出部材を設置し、断線したワイヤの前記接触検出部材へ
の接触をセンサで検出することにより、前記ワイヤの断
線を検出することを特徴とする。
成するために、一対のワイヤリール間を走行するワイヤ
を複数個の溝付ローラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、
該ワイヤ列に加工液を供給しながら被加工物を押しつけ
ることにより、該被加工物を多数のウェーハに切断する
ワイヤソーにおいて、前記ワイヤの走行路近傍に接触検
出部材を設置し、断線したワイヤの前記接触検出部材へ
の接触をセンサで検出することにより、前記ワイヤの断
線を検出することを特徴とする。
【０００５】本発明によれば、ワイヤが断線すると、そ
の断線したワイヤは接触検出部材に接触する。この接触
検出部材への断線したワイヤの接触を検出することによ
り、ワイヤの断線を判断する。
の断線したワイヤは接触検出部材に接触する。この接触
検出部材への断線したワイヤの接触を検出することによ
り、ワイヤの断線を判断する。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るワイヤソーのワイヤ断線検出装置の好ましい実施の形
態について詳説する。図１は、本発明に係るワイヤ断線
検出装置が適用されたワイヤソー１０の実施の形態の透
視図である。
るワイヤソーのワイヤ断線検出装置の好ましい実施の形
態について詳説する。図１は、本発明に係るワイヤ断線
検出装置が適用されたワイヤソー１０の実施の形態の透
視図である。
【０００７】同図に示すように、ワイヤリール１２に巻
かれたワイヤ１４は、多数のガイドローラ１６、１６、
…で形成されるワイヤ走行路を経て３本の溝付きローラ
１８Ａ、１８Ｂ、１８Ｃに巻き掛けられ、水平なワイヤ
列２０を形成する。ワイヤ列２０を形成したワイヤ１４
は、ワイヤ列２０を挟んで左右対称に形成された他方側
のワイヤ走行路を経て図示しないワイヤリールに巻き取
られる。
かれたワイヤ１４は、多数のガイドローラ１６、１６、
…で形成されるワイヤ走行路を経て３本の溝付きローラ
１８Ａ、１８Ｂ、１８Ｃに巻き掛けられ、水平なワイヤ
列２０を形成する。ワイヤ列２０を形成したワイヤ１４
は、ワイヤ列２０を挟んで左右対称に形成された他方側
のワイヤ走行路を経て図示しないワイヤリールに巻き取
られる。
【０００８】前記ワイヤ列２０の両側に形成されるワイ
ヤ走行路には、それぞれワイヤ案内装置２２、ダンサロ
ーラ２４及びワイヤ洗浄装置２６が配設されており（一
方側のみ図示）、ワイヤ案内装置２２は、ワイヤリール
１２からワイヤ１４を一定ピッチでガイドする。また、
ダンサローラ２４は、所定重量のウェイト（図示せず）
が架設されていて、走行するワイヤ１４にこのウェイト
で一定の張力を付与する。ワイヤ洗浄装置２６は、洗浄
液タンク２９から供給される洗浄液をワイヤ１４に噴射
して、ワイヤ１４に付着したスラリをワイヤ１４から除
去する。
ヤ走行路には、それぞれワイヤ案内装置２２、ダンサロ
ーラ２４及びワイヤ洗浄装置２６が配設されており（一
方側のみ図示）、ワイヤ案内装置２２は、ワイヤリール
１２からワイヤ１４を一定ピッチでガイドする。また、
ダンサローラ２４は、所定重量のウェイト（図示せず）
が架設されていて、走行するワイヤ１４にこのウェイト
で一定の張力を付与する。ワイヤ洗浄装置２６は、洗浄
液タンク２９から供給される洗浄液をワイヤ１４に噴射
して、ワイヤ１４に付着したスラリをワイヤ１４から除
去する。
【０００９】前記一対のワイヤリール１２及び溝付ロー
ラ１８Ｃには、それぞれ正逆回転可能なモータ（図示せ
ず）が連結されており、前記ワイヤ１４は、このモータ
を駆動することにより、前記ワイヤリール１２間を高速
で往復走行する。前記ワイヤ列２０の上方には、ワイヤ
列２０に対して垂直に昇降移動するワークフィードテー
ブル２８が設置されている。ワークフィードテーブル２
８にはセッティングベース３１を介してチルチングユニ
ット３０が備えられており、インゴット３２は、このチ
ルチングユニット３０の下部に保持されて、任意の傾斜
角度に設定される。
ラ１８Ｃには、それぞれ正逆回転可能なモータ（図示せ
ず）が連結されており、前記ワイヤ１４は、このモータ
を駆動することにより、前記ワイヤリール１２間を高速
で往復走行する。前記ワイヤ列２０の上方には、ワイヤ
列２０に対して垂直に昇降移動するワークフィードテー
ブル２８が設置されている。ワークフィードテーブル２
８にはセッティングベース３１を介してチルチングユニ
ット３０が備えられており、インゴット３２は、このチ
ルチングユニット３０の下部に保持されて、任意の傾斜
角度に設定される。
【００１０】以上のように構成されたワイヤソー１０に
おいて、インゴット３２の切断は、ワークフィードテー
ブル２８を前記ワイヤ列２０に向けて下降させ、高速走
行するワイヤ列２０にインゴット３２を押し当てること
により行う。この際、前記ワイヤ列２０には、スラリタ
ンク３４から図示しないノズルを介してスラリが供給さ
れ、インゴット３２は、このスラリ中に含有される砥粒
のラッピング作用でウェーハに切断される。
おいて、インゴット３２の切断は、ワークフィードテー
ブル２８を前記ワイヤ列２０に向けて下降させ、高速走
行するワイヤ列２０にインゴット３２を押し当てること
により行う。この際、前記ワイヤ列２０には、スラリタ
ンク３４から図示しないノズルを介してスラリが供給さ
れ、インゴット３２は、このスラリ中に含有される砥粒
のラッピング作用でウェーハに切断される。
【００１１】前記インゴット３２の加工に供したスラリ
は、前記ワイヤ列２０の下方に設置されたオイルパン３
８を介して前記スラリタンク３４に回収され、不足分を
補給されながら循環利用される。この際、スラリは加工
時に発生する熱を吸熱して温度上昇するので、回収した
スラリは、熱交換機３６で一定温度に冷却される。図２
は、上述したワイヤソーの切断部の正面拡大図であり、
図３は、図２のＡ−Ａ断面図である。
は、前記ワイヤ列２０の下方に設置されたオイルパン３
８を介して前記スラリタンク３４に回収され、不足分を
補給されながら循環利用される。この際、スラリは加工
時に発生する熱を吸熱して温度上昇するので、回収した
スラリは、熱交換機３６で一定温度に冷却される。図２
は、上述したワイヤソーの切断部の正面拡大図であり、
図３は、図２のＡ−Ａ断面図である。
【００１２】図２、図３に示すように、前記３本の溝付
ローラ１８Ａ〜１８Ｃは、ワイヤソーの本体フレーム
（図示せず）に固定された一対の支持プレート４０、４
０に軸受４２Ａ、４２Ａ、４２Ｂ、４２Ｂ、４２Ｃ、４
２Ｃを介して回動自在に支持されている。この溝付ロー
ラ１８Ａ〜１８Ｃの外周には多数の溝が一定ピッチで形
成されており、この溝にワイヤ１４が順次巻きかけられ
ることにより、前記ワイヤ列２０が形成される。
ローラ１８Ａ〜１８Ｃは、ワイヤソーの本体フレーム
（図示せず）に固定された一対の支持プレート４０、４
０に軸受４２Ａ、４２Ａ、４２Ｂ、４２Ｂ、４２Ｃ、４
２Ｃを介して回動自在に支持されている。この溝付ロー
ラ１８Ａ〜１８Ｃの外周には多数の溝が一定ピッチで形
成されており、この溝にワイヤ１４が順次巻きかけられ
ることにより、前記ワイヤ列２０が形成される。
【００１３】前記溝付ローラ１８Ａと溝付ローラ１８Ｃ
とのほぼ中間位置には、ワイヤ１４の接触を検出する接
触検出バー４４が設置されている。この接触検出バー４
４の両端部は、前記一対の支持プレート４０、４０に固
着された一対のブラケット４６、４６に支持されてお
り、前記溝付ローラ１８Ａ〜１８Ｃに巻き掛けられたワ
イヤ１４は、断線するとこの接触検出バー４４に接触す
る。
とのほぼ中間位置には、ワイヤ１４の接触を検出する接
触検出バー４４が設置されている。この接触検出バー４
４の両端部は、前記一対の支持プレート４０、４０に固
着された一対のブラケット４６、４６に支持されてお
り、前記溝付ローラ１８Ａ〜１８Ｃに巻き掛けられたワ
イヤ１４は、断線するとこの接触検出バー４４に接触す
る。
【００１４】前記一対のブラケット４６、４６のうち一
方のブラケット４６の内部には、前記接触検出バー４４
の振動を検出する振動センサ５３が内蔵されている。こ
の振動センサ５３で検出された接触検出バー４４の振動
の検出値は、図４に示すように、微分回路４８を介して
制御部５０に出力される。制御部５０は、所定値以上の
振幅を検出すると、ワイヤ１４が断線したと判断してワ
イヤソー１０の運転を停止する。すなわち、ワイヤ１４
が断線すると、その断線したワイヤ１４が接触検出バー
４４に接触し、その衝撃で接触検出バー４４は大きく振
動する。制御部５０は、このワイヤ衝撃時の接触検出バ
ー４４の振動を検出することにより、ワイヤ１４の断線
を判断する。
方のブラケット４６の内部には、前記接触検出バー４４
の振動を検出する振動センサ５３が内蔵されている。こ
の振動センサ５３で検出された接触検出バー４４の振動
の検出値は、図４に示すように、微分回路４８を介して
制御部５０に出力される。制御部５０は、所定値以上の
振幅を検出すると、ワイヤ１４が断線したと判断してワ
イヤソー１０の運転を停止する。すなわち、ワイヤ１４
が断線すると、その断線したワイヤ１４が接触検出バー
４４に接触し、その衝撃で接触検出バー４４は大きく振
動する。制御部５０は、このワイヤ衝撃時の接触検出バ
ー４４の振動を検出することにより、ワイヤ１４の断線
を判断する。
【００１５】ところで、前記接触検出バー４４は、溝付
ローラ１８Ａ〜１８Ｃの回転や、ワイヤ列２０に供給さ
れたスラリが当たることにより微振動を起こす。この接
触検出バー４４の微振動は前記振動センサ５３で検出さ
れるが、その検出値はノイズ成分として微分回路４８で
取り除かれる。したがって、制御部５０では、ワイヤ衝
撃時のようにインパルス状に入ってくる振動のみを検出
することができ、ワイヤ断線時以外の誤検出を防止する
ことができる。
ローラ１８Ａ〜１８Ｃの回転や、ワイヤ列２０に供給さ
れたスラリが当たることにより微振動を起こす。この接
触検出バー４４の微振動は前記振動センサ５３で検出さ
れるが、その検出値はノイズ成分として微分回路４８で
取り除かれる。したがって、制御部５０では、ワイヤ衝
撃時のようにインパルス状に入ってくる振動のみを検出
することができ、ワイヤ断線時以外の誤検出を防止する
ことができる。
【００１６】前記のごとく構成された本発明に係るワイ
ヤソーのワイヤ断線検出装置の実施の形態の作用は次の
通りである。接触検出バー４４は、振動センサ５３によ
りその振動が常時検出されており、その検出値は、微分
回路４８を介して制御部５０に出力されている。制御部
５０は、所定値以上の振動を検出することにより、ワイ
ヤ１４の断線を検出する。
ヤソーのワイヤ断線検出装置の実施の形態の作用は次の
通りである。接触検出バー４４は、振動センサ５３によ
りその振動が常時検出されており、その検出値は、微分
回路４８を介して制御部５０に出力されている。制御部
５０は、所定値以上の振動を検出することにより、ワイ
ヤ１４の断線を検出する。
【００１７】すなわち、図４に示すように、溝付ローラ
１８Ａ〜１８Ｃに巻き掛けられたワイヤ１４が断線する
と、その断線したワイヤ１４は接触検出バー４４に接触
する。接触したワイヤ１４は、前記接触検出バー４４を
振動させるが、このワイヤ接触時の接触検出バー４４の
振動は、通常検出される接触検出バー４４の振動よりも
大きい。したがって、制御部５０は、所定値以上の振動
を検出したならば、ワイヤ１４が断線し、その断線した
ワイヤ１４が接触検出バー４４に接触したと判断するこ
とができる。これにより、ワイヤ１４の断線を判断す
る。そして、ワイヤ１４の断線を検出した制御部５０
は、ただちにワイヤソー１０の運転を停止する。
１８Ａ〜１８Ｃに巻き掛けられたワイヤ１４が断線する
と、その断線したワイヤ１４は接触検出バー４４に接触
する。接触したワイヤ１４は、前記接触検出バー４４を
振動させるが、このワイヤ接触時の接触検出バー４４の
振動は、通常検出される接触検出バー４４の振動よりも
大きい。したがって、制御部５０は、所定値以上の振動
を検出したならば、ワイヤ１４が断線し、その断線した
ワイヤ１４が接触検出バー４４に接触したと判断するこ
とができる。これにより、ワイヤ１４の断線を判断す
る。そして、ワイヤ１４の断線を検出した制御部５０
は、ただちにワイヤソー１０の運転を停止する。
【００１８】このように、本実施の形態のワイヤソーの
ワイヤ断線検出装置によれば、断線したワイヤ１４の接
触を検出することにより、ワイヤ１４の断線を判断する
ので、水溶性スラリを用いて切断するワイヤソーであっ
ても、従来の電気的な検出方法のように誤動作を起こす
という問題もなく、瞬時的に、かつ、確実にワイヤ１４
の断線を検出することができる。
ワイヤ断線検出装置によれば、断線したワイヤ１４の接
触を検出することにより、ワイヤ１４の断線を判断する
ので、水溶性スラリを用いて切断するワイヤソーであっ
ても、従来の電気的な検出方法のように誤動作を起こす
という問題もなく、瞬時的に、かつ、確実にワイヤ１４
の断線を検出することができる。
【００１９】なお、本実施の形態では、接触検出バー４
４は、両端部を支持して設置したが、片側一方のみを支
持して設置してもよい。次に、本発明に係るワイヤソー
のワイヤ脱線検出装置の第２の実施の形態について説明
する。なお、前記第１の実施の形態と同一部材には、同
一符号を付してその説明は省略する。
４は、両端部を支持して設置したが、片側一方のみを支
持して設置してもよい。次に、本発明に係るワイヤソー
のワイヤ脱線検出装置の第２の実施の形態について説明
する。なお、前記第１の実施の形態と同一部材には、同
一符号を付してその説明は省略する。
【００２０】前記第１の実施の形態では、溝付ローラ１
８Ａ〜１８Ｃに巻き掛けられたワイヤ１４の断線を検出
する例で説明したが、第２の実施の形態では、ガイドロ
ーラ１６、１６、…で形成されたワイヤ走行路を走行す
るワイヤ１４の断線を検出する場合について説明する。
なお、前記第１の実施の形態と同一部材には、同一符号
を付してその説明は省略する。
８Ａ〜１８Ｃに巻き掛けられたワイヤ１４の断線を検出
する例で説明したが、第２の実施の形態では、ガイドロ
ーラ１６、１６、…で形成されたワイヤ走行路を走行す
るワイヤ１４の断線を検出する場合について説明する。
なお、前記第１の実施の形態と同一部材には、同一符号
を付してその説明は省略する。
【００２１】図５に示すように、ワイヤ走行路に配設さ
れた各ガイドローラ１６、１６の近傍には、走行するワ
イヤ１４と直交するように接触検出バー５２が配置され
ている。この接触検出バー５２の一方端は、ワイヤソー
１０の本体フレーム５４に固着されたブラケット５６に
支持されている。ブラケット５６内には、図示しない振
動センサ５３が内蔵されており、この振動センサ５３に
よって接触検出バーの振動が検出される。この振動の検
出値は、前記第１の実施の形態と同様に、微分回路を介
して制御部に出力される。
れた各ガイドローラ１６、１６の近傍には、走行するワ
イヤ１４と直交するように接触検出バー５２が配置され
ている。この接触検出バー５２の一方端は、ワイヤソー
１０の本体フレーム５４に固着されたブラケット５６に
支持されている。ブラケット５６内には、図示しない振
動センサ５３が内蔵されており、この振動センサ５３に
よって接触検出バーの振動が検出される。この振動の検
出値は、前記第１の実施の形態と同様に、微分回路を介
して制御部に出力される。
【００２２】前記のごとく構成された本発明に係るワイ
ヤソーのワイヤ断線検出装置の第２実施の形態の作用は
次の通りである。図５に示すように、ワイヤ走行路を走
行するワイヤ１４が断線すると、その断線したワイヤ１
４は接触検出バー５２に接触する。接触したワイヤ１４
は、前記接触検出バー５２を振動させるが、このワイヤ
接触時の接触検出バー５２の振動は、通常検出される接
触検出バー５２の振動（ワイヤソー自体の振動等）より
も大きい。したがって、制御部５０は、所定値以上の振
動を検出したならば、ワイヤ１４が断線し、その断線し
たワイヤ１４が接触検出バー４４に接触したと判断する
ことができる。これにより、走行するワイヤ１４の断線
を判断する。そして、ワイヤ１４の断線を検出した制御
部５０は、ただちにワイヤソー１０の運転を停止する。
ヤソーのワイヤ断線検出装置の第２実施の形態の作用は
次の通りである。図５に示すように、ワイヤ走行路を走
行するワイヤ１４が断線すると、その断線したワイヤ１
４は接触検出バー５２に接触する。接触したワイヤ１４
は、前記接触検出バー５２を振動させるが、このワイヤ
接触時の接触検出バー５２の振動は、通常検出される接
触検出バー５２の振動（ワイヤソー自体の振動等）より
も大きい。したがって、制御部５０は、所定値以上の振
動を検出したならば、ワイヤ１４が断線し、その断線し
たワイヤ１４が接触検出バー４４に接触したと判断する
ことができる。これにより、走行するワイヤ１４の断線
を判断する。そして、ワイヤ１４の断線を検出した制御
部５０は、ただちにワイヤソー１０の運転を停止する。
【００２３】このように、第２の実施の形態のワイヤソ
ーのワイヤ断線検出装置によれば、断線したワイヤ１４
の接触を検出することにより、ワイヤ１４の断線を判断
するので、瞬時的に、かつ、確実にワイヤ１４の断線を
検出することができる。次に、本発明に係るワイヤソー
のワイヤ脱線検出装置の第３の実施の形態について説明
する。なお、前記第１の実施の形態と同一部材には、同
一符号を付して、その説明は省略する。
ーのワイヤ断線検出装置によれば、断線したワイヤ１４
の接触を検出することにより、ワイヤ１４の断線を判断
するので、瞬時的に、かつ、確実にワイヤ１４の断線を
検出することができる。次に、本発明に係るワイヤソー
のワイヤ脱線検出装置の第３の実施の形態について説明
する。なお、前記第１の実施の形態と同一部材には、同
一符号を付して、その説明は省略する。
【００２４】前記第１の実施の形態では、図２に示すよ
うに、支持プレート４０、４０に設けられた一対のブラ
ケット４６、４６には、接触検出バー４４が支持されて
いた。本第３の実施の形態では、図６に示すように、ブ
ラケット４６、４６には、接触検出ワイヤ５８が張設さ
れている。前記一対のブラケット４６、４６のうち一方
のブラケット４６の内部には、前記接触検出ワイヤ５８
の張力変動を検出する荷重センサ６０が内蔵されてい
る。前記接触検出ワイヤ５８の一方端は、この荷重セン
サ６０に支持されており、該荷重センサ６０で検出され
た接触検出ワイヤ５８の張力変動は、微分回路４８を介
して制御部５０に出力される。
うに、支持プレート４０、４０に設けられた一対のブラ
ケット４６、４６には、接触検出バー４４が支持されて
いた。本第３の実施の形態では、図６に示すように、ブ
ラケット４６、４６には、接触検出ワイヤ５８が張設さ
れている。前記一対のブラケット４６、４６のうち一方
のブラケット４６の内部には、前記接触検出ワイヤ５８
の張力変動を検出する荷重センサ６０が内蔵されてい
る。前記接触検出ワイヤ５８の一方端は、この荷重セン
サ６０に支持されており、該荷重センサ６０で検出され
た接触検出ワイヤ５８の張力変動は、微分回路４８を介
して制御部５０に出力される。
【００２５】制御部５０は、この接触検出ワイヤ５８の
所定値以上の張力変動を検出すると、ワイヤ１４が断線
したと判断してワイヤソー１０の運転を停止する。すな
わち、ワイヤ１４が断線すると、その断線したワイヤ１
４が接触検出ワイヤ５８に接触し、その衝撃で接触検出
ワイヤ５８の張力は大きく変化する。制御部５０は、こ
のワイヤ衝撃時の接触検出ワイヤ５８の張力変動を検出
することにより、ワイヤ１４の断線を判断する。
所定値以上の張力変動を検出すると、ワイヤ１４が断線
したと判断してワイヤソー１０の運転を停止する。すな
わち、ワイヤ１４が断線すると、その断線したワイヤ１
４が接触検出ワイヤ５８に接触し、その衝撃で接触検出
ワイヤ５８の張力は大きく変化する。制御部５０は、こ
のワイヤ衝撃時の接触検出ワイヤ５８の張力変動を検出
することにより、ワイヤ１４の断線を判断する。
【００２６】前記接触検出ワイヤ５８も、前記第１の実
施の形態の接触検出バー４４と同様に、スラリが当たる
ことにより微少な張力変動を起こすが、その微少成分
は、前記第１の実施の形態と同様に、ノイズ成分として
微分回路４８で取り除かれる。したがって、制御部５０
では、ワイヤ衝撃時のようにインパルス状に入ってくる
張力変動のみを検出することができ、ワイヤ断線時以外
の誤検出を防止することができる。
施の形態の接触検出バー４４と同様に、スラリが当たる
ことにより微少な張力変動を起こすが、その微少成分
は、前記第１の実施の形態と同様に、ノイズ成分として
微分回路４８で取り除かれる。したがって、制御部５０
では、ワイヤ衝撃時のようにインパルス状に入ってくる
張力変動のみを検出することができ、ワイヤ断線時以外
の誤検出を防止することができる。
【００２７】前記のごとく構成された本発明に係るワイ
ヤソーのワイヤ断線検出装置の第３の実施の形態の作用
は次の通りである。接触検出ワイヤ５８は、その張力変
動を荷重センサ６０により常時検出されており、その検
出値は微分回路４８を介して常に制御部５０に出力され
ている。制御部５０は、この接触検出ワイヤ５８の所定
値以上の張力変動を検出することにより、ワイヤ１４の
断線を検出する。
ヤソーのワイヤ断線検出装置の第３の実施の形態の作用
は次の通りである。接触検出ワイヤ５８は、その張力変
動を荷重センサ６０により常時検出されており、その検
出値は微分回路４８を介して常に制御部５０に出力され
ている。制御部５０は、この接触検出ワイヤ５８の所定
値以上の張力変動を検出することにより、ワイヤ１４の
断線を検出する。
【００２８】すなわち、溝付ローラ１８Ａ〜１８Ｃに巻
き掛けられたワイヤ１４が断線すると、その断線したワ
イヤ１４は接触検出ワイヤ５８に接触する。断線したワ
イヤ１４が接触検出ワイヤ５８に接触すると、その接触
検出ワイヤ５８の張力が変化するが、このワイヤ接触時
の接触検出ワイヤ５８の張力は、通常検出される接触検
出ワイヤ５８の張力変動よりも極めて大きい。したがっ
て、制御部５０は、所定値以上の張力変動を検出したな
らば、ワイヤ１４が断線してその断線したワイヤ１４が
接触検出ワイヤ５８に接触したと判断することができ
る。制御部５０は、これにより、ワイヤ１４の断線を判
断する。
き掛けられたワイヤ１４が断線すると、その断線したワ
イヤ１４は接触検出ワイヤ５８に接触する。断線したワ
イヤ１４が接触検出ワイヤ５８に接触すると、その接触
検出ワイヤ５８の張力が変化するが、このワイヤ接触時
の接触検出ワイヤ５８の張力は、通常検出される接触検
出ワイヤ５８の張力変動よりも極めて大きい。したがっ
て、制御部５０は、所定値以上の張力変動を検出したな
らば、ワイヤ１４が断線してその断線したワイヤ１４が
接触検出ワイヤ５８に接触したと判断することができ
る。制御部５０は、これにより、ワイヤ１４の断線を判
断する。
【００２９】このように、第３の実施の形態のワイヤソ
ーのワイヤ断線検出装置によれば、前記第１の実施の形
態と同様に、瞬時的に、かつ、確実にワイヤ１４の断線
を検出することができる。次に、本発明に係るワイヤソ
ーのワイヤ脱線検出装置の第４の実施の形態について説
明する。なお、前記第１〜３の実施の形態と同一部材に
は、同一符号を付して、その説明は省略する。
ーのワイヤ断線検出装置によれば、前記第１の実施の形
態と同様に、瞬時的に、かつ、確実にワイヤ１４の断線
を検出することができる。次に、本発明に係るワイヤソ
ーのワイヤ脱線検出装置の第４の実施の形態について説
明する。なお、前記第１〜３の実施の形態と同一部材に
は、同一符号を付して、その説明は省略する。
【００３０】図７に示すように、ブラケット４６、４６
には、接触検出ワイヤ６２が張設されている。この接触
検出ワイヤ６２は、前記一対のブラケット４６、４６に
より、ワイヤソー１０本体から絶縁されている。一方、
前記一対のワイヤリール１２間を走行するワイヤ１４に
は、一定の電圧が印加されている。
には、接触検出ワイヤ６２が張設されている。この接触
検出ワイヤ６２は、前記一対のブラケット４６、４６に
より、ワイヤソー１０本体から絶縁されている。一方、
前記一対のワイヤリール１２間を走行するワイヤ１４に
は、一定の電圧が印加されている。
【００３１】したがって、この電圧が印加されたワイヤ
１４が断線して前記接触検出ワイヤ６２に接触すると、
絶縁状態にあった接触検出ワイヤ６２には、一時的に電
流が流れる。この接触検出ワイヤ６２に一時的に流れる
電流を検出することにより、ワイヤ１４の断線を判断す
る。このため、前記接触検出ワイヤ６２には、該接触検
出ワイヤ６２に流れる電流を検出するための電流計６４
が接続されている。この電流計６４の検出値は、常時、
制御部５０に出力され、制御部５０は、接触検出ワイヤ
６２に電流が流れたことを検出すると、ワイヤ１４が断
線したと判断してワイヤソー１０の運転を停止する。
１４が断線して前記接触検出ワイヤ６２に接触すると、
絶縁状態にあった接触検出ワイヤ６２には、一時的に電
流が流れる。この接触検出ワイヤ６２に一時的に流れる
電流を検出することにより、ワイヤ１４の断線を判断す
る。このため、前記接触検出ワイヤ６２には、該接触検
出ワイヤ６２に流れる電流を検出するための電流計６４
が接続されている。この電流計６４の検出値は、常時、
制御部５０に出力され、制御部５０は、接触検出ワイヤ
６２に電流が流れたことを検出すると、ワイヤ１４が断
線したと判断してワイヤソー１０の運転を停止する。
【００３２】前記のごとく構成された本発明に係るワイ
ヤソーのワイヤ断線検出装置の第４の実施の形態の作用
は次の通りである。接触検出ワイヤ６２は、その電流値
を電流計６４により常時検出されており、その検出値は
常に制御部５０に出力されている。制御部５０は、この
接触検出ワイヤ５８に電流が流れたことを検出すること
により、ワイヤ１４が断線したことを検出する。
ヤソーのワイヤ断線検出装置の第４の実施の形態の作用
は次の通りである。接触検出ワイヤ６２は、その電流値
を電流計６４により常時検出されており、その検出値は
常に制御部５０に出力されている。制御部５０は、この
接触検出ワイヤ５８に電流が流れたことを検出すること
により、ワイヤ１４が断線したことを検出する。
【００３３】すなわち、走行するワイヤ１４が断線する
と、その断線したワイヤ１４は接触検出ワイヤ６２に接
触するが、この断線したワイヤ１４には一定の電圧が印
加されているため、接触検出ワイヤ６２に接触すると、
接触検出ワイヤ６２には、一時的に電流が流れる。した
がって、制御部５０は、この接触検出ワイヤ６２に電流
が流れたことを検出することにより、ワイヤ１４が断線
したことを判断することができる。
と、その断線したワイヤ１４は接触検出ワイヤ６２に接
触するが、この断線したワイヤ１４には一定の電圧が印
加されているため、接触検出ワイヤ６２に接触すると、
接触検出ワイヤ６２には、一時的に電流が流れる。した
がって、制御部５０は、この接触検出ワイヤ６２に電流
が流れたことを検出することにより、ワイヤ１４が断線
したことを判断することができる。
【００３４】このように、第４の実施の形態のワイヤソ
ーのワイヤ断線検出装置によれば、前記第１〜３の実施
の形態と同様に、瞬時的に、かつ、確実にワイヤ１４の
断線を検出することができる。次に、本発明に係るワイ
ヤソーのワイヤ脱線検出装置の第５の実施の形態につい
て説明する。なお、前記第１〜４の実施の形態と同一部
材には、同一符号を付して、その説明は省略する。
ーのワイヤ断線検出装置によれば、前記第１〜３の実施
の形態と同様に、瞬時的に、かつ、確実にワイヤ１４の
断線を検出することができる。次に、本発明に係るワイ
ヤソーのワイヤ脱線検出装置の第５の実施の形態につい
て説明する。なお、前記第１〜４の実施の形態と同一部
材には、同一符号を付して、その説明は省略する。
【００３５】図８に示すように、ブラケット４６、４６
には、接触検出ワイヤ６６が張設されている。この接触
検出ワイヤ６６は、走行するワイヤ１４が断線して接触
すると、その接触時の衝撃で断線するように構成されて
いる。一方、この接触検出ワイヤ６６には、電源６８に
より一定の電圧が印加されており、所定量の電流が流れ
るように構成されている。
には、接触検出ワイヤ６６が張設されている。この接触
検出ワイヤ６６は、走行するワイヤ１４が断線して接触
すると、その接触時の衝撃で断線するように構成されて
いる。一方、この接触検出ワイヤ６６には、電源６８に
より一定の電圧が印加されており、所定量の電流が流れ
るように構成されている。
【００３６】したがって、前記ワイヤ１４が接触して前
記接触検出ワイヤ６６が断線すると、そこを流れる電流
値もゼロとなる。この接触検出ワイヤ６６に流れる電流
がゼロとなることを検出することにより、ワイヤ１４の
断線を判断する。このため、前記接触検出ワイヤ６２に
は、該接触検出ワイヤ６６に流れる電流を検出するため
の電流計７０が接続されている。この電流計７０の検出
値は、常時、制御部５０に出力され、制御部５０は、前
記接触検出ワイヤ６６を流れる電流の電流値がゼロにな
ったことを検出すると、ワイヤ１４が断線したと判断し
てワイヤソー１０の運転を停止する。
記接触検出ワイヤ６６が断線すると、そこを流れる電流
値もゼロとなる。この接触検出ワイヤ６６に流れる電流
がゼロとなることを検出することにより、ワイヤ１４の
断線を判断する。このため、前記接触検出ワイヤ６２に
は、該接触検出ワイヤ６６に流れる電流を検出するため
の電流計７０が接続されている。この電流計７０の検出
値は、常時、制御部５０に出力され、制御部５０は、前
記接触検出ワイヤ６６を流れる電流の電流値がゼロにな
ったことを検出すると、ワイヤ１４が断線したと判断し
てワイヤソー１０の運転を停止する。
【００３７】前記のごとく構成された本発明に係るワイ
ヤソーのワイヤ断線検出装置の第５の実施の形態の作用
は次の通りである。接触検出ワイヤ６６は、その電流値
を電流計７０により常時検出されており、その検出値は
常に制御部５０に出力されている。制御部５０は、この
接触検出ワイヤ５８に流れる電流の電流値がゼロになっ
たことを検出することにより、ワイヤ１４が断線したこ
とを検出する。
ヤソーのワイヤ断線検出装置の第５の実施の形態の作用
は次の通りである。接触検出ワイヤ６６は、その電流値
を電流計７０により常時検出されており、その検出値は
常に制御部５０に出力されている。制御部５０は、この
接触検出ワイヤ５８に流れる電流の電流値がゼロになっ
たことを検出することにより、ワイヤ１４が断線したこ
とを検出する。
【００３８】すなわち、走行するワイヤ１４が断線する
と、その断線したワイヤ１４は接触検出ワイヤ６６に接
触する。この断線したワイヤ１４が、接触検出ワイヤ６
６に接触すると、接触検出ワイヤ６６は、その時の衝撃
で断線する。一方、接触検出ワイヤ６６には、一定の電
圧が印加されて一定量の電流が流れているが、断線する
ことにより、そこに流れる電流がゼロになる。
と、その断線したワイヤ１４は接触検出ワイヤ６６に接
触する。この断線したワイヤ１４が、接触検出ワイヤ６
６に接触すると、接触検出ワイヤ６６は、その時の衝撃
で断線する。一方、接触検出ワイヤ６６には、一定の電
圧が印加されて一定量の電流が流れているが、断線する
ことにより、そこに流れる電流がゼロになる。
【００３９】したがって、制御部５０は、この接触検出
ワイヤ６６に流れる電流がゼロになったことを検出する
ことにより、ワイヤ１４が断線したことを判断すること
ができる。このように、第５の実施の形態のワイヤソー
のワイヤ断線検出装置によれば、前記第１〜３の実施の
形態と同様に、瞬時的に、かつ、確実にワイヤ１４の断
線を検出することができる。
ワイヤ６６に流れる電流がゼロになったことを検出する
ことにより、ワイヤ１４が断線したことを判断すること
ができる。このように、第５の実施の形態のワイヤソー
のワイヤ断線検出装置によれば、前記第１〜３の実施の
形態と同様に、瞬時的に、かつ、確実にワイヤ１４の断
線を検出することができる。
【００４０】以上説明した第１〜第５の実施の形態で
は、接触検出部材（接触検出バー４４及び接触検出ワイ
ヤ５８、６２、６６）を溝付ローラ１８Ａと溝付ローラ
１８Ｃの中間位置に設置したが、設置位置は特にこの位
置に限定されるものではなく、切断の邪魔にならず、ま
た、断線したワイヤ１４が確実に接触する位置ならばど
こに設置してもよい。例えば、溝付ローラ１８Ｂと溝付
ローラ１８Ｃ間の中間位置や、図９に示すように、溝付
ローラ１８Ｃの下方に設置してもよい。また、図１０に
示すように、接触検出部材を２本用いて、ワイヤ１４を
挟むように設置してもよい。
は、接触検出部材（接触検出バー４４及び接触検出ワイ
ヤ５８、６２、６６）を溝付ローラ１８Ａと溝付ローラ
１８Ｃの中間位置に設置したが、設置位置は特にこの位
置に限定されるものではなく、切断の邪魔にならず、ま
た、断線したワイヤ１４が確実に接触する位置ならばど
こに設置してもよい。例えば、溝付ローラ１８Ｂと溝付
ローラ１８Ｃ間の中間位置や、図９に示すように、溝付
ローラ１８Ｃの下方に設置してもよい。また、図１０に
示すように、接触検出部材を２本用いて、ワイヤ１４を
挟むように設置してもよい。
【００４１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ワイヤの走行路近傍に接触検出部材を設置し、該接触検
出部材へのワイヤの接触をセンサで検出することにより
ワイヤの断線を判断するので、確実かつ迅速にワイヤの
断線を検出することができる。
ワイヤの走行路近傍に接触検出部材を設置し、該接触検
出部材へのワイヤの接触をセンサで検出することにより
ワイヤの断線を判断するので、確実かつ迅速にワイヤの
断線を検出することができる。
【図１】ワイヤソーの全体構成図
【図２】ワイヤソーの切断部の正面拡大図
【図３】図２のＡ−Ａ断面図
【図４】ワイヤの切断状況を説明する説明図
【図５】ワイヤ断線検出装置の第２の実施の形態の構成
図
図
【図６】ワイヤ断線検出装置の第３の実施の形態の構成
図
図
【図７】ワイヤ断線検出装置の第４の実施の形態の構成
図
図
【図８】ワイヤ断線検出装置の第５の実施の形態の構成
図
図
【図９】他の実施の形態の構成図
【図１０】他の実施の形態の構成図
１０…ワイヤソー １２…ワイヤリール １４…ワイヤ １６…ガイドローラ １８Ａ〜１８Ｃ…溝付ローラ ２０…ワイヤ列 ４４、５２…接触検出バー ４６、５６…ブラケット ４８…微分回路 ５０…制御部 ５３…振動センサ ５８、６２、６６…接触検出ワイヤ ６０…荷重センサ ６４、７０…電流計
Claims (6)
- 【請求項１】 一対のワイヤリール間を走行するワイヤ
を複数個の溝付ローラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、
該ワイヤ列に加工液を供給しながら被加工物を押しつけ
ることにより、該被加工物を多数のウェーハに切断する
ワイヤソーにおいて、 前記ワイヤの走行路近傍に接触検出部材を設置し、断線
したワイヤの前記接触検出部材への接触をセンサで検出
することにより、前記ワイヤの断線を検出することを特
徴とするワイヤソーのワイヤ断線検出装置。 - 【請求項２】 前記接触検出部材の振幅変動を前記セン
サで検出することにより、断線したワイヤの前記接触検
出部材への接触を検出することを特徴とする請求項１記
載のワイヤソーのワイヤ断線検出装置。 - 【請求項３】 前記接触検出部材は張設した接触検出ワ
イヤであり、該接触検出ワイヤの張力変動を前記センサ
で検出することにより、断線したワイヤの前記接触検出
部材への接触を検出することを特徴とする請求項１記載
のワイヤソーのワイヤ断線検出装置。 - 【請求項４】 前記センサの検出値を微分回路を介する
ことを特徴とする請求項２又は３記載のワイヤソーのワ
イヤ断線検出装置。 - 【請求項５】 前記接触検出部材を絶縁するとともに、
前記一対のワイヤリール間を走行するワイヤに所定電圧
を印加し、前記断線したワイヤが前記接触検出部材に接
触することにより該接触検出部材に生じる導通状態を前
記センサで検出することにより、前記ワイヤの前記接触
検出部材への接触を検出することを特徴とする請求項１
記載のワイヤソーのワイヤ断線検出装置。 - 【請求項６】 前記接触検出部材は所定電圧が印加され
て張設された接触検出ワイヤであり、該接触検出ワイヤ
は断線したワイヤが接触すると、その衝撃で断線し、そ
の断線時の前記接触検出ワイヤの絶縁状態を前記センサ
で検出することにより、前記断線したワイヤの前記接触
検出部材への接触を検出することを特徴とする請求項１
記載のワイヤソーのワイヤ断線検出装置。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08193674A JP3106294B2 (ja) | 1996-07-23 | 1996-07-23 | ワイヤソーのワイヤ断線検出装置 |
| US08/883,491 US5874678A (en) | 1996-07-23 | 1997-06-26 | Wire breaking detection equipment for wire saw |
| CH01630/97A CH693785A5 (de) | 1996-07-23 | 1997-07-04 | Drahtbruch-Detektionseinrichtung für Drahtsäge. |
| DE19728975A DE19728975A1 (de) | 1996-07-23 | 1997-07-07 | Drahtbruch-Detektionseinrichtung für Drahtsäge |
| GB9714587A GB2315556B (en) | 1996-07-23 | 1997-07-10 | Wire saw having wire breaking detection equipment |
| KR1019970033884A KR100258439B1 (ko) | 1996-07-23 | 1997-07-19 | 와이어톱의 와이어단선검출장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08193674A JP3106294B2 (ja) | 1996-07-23 | 1996-07-23 | ワイヤソーのワイヤ断線検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1034515A JPH1034515A (ja) | 1998-02-10 |
| JP3106294B2 true JP3106294B2 (ja) | 2000-11-06 |
Family
ID=16311907
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP08193674A Expired - Fee Related JP3106294B2 (ja) | 1996-07-23 | 1996-07-23 | ワイヤソーのワイヤ断線検出装置 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5874678A (ja) |
| JP (1) | JP3106294B2 (ja) |
| KR (1) | KR100258439B1 (ja) |
| CH (1) | CH693785A5 (ja) |
| DE (1) | DE19728975A1 (ja) |
| GB (1) | GB2315556B (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104227858A (zh) * | 2014-08-21 | 2014-12-24 | 浙江辉弘光电能源有限公司 | 一种多线切割机断线保护装置 |
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| JP2010222088A (ja) | 2009-03-23 | 2010-10-07 | Kobe Steel Ltd | 溶接ワイヤ巻替え方法 |
| JP5470593B2 (ja) * | 2010-01-14 | 2014-04-16 | 株式会社タカトリ | ワイヤソーの断線検出装置 |
| JP5045765B2 (ja) * | 2010-01-20 | 2012-10-10 | 信越半導体株式会社 | インゴットの切断方法及びワイヤソー |
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| KR101038182B1 (ko) * | 2011-01-21 | 2011-06-01 | 오성엘에스티(주) | 와이어쏘 장치 |
| KR101084966B1 (ko) * | 2011-01-31 | 2011-11-23 | 오성엘에스티(주) | 잉곳 절단용 와이어쏘 장치의 단선감지방법 |
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| DE102011075747A1 (de) | 2011-05-12 | 2012-11-15 | Matthias Vogel | Drahtsägevorrichtung zum Herstellen von Wafern |
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| US20130144421A1 (en) * | 2011-12-01 | 2013-06-06 | Memc Electronic Materials, Spa | Systems For Controlling Temperature Of Bearings In A Wire Saw |
| WO2014174350A1 (en) * | 2013-04-24 | 2014-10-30 | Meyer Burger Ag | Wire saw |
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