JPH11245158A - ワイヤソーのグルーブローラ磨耗検知装置 - Google Patents
ワイヤソーのグルーブローラ磨耗検知装置Info
- Publication number
- JPH11245158A JPH11245158A JP5093598A JP5093598A JPH11245158A JP H11245158 A JPH11245158 A JP H11245158A JP 5093598 A JP5093598 A JP 5093598A JP 5093598 A JP5093598 A JP 5093598A JP H11245158 A JPH11245158 A JP H11245158A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wire
- cut
- groove
- wear
- groove roller
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
- B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
- B23D57/0053—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of drives for saw wires; of wheel mountings; of wheels
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】確実にグルーブローラの磨耗を検知することが
できるワイヤソーのグルーブローラ磨耗検知装置の提
供。 【解決手段】グルーブローラ１８Ｃが磨耗して使用限界
径ｒに達すると、そのグルーブローラ１８の磨耗により
走行位置が変位したワイヤ１４によって検出パイプ４４
Ｃが切断される。この検出パイプＣが切断されると、内
部に供給されていたエアがリークして検出パイプ４４Ｃ
内の圧力が低下するので、この検出パイプ４４Ｃ内の圧
力が低下したことを検出することによりグルーブローラ
１８Ｃの磨耗を検知する。
できるワイヤソーのグルーブローラ磨耗検知装置の提
供。 【解決手段】グルーブローラ１８Ｃが磨耗して使用限界
径ｒに達すると、そのグルーブローラ１８の磨耗により
走行位置が変位したワイヤ１４によって検出パイプ４４
Ｃが切断される。この検出パイプＣが切断されると、内
部に供給されていたエアがリークして検出パイプ４４Ｃ
内の圧力が低下するので、この検出パイプ４４Ｃ内の圧
力が低下したことを検出することによりグルーブローラ
１８Ｃの磨耗を検知する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はワイヤソーのグルー
ブローラ磨耗検知装置に係り、特にシリコン、ガラス、
セラミックス等の脆性材料を切断するワイヤソーのグル
ーブローラ磨耗検知装置に関する。
ブローラ磨耗検知装置に係り、特にシリコン、ガラス、
セラミックス等の脆性材料を切断するワイヤソーのグル
ーブローラ磨耗検知装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ワイヤソーで使用しているグルーブロー
ラは、プラスチック等の合成樹脂材で成形されているも
のが多く、使用しているうちに次第に磨耗してくる。こ
の磨耗したグルーブローラを継続して使用すると切断精
度の低下の原因となるため、適当な時期に新しいものと
交換するようにしている。そして、従来は一定期間使用
したら新しいものと交換するようにしていた。
ラは、プラスチック等の合成樹脂材で成形されているも
のが多く、使用しているうちに次第に磨耗してくる。こ
の磨耗したグルーブローラを継続して使用すると切断精
度の低下の原因となるため、適当な時期に新しいものと
交換するようにしている。そして、従来は一定期間使用
したら新しいものと交換するようにしていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
方法では正確な磨耗量を把握することができず、磨耗の
限界を越えて使用していたり、まだ使用できるものを交
換してしまったりするという問題があった。また、グル
ーブローラの溝は全て均一に磨耗するとは限らず、テン
ション変動などによって一本だけが他の溝よりも突出し
て磨耗してしまうことがある。このような磨耗を起こし
た溝は、他の溝よりも速く磨耗が進行するため、グルー
ブローラの芯鋼まで切断して装置を損傷したり、ワイヤ
の断線を引き起こすという問題がある。
方法では正確な磨耗量を把握することができず、磨耗の
限界を越えて使用していたり、まだ使用できるものを交
換してしまったりするという問題があった。また、グル
ーブローラの溝は全て均一に磨耗するとは限らず、テン
ション変動などによって一本だけが他の溝よりも突出し
て磨耗してしまうことがある。このような磨耗を起こし
た溝は、他の溝よりも速く磨耗が進行するため、グルー
ブローラの芯鋼まで切断して装置を損傷したり、ワイヤ
の断線を引き起こすという問題がある。
【０００４】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、確実にグルーブローラの磨耗を検知すること
ができるワイヤソーのグルーブローラ磨耗検知装置を提
供することを目的とする。
たもので、確実にグルーブローラの磨耗を検知すること
ができるワイヤソーのグルーブローラ磨耗検知装置を提
供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】請求項１に係る発明は、
前記目的を達成するために、走行するワイヤを複数個の
グルーブローラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、そのワ
イヤ列に被加工物を押し当てることにより多数枚のウェ
ーハを同時に切断するワイヤソーにおいて、前記グルー
ブローラが磨耗して所定の径に達すると、そのグルーブ
ローラの磨耗により走行位置が変位したワイヤによって
切断される検出パイプと、前記検出パイプ内に一定圧の
流体を供給する流体供給手段と、前記検出パイプ内の流
体の圧力を検出する圧力検出手段と、からなり、前記検
出パイプ内の流体の圧力の低下を前記圧力検出手段で検
出することにより前記グルーブローラの磨耗を検知する
ことを特徴とする。
前記目的を達成するために、走行するワイヤを複数個の
グルーブローラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、そのワ
イヤ列に被加工物を押し当てることにより多数枚のウェ
ーハを同時に切断するワイヤソーにおいて、前記グルー
ブローラが磨耗して所定の径に達すると、そのグルーブ
ローラの磨耗により走行位置が変位したワイヤによって
切断される検出パイプと、前記検出パイプ内に一定圧の
流体を供給する流体供給手段と、前記検出パイプ内の流
体の圧力を検出する圧力検出手段と、からなり、前記検
出パイプ内の流体の圧力の低下を前記圧力検出手段で検
出することにより前記グルーブローラの磨耗を検知する
ことを特徴とする。
【０００６】本発明によれば、グルーブローラが磨耗し
て所定の径に達すると、そのグルーブローラの磨耗によ
り走行位置が変位したワイヤによって検出パイプが切断
される。この検出パイプが切断されると、内部の流体が
リークして検出パイプ内の流体の圧力が低下する。この
検出パイプ内の流体の圧力の低下を圧力検出手段で検出
することによりグルーブローラの磨耗を検知する。
て所定の径に達すると、そのグルーブローラの磨耗によ
り走行位置が変位したワイヤによって検出パイプが切断
される。この検出パイプが切断されると、内部の流体が
リークして検出パイプ内の流体の圧力が低下する。この
検出パイプ内の流体の圧力の低下を圧力検出手段で検出
することによりグルーブローラの磨耗を検知する。
【０００７】また、請求項２に係る発明は、前記目的を
達成するために、走行するワイヤを複数個のグルーブロ
ーラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、そのワイヤ列に被
加工物を押し当てることにより多数枚のウェーハを同時
に切断するワイヤソーにおいて、前記グルーブローラが
磨耗して所定の径に達すると、そのグルーブローラの磨
耗により走行位置が変位したワイヤによって切断される
被切断部材と、前記被切断部材に電流を流す電源と、前
記被切断部材に流れる電流を検出する電流検出手段と、
からなり、前記被切断部材に電流が流れなくなったこと
を前記電流検出手段で検出することにより前記グルーブ
ローラの磨耗を検知することを特徴とする。
達成するために、走行するワイヤを複数個のグルーブロ
ーラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、そのワイヤ列に被
加工物を押し当てることにより多数枚のウェーハを同時
に切断するワイヤソーにおいて、前記グルーブローラが
磨耗して所定の径に達すると、そのグルーブローラの磨
耗により走行位置が変位したワイヤによって切断される
被切断部材と、前記被切断部材に電流を流す電源と、前
記被切断部材に流れる電流を検出する電流検出手段と、
からなり、前記被切断部材に電流が流れなくなったこと
を前記電流検出手段で検出することにより前記グルーブ
ローラの磨耗を検知することを特徴とする。
【０００８】本発明によれば、グルーブローラが磨耗し
て所定の径に達すると、そのグルーブローラの磨耗によ
り走行位置が変位したワイヤによって被切断部材が切断
される。この被切断部材が切断されると、被切断部材を
流れる電流がゼロとなるので、この被切断部材を流れる
電流がゼロとなったことを電流検出手段で検出すること
によりグルーブローラの磨耗を検知する。
て所定の径に達すると、そのグルーブローラの磨耗によ
り走行位置が変位したワイヤによって被切断部材が切断
される。この被切断部材が切断されると、被切断部材を
流れる電流がゼロとなるので、この被切断部材を流れる
電流がゼロとなったことを電流検出手段で検出すること
によりグルーブローラの磨耗を検知する。
【０００９】また、請求項３に係る発明は、前記目的を
達成するために、走行するワイヤを複数個のグルーブロ
ーラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、そのワイヤ列に被
加工物を押し当てることにより多数枚のウェーハを同時
に切断するワイヤソーにおいて、前記グルーブローラが
磨耗して所定の径に達すると、そのグルーブローラの磨
耗により走行位置が変位したワイヤによって切断される
被切断部材と、前記被切断部材に張力を付与する張力付
与手段と、前記被切断部材の張力を検出する張力検出手
段と、からなり、前記被切断部材の張力がゼロになった
ことを前記張力検出手段で検出することにより前記グル
ーブローラの磨耗を検知することを特徴とする。
達成するために、走行するワイヤを複数個のグルーブロ
ーラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、そのワイヤ列に被
加工物を押し当てることにより多数枚のウェーハを同時
に切断するワイヤソーにおいて、前記グルーブローラが
磨耗して所定の径に達すると、そのグルーブローラの磨
耗により走行位置が変位したワイヤによって切断される
被切断部材と、前記被切断部材に張力を付与する張力付
与手段と、前記被切断部材の張力を検出する張力検出手
段と、からなり、前記被切断部材の張力がゼロになった
ことを前記張力検出手段で検出することにより前記グル
ーブローラの磨耗を検知することを特徴とする。
【００１０】本発明によれば、グルーブローラが磨耗し
て所定の径に達すると、そのグルーブローラの磨耗によ
り走行位置が変位したワイヤによって被切断部材が切断
される。この被切断部材が切断されると、被切断部材に
付与された張力がゼロとなるので、この被切断部材にか
けられた張力がゼロとなったことを張力検出手段で検出
することによりグルーブローラの磨耗を検知する。
て所定の径に達すると、そのグルーブローラの磨耗によ
り走行位置が変位したワイヤによって被切断部材が切断
される。この被切断部材が切断されると、被切断部材に
付与された張力がゼロとなるので、この被切断部材にか
けられた張力がゼロとなったことを張力検出手段で検出
することによりグルーブローラの磨耗を検知する。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るワイヤソーのグルーブローラ磨耗検知装置の好ましい
実施の形態について詳説する。まず、本発明に係るグル
ーブローラ磨耗検知装置が適用されるワイヤソーについ
て説明する。
るワイヤソーのグルーブローラ磨耗検知装置の好ましい
実施の形態について詳説する。まず、本発明に係るグル
ーブローラ磨耗検知装置が適用されるワイヤソーについ
て説明する。
【００１２】図１は、ワイヤソー１０の全体構成を示す
斜視図である。同図に示すように、ワイヤリール１２に
巻かれたワイヤ１４は、多数のガイドローラ１６、１
６、…で形成されるワイヤ走行路を経て３本のグルーブ
ローラ１８Ａ、１８Ｂ、１８Ｃに巻き掛けられ、水平な
ワイヤ列２０を形成する。ワイヤ列２０を形成したワイ
ヤ１４は、ワイヤ列２０を挟んで左右対称に形成された
他方側のワイヤ走行路を経て図示しないワイヤリールに
巻き取られる。
斜視図である。同図に示すように、ワイヤリール１２に
巻かれたワイヤ１４は、多数のガイドローラ１６、１
６、…で形成されるワイヤ走行路を経て３本のグルーブ
ローラ１８Ａ、１８Ｂ、１８Ｃに巻き掛けられ、水平な
ワイヤ列２０を形成する。ワイヤ列２０を形成したワイ
ヤ１４は、ワイヤ列２０を挟んで左右対称に形成された
他方側のワイヤ走行路を経て図示しないワイヤリールに
巻き取られる。
【００１３】前記ワイヤ列２０の両側に形成されるワイ
ヤ走行路には、それぞれワイヤ案内装置２２、ダンサロ
ーラ２４及びワイヤ洗浄装置２６が配設されており（一
方側のみ図示）、ワイヤ案内装置２２は、ワイヤリール
１２からワイヤ１４を一定ピッチでガイドする。また、
ダンサローラ２４は、所定重量のウェイト（図示せず）
が架設されていて、走行するワイヤ１４にこのウェイト
で一定の張力を付与する。ワイヤ洗浄装置２６は、走行
するワイヤ１４に洗浄液を噴射してワイヤ１４に付着し
たスラリをワイヤ１４から除去する。
ヤ走行路には、それぞれワイヤ案内装置２２、ダンサロ
ーラ２４及びワイヤ洗浄装置２６が配設されており（一
方側のみ図示）、ワイヤ案内装置２２は、ワイヤリール
１２からワイヤ１４を一定ピッチでガイドする。また、
ダンサローラ２４は、所定重量のウェイト（図示せず）
が架設されていて、走行するワイヤ１４にこのウェイト
で一定の張力を付与する。ワイヤ洗浄装置２６は、走行
するワイヤ１４に洗浄液を噴射してワイヤ１４に付着し
たスラリをワイヤ１４から除去する。
【００１４】前記一対のワイヤリール１２及びグルーブ
ローラ１８Ｃには、それぞれ正逆回転可能なモータ（図
示せず）が連結されており、前記ワイヤ１４は、このモ
ータを駆動することにより、一対のワイヤリール１２間
を高速で往復走行する。前記ワイヤ列２０の上方には、
ワイヤ列２０に対して垂直に昇降移動するワークフィー
ドテーブル２８が設置されている。ワークフィードテー
ブル２８にはチルチングユニット３０が備えられてお
り、インゴット３２は、このチルチングユニット３０の
下部に保持される。チルチングユニット３０は、インゴ
ット３２を水平方向及び垂直方向に傾斜自在に保持し、
これにより、インゴット３２の結晶方位合わせがなされ
る。
ローラ１８Ｃには、それぞれ正逆回転可能なモータ（図
示せず）が連結されており、前記ワイヤ１４は、このモ
ータを駆動することにより、一対のワイヤリール１２間
を高速で往復走行する。前記ワイヤ列２０の上方には、
ワイヤ列２０に対して垂直に昇降移動するワークフィー
ドテーブル２８が設置されている。ワークフィードテー
ブル２８にはチルチングユニット３０が備えられてお
り、インゴット３２は、このチルチングユニット３０の
下部に保持される。チルチングユニット３０は、インゴ
ット３２を水平方向及び垂直方向に傾斜自在に保持し、
これにより、インゴット３２の結晶方位合わせがなされ
る。
【００１５】ワイヤソー１０は以上のように構成され
る。そして、次のようにしてインゴット３２を切断す
る。まず、インゴット３２をチルチングユニット３０の
ワーク保持部に装着する。次いで、そのチルチングユニ
ット３０を用いてインゴット３２の結晶方位合わせを行
う。
る。そして、次のようにしてインゴット３２を切断す
る。まず、インゴット３２をチルチングユニット３０の
ワーク保持部に装着する。次いで、そのチルチングユニ
ット３０を用いてインゴット３２の結晶方位合わせを行
う。
【００１６】次に、モータ（図示せず）を駆動してワイ
ヤリール１２及びグルーブローラ１８Ｃを高速回転さ
せ、ワイヤ１４を高速走行させる。そして、そのワイヤ
１４の走行が安定したところで、ワークフィードテーブ
ル２８を下降させ、高速走行するワイヤ列２０にインゴ
ット３２を押し当てる。この際、ワイヤ列２０とインゴ
ット３２との接触部には、図示しないノズルからスラリ
が供給され、インゴット３２は、このスラリ中に含有さ
れる砥粒のラッピング作用で多数枚のウェーハに切断さ
れる。
ヤリール１２及びグルーブローラ１８Ｃを高速回転さ
せ、ワイヤ１４を高速走行させる。そして、そのワイヤ
１４の走行が安定したところで、ワークフィードテーブ
ル２８を下降させ、高速走行するワイヤ列２０にインゴ
ット３２を押し当てる。この際、ワイヤ列２０とインゴ
ット３２との接触部には、図示しないノズルからスラリ
が供給され、インゴット３２は、このスラリ中に含有さ
れる砥粒のラッピング作用で多数枚のウェーハに切断さ
れる。
【００１７】なお、インゴット３２の加工に供したスラ
リは、ワイヤ列２０の下方位置に設置されたオイルパン
３６を介して回収され、循環供給される。この際、スラ
リは加工時に発生する熱を吸熱して温度上昇するので、
回収したスラリは、熱交換機３８に循環されて一定温度
に冷却される。次に、上述したワイヤソー１０に適用さ
れるグルーブローラ磨耗検知装置の第１の実施の形態に
ついて説明する。
リは、ワイヤ列２０の下方位置に設置されたオイルパン
３６を介して回収され、循環供給される。この際、スラ
リは加工時に発生する熱を吸熱して温度上昇するので、
回収したスラリは、熱交換機３８に循環されて一定温度
に冷却される。次に、上述したワイヤソー１０に適用さ
れるグルーブローラ磨耗検知装置の第１の実施の形態に
ついて説明する。
【００１８】図２、図３は、それぞれ上述したワイヤソ
ーの切断部の構成を示す正面図と側面断面図である。同
図に示すように、３本のグルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃ
は、ワイヤソーの本体フレーム（図示せず）に固定され
た一対のスピンドルブラケット４０Ｌ、４０Ｒにスピン
ドルユニット４２ＡL 、４２ＡR 、４２ＢL 、４２
ＢR 、４２ＣL 、４２ＣR を介して回動自在に支持され
ている。このグルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃの外周には
多数の溝が一定ピッチで形成されており、この溝にワイ
ヤ１４が順次巻きかけられることによりワイヤ列２０が
形成される。
ーの切断部の構成を示す正面図と側面断面図である。同
図に示すように、３本のグルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃ
は、ワイヤソーの本体フレーム（図示せず）に固定され
た一対のスピンドルブラケット４０Ｌ、４０Ｒにスピン
ドルユニット４２ＡL 、４２ＡR 、４２ＢL 、４２
ＢR 、４２ＣL 、４２ＣR を介して回動自在に支持され
ている。このグルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃの外周には
多数の溝が一定ピッチで形成されており、この溝にワイ
ヤ１４が順次巻きかけられることによりワイヤ列２０が
形成される。
【００１９】各グルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃの近傍に
は、それぞれ検出パイプ４４Ａ〜４４Ｃが設けられてい
る（検出パイプ４４Ａ〜４４Ｃの具体的な設置位置につ
いては後に詳述する。）。この検出パイプ４４Ａ〜４４
Ｃは、両端部を一対の取付ブラケット４６ＡR 〜４６Ｃ
R 、４６ＡL 〜４６ＣL に支持されており、該一対の取
付ブラケット４６ＡR 〜４６ＣR 、４６ＡL 〜４６ＣL
は、それぞれ前記一対のスピンドルブラケット４０Ｒ、
４０Ｌに固定されている。
は、それぞれ検出パイプ４４Ａ〜４４Ｃが設けられてい
る（検出パイプ４４Ａ〜４４Ｃの具体的な設置位置につ
いては後に詳述する。）。この検出パイプ４４Ａ〜４４
Ｃは、両端部を一対の取付ブラケット４６ＡR 〜４６Ｃ
R 、４６ＡL 〜４６ＣL に支持されており、該一対の取
付ブラケット４６ＡR 〜４６ＣR 、４６ＡL 〜４６ＣL
は、それぞれ前記一対のスピンドルブラケット４０Ｒ、
４０Ｌに固定されている。
【００２０】前記一対の取付ブラケット４６ＡR 〜４６
ＣR 、４６ＡL 〜４６ＣL のうち一方の取付ブラケット
４６ＡR 〜４６ＣR には、それぞれエア供給ライン４８
Ａ〜４８Ｃ（４８Ｃのみ図示）が連結されている。各エ
ア供給ライン４８Ａ〜４８Ｃは、それぞれエア供給装置
５０Ａ〜５０Ｃ（５０Ｃのみ図示）に連結されており、
このエア供給装置５０Ａ〜５０Ｃから供給されたエアが
エア供給ライン４８Ａ〜４８Ｃを介して取付ブラケット
４６ＡR 〜４６ＣR に供給される。そして、この取付ブ
ラケット４６ＡR 〜４６ＣR に供給されたエアが、取付
ブラケット４６ＡR 〜４６ＣR の内部に形成された図示
しないエア流路を介して各検出パイプ４４Ａ〜４４Ｃに
供給される。
ＣR 、４６ＡL 〜４６ＣL のうち一方の取付ブラケット
４６ＡR 〜４６ＣR には、それぞれエア供給ライン４８
Ａ〜４８Ｃ（４８Ｃのみ図示）が連結されている。各エ
ア供給ライン４８Ａ〜４８Ｃは、それぞれエア供給装置
５０Ａ〜５０Ｃ（５０Ｃのみ図示）に連結されており、
このエア供給装置５０Ａ〜５０Ｃから供給されたエアが
エア供給ライン４８Ａ〜４８Ｃを介して取付ブラケット
４６ＡR 〜４６ＣR に供給される。そして、この取付ブ
ラケット４６ＡR 〜４６ＣR に供給されたエアが、取付
ブラケット４６ＡR 〜４６ＣR の内部に形成された図示
しないエア流路を介して各検出パイプ４４Ａ〜４４Ｃに
供給される。
【００２１】ここで、前記エア供給装置５０Ａ〜５０Ｃ
から供給されるエアは、図示しないレギュレータによっ
て一定圧に調整されている。したがって、検出パイプ４
４Ａ〜４４Ｃ内の圧力は常に一定圧に維持されている。
また、前記各エア供給ライン４８Ａ〜４８Ｃには、それ
ぞれ圧力スイッチ５２Ａ〜５２Ｃ（５２Ｃのみ図示）が
設置されている。この圧力スイッチ５２Ａ〜５２Ｃは検
出パイプ４４Ａ〜４４Ｃ内の圧力が規定値以下になると
作動し、その作動信号を制御装置５４に出力する。制御
装置５４は、この圧力スイッチ５２Ａ〜５２Ｃの作動信
号を入力することにより、検出パイプ４４Ａ〜４４Ｃか
らエアがリークしていることを検出する。
から供給されるエアは、図示しないレギュレータによっ
て一定圧に調整されている。したがって、検出パイプ４
４Ａ〜４４Ｃ内の圧力は常に一定圧に維持されている。
また、前記各エア供給ライン４８Ａ〜４８Ｃには、それ
ぞれ圧力スイッチ５２Ａ〜５２Ｃ（５２Ｃのみ図示）が
設置されている。この圧力スイッチ５２Ａ〜５２Ｃは検
出パイプ４４Ａ〜４４Ｃ内の圧力が規定値以下になると
作動し、その作動信号を制御装置５４に出力する。制御
装置５４は、この圧力スイッチ５２Ａ〜５２Ｃの作動信
号を入力することにより、検出パイプ４４Ａ〜４４Ｃか
らエアがリークしていることを検出する。
【００２２】グルーブローラ磨耗検知装置は以上のよう
に構成されるが、ここで、上述した検出パイプ４４Ａ〜
４４Ｃの具体的な設置位置について説明する。まず、グ
ルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃの磨耗量とワイヤ１４の走
行位置との関係について説明する。前述したように、グ
ルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃは使用により磨耗し、この
結果、径が縮小する。いま、図４に示すように、新品の
状態のグルーブローラ１８Ｃの溝の半径がＲであったと
する。このとき、ワイヤ１４は、同図に実線で示す位置
でガイドされながら走行する。そして、このグルーブロ
ーラ１８Ｃを使用した結果、磨耗により溝の半径がｒに
変化したとする。このとき、ワイヤ１４の走行位置は同
図に二点破線で示す位置に変位する。
に構成されるが、ここで、上述した検出パイプ４４Ａ〜
４４Ｃの具体的な設置位置について説明する。まず、グ
ルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃの磨耗量とワイヤ１４の走
行位置との関係について説明する。前述したように、グ
ルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃは使用により磨耗し、この
結果、径が縮小する。いま、図４に示すように、新品の
状態のグルーブローラ１８Ｃの溝の半径がＲであったと
する。このとき、ワイヤ１４は、同図に実線で示す位置
でガイドされながら走行する。そして、このグルーブロ
ーラ１８Ｃを使用した結果、磨耗により溝の半径がｒに
変化したとする。このとき、ワイヤ１４の走行位置は同
図に二点破線で示す位置に変位する。
【００２３】このように、グルーブローラ１８Ａ〜１８
Ｃの溝が磨耗により縮径すると、その溝の磨耗量に応じ
てグルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃにガイドされるワイヤ
１４の走行位置も変位する。そこで、検出パイプ４４Ａ
〜４４Ｃは、グルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃの溝が所定
量磨耗すると、その溝の磨耗により所定量変位したワイ
ヤ１４に接触して切断される位置に設置しておく（図４
の例では、グルーブローラ１８Ｃの溝が磨耗により半径
ｒ（使用限界径）に達すると、その溝の磨耗により変位
したワイヤ１４に接触する位置に検出パイプ４４Ｃを設
置している。）。
Ｃの溝が磨耗により縮径すると、その溝の磨耗量に応じ
てグルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃにガイドされるワイヤ
１４の走行位置も変位する。そこで、検出パイプ４４Ａ
〜４４Ｃは、グルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃの溝が所定
量磨耗すると、その溝の磨耗により所定量変位したワイ
ヤ１４に接触して切断される位置に設置しておく（図４
の例では、グルーブローラ１８Ｃの溝が磨耗により半径
ｒ（使用限界径）に達すると、その溝の磨耗により変位
したワイヤ１４に接触する位置に検出パイプ４４Ｃを設
置している。）。
【００２４】このように設置することにより、検出パイ
プ４４Ａ〜４４Ｃは、グルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃの
溝が所定量磨耗すると、その磨耗により所定量変位した
ワイヤ１４によって切断され、内部に供給されているエ
アがリークするようになる。そして、このエアのリーク
を圧力スイッチ５２Ａ〜５２Ｃで検出することにより、
グルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃが所定量磨耗したことを
検知することができる。
プ４４Ａ〜４４Ｃは、グルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃの
溝が所定量磨耗すると、その磨耗により所定量変位した
ワイヤ１４によって切断され、内部に供給されているエ
アがリークするようになる。そして、このエアのリーク
を圧力スイッチ５２Ａ〜５２Ｃで検出することにより、
グルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃが所定量磨耗したことを
検知することができる。
【００２５】次に、前記のごとく構成されたグルーブロ
ーラ磨耗検知装置の作用について説明する。なお、以下
の実施の形態では、グルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃの溝
の使用限界径をｒとした場合で説明する。ワイヤソー１
０の稼働とともにエア供給装置５０Ａ〜５０Ｃが駆動さ
れ、各検出パイプ４４Ａ〜４４Ｃ内にエアが供給され
る。ここで、この検出パイプ７２内に供給されるエア
は、レギュレータによって一定圧に調整されており、こ
のため、検出パイプ４４Ａ〜４４Ｃ内の圧力は常に一定
圧に維持されている。
ーラ磨耗検知装置の作用について説明する。なお、以下
の実施の形態では、グルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃの溝
の使用限界径をｒとした場合で説明する。ワイヤソー１
０の稼働とともにエア供給装置５０Ａ〜５０Ｃが駆動さ
れ、各検出パイプ４４Ａ〜４４Ｃ内にエアが供給され
る。ここで、この検出パイプ７２内に供給されるエア
は、レギュレータによって一定圧に調整されており、こ
のため、検出パイプ４４Ａ〜４４Ｃ内の圧力は常に一定
圧に維持されている。
【００２６】グルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃでガイドす
るワイヤ１４には、砥粒が付着しているため、使用を重
ねるているうちにグルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃの溝は
磨耗する。この磨耗によりグルーブローラ１８Ａ〜１８
Ｃの溝は縮径し、これに伴ってワイヤ１４の走行位置も
変化する。ここで、たとえばグルーブローラ１８Ｃの溝
が磨耗により使用限界径ｒに達したとする。グルーブロ
ーラ１８Ｃの溝の径が使用限界径ｒに達すると、その磨
耗した溝によってガイドされるワイヤ１４が検出パイプ
４４Ｃに接触する。そして、検出パイプ４４Ｃを切断す
る。
るワイヤ１４には、砥粒が付着しているため、使用を重
ねるているうちにグルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃの溝は
磨耗する。この磨耗によりグルーブローラ１８Ａ〜１８
Ｃの溝は縮径し、これに伴ってワイヤ１４の走行位置も
変化する。ここで、たとえばグルーブローラ１８Ｃの溝
が磨耗により使用限界径ｒに達したとする。グルーブロ
ーラ１８Ｃの溝の径が使用限界径ｒに達すると、その磨
耗した溝によってガイドされるワイヤ１４が検出パイプ
４４Ｃに接触する。そして、検出パイプ４４Ｃを切断す
る。
【００２７】検出パイプ４４Ｃがワイヤ１４によって切
断されると、その切断部からエアがリークして検出パイ
プ４４Ｃ内のエア圧が低下する。そして、この検出パイ
プ４４Ｃ内のエア圧が低下して規定値以下になると、圧
力スイッチ５２Ｃが作動して、その作動信号が制御装置
５４に出力される。制御装置５４は、この圧力スイッチ
５２Ｃの作動信号を入力することにより、グルーブロー
ラ１８Ｃの溝が使用限界径ｒに達したことを検知し、オ
ペレータにグルーブローラ１８Ｃの交換時期であること
を警告する。
断されると、その切断部からエアがリークして検出パイ
プ４４Ｃ内のエア圧が低下する。そして、この検出パイ
プ４４Ｃ内のエア圧が低下して規定値以下になると、圧
力スイッチ５２Ｃが作動して、その作動信号が制御装置
５４に出力される。制御装置５４は、この圧力スイッチ
５２Ｃの作動信号を入力することにより、グルーブロー
ラ１８Ｃの溝が使用限界径ｒに達したことを検知し、オ
ペレータにグルーブローラ１８Ｃの交換時期であること
を警告する。
【００２８】オペレータは、この警告を受けてグルーブ
ローラ１８Ｃを新しいものに交換する。なお、このグル
ーブローラ１８Ｃの交換作業と同時に検出パイプ４４Ｃ
も新たなものと交換する。このように、本実施の形態の
ワイヤソーのグルーブローラ磨耗検知装置によれば、グ
ルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃが使用限界まで磨耗したこ
とを直接判断することができるので、誤動作無く、確実
に使用限界でグルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃの交換を行
うことができる。
ローラ１８Ｃを新しいものに交換する。なお、このグル
ーブローラ１８Ｃの交換作業と同時に検出パイプ４４Ｃ
も新たなものと交換する。このように、本実施の形態の
ワイヤソーのグルーブローラ磨耗検知装置によれば、グ
ルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃが使用限界まで磨耗したこ
とを直接判断することができるので、誤動作無く、確実
に使用限界でグルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃの交換を行
うことができる。
【００２９】また、テンション変動などによって一本だ
けが他の溝よりも突出して磨耗した場合であっても、早
急にこれを検知することができため、グルーブローラの
芯鋼まで切断して装置を損傷したり、ワイヤ１４の断線
の引き起こしたりすることも防止できる。さらに、検出
部において電気を使用していないため、発火の危険性も
なく安全にグルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃの磨耗検出を
行うことができる。
けが他の溝よりも突出して磨耗した場合であっても、早
急にこれを検知することができため、グルーブローラの
芯鋼まで切断して装置を損傷したり、ワイヤ１４の断線
の引き起こしたりすることも防止できる。さらに、検出
部において電気を使用していないため、発火の危険性も
なく安全にグルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃの磨耗検出を
行うことができる。
【００３０】なお、本実施の形態では、検出パイプ７２
に供給する流体としてエアを使用しているが、この他、
ガス、水等を利用してもよい。次に、本発明に係るグル
ーブローラ磨耗検知装置の第２の実施の形態について説
明する。なお、前記第１の実施の形態と同一部材には、
同一符号を付して、その説明は省略する。
に供給する流体としてエアを使用しているが、この他、
ガス、水等を利用してもよい。次に、本発明に係るグル
ーブローラ磨耗検知装置の第２の実施の形態について説
明する。なお、前記第１の実施の形態と同一部材には、
同一符号を付して、その説明は省略する。
【００３１】上述した第１の実施の形態では、磨耗によ
り変位したワイヤ１４によって検出パイプ４４Ａ〜４４
Ｃを切断させ、その検出パイプ４４Ａ〜４４Ｃからのエ
アのリークを検出することにより、グルーブローラ１８
Ａ〜１８Ｃの磨耗を検知するようにしていた。第２の実
施の形態では、磨耗により変位したワイヤ１４によって
電流が流された検出用ワイヤを切断させ、その検出用ワ
イヤを流れる電流がゼロになったことを検出することに
より、グルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃの磨耗を検知す
る。具体的には、以下の通りである。
り変位したワイヤ１４によって検出パイプ４４Ａ〜４４
Ｃを切断させ、その検出パイプ４４Ａ〜４４Ｃからのエ
アのリークを検出することにより、グルーブローラ１８
Ａ〜１８Ｃの磨耗を検知するようにしていた。第２の実
施の形態では、磨耗により変位したワイヤ１４によって
電流が流された検出用ワイヤを切断させ、その検出用ワ
イヤを流れる電流がゼロになったことを検出することに
より、グルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃの磨耗を検知す
る。具体的には、以下の通りである。
【００３２】各グルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃの近傍に
は、ワイヤ１４と直交するように検出用ワイヤ６０Ａ〜
６０Ｃが張設されている。この検出用ワイヤ６０Ａ〜６
０Ｃは、両端部を一対の取付ブラケット６２ＡR 〜６２
ＣR 、６２ＡL 〜６２ＣL に支持されており、該一対の
取付ブラケット６２ＡR 〜６２ＣR 、６２ＡL 〜６２Ｃ
L は、それぞれ一対のスピンドルブラケット４０Ｒ、４
０Ｌに固定されている。
は、ワイヤ１４と直交するように検出用ワイヤ６０Ａ〜
６０Ｃが張設されている。この検出用ワイヤ６０Ａ〜６
０Ｃは、両端部を一対の取付ブラケット６２ＡR 〜６２
ＣR 、６２ＡL 〜６２ＣL に支持されており、該一対の
取付ブラケット６２ＡR 〜６２ＣR 、６２ＡL 〜６２Ｃ
L は、それぞれ一対のスピンドルブラケット４０Ｒ、４
０Ｌに固定されている。
【００３３】なお、この検出用ワイヤ６０Ａ〜６０Ｃの
設置位置は、上述した第１の実施の形態の検出パイプ４
４Ａ〜４４Ｃと同じ位置である。すなわち、各検出用ワ
イヤ６０Ａ〜６０Ｃは、グルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃ
の溝が所定量磨耗すると、その溝の磨耗により所定量変
位したワイヤ１４に接触して切断される位置に設置す
る。
設置位置は、上述した第１の実施の形態の検出パイプ４
４Ａ〜４４Ｃと同じ位置である。すなわち、各検出用ワ
イヤ６０Ａ〜６０Ｃは、グルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃ
の溝が所定量磨耗すると、その溝の磨耗により所定量変
位したワイヤ１４に接触して切断される位置に設置す
る。
【００３４】前記一対の取付ブラケット６２ＡR 〜６２
ＣR 、６２ＡL 〜６２ＣL の間には電源６４により一定
の電圧が印加され、この電圧が印加されることにより、
各検出用ワイヤ６０Ａ〜６０Ｃに電流が流れる。この一
対の取付ブラケット６２ＡR〜６２ＣR 、６２ＡL 〜６
２ＣL の間を流れる電流は、電流計６６Ａ〜６６Ｃ（６
６Ｃのみ図示）によって検出され、その検出値は制御装
置６８に出力される。
ＣR 、６２ＡL 〜６２ＣL の間には電源６４により一定
の電圧が印加され、この電圧が印加されることにより、
各検出用ワイヤ６０Ａ〜６０Ｃに電流が流れる。この一
対の取付ブラケット６２ＡR〜６２ＣR 、６２ＡL 〜６
２ＣL の間を流れる電流は、電流計６６Ａ〜６６Ｃ（６
６Ｃのみ図示）によって検出され、その検出値は制御装
置６８に出力される。
【００３５】制御装置６８は、電流計６６Ａ〜６６Ｃか
ら出力される電流値がゼロになると、グルーブローラ１
８Ａ〜１８Ｃの溝の磨耗により変位したワイヤ１４によ
って検出用ワイヤ６０Ａ〜６０Ｃが切断されたと判断す
る。そして、その切断された検出用ワイヤ６０Ａ〜６０
Ｃが設置されているグルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃが磨
耗により使用限界に達したと判断する。
ら出力される電流値がゼロになると、グルーブローラ１
８Ａ〜１８Ｃの溝の磨耗により変位したワイヤ１４によ
って検出用ワイヤ６０Ａ〜６０Ｃが切断されたと判断す
る。そして、その切断された検出用ワイヤ６０Ａ〜６０
Ｃが設置されているグルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃが磨
耗により使用限界に達したと判断する。
【００３６】前記のごとく構成された本発明に係るグル
ーブローラ磨耗検知装置の第２の実施の形態の作用は次
の通りである。ワイヤソー１０の稼働とともに、一対の
取付ブラケット６２ＡR 〜６２ＣR 、６２ＡL 〜６２Ｃ
L の間に一定の電圧が印加される。この結果、各検出用
ワイヤ６０Ａ〜６０Ｃに電流が流れ、その電流が電流計
６６Ａ〜６６Ｃによって検出される。
ーブローラ磨耗検知装置の第２の実施の形態の作用は次
の通りである。ワイヤソー１０の稼働とともに、一対の
取付ブラケット６２ＡR 〜６２ＣR 、６２ＡL 〜６２Ｃ
L の間に一定の電圧が印加される。この結果、各検出用
ワイヤ６０Ａ〜６０Ｃに電流が流れ、その電流が電流計
６６Ａ〜６６Ｃによって検出される。
【００３７】グルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃでガイドす
るワイヤ１４には、砥粒が付着しているため、使用を重
ねるているうちにグルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃの溝は
磨耗する。この磨耗によりグルーブローラ１８Ａ〜１８
Ｃの溝は縮径し、これに伴ってワイヤ１４の走行位置も
変化する。ここで、たとえばグルーブローラ１８Ｃの溝
が磨耗により使用限界径ｒに達したとする。グルーブロ
ーラ１８Ｃの溝の径が使用限界径ｒに達すると、その磨
耗した溝によってガイドされるワイヤ１４が検出用ワイ
ヤ６０Ｃに接触する。そして、検出用ワイヤ６０Ｃを切
断する。
るワイヤ１４には、砥粒が付着しているため、使用を重
ねるているうちにグルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃの溝は
磨耗する。この磨耗によりグルーブローラ１８Ａ〜１８
Ｃの溝は縮径し、これに伴ってワイヤ１４の走行位置も
変化する。ここで、たとえばグルーブローラ１８Ｃの溝
が磨耗により使用限界径ｒに達したとする。グルーブロ
ーラ１８Ｃの溝の径が使用限界径ｒに達すると、その磨
耗した溝によってガイドされるワイヤ１４が検出用ワイ
ヤ６０Ｃに接触する。そして、検出用ワイヤ６０Ｃを切
断する。
【００３８】検出用ワイヤ６０Ｃがワイヤ１４によって
切断されると、その検出用ワイヤ６０を流れる電流がゼ
ロになる。そして、この検出用ワイヤ６０を流れる電流
がゼロになると、制御装置６８は、グルーブローラ１８
Ｃの溝が使用限界径ｒに達したことを検知し、オペレー
タにグルーブローラ１８Ｃの交換時期であることを警告
する。
切断されると、その検出用ワイヤ６０を流れる電流がゼ
ロになる。そして、この検出用ワイヤ６０を流れる電流
がゼロになると、制御装置６８は、グルーブローラ１８
Ｃの溝が使用限界径ｒに達したことを検知し、オペレー
タにグルーブローラ１８Ｃの交換時期であることを警告
する。
【００３９】オペレータは、この警告を受けてグルーブ
ローラ１８Ｃを新しいものに交換する。なお、このグル
ーブローラ１８Ｃの交換作業と同時に検出用ワイヤ６０
Ｃも新たなものに交換する。このように、本実施の形態
のワイヤソーのグルーブローラ磨耗検知装置によれば、
グルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃが使用限界まで磨耗した
ことを直接判断することができるので、誤動作無く、確
実に使用限界でグルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃの交換を
行うことができる。
ローラ１８Ｃを新しいものに交換する。なお、このグル
ーブローラ１８Ｃの交換作業と同時に検出用ワイヤ６０
Ｃも新たなものに交換する。このように、本実施の形態
のワイヤソーのグルーブローラ磨耗検知装置によれば、
グルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃが使用限界まで磨耗した
ことを直接判断することができるので、誤動作無く、確
実に使用限界でグルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃの交換を
行うことができる。
【００４０】また、テンション変動などによって一本だ
けが他の溝よりも突出して磨耗した場合であっても、早
急にこれを検知することができため、グルーブローラの
芯鋼まで切断して装置を損傷したり、ワイヤ１４の断線
の引き起こしたりすることも防止できる。次に、本発明
に係るグルーブローラ磨耗検知装置の第３の実施の形態
について説明する。なお、前記第１の実施の形態と同一
部材には、同一符号を付して、その説明は省略する。
けが他の溝よりも突出して磨耗した場合であっても、早
急にこれを検知することができため、グルーブローラの
芯鋼まで切断して装置を損傷したり、ワイヤ１４の断線
の引き起こしたりすることも防止できる。次に、本発明
に係るグルーブローラ磨耗検知装置の第３の実施の形態
について説明する。なお、前記第１の実施の形態と同一
部材には、同一符号を付して、その説明は省略する。
【００４１】第３の実施の形態のグルーブローラ磨耗検
知装置では、磨耗により変位したワイヤ１４によって一
定張力がかけられた検出用ワイヤを切断させ、その検出
用ワイヤの張力がゼロになったことを検出することによ
り、グルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃの磨耗を検知する。
具体的には、以下の通りである。各グルーブローラ１８
Ａ〜１８Ｃの近傍には、ワイヤ１４と直交するように検
出用ワイヤ８０Ａ〜８０Ｃが張設されている。この検出
用ワイヤ８０Ａ〜８０Ｃは、一対の取付ブラケット８２
ＡR 〜８２ＣR 、８２ＡL 〜８２ＣL 間に所定の張力で
張設されており、該一対の取付ブラケット８２ＡR 〜８
２ＣR 、８２ＡL〜８２ＣL は、それぞれ一対のスピン
ドルブラケット４０Ｒ、４０Ｌに固定されている。
知装置では、磨耗により変位したワイヤ１４によって一
定張力がかけられた検出用ワイヤを切断させ、その検出
用ワイヤの張力がゼロになったことを検出することによ
り、グルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃの磨耗を検知する。
具体的には、以下の通りである。各グルーブローラ１８
Ａ〜１８Ｃの近傍には、ワイヤ１４と直交するように検
出用ワイヤ８０Ａ〜８０Ｃが張設されている。この検出
用ワイヤ８０Ａ〜８０Ｃは、一対の取付ブラケット８２
ＡR 〜８２ＣR 、８２ＡL 〜８２ＣL 間に所定の張力で
張設されており、該一対の取付ブラケット８２ＡR 〜８
２ＣR 、８２ＡL〜８２ＣL は、それぞれ一対のスピン
ドルブラケット４０Ｒ、４０Ｌに固定されている。
【００４２】なお、この検出用ワイヤ８０Ａ〜８０Ｃの
設置位置は、上述した第２の実施の形態の検出用ワイヤ
６０Ａ〜６０Ｃと同じ位置である。すなわち、各検出用
ワイヤ８０Ａ〜８０Ｃは、グルーブローラ１８Ａ〜１８
Ｃの溝が所定量磨耗すると、その溝の磨耗により所定量
変位したワイヤ１４に接触して切断される位置に設置す
る。
設置位置は、上述した第２の実施の形態の検出用ワイヤ
６０Ａ〜６０Ｃと同じ位置である。すなわち、各検出用
ワイヤ８０Ａ〜８０Ｃは、グルーブローラ１８Ａ〜１８
Ｃの溝が所定量磨耗すると、その溝の磨耗により所定量
変位したワイヤ１４に接触して切断される位置に設置す
る。
【００４３】前記一対の取付ブラケット８２ＡR 〜８２
ＣR 、８２ＡL 〜８２ＣL のうち一方の取付ブラケット
８２ＡR 〜８２ＣR には、検出用ワイヤ８０Ａ〜８０Ｃ
の張力を検出する荷重センサ８４Ａ〜８４Ｃ（８４Ａ、
８４Ｃのみ図示）が内蔵されている。検出用ワイヤ８０
Ａ〜８０Ｃの一方端は、この荷重センサ８４Ａ〜８４Ｃ
に支持されており、該荷重センサ８４Ａ〜８４Ｃで検出
された検出用ワイヤ８０Ａ〜８０Ｃの張力は制御装置８
６に出力される。
ＣR 、８２ＡL 〜８２ＣL のうち一方の取付ブラケット
８２ＡR 〜８２ＣR には、検出用ワイヤ８０Ａ〜８０Ｃ
の張力を検出する荷重センサ８４Ａ〜８４Ｃ（８４Ａ、
８４Ｃのみ図示）が内蔵されている。検出用ワイヤ８０
Ａ〜８０Ｃの一方端は、この荷重センサ８４Ａ〜８４Ｃ
に支持されており、該荷重センサ８４Ａ〜８４Ｃで検出
された検出用ワイヤ８０Ａ〜８０Ｃの張力は制御装置８
６に出力される。
【００４４】制御装置８６は、荷重センサ８４Ａ〜８４
Ｃから出力される張力がゼロになると、グルーブローラ
１８Ａ〜１８Ｃの溝の磨耗により変位したワイヤ１４に
よって検出用ワイヤ８０Ａ〜８０Ｃが切断されたと判断
する。そして、その切断された検出用ワイヤ８０Ａ〜８
０Ｃが設置されているグルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃが
磨耗により使用限界に達したと判断する。
Ｃから出力される張力がゼロになると、グルーブローラ
１８Ａ〜１８Ｃの溝の磨耗により変位したワイヤ１４に
よって検出用ワイヤ８０Ａ〜８０Ｃが切断されたと判断
する。そして、その切断された検出用ワイヤ８０Ａ〜８
０Ｃが設置されているグルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃが
磨耗により使用限界に達したと判断する。
【００４５】前記のごとく構成された本発明に係るグル
ーブローラ磨耗検知装置の第３の実施の形態の作用は次
の通りである。ワイヤソー１０の稼働とともに、各検出
用ワイヤ８０Ａ〜８０Ｃに係る張力が荷重センサ８４Ａ
〜８４Ｃによって検出される。グルーブローラ１８Ａ〜
１８Ｃでガイドするワイヤ１４には、砥粒が付着してい
るため、使用を重ねるているうちにグルーブローラ１８
Ａ〜１８Ｃの溝は磨耗する。この磨耗によりグルーブロ
ーラ１８Ａ〜１８Ｃの溝は縮径し、これに伴ってワイヤ
１４の走行位置も変化する。
ーブローラ磨耗検知装置の第３の実施の形態の作用は次
の通りである。ワイヤソー１０の稼働とともに、各検出
用ワイヤ８０Ａ〜８０Ｃに係る張力が荷重センサ８４Ａ
〜８４Ｃによって検出される。グルーブローラ１８Ａ〜
１８Ｃでガイドするワイヤ１４には、砥粒が付着してい
るため、使用を重ねるているうちにグルーブローラ１８
Ａ〜１８Ｃの溝は磨耗する。この磨耗によりグルーブロ
ーラ１８Ａ〜１８Ｃの溝は縮径し、これに伴ってワイヤ
１４の走行位置も変化する。
【００４６】ここで、たとえばグルーブローラ１８Ｃの
溝が磨耗により使用限界径ｒに達したとする。グルーブ
ローラ１８Ｃの溝の径が使用限界径ｒに達すると、その
磨耗した溝によってガイドされるワイヤ１４が検出用ワ
イヤ８０Ｃに接触する。そして、検出用ワイヤ８０Ｃを
切断する。検出用ワイヤ８０Ｃがワイヤ１４によって切
断されると、その検出用ワイヤ８０にかかる張力がゼロ
になる。そして、この検出用ワイヤ８０にかかる張力が
ゼロになると、制御装置８６は、グルーブローラ１８Ｃ
の溝が使用限界径ｒに達したことを検知し、オペレータ
にグルーブローラ１８Ｃの交換時期であることを警告す
る。
溝が磨耗により使用限界径ｒに達したとする。グルーブ
ローラ１８Ｃの溝の径が使用限界径ｒに達すると、その
磨耗した溝によってガイドされるワイヤ１４が検出用ワ
イヤ８０Ｃに接触する。そして、検出用ワイヤ８０Ｃを
切断する。検出用ワイヤ８０Ｃがワイヤ１４によって切
断されると、その検出用ワイヤ８０にかかる張力がゼロ
になる。そして、この検出用ワイヤ８０にかかる張力が
ゼロになると、制御装置８６は、グルーブローラ１８Ｃ
の溝が使用限界径ｒに達したことを検知し、オペレータ
にグルーブローラ１８Ｃの交換時期であることを警告す
る。
【００４７】オペレータは、この警告を受けてグルーブ
ローラ１８Ｃを新しいものに交換する。なお、このグル
ーブローラ１８Ｃの交換作業と同時に検出用ワイヤ８０
Ｃも新たなものに交換する。このように、本実施の形態
のワイヤソーのグルーブローラ磨耗検知装置によれば、
グルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃが使用限界まで磨耗した
ことを直接判断することができるので、誤動作無く、確
実に使用限界でグルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃの交換を
行うことができる。
ローラ１８Ｃを新しいものに交換する。なお、このグル
ーブローラ１８Ｃの交換作業と同時に検出用ワイヤ８０
Ｃも新たなものに交換する。このように、本実施の形態
のワイヤソーのグルーブローラ磨耗検知装置によれば、
グルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃが使用限界まで磨耗した
ことを直接判断することができるので、誤動作無く、確
実に使用限界でグルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃの交換を
行うことができる。
【００４８】また、テンション変動などによって一本だ
けが他の溝よりも突出して磨耗した場合であっても、早
急にこれを検知することができたため、グルーブローラ
の芯鋼まで切断して装置を損傷したり、ワイヤ１４の断
線の引き起こしたりすることも防止できる。さらに、検
出部において電気を使用していないため、発火の危険性
もなく安全にグルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃの磨耗検出
を行うことができる。
けが他の溝よりも突出して磨耗した場合であっても、早
急にこれを検知することができたため、グルーブローラ
の芯鋼まで切断して装置を損傷したり、ワイヤ１４の断
線の引き起こしたりすることも防止できる。さらに、検
出部において電気を使用していないため、発火の危険性
もなく安全にグルーブローラ１８Ａ〜１８Ｃの磨耗検出
を行うことができる。
【００４９】なお、上述した一連の実施の形態では、遊
離砥粒タイプのワイヤソーに本発明のグルーブローラ磨
耗検知装置を適用した例で説明したが、本発明は固定砥
粒タイプのワイヤソー（ワイヤの周面に砥粒が直接固着
された固定砥粒付ワイヤを用いたワイヤソー）にも適用
することができる。また、本実施の形態のグルーブロー
ラ磨耗検知装置は、パウダクラッチを用いたキャプスタ
ンローラの磨耗検知にも使用することができる。
離砥粒タイプのワイヤソーに本発明のグルーブローラ磨
耗検知装置を適用した例で説明したが、本発明は固定砥
粒タイプのワイヤソー（ワイヤの周面に砥粒が直接固着
された固定砥粒付ワイヤを用いたワイヤソー）にも適用
することができる。また、本実施の形態のグルーブロー
ラ磨耗検知装置は、パウダクラッチを用いたキャプスタ
ンローラの磨耗検知にも使用することができる。
【００５０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
グルーブローラが使用限界まで磨耗したことを直接検知
することができる。したがって、確実にグルーブローラ
の磨耗を検知することができる。
グルーブローラが使用限界まで磨耗したことを直接検知
することができる。したがって、確実にグルーブローラ
の磨耗を検知することができる。
【図１】ワイヤソーの全体構成を示す斜視図
【図２】グルーブローラ磨耗検知装置の第１の実施の形
態の正面図
態の正面図
【図３】グルーブローラ磨耗検知装置の第１の実施の形
態の側面断面図
態の側面断面図
【図４】グルーブローラ磨耗検知装置の第１の実施の形
態の作用の説明図
態の作用の説明図
【図５】グルーブローラ磨耗検知装置の第２の実施の形
態の正面図
態の正面図
【図６】グルーブローラ磨耗検知装置の第３の実施の形
態の正面図
態の正面図
１０…ワイヤソー １２…ワイヤリール １４…ワイヤ １８Ａ〜１８Ｃ…グルーブローラ ２０…ワイヤ列 ３２…インゴット ４２Ｒ、４２Ｌ…スピンドルブラケット ４４Ａ〜４４Ｃ…検出パイプ ４６ＡR 〜４６ＣR 、４６ＡL 〜４６ＣL …取付ブラケ
ット ４８Ａ〜４８Ｃ…エア供給ライン ５０Ａ〜５０Ｃ…エア供給装置 ５２Ａ〜５２Ｃ…圧力スイッチ ５４…制御装置 ６０Ａ〜６０Ｃ…検出用ワイヤ ６２ＡR 〜６２ＣR 、６２ＡL 〜６２ＣL …取付ブラケ
ット ６４Ａ〜６４Ｃ…電源 ６６Ａ〜６６Ｃ…電流計 ６８…制御装置 ８０Ａ〜８０Ｃ…検出用ワイヤ ８２ＡR 〜８２ＣR 、８２ＡL 〜８２ＣL …取付ブラケ
ット ８４Ａ〜８４Ｃ…荷重センサ ８６…制御装置
ット ４８Ａ〜４８Ｃ…エア供給ライン ５０Ａ〜５０Ｃ…エア供給装置 ５２Ａ〜５２Ｃ…圧力スイッチ ５４…制御装置 ６０Ａ〜６０Ｃ…検出用ワイヤ ６２ＡR 〜６２ＣR 、６２ＡL 〜６２ＣL …取付ブラケ
ット ６４Ａ〜６４Ｃ…電源 ６６Ａ〜６６Ｃ…電流計 ６８…制御装置 ８０Ａ〜８０Ｃ…検出用ワイヤ ８２ＡR 〜８２ＣR 、８２ＡL 〜８２ＣL …取付ブラケ
ット ８４Ａ〜８４Ｃ…荷重センサ ８６…制御装置
Claims (3)
- 【請求項１】 走行するワイヤを複数個のグルーブロー
ラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、そのワイヤ列に被加
工物を押し当てることにより多数枚のウェーハを同時に
切断するワイヤソーにおいて、 前記グルーブローラが磨耗して所定の径に達すると、そ
のグルーブローラの磨耗により走行位置が変位したワイ
ヤによって切断される検出パイプと、 前記検出パイプ内に一定圧の流体を供給する流体供給手
段と、 前記検出パイプ内の流体の圧力を検出する圧力検出手段
と、からなり、前記検出パイプ内の流体の圧力の低下を
前記圧力検出手段で検出することにより前記グルーブロ
ーラの磨耗を検知することを特徴とするワイヤソーのグ
ルーブローラ磨耗検知装置。 - 【請求項２】 走行するワイヤを複数個のグルーブロー
ラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、そのワイヤ列に被加
工物を押し当てることにより多数枚のウェーハを同時に
切断するワイヤソーにおいて、 前記グルーブローラが磨耗して所定の径に達すると、そ
のグルーブローラの磨耗により走行位置が変位したワイ
ヤによって切断される被切断部材と、 前記被切断部材に電流を流す電源と、 前記被切断部材に流れる電流を検出する電流検出手段
と、からなり、前記被切断部材に電流が流れなくなった
ことを前記電流検出手段で検出することにより前記グル
ーブローラの磨耗を検知することを特徴とするワイヤソ
ーのグルーブローラ磨耗検知装置。 - 【請求項３】 走行するワイヤを複数個のグルーブロー
ラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、そのワイヤ列に被加
工物を押し当てることにより多数枚のウェーハを同時に
切断するワイヤソーにおいて、 前記グルーブローラが磨耗して所定の径に達すると、そ
のグルーブローラの磨耗により走行位置が変位したワイ
ヤによって切断される被切断部材と、 前記被切断部材に張力を付与する張力付与手段と、 前記被切断部材の張力を検出する張力検出手段と、から
なり、前記被切断部材の張力がゼロになったことを前記
張力検出手段で検出することにより前記グルーブローラ
の磨耗を検知することを特徴とするワイヤソーのグルー
ブローラ磨耗検知装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5093598A JPH11245158A (ja) | 1998-03-03 | 1998-03-03 | ワイヤソーのグルーブローラ磨耗検知装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5093598A JPH11245158A (ja) | 1998-03-03 | 1998-03-03 | ワイヤソーのグルーブローラ磨耗検知装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11245158A true JPH11245158A (ja) | 1999-09-14 |
Family
ID=12872691
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5093598A Pending JPH11245158A (ja) | 1998-03-03 | 1998-03-03 | ワイヤソーのグルーブローラ磨耗検知装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11245158A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011143510A (ja) * | 2010-01-14 | 2011-07-28 | Takatori Corp | ワイヤソーの断線検出装置 |
-
1998
- 1998-03-03 JP JP5093598A patent/JPH11245158A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011143510A (ja) * | 2010-01-14 | 2011-07-28 | Takatori Corp | ワイヤソーの断線検出装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4049900B2 (ja) | ワイヤソー切断装置 | |
| JP3106294B2 (ja) | ワイヤソーのワイヤ断線検出装置 | |
| TWI628020B (zh) | 用於在非計畫的中斷之後恢復工件的線鋸切加工的方法以及設備 | |
| CN203062967U (zh) | 金刚石线锯装置 | |
| JPH0113976B2 (ja) | ||
| US5908025A (en) | Wire derailment detecting apparatus of wire saw | |
| JP3345018B2 (ja) | ワイヤ式切断加工装置および方法 | |
| JPH11245158A (ja) | ワイヤソーのグルーブローラ磨耗検知装置 | |
| JPH11156694A (ja) | ワイヤーソー切断方法および装置 | |
| JP2011088266A (ja) | ワイヤソー切断装置 | |
| JP2000071163A (ja) | ワイヤソーのグルーブローラ磨耗検知装置 | |
| JP3179304B2 (ja) | ワイヤソー装置 | |
| JPH07205015A (ja) | ワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知方法及びその装置 | |
| JPH10166255A (ja) | ワイヤソー | |
| JP3075393B2 (ja) | ワイヤソーの熱交換機監視方法 | |
| JPH0929610A (ja) | ワイヤソーのワイヤトラバース装置 | |
| JPH09248822A (ja) | ワイヤソーのガイドローラ磨耗検出構造 | |
| JPH0970824A (ja) | ワイヤソーのワイヤ脱線検出装置 | |
| JP3244099B2 (ja) | ワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知装置 | |
| JPH07205016A (ja) | ワイヤーソーのガイドローラ磨耗量検知方法 及びその装置 | |
| JP3144278B2 (ja) | ワイヤソーのワイヤ脱線検出装置 | |
| JP3109384B2 (ja) | ワイヤーソー | |
| JPH0929609A (ja) | ワイヤソーのワイヤトラバース装置 | |
| JP3425032B2 (ja) | ワイヤソー | |
| JPH10264005A (ja) | ワイヤソーのワイヤ径検出装置およびそれを使用したワイヤソー |