KR100269964B1

KR100269964B1 - 워크피스 위치 결정방법 및 그 장치

Info

Publication number: KR100269964B1
Application number: KR1019950012474A
Authority: KR
Inventors: 쇼조 카타미찌; 신지 시바오카
Original assignee: 오쯔보 히데오; 가부시키가이샤 토쿄 세이미쯔
Priority date: 1994-05-19
Filing date: 1995-05-18
Publication date: 2000-11-01
Also published as: DE19517107A1; US6145422A; CH690845A5; KR950034662A; DE19517107C2; US5893308A

Abstract

와이어 톱(10)과는 별도로 설치한 접착지그(14)를 이용하여, 반도체 잉곳등의 워크피스(38)를 워크피스 접착블록(42)에, 워크피스(38)의 중심축(38A)와 워크피스 접착블록(42)의 수평, 수직인 각 기준면(41),(43)이 평행이 되도록 위치결정하여 접착한다. 그리고, 워크피스 접착블록(42)을 와이어 톱(10)의 절단이송테이블(22)에 설치하여 절단평면에 대해 직교하는 수평,수직인 각 기준면(74),(76)을 갖는 설치지그(12)에 위치결정하여 장착함으로써 워크피스(38)의 중심축(38A)은 자동적으로 절단평면에 대해 직교한다. 그리고, 와이어 톱(10)외부에 미리 측정해둔 워크피스(38)의 중심축(38A)이 상기 절단평면에 대해 소정의 기울기가 되도록 틸팅기구로 설치지그(12)를 틸팅시켜 워크피스(38)를 틸팅한다.

Description

워크피스 위치 결정방법 및 그 장치

제1도는 본 발명의 워크피스 위치 결정장치의 제1실시예를 설명하는 도면으로, 와이어 톱의 절단이송테이블에 본 발명의 설치지그를 설치한 사시도.

제2도는 본 발명의 워크피스 위치 결정장치의 제1실시예에 있어서 접착지그를 보여주는 것으로, 내부를 설명하기 위해 일부를 자른 측면도.

제3도는 본 발명의 접착지그의 정면도.

제4(a)도는 반도체 잉곳에 형성된 오리엔테이션 플랫을 나타낸 것이고, 제4(b)도는 반도체 잉곳에 형성된 노치를 나타낸 사시도.

제5도는 본 발명의 워크피스 위치 결정장치의 제1실시예에 의한 워크피스 접착블록을 나타낸 사시도.

제6도는 본 발명의 워크피스 위치 결정장치의 제1실시예에 있어서 설치지그의 부분단면을 나타낸 측면도.

제7도는 본 발명의 설치지그의 부분단면을 나타낸 정면도.

제8도는 본 발명의 워크피스 위치 결정장치의 제2실시예를 설명하는 사시도.

제9도는 본 발명의 워크피스 위치 결정장치의 제2실시예를 설명하는 블록도.

제10도는 본 발명의 워크피스 위치 결정장치의 제2실시예를 설명하는 요부확대도.

제11도는 본 발명의 워크피스 위치 결정장치의 제2실시예의 다른 모드를 나타낸 것으로, 접촉 감지수단에 리미트 스위치를 이용한 예를 설명하는 측면도.

제12도는 본 발명의 워크피스 위치결정 방법을 개략적으로 도시한 플로우챠트.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

10 : 와이어 톱 12 : 설치지그

14 : 접착지그 22 : 절단이송테이블

38 : 워크피스 42 : 워크피스 접착블록

64 : 지지부재 82 : 클램프기구부

본 발명은 워크피스의 위치결정방법 및 그 장치에 관한 것으로, 특히 원주상의 워크피스, 예를들면 반도체 잉곳을 주행하는 와이어 톱으로 다수의 박판상의 웨이퍼로 절단할 때의 워크피스 위치 결정방법 및 그 장치에 관한 것이다.

원주상의 반도체 잉곳같은 워크피스를 박판상의 워크피스로 절단하는 장치의 하나로 와이어 톱이 있다.

이 와이어 톱은 와이어가 복수의 홈이 파진 롤러사이에 감겨져 와이어 열이 형성됨과 동시에 와이어의 한쪽단은 한쪽의 와이어 릴에 감겨지고, 다른쪽단은 다른쪽 와이어 릴에 감겨진다.

그리고, 와이어가 한쪽의 와이어 릴과 다른쪽의 와이어 릴 사이를 고속으로 왕복주행할 때, 수평인 상기 와이어 열에 워크피스를 수직방향으로 이동시켜 압압함과 동시에 와이어 열에 지립(砥粒)을 포함한 가공액을 공급하여 지립의 랩핑(lapping)작용에 의해 워크피스를 다수의 박막상의 웨이퍼로 절단하는 것이다.

그리고, 단결정 재료로 형성된, 예를들면 반도체 잉곳(이하, 워크피스라고 한다)을 와이어 톱으로 절단하는 경우에는 워크피스의 절단면이 소정의 기준각도, 예를들면 결정방위로 된 워크피스를 위치결정한 후에 절단할 필요가 있다. 종래에 결정방위 배열을 위한 워크피스 위치 결정방법으로서는, 특개평 3-10760에 개시되어 있다. 이 방법은 각각의 와이어 톱에 고니오 각 측정 메타(gonio angle measuring meter), 고니오 각 설정장치를 설치해서 고니오 각 측정 메타장치 상태에서 직접 측정한 워크피스의 결정방위 결과에 근거하여 고니오 각 설정장치로서 워크피스를 지지한 압상대(押上台)의 기울기를 조정하는 방법이다.

다른방법은 상기 고니오 각 측정메타, 고니오 각 설정장치를 갖춘 와이어 톱 외부에 별도로 고니오 각 측정 메타와 고니오 각 설자장치를 갖춘 측정장치를 설치하여, 이 측정장치의 고니오 각 설정장치와 와이어 톱의 고니오 각 설정장치를 온라인으로 연결하여 이 측정장치로 얻어진 고니오 각 설정장치의 운전조건을 와이어 톱의 고니오 각 설정장치로 출력하는 방법이다.

또다른 방법으로서는, 광학계(현미경)를 이용해서 워크피스의 기준과 와이어 톱의 기준등을 합하므로써 미리 측정한 워크피스의 결정방위 정보에 근거하여 워크피스를 고정각도로 틸팅하는 방법이 있다.

그러나, 특개평3-10760 방법은 와이어 톱 각각에 고니오 각 측정메타를 장착함으로써 장치가격이 고가로 되는 결점이 있다.

또, 고니오 각 측정메타, 고니오 각 설정장치를 갖춘 측정장치를 와이어톱에 부가적으로 설치하는 방법도 측정장치에 고니오 각 설정장치를 미리 설치하지 않고는 되지않기 때문에 장치가격이 고가로 된다.

한편, 광학계를 사용하는 방법은 워크피스의 기준과 와이어 톱의 기준등을 합치기 위한 시간이 걸려 작업효율이 나빠지는 결점이 있다.

이러한 문제점으로 인하여 워크피스의 절단시에, 예를들면 워크피스의 결정방위같은 소정의 기준각도로 워크피스를 쉽고 신속하게 위치결정할 수 있는 저가의 장치가 요망되어진다.

또, 워크피스를 소정의 기준각도로 절단할 때의 문제점으로서, 워크피스를 소정의 기준각도로 위치결정하더라도, 예를들면 작업자가 와이어를 롤러에 한 홈(1피치:0.5mm 정도)틀리게 걸어설치할 경우, 또는 홈이 파진 롤러의 홈위치가 어긋나게 설치된 경우 그 부분만큼 수평방향의 각도가 어긋나게 절단되는 문제가 있다.

본 발명의 목적은 이러한 사정에 감안한 것으로, 단결정재료로 형성된 워크피스를 절단할 때에 워크피스를, 예를들면 결정방위 같은 소정의 기준각도로 용이하고도 신속하게 위치결정하는 것이 가능하고, 동시에 장치가격이 저가인 워크피스의 위치 결정방법 및 그 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

또, 본 발명의 다른 목적은 이러한 사정을 감안한 것으로, 와이어 톱의 와이어 열을 걸어서 설치하는데 착오의 영향을 없애는 것이 가능한 워크피스 위치 결정 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

청구항 1의 발명은 상기 목적을 달성하기 위해 봉상(棒狀)의 단결정재료를 와이어 톱의 와이어 열에 의해 웨이퍼로 절단할 때 그 절단면이 소정의 결정방위로 되도록 단결정재료의 결정방위조합을 한 단결정재료 절단시의 결정방위조합장치에 있어서, 수평·수직인 각 기준면을 가진 워크피스 접착블록과, 상기 와이어 톱과는 별도로 설치되며 상기 단결정재료에 형성한 오리엔테이션 플랫등의 기준을 소정위치로 조합한 상태로 단결정재료에 형성한 오리엔테이션 플랫등의 기준을 소정위치로 조합한 상태로 단결정재료의 중심축과 워크피스 접착블록의 수평·수직인 각 기준면이 평행으로 되도록 상기 단결정 재료를 상기 워크피스 접착블록에 위치 결정하고 접착하는 접착지그와, 상기 와이어 톱의 절단이송테이블에 설치되어 상기 절단이송테이블의 절단이송방향과 상기 와이어 열의 주행방향으로 형성된 절단 평면에 대해서 직교하는 수평·수직인 각 기준면을 가지고 각 기준면에 상기 워크피스 접착 블록의 기준면을 조합해서 상기 워크피스 접착 블록을 위치 결정하고 장착하는 것에 의해 상기 단결정재료의 중심축을 상기 절단평면에 대하여 직교시키는 설치지그와, 상기 와이어 톱 외부에 미리 측정해둔 상기 단결정재료의 중심축을 기준으로 한 결정방위의 어긋난 양(量) 정보에 근거해서 상기 중심축이 상기 절단평면에 대해서 소정의 기울기로 되도록 단결정 재료를 틸팅(tilting)하는 틸팅(tilting)기구로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

또, 청구항 7의 발명은 상기 목적을 달성하기 위해 워크피스 유지부재로 유지된 워크피스를 주행하는 와이어 열에 소정의 기준각도로 셋트한 상태로 압압해서, 상기 워크피스를 다수의 박판상의 와이어로 절단하는 와이어 톱에 있어서, 상기 워크피스 유지부재를 상기 와이어 열 면의 주행방향에 대하여 요동하는 수평면 방향의 틸팅기구와, 상기 워크피스 유지부재에 설치되어 상기 수평면 방향의 틸팅기구에 의한 상기 워크피스 유지부재의 한쪽측 및 타측의 요동시에 상기 와이어 열의 와이어에 접촉하는 접촉자과, 상기 접촉자가 상기 와이어 열의 와이어에 접촉한 한쪽측의 회전각도와 상기 접촉자를 역방향으로 요동시킨 타방향측의 회전각도를 상기 소정의 기준각도에 의거해서 산출하고, 그 산출한 회전각도에 의거해서 상기 워크피스 유지부재를 상기 소정의 기준각도로 위치시킴으로써 상기 수평면 방향의 틸팅기구를 제어하는 제어부와 펄스발생기 및 검출회로의 콘트롤부로 이루어진 것을 특징으로 한다.

청구항 1의 발명에 의하면 우선, 와이어 톱과 별도로 설치한 접착지그를 이용해서 봉상의 단결정재료를 워크피스 접착블록에 단결정재료의 중심축과 워크피스 접착블록의 수평·수직인 각 기준면이 평행으로 되도록 위치 결정하고 접착한다.

다음으로, 상기 워크피스 접착블록을 와이어 톱의 절단이송테이블이 설치되어 절단이송테이블의 절단 이동방향과 상기 와이어 열의 주행방향으로 형성된 절단평면에 대해서 직교하는 수평·수직인 각 기준면을 가진 설치지그에 위치 결정하고 장착한다. 이것에 의해 상기 단결정재료의 중심축은 자동적으로 상기 절단평면에 대해서 직교한다.

다음으로, 와이어 톱 외부에 미리 측정해 둔 상기 단결정재료의 중심축을 기준으로 한 결정방위의 어긋난 양 정보에 의거해서 상기 중심축이 상기 절단평면에 대해서 소정의 기울기가 되는 기울기로 단결정재료를 틸팅한다.

즉, 워크피스 접착블록, 접착지그, 설치지그와 같은 간단한 부재와 지그를 이용해서 단결정재료의 중심축을 절단평면으로 소정의 각도(이 경우는 직교관계)로 되도록 설정해 두고, 미리 설정해둔 상기 중심축을 기준으로 한 결정방위의 어긋난 양 정보에 근거해서 상기 중심축이 상기 절단평면에 대해서 소정의 기울기(절단된 단결정 재료의 절단면이 소정의 결정방위로 된 기울기)로 되도록 절단평면에 대해서 단결정 재료를 틸팅한다.

또, 청구항 7의 발명은 워크피스 유지부재로 유지된 워크피스가 와이어 열에 대해서 올바른 소정의 기준각으로 셋트되어 있는지를 확인한다.

그 다음, 바르게 셋트되어 있지 않을 경우(예를들면, 와이어 열을 걸어서 설치할 때에 한홈을 잘못 걸어서 설치함으로써, 그 부분이 올바른 각도로부터 어긋나 있는 경우)에는 자동적으로 어긋남을 수정하는 것이다.

즉, 우선 제어부와 펄스발생기와 검출회로의 콘트롤부는 수평면 방향의 틸팅기구를 구동해서 워크피스 유지부재를 한쪽방향으로 요동시킨다. 그리고 워크피스 유지부재에 설치한 접촉자를 와이어열의 와이어 접촉시킴과 동시에 접촉자가 와이어 열의 와이어에 접촉하면 수평면 방향의 틸팅기구의 요동을 정지시키고, 접촉자가 와이어 열의 와이어에 접촉할 때까지의 수평면 방향의 틸팅기구의 회전각도를 산출해서 기억한다.

다음으로, 제어부와 펄스발생기 및 검출회로의 콘트롤부는 수평면 방향의 틸팅기구를 구동해서 워크피스 유지부재를 다시 원위치로 이동시킴과 동시에 접촉자를 타방향측에도 요동시켜 같은 조작을 행한다. 그리고 제어부와 펄스발생기 및 검출회로의 콘트롤부는 상기에서와 같이 얻어진 한방향측 및 타방향측의 회전각도에 근거해서 워크피스가 와이어 열에 대하여 소정의 기준 각도로 셋트되어 있는가를 판단한다. 이때 워크피스가 와이어 열에 대해서 소정의 기준각도로 되어있지 않은 경우는 소정의 기준각도로 되도록 워크피스 유지부재를 수평면 방향의 틸팅기구로 요동시켜 수정한다.

이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다.

제1도 내지 제7도는 본 발명의 제1실시예를 설명한 도면으로, 제1실시예는 단결정재료로서 형성된 원주상의 워크피스, 예를들면 반도체 잉곳(이하, 워크피스라고 한다)를 웨이퍼상으로 절단할 때에 워크피스를 소정의 기준각도, 예를들면 결정방위로 도도록 워크피스의 위치결정을 하는 것이다.

제1도는 본 발명의 워크피스 위치 결정방법을 적용하는 와이어 톱(10)으로, 절단이송테이블(22)에 본 발명의 설치지그(12)가 설치되어 있는 사시도이다.

또, 제2도 및 제3도는 본 발명의 접착지그(14)의 측면도와 정면도이다. 제6도 및 제7도는 본 발명의 설치지그(12)의 측면도와 정면도이다.

상기 접착지그(14)와 설치지그(12)의 설명을 하기 전에 와이어 톱(10)에 의한 절단기구를 설명한다.

제1도에 나타낸 것처럼 도시하지 않은 쪽의 릴로부터 감겨나와 있는 와이어(16)는 복수의 홈이 파인 롤(18,18…)에 순차적으로 감겨 와이어 열(20)을 형성하고, 도시하지 않은 다른쪽의 릴에 감겨 옮겨진다.

또 와이어 열(20)의 위쪽에는 절단이송테이블(22)이 설치되고, 이 절단이송테이블(22)의 슬라이드부재(24)는 복수의 리니어 베어링(26,26…)을 사이에 두고 수직으로 배설된 평행한 한쌍의 가이드레일(28,28)에 슬라이드 자재로 지지된다.

또, 슬라이드부재(24)에 고정된 넛트부재(30)는 가이드레일(28)을 따라 배설된 리드 스크류(32)에 나사 결합됨과 동시에 리드스크류(32)는 정·역회전 가능한 모터(34)에 의해 회전된다.

따라서 모터(34)로 리드 스크류(32)를 회전시키면, 절단이송테이블(22)은 상하방향(도면에서 Z-Z방향)으로 이동한다.

또, 상기 슬라이드부재(24)의 하측에는 설치지그(12)가 지지됨과 동시에 설치지그(12)는 설치지그(12)를 기울이는 틸팅(tilting)기구부와, 상기 접착지그(14)로 피절단부재인 워크피스(38)를 슬라이드 베이스(40)를 사이에 두고 접착한 워크피스 접착블록(42)을 위치결정하여 장착하는 클램프기구부로 구성된다.

또, 상기 틸팅기구부는 틸팅베이스(37)의 반구상 접동면(39)에 슬라이드 자재로 지지된 틸팅컬럼(36)을 틸팅컬럼(36)내에 내장된 틸팅장치로 수평요동(도면에서 A-A방향) 및 수직요동(도면에서 B-B방향)시키도록 구성된다.

상기 와이어 톱(10)으로 와이어(38)를 절단하는 경우에는 절단이송테이블(22)을 절단이송방향(도면에서 Z-Z의 와이어 열 방향)으로 이동시키고, 워크피스(38)를 와이어 열(16)의 주행방향(도면에서 X-X 방향)으로 고속주행하는 와이어 열에 압압함과 동시에 와이어 열(20)에 가공액을 공급한다.

이것에 의해 와이어 열(20)에 공급된 가공액의 랩핑 작용에 의해 워크피스(38)를 다수의 박막상의 웨이퍼로 절단한다.

다음으로, 제2도 및 제3도에 의해 와이어 톱(10)과는 별도로 설치된 본 발명의 접착지그(14)에 대해서 설명한다.

더우기, 워크피스(38)에는 웨이퍼로 된 때에 결정방위를 알 수 있도록 워크피스(38) 표면의 길이방향으로 오리엔테이션 플랫(38A) 혹은 노치(38B)가 형성된다(제4도 참조).

제2도 및 제3도에 나타나 있는 것처럼 베이스(44)위에는 그 길이방향으로 V자형의 홈(46)이 형성된 V블록(48)(받침대)이 고정된다.

또, V블록(48)이 홈(46)의 저부에는 홈(46)을 따라 오리엔테이션 플랫용 블록(50)이 수평으로 배설된다. 또 블록(50)의 길이방향 양단측에는 관통공이 돌설됨과 동시에 이 관통공에 선단부가 뾰족한 노치용 핀(52)이 이동자재로 관통된다.

또, 노치용 핀(52)의 기단부는 고정베이스(54)에 지지됨과 함께 고정베이스(54)와 상기 베이스(44) 사이에는 복수의 압축스프링(56,56,…)이 배설된다.

이것에 의해 노치용 핀(52) 선단부를 누르면 블록(50)으로부터 돌출한 노치용 핀(52)의 선단부는 관통공에 가려진다.

그리고 오리엔테이션 플랫(38A)이 형성된 워크피스(38)의 경우에는 오리엔테이션 플랫용 블록(50)에서 오리엔테이션 플랫(38A) 위치의 위치결정을 하고, 노치(38B)가 형성된 워크피스(38)의 경우에는 노치(38B)내에 노치용 핀(52)의 선단부가 돌출하는 것에 의해 노치(38B) 위치의 위치결정을 한다.

또, 베이스(44)에는 수직인 지주(58)가 고정됨과 함께 지주(58)에는 평행인 한쌍의 가이드 레일(60,60)이 상하방향으로 배설된다. 또, 가이드 레일(60)에는 복수의 리니어 베어링(62,62)을 사이에 두고 지지부재(64)가 슬라이드 자재로 지지됨과 함께 지지부재(64)에 고정된 넛트부재(66)에는 그 상하단이 상기 지주(58)에 설치된 축수(58A,58B)에 회동자재로 지지된 리드 스크류(68)가 나사결합된다.

또, 리드 스크류(68)의 상다에는 핸들(70)이 설치된다. 이것에 의해 핸들(70)을 회전시키면 지지부재(64)는 가이드 레일(60)을 따라 상하방향으로 이동한다.

또, 상기 지지부재(64) 본체는 상판(64A), 배판(64B), 양측판(64C,64C)으로 구성되어지고, 전면(제2도의 화살표 72측)과 저면(제3도 참조)이 개방된 중공사각체 상에 형성된다.

또, 양측판(64C,64C)는 L자가 마주보는 상태로 형성되어 L자의 수평부(64D)에는 수평기준면(74)이 형성된다. 또, 상기 지지부재(64)내에 배판(64B)면의 양측단에는 각각 돌출블록(78,78)이 설치되어 수직기준을 형성하고 있다.

또, 상판(64A)의 양측단에는 관통공이 형성되어 이 관통공에는 나사가 각각 설치됨과 동시에 관통공에 볼트(76,76)가 나사결합된다. 이것에 의해 볼트(76)를 회전시킴으로써 지지부재(64)내로 돌출하는 볼트(76)선단부의 돌출량이 변화한다.

다음으로, 접착지그(14)의 사용방법에 대해서 설명하면, 워크피스(38)를 V블록(48)의 홈(46)을 따라 가로방향으로 재치하는 동시에 워크피스(38)의 노치(38B) 위치를 노치용 핀(52)으로 위치결정한다(이 경우는 노치가 형성된 워크피스를 사용). 이때, 지지부재(64)는 워크피스(38)를 V블록(48)에 재치하는 것이 충분하도록 상방향으로 위치시켜 둔다.

한편, 수평·수직인 각각의 기준면(41,43)을 가진 직방체상의 상부블록(42A)과 상부블록(42A)보다 한 사이즈 작은 직방체상의 하부블록(42B)으로 이루어진 워크피스 접착블록(42)(제5도 참조)을 지지부재(64) 전방으로부터 지지부재(64)내로 삽입해서 양측판(64C,64C)의 수평부(64D)에 놓인다.

그리고 워크피스 접착블록(42)의 수직기준면(43)을 돌출블록(78)에 부딪치게 한 상태에서 볼트(76)에 의해 워크피스 접착블록(42)을 아래방향으로 압압하고, 워크피스 접착블록(42)의 수평기준면(41)을 양측판(64C,64C)의 수평기준면(74)에 부딪치게 한 상태에서 고정한다.

이것에 의해 워크피스(38)의 중심축(38A)과 워크피스 접착블록(42)의 각 기준면(41,43)과는 평행관계가 형성된다.

다음으로 지지부재(64)를 워크피스(38)에 접근시켜서 슬라이드 베이스(40)를 사이에 두고 워크피스 접착블록(42)을 워크피스(38)에 접착제(80)로 접착한다.

이때, 슬라이드 베이스(40)를 사이에 두지 않고 워크피스 접착블록(42)을 슬라이스 베이스(40)와 겸용시키는 것도 가능하다. 이 접착조작에 있어서, 워크피스 접착블록(42)과 슬라이드 베이스(40)의 사이에 틈이 생기는 경우에는 틈에 접착제(80)를 충전한다.

이것에 의해 워크피스(38)의 중심축(38A)과 워크피스 접착블록(42)의 각 기준면(41),(43)과는 평행관계가 형성된 상태로 슬라이스 베이스(40)를 사이에 두고 접착하는 것이 가능하다.

다음으로 제6도 제7도에 의해 와이어 톱(10)의 절단이송테이블(22)에 설치된 본 발명의 설치지그(12)에 대해서 설명한다.

제6도 및 제7도에 나타낸 것처럼 설치지그(12)는 클램프기구부(82)와 도시하지 않은 틸팅(tilting)기구부로 구성된다. 클램프기구부(82)는 상기 접착지그(14)의 지지부재(64)와 같은 모양으로 상단(82A), 배판(82B), 양측판(82C),(82C)으로 구성되고, 전면(제6도의 화살표 83측)과 저면(제7도 참조)이 개방된 중공사각체 상에 형성된다.

또, 양측판(82C),(82C)은 L자가 마주보는 상태로 형성되고, L자의 수평부(82D)에는 수평기준면(84)이 형성된다.

또, 상기 클램프기구부(82)내의 배판(82B)면에는 수직기준면(86)이 형성된다.

또, 상판(82A)의 중앙부에는 워크피스 접착블록(42)의 수직기준면(43)을 클램프기구부(82)의 수직기준면(86)에 부딪치게 해서 위치결정하여 클램프하는 제1클램프실린더(104)가 설치되어짐과 동시에 상판(82A)의 양측단에는 워크피스 접착블록(42)의 수평기준면(41)을 클램프기구부(82)의 수평기준면(84)에 부딪치게 해서 위치결정하여 클램프하는 제2클램프실린더(106),(106)가 설치되어진다.

또, 각 클램프실린더(104),(106)의 실린더로드(104A),(106A)는 상판(82A)에 돌설된 관통공을 통과해 클램프 기구부(82)내에서 늘어나거나 수축하도록 되어있다.

또, 클램프기구부(82)에 형성된 수평기준면(84)과 수직기준면(86)에는 공기통로(87),(88)의 개방단(81),(85)이 형성된다. 그리고 수평기준면(84)의 개방단(81)에 연결된 제1공기통로(87)는 양측판(82C)(82C)내와 상판(82A)내에 형성되어 한쪽의 측판(82C) 외부에 고정된 제1접속부재(90)에 연통하는 동시에 제1접속부재(90)에 접속된 제1공기배관(92)은 제1압력계(94)에 연결되어 있다.

또, 제1공기배관(92)의 중간부분에서 분기한 제1공기호스(96)는 도시하지 않은 압축기에 접속된다. 한편, 수직기준면(86)의 개방단(85)에 연결된 제2공기통로(88)는 배관(82B)내에 형성되고, 상판(82A) 외부에 고정된 제2의 접속부재(98)에 연통하는 동시에 제2접속부재(98)에 접속된 제2공기배관(100)은 제2압력계(102)에 연결되어있다.

또, 제2공기배관(98)의 중간부분에서 분기한 제2공기호스(105)는 상기 압축기에 접속된다. 그리고, 압축기로부터의 공기가 상기 양 개방단(81),(85)으로부터 항상 통하도록 한다.

이것에 의해 개방단(81),(85)이 차단되면, 공기통로(87),(88)의 압력이 올라가고, 이 압력의 상승이 압력계(84),(102)에 의해 검출되기 때문에 워크피스 접착블록(42)의 각 기준면(41),(43)이 클램프기구부(82)의 각 기준면(84),(86)에 바르게 착석되는 것을 확인하는 착석확인센서를 형성하는 것이 가능하다.

다음으로 설치지그(12)의 사용방법에 관해 설명하면, 워크피스(38)에 슬라이스 베이스(40)를 사이에 두고 위치결정하여 접착한 워크피스 접착블록(42)을 클램프기구부(82)의 전방으로부터 삽입하여 양측판(82C)의 수평부분(82D)에 놓는다.

다음으로, 제1클램프실린더(104)를 작동시켜 실린더로드(104A)를 신축동작시켜서 워크피스 접착블록(42)의 중앙부 상측에 고정된 당접부재(42C)의 기울어진 면을 누른다.

이것에 의해, 워크피스 접착블록(42)은 클램프기구부(82)의 배판(82B) 방향으로 이동되어 워크피스 접착블록(42)의 수직기준면(43)이 클램프기구부(82)의 수직기준면(86)에 부딪히게 된다.

계속해서 제2클램프실린더(106)를 작동시켜 실린더로드(106A)를 신축동작시켜서 워크피스 접착블록(42)의 수평기준면(41)을 클램프기구부(82)의 수평기준면(84)에 부딪히게 한다.이 상태에서, 제1 및 제2클램프실린더(104,(106)를 맞물려 움직이지 않게 해서 워크피스 접착블록(42)이 움직이지 않도록 클램프한다.

이때, 클램프기구부(82)의 수평기준면(84) 및 수직기준면(86)에 착석확인센서를 설치하기 때문에 워크피스 접착블록(42)과 클램프기구부(82)의 각 기준면 서로가 바르게 접하는가를 확실하게 확인하는 것이 가능하다.

다음으로, 워크피스의 절단면이 소정의 결정방위가 되도록 워크피스를 위치결정하는 본 발명의 워크피스의 위치결정방법에 관해서 설명한다.

우선, 와이어 톱(10)과는 별도로 설치한 접착지그(14)를 이용해서 워크피스(38)를 워크피스 접착블록(42)에 상기 워크피스(38)에 형성한 오리엔테이션플랫 또는 노치의 기준을 오리엔테이션 플랫용 블록(50) 또는 노치용 핀(52)으로 소정위치에 조합한 상태에서 워크피스(38)의 중심축(38A)과 워크피스 접착블록(42)의 수평·수직인 각 기준면(41),(43)이 평행하게 슬라이드 베이스(40)를 사이에 두고 위치 결정하여 접착한다.(단계 S2)

다음으로, 상기 워크피스 접착블록(42)을 와이어 톱(10)의 절단이송테이블(22)에 설치되어 절단평면(도면 1의 Z-X평면)에 대해서 직교하는 수평·수직인 각 기준면(84),(86)을 가지는 설치지그(12)의 클램프기구부(82)에 위치 결정하여 장착한다(단계 S3).

이것에 의해 워크피스(39)의 중심축(38A)은 자동적으로 상기 절단평면에 대해서 직교한다(단계 S4). 다음으로 와이어 톱(10) 외부에 미리 측정(예를들면, 고니오 각 측정메타로 측정)해둔 워크피스(38)의 중심축(38A)를 기준으로 한 결정방위의 어긋난 양 정보에 근거해서 워크피스(38)의 중심축(38A)이 상기 절단평면에 대해서 소정의 기울기로 되도록 틸팅(tilting)기구로서 설치지그(12)를 틸팅한다(단계 S5).

이것에 의해 워크피스(38)가 절단평면에 대해서 소정각도로 기울기 때문에 절단된 워크피스(38)의 절단면이 소정의 결정방위로 되도록 워크피스(38)를 위치결정할 수 있다.

이와같이 본 발명의 워크피스 위치결정방법 및 그 장치에서는 워크피스 접착블록(42), 접착지그(14), 설치지그(12)와 같은 간단한 부재 및 지그를 이용해서 워크피스(38)의 중심축(38A)을 절단평면에 대해 소정의 각도(이 경우는 직교관계)로 되도록 쉽고 신속하게 설정할 수 있고, 미리 측정해둔 상기 중심축(38A)을 기준으로 한 결정방위와 어긋난 정보량에 근거해서 상기 중심축(38A)이 상기 절단평면에 대해서 소정의 기울기(절단된 워크피스(38)를 기울일 수 있기 때문에 종래의 방법에 비해 저렴한 장치가격으로 간단하고도 신속하게 위치결정할 수 있다.

따라서, 워크피스(38)를 위치결정하는 작업효율을 향상할 수 있다.

또, 상기 설치지그(12)내에 내장한 클램프기구부(82)를 제1 및 제2클램프실린더(104),(106)에 의해 워크피스 접착블록(42)를 자동으로 클램프할 수 있어서 오염된 가공실에서의 작업을 최대한 줄일 수 있기 때문에 작업자의 부담을 줄일 수 있다.

또, 틸딩(tilting)기구부는 상세하게는 생략하지만 수지제어에서 제어하도록 하기 때문에 제어정도에 있어서 작업자의 개인차가 없고 정확하고 안정된 제어를 할 수 있다.

또, 종래의 광학계를 이용한 방법에 비해 단시간에 결정방위 조합이 가능하기 때문에 작업시간을 단축할 수 있다.

더욱이 제1실시예에서는 본 발명의 워크피스 위치결정방법을 와이어 톱식 슬라이딩 기계에 적용한 예로 설명하지만 내주칼식 혹은 외주칼식의 슬라이딩 기계에 적용할 수 있다.

또, 워크피스를 반도체 잉곳의 예로 설명하였지만 워크피스를 결정방위 혹은 소정의 기준각도로 위치결정할 필요가 있는 워크피스 전부에 적용가능하다.

또, 제1도에 나타나 있듯이 절단이송방향을 Z-Z방향, 와이어 열의 주행방향을 X-X방향으로 하였으나, 절단이송방향을 X-X방향, 와이어 열의 주행방향을 Z-Z방향, 즉 수직인 와이어 열에 대해서 가로방향으로 워크피스를 절단하도록 장치를 배설할 수 있다.

또, 워크피스 접착블록을 설치지그로 장착할 때 절단평면에 대해서 워크피스의 중심축이 직교하도록 설정하지만, 이것은 가장 적절한 예로 경우에 따라서는 절단평면에 대해서 워크피스의 중심축이 소정의 기준각도로 되도록 설정해도 좋다.

또, 틸팅(tilting)기구를 설치지그내에 내장하도록 하지만, 설치지그 외부로부터 설치지그를 틸팅하도록 해도 무방하다.

다음으로 본 발명에 관한 와이어 톱의 워크피스 위치결정장치의 제2실시예를 설명한다.

제8도 내지 제11도는 제2실시예의 위치결정장치를 설명하는 도면이다.

제2실시예의 위치결정하는 워크피스 유지부재에 유지된 워크피스가 와이어 열에 대해서 바른 소정의 기준각도로 위치결정되어 있는지 아닌지를 확인하고, 바른 위치결정이 되어 있지 않은 경우(가령, 와이어 열을 걸어 설치할 때에 홈을 잘못 걸어 설치하는 것에 의해 그 부분이 바른 소정각도로부터 어긋나 있는 경우)에는 자동적으로 어긋남을 수정해서 바르게 위치결정해 고치는 것이다.

제8도는 본 실시예의 와이어 톱의 워크피스 위치결정장치의 사시도이고, 제9도는 그 구성을 나타낸 블록도이다.

제8도, 제9도에 나타낸 것처럼 와이어 열(213)은 세개의 홈이 파진 롤러(211),(211),(211)에 와이어(209)를 감아서 걸어설치하고, 워크피스 위치결정장치(200)는 주로 워크피스 홀더(212), 구동모터(214), 봉상의 접촉자(216),(216) 및 제어부(218)(제9도 참조)로 구성된다.

구동모터(214)는 그 회전축(215)이 워크피스 홀더(212)의 중심부에 설치되어 상기 워크피스 홀더(212)를 와이어 열 면(213)에 대해서 수평방향으로 요동시킴과 더불어 틸팅(tilting)기구의 수평방향측의 요동동력으로 된다. 또 워크피스 홀더(212)를 수직방향으로 요동시킨 요동동력은 워크피스 홀더(212)에 내장되지만 상세한 설명은 본 발명의 요지가 아니므로 생략한다.

또, 구동모터(214)에는 펄스발생기(222)가 설치되어 있고, 이 펄스발생기(222)는 구동모터(214)의 호전각도에 해당하는 수의 펄스(예를들면 1회전하면 1펄스)를 제어부(218)로 출력한다. 봉상의 접촉자(216,(216)는 도전성의 것이 사용되어짐과 동시에 상기 워크피스 홀더(212)의 한쪽단의 양쪽 각에 절연체(224),(224)를 사이에 두고 설치된다.

제어부(218)는 구동모터(214)의 구동제어를 함과 동시에 펄스발생기(222)로부터 출력된 정보에 근거해서 구동모터(214)의 회전각도를 산출한다. 그리고, 이 구동모터(214)의 회전각도로부터 워크피스 홀더(212)의 와이어 열(213)에 대한 수평방향의 기울기를 산출해 워크피스 홀더(212)가 와이어 열(213)에 대해서 바른 수평방향의 기준각도에 설치되었는가를 판단해서 어긋남이 발생한 경우는 그 어긋난 부분만 구동모터(214)를 구동해서 수정한다.

또, 접촉자(216),(216)가 와이어 열(213)의 와이어(209)에 접촉한 것을 감지하는 수단으로서 제9도에 나타낸 것과 같이 검출회로(225)가 조립되어 있다.

이 검출회로(225)는 와이어 열(213), 접촉자(216),(216), 전압센서(226),(226), 케이블(228), 전원(230)으로 구성된다.

와이어 열(213)의 와이어(209)에는 전원(230)에 의해 전압이 인가되어 있고, 접촉자(216)가 와이어 열(213)에 접촉하면 전압센서(226)에 전압이 발생하도록 되어 있다.

그리고, 전압센서(226)가 전압을 감지하면 신호가 제어부(218)에 출력되고, 이것에 의해 접촉자(216)가 와이어 열(213)의 와이어(209)에 접촉한 것을 제어부(218)에 전달한다.

다음으로 상기와 같은 구성된 와이어 톱의 워크피스 위치결정장치의 작용을 설명한다.

우선, 워크피스(220)를 워크피스 홀더(212)에 설치해 수평·수직 기준조합을 함과 동시에 틸팅(tilting)기구에 의해 워크피스(220)가 원하는 절단방향으로 절단되도록 워크피스 홀더(212)를 수평, 수직방향에 대해서 소정기준각도록 기울여서 설치한다.

이 설치에 있어서 워크피스(220)는 제1실시예에서 제안한 접착지그(14) 및 설치지그(12)를 이용해서 수평, 수직 기준조합을 한다. 이 경우, 와이어 열(213)이 바르게 걸어 설치되면 와이어(220)의 수평, 수직기준과 와이어 열(213)의 수평, 수직기준은 일치하지만 와이어 열(213)을 걸어설치하는데 실수가 발생한 경우(가령, 와이어(209)를 홈이 파진 롤러(211),(211),(211)에 감을때 한홈을 잘못 감을 경우)가 있다면, 그 부분만 수평방향으로 벗어나서 절단되게 한다.

여기서, 본 발명의 와이어 톱의 워크피스 위치결정장치는 상기와 같은 상태를 방지하기 위해절단전에 제어부(218)에 의해 아래와 같은 조작을 행한다.1

우선 제어부(218)는 구동모터(214)를 구동해서 워크피스 홀더(212)를 한쪽방향측으로 회전시킴과 동시에 펄스발생기(222)로부터 출력되는 펄스의 카운터를 개시한다.

워크피스 홀더(212)가 회전하면 어떤 회전각도로 한쪽의 접촉자(216)가 와이어 열(213)의 와이어(209)에 접촉한다(제10도 참조). 이때 검출회로(225)에 전류가 흐르고 전압센서(226)에 전압이 발생한다.

전압센서(226)는 이 전압을 감지하면 제어부(218)에 신호를 출력한다. 그리고 제어부(218)는 상기 신호를 받으면 구동모터(214)의 구동을 정지하게 함과 동시에 접촉자(216)가 와이어 열(213)의 와이어(209)에 접촉할 때까지의 구동모터(214)의 회전각도 α를 펄스발생기(222)로부터 출력된 총 펄스수로부터 산출해서 기억해 둔다.

다음으로, 제어부(218)는 구동모터(214)를 역회전으로 구동시켜서 워크피스 홀더(212)를 원위치로 되돌림과 동시에 워크피스 홀더(212)를 타측방향으로 회전시켜 같은 식의 조작을 하고 타측방향의 접촉자(216)가 와이어 열(213)의 와이어(209)에 접촉할때(제10도 참조)까지의 구동모터(214)의 회전각도 β를 산출해서 기억한다.

그리고, 제어부(218)는 한쪽 방향측의 회전각도 α와 다른 타방향측 회전각도 β로부터 워크피스(220)의 와이어 열(213)에 대한 수평방향의 기울기 θ를 산출한다. 그리고, 산출된 기울기 θ와 상기 소정의 기준각도의 수평성분을 비교해서 일치하면 절단을 개시한다. 그러나, 일치하지 않을 경우는 상기 소정의 기준각도의 수평방향성분과 어긋난 부분을 산출해서 그 어긋난 부분만 구동모터(214)를 구동해서 워크피스(220)가 소정의 기준각도로 되도록 수정해서 절단을 개시한다.

이와같이 종래는 잘못 걸어 설치한 와이어 열(213)에 대해서 기계기준으로 기준조합을 할때 워크피스(220)의 절단방향이 수평방향으로 어긋난 채 절단되어 버리지만, 본 실시예의 와이어 톱의 워크피스 위치결정장치에 의하면 상기 수평방향의 어긋남을 감지해서 수정한후 절단을 개시하기 때문에 와이어 열(213)을 걸어서 설치할때의 실수 또는 홈이 파진 롤러를 설치할 때 실수가 일어나더라도 절단된 워크피스(220)에 불량품을 낼 염려가 없다.

더우기, 제2실시예에서는 회전각도를 측정함에 있어서 접촉자(216)가 와이어 열(213)에 접촉하기까지의 회전각도를 측정하고 있지만 접촉자(216)가 와이어 열(213)으로부터 떨어져서 원위치로 돌아갈 때가지의 회전각도를 측정해도 좋으므로 측정정밀도의 향상이 예상되어진다.

또, 본 실시예에서는 와이어(209)에 전압을 인가하도록 하지만 접촉자(216),(216)에 전압을 인가해서 와이어(209)측을 접지해도 좋다.

또, 접촉자(216)가 와이어 열(213)에 접촉한 것을 감지하기 위해 검출회로(225)를 구성하지만, 접촉감지수단은 이것에 한정되어지는 것은 아니고, 예를들면, 제11도에 나타낸 리미트 스위치(232)를 이용해도 좋다. 즉, 접촉자(216)가 와이어 열(213)에 접촉하는 접점(232A)이 떨어지도록 해 두고, 이 정보를 제어부(218)에 출력하도록 해도 좋다. 또 이외의 접촉감지수단으로서, 레이저, 광전센서 및 포토마이크로그래프를 이용해도 좋다.

또, 구동모터(214)로 워크피스 홀더(212)를 요동시켜 접촉자(216,216)를 와이어(209)에 접촉시키지만, 접촉자(216,216) 각각에 이동기구를 갖추고, 접촉자(216),216)만이 이동해서 와이어(209)에 접촉하도록 해도 좋다.

이상 설명한 것과 같이 청구항 1의 설명에 의하면, 워크피스 접착블록, 접착지그, 설치지그와 같은 간단한 부재 및 지그를 이용해서, 단결정재료로 형성된 워크피스의 중심축을 절단평면으로 직교하도록 용이하고도 신속하게 설정하는 것이 가능하고, 미리 측정해 둔 상기 중심축을 기준으로 한 결정방위의 어긋난 양 정보에 근거해서 상기 중심축이 상기 절단평면에 대해서 소정의 기울기로 되도록 절단평면에 대해서 워크피스를 틸팅하는 것이 가능하기 때문에 종래의 방법에 비해 저렴한 장치가격으로 워크피스의 결정방위를 조합시켜 간단하고 신속하게 하는 것이 가능하므로 작업효율이 향상된다.

또, 청구항 7의 발명에 의하면 와이어 열을 걸어 설치하는데 실수가 있더라도 그것을 감지해서 소정의 기준각도로 절단되어지도록 워크피스의 위치를 바른위치로 자동적으로 위치결정하여 고치는 것이 가능하다. 결과적으로, 와이어를 걸어설치하는데 있어서 실수의 영향을 없애는 것이 가능하다. 그러나, 본 발명은 명세서에서 개시된 것에 의해 제한되지 않고 청구범위에 표현된 것으로서 본 발명의 정신과 범위내에서 대안적인 구성과 동등물인 모든 변형을 포함할 수 있다.

Claims

단결정재료로 형성된 봉상(棒狀)의 워크피스와 같은 워크피스를 절단장치에 의해 웨이퍼상으로 절단하여 그 절단면이 소정의 결정방위가 되도록 상기 워크피스의 위치를 결정하는 워크피스의 위치 결정방법에 있어서, 상기 절단장치 외부에 미리 측정된 상기 워크피스의 중심축에 의해 결정방위의 빗나간 양의 정보에 근거하여 상기 워크피스의 결정방위를 측정하는 단계; 상기 워크피스에 형성된 오리엔테이션 플랫과 같은 기준을 소정의 위치로 맞춘 상태에서 상기 워크피스의 중심축과 상기 워크피스 운송블록의 각 수직·수평기준면이 서로 평행가능하도록 상기 절단장치 외부의 워크피스 운송블록에 워크피스를 위치결정하고 접착하는 단계; 상기 워크피스 운송블록과 상기 설치지그의 각 가준면이 서로 맞도록하고, 상기 워크피스의 중심축을 절단평면에 대해 직교하도록하여 워크피스 운송블록을 절단평면에 대해서 직교하는 각각 수직·수평인 기준면을 갖는 상기 절단장치의 설치지그에 상기 워크피스와 함께 상기 워크피스 운송블록을 위치결정하고 설치하는 단계; 상기 결정방위의 빗나간 양의 정보에 근거하여 상기 절단평면에 따라 소정의 각도로 상기 중심축이 기울어져서 상기 설치지그가 틸팅됨에 의해 상기 워크피스를 조정하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 워크피스의 위치결정방법.
단결정재료로 형성된 봉상의 워크피스를 와이어 톱으로 웨이퍼상으로 절단했을때 그 절단면이 소정의 결정방위가 되도록 상기 워크피스의 위치를 결정하는 워크피스의 위치결정장치에 있어서, 상기 와이어 톱의 와이어열 상측으로 설치된 절단이송테이블의 하측에서 슬라이드부재에 지지되는 설치지그와 워크피스에 접하는 슬라이드 베이스 사이에 위치하며 수평·수직인 각 기준면을 갖는 워크피스 접착블록과; 상기 와이어 톱과는 별도로 설치되고 상기 워크피스를 측면으로 수평하게 위치결정하여 재치하는 받침대를 형성하고, 상기 받침대의 상방으로 설치되어 수평·수직인 각 기준면을 갖으면서 동시에 상기 각 기준면에 상기 워크피스 접착블록의 수평·수직인 각 기준면을 맞추어 위치결정하여 지지하는 지지부재를 형성하며, 상기 지지부재를 상하로 이동하는 상하이동기구를 형성하여 상기 워크피스를 상기 워크피스 접착블록에 상기 워크피스에 형성된 오리엔테이션 플랫등의 기준을 소정위치로 맞춘 상태에서 워크피스의 중심축과 상기 워크피스 접착블록의 수평·수직인 각 기준면이 평행이 되도록 위치결정하여 접착하는 접착지그와; 상기 와이어 톱의 절단이송테이블에 설치되고 상기 절단평면에 대해서 직교하는 수평·수직인 각 기준면을 갖는 설치지그 본체와 상기 설치지그 본체내에 장착된 상기 워크피스 접착블록의 수직기준면에 접하게 하여 위치결정하여 플램프하는 제1클램프수단을 형성하고, 상기 워크피스 접착블록의 수평기준면을 상기 설치지그 본체의 수평기준면에 부딪치게 위치결정하여 클램프하는 제2클램프수단을 형성하여 상기 절단이송테이블의 절단이송방향과 상기 와이어 열의 주행방향으로 형성되는 절단평면에 대해서 직교하는 수평·수직인 각 기준면을 가지고 상기 기준면에 상기 워크피스 접촉블록의 기준면을 맞추어 상기 워크피스 접촉블록을 위치결정하여 장착함으로써 상기 워크피스의 중심축을 상기 절단평면에 대해서 직교시키는 설치지그와; 와이어톱의 절단이송테이블 하측으로 반구상 접동면을 갖는 틸팅베이스에 슬라이드 자재하게 지지된 틸팅컬럼을 형성하고, 상기 틸팅컬럼내에 내장된 틸팅장치에 의해 상기 와이어 톱 외부에 미리 측정해 둔 상기 워크피스의 중심축을 기준으로 한 결정방위의 어긋난 양의 정보에 근거하여 상기 중심축이 상기 절단평면에 대해 절단된 단결정재료의 절단면이 소정의 결정방위로 되는 기울기가 되도록 워크피스를 틸팅하는 틸팅(tilting)기구로 이루어지는 것을 특징으로 하는 워크피스의 위치결정장치.
제2항에 있어서, 상기 설치지그의 각 기준면에는 상기 워크피스 접착블록의 각 기준면이 상기 설치지그의 각 기준면에 착석된 것을 확인하는 착석확인센서가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 워크피스 위치결정장치.
제2항에 있어서, 상기 설치지그는 상기 절단이송테이블에 틸팅자재로 설치되어 있으며 동시에 상기 설치지그를 틸팅하기 위한 틸팅기구를 내장하고 있는것을 특징으로 하는 워크피스 위치결정장치.
워크피스 유지부재에 유지된 워크피스를 주행하도록 복수의 홈이 파진 롤에 순차적으로 감겨있는 워크피스 열에 대하여 절단을 위한 기준각도로 세트한 상태에서 압압하여 상기 워크피스를 다수의 박판상의 웨이퍼로 절단하는 와이어 톱에 있어서, 상기 워크피스 유지부재를 상기 와이어 열 면과 평행하게 요동시키는 수평면방향의 틸팅기구와; 상기 워크피스 유지부재에 부착되고 상기 수평면 방향의 틸팅기구에 의하여 상기 워크피스 유지부재의 한쪽방향측 및 타방향측의 요동시에 상기 와이어 열의 와이어에 접촉하는 접촉자와; 상기 접촉자가 상기 와이어 열의 와이어에 접촉된 한쪽방향측의 회전각도와 상기 접촉자를 역방향으로 요동시킨 타 방향측의 회전각도에 의해 산출한 회전각도로 상기 워크피스유지부재를 상기 절단을 위한 기준각도로 위치시키도록 상기 수평면 방향의 틸팅기구를 제어하는 제어부와 펄스발생기 및 검출회로의 콘트롤부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 와이어 톱의 워크피스 위치결정장치.
제5항에 있어서, 상기 회전각도의 측정은 상기 접촉자가 와이어 열에 접촉된 상태로부터 상기 접촉자의 원위치로 돌아오기가지의 회전각도를 측정하는 것을 특징으로 하는 와이어 톱의 워크피스 위치결정장치.
제5항에 있어서, 상기 와이어 또는 접촉자에 전압을 인가하여 와이어와 접촉자와의 접촉 또는 분리를 전기적으로 감지하는 것을 특징으로 하는 와이어 톱의 워크피스 위치결정장치.
제5항에 있어서, 상기 와이어와 상기 접촉자와의 접촉 또는 분리를 광학적으로 감지하는 것을 특징으로 하는 와이어 톱의 워크피스 위치결정장치.