JP3144278B2 - ワイヤソーのワイヤ脱線検出装置 - Google Patents
ワイヤソーのワイヤ脱線検出装置Info
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- JP3144278B2 JP3144278B2 JP23659195A JP23659195A JP3144278B2 JP 3144278 B2 JP3144278 B2 JP 3144278B2 JP 23659195 A JP23659195 A JP 23659195A JP 23659195 A JP23659195 A JP 23659195A JP 3144278 B2 JP3144278 B2 JP 3144278B2
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
- B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
- B23D57/0053—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of drives for saw wires; of wheel mountings; of wheels
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はワイヤソーのワイヤ
脱線検出装置に係り、特に半導体インゴット等の被加工
物を走行するワイヤで多数のウェーハに切断するワイヤ
ソーのワイヤ脱線検出装置に関する。
脱線検出装置に係り、特に半導体インゴット等の被加工
物を走行するワイヤで多数のウェーハに切断するワイヤ
ソーのワイヤ脱線検出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ワイヤソーは、一対のワイヤリール間を
走行するワイヤを複数の溝付ローラに巻きかけてワイヤ
列を形成し、そのワイヤ列に砥粒を含む加工液を供給し
ながら被加工物を押し当てることにより、被加工物を多
数のウェーハに切断する装置である。
走行するワイヤを複数の溝付ローラに巻きかけてワイヤ
列を形成し、そのワイヤ列に砥粒を含む加工液を供給し
ながら被加工物を押し当てることにより、被加工物を多
数のウェーハに切断する装置である。
【０００３】前記ワイヤソーにおいて、スライス中のワ
イヤの断線は起きてはならない問題である。このワイヤ
の断線原因の一つに、溝付ローラからのワイヤの脱線が
ある。このワイヤの脱線を検出する手段として、一対の
ワイヤリールをワイヤソー装置本体から電気的に絶縁す
るとともに、両ワイヤリール間に一定電圧をかけ、その
電圧値の降下を検出することにより、ワイヤの脱線を判
断する方法が考えられる。この方法は、溝付ローラの多
くが、ゴムやポリウレタン或いはポリエチレン等の樹脂
で成形されいることに着目し、ワイヤが正常に巻き掛け
られていれば、ワイヤリール間には一定の電圧差が生
じ、ワイヤが脱線すれば、ワイヤはワイヤソー装置本体
に接触して前記電圧が降下するということに基づいてい
る。
イヤの断線は起きてはならない問題である。このワイヤ
の断線原因の一つに、溝付ローラからのワイヤの脱線が
ある。このワイヤの脱線を検出する手段として、一対の
ワイヤリールをワイヤソー装置本体から電気的に絶縁す
るとともに、両ワイヤリール間に一定電圧をかけ、その
電圧値の降下を検出することにより、ワイヤの脱線を判
断する方法が考えられる。この方法は、溝付ローラの多
くが、ゴムやポリウレタン或いはポリエチレン等の樹脂
で成形されいることに着目し、ワイヤが正常に巻き掛け
られていれば、ワイヤリール間には一定の電圧差が生
じ、ワイヤが脱線すれば、ワイヤはワイヤソー装置本体
に接触して前記電圧が降下するということに基づいてい
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、現状のワイ
ヤソーのスラリ（切削液）は、油性が多く占めている
が、スライス後のウェーハ洗浄性、作業者の汚れの問
題、環境の問題等があり、近年、水溶性スラリの研究が
進められており、実用化可能なレベルまで達成してい
る。
ヤソーのスラリ（切削液）は、油性が多く占めている
が、スライス後のウェーハ洗浄性、作業者の汚れの問
題、環境の問題等があり、近年、水溶性スラリの研究が
進められており、実用化可能なレベルまで達成してい
る。
【０００５】しかしながら、水溶性スラリを用いて切断
するワイヤソーにおいて、前記従来の電気的なワイヤの
脱線検出方法では、スラリが電気を通してしまうため、
誤動作を起こし易く、また検出が遅れるという欠点があ
る。本発明は、このような事情を鑑みてなされたもの
で、水溶性スラリを用いて切断するワイヤソーに対応す
ることができるワイヤソーのワイヤ脱線検出装置を提供
することを目的とする。
するワイヤソーにおいて、前記従来の電気的なワイヤの
脱線検出方法では、スラリが電気を通してしまうため、
誤動作を起こし易く、また検出が遅れるという欠点があ
る。本発明は、このような事情を鑑みてなされたもの
で、水溶性スラリを用いて切断するワイヤソーに対応す
ることができるワイヤソーのワイヤ脱線検出装置を提供
することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成する為に、走行するワイヤを複数個の溝付ローラに巻
き掛けてワイヤ列を形成し、該ワイヤ列に被加工物を押
し当てることにより、前記被加工物を多数のウェーハに
切断するワイヤソーにおいて、前記溝付ローラの端部に
該溝付ローラから外れたワイヤが接触し、作動するスイ
ッチを設け、該スイッチの作動信号を制御装置に入力す
ることにより該制御装置は前記ワイヤの走行を停止する
ことを特徴とする。
成する為に、走行するワイヤを複数個の溝付ローラに巻
き掛けてワイヤ列を形成し、該ワイヤ列に被加工物を押
し当てることにより、前記被加工物を多数のウェーハに
切断するワイヤソーにおいて、前記溝付ローラの端部に
該溝付ローラから外れたワイヤが接触し、作動するスイ
ッチを設け、該スイッチの作動信号を制御装置に入力す
ることにより該制御装置は前記ワイヤの走行を停止する
ことを特徴とする。
【０００７】本発明によれば、溝付ローラに巻き掛けら
れたワイヤは、溝付ローラから脱線すると、溝付ローラ
の端部に設けられたスイッチに接触する。スイッチは、
ワイヤが接触することにより作動し、その作動信号を制
御装置に出力する。制御装置は、前記スイッチの作動信
号を入力することにより、ワイヤの走行を停止する。
れたワイヤは、溝付ローラから脱線すると、溝付ローラ
の端部に設けられたスイッチに接触する。スイッチは、
ワイヤが接触することにより作動し、その作動信号を制
御装置に出力する。制御装置は、前記スイッチの作動信
号を入力することにより、ワイヤの走行を停止する。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るワイヤソーのワイヤ脱線検出装置の好ましい実施の形
態について詳説する。図１は、本発明に係るワイヤ脱線
検出装置が適用されたワイヤソーの全体構成図である。
同図に示すように、ワイヤソー１０は、一対のワイヤリ
ール１２、２６間を走行するワイヤ１４で形成したワイ
ヤ列２４に砥粒を含む加工液４０を供給しながら半導体
インゴット５４を押し当てることにより半導体インゴッ
ト５４を多数のウェーハに切断する。
るワイヤソーのワイヤ脱線検出装置の好ましい実施の形
態について詳説する。図１は、本発明に係るワイヤ脱線
検出装置が適用されたワイヤソーの全体構成図である。
同図に示すように、ワイヤソー１０は、一対のワイヤリ
ール１２、２６間を走行するワイヤ１４で形成したワイ
ヤ列２４に砥粒を含む加工液４０を供給しながら半導体
インゴット５４を押し当てることにより半導体インゴッ
ト５４を多数のウェーハに切断する。
【０００９】一方のワイヤリール１２に巻回されたワイ
ヤ１４は、ワイヤ案内装置１６、複数のガイドローラ１
８、１８、ダンサローラ２０を経て、三角形を成すよう
に配列された３本の溝付きローラ２２Ａ、２２Ｂ、２２
Ｃに巻き掛けられてワイヤ列２４を形成する。ワイヤ列
２４を形成したワイヤ１４は、複数のガイドローラ１
８、１８、ダンサローラ２０、ワイヤ案内装置１６を経
て他方のワイヤリール２６に巻き取られる。
ヤ１４は、ワイヤ案内装置１６、複数のガイドローラ１
８、１８、ダンサローラ２０を経て、三角形を成すよう
に配列された３本の溝付きローラ２２Ａ、２２Ｂ、２２
Ｃに巻き掛けられてワイヤ列２４を形成する。ワイヤ列
２４を形成したワイヤ１４は、複数のガイドローラ１
８、１８、ダンサローラ２０、ワイヤ案内装置１６を経
て他方のワイヤリール２６に巻き取られる。
【００１０】前記ワイヤ案内装置１６は、ワイヤリール
１２、２６に巻きかけられているワイヤ１４を一定ピッ
チで繰り出すとともに、ワイヤリール１２、２６に巻き
取られるワイヤ１４を一定ピッチで巻き取る。前記ガイ
ドローラ１８は、ワイヤ走行路中の所定の位置に配設さ
れて、前記一対のワイヤリール１２、２６間を走行する
ワイヤ１４をガイドする。
１２、２６に巻きかけられているワイヤ１４を一定ピッ
チで繰り出すとともに、ワイヤリール１２、２６に巻き
取られるワイヤ１４を一定ピッチで巻き取る。前記ガイ
ドローラ１８は、ワイヤ走行路中の所定の位置に配設さ
れて、前記一対のワイヤリール１２、２６間を走行する
ワイヤ１４をガイドする。
【００１１】前記ダンサローラ２０は、所定重量の錘４
４が吊設されており、走行するワイヤ１４に常時一定の
張力を付与する。前記ワイヤ走行路の途中にはワイヤ洗
浄装置４６が設けられており、前記一対のワイヤリール
１２、２６間を走行するワイヤ１４は、このワイヤ洗浄
装置４６を通過することによって、付着している加工液
４０が除去される。
４が吊設されており、走行するワイヤ１４に常時一定の
張力を付与する。前記ワイヤ走行路の途中にはワイヤ洗
浄装置４６が設けられており、前記一対のワイヤリール
１２、２６間を走行するワイヤ１４は、このワイヤ洗浄
装置４６を通過することによって、付着している加工液
４０が除去される。
【００１２】前記一対のワイヤリール１２、２６には、
それぞれ正逆回転可能なモータ２８、３０が連結され、
このモータ２８、３０を駆動するとにより、ワイヤ１４
は一対のワイヤリール１２、２６間を往復走行する。ま
た、前記溝付ローラ２２Ａにも同様に正逆回転可能なモ
ータ３２が連結されている。このモータ３２は前記モー
タ２８、３０に同期するように駆動制御される。
それぞれ正逆回転可能なモータ２８、３０が連結され、
このモータ２８、３０を駆動するとにより、ワイヤ１４
は一対のワイヤリール１２、２６間を往復走行する。ま
た、前記溝付ローラ２２Ａにも同様に正逆回転可能なモ
ータ３２が連結されている。このモータ３２は前記モー
タ２８、３０に同期するように駆動制御される。
【００１３】前記ワイヤ列２４には、スラリ貯留タンク
３８に貯留されたスラリ４０がスラリ供給ノズル４２、
４２を介して供給される。このワイヤ列２４に供給され
るスラリ４０には、砥粒（通常、ＧＣ♯６００〜♯１０
００程度のものが使用される）が含有されており、被加
工物は、この砥粒によるラッピング作用により切断され
る。
３８に貯留されたスラリ４０がスラリ供給ノズル４２、
４２を介して供給される。このワイヤ列２４に供給され
るスラリ４０には、砥粒（通常、ＧＣ♯６００〜♯１０
００程度のものが使用される）が含有されており、被加
工物は、この砥粒によるラッピング作用により切断され
る。
【００１４】前記ワイヤ列２４の下方には、モータ５０
で回動するネジ棒５２により上下方向に移動自在に設け
られたワーク送りテーブル４８が設置されている。この
ワーク送りテーブル４８には、被加工物である半導体イ
ンゴット５４が、ワークブロック５６、スライスベース
５８を介して固定される。半導体インゴット５４は、こ
のワーク送りテーブル４８を前記ワイヤ列２４に向けて
移動させることにより、高速走行するワイヤ列２４に押
し当てられて多数のウェーハに切断される。
で回動するネジ棒５２により上下方向に移動自在に設け
られたワーク送りテーブル４８が設置されている。この
ワーク送りテーブル４８には、被加工物である半導体イ
ンゴット５４が、ワークブロック５６、スライスベース
５８を介して固定される。半導体インゴット５４は、こ
のワーク送りテーブル４８を前記ワイヤ列２４に向けて
移動させることにより、高速走行するワイヤ列２４に押
し当てられて多数のウェーハに切断される。
【００１５】図２は、ワイヤソーの切断部である溝付ロ
ーラの側面拡大図であり、図３は、図２のＡ−Ａ断面図
である。図２、図３に示すように、前記溝付ローラ２２
Ａ〜２２Ｃは、ウレタン製のローラ６０Ａ〜６０Ｃの中
心に芯金６２Ａ〜６２Ｃが嵌入されて形成される。ロー
ラ６０Ａ〜６０Ｃには、一定ピッチで多数の溝が形成さ
れており、この溝にワイヤ１４が順次巻きかけられるこ
とによりワイヤ列２４が形成される。
ーラの側面拡大図であり、図３は、図２のＡ−Ａ断面図
である。図２、図３に示すように、前記溝付ローラ２２
Ａ〜２２Ｃは、ウレタン製のローラ６０Ａ〜６０Ｃの中
心に芯金６２Ａ〜６２Ｃが嵌入されて形成される。ロー
ラ６０Ａ〜６０Ｃには、一定ピッチで多数の溝が形成さ
れており、この溝にワイヤ１４が順次巻きかけられるこ
とによりワイヤ列２４が形成される。
【００１６】前記溝付ローラ２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃ
は、ワイヤソーの本体フレーム（図示せず）に固定され
た一対の支持プレート６４、６４に軸受６６Ａ、６６
Ａ、６６Ｂ、６６Ｂ、６６Ｃ、６６Ｃを介して回動自在
に支持される。前記一対の支持プレート６４、６４に
は、各溝付ローラ２２Ａ〜２２Ｃの両端支持部近傍に、
マイクロスイッチ６８Ａ、６８Ａ、６８Ｂ、６８Ｂ、６
８Ｃ、６８Ｃが設置されている。
は、ワイヤソーの本体フレーム（図示せず）に固定され
た一対の支持プレート６４、６４に軸受６６Ａ、６６
Ａ、６６Ｂ、６６Ｂ、６６Ｃ、６６Ｃを介して回動自在
に支持される。前記一対の支持プレート６４、６４に
は、各溝付ローラ２２Ａ〜２２Ｃの両端支持部近傍に、
マイクロスイッチ６８Ａ、６８Ａ、６８Ｂ、６８Ｂ、６
８Ｃ、６８Ｃが設置されている。
【００１７】図４に示すように、前記マイクロスイッチ
６８Ｂは、前記支持プレート６４にブラケット７０Ｂを
介して取り付けられている。このマイクロスイッチ６８
Ｂには、棒状の接触子７２Ｂが設けられている。マイク
ロスイッチ６８はこの接触子７２Ｂにワイヤ１４が接触
することにより作動する。したがって、前記マイクロス
イッチ６８Ｂは、ワイヤ１４が溝付ローラ２２Ｂから脱
線した場合、確実にその脱線したワイヤ１４が接触子７
２Ｂに接触するように前記支持プレート６４に取り付け
られる。
６８Ｂは、前記支持プレート６４にブラケット７０Ｂを
介して取り付けられている。このマイクロスイッチ６８
Ｂには、棒状の接触子７２Ｂが設けられている。マイク
ロスイッチ６８はこの接触子７２Ｂにワイヤ１４が接触
することにより作動する。したがって、前記マイクロス
イッチ６８Ｂは、ワイヤ１４が溝付ローラ２２Ｂから脱
線した場合、確実にその脱線したワイヤ１４が接触子７
２Ｂに接触するように前記支持プレート６４に取り付け
られる。
【００１８】他のマイクロスイッチ６８Ａ〜６８Ｃも同
様に構成され、ワイヤ１４が溝付ローラ２２Ａ〜２２Ｃ
から脱線した場合、確実にその脱線したワイヤ１４が接
触子７２Ａ〜７２Ｃに接触するように、前記支持プレー
ト６４に取り付けられる。前記の如く取り付けられたマ
イクロスイッチ６８Ａ〜６８Ｄの作動信号は、図示しな
い制御装置に出力される。制御装置は、この作動信号を
入力すると、どの溝付ローラ２２Ａ〜２２Ｃからワイヤ
１４が脱線したのかを判断すると同時に、ワイヤリール
１２、２６及び溝付ローラ２２Ａの駆動モータ２８、３
０、３２、及びワークフィードモータ５０を停止する。
様に構成され、ワイヤ１４が溝付ローラ２２Ａ〜２２Ｃ
から脱線した場合、確実にその脱線したワイヤ１４が接
触子７２Ａ〜７２Ｃに接触するように、前記支持プレー
ト６４に取り付けられる。前記の如く取り付けられたマ
イクロスイッチ６８Ａ〜６８Ｄの作動信号は、図示しな
い制御装置に出力される。制御装置は、この作動信号を
入力すると、どの溝付ローラ２２Ａ〜２２Ｃからワイヤ
１４が脱線したのかを判断すると同時に、ワイヤリール
１２、２６及び溝付ローラ２２Ａの駆動モータ２８、３
０、３２、及びワークフィードモータ５０を停止する。
【００１９】前記の如く構成された本発明に係るワイヤ
ソーのワイヤ脱線検出装置の実施の形態の作用は次の通
りである。図１に示すように、一方のワイヤリール１２
から繰り出されたワイヤ１４は、ワイヤ案内装置１６→
ガイドローラ１８→ダンサローラ２０→３本の溝付きロ
ーラ２２Ａ〜２２Ｃ→ガイドローラ１８→ダンサローラ
２０→ワイヤ案内装置１６の順に巻き掛けられて他方の
ワイヤリール２６に巻き取られる。
ソーのワイヤ脱線検出装置の実施の形態の作用は次の通
りである。図１に示すように、一方のワイヤリール１２
から繰り出されたワイヤ１４は、ワイヤ案内装置１６→
ガイドローラ１８→ダンサローラ２０→３本の溝付きロ
ーラ２２Ａ〜２２Ｃ→ガイドローラ１８→ダンサローラ
２０→ワイヤ案内装置１６の順に巻き掛けられて他方の
ワイヤリール２６に巻き取られる。
【００２０】ここで、前記３本の溝付ローラ２２Ａ〜２
２Ｃでは、ローラ６０Ａ〜６０Ｃに多数形成された溝に
ワイヤ１４が順次巻き掛けられてワイヤ列２４が形成さ
れる。しかし、作業者の巻き掛けミスや何らかの異常が
生じると、図２及び図３に示すように、ローラ６０Ａ〜
６０Ｃの溝に巻き掛けられたワイヤ１４がローラ６０Ａ
〜６０Ｃから脱線する。
２Ｃでは、ローラ６０Ａ〜６０Ｃに多数形成された溝に
ワイヤ１４が順次巻き掛けられてワイヤ列２４が形成さ
れる。しかし、作業者の巻き掛けミスや何らかの異常が
生じると、図２及び図３に示すように、ローラ６０Ａ〜
６０Ｃの溝に巻き掛けられたワイヤ１４がローラ６０Ａ
〜６０Ｃから脱線する。
【００２１】ワイヤ１４がローラ６０Ａ〜６０Ｃから脱
線すると、図４に示すように、その脱線したワイヤ１４
は、ローラ６０Ａ〜６０Ｃの両端に設置されているマイ
クロスイッチ６８Ａ〜６８Ｃの接触子７２Ａ〜７２Ｃに
接触する。マイクロスイッチ６８Ａ〜６８Ｃは、前記接
触子７２Ａ〜７２Ｃにワイヤ１４が接触することにより
作動し、その作動信号を制御装置に出力する。
線すると、図４に示すように、その脱線したワイヤ１４
は、ローラ６０Ａ〜６０Ｃの両端に設置されているマイ
クロスイッチ６８Ａ〜６８Ｃの接触子７２Ａ〜７２Ｃに
接触する。マイクロスイッチ６８Ａ〜６８Ｃは、前記接
触子７２Ａ〜７２Ｃにワイヤ１４が接触することにより
作動し、その作動信号を制御装置に出力する。
【００２２】制御装置は、前記マイクロスイッチ６８Ａ
〜６８Ｃから出力される作動信号を入力すると、どの溝
付ローラ２２Ａ〜２２Ｃからワイヤ１４が脱線したのか
を判断する。これと同時に、ワイヤリール１２、２６及
び溝付ローラ２２Ａの駆動モータ２８、３０、３２、及
びワークフィードモータ５０を停止する。このように、
本実施の形態のワイヤソーのワイヤ脱線検出装置によれ
ば、脱線したワイヤ１４の接触をマイクロスイッチ６８
Ａ〜６８Ｃで検出することにより、ワイヤ１４の脱線を
判断する。したがって、水溶性スラリを用いて切断する
ワイヤソーであっても、従来の電気的な検出方法のよう
に誤動作を起こすという問題もなく、瞬時且つ確実にワ
イヤ１４の脱線を検出することができる。
〜６８Ｃから出力される作動信号を入力すると、どの溝
付ローラ２２Ａ〜２２Ｃからワイヤ１４が脱線したのか
を判断する。これと同時に、ワイヤリール１２、２６及
び溝付ローラ２２Ａの駆動モータ２８、３０、３２、及
びワークフィードモータ５０を停止する。このように、
本実施の形態のワイヤソーのワイヤ脱線検出装置によれ
ば、脱線したワイヤ１４の接触をマイクロスイッチ６８
Ａ〜６８Ｃで検出することにより、ワイヤ１４の脱線を
判断する。したがって、水溶性スラリを用いて切断する
ワイヤソーであっても、従来の電気的な検出方法のよう
に誤動作を起こすという問題もなく、瞬時且つ確実にワ
イヤ１４の脱線を検出することができる。
【００２３】また、各溝付ローラ２２Ａ〜２２Ｃの両端
部にマイクロスイッチ６８Ａ〜６８Ｃを設けることによ
り、３本ある溝付ローラ２２Ａ〜２２Ｃのうちどの溝付
ローラ２２Ａ〜２２Ｃでワイヤ１４が脱線したのかを判
断することができる。なお、本実施の形態では、マイク
ロスイッチ６８Ａ〜６８Ｃの設置位置を各溝付ローラ２
２Ａ〜２２Ｃの両端近傍としたが、マイクロスイッチ６
８Ａ〜６８Ｃの設置位置は、溝付ローラ２２Ａ〜２２Ｃ
から脱線したワイヤ１４が、確実に接触子７２Ａ〜７２
Ｃに接触する位置に設置すればよく、例えば、各溝付ロ
ーラ２２Ａ〜２２Ｃ間の中央位置に設置してもよい。
部にマイクロスイッチ６８Ａ〜６８Ｃを設けることによ
り、３本ある溝付ローラ２２Ａ〜２２Ｃのうちどの溝付
ローラ２２Ａ〜２２Ｃでワイヤ１４が脱線したのかを判
断することができる。なお、本実施の形態では、マイク
ロスイッチ６８Ａ〜６８Ｃの設置位置を各溝付ローラ２
２Ａ〜２２Ｃの両端近傍としたが、マイクロスイッチ６
８Ａ〜６８Ｃの設置位置は、溝付ローラ２２Ａ〜２２Ｃ
から脱線したワイヤ１４が、確実に接触子７２Ａ〜７２
Ｃに接触する位置に設置すればよく、例えば、各溝付ロ
ーラ２２Ａ〜２２Ｃ間の中央位置に設置してもよい。
【００２４】また、マイクロスイッチ６８Ａ〜６８Ｃに
限らず、脱線したワイヤ１４が接触することにより作動
するスイッチならば特に限定されず、例えば、近接スイ
ッチやリミットスイッチでもよい。更に、スイッチの代
わりに接触検知センサを用いてもよい。更に、本実施の
形態のワイヤソー脱線検出装置は、水溶性スラリを用い
て切断するワイヤソーに限らず油性スラリを用いて切断
するワイヤソーにも適用することができる。
限らず、脱線したワイヤ１４が接触することにより作動
するスイッチならば特に限定されず、例えば、近接スイ
ッチやリミットスイッチでもよい。更に、スイッチの代
わりに接触検知センサを用いてもよい。更に、本実施の
形態のワイヤソー脱線検出装置は、水溶性スラリを用い
て切断するワイヤソーに限らず油性スラリを用いて切断
するワイヤソーにも適用することができる。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ワイヤが脱線すると接触して作動するスイッチを設け、
そのスイッチの作動により制御装置がワイヤの走行を停
止することにしたので、従来の電気的な検出方法のよう
に誤動作を起こすという問題もなく、確実にワイヤの断
線を防止することができる。
ワイヤが脱線すると接触して作動するスイッチを設け、
そのスイッチの作動により制御装置がワイヤの走行を停
止することにしたので、従来の電気的な検出方法のよう
に誤動作を起こすという問題もなく、確実にワイヤの断
線を防止することができる。
【図１】ワイヤソーの全体構成図
【図２】ワイヤリールの切断部の側面図
【図３】図２のＡ−Ａ断面図
【図４】図３のＢ−Ｂ断面図
１０…ワイヤソー １２、２６…ワイヤリール １４…ワイヤ ２２Ａ〜２２Ｃ…溝付ローラ ２４…ワイヤ列 ６８Ａ〜６８Ｃ…マイクロスイッチ ７２Ａ〜７２Ｃ…接触子
Claims (1)
- 【請求項１】 走行するワイヤを複数個の溝付ローラに
巻き掛けてワイヤ列を形成し、該ワイヤ列に被加工物を
押し当てることにより、前記被加工物を多数のウェーハ
に切断するワイヤソーにおいて、 前記溝付ローラの端部に該溝付ローラから外れたワイヤ
が接触し、作動するスイッチを設け、該スイッチの作動
信号を制御装置に入力することにより該制御装置は前記
ワイヤの走行を停止することを特徴とするワイヤソーの
ワイヤ脱線検出装置。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23659195A JP3144278B2 (ja) | 1995-09-14 | 1995-09-14 | ワイヤソーのワイヤ脱線検出装置 |
| CH02100/96A CH691673A5 (de) | 1995-09-08 | 1996-08-27 | Vorrichtung zur Erfassung eines Drahtführungsfehlers an einer Drahtsäge. |
| TW085110522A TW337499B (en) | 1995-09-08 | 1996-08-29 | Steel wire derailment detecting apparatus of wire saw |
| US08/705,685 US5809986A (en) | 1995-09-08 | 1996-08-29 | Wire derailment detecting apparatus for wire saw |
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Cited By (1)
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|---|---|---|---|---|
| KR101909471B1 (ko) * | 2015-06-30 | 2018-10-18 | 세메스 주식회사 | 액 혼합 유닛 및 기판 처리 장치 |
-
1995
- 1995-09-14 JP JP23659195A patent/JP3144278B2/ja not_active Expired - Fee Related
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|---|---|---|---|---|
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|---|---|
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