KR100406146B1 - 와이어 톱의 와이어 탈선 검출장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 와이어릴 사이를 고속으로 주행하는 와이어에 의해 반도체 잉곳 등의 워크피스를 다수의 웨이퍼로 절단하는 와이어톱의 와이어 탈선 검출장치에 관한 것으로, 탈선된 와이어가 접촉되었을 때 작동하는 스위치 수단이 설치되어 상기 스위치 수단으로부터 전송된 동작신호를 수신하여 제어장치는 주행하는 와이어를 멈추게 하며, 또한 워크피스가 다수의 웨이퍼로 절단되는 동안의 각 가이드롤러 회전수를 측정하기 위한 수단이 설치되어 상기 수단에 의해 측정된 회전수와 정상적으로 절단되는 동안의 소정기준 회전수를 제어수단을 통해 비교하여 와이어가 탈선되었는지를 판단하게 되므로 전기적으로 와이어 탈선을 검출하는 종래 방법과 달리 오작동의 문제가 없으며 와이어가 씹히는 것이 방지될 수 있다.

Description

와이어톱의 와이어 탈선 검출장치{WIRE DERAILMENT DETECTING APPARATUS OF WIRE SAW}
본 발명은 와이어톱의 와이어 탈선 검출장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 주행하는 와이어에 의해 반도체 잉곳과 같은 워크피스(Workpiece)를 다수의 웨이퍼로 절단하는 와이어톱의 와이어 탈선 검출장치에 관한 것이다.
와이어톱에 있어서, 한 쌍의 와이어릴 사이를 고속으로 주행하는 와이어는 와이어 열을 형성하도록 다수의 홈부롤러에 권취된다. 워크피스는 연마입자를 포함하는 가공액이 공급되는 와이어 열에 대하여 프레스(press)된다.
그 결과, 워크피스는 연마입자의 랩핑(lapping)작용으로 다수의 웨이퍼로 절단된다.
와이어톱에 있어서, 워크피스가 절단되는 동안 와이어가 씹히는(snapping) 것이 방지되어야만 한다.
와이어는 와이어열을 형성하는 홈부롤러로부터 탈선되는 이유와, 주행하는 와이어를 가이드하는 가이드롤러로부터 탈선되는 이유로 대부분 씹히게 된다.
와이어가 탈선하였는지를 검출하기 위하여 한 쌍의 와이어릴을 와이어톱의 몸체로부터 전기 적으로 절연시키고, 정전압을 와이어릴 간에 가하는 방법이 있다.
그래서 전압강하가 검출되었을 때 와이어가 탈선되었음을 알 수 있다. 이 방법은 다음의 사실에 근거를 둔 것이다. 즉, 다수의 홈부롤러와 가이드롤러가 고무, 폴리우레탄, 폴리에틸렌 등과 같은 수지로 만들어 졌다는 것이다. 와이어가 롤러에 정상적으로 감겼다면 와이어릴 간의 전압에 있어서 일정차이가 있다. 와이어가 탈선되었다면 와이어는 와이어톱의 몸체에 접촉되어 전압이 강하된다.
널리 사용되는 와이어톱의 가공액은 통상적으로 유성이다. 유성가공액은 절단된 웨이퍼가 충분히 깨끗하지 않고 사용자가 가공액으로 더럽혀지고 환경이 오염된다.
따라서, 실용적인 사용에 적용할 수 있는 범위에서 수성가공액이 최근 개발되었다.
그러나 탈선을 전기적으로 검출하는 종래 방법이 수성가공액에 의해 절단을 실행하는 와이어톱에 적용된다면 가공액은 전류를 전도한다. 따라서 작동이 정확하게 되지않고 검출이 지연되는 단점이 있다.
본 발명은 상기에서 언급한 조건 하에서 개발된 것으로, 수성가공액에 의한 절단을 실행하는 와이어톱에 적용할 수 있는 와이어톱의 와이어 탈선 검출장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여 다수의 가이드롤러에 의해 가이드된 와이어가 와이어열을 형성하도록 다수의 홈부롤러에 감겨진 한 쌍의 와이어릴간을 주행하며, 워크피스가 다수의 웨이퍼로 절단되기 위해 상기 와이어 열에 대해 프레스되는 와이어톱의 와이어 탈선 검출장치는 각 홈부롤러의 각 단부 가까이에 설치되며 홈부롤러로부터 탈선된 와이어가 접촉되면 동작신호를 전송하기 위해 작동되는 스위치수단과, 와이어가 상기 홈부롤러로부터 탈선되었는지를 검출하기 위해 상기 스위치수단으로부터 전송된 동작신호를 수신하기 위한 제어수단으로 구성된다.
본 발명에 따르면, 홈부롤러에 감겨진 와이어가 한쪽 홈부롤러의 한쪽단부로부터 탈선되었을 때 홈부롤러의 단부 가까이에 설치된 스위치수단에 접촉된다.
와이어가 스위치 수단에 접촉되면 스위치 수단은 작동되고 동작신호를 제어수단으로 전송한다. 제어수단은 와이어가 홈부롤러로부터 탈선되는 것을 검출하기 위하여 스위치수단으로부터 전송된 동작신호를 수신한다.
상기에서 언급한 목적을 성취하기 위하여, 다수의 가이드롤러에 의해 가이드된 와이어가 와이어열을 형성하도록 다수의 홈부롤러에 감겨진 한 쌍의 와이어릴간을 주행하여, 워크피스가 다수의 웨이퍼로 절단되기 위해 상기 와이어 열에 대하여프레스되는 와이어톱의 와이어 탈선 검출장치는 워크피스가 절단되는 동안 다수의 가이드롤러의 각 가이드롤러의 회전수를 측정하기 위한 수단과, 회전수를 측정하기 위한 상기 수단에 의해 측정된 가이드롤러의 회전수와 와이어가 상기 가이드롤러로부터 탈선되었는지를 검출하기 위한 가이드롤러의 소정기준 회전수를 비교하기 위한 제어 수단으로 구성된다.
본 발명에 따르면 회전수를 측정하기 위한 수단은 워크피스가 절단되는 동안 가이드롤러의 회전수를 측정하며 측정 결과는 제어수단으로 전송된다. 한편, 제어 수단은 워크피스의 절단동안 가이드롤러의 회전수를 비교하는데, 즉 회전수를 측정하기 위한 수단으로부터 전송된 회전수와 가이드롤러의 소정 기준회전수를 비교한다.
이 경우, 와이어가 가이드롤러에 정상적으로 권취되었으면, 워크피스의 절단동안 회전수를 측정하기 위한 수단에 의해 측정된 회전수는 와이어가 불안정 (slippery)하더라도 기준회전수와 거의 동일하다. 그러나 와이어가 가이드롤러로부터 탈선되었다면 가이드롤러는 회전하지 않으므로 절단동안의 회전수는 기준회전수와 동일하지 않다.
와이어가 홈부분 이외의 가이드롤러의 일부분에 감겼을 때 절단동안 회전수는 기준회전수 이하이거나 이상이다.
그러므로, 워크피스의 절단동안 회전수와 기준회전수간의 차이가 허용가능한 범위 외에 있을 때 제어수단은 와이어가 가이드롤러로부터 탈선 되었음을 판단한다.
도 1은 와이어톱의 전체구성도.
도 2는 홈부롤러를 설명하기 위한 측면도.
도 3은 도 2의 선 3-3에 따른 단면도.
도 4는 도 3의 선 4-4에 따른 단면도.
도 5는 와이어 탈선 검출장치를 설명하기 위한 측단면도.
도 6은 도 5의 선 6-6에 따른 단면도.
본 발명의 목적과 장점 및 특징에 대해 첨부한 도면에 의거하여 설명할 것이며, 도면에서 동일한 참조문자는 같거나 유사한 부분을 나타낸다.
먼저, 와이어톱의 구성에 대해 설명하고자 한다. 도 1은 와이어톱(10)의 전체구성을 설명하기 위한 도면이다.
도 1에 도시한 바와 같이, 한쪽의 와이어릴(12)에 권취된 와이어(14)는 와이어 가이드장치(16A), 다수의 가이드롤러(18),(18)....., 댄서 롤러(20A)를 통해 삼각형을 형성하는 방식으로 배치된 세 개의 홈부롤러(22A), (22B), (22C)에 권취된다.
와이어(14)는 와이어열(24)을 형성한다. 와이어열(24)을 형성하는 와이어 (14)는 다수의 가이드롤러(18),(18)....., 댄서롤러(20B), 와이어 가이드장치 (16B)를 통해 다른 쪽 와이어릴(26)에 의해 권취된다.
와이어(14)가 일정한 피치로 와이어릴(12),(26)에서 풀어질 수 있도록 하고, 와이어(14)가 일정한 피치로 와이어릴(12),(26)에 의해 권취될 수 있도록 와이어 가이드장치(16A),(16B)는 와이어(14)를 가이드한다. 가이드롤러(18)는 와이어 주행로의 소정위치에 배치되어 한 쌍의 와이어릴(12),(26)간을 주행하는 와이어(14)를 가이드한다.
소정중량의 추(44A),(44B)는 주행하는 와이어(14)에 일정 텐션을 항상 가하도록 댄서롤러 (20A),(20B)에 매달려 있다.
와이어 세정장치 (46A),(46B)는 와이어 주행로에 설치되어 있다.
와이어 세정장치 (46A),(46B)는 세정액을 통해 주행하는 와이어(14)가 통과하면서 와이어(14) 주변에 고착된 가공액(40)을 제거한다.
정역방향으로 회전이 가능한 모터(28),(30)은 한 쌍의 와이어릴(12),(26)에 각각 연결된다. 모터(28),(30)이 구동됨으로써 와이어(14)가 한 쌍의 와이어 릴(12),(26)간을 앞뒤로 주행할 수 있다. 정역방향으로 회전할 수 있는 모터(32)는 홈부롤러(22A)에 연결되어 있다. 모터(32)는 모터(28),(30)과 동시에 구동되도록 제어된다.
와이어열(24)에는 슬러리 공급노즐(42A),(42B)를 통해 슬러리 저장 탱크(38)에 저장된 슬러리(가공액)(40)가 공급된다. 와이어열(24)에 공급된 슬러리(40)는 연마입자(통상적으로 대략 GC #600∼#1000의 연마입자가 사용됨 )를 들 수 있다. 워크피스는 연마입자의 랩핑작용에 의해 절단된다. 워크공급모터(50)에 의해 상하로 움직이도록 구동되는 워크공급테이블(48)은 와이어열(24) 아래에 배치된다. 워크피스로써 반도체 잉곳(54)은 잉곳설치블럭(56)과 슬라이스베이스 설치 빔(58)을 통하여 워크공급테이블(48)에 고정된다.
워크공급테이블(48)은 와이어열(24) 쪽으로 들어올려져 반도체잉곳(54)이 고속으로 주행하는 와이어열(24)에 프레스될 수 있고 다수의 웨이퍼로 절단될 수 있다.
다음, 본 발명에 따른 와이어 탈선검출장치에 대해 설명한다.
와이어(14)가 탈선되었는지를 검출해야하는 경우는 와이어(14)가 홈부롤러 (22A),(22B),(22C)로부터 탈선된 것을 검출하는 경우와 와이어(14)가가이드롤러(18)로부터 탈선된 것을 검출하는 경우의 두 가지 경우가 있다.
먼저, 와이어(14)가 홈부롤러(22A),(22B),(22C)로부터 탈선된 것을 검출하는 경우에 대해 설명한다.
도 2는 홈부롤러(22A),(22B),(22C)를 설명하기 위한 측면도이다.
도 3은 도 2의 선 3-3의 따른 단면도이다.
도 2와 도 3에 도시한 바와 같이, 홈부롤러(22A),(22B),(22C)는 스핀들(62A),(62B),(62C)가 폴리우레탄으로 만들어진 롤러(60A),(60B),(60C)의 중심에 결합된 방식으로 구성되어 있다. 많은 홈이 일정피치로 롤러(60A),(60B), (60C)의 외주변에 형성되어 있다. 와이어(14)는 와이어열(24)을 형성하도록 홈에 순차적으로 권취된다.
홈부롤러(22A), (22B), (22C)는 베어링(66A),(66A),(66B),(66B),(66C), (66C)를 통하여 양 단부가 와이어톱의 본체 프레임(도시하지 않음)에 고착된 한 쌍의 홀딩플레이트(64),(64)에 의해 회전가능하게 지지된다.
마이크로 스위치(68A), (68A), (68B), (68B), (68C), (68C)는 홈부 롤러(22A),(22B),(22C)의 지지부분 가까이 한 쌍의 홀딩플레이트(64),(64)에 설치된다.
도 4에 도시한 바와 같이, 마이크로 스위치 (68B)는 브래킷(70B)을 통하여 홀딩플레이트(64)에 고착되어 있다. 마이크로 스위치(68B)는 로드형상의 접촉편(72B)이 설치되어있다. 와이어(14)가 접촉편(72B)에 접촉되면 마이크로 스위치(68B)가 작동된다.
따라서, 마이크로 스위치(68B)가 홀딩플레이트(64)에 고착되어 있으므로 와이어(14)가 홈부롤러(22B)로부터 탈선되었을 때 탈선된 와이어(14)는 실패없이 접촉편(72B)에 접촉할 수 있다.
다른 마이크로 스위치(68A),(68C)도 같은 방식으로 구성되어 있다.
와이어(14)가 홈부롤러(22A),(22B),(22C)로부터 탈선되었을 때 마이크로 스위치(68A),(68B),(68C)가 홀딩플레이트(64)에 고착됨으로써 탈선된 와이어(14)는 접촉편(72A),(72B),(72C)에 접촉할 수 있다.
마이크로 스위치 (68A),(68B) 또는 (68C)이 작동되었을 때 동작신호를 제어장치 (도시않음)로 전송한다. 제어장치가 동작신호를 수신할 때 홈부롤러(22A),(22B),(22C)의 어느 것으로부터 와이어가 탈선되었는지를 판단한다. 동시에, 제어장치는 와이어 릴(12),(26)의 모터 (28),(30),(32), 홈부롤러(22A)를 멈추게 하고 워크공급모터(50)을 멈추게 한다.
상기에서 언급한 방법으로 와이어(14)가 홈부롤러(22A),(22B) 또는 (22C)로부터 탈선되었는지를 검출하는 와이어 탈선 검출장치는 다음과 같이 구성된다.
도 1에 도시한 바와 같이, 한쪽의 와이어릴(12)에서 풀어진 와이어(14)는 와이어 가이드장치 (16A)→ 가이드롤러(18)→ 댄서롤러 (20A)→ 세 개의 홈부롤러(22A),(22B),(22C)→ 가이드롤러 (18)→ 댄서롤러 (20B)→ 와이어 가이드장치 (16B)를 경우하여 다른 쪽의 와이어릴(26)에 권취된다.
와이어(14)는 롤러(60A),(60B),(60C)의 외주상의 다수의 홈에 권취되어 세 개의 홈부롤러 (22A),(22B),(22C)에 와이어열(24)을 형성한다.
그러나, 사용자가 와이어 (14)를 권취하는데 실수를 한다거나 문제가 발생하면 와이어(14)가 롤러(60A),(60B),(60C)로부터 탈선된다.
도 4에 도시한 바와 같이, 와이어(14)가, 예를 들면 롤러(60B)의 선단으로부터 탈선되었을 때, 탈선된 와이어(14)는 롤러(60B)의 선단에 설치된 마이크로 스위치 (68B)의 접촉편(72B)에 접촉된다. 와이어(14)가 접촉편(72B)에 접촉되었을 때 마이크로 스위치(68B)가 작동되고 동작신호를 제어 장치로 전송한다.
한편, 제어장치가 마이크로 스위치(68B)로부터 전송된 동작신호를 수신할 때 와이어(14)가 홈부롤러(22B)로부터 탈선된 것을 판단한다. 동시에 제어장치는 와이어톱(10)의 구동을 정지시킨다.
이상에서 설명한 바와같이 본 실시예에서 와이어톱의 와이어 탈선검출장치는 와이어(14)가 탈선된 것을 판단하기 위하여 마이크로 스위치(68A), (68B),(68C)에 접촉하는 탈선된 와이어(14)를 검출한다. 따라서, 와이어톱이 수성 슬러리에 의한 절단을 실행하더라도 전기적으로 탈선을 검출하는 종래의 방법과는 달리 오동작의 문제가 없다. 또한 와이어 (14)의 탈선을 실수없이 즉시 검출할 수 있다.
본 실시예의 와이어 탈선 검출장치에 있어서, 마이크로 스위치(68A), (68B),(68C)는 각 홈부롤러(22A),(22B),(22C)의 양 선단에 설치되어 있다. 그 결과, 세 개의 홈부롤러 (22A),(22B),(22C)중에서 어느 롤러로 부터 와이어(14)가 탈선되었는지를 판단할 수 있다.
부가적으로, 본 실시예에서, 마이크로 스위치 (68A),(68B),(68C)는 각 홈부롤러 (22A),(22B),(22C)의 양 선단 가까이에 설치되어 있다. 그러나 마이크로 스위치(68A),(68B),(68C)는 와이어(14)가 홈부롤러(22A),(22B),(22C)로부터 탈선되어 실수없이 접촉편(72A),(72B) 또는 (72C)에 접촉된다면 어느 위치에 설치되어도 좋다. 예를 들면 , 마이크로 스위치 (68A),(68B),(68C)는 롤러 (22A)와 (22B), (22B)와 (22C), (22C)와 (22A)사이의 중간에 설치되어도 좋다.
검출장치는 마이크로 스위치 (68A),(68B),(68C)에 한정되지 않는다. 탈선된 스위치 (14)가 접촉되었을 때 작동하는 것이면 어떤 스위치라도 좋다. 예를 들면, 클로우즈 스위치 또는 리미트 스위치가 사용될 수 있다. 또한, 스위치 대신에 접촉검출센서가 사용될 수 있다.
또한, 본 실시예에서 와이어 탈선 검출장치는 수성슬러리에 의해 절단을 실행하는 와이터톱 뿐만 아니라 유성슬러리에 의해 절단을 실행하는 와이어톱에도 적용할 수 있다.
다음, 상기에서 언급한 와이어톱에 있어서 가이드 롤러로부터 와이어 탈선이 검출되는 경우에 대해 설명한다.
도 5는 가이드롤러로부터 와이어의 탈선이 검출되었을 때 와이어 탈선 검출장치의 구성을 설명하는 측단면도이다.
가이드롤러 (18)는 원환형이고 고무, 플라스틱 등과 같은 수지물질로 만들어 진다. V형태 홈(18A)이 가이드롤러(18)의 외주변에 형성되어 있다. 가이드롤러 (18)는 와이어톱의 몸체 프레임 (164)에 설치된 베어링 유니트(162)에 의해 회전가능하게 지지되어 있다.
베어링 유니트(162)는 와이어톱의 몸체프레임 (164)에 고정된 샤프트(166)와샤프트(166)와 동축으로 샤프트(166)의 팁에 회전가능하게 지지된 회전축 (168)으로 구성된다.
샤프트(166)는 와이어톱의 몸체프레임(164)에 형성된 나사구멍(164A)에 수나사(166A)의 단부가 연결된 방식으로 몸체프레임(164)에 고정 되어 있다.
회전축(168)은 실린더와 같은 형상으로 외부직경은 가이드롤러 (18)의 내부직경과 거의 같다. 플랜지 (170)는 회전축(168)의 단부에 형성된다. 회전축(168)은 베어링 (172),(172)를 통해 샤프트(166)의 팁에 회전가능하게 지지되며, 회전축(168)의 팁 구경은 캡(174)으로 봉인되어 있다.
도 6에 도시된 바와 같이, 측정구멍(176),(176),.....이 회전축(168)에 형성된 플랜지 (170)의 배면 외부단부 가까이에 열 군데 일정간격으로 펀칭되어 있다.
한편, 클로우즈 스위치(178)는 측정구멍(176)이 통과하는 와이어톱의 몸체프레임 (164)의 한군데에 설치되어 있다. 클로우즈 스위치 (178)는 측정구멍(176)이 통과하여 동작신호를 제어기(180)로 전송할 때 작동된다.
제어기(180)는 클로우즈 스위치(178)로부터 전송된 동작신호를 카운트하여 카운트된 수에 따라 아래의 방법으로 와이어 (14)가 탈선되었는지를 판단한다.
먼저, 와이어 (14)가 가이드롤러 (18)에 정상적으로 권취되었다고 가정한다. 단위시간(T)동안 제어기 (180)에 의해 카운트된 클로우즈 스위치(178)의 동작수를 No라 하면,
여기서, L은 단위시간(T)동안 와이어(14)가 주행한 길이, D는 가이드롤러 (18)상의 홈(18A)의 직경이다. No는 클로우즈 스위치 (178)의 동작의 기준회전수로 제어기(180)에 입력된다.
한편, 와이어 (14)가 가이드롤러 (18)로부터 완전히 탈선되었다면 가이드 롤러 (18)는 회전하지 않으므로 클로우즈 스위치 (178)는 작동하지 않는다. 따라서, 제어기 (180)는 동작신호를 카운트하지 않는다.
어떤 경우, 와이어(14)가 가이드롤러 (18)의 홈(18A)로부터 탈선되어 가이드롤러(18)와 플랜지 (170)사이의 공간에 들어가면 와이어 (14)는 회전축(168)의 외주변과 맞물린다. 이 경우, 가이드롤러 (18)는 회전하고, 단위 시간(T)동안 제어기 (180)에 의해 카운트된 클로우즈 스위치 (172)의 동작수를 N1라 하면,
여기서, d는 회전축(168)의 외부직경이다.
상기에서 설명한 바와 같이 와이어 (14)가 가이드롤러(18)에 정상적으로 권취되었을 때 제어기(180)에 의해 카운트된 클로우즈 스위치(178)의 동작수 No는 와이어(14)가 가이드롤러(18)로부터 탈선되었을 때 제어기(180)에 의해 카운트된 클로우즈 스위치(178)의 동작수 N1와 다르다.
제어기(180)는 단위시간(T)동안 와이어톱(10)이 작업하는 동안 클로우즈 스위치(178)로부터 전송된 동작신호를 카운트한다.
그 다음, 제어기(180)는 클로우즈 스위치(178)동작의 실제회전수 X와 기준회전수 No간의 차이를 계산한다.
와이어(14)가 가이드롤러(18)의 홈(18A)에 정상적으로 권취되었다면, 동작의 실제회전수 X는 기준회전수 No와 동일하다.
그러나 와이어 (14)가 가이드롤러 (18)의 홈(18A)에 정상적으로 권취되었더라도 동작의 실제회전수 X는 기준회전수 No와 항상 같지는 않다. 이불일치는 와이어 (14)의 미끄러짐, 가이드롤러(18)의 침식된 홈(18A)의 얇음 등에 의한 것이다.
따라서, 동작의 실제회전수 X와 기준회전수 No간의 차이가 소정의 허용범위 내에 있다면 제어기 (180)는 와이어 (14)가 가이드롤러 (18)의 홈(18A)에 정상적으로 권취되었다고 간주한다. 차이가 허용가능한 범위에 있지 않다면, 제어기 (180)는 와이어 (14)가 탈선된 것을 판단하고 경고후 와이어톱(10)을 정지시킨다. 동시에, 제어기 (180)는 어느 가이드롤러로부터 와이어 (14)가 탈선된 것인지를 판단한다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 실시예에서 와이어톱의 와이어탈선 검출장치는 가이드롤러(18)의 회전수를 검출하여 그 수에 따라 와이어 (14)가 탈선되었는지를 검출한다. 따라서, 와이어톱이 수성 슬러리에 의해 절단을 실행하더라도 전기적으로 탈선을 검출하는 종래 방법과 달리 오작동의 문제가 없다. 또한, 와이어의 탈선을 실수없이 즉시 검출할 수 있다.
더구나, 각 가이드롤러 (18)의 회전수가 검출되므로 어느 가이드롤러(18)로부터 와이어(14)가 탈선되었는지를 검출할 수 있다.
부가적으로, 본 실시예에서 가이드롤러 (18)의 회전수를 측정하기 위한 수단은 클로우즈 스위치(178)와 측정구멍(176)으로 제한하였으나, 타코메타, 엔코더, 펄스제너레이터 등이 사용될 수 있다.
이상에서 설명 한 바와 같이 본 발명에 따르면, 탈선된 와이어가 접촉되었을 때 작동하는 스위치가 설치되어 스위치의 동작에 따라 제어장치가 주행하는 와이어를 정지시킨다. 따라서, 전기적으로 탈선을 검출하는 종래방법과 달리 오작동의 문제가 없으며, 와이어는 실수없이 씹히는(Snapping)것으로부터 방지될 수 있다.
또한, 절단되는 동안 가이드롤러의 회전수와 정상적으로 절단되는 동안의 소정기준회전수를 비교하여 와이어가 탈선되었는지를 판단한다.
와이어가 탈선되었을 때 와이어는 이동하는 것을 멈춘다.
따라서, 전기적으로 와이어 탈선을 검출하는 종래 방법과 달리 오작동의 문제가 없으며 와이어는 실수없이 씹히는 것으로부터 방지될 수 있다.
부가적으로, 상기에서 언급한 바와 같이 접촉편을 갖는 마이크로 스위치가 와이어 탈선을 검출하기 위해 각 가이드롤러 가까이에 설치될 수 있다.
그러나, 본 발명은 명세서에 공개된 것에 제한하지 않으며, 청구범위에 표현된 본 발명의 정신과 범위 내에서 모든 변형, 대안적인 구성 및 균등물을 포함할 수 있음을 주지하기 바란다.

Claims (15)

  1. 다수의 가이드롤러에 의해 가이드되며 한 쌍의 와이어 릴 간을 주행하는 와이어가 와이어열을 형성하도록 다수의 홈부롤러에 감기고, 워크피스가 다수의 웨이퍼로 절단되지 위해 상기 와이어열에 대하여 프레스되는 와이어톱의 와이어 탈선 검출장치에 있어서,
    상기 각 홈부롤러의 각 단부 가까이에 설치되며 상기 홈부롤러로부터 탈선된 상기 와이어가 접촉하면 동작신호를 전송하기 위해 작동되는 스위치 수단과, 상기 와이어가 상기 홈부롤러로부터 탈선되었는지를 검출하기 위해 상기 스위치 수단으로부터 전송된 상기 동작신호를 수신하기 위한 제어수단으로 구성된 것을 특징으로 하는 와이어톱의 와이어 탈선 검출장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 제어수단은 상기 스위치수단으로부터 전송된 상기 동작신호를 수신할 때 상기 와이어를 멈추게 하는 것을 특징으로 하는 와이어톱의 와이어 탈선 검출장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 제어수단은 상기 ·스위치수단으로부터 전송된 상기 동작신호를 수신할 때 경고하는 것을 특징으로 하는 와이어톱의 와이어 탈선 검출장치.
  4. 제 1항에 있어서, 상기 제어수단은 상기 각 홈부롤러의 각 단부 가까이에 설치된 상기 스위치수단의 어느 스위치수단으로부터 상기 동작신호를 수신하였는지를 판단하여 상기 다수의 홈부롤러의 어느 홈부롤러로부터 상기 와이어가 탈선되었는지를 판단하는 것을 특징으로 하는 와이어톱의 와이어 탈선 검출장치.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 스위치수단은 마이크로 스위치인 것을 특징으로 하는 와이어톱의 와이어 탈선 검출장치.
  6. 다수의 가이드롤러에 의해 가이드되며 한 쌍의 와이어릴 간을 주행하는 와이어가 와이어열을 형성하도록 다수의 홈부롤러에 권취되고, 워크피스가 다수의 웨이퍼로 절단되기 위해 상기 와이어열에 대하여 프레스되는 와이어톱의 와이어 탈선 검출장치에 있어서,
    상기 워크피스가 절단되는 동안 상기 다수의 가이드롤러의 각 가이드롤러의 회전수를 측정하기 위한 수단과, 회전수를 측정하기 위한 상기 수단에 의해 측정된 상기 가이드롤러의 상기 회전수와 상기 가이드롤러의 소정기준 회전수를 비교하여 상기 와이어가 상기·가이드롤러로부터 탈선되었는지를 검출하기 위한 제어수단으로 구성된 것을 특징으로 하는 와이어톱의 와이어 탈선 검출장치.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 제어수단은 상기 가이드롤러로부터 상기 와이어가 탈선된 것을 검출할 때 상기 와이어를 멈추게 하는 것을 특징으로 하는 와이어톱의와이어 탈선 검출장치.
  8. 제 6항에 있어서, 상기 제어수단은 상기 가이드롤러로부터 상기 와이어가 탈선된 것을 검출할 때 경고하는 것을 특징으로 하는 와이어톱의 와이어 탈선 검출장치.
  9. 제 6 항에 있어서, 상기 제어수단은 상기 다수의 가이드롤러의 각 가이드롤러의 회전수를 검출하여 상기 회전수와 상기 기준회전수를 비교함으로써 상기 다수의 가이드롤러의 어느 가이드롤러로부터 상기 와이어가 탈선되었는지를 판단하는 것을 특징으로 하는 와이어톱의 와이어 탈선 검출장치.
  10. 제 6 항에 있어서, 상기 회전수를 측정하기 위한 상기 수단은 클로우즈 스위치이며, 상기 클로우즈 스위치는 상기 가이드 롤러의 단부 면에 일정피치로 상기 가이드롤러의 상기 단부면과 ·동축으로 형성된 측정구멍이 통과할 때 동작되고 상기 제어수단에 의해 상기 스위치수단의 동작수가 카운트되어 상기 가이드롤러의 회전수를 검출하는 것을 특징으로 하는 와이어톱의 와이어 탈선 검출장치.
  11. 다수의 가이드롤러에 의해 가이드되며 한 쌍의 와이어릴 간을 주행하는 와이어가 와이어열을 형성하도록 다수의 홈부롤러에 권취되고, 워크피스가 다수의 웨이퍼로 절단되기 위해 상기 와이어열에 대하여 프레스되는 와이어톱의 와이어 탈선검출장치에 있어서,
    상기 각 가이드롤러의 가까이에 설치되며 상기 가이드롤러로부터 탈선된 상기 와이어가 접촉하면 동작신호를 전송하기 위해 작동되는 스위치 수단과, 상기 와이어가 상기 홈부롤러로부터 탈선되었는지를 검출하기 위해 상기 스위치 수단으로부터 전송된 상기 동작신호를 수신하기 위한 제어 수단으로 구성된 것을 특징으로 하는 와이어톱의 와이어 탈선 검출장치.
  12. 제 11항에 있어서, 상기 제어수단은 상기 스위치수단으로부터 전송된 상기 동작신호를 수신할 때 상기 와이어를 멈추게 하는 것을 특징으로 하는 와이어톱의 와이어 탈선 검출장치.
  13. 제 11 항에 있어서, 상기 제어수단은 상기 스위치수단으로부터 전송된 상기 동작신호를 수신할 때 경고하는 것을 특징으로 하는 와이어톱의 와이어 탈선 검출장치.
  14. 제 11 항에 있어서, 상기 제어수단은 상기 각 가이드롤러의 가까이에 설치된 상기 스위치수단의 어느 스위치수단으로부터 상기 동작신호를 수신하였는지를 판단하여 상기 다수의 가이드롤러의 어느 가이드롤러로부터 상기 와이어가 탈선되었는지를 판단하는 것을 특징으로 하는 와이어톱의 와이어 탈선 검출장치.
  15. 제 11 항에 있어서, 상기 스위치수단은 마이크로 스위치인 것을 특징으로 하는 와이어톱의 와이어 탈선 검출장치.
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