JPH0825208A - ワイヤーソーのワーク位置決め装置 - Google Patents
ワイヤーソーのワーク位置決め装置Info
- Publication number
- JPH0825208A JPH0825208A JP6165342A JP16534294A JPH0825208A JP H0825208 A JPH0825208 A JP H0825208A JP 6165342 A JP6165342 A JP 6165342A JP 16534294 A JP16534294 A JP 16534294A JP H0825208 A JPH0825208 A JP H0825208A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wire
- work
- contact
- holding member
- rotation angle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/04—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools
- B28D5/045—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools by cutting with wires or closed-loop blades
Abstract
(57)【要約】
【目的】ワイヤー列の張設ミスの影響をなくすワーク位
置決め装置を提供する。 【構成】制御部１８は、ワークホルダ１２の中心部に設
置した駆動モータ１４を駆動してワークホルダ１２を一
方側に回転させる。そして、ワークホルダ１２の一方端
両角に取り付けた接触子１６、１６をワイヤー列１３の
ワイヤー９に接触させると共に、一方の接触子１６がワ
イヤー９に接触したら、駆動モータ１４を停止させて、
接触子１６がワイヤー９に接触するまでの駆動モータ１
４の回転角度を算出して記憶する。次に、制御部１８は
駆動モータ１４を駆動してワークホルダ１２を再び元の
位置に移動させると共に、接触子１６を他方側にも回転
させて同様の操作を行う。そして、制御部１８は上記の
ようにして得られた一方側及び他方側の回転角度に基づ
いてワーク２０がワイヤー列１３に対して所定角度にセ
ットされているか否かを判断する。この時、ワーク２０
がワイヤー列１３に対して所定角度にセットされていな
い場合は、所定角度になるようにワークホルダ１２を駆
動モータ１４で回動させて修正する。
置決め装置を提供する。 【構成】制御部１８は、ワークホルダ１２の中心部に設
置した駆動モータ１４を駆動してワークホルダ１２を一
方側に回転させる。そして、ワークホルダ１２の一方端
両角に取り付けた接触子１６、１６をワイヤー列１３の
ワイヤー９に接触させると共に、一方の接触子１６がワ
イヤー９に接触したら、駆動モータ１４を停止させて、
接触子１６がワイヤー９に接触するまでの駆動モータ１
４の回転角度を算出して記憶する。次に、制御部１８は
駆動モータ１４を駆動してワークホルダ１２を再び元の
位置に移動させると共に、接触子１６を他方側にも回転
させて同様の操作を行う。そして、制御部１８は上記の
ようにして得られた一方側及び他方側の回転角度に基づ
いてワーク２０がワイヤー列１３に対して所定角度にセ
ットされているか否かを判断する。この時、ワーク２０
がワイヤー列１３に対して所定角度にセットされていな
い場合は、所定角度になるようにワークホルダ１２を駆
動モータ１４で回動させて修正する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はワイヤーソーのワーク位
置決め装置に係り、特に円柱状の半導体インゴット、セ
ラミック、ガラス等のワークを走行するワイヤーで多数
の薄板状のウェーハに切断するワイヤーソーのワーク位
置決め装置に関する。
置決め装置に係り、特に円柱状の半導体インゴット、セ
ラミック、ガラス等のワークを走行するワイヤーで多数
の薄板状のウェーハに切断するワイヤーソーのワーク位
置決め装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体インゴット、セラミック、ガラス
等のワークを薄板状のウェーハに切断する切断装置の一
つにワイヤーソーがある。このワイヤーソーは、ワイヤ
ーが複数の溝付ローラ間に巻掛けられてワイヤー列が形
成されると共に、ワイヤーの一方端は一方のワイヤーリ
ールに巻回され、他方端は他方のワイヤーリールに巻回
される。そして、ワイヤーが一方のワイヤーリールと他
方のワイヤーリールとの間を高速で往復走行する際に、
水平な前記ワイヤー列にワークを垂直方向に移動させて
押し当てると共に、ワイヤー列に砥粒を含む加工液を供
給して砥粒のラッピング作用によりワークを多数の薄板
状のウェーハに切断するものである。
等のワークを薄板状のウェーハに切断する切断装置の一
つにワイヤーソーがある。このワイヤーソーは、ワイヤ
ーが複数の溝付ローラ間に巻掛けられてワイヤー列が形
成されると共に、ワイヤーの一方端は一方のワイヤーリ
ールに巻回され、他方端は他方のワイヤーリールに巻回
される。そして、ワイヤーが一方のワイヤーリールと他
方のワイヤーリールとの間を高速で往復走行する際に、
水平な前記ワイヤー列にワークを垂直方向に移動させて
押し当てると共に、ワイヤー列に砥粒を含む加工液を供
給して砥粒のラッピング作用によりワークを多数の薄板
状のウェーハに切断するものである。
【０００３】上記したワークを保持するワーク保持部に
は、ワーク保持部を水平、垂直方向に傾動させるチルチ
ング機構が設けられている。そして、ワーク保持部は、
ワークをワイヤー列に対して所定の角度傾けてセットし
た状態で切断することにより、ワークを任意の切断方向
（例えば、ワークの結晶軸方向）で切断することができ
る。
は、ワーク保持部を水平、垂直方向に傾動させるチルチ
ング機構が設けられている。そして、ワーク保持部は、
ワークをワイヤー列に対して所定の角度傾けてセットし
た状態で切断することにより、ワークを任意の切断方向
（例えば、ワークの結晶軸方向）で切断することができ
る。
【０００４】従来、ワークを任意の切断方向にセットす
る装置として光学系（顕微鏡）を用いた装置がある。こ
の装置は、まず、顕微鏡を使用してワークの水平、垂直
基準をワイヤー列の水平、垂直基準に合わせてから、チ
ルチング機構により所望の切断方向（例えば、予め測定
してあるワークの結晶軸方向）になる角度にワークを傾
ける。
る装置として光学系（顕微鏡）を用いた装置がある。こ
の装置は、まず、顕微鏡を使用してワークの水平、垂直
基準をワイヤー列の水平、垂直基準に合わせてから、チ
ルチング機構により所望の切断方向（例えば、予め測定
してあるワークの結晶軸方向）になる角度にワークを傾
ける。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、顕微鏡
を用いての基準あわせの作業は大変手間が掛かり又面倒
であるという欠点があった。このような観点から、本発
明の出願人は、ワークの水平、垂直基準とワイヤー列の
水平、垂直基準を簡単に合わせることのできる接着治具
及び取付治具を提案した（特願平６─１０５４８６）。
しかしながら、この場合、機械基準のみを基準としてい
る為、例えば、作業者が溝付ローラにワイヤーを張設す
る際に１溝（１ピッチ０．５mm程度）誤って張った場
合、又は、溝付ローラの溝位置がズレて設置されていた
場合、その分だけ水平方向の角度がずれて切断されると
いう問題があった。
を用いての基準あわせの作業は大変手間が掛かり又面倒
であるという欠点があった。このような観点から、本発
明の出願人は、ワークの水平、垂直基準とワイヤー列の
水平、垂直基準を簡単に合わせることのできる接着治具
及び取付治具を提案した（特願平６─１０５４８６）。
しかしながら、この場合、機械基準のみを基準としてい
る為、例えば、作業者が溝付ローラにワイヤーを張設す
る際に１溝（１ピッチ０．５mm程度）誤って張った場
合、又は、溝付ローラの溝位置がズレて設置されていた
場合、その分だけ水平方向の角度がずれて切断されると
いう問題があった。
【０００６】本発明は、このような事情を鑑みてなされ
たもので、ワイヤー列の張設ミスの影響をなくすワイヤ
ーソーのワーク位置決め装置を提供することを目的とす
る。
たもので、ワイヤー列の張設ミスの影響をなくすワイヤ
ーソーのワーク位置決め装置を提供することを目的とす
る。
【０００７】
【課題を解決する為の手段】本発明は、前記目的を達成
する為に、ワイヤーを一方のワイヤーリールから繰り出
して複数個の溝付ローラに巻き掛けワイヤー列を形成し
て他方のワイヤーリールに巻き取ると共に、前記ワイヤ
ー列にワーク保持部材に保持されたワークを所定の基準
角度でセットした状態で押し当て、前記ワークを多数の
薄板状のウェーハに切断するワイヤーソーにおいて、前
記ワーク保持部材を前記ワイヤー列面の走行方向に対し
て揺動させる揺動手段と前記ワーク保持部材に取り付け
られ、前記揺動手段による前記ワーク保持部材の一方側
及び他方側の揺動時に、前記ワイヤー列のワイヤーに接
触する接触手段と、前記接触手段が前記ワイヤー列のワ
イヤーに接触した一方側の回転角度と前記接触手段を逆
方向に揺動させた他方側の回転角度とを前記所定の基準
角度に基づいて算出し、その算出した回転角度に基づい
て前記ワーク保持部材を前記所定の基準角度に位置させ
るように、前記揺動手段を制御する制御手段と、から成
ることを特徴とする。
する為に、ワイヤーを一方のワイヤーリールから繰り出
して複数個の溝付ローラに巻き掛けワイヤー列を形成し
て他方のワイヤーリールに巻き取ると共に、前記ワイヤ
ー列にワーク保持部材に保持されたワークを所定の基準
角度でセットした状態で押し当て、前記ワークを多数の
薄板状のウェーハに切断するワイヤーソーにおいて、前
記ワーク保持部材を前記ワイヤー列面の走行方向に対し
て揺動させる揺動手段と前記ワーク保持部材に取り付け
られ、前記揺動手段による前記ワーク保持部材の一方側
及び他方側の揺動時に、前記ワイヤー列のワイヤーに接
触する接触手段と、前記接触手段が前記ワイヤー列のワ
イヤーに接触した一方側の回転角度と前記接触手段を逆
方向に揺動させた他方側の回転角度とを前記所定の基準
角度に基づいて算出し、その算出した回転角度に基づい
て前記ワーク保持部材を前記所定の基準角度に位置させ
るように、前記揺動手段を制御する制御手段と、から成
ることを特徴とする。
【０００８】
【作用】本発明のワイヤーソーのワーク位置決め装置
は、ワーク保持部材に保持されたワークが、ワイヤー列
に対して正しい所定の基準角度でセットされているか否
かをチェックする。そして、正しくセットされていない
場合（例えば、ワイヤー列を張設する際に１溝誤って張
設したことにより、その分正しい所定角度からズレてい
る場合）には、自動的にズレを修正するものである。
は、ワーク保持部材に保持されたワークが、ワイヤー列
に対して正しい所定の基準角度でセットされているか否
かをチェックする。そして、正しくセットされていない
場合（例えば、ワイヤー列を張設する際に１溝誤って張
設したことにより、その分正しい所定角度からズレてい
る場合）には、自動的にズレを修正するものである。
【０００９】本発明によれば、まず、制御手段は、揺動
手段を駆動してワーク保持部材を一方側に揺動させる。
そして、ワーク保持部材に取り付けた接触手段をワイヤ
ー列のワイヤーに接触させると共に、接触手段がワイヤ
ー列のワイヤーに接触したら揺動手段の揺動を停止させ
て、接触手段がワイヤー列のワイヤーに接触するまでの
揺動手段の回転角度を算出して記憶する。
手段を駆動してワーク保持部材を一方側に揺動させる。
そして、ワーク保持部材に取り付けた接触手段をワイヤ
ー列のワイヤーに接触させると共に、接触手段がワイヤ
ー列のワイヤーに接触したら揺動手段の揺動を停止させ
て、接触手段がワイヤー列のワイヤーに接触するまでの
揺動手段の回転角度を算出して記憶する。
【００１０】次に、制御手段は揺動手段を駆動してワー
ク保持部材を再び元の位置に移動させると共に、接触手
段を他方側にも揺動させて同様の操作を行う。そして、
制御手段は、上記のようにして得られた一方側及び他方
側の回転角度に基づいてワークがワイヤー列に対して所
定の基準角度にセットされているか否かを判断する。こ
の時、ワークがワイヤー列に対して所定の基準角度にセ
ットされていない場合は、所定の基準角度になるように
ワーク保持部材を揺動手段で揺動させて修正する。
ク保持部材を再び元の位置に移動させると共に、接触手
段を他方側にも揺動させて同様の操作を行う。そして、
制御手段は、上記のようにして得られた一方側及び他方
側の回転角度に基づいてワークがワイヤー列に対して所
定の基準角度にセットされているか否かを判断する。こ
の時、ワークがワイヤー列に対して所定の基準角度にセ
ットされていない場合は、所定の基準角度になるように
ワーク保持部材を揺動手段で揺動させて修正する。
【００１１】
【実施例】以下添付図面に従って本発明の係るワイヤー
ソーのワーク位置決め装置の好まし実施例について詳説
する。図１は、本実施例のワイヤーソーのワーク位置決
め装置の斜視図であり、図２は、その構成を示すブロッ
ク図である。
ソーのワーク位置決め装置の好まし実施例について詳説
する。図１は、本実施例のワイヤーソーのワーク位置決
め装置の斜視図であり、図２は、その構成を示すブロッ
ク図である。
【００１２】図１、図２に示すように、ワイヤー列１３
は、３本の溝付ローラ１１、１１、１１にワイヤー９を
巻き掛けて張設され、ワーク位置決め装置１０は、主に
ワークホルダ１２、駆動モータ１４、棒状の接触子１
６、１６、及び制御部１８（図２参照）から構成され
る。駆動モータ１４は、その回転軸１５がワークホルダ
１２の中心部に取り付けられ、前記ワークホルダ１２を
ワイヤー列面１３に対して水平方向に揺動させると共
に、チルチング機構の水平方向側の揺動動力となる。ま
た、ワークホルダ１２を垂直方向に揺動させる揺動動力
は、ワークホルダ１２に内蔵され、詳しい説明は本発明
の要旨でないので省略する。また、駆動モータ１４に
は、パルスジェネレータ２２が取り付けられており、こ
のパルスジェネレータ２２は駆動モータ１４の回転角度
に応じた数のパルス（例えば、１度回転したら１パル
ス）を制御部１８に出力する。
は、３本の溝付ローラ１１、１１、１１にワイヤー９を
巻き掛けて張設され、ワーク位置決め装置１０は、主に
ワークホルダ１２、駆動モータ１４、棒状の接触子１
６、１６、及び制御部１８（図２参照）から構成され
る。駆動モータ１４は、その回転軸１５がワークホルダ
１２の中心部に取り付けられ、前記ワークホルダ１２を
ワイヤー列面１３に対して水平方向に揺動させると共
に、チルチング機構の水平方向側の揺動動力となる。ま
た、ワークホルダ１２を垂直方向に揺動させる揺動動力
は、ワークホルダ１２に内蔵され、詳しい説明は本発明
の要旨でないので省略する。また、駆動モータ１４に
は、パルスジェネレータ２２が取り付けられており、こ
のパルスジェネレータ２２は駆動モータ１４の回転角度
に応じた数のパルス（例えば、１度回転したら１パル
ス）を制御部１８に出力する。
【００１３】棒状の接触子１６、１６は、導電性のもの
が用いられると共に、前記ワークホルダ１２の一方端の
両角に絶縁体２４、２４を介して設置される。制御部１
８は、駆動モータ１４の駆動制御をすると共に、パルス
ジェネレータ２２から出力される情報に基づいて駆動モ
ータ１４の回転角度を算出する。そして、この駆動モー
タ１４の回転角度からワークホルダ１２のワイヤー列１
３に対する水平方向の傾きを算出し、ワークホルダ１２
がワイヤー列１３に対して正しい水平方向の基準角度に
セットされているかを判断して、ズレが生じている場合
は、そのずれ分だけ駆動モータ１４を駆動して修正す
る。
が用いられると共に、前記ワークホルダ１２の一方端の
両角に絶縁体２４、２４を介して設置される。制御部１
８は、駆動モータ１４の駆動制御をすると共に、パルス
ジェネレータ２２から出力される情報に基づいて駆動モ
ータ１４の回転角度を算出する。そして、この駆動モー
タ１４の回転角度からワークホルダ１２のワイヤー列１
３に対する水平方向の傾きを算出し、ワークホルダ１２
がワイヤー列１３に対して正しい水平方向の基準角度に
セットされているかを判断して、ズレが生じている場合
は、そのずれ分だけ駆動モータ１４を駆動して修正す
る。
【００１４】また、接触子１６、１６がワイヤー列１３
のワイヤー９に接触したことを検知する手段として図２
に示すような検出回路２５が組まれている。この検出回
路は、ワイヤー列１３、接触子１６、１６、電圧検知器
２６、２６、ケーブル２８、電源３０から構成される。
ワイヤー列１３のワイヤー９には電源３０により電圧が
掛けられており、接触子１６がワイヤー列１３に接触す
ると電圧検知器２６に電圧が発生するようになってい
る。そして、電圧検知器２６は電圧を検知すると制御部
１８に信号が出力し、接触子１６がワイヤー列１３のワ
イヤー９に接触したことを制御部１８に伝達する。
のワイヤー９に接触したことを検知する手段として図２
に示すような検出回路２５が組まれている。この検出回
路は、ワイヤー列１３、接触子１６、１６、電圧検知器
２６、２６、ケーブル２８、電源３０から構成される。
ワイヤー列１３のワイヤー９には電源３０により電圧が
掛けられており、接触子１６がワイヤー列１３に接触す
ると電圧検知器２６に電圧が発生するようになってい
る。そして、電圧検知器２６は電圧を検知すると制御部
１８に信号が出力し、接触子１６がワイヤー列１３のワ
イヤー９に接触したことを制御部１８に伝達する。
【００１５】次に、上記のように構成されたワイヤーソ
ーのワーク位置決め装置の作用を説明する。まず、ワー
ク２０をワークホルダ１２に取付けて水平、垂直基準合
わせを行うと共に、チルチング機構により、ワーク２０
が所望の切断方向で切断されるように、ワークホルダ１
２を水平、垂直方向に対して所定基準角度傾けてセット
する。このセットにおいて、ワーク２０は、特願平６─
１０５４８６で提案した接着治具及び取付治具を用いて
水平、垂直基準合わせを行う。この場合、ワイヤー列１
３が正しく張設されてさえいれば、ワーク２０の水平、
垂直基準とワイヤー列の水平、垂直基準は一致するが、
ワイヤー列１３に張設ミスが生じている場合（例えば、
ワイヤー９を溝付ローラ１１、１１、１１に巻き掛ける
際に１溝間違えて巻き掛けてしまった場合）があると、
その分だけ水平方向にずれて切断されてしまう。
ーのワーク位置決め装置の作用を説明する。まず、ワー
ク２０をワークホルダ１２に取付けて水平、垂直基準合
わせを行うと共に、チルチング機構により、ワーク２０
が所望の切断方向で切断されるように、ワークホルダ１
２を水平、垂直方向に対して所定基準角度傾けてセット
する。このセットにおいて、ワーク２０は、特願平６─
１０５４８６で提案した接着治具及び取付治具を用いて
水平、垂直基準合わせを行う。この場合、ワイヤー列１
３が正しく張設されてさえいれば、ワーク２０の水平、
垂直基準とワイヤー列の水平、垂直基準は一致するが、
ワイヤー列１３に張設ミスが生じている場合（例えば、
ワイヤー９を溝付ローラ１１、１１、１１に巻き掛ける
際に１溝間違えて巻き掛けてしまった場合）があると、
その分だけ水平方向にずれて切断されてしまう。
【００１６】そこで、本発明のワイヤーソーのワーク位
置決め装置は、上記のような事態を防止する為に切断前
に制御部１８により以下の操作を行う。まず、制御部１
８は、駆動モータ１４を駆動してワークホルダ１２を一
方側に回転させると共に、パルスジェネレータ２２から
出力されるパルスのカウントを開始する。ワークホルダ
１２が回転して行くと、ある回転角度のところで一方の
接触子１６がワイヤー列１３のワイヤー９に接触する
（図３参照）。この時、検出回路２５に電流が流れ、電
圧検知器２６に電圧が発生する。電圧検知器２６はこの
電圧を検知したら制御部１８に信号を出力する。そし
て、制御部１８は、前記信号を受けると駆動モータ１４
の駆動を停止させると共に、接触子１６がワイヤー列１
３のワイヤー９に接触するまでの駆動モータ１４の回転
角度αをパルスジェネレータ２２から出力された総パル
ス数から算出して記憶しておく。
置決め装置は、上記のような事態を防止する為に切断前
に制御部１８により以下の操作を行う。まず、制御部１
８は、駆動モータ１４を駆動してワークホルダ１２を一
方側に回転させると共に、パルスジェネレータ２２から
出力されるパルスのカウントを開始する。ワークホルダ
１２が回転して行くと、ある回転角度のところで一方の
接触子１６がワイヤー列１３のワイヤー９に接触する
（図３参照）。この時、検出回路２５に電流が流れ、電
圧検知器２６に電圧が発生する。電圧検知器２６はこの
電圧を検知したら制御部１８に信号を出力する。そし
て、制御部１８は、前記信号を受けると駆動モータ１４
の駆動を停止させると共に、接触子１６がワイヤー列１
３のワイヤー９に接触するまでの駆動モータ１４の回転
角度αをパルスジェネレータ２２から出力された総パル
ス数から算出して記憶しておく。
【００１７】次に、制御部１８は、駆動モータ１４を逆
回転で駆動させてワークホルダ１２を元の位置に戻すと
共に、ワークホルダ１２を他方側に回転させて同様の操
作を行い、他方側の接触子１６がワイヤー列１３のワイ
ヤー９に接触する（図３参照）までの駆動モータ１４の
回転角度βを算出して記憶する。そして、制御部１８
は、一方側の回転角度αと他方側の回転角度βからワー
ク２０のワイヤー列１３に対する水平方向の傾きθを算
出する。そして、算出された傾きθと前記所定の基準角
度の水平成分とを比較して一致していれば切断を開始す
る。しかし、一致していない場合は、前記所定の基準角
度の水平方向成分とのずれ分を算出して、そのずれ分だ
け駆動モータ１４を駆動して、ワーク２０が所定の基準
角度になるように修正してから切断を開始する。
回転で駆動させてワークホルダ１２を元の位置に戻すと
共に、ワークホルダ１２を他方側に回転させて同様の操
作を行い、他方側の接触子１６がワイヤー列１３のワイ
ヤー９に接触する（図３参照）までの駆動モータ１４の
回転角度βを算出して記憶する。そして、制御部１８
は、一方側の回転角度αと他方側の回転角度βからワー
ク２０のワイヤー列１３に対する水平方向の傾きθを算
出する。そして、算出された傾きθと前記所定の基準角
度の水平成分とを比較して一致していれば切断を開始す
る。しかし、一致していない場合は、前記所定の基準角
度の水平方向成分とのずれ分を算出して、そのずれ分だ
け駆動モータ１４を駆動して、ワーク２０が所定の基準
角度になるように修正してから切断を開始する。
【００１８】このように、従来は、張設ミスが生じてい
るワイヤー列１３に対して、機械基準で基準合わせを行
うとワーク２０の切断方向が水平方向にずれたまま切断
されてしまっていたが、本実施例のワイヤーソーのワー
ク位置決め装置によれば、前記水平方向のずれを検知し
て修正したうえで切断を開始するので、ワイヤー列１３
の張設ミス又は溝付ローラの設置ミスが起きても切断さ
れたワーク２０に不良品を出す心配が無い。
るワイヤー列１３に対して、機械基準で基準合わせを行
うとワーク２０の切断方向が水平方向にずれたまま切断
されてしまっていたが、本実施例のワイヤーソーのワー
ク位置決め装置によれば、前記水平方向のずれを検知し
て修正したうえで切断を開始するので、ワイヤー列１３
の張設ミス又は溝付ローラの設置ミスが起きても切断さ
れたワーク２０に不良品を出す心配が無い。
【００１９】尚、本実施例では回転角度を測定するの
に、接触子１６がワイヤー列１３に接触するまでの回転
角度を測定していたが、接触子１６がワイヤー列１３か
ら離れてから元の位置に戻るまでの回転角度を測定して
もよく、これにより、更なる測定精度の向上が見込め
る。また、本実施例では、ワイヤー９に電圧をかけるよ
うにしたが、接触子１６、１６に電圧をかけてワイヤー
９側をアースしてもよい。
に、接触子１６がワイヤー列１３に接触するまでの回転
角度を測定していたが、接触子１６がワイヤー列１３か
ら離れてから元の位置に戻るまでの回転角度を測定して
もよく、これにより、更なる測定精度の向上が見込め
る。また、本実施例では、ワイヤー９に電圧をかけるよ
うにしたが、接触子１６、１６に電圧をかけてワイヤー
９側をアースしてもよい。
【００２０】また、本実施例では、接触子１６がワイヤ
ー列１３に接触したことを検知する為に検出回路２５を
構成したが、接触検知手段はこれに限定されるものでは
なく、例えば、図４に示すリミットスイッチ３２を用い
てもよい。すなわち、接触子１６がワイヤー列１３に接
触すると接点３２Ａが離れるようにしておき、この情報
を制御部１８に出力するようにしてもよい。また、この
他の接触検知手段として、レーザー、光電センサ、及び
フォトマイクロを用いてもよい。
ー列１３に接触したことを検知する為に検出回路２５を
構成したが、接触検知手段はこれに限定されるものでは
なく、例えば、図４に示すリミットスイッチ３２を用い
てもよい。すなわち、接触子１６がワイヤー列１３に接
触すると接点３２Ａが離れるようにしておき、この情報
を制御部１８に出力するようにしてもよい。また、この
他の接触検知手段として、レーザー、光電センサ、及び
フォトマイクロを用いてもよい。
【００２１】また、本実施例では、駆動モータ１４でワ
ークホルダ１２を揺動させて接触子１６、１６をワイヤ
ー９に接触させているが、接触子１６、１６各々に移動
機構を備えて、接触子１６、１６のみが移動してワイヤ
ー９に接触するようにしてもよい。
ークホルダ１２を揺動させて接触子１６、１６をワイヤ
ー９に接触させているが、接触子１６、１６各々に移動
機構を備えて、接触子１６、１６のみが移動してワイヤ
ー９に接触するようにしてもよい。
【００２２】
【発明の効果】本発明のワイヤーソーのワーク位置決め
装置によれば、ワイヤー列に張設ミスが生じていても、
それを検知して所定の基準角度で切断されるようにワー
クの位置を移動させることができる。この為、張設ミス
の影響をなくすことができる。
装置によれば、ワイヤー列に張設ミスが生じていても、
それを検知して所定の基準角度で切断されるようにワー
クの位置を移動させることができる。この為、張設ミス
の影響をなくすことができる。
【図１】図１は、本発明のワイヤーソーのワーク位置決
め装置の斜視図である。
め装置の斜視図である。
【図２】図２は、本発明のワイヤーソーのワーク位置決
め装置の構成を示すブロック図である。
め装置の構成を示すブロック図である。
【図３】図３は、本発明のワイヤーソーのワーク位置決
め装置の要部拡大図である。
め装置の要部拡大図である。
【図４】図４は、接触検知手段にリミットスイッチを用
いた例を説明する図である。
いた例を説明する図である。
１２…ワークホルダ １３…ワイヤー列 １４…駆動モータ １６…接触子 １８…制御部 ２０…ワーク ２２…パルスジェネレータ ２６…電圧検知器 ３０…電源 ３２…リミットスイッチ、
Claims (1)
- 【請求項１】ワイヤーを一方のワイヤーリールから繰り
出して複数個の溝付ローラに巻き掛けワイヤー列を形成
して他方のワイヤーリールに巻き取ると共に、前記ワイ
ヤー列にワーク保持部材に保持されたワークを所定の基
準角度でセットした状態で押し当て、前記ワークを多数
の薄板状のウェーハに切断するワイヤーソーにおいて、 前記ワーク保持部材を前記ワイヤー列面の走行方向に対
して揺動させる揺動手段と、 前記ワーク保持部材に取り付けられ、前記揺動手段によ
る前記ワーク保持部材の一方側及び他方側の揺動時に、
前記ワイヤー列のワイヤーに接触する接触手段と、 前記接触手段が前記ワイヤー列のワイヤーに接触した一
方側の回転角度と前記接触手段を逆方向に揺動させた他
方側の回転角度とを前記所定の基準角度に基づいて算出
し、その算出した回転角度に基づいて前記ワーク保持部
材を前記所定の基準角度に位置させるように、前記揺動
手段を制御する制御手段と、から成ることを特徴とする
ワイヤーソーのワーク位置決め装置。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16534294A JP3070029B2 (ja) | 1994-07-18 | 1994-07-18 | ワイヤーソーのワーク位置決め装置 |
| CH01280/95A CH690845A5 (de) | 1994-05-19 | 1995-05-04 | Verfahren zum Positionieren eines Werkstücks und Vorrichtung hierfür. |
| DE1995117107 DE19517107C2 (de) | 1994-05-19 | 1995-05-10 | Verfahren zum Positionieren eines Werkstücks, wie eines stabförmigen Einkristallmaterials und Vorrichtung hierfür |
| KR1019950012474A KR100269964B1 (ko) | 1994-05-19 | 1995-05-18 | 워크피스 위치 결정방법 및 그 장치 |
| US08/852,605 US5893308A (en) | 1994-05-19 | 1997-05-07 | Method of positioning work piece and system therefor |
| US09/196,154 US6145422A (en) | 1994-05-19 | 1998-11-20 | Method of positioning work piece and system therefor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16534294A JP3070029B2 (ja) | 1994-07-18 | 1994-07-18 | ワイヤーソーのワーク位置決め装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0825208A true JPH0825208A (ja) | 1996-01-30 |
| JP3070029B2 JP3070029B2 (ja) | 2000-07-24 |
Family
ID=15810526
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16534294A Expired - Fee Related JP3070029B2 (ja) | 1994-05-19 | 1994-07-18 | ワイヤーソーのワーク位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3070029B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08267446A (ja) * | 1995-03-23 | 1996-10-15 | Wacker Siltronic G Fuer Halbleitermaterialien Mbh | ワークからウェーハを切断するためのワイヤ鋸及び方法 |
| JP2007319996A (ja) * | 2006-06-01 | 2007-12-13 | Sharp Corp | ワークのスライス加工方法およびワイヤソー |
| JP2010023233A (ja) * | 2008-07-15 | 2010-02-04 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 単結晶材料の面方位合わせ装置および面方位合わせ方法 |
| JP2010207978A (ja) * | 2009-03-11 | 2010-09-24 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 切断ワイヤーとワークとの位置決め方法、及びその方法を用いた位置決め角度検出治具付きワイヤーソー |
-
1994
- 1994-07-18 JP JP16534294A patent/JP3070029B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08267446A (ja) * | 1995-03-23 | 1996-10-15 | Wacker Siltronic G Fuer Halbleitermaterialien Mbh | ワークからウェーハを切断するためのワイヤ鋸及び方法 |
| JP2007319996A (ja) * | 2006-06-01 | 2007-12-13 | Sharp Corp | ワークのスライス加工方法およびワイヤソー |
| JP4658863B2 (ja) * | 2006-06-01 | 2011-03-23 | シャープ株式会社 | ワークのスライス加工方法およびワイヤソー |
| JP2010023233A (ja) * | 2008-07-15 | 2010-02-04 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 単結晶材料の面方位合わせ装置および面方位合わせ方法 |
| JP2010207978A (ja) * | 2009-03-11 | 2010-09-24 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 切断ワイヤーとワークとの位置決め方法、及びその方法を用いた位置決め角度検出治具付きワイヤーソー |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3070029B2 (ja) | 2000-07-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6145422A (en) | Method of positioning work piece and system therefor | |
| US5874678A (en) | Wire breaking detection equipment for wire saw | |
| KR19980063689A (ko) | 위치 어긋남 검출 장치 및 그 방법 | |
| JP2005519774A (ja) | 切断間隔を設定する方法 | |
| US5159202A (en) | Wafer shape detecting method | |
| JPH0825208A (ja) | ワイヤーソーのワーク位置決め装置 | |
| JP3105431B2 (ja) | ワイヤソーにおけるワイヤ張力制御装置 | |
| JP3187295B2 (ja) | ワイヤソー装置 | |
| CN1231334C (zh) | 在切割机上找正工件的方法 | |
| JP5662734B2 (ja) | 研削装置 | |
| JPH11138412A (ja) | 固定砥粒付ワイヤソー及びその被加工物切断方法 | |
| JP7222636B2 (ja) | エッジトリミング装置 | |
| JPH11156849A (ja) | 半導体インゴットの切削装置 | |
| JP3049465B2 (ja) | ダイシング装置 | |
| JPH06196556A (ja) | ダイシング装置 | |
| JPH10223573A (ja) | ダイシング方法および装置 | |
| JPS6247143B2 (ja) | ||
| JP3109384B2 (ja) | ワイヤーソー | |
| JP2882482B1 (ja) | インゴットのオリフラ・ノッチ検出方法及び位置決め方法 | |
| KR20020081732A (ko) | 반도체 제조설비의 스캔웨이브 감시장치 | |
| JPH11170248A (ja) | インゴット回転装置 | |
| JP2024022737A (ja) | 可動機構及び可動機構の診断方法 | |
| JPH0722495A (ja) | ウェーハ姿勢合わせ装置 | |
| JPH07105404B2 (ja) | ダイボンディング装置 | |
| JPS63258037A (ja) | 半導体ウエハの移し替え装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |