DE19517107C2 - Verfahren zum Positionieren eines Werkstücks, wie eines stabförmigen Einkristallmaterials und Vorrichtung hierfür - Google Patents
Verfahren zum Positionieren eines Werkstücks, wie eines stabförmigen Einkristallmaterials und Vorrichtung hierfürInfo
- Publication number
- DE19517107C2 DE19517107C2 DE1995117107 DE19517107A DE19517107C2 DE 19517107 C2 DE19517107 C2 DE 19517107C2 DE 1995117107 DE1995117107 DE 1995117107 DE 19517107 A DE19517107 A DE 19517107A DE 19517107 C2 DE19517107 C2 DE 19517107C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- workpiece
- cutting
- holding
- positioning
- horizontal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q16/00—Equipment for precise positioning of tool or work into particular locations not otherwise provided for
- B23Q16/001—Stops, cams, or holders therefor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
- B28D5/0082—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for supporting, holding, feeding, conveying or discharging work
- B28D5/0088—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for supporting, holding, feeding, conveying or discharging work the supporting or holding device being angularly adjustable
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/04—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools
- B28D5/045—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools by cutting with wires or closed-loop blades
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T83/00—Cutting
- Y10T83/04—Processes
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T83/00—Cutting
- Y10T83/141—With means to monitor and control operation [e.g., self-regulating means]
- Y10T83/148—Including means to correct the sensed operation
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T83/00—Cutting
- Y10T83/647—With means to convey work relative to tool station
- Y10T83/6572—With additional mans to engage work and orient it relative to tool station
- Y10T83/6577—With means to adjust additional means
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T83/00—Cutting
- Y10T83/647—With means to convey work relative to tool station
- Y10T83/6584—Cut made parallel to direction of and during work movement
- Y10T83/6608—By rectilinearly moving work carriage
- Y10T83/6609—Angularly adjustable
- Y10T83/6612—Having position indicating means
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T83/00—Cutting
- Y10T83/929—Tool or tool with support
- Y10T83/9292—Wire tool
Description
Die Erfindung befaßt sich mit einem Verfahren zum Positionieren
eines Werkstücks, wie eines stabförmigen Einkristallmaterials, und einer Vorrichtung hierfür, und insbesondere
befaßt sich die Erfindung mit einem Verfahren zum Positionieren
eines Werkstücks, wenn ein säulenförmiges Werkstück, wie ein
Halbleiter-Rohblock, in eine Mehrzahl von dünnen, flächigen
Wafern (Halbleiterscheiben) mittels einer Laufdrahtsäge unter
teilt wird, sowie mit einer Vorrichtung hierfür.
Eine Einrichtung zum Zuschneiden eines Werkstücks, wie eines
säulenförmigen Halbleiter-Rohblocks, ist eine Drahtsäge. Bei
dieser Drahtsäge werden Drähte um eine Mehrzahl von mit Aus
nehmungen versehenen Walzen zur Bildung von Drahtgruppen geführt,
und die Enden auf einer Seite der Drähte sind auf eine Draht
haspel und die Ende der anderen Seite auf einer weiteren
Drahthaspel aufgespult. Wenn dann die Drähte zwischen den
Drahthaspeln mit einer hohen Geschwindigkeit eine hin- und
hergehende Bewegung ausführen, wird das Werkstück vertikal bewegt
und gegen die horizontale Drahtgruppe gedrückt, und eine
Behandlungslösung, welche Schleifkörner enthält, wird der
Drahtgruppe zugeführt, so daß das Werkstück in eine Mehrzahl von
dünnen, flächenförmigen Wafern mittels einer Läppwirkung der
Schleifkörner unterteilt wird.
Wenn dann der Halbleiter-Rohblock (nachstehend bezeichnet als
"Werkstück"), welcher aus einem Einkristallmaterial ausgebildet
ist, beispielsweise mit Hilfe der Drahtsäge zugeschnitten wird,
ist es erforderlich, das Werkstück zu schneiden, nachdem das
Werkstück derart positioniert ist, daß eine Schnittfläche des
Werkstücks einen vorbestimmten Winkel einnimmt, welcher bei
spielsweise von einer Kristallorientierung abhängig ist.
In der offengelegten japanischen Patentanmeldung No. 3-10760 ist
beispielsweise ein Verfahren zum Positionieren des Werkstücks zur
Ausrichtung bezüglich der Kristallorientierung angegeben. Nach
diesem Verfahren sind die einzelnen Drahtsägen jeweils mit einer
Goniowinkel-Meßeinrichtung (Goniometer) und einer Goniowinkel-
Einstelleinrichtung versehen, wodurch die Neigung einer Hoch
schiebebasis zur Abstützung des Werkstückes durch die Goniowin
kel-Einstelleinrichtung auf der Basis des Ergebnisses der
Kristallorientierung des Werkstücks eingestellt wird, welche
direkt in einem Zustand gemessen worden ist, in welchem die
Goniowinkel-Meßeinrichtung angebracht ist. Es gibt ein weiteres
Verfahren, bei dem eine Meßeinrichtung mit einer Goniowinkel-
Meßeinrichtung und einer Goniowinkel-Einstelleinrichtung
zusätzlich zu den Drahtsägen vorgesehen ist, welche jeweils mit
der Goniowinkel-Meßeinrichtung und der Goniowinkel-Einstell
einrichtung versehen sind, wobei die Goniowinkel-Einstell
einrichtung dieser Meßeinrichtung direkt mit den Goniowinkel-
Einstelleinrichtungen der Drahtsägen verbunden ist, wodurch die
Betriebsbedingungen der Goniowinkel-Einstelleinrichtung, welche
man mittels der Meßeinrichtung erhält, zu den Goniowinkel-
Einstelleinrichtungen der Drahtsägen ausgegeben werden.
Ferner gibt es ein weiteres Verfahren, bei dem die Bezugsgröße
des Werkstückes in Abstimmung mit der Bezugsgröße der Drahtsäge
und dergleichen mit Hilfe eines optischen Systems (Mikroskop)
gebracht wird, und daß dann anschließend das Werkstück um einen
vorbestimmten Winkel auf der Basis der Informationen über die
Kristallorientierung geneigt wird, welche zuvor gemessen worden
ist.
Bei dem in der offengelegten japanischen Patentanmeldung No.
3-10760 beschriebenen Verfahren ergibt sich jedoch ein Nachteil
dahingehend, daß die Kosten der Vorrichtung größer werden, da die
Goniowinkel-Meßeinrichtungen an den jeweiligen Drahtsägen
angebracht sind. Bei dem Verfahren, bei dem die Meßeinrichtung,
welche mit der Goniowinkel-Einstelleinrichtung versehen ist,
zusätzlich zu den Drahtsägen vorhanden ist, sollte die Meß
einrichtung mit der Goniowinkel-Einstelleinrichtung versehen
sein, so daß die Kosten für eine derartige Vorrichtung noch
größer werden. Bei dem Verfahren unter Nutzung des optischen
Systems wird für die Paßabstimmung von Bezugsgröße des Werkstücks
und Bezugsgröße der Drahtsäge und dergleichen viel Zeit benötigt,
worunter in nachteiliger Weise die Bearbeitungseffizienz leidet.
Aufgrund von diesen Schwierigkeiten besteht ein Bedarf nach einer
preisgünstigen Vorrichtung, welche ein leichtes und schnelles
Positionieren eines Werkstücks unter einem vorbestimmten
Bezugswinkel, beispielsweise einer Kristallorientierung des
Werkstücks, zum Zeitpunkt des Schneidvorganges an dem Werkstück,
gestattet.
Beim Schneiden des Werkstücks unter einem vorbestimmten Bezugs
winkel kann selbst dann eine Schwierigkeit auftreten, wenn das
Werkstück unter dem vorbestimmten Bezugswinkel positioniert ist,
und zwar dann, wenn eine Bedienungsperson in ungenauer Weise
einen Draht auf einer Walze um eine Ausnehmung anders gespannt
hat (ein Teilungsabstand beläuft sich auf etwa 0,5 mm), oder wenn
die Position einer Ausnehmung auf der Walze mit den Ausnehmungen
sich verlagert. Hierbei kann es vorkommen, daß das Werkstück
derart geschnitten wird, daß der Winkel des Werkstücks sich in
horizontaler Richtung um eine vorbestimmte Verschiebegröße
verändert.
Die Erfindung zielt darauf ab, die vorstehend genannten Schwie
rigkeiten zu überwinden, und sie hat sich zum Ziel gesetzt, ein
Verfahren zum Positionieren eines Werkstücks unter einem
vorbestimmten Bezugswinkel, beispielsweise einer Kristall
orientierung, sowie eine Vorrichtung hierfür bereitzustellen,
welche sich kostengünstig darstellen lassen.
Ferner zielt die Erfindung darauf ab, unter Überwindung der zuvor
geschilderten Schwierigkeiten eine Vorrichtung zum Positionieren
eines Werkstücks bereitzustellen, welche frei von nachteiligen
Einflüssen eines Fehlers beim Spannen der Drahtgruppen einer
Drahtsäge sein kann.
Nach der Erfindung zeichnet sich hierzu gemäß Patentanspruch 1
eine Vorrichtung zur Berücksichtigung der Kristallorientierung
zum Zeitpunkt des Schneidens eines Einkristallmaterials dadurch
aus, daß die Kristallorientierung des Einkristallmaterials derart
gewählt ist, daß eine Schneidfläche eine vorbestimmte Kristall
orientierung bildet, wenn das stabförmige Einkristallmaterial mit
Hilfe von Drahtgruppen einer Drahtsäge zu Wafern zugeschnitten
wird. Hierbei ist folgendes vorgesehen: Ein Werkstückkontaktier
block, welcher zugeordnete horizontale und vertikale Bezugs
flächen hat; eine Kontaktier-Spanneinrichtung, welche gesondert
von der Drahtsäge vorgesehen ist und zum Positionieren und
Kontaktieren des Einkristallmaterials an dem Werkstück-Kon
taktierblock in einer solchen Weise dient, daß die Mittelachse
des Einkristallmaterials parallel zu den zugeordneten horizonta
len und vertikalen Flächen des Werkstück-Kontaktierblocks in
einem Zustand ist, bei welchem Bezugsgrößen, wie eine Orientie
rungsabflachung und dergleichen, welche auf dem Einkristall
material vorgesehen sind, in einer vorbestimmten Position
angeordnet sind; eine Haltespanneinrichtung, welche auf einem
Schneidvorschubtisch der Drahtsäge vorgesehen ist und zugeordnete
horizontale und vertikale Bezugsflächen hat, welche die ebene
Schnittfläche senkrecht schneiden, welche in eine Schneidvor
schubrichtung des Schneidvorschubtisches und in einer Laufrich
tung der Drahtgruppen vorgesehen ist, um die Mittelachse des
Einkristallmaterials derart anzuordnen, daß sie senkrecht die
ebene Schnittfläche schneidet, indem der Werkstück-Kontaktier
block in einem Zustand positioniert und angebracht wird, in
welchem die Bezugsflächen des Werkstück-Kontaktierblocks auf die
Bezugsflächen abgestimmt sind; und eine Schwenkeinrichtung zum
Schwenken des Einkristallmaterials derart, daß die Mittelachse
zu der ebenen Schnittfläche unter einem vorbestimmten Winkel auf
der Basis der Verschiebewertdaten der Kristallorientierung
bezüglich der Mittelachse des Einkristallmaterials als eine
Bezugsgröße geneigt ist, welche zuvor außerhalb der Drahtsäge
gemessen worden ist.
Ferner zeichnet sich nach Anspruch 7 eine Vorrichtung dadurch
aus, daß eine Drahtsäge zum Zuschneiden des Werkstücks in eine
Mehrzahl von dünnen, flächenförmigen Wafern in einer solchen
Weise eingesetzt wird, daß das Werkstück, welches mittels eines
Werkstück-Halteteils gehalten ist, gegen die sich bewegenden
Drahtgruppen in einem Zustand unter Einstellung auf einen
vorbestimmten Bezugswinkel gedrückt wird, wobei die Vorrichtung
folgendes aufweist: Eine sich hin- und hergehend bewegende
Einrichtung zum Hin- und Herbewegen des Werkstück-Halteteils
bezüglich der Laufrichtung der Flächen der Drahtgruppen; eine
Kontaktiereinrichtung, welche an dem Werkstück-Halteteil
angebracht ist, und die die Drähte der Drahtgruppen kontaktiert,
wenn das Werkstück-Halteteil mit Hilfe der Hin- und Herbewegungs
einrichtung hin- und hergehend bewegt wird; und eine Steuer
einrichtung zum Steuern der Hin- und Herbewegungseinrichtung
derart, daß ein Drehwinkel einerseits, den man durch Kontaktie
rung der Kontaktiereinrichtung mit dem Draht der Drahtgruppen
erhält, und ein Drehwinkel andererseits, welchen man durch die
hin- und hergehende Bewegung der Kontakteinrichtung in Gegen
richtung erhält, auf der Basis des vorbestimmten Bezugswinkels
ermittelbar sind, und daß das Werkstück-Halteteil unter dem
vorbestimmten Winkel auf der Basis der so ermittelten Drehge
schwindigkeit positioniert wird.
Bei der in Anspruch 1 angegebenen Lösung wird zuerst das
stabförmige Einkristallmaterial an dem Werkstück-Kontaktierblock
mit Hilfe der Kontaktier-Spanneinrichtung positioniert und
kontaktiert, welche gesondert von der Drahtsäge derart vorgesehen
ist, daß die Mittelachse des Einkristallmaterials parallel zu den
zugeordneten horizontalen und vertikalen Bezugsflächen des
Werkstück-Kontaktierblocks ist. Als nächstes wird der Werkstück-
Kontaktierblock positioniert und an der Haltespanneinrichtung
angebracht, welche jeweils horizontale und vertikale Bezugs
flächen hat, welche senkrecht die durch die Schneidvorschubrich
tung des Schneidvorschubtisches und der Laufrichtung der
Drahtgruppen gebildete Schneidfläche schneiden. Durch diese
Auslegung der Anordnung schneidet die Mittelachse des Ein
kristallmaterials automatisch die ebene Schneidfläche senkrecht.
Anschließend wird das Einkristallmaterial mit Hilfe der Schwenk
einrichtung derart verschwenkt, daß die Mittelachse unter einem
vorbestimmten Winkel zur ebenen Schneidfläche auf der Basis der
Verschiebewertinformation der Kristallorientierung bezüglich der
Mittelachse des Einkristallmaterials als eine Bezugsgröße geneigt
ist, welche zuvor außerhalb der Drahtsäge gemessen worden ist.
Somit werden einfache Teile und einfache Spanneinrichtungen, wie
der Werkstück-Kontaktblock, die Kontaktspanneinrichtung und die
Haltespanneinrichtung genutzt, um die Mittelachse des Ein
kristallmaterials gegenüber der ebenen Schneidfläche unter einem
vorbestimmten Winkel (in diesem Fall senkrecht schneidend)
einzustellen, und dann wird das Einkristallmaterial derart
verschwenkt, daß die Mittelachse unter einem vorbestimmten Winkel
gegenüber der ebenen Schneidfläche (eine Neigung, unter der die
Schneidfläche des Einkristallmaterials, welches abgeschnitten
worden ist, unter der Kristallorientierung ausgerichtet ist) auf
der Basis der Verschiebewertinformation der Kristallorientierung
bezüglich der Mittelachse unter Berücksichtigung einer Bezugs
größe geneigt ist, welche zuvor gemessen worden ist.
Bei dem im Anspruch 7 wiedergegebenen Lösungsgedanken wird
ermittelt, ob das mittels des Werkstück-Halteteils gehaltene
Werkstück auf einen genauen vorbestimmten Bezugswinkel bezüglich
den Drahtgruppen eingestellt ist oder nicht. Wenn das Werkstück
nicht korrekt ausgerichtet bzw. eingestellt ist (beispielsweise
dann, wenn beim Spannen der Drahtgruppe eine Abweichung von einer
Ausnehmung unterlaufen ist, wird das Werkstück um diesen Wert
ausgehend von dem korrekten vorbestimmten Winkel verschoben), so
erfolgt eine Verschiebung zur Korrektur automatisch. Die
Steuereinrichtung treibt zuerst die Hin- und Herbewegungsein
richtung an, um das Werkstück-Halteteil zu einer Seite zu
bewegen. Die Kontakteinrichtung, welche fest mit dem Werkstück-
Halteteil verbunden ist, wird in Kontakt mit dem Draht der
Drahtgruppen gebracht, und wenn die Kontakteinrichtung in Kontakt
mit dem Draht der Drahtgruppen kommt, wird die hin- und hergehen
de Bewegung der Hin- und Herbewegungseinrichtung angehalten,
wodurch ein Drehwinkel, unter dem die Kontakteinrichtung in
Kontakt mit dem Draht der Drahtgruppen kommt, ermittelt und
gespeichert wird.
Anschließend treibt die Steuereinrichtung die Hin- und Herbewe
gungseinrichtung an, um das Werkstück-Halteteil in die Ausgangs
position zurückzuführen, und die Kontakteinrichtung wird zur
anderen Seite hin bewegt, um einen ähnlichen Vorgang auszuführen.
Dann bestimmt die Steuereinrichtung, ob das Werkstück auf den
vorbestimmten Bezugswinkel gegenüber der Drahtgruppe eingestellt
ist oder nicht, oder eine Einstellung auf der Basis der Drehwin
kel zu der einen Seite oder der anderen Seite hin vorgenommen
worden ist, was man aufgrund des vorstehenden Ablaufs erhält.
Wenn in diesem Fall das Werkstück nicht auf den vorbestimmten
Bezugswinkel gegenüber den Drahtgruppen eingestellt ist, wird das
Werkstück-Halteteil durch die Hin- und Herbewegungseinrichtung
hin- und hergehend bewegt, um das Werkstück unter dem vorbestimm
ten Bezugswinkel genau anzuordnen.
Weiterbildungen der Erfindung ergeben
sich aus der nachstehenden Beschreibung von bevorzugten Aus
führungsformen unter Bezugnahme auf die beigefügte Zeichnung, in
welcher gleiche oder ähnliche Teile mit denselben Bezugszeichen
versehen sind. Darin zeigen
Fig. 1 eine Ansicht zur Verdeutlichung einer ersten bevorzug
ten Ausführungsform einer Vorrichtung zum Positionie
ren des Werkstücks gemäß der Erfindung, sowie eine
perspektivische Ansicht, bei der die Haltespannein
richtung nach der Erfindung in dem Schneid-Vorschub
tisch der Drahtsäge angeordnet ist,
Fig. 2 eine Teilschnittansicht zur Verdeutlichung der Kon
taktier-Spanneinrichtung bei der ersten bevorzugten
Auslegungsform der Vorrichtung zum Positionieren des
Werkstücks nach der Erfindung und zur Verdeutlichung
der innenliegenden Teile hiervon,
Fig. 3 eine Vorderansicht der Kontaktier-Spanneinrichtung,
Fig. 4(A) eine Orientierungsabflachung, welche auf dem Halblei
ter-Rohblock ausgebildet ist, und Fig. 4(B) eine
perspektivische Ansicht zur Verdeutlichung einer
Kerbe, welche auf dem Halbleiter-Rohblock ausgebildet
ist,
Fig. 5 eine perspektivische Ansicht zur Verdeutlichung des
Werkstück-Kontaktierblocks bei der ersten bevorzugten
Ausführungsform der Vorrichtung zum Positionieren des
Werkstücks nach der Erfindung,
Fig. 6 eine Seitenansicht zur Verdeutlichung eines Teilaus
schnitts der Haltespanneinrichtung bei der ersten
bevorzugten Ausführungsform der Vorrichtung zum
Positionieren des Werkstücks nach der Erfindung,
Fig. 7 eine Vorderansicht zur Verdeutlichung eines Teilaus
schnitts der Halte-Spanneinrichtung,
Fig. 8 eine perspektivische Ansicht zur Verdeutlichung einer
zweiten bevorzugten Ausführungsform einer Vorrichtung
zum Positionieren eines Werkstücks nach der Erfindung,
Fig. 9 ein Blockdiagramm zur Verdeutlichung der zweiten
bevorzugten Ausführungsform einer Vorrichtung zum
Positionieren eines Werkstücks nach der Erfindung,
Fig. 10 eine vergrößerte Ansicht der wesentlichen Teile zur
Verdeutlichung der zweiten bevorzugten Ausführungsform
der Vorrichtung zum Positionieren eines Werkstücks
nach der Erfindung und
Fig. 11 eine Seitenansicht zur Verdeutlichung einer Ausfüh
rungsvariante der zweiten bevorzugten Ausführungsform
der Vorrichtung zum Positionieren eines Werkstücks
nach der Erfindung und zur Verdeutlichung eines
Beispiels, bei dem ein Grenzschalter als eine Kon
taktsensoreinrichtung eingesetzt wird.
Nachstehend erfolgt eine detaillierte Beschreibung von bevorzug
ten Ausführungsformen eines Verfahrens zum Positionieren eines
Werkstücks und einer Vorrichtung hierfür, welche nach der
Erfindung ausgelegt sind, und zwar unter Bezugnahme auf die
beigefügte Zeichnung.
Die Fig. 1 bis 7 zeigen Ansichten zur Verdeutlichung einer
ersten bevorzugten Ausführungsform nach der Erfindung. Wenn bei
der ersten bevorzugten Ausführungsform nach der Erfindung ein
säulenförmiges Werkstück, welches beispielsweise von einem
Einkristallmaterial, wie einem Halbleiter-Rohblock, gebildet
wird, welcher nachstehend als ein "Werkstück" bezeichnet wird,
zu Waferteilen zuzuschneiden ist, wird das Werkstück unter einem
vorbestimmten Bezugswinkel, beispielsweise einer Kristall
orientierung, positioniert. Fig. 1 ist eine perspektivische
Ansicht zur Verdeutlichung einer Drahtsäge 10, auf welche ein
Verfahren zur Positionierung eines Werkstücks nach der Erfindung
zur Anwendung kommt. Ferner ist dort eine Halte-Spanneinrichtung
12 nach der Erfindung gezeigt, welche in einem Schneidvor
schubtisch 22 angeordnet ist. Die Fig. 2 und 3 zeigen jeweils
eine Seitenansicht und eine Draufsicht einer Kontaktier-Spann
einrichtung 14 nach der Erfindung. Die Fig. 6 und 7 sind eine
Seitenansicht und eine Vorderansicht einer Halte-Spanneinrichtung
12 nach der Erfindung.
Eine Schneideinrichtung in der Drahtsäge 10 wird vor der
Erläuterung der Kontaktier-Spanneinrichtung 14 und der Halte-
Spanneinrichtung 12 beschrieben. Wie in Fig. 1 gezeigt ist, wird
ein Draht 16, welcher von einer Spule bzw. einer Haspel abläuft,
welche nicht gezeigt ist, sukzessiv um eine Mehrzahl von mit
Ausnehmungen versehenen Walzen 18, 18 ... geführt, um eine
Drahtgruppe 20 zu bilden, und der Draht 16 ist dann auf einer
weiteren Haspel bzw. einer weiteren Spule aufgewickelt, welche
ebenfalls nicht gezeigt ist. Der Schneidvorschubtisch 22 ist
ferner oberhalb der Drahtgruppe 20 vorgesehen, und ein Gleitstück
24 des Schneidvorschubtisches 22 ist gleitbeweglich mit Hilfe
eines Paars von parallelen Führungsschienen 28 und 28 gelagert,
welche vertikal mit einer Mehrzahl von linearen Lagern 26, 26,
... versehen sind. Ferner ist ein Mutternteil 30, welches an dem
Gleitstück 24 festgelegt ist, in Eingriff mit einer Verstell
spindel 30, welche entlang den Führungsschienen 28 vorgesehen
ist, und die Verstellspindel 32 wird mit Hilfe eines Motors 34
drehangetrieben, welcher in Grunddrehrichtung und in Gegen
drehrichtung drehangetrieben werden kann. Wenn somit die
Verstellspindel 32 mit Hilfe des Motors 34 verdreht wird, wird
der Schneidvorschubtisch 22 in vertikaler Richtung bewegt
(Richtung Z-Z in der Zeichnung).
Ferner ist die Haltespanneinrichtung 12 an dem Boden des
Gleitstücks 24 abgestützt, und die Haltespanneinrichtung 12 weist
ein Verschwenkeinrichtungsteil zum Verschwenken der Haltespann
einrichtung 12 und ein Spanneinrichtungsteil zum Positionieren
und zum Halten eines Werkstück-Kontaktierblocks 42 auf, mit
welchem ein Werkstück 38, bei dem es sich um ein zuzuschneidendes
Werkstück handelt, über eine Scheibenschneidbasis 40 in Kontakt
tritt. Ferner ist der vorstehend genannte Verschwenkeinrichtungs
teil derart ausgelegt, daß eine Schwenksäule 36, welche gleitbe
weglich mit Hilfe einer halbkugelförmigen Gleitfläche 39 einer
Schwenkbasis 37 gelagert ist, in horizontaler Richtung eine hin-
und hergehende Bewegung (in Richtung A-A in der Zeichnung) und
in vertikaler Richtung (in Richtung B-B in der Zeichnung) mit
Hilfe einer Schwenkeinrichtung ausführt, welche in der Schwenk
säule 36 untergebracht ist.
Wenn das Werkstück 38 mit Hilfe der Drahtsäge 10 einer Schneid
bearbeitung unterzogen wird, wird der Schneidvorschubtisch 22 in
eine Schneidvorschubrichtung (in Richtung der Drahtgruppen Z-
Z in der Zeichnung) bewegt, das Werkstück 38 wird gegen die
Drahtgruppe 20 gedrückt, welche sich mit einer hohen Geschwindig
keit in eine Laufrichtung des Drahts 16 (in Richtung X-X in der
Zeichnung) bewegt, und eine Bearbeitungslösung wird der Draht
gruppe 20 zugeführt. Mit einer solchen Anordnung wird das
Werkstück 38 in eine Mehrzahl von dünnen, scheibenförmigen und
flächenförmigen Wafern mittels einer Läppwirkung durch die
Bearbeitungslösung unterteilt, welche der Drahtgruppe 20
zugeführt wird.
Anschließend wird die Kontaktier-Spanneinrichtung 14, welche
gesondert von der Drahtsäge 10 vorgesehen ist, und welche nach
der Erfindung ausgelegt ist, näher unter Bezugnahme auf die
Fig. 2 und 3 erläutert. Eine Orientierungsabflachung 38A oder
eine Kerbe 38B ist auf dem Werkstück 38 in Längsrichtung
desselben derart ausgebildet, daß eine Orientierungsrichtung
erkannt werden kann, wenn die Wafer erstellt werden sollen (siehe
Fig. 4).
Wie in den Fig. 2 und 3 gezeigt ist, ist ein V-förmiger Block
48 (wiegenförmiges Teil), auf welchem eine V-förmige Ausnehmung
46 in Längsrichtung ausgebildet ist, fest auf einer Basis 44
vorgesehen. Ein Block 50 für eine Orientierungsabflachung ist
ferner auf dem Bodenteil der Ausnehmung 46 des V-förmigen Blocks
48 in Horizontalrichtung entlang der Ausnehmung 46 vorgesehen.
Ferner sind Durchgangsöffnungen an den gegenüberliegenden
Endseiten in Längsrichtung des Blocks 50 für die Orientierungs
abflachung und Stifte 52 für die Kerben vorgesehen, welche
jeweils ein spitz zulaufendes, vorderes Ende haben, und die
beweglich die Durchgangsöffnungen durchsetzen. Ferner sind die
Basisenden der Stifte 52 für die Kerben mit Hilfe einer Fixierba
sis 54 gelagert, und eine Mehrzahl von Druckfedern 56, 56, ...,
ist zwischen der Fixierbasis 54 und der Basis 44 vorgesehen. Wenn
bei dieser Anordnung die vorderen Endabschnitt der Stifte 52 für
die Kerben gedrückt werden, wobei die vorderen Enden der Stifte
52 für die Kerben von dem Block 50 für die Orientierungsabfla
chung vorstehen, werden diese in den Durchgangsöffnungen
aufgenommen. Bei einem Werkstück 38, an welchem die Orientie
rungsabflachung 38A ausgebildet ist, wird die Orientierungs
abflachung 38A mit Hilfe des Blocks 50 für die Orientierungs
abflachung positioniert. Bei einem Werkstück 38, an welchem die
Einkerbung 38B ausgebildet ist, ragen die vorderen Enden der
Stifte 52 für die Kerben in die Kerben 38A, um die Kerbe 38A zu
positionieren.
Ferner ist ein vertikaler Träger 58 fest auf der Basis 44
vorgesehen, und es ist ein Paar von parallelen Führungsschienen
60 und 60 vertikal auf dem Träger 58 vorgesehen. Ferner ist ein
Tragteil 64 gleitbeweglich auf den Führungsschienen 60 mit Hilfe
einer Mehrzahl von linearen Lagern 62, 62, ..., gelagert, und
eine Verstellspindel 68, deren obere und untere Enden mit Hilfe
von Lagern 58A und 58B gelagert sind, die an dem Träger 58
vorgesehen sind, ist in Eingriff mit einem Mutternteil 66,
welches an dem Tragteil 64 festgelegt ist. Ferner ist ein
Griffteil 70 auf der Oberseite der Verstellspindel 68 vorgesehen.
Wenn bei dieser Auslegung das Griffteil 70 verdreht wird, wird
das Tragteil 64 in vertikaler Richtung entlang den Führungs
schienen 60 bewegt.
Ferner umfaßt ein Hauptkörper des Tragteils 64 eine obere Platte
64A, eine rückseitige Platte 64B und gegenüberliegende Seiten
platten 64C und 64C, und dieser ist in Form eines hohlen,
viereckigen Körpers ausgebildet, welcher eine offene Vorderseite
(eine mit einer Pfeilmarkierung 72 in Fig. 2 gezeigte Fläche)
und eine offene Bodenfläche (siehe Fig. 3) hat. Die gegenüber
liegenden Seitenplatten 64C und 64C sind ferner in einem solchen
Zustand angeordnet, daß die L-förmigen Teile einander zugewandt
sind, und horizontale Bezugsflächen 74 sind an horizontalen
Teilen 64D der L-förmigen Teile ausgebildet. Ferner sind an
gegenüberliegenden Enden der rückseitigen Platte 64B in dem
Tragteil 64 Anlageblöcke 78 und 78 vorgesehen, um hierdurch
vertikale Bezugsgrößen zu bilden. Ferner sind Durchgangsöffnungen
an den gegenüberliegenden Enden der oberen Platte 64A ausgebil
det, und diese Durchgangsöffnungen sind im Inneren in Eingriff
mit einer Innengewindeschraube, wobei Bolzen 76 und 76 in
Eingriff mit den Durchgangsöffnungen sind. Wenn bei dieser
Auslegung der Bolzen 76 verdreht wird, ändert sich eine Vor
standsgröße des vorderen Endes des Bolzens 76, welches in das
Tragteil 64 ragt.
Nachstehend erfolgt eine Beschreibung eines Verfahrens zur
Anwendung der Kontaktier-Spanneinrichtung 14. Das Werkstück 38
wird in Querrichtung entlang der Ausnehmung 46 der V-förmigen
Ausnehmung 48 gelegt, und die Kerben 38B des Werkstücks 38 werden
mit Hilfe der Stifte 52 für die Kerben (in diesem Fall handelt
es sich um ein Werkstück, an welchem die Kerbe ausgebildet ist)
positioniert. Zu diesem Zeitpunkt ist das Tragteil 64 nach oben
derart positioniert, daß es bereit ist, auf dem V-förmigen Block
48 aufzuliegen. Andererseits umfaßt der Werkstück-Kontaktierblock
42 (siehe Fig. 5) folgendes: Einen rechteckförmigen, par
allelepipedförmig ausgebildeten, oberen Block 42A, der horizonta
le und vertikale Bezugsflächen 41 und 43 hat; und einen recht
eckförmigen, parallepipedförmig ausgebildeten, unteren Block 42B,
welcher kleinere Abmessungen als der obere Block 42A hat; dieser
ist in das Tragteil 64 ausgehend von der vorderen Position
eingeführt und erstreckt sich über die horizontalen Abschnitte
64D der gegenüberliegenden Seitenplatten 64C und 64C. In einem
Zustand, bei dem die vertikale Bezugsfläche 43 des Werkstück-
Kontaktierblocks 42 zur Anlage gegen die Anlageblöcke 78 kommt,
wird der Werkstück-Kontaktierblock 42 nach unten durch die Bolzen
76 gedrückt, und der Werkstück-Kontaktierblock 42 ist in einem
Zustand fixiert, in welchem die horizontale Bezugsfläche 41 des
Werkstück-Kontaktierblocks 42 zur Anlage gegen die horizontalen
Bezugsflächen 74 der gegenüberliegenden Seitenplatten 64C und 64C
kommt. Durch diese Auslegung wird die Mittelachse 38A des
Werkstücks 38 parallel zu den zugeordneten Bezugsflächen 41 und
43 des Werkstück-Kontaktierblocks 42 angeordnet. Anschließend
wird das Tragteil 64 derart angeordnet, daß es sich dem Werkstück
38 nähert, und der Werkstück-Kontaktierblock 42 wird in Kontakt
mit dem Werkstück 28 mit Hilfe eines Klebstoffs 80 über die
Scheibenschneidbasis 40 gebracht, das heißt der Werkstück-
Kontaktierblock 42 wird haftend mit dem Werkstück 38 verbunden.
Zu diesem Zeitpunkt kann der Werkstück-Kontaktierblock 42
zusätzlich als Scheibenschneidbasis 40 genutzt werden, und der
Einsatz einer gesonderten Scheibenschneidbasis 40 kann entfallen.
Wenn bei diesem Kontaktiervorgang bzw. Verbindungsvorgang ein
Raum zwischen dem Werkstück-Kontaktierblock 42 und der Scheiben
schneidbasis 40 gebildet wird, wird der Zwischenraum mit dem
Klebstoff 80 ausgefüllt. Durch diese Auslegung kann eine haftende
Verbindung über die Scheibenschneidbasis 40 in dem Zustand
hergestellt werden, in welchem die Mittelachse 38A des Werkstücks
38 parallel zu den zugeordneten Bezugsflächen 41 und 43 des
Werkstück-Kontaktierblocks 42 angeordnet ist.
Nachstehend erfolgt eine Beschreibung der Halte-Spanneinrichtung
12, welche auf dem Schneidvorschubtisch 42 der Drahtsäge 10
vorgesehen ist, wobei auf die Fig. 6 und 7 Bezug genommen
wird.
Wie in den Fig. 6 und 7 gezeigt ist, umfaßt die Halte-
Spanneinrichtung 12 ein Klemmeinrichtungsteil 82 und ein
Schwenkeinrichtungsteil, welches nicht gezeigt ist. Ähnlich wie
das Tragteil 64 der Kontaktier-Spanneinrichtung 14 umfaßt der
Klemmeinrichtungsteil 82 eine obere Platte 82A, eine rückwärtige
Platte 82B und gegenüberliegende Seitenplatten 82C und 82C,
wodurch ein hohler, viereckförmiger Körper gebildet wird, welcher
eine offene vordere Seite (eine mit einer Pfeilmarkierung 83 in
Fig. 6 gezeigte Seite) und eine offene Bodenfläche (siehe Fig.
7) hat. Ferner sind die gegenüberliegenden Seitenplatten 82C und
82C in einem solchen Zustand angeordnet, daß die L-förmigen Teile
einander zugewandt sind, und horizontale Bezugsflächen 84 sind
auf horizontalen Teilen 82D der L-förmigen Teile ausgebildet.
Ferner ist eine vertikale Bezugsfläche 86 auf der Oberfläche der
rückwärtigen Platte 82B in dem Klemmeinrichtungsteil 82 ausgebil
det. Im Mittelteil der oberen Platte 82A ist ein erster Spann
zylinder 104 zur Positionierung und Einspannung der vertikalen
Bezugsfläche 43 des Werkstück-Kontaktierblocks 42 vorgesehen, in
dem dieser zur Anlage gegen eine vertikale Bezugsfläche 86 des
Klemmeinrichtungsteils 82 kommt, und an gegenüberliegenden Enden
der oberen Platte 82A sind zweite Spannzylinder 106 und 106 zur
Positionierung und Einspannung der horizontalen Bezugsfläche 41
des Werkstück-Kontaktierblocks 42 vorgesehen, in dem dieser zur
Anlage gegen die horizontale Bezugsfläche 84 des Klemmeinrich
tungsteils 82 kommt. Ferner gehen Zylinderstangen 104A und 106A
der zugeordneten Spannzylinder 104 und 106 durch Durchgangsöff
nungen, welche in der oberen Platte 82A ausgebildet sind, und sie
sind dort in dem Klemmeinrichtungsteil 82 eingespannt oder
eingeschrumpft. Ferner sind obere Enden 81 und 85 von Luft
strömungswegen 87 und 88 in der horizontalen Bezugsfläche 84 und
der vertikalen Bezugsfläche 86 ausgebildet, welche in dem
Klemmeinrichtungsteil 82 vorgesehen sind. Dann wird der erste
Luftströmungsweg 78, welcher mit dem offenen Ende 81 der
horizontalen Bezugsfläche 84 verbunden ist, in kommunizierende
Verbindung mit einem ersten Verbindungsteil 90 gebracht, welches
in den gegenüberliegenden Seitenplatten 82C, 82C und in der
oberen Platte 82A ausgebildet ist und es wird auf der Außenseite
einer der Seitenplatten 82C festgelegt. Eine erste Luftleitung
92, welche mit dem ersten Verbindungsteil 90 verbunden ist, ist
mit einer ersten Druckmeßeinrichtung 94 verbunden. Eine erste
Luftschlauchleitung 96, welche von dem Mittelteil der ersten
Luftleitung 92 abzweigt, ist mit einem nicht gezeigten Kompressor
verbunden. Andererseits ist der zweite Luftströmungsweg 88,
welcher mit dem offenen Ende 85 der vertikalen Bezugsfläche 86
verbunden ist, in kommunizierender Verbindung mit einem zweiten
Verbindungsteil 98, welches an der rückwärtigen Platte 82B
ausgebildet ist und das an der Außenseite der oberen Platte 82A
festgelegt ist. Eine zweite Luftleitung 100, welche mit dem
zweiten Verbindungsteil 98 verbunden ist, ist mit einer zweiten
Druckmeßeinrichtung 102 verbunden. Ferner ist eine zweite
Luftschlauchleitung 105, welche von dem Mittelteil der zweiten
Luftleitung 98 abzweigt, mit dem vorstehend genannten Kompressor
verbunden. Die Luft von dem Kompressor wird dann derart einge
stellt, daß sie konstant von den beiden offenen Enden 81 und 85
abgeblasen wird. Wenn bei dieser Auslegung die offenen Enden 81
und 85 abgesperrt werden, steigt der Druck in den Luftströmungs
wegen 87 und 88 an, und dieser Druckanstieg wird mit Hilfe von
den Druckmeßeinrichtungen 94 und 102 gemessen, so daß auf diese
Weise ein Sitzbestätigungssensor gebildet werden kann, welcher
bestätigt, daß die zugeordneten Bezugsflächen 41 und 43 des
Werkstück-Kontaktierblocks bzw. des Werkstück-Verbindungsblocks
42 korrekt auf den zugeordneten Bezugsflächen 84 und 86 des
Spanneinrichtungsteils 82 sitzen.
Nachstehend erfolgt die Beschreibung eines Verfahrens für den
Einsatz der Halte-Spanneinrichtung 12. Der Werkstück-Kontaktier
block 42, welcher mit der Scheibenschneidbasis 40 positioniert
und haftend mit dem Werkstück 38 verbunden ist, wird in den
Spanneinrichtungsteil 82 von der vorderen Position her einge
führt, und er erstreckt sich über die horizontalen Teile 82D der
gegenüberliegenden Seiten 82C. Anschließend wird der erste
Spannzylinder 104 betätigt, um die Zylinderstange 104A auszufah
ren, wodurch eine geneigte Fläche eines Anlageteils 42C, welches
auf der oberen Seite des Mittelteils des Werkstück-Kontaktier
blocks 42 fest vorgesehen ist, mit einer Druckkraft beaufschlagt
wird. Hierdurch wird der Werkstück-Kontaktierblock 42 in Richtung
auf die rückwärtige Platte 82B des Spanneinrichtungsteils 82
bewegt, wodurch die vertikale Bezugsfläche 43 des Werkstück-
Kontaktierblocks 42 zur Anlage gegen die vertikale Bezugsfläche
86 des Spanneinrichtungsteils 82 gebracht wird. Anschließend wird
der zweite Spannzylinder 106 betätigt, um die Zylinderstange 106A
auszufahren, wodurch die horizontale Bezugsfläche 41 des
Werkstück-Kontaktierblocks 42 in Anlage gegen die horizontale
Bezugsfläche 84 des Spanneinrichtungsteils 82 gebracht wird. In
diesem Zustand werden die ersten und zweiten Spannzylinder 104
und 106 blockiert, wodurch der Werkstück-Kontaktierblock so
eingespannt ist, daß er sich nicht bewegt. In diesem Fall sind
Sitzbestätigungssensoren an der horizontalen Bezugsfläche 84 und
der vertikalen Bezugsfläche 86 des Spanneinrichtungsteils 82
vorgesehen, so daß man eine zuverlässige Bestätigung dahingehend
hat, daß die zugeordneten Bezugsflächen des Werkstück-Kontaktier
blocks 42 und des Spanneinrichtungsteils 82 in genauer Weise
gegeneinander in Anlage gebracht sind.
Nachstehend erfolgt eine Beschreibung eines Verfahrens zum
Positionieren des Werkstücks zum Positionieren des Werkstücks in
einer solchen Weise, daß die Schnittfläche des Werkstücks auf
eine vorbestimmte Kristallorientierung gemäß dem erfindungs
gemäßen Verfahren eingestellt werden kann.
Zuerst wird mit Hilfe der Kontaktier-Spanneinrichtung bzw. der
Verbindungs-Spanneinrichtung 14, welche gesondert von der
Drahtsäge 10 vorgesehen ist, das Werkstück 38 an dem Werkstück-
Kontaktierblock 42 mit der Scheibenschneidbasis 40 derart
positioniert und dort haftend angebunden, daß die Mittelachse 38A
des Werkstücks 38 in paralleler Ausrichtung zu den zugeordneten
horizontalen und vertikalen Bezugsflächen 41 und 43 des Werk
stück-Kontaktierblocks 42 in einem Zustand gebracht wird, in
welchem als Bezugsgröße die Orientierungsabflachung oder die
Einkerbung, welche auf dem Werkstück 38 ausgebildet ist, an einer
vorbestimmten Position durch den Block 50 für die Ausrichtungs
abflachung oder die Stifte 52 für die Kerben gebracht wird.
Folglich ist der Werkstück-Kontaktierblock 42 an dem Spann
einrichtungsteil 82 der Haltespanneinrichtung 12 positioniert und
angebracht, welche auf dem Schneidvorschubtisch 22 vorgesehen
ist, und die die zugeordneten horizontalen und vertikalen
Bezugsflächen 84 und 86 hat, welche senkrecht die ebene Schneid
fläche (ebene Fläche Z-X in Fig. 1) schneiden. Bei dieser
Anordnung schneidet die Mittelachse 38A des Werkstücks 38
automatisch die ebene Schneidfläche in einer senkrechten
Richtung. Anschließend wird die Halte-Spanneinrichtung 12 derart
geneigt, daß die Mittelachse 38A des Werkstücks 38 gegenüber der
ebenen Schnittfläche unter einem vorbestimmten Winkel geneigt
ist, und zwar auf der Basis der Verschiebewertinformation der
Kristallorientierung bezüglich der Mittelachse 38A des Werkstücks
38 als eine Bezugsgröße, welche zuvor außerhalb der Drahtsäge
gemessen worden ist (siehe beispielsweise Messung mit einer
Goniowinkel-Meßeinrichtung). Bei dieser Anordnung ist das
Werkstück 38 gegenüber der ebenen Schneidfläche unter einem
vorbestimmten Winkel geneigt, so daß das Werkstück 38 derart
positioniert werden kann, daß die Schneidfläche des Werkstücks
38, welche zugeschnitten worden ist, unter einer vorbestimmten
Kristallorientierung ausgerichtet ist.
Wie sich aus der voranstehenden Beschreibung ergibt, kann bei dem
Verfahren zum Positionieren des Werkstücks und der Vorrichtung
hierfür, welche nach der Erfindung ausgelegt sind, unter Einsatz
von einfachen Teilen und Spanneinrichtungen, wie dem Werkstück-
Kontaktierblock 42, der Kontaktier-Spanneinrichtung 14 und der
Halte-Spanneinrichtung 12, die Mittelachse 38A des Werkstücks 38
einfach und schnell unter dem vorbestimmten Winkel (in diesem
Falle senkrecht schneidend) gegenüber der ebenen Schnittfläche
eingestellt werden, und das Werkstück 38 kann zu der ebenen
Schnittfläche derart geneigt werden, daß die Mittelachse 38A
unter dem vorbestimmten Winkel gegenüber der ebenen Schnittfläche
(hierbei handelt es sich um eine Neigung, gemäß welcher die
Schnittfläche des Werkstücks 38, welches zugeschnitten worden
ist, unter einer vorbestimmten Kristallorientierung ausgerichtet
wird) auf der Basis der Verschiebewertinformation der Kristall
orientierung mit der Mittelachse 38A als eine Bezugsgröße geneigt
ist, welche zuvor gemessen worden ist, wobei diese Positionierung
einfach und schnell mit vergleichsweise geringen Kosten für die
Vorrichtung gegenüber üblichen Verfahrensweisen verwirklicht
werden kann. Auf diese Weise läßt sich die Arbeitseffizienz zum
Positionieren des Werkstücks 38 verbessern.
Ferner ist das Klemmeinrichtungsteil 28, welches in der Halte
spanneinrichtung 12 vorgesehen ist, derart ausgelegt, daß der
Werkstück-Kontaktierblock 52 automatisch durch die ersten und
zweiten Spannzylinder 104 und 106 eingespannt werden kann,
wodurch sich die Arbeiten in einer verschmutzten Kammer so weit
wie möglich reduzieren lassen. Hierdurch wird eine Arbeits
erleichterung erzielt. Obgleich eine nähere Beschreibung
weggelassen ist, ist der Verschwenkeinrichtungsteil numerisch
gesteuert, so daß keine Unterschiede hinsichtlich der Steuer
genauigkeit unter den Bearbeitungsgängen vorhanden ist, um eine
genaue und stabile Steuerung zu verwirklichen. Ferner kann die
Abstimmung der Kristallorientierung innerhalb einer kurzen
Zeitperiode im Vergleich zu dem üblichen Verfahren vorgenommen
werden, bei welchem ein optisches System zum Einsatz kommt, so
daß sich die Arbeitszeiten verkürzen lassen.
Bei der ersten bevorzugten Ausführungsform wurde das Verfahren
zum Positionieren des Werkstücks nach der Erfindung beispielhaft
im Zusammenhang mit dem Verfahren erläutert, welches auf eine
Scheibenschneidmaschine des Drahtsägetyps angewandt ist. Das
Verfahren läßt sich jedoch auch bei einer Scheibenschneidmaschine
des Innenumfangsschneidblattyps oder des Außenumfangsschneid
blattyps einsetzen. Ferner wurde das Werkstück als Beispiel an
einem Halbleiter-Rohblock erläutert. Die Erfindung kann jedoch
auch bei jenen Werkstücken eingesetzt werden, bei denen eine
Positionierung in der Kristallorientierung erforderlich ist, oder
eine Positionierung unter einem vorbestimmten Bezugswinkel
erforderlich ist. Wie ferner in Fig. 1 gezeigt ist, ist die
Schneidvorschubrichtung Z-Z und die Laufrichtung der Draht
gruppen X-X, jedoch kann die Vorrichtung auch so ausgelegt
werden, daß die Schneidvorschubrichtung X-X und die Laufrich
tung der Drahtgruppen Z-Z ist, das heißt, daß das Werkstück in
Querrichtung bezüglich den vertikalen Drahtgruppen beschnitten
wird. Wenn ferner der Werkstück-Kontaktierblock an der Halte-
Spanneinrichtung angebracht ist, schneidet die Mittelachse des
Werkstücks die ebene Schnittfläche senkrecht. Hierbei handelt es
sich um das günstigste Ausführungsbeispiel. Gegebenenfalls kann
die Mittelachse des Werkstücks unter einem vorbestimmten
Bezugswinkel gegenüber der ebenen Schnittfläche angeordnet
werden. Ferner ist die Schwenkeinrichtung in der Halte-Spann
einrichtung untergebracht. Jedoch kann die Halte-Spanneinrichtung
auch von der Außenseite her verschwenkt werden.
Nachstehend erfolgt die Beschreibung einer zweiten bevorzugten
Ausführungsform der Vorrichtung zum Positionieren des Werkstücks
bei einer Drahtsäge nach der Erfindung.
Die Fig. 8 bis 11 sind Ansichten zur Verdeutlichung der
Vorrichtung zum Positionieren gemäß der zweiten bevorzugten
Ausführungsform. Bei der Vorrichtung zum Positionieren gemäß der
zweiten bevorzugten Ausführungsform erfolgt eine Überprüfung, ob
das Werkstück, welches mittels des Werkstück-Halteteils gehalten
ist, gegenüber den Drahtgruppen unter einem genauen, vorbestimm
ten Bezugswinkel positioniert ist oder nicht, und wenn die genaue
Positionierung nicht erfolgt ist (beispielsweise beim Spannen der
Drahtgruppen, da hierbei die Drahtgruppen in fehlerhafter Weise
gespannt sind, so daß eine Verschiebung gegenüber dem genauen
vorbestimmten Winkel um einen entsprechenden Wert vorhanden ist),
wird die Verschiebung automatisch zur genauen Positionierung
korrigiert.
Fig. 8 ist eine perspektivische Ansicht zur Verdeutlichung der
Vorrichtung zum Positionieren des Werkstücks in der Drahtsäge
nach der Erfindung, und Fig. 9 ist ein Blockdiagramm zur
Verdeutlichung der Auslegung der Vorrichtung bzw. des Systems.
Wie in den Fig. 8 und 9 gezeigt ist, sind die Drahtgruppen 213
derart ausgelegt, daß die Drähte 209 um mit Ausnehmungen
versehene Walzen 211, 211, ..., geführt und gespannt sind, und
die Anordnung umfaßt ein System 200 zum Positionieren des
Werkstücks, welche im wesentlichen einen Werkstück-Halter 212,
einen Antriebsmotor 214, stabförmige Kontaktschuhe 216 und 216
und einen Stabteil 218 (siehe Fig. 9) umfaßt.
Der Antriebsmotor 214 ist derart ausgelegt, daß eine Drehwelle
215 desselben fest mit dem Mittelteil des Werkstück-Halters 212
verbunden ist, und der Werkstück-Halter 212 führt in horizontaler
Richtung bezüglich der Drahtgruppen 213 eine hin- und hergehende
Bewegung aus, wodurch man eine hin- und hergehende Antriebs
bewegung der Schwenkeinrichtung in horizontaler Richtung erhält.
Eine hin- und hergehende Antriebsbewegung für die hin- und
hergehende Bewegung des Werkstück-Halters 212 in vertikaler
Richtung ist bei dem Werkstück-Halter 212 ebenfalls vorgesehen,
wobei jedoch eine nähere Beschreibung desselben entfallen kann.
Ferner ist ein Impulsgenerator 222 fest mit dem Antriebsmotor 214
verbunden, und dieser Impulsgenerator 222 gibt eine Anzahl von
Impulsen entsprechend einem Drehwinkel des Antriebsmotors 214
(beispielsweise einen Impuls pro Umdrehung) an das Steuerteil 218
ab.
Wenn als stabförmige Kontaktschuhe 216 und 216 solche eingesetzt
werden, die elektrisch leitend sind, sind die Kontaktschuhe 216
und 216 an beiden Ecken eines Endes des Werkstück-Halters 212 mit
Isolatoren 224 und 224 versehen.
Das Steuerteil 218 steuert den Antriebsmotor 214 und ermittelt
einen Drehwinkel des Antriebsmotors 214 auf der Basis der
Informationen, die von dem Impulsgenerator 222 ausgegeben werden.
Dann wird eine Neigung in horizontaler Richtung bezüglich der
Drahtgruppen 213 des Werkstück-Halters 212 auf dem Drehwinkel des
Antriebsmotors 214 ermittelt, und es wird bestimmt, ob der
Werkstück-Halter 212 unter einem genauen horizontalen Bezugs
winkel bezüglich der Drahtgruppen 213 angeordnet ist oder nicht,
und wenn eine Verschiebung auftritt, wird der Antriebsmotor 214
um einen Wert angetrieben, welcher der Verschiebung entspricht,
um hierdurch eine Korrektur vorzunehmen.
Als eine Einrichtung zum Erfassen des Kontakts der Kontaktschuhe
216 und 216 mit den Drähten 209 der Drahtgruppen 213 ist eine
Detektierschaltung 225 vorgesehen, welche in Fig. 9 gezeigt ist.
Diese Detektierschaltung 225 umfaßt die Drahtgruppen 213, die
Kontaktschuhe 216 und 216, Spannungssensoren 226 und 226, ein
Kabel 221 und eine Energiequelle 230. Eine Spannung wird an die
Drähte 209 der Drahtgruppen 213 durch die Energiequelle 230
angelegt, und wenn die Kontaktschuhe 216 die Drahtgruppen 213
kontaktieren, tritt eine Spannung im Spannungssensor 226 auf.
Wenn dann der Spannungssensor 216 die Spannung feststellt, wird
ein Signal an das Steuerteil 218 abgegeben, wodurch der Kontakt
der Kontaktschuhe 216 mit den Drähten 209 der Drahtgruppen 213
zu dem Steuerteil 218 übertragen wird.
Nachstehend erfolgt eine Beschreibung der Wirkungsweise dieses
Systems zum Positionieren des Werkstücks der Drahtsäge, welches
den vorstehend genannten Aufbau hat.
Zuerst wird das Werkstück 220 auf dem Werkstück-Halter 212
festgelegt, um die horizontalen und vertikalen Bezugsgrößen
aufeinander abzustimmen, und der Werkstück-Halter 212 wird dann
so eingestellt, daß er um einen vorbestimmten Bezugswinkel
bezüglich der Vertikalrichtung mit Hilfe der Verschwenkeinrich
tung verschwenkt wird, so daß das Werkstück 220 in der gewünsch
ten Schnittrichtung geschnitten werden kann. In diesem Zustand
sind die horizontalen und vertikalen Bezugsgrößen des Werkstücks
220 miteinander mit Hilfe der Kontaktier-Spanneinrichtung 14 und
der Halte-Spanneinrichtung 12 abgestimmt, welche im Zusammenhang
mit der ersten bevorzugten Ausführungsform erläutert worden sind.
Wenn in diesem Fall die Drahtgruppen 213 in genauer und korrekter
Weise gespannt sind, sind die horizontalen und vertikalen
Bezugsgrößen des Werkstücks 220 mit den horizontalen und
vertikalen Bezugsgrößen der Drahtgruppen 213 abgestimmt. Wenn
jedoch beim Spannen der Drahtgruppen 213 eine fehlerhafte
Einstellung erfolgt ist (beispielsweise wenn die Drähte 209 um
die mit Ausnehmungen versehenen Walzen 211, 211, ..., geführt
werden, und eine Verschiebung der Führung um eine Ausnehmung
erfolgt ist) wird das Werkstück 220 um einen Wert verschoben, um
diese ungenaue Führung auszugleichen und zu korrigieren in
horizontaler Richtung, und dann erfolgt der Schnittvorgang.
Das System zum Positionieren des Werkstücks der Drahtsäge nach
der Erfindung führt die nachstehenden Arbeitsgänge aus, um diese
vorstehend beschriebenen Schwierigkeiten zu vermeiden.
Zuerst treibt das Steuerteil 218 den Antriebsmotor 214 an, um den
Werkstückhalter 212 zu einer Seite zu drehen, und es wird mit der
Zählung der Impulse begonnen, die von dem Impulsgenerator 222
ausgegeben werden. Wenn der Werkstückhalter 212 eine Drehbewegung
ausführt, kommt einer der Kontaktschuhe 216 in Kontakt mit dem
Draht 209 der Drahtgruppen 218 unter einem vorbestimmten
Drehwinkel (siehe Fig. 10). Zu diesem Zeitpunkt geht ein
elektrischer Strom durch die Detektierschaltung 225, wodurch an
dem Spannungsensor 216 eine Spannung festgestellt wird. Beim
Erfassen dieser Spannung gibt der Spannungssensor 226 ein Signal
an das Steuerteil 218 ab. Beim Erhalt dieses Signals stoppt das
Steuerteil 218 die Antriebsbewegung des Antriebsmotors 214 und
ermittelt einen Drehwinkel α des Antriebsmotors 21, bis der
Kontaktschuh 216 in Kontakt mit dem Draht 209 der Drahtgruppen
213 kommt, wobei dieser Winkel α aus der gesamten Anzahl von
Impulsen ermittelt wird, die von dem Impulsgenerator 222
ausgegeben werden, und welche gespeichert werden.
Anschließend treibt das Steuerteil 218 den Antriebsmotor in
Gegenrichtung an, um den Werkstück-Halter 212 in die Ausgangs
position zurückzuführen. Hierbei wird der Werkstück-Halter 212
zu der anderen Seite gedreht, um einen ähnlichen Vorgang
auszuführen. Es wird ein Drehwinkel β des Motors 214 ermittelt,
bis der Kontaktschuh 216 an der anderen Seite in Kontakt mit dem
Draht 209 der Drahtgruppe 213 (siehe Fig. 10) kommt, und diese
Größe wird in einem Speicher gespeichert.
Dann ermittelt das Steuerteil 218 eine Neigung θ in horizontaler
Richtung des Werkstücks 220 bezüglich der Drahtgruppen 213 aus
dem Drehwinkel α einerseits und dem Drehwinkel β andererseits.
Die so ermittelte Neigung θ wird mit einer horizontalen Kom
ponente des vorstehend genannten, vorbestimmten Bezugswinkels
verglichen, und wenn diese übereinstimmen, wird mit dem Schneid
vorgang begonnen. Wenn diese jedoch nicht miteinander überein
stimmen, wird ein Verschiebewert von der horizontalen Komponente
des vorstehend angegebenen, vorbestimmten Bezugswinkels er
mittelt, der Antriebsmotor 214 wird um den Verschiebewert
angetrieben und der Schneidvorgang wird begonnen, nachdem die
Korrektur erfolgt ist, so daß das Werkstück 220 auf einen
vorbestimmten Bezugswinkel eingestellt werden kann.
Wenn wie zuvor beschrieben auf übliche Weise die Bezugsabstimmung
für die Drahtgruppen 213 erfolgt, welche in ungenauer Weise
gespannt sind, und zwar unter Verwendung der Bezugsgröße der
Maschine, wird das Werkstück 220 in eine Schneidrichtung ge
schnitten, welche in horizontaler Richtung verschoben ist. Bei
dem System zum Positionieren des Werkstücks der Drahtsäge nach
der bevorzugten Ausführungsform nach der Erfindung wird mit dem
Schneidvorgang begonnen, nachdem die vorstehend genannte
Verschiebung in horizontaler Richtung erfaßt und ausgeglichen
bzw. korrigiert worden ist, so daß selbst dann, wenn ein Fehler
beim Spannen oder beim Einbau der mit Ausnehmungen versehenen
Walzen unterlaufen ist, keinerlei Gefahr besteht, daß defekte
Werkstücke 220 erzeugt werden.
Bei der zweiten bevorzugten Ausführungsform werden die Drehwinkel
gemessen, bis die Kontaktschuhe 216 in Kontakt mit den Draht
gruppen 213 kommen. Die Drehwinkel können jedoch auch gemessen
werden, wenn die Kontaktschuhe 216 in die Ausgangspositionen
zurückkehren, nachdem sie die Drahtgruppen 213 verlassen haben.
Bei einer solchen Auslegung kann man erwarten, daß die Meßgenau
igkeit verbessert wird.
Ferner wird bei dieser bevorzugten Ausführungsform eine Spannung
an die Drähte 209 angelegt. Jedoch kann eine Spannung an die
Kontaktschuhe 216 und 216 angelegt werden und die Drähte 209
können geerdet werden.
Um ferner zu ermitteln, daß der Kontaktschuh 216 in Kontakt mit
den Drahtgruppen 213 gebracht ist, ist die Detektierschaltung 225
vorgesehen. Die Kontakterfassungseinrichtung ist jedoch hierauf
nicht beschränkt, sondern beispielsweise kann ein Trennschalter
232 als Ersatz hierfür genommen werden, welcher beispielsweise
in Fig. 11 gezeigt ist. Somit ist ein Kontaktpunkt 232A derart
beschaffen und ausgelegt, daß er außer Wirkung kommt, wenn der
Kontaktschuh 216 in Kontakt mit den Drahtgruppen 213 kommt, und
diese Information kann zu dem Steuerteil 218 abgegeben werden.
Ferner können als weitere Kontaktsensoreinrichtungen ein Laser,
ein photoelektrischer Sensor, eine Schriftbilderfassungsein
richtung eingesetzt werden.
Der Werkstück-Halter 212 wird ferner mit Hilfe des Antriebsmotors
214 hin- und hergehend bewegt, um die Kontaktschuhe 216 und 216
in Kontakt mit den Drähten 209 zu bringen. Jedoch können die
Kontaktschuhe 216 und 216 auch jeweils mit Bewegungseinrichtungen
versehen sein, und es brauchen auch nur die Kontaktschuhe 216 und
216 bewegt zu werden, um in Kontakt mit den Drähten 209 zu
kommen.
Wie vorstehend beschrieben worden ist, wird bei der Erfindung
gemäß dem Anspruch 1 mit Hilfe von einfache Teilen und Spann
einrichtungen, wie dem Werkstück-Kontaktierblock, der Kontaktier-
Spanneinrichtung und der Halte-Spanneinrichtung, erreicht, daß
die Mittelachse des Werkstücks, welches von einem Einkristall
material gebildet werden kann, leicht und schnell derart
eingestellt und ausgerichtet werden kann, daß sie die ebene
Schnittfläche senkrecht schneidet, und das Werkstück kann
gegenüber der ebenen Schnittfläche derart geneigt werden, daß die
Mittelachse unter einem vorbestimmten Winkel gegenüber der ebenen
Schnittfläche auf der Basis von Verschiebewertinformationen der
Kristallorientierung bezüglich der Mittelachse als eine Bezugs
größe geneigt ist, welche zuvor gemessen worden ist. Dieses
System und diese Vorrichtung ist kostengünstig, und die Kristall
orientierungsabstimmung des Werkstücks läßt sich auf einfache und
schnelle Weise im Vergleich zu den üblichen Verfahrensweisen
durchführen. Hierdurch läßt sich die Arbeitseffizienz steigern.
Wie ferner im Anspruch 7 angegeben ist, kann selbst dann, wenn
eine fehlerhafte Spannung und Verlegung der Drahtgruppen
vorgekommen ist, dieser Fehler erkannt werden, und das Werkstück
kann automatisch wieder in die korrekte Position derart ausge
richtet werden, daß es unter einem vorbestimmten Bezugswinkel
geschnitten werden kann. Als Folge hiervon lassen sich die
nachteiligen Auswirkungen eines Fehlers beim Spannen der Drähte
ausschalten.
Natürlich ist die Erfindung nicht auf die voranstehend be
schriebenen Einzelheiten der speziellen bevorzugten Ausführungs
form beschränkt, sondern es sind zahlreiche Abänderungen und
Modifikationen möglich, die der Fachmann im Bedarfsfall treffen
wird, ohne den Erfindungsgedanken zu verlassen.
Claims (10)
1. Verfahren zum Positionieren eines Werkstücks, wie eines
stabförmigen Einkristallmaterials, welches zu Halbleiter
scheiben mittels einer Schneideinrichtung zugeschnitten
werden soll, in einer solchen Weise, daß eine Schnittfläche
auf eine vorbestimmte Kristallorientierung abgestimmt ist,
gekennzeichnet durch folgende Schritte:
- a) vorherige und außerhalb der Schneideinrichtung vor genommene Ermittlung der Kristallorientierung des Werkstücks und von Verschiebewerten der Kristall orientierung bezüglich der Mittelachse des Werkstücks,
- b) Positionieren und haftendes Verbinden des Werkstücks mit einem Werkstück-Tragblock außerhalb der Schneid einrichtung in einer solchen Weise, daß die Mittel achse des Werkstücks und die zugeordneten horizontalen und vertikalen Bezugsflächen des Werkstück-Tragblocks parallel zueinander in einem Zustand sind, in welchem eine am Werkstück vorgesehene Bezugseinrichtung, wie eine Orientierungsabflachung und der gleichen, sich in einer vorbestimmten Position befindet;
- c) Positionieren und Anordnen des Werkstück-Tragblocks mit dem hiermit haftend verbundenen Werkstück an einer Halte-Spanneinrichtung der Schneideinrichtung, welche horizontale und vertikale Bezugsflächen hat, die senk recht die ebene Schnittfläche derart schneiden, daß der Werkstück-Tragblock und die zugeordneten Bezugs flächen der Halte-Spanneinrichtung aufeinander abge stimmt sind, und die Mittelachse des Werkstücks senkrecht die ebene Schnittfläche schneidend ausge richtet ist; und
- d) Einstellung der Schnittflächen durch Verschwenken des Werkstücks mittels der Halte-Spanneinrichtung derart, daß die Mittelachse gegenüber der ebenen Schnittfläche unter einem vorbestimmten Winkel unter Berücksichti gung der nach a) ermittelten Verschiebewerte geneigt ist.
2. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch
1, gekennzeichnet durch
eine Kontaktier-Spanneinrichtung (14), welche gesondert von der Schneideinrichtung (10) zur Positionierung und haftenden Verbindung des Werkstücks mit einem Werkstück- Tragblock (42) vorgesehen ist, wobei die Positionierung an dem Werkstück-Tragblock (42) derart erfolgt, daß die Mittelachse des Werkstücks (38) und zugeordnete horizontale und vertikale Bezugsflächen des Werkstück-Tragblocks (42) in einem Zustand parallel sind, bei dem die an dem Werkstück (38) vorgesehene Bezugseinrichtung, wie eine Orientierungs abflachung (38A, 38B) und dergleichen, in einer vorbestimm ten Position liegt;
eine Halte-Spanneinrichtung (12) an einem Schneid- Vorschubtisch (22) der Schneideinrichtung (10), welche senkrecht eine ebene Schnittfläche schneidend horizontale und vertikale Bezugsflächen hat, wobei die Schnittfläche von einer der Schneidvorschubrichtung des Schneid-Vorschubtischs (22) und der Laufrichtung der in Gruppen angeordneten Schneiddrähte (209) bestimmt wird, und wobei der Werkstück- Tragblock (42) in der Halte-Spanneinrichtung (12) derart positioniert und angeordnet ist, daß die Bezugsflächen (41, 43) des Werkstück-Tragblocks (42) auf die Bezugsflächen der Halte-Spanneinrichtung (12) abgestimmt sind, so daß die Mittelachse des Werkstücks (38) senkrecht die ebene Schnitt fläche schneidend ausgerichtet ist; und
eine schwenkbare Einstelleinrichtung (36, 37), welche die Mittelachse des Werkstücks (38) gegenüber der ebenen Schnittfläche unter einem vorbestimmten Winkel unter Berücksichtigung des Verschiebewerts geneigt anordnet.
eine Kontaktier-Spanneinrichtung (14), welche gesondert von der Schneideinrichtung (10) zur Positionierung und haftenden Verbindung des Werkstücks mit einem Werkstück- Tragblock (42) vorgesehen ist, wobei die Positionierung an dem Werkstück-Tragblock (42) derart erfolgt, daß die Mittelachse des Werkstücks (38) und zugeordnete horizontale und vertikale Bezugsflächen des Werkstück-Tragblocks (42) in einem Zustand parallel sind, bei dem die an dem Werkstück (38) vorgesehene Bezugseinrichtung, wie eine Orientierungs abflachung (38A, 38B) und dergleichen, in einer vorbestimm ten Position liegt;
eine Halte-Spanneinrichtung (12) an einem Schneid- Vorschubtisch (22) der Schneideinrichtung (10), welche senkrecht eine ebene Schnittfläche schneidend horizontale und vertikale Bezugsflächen hat, wobei die Schnittfläche von einer der Schneidvorschubrichtung des Schneid-Vorschubtischs (22) und der Laufrichtung der in Gruppen angeordneten Schneiddrähte (209) bestimmt wird, und wobei der Werkstück- Tragblock (42) in der Halte-Spanneinrichtung (12) derart positioniert und angeordnet ist, daß die Bezugsflächen (41, 43) des Werkstück-Tragblocks (42) auf die Bezugsflächen der Halte-Spanneinrichtung (12) abgestimmt sind, so daß die Mittelachse des Werkstücks (38) senkrecht die ebene Schnitt fläche schneidend ausgerichtet ist; und
eine schwenkbare Einstelleinrichtung (36, 37), welche die Mittelachse des Werkstücks (38) gegenüber der ebenen Schnittfläche unter einem vorbestimmten Winkel unter Berücksichtigung des Verschiebewerts geneigt anordnet.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die
Kontaktier-Spanneinrichtung (14) folgendes umfaßt:
ein wiegenförmiges Teil (48) zum Positionieren und Anlegen des Werkstücks (38) in Querrichtung und in horizon taler Richtung;
ein Tragteil (64), welches oberhalb des wiegenförmigen Teils (48) vorgesehen ist und horizontale und vertikale Bezugsflächen zum Positionieren und Tragen des Werkstück- Tragblocks (42) hat, wobei die zugeordneten Bezugsflächen passend auf die entsprechenden horizontalen und vertikalen Flächen des Werkstück-Tragblocks (42) abgestimmt sind; und
eine vertikale Bewegungseinrichtung zum vertikalen Bewegen des Tragteils (64).
ein wiegenförmiges Teil (48) zum Positionieren und Anlegen des Werkstücks (38) in Querrichtung und in horizon taler Richtung;
ein Tragteil (64), welches oberhalb des wiegenförmigen Teils (48) vorgesehen ist und horizontale und vertikale Bezugsflächen zum Positionieren und Tragen des Werkstück- Tragblocks (42) hat, wobei die zugeordneten Bezugsflächen passend auf die entsprechenden horizontalen und vertikalen Flächen des Werkstück-Tragblocks (42) abgestimmt sind; und
eine vertikale Bewegungseinrichtung zum vertikalen Bewegen des Tragteils (64).
4. Vorrichtung nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet,
daß die Halte-Spanneinrichtung (12) folgendes umfaßt:
einen Hauptkörper, welcher horizontale und vertikale Bezugsflächen hat, welche senkrecht die ebene Schnittfläche schneiden;
eine erste Spanneinrichtung (104) zum Positionieren und Einspannen in einer solchen Weise, daß die vertikale Bezugsfläche des Werkstück-Tragblocks (42) in der Halte- Spanneinrichtung (12) zur Anlage gegen die vertikale Bezugsfläche des Hauptkörpers der Halte-Spanneinrichtung (12) kommt; und
eine zweite Spanneinrichtung (106) zum Positionieren und Einspannen in einer solchen Weise, daß die horizontale Bezugsfläche des Werkstück-Tragblocks (42) zur Anlage gegen die horizontale Bezugsfläche des Hauptkörpers der Halte- Spanneinrichtung (12) kommt.
einen Hauptkörper, welcher horizontale und vertikale Bezugsflächen hat, welche senkrecht die ebene Schnittfläche schneiden;
eine erste Spanneinrichtung (104) zum Positionieren und Einspannen in einer solchen Weise, daß die vertikale Bezugsfläche des Werkstück-Tragblocks (42) in der Halte- Spanneinrichtung (12) zur Anlage gegen die vertikale Bezugsfläche des Hauptkörpers der Halte-Spanneinrichtung (12) kommt; und
eine zweite Spanneinrichtung (106) zum Positionieren und Einspannen in einer solchen Weise, daß die horizontale Bezugsfläche des Werkstück-Tragblocks (42) zur Anlage gegen die horizontale Bezugsfläche des Hauptkörpers der Halte- Spanneinrichtung (12) kommt.
5. Vorrichtung nach Anspruch 2 oder 4, dadurch gekennzeichnet,
daß die zugeordneten Bezugsflächen der Halte-Spanneinrich
tung (12) mit Sitzbestätigungsensoren zur Bestätigung der
Sitzauflage der zugeordneten Bezugsflächen des Werkstücks
(38) auf den zugeordneten Bezugsflächen der Halte-Spann
einrichtung (12) versehen sind.
6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 5, dadurch
gekennzeichnet, daß die Halte-Spanneinrichtung (12) schwenk
beweglich an dem Schneid-Vorschubtisch (22) vorgesehen ist,
und eine Schwenkeinrichtung zum Verschwenken der Halte-
Spanneinrichtung (12) vorgesehen ist.
7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 6, bei der das
mittels des Werkstück-Halteteils gehaltene Werkstück gegen
eine sich bewegende Gruppe von Drähten in einem solchen
Zustand gedrückt wird, daß eine Einstellung auf einen
vorbestimmten Bezugswinkel erfolgt, gekennzeichnet durch
folgendes:
eine Hin- und Herbewegungseinrichtung, welche das Werkstück-Halteteil (212) parallel zu den Flächen der Gruppe von Drähten (213) hin- und hergehend bewegt;
eine Kontakteinrichtung (216), welche an dem Werkstück- Halteteil (212) angebracht ist und die Drähte (209) der Drahtgruppen (213) kontaktiert, wenn das Werkstück-Halteteil (212) zu einer Seite und zur anderen Seite hin mit Hilfe der Hin- und Herbewegungseinrichtung bewegt wird; und
eine Steuereinrichtung (218) zum Steuern der Hin- und Herbewegungseinrichtung derart, daß ein Drehwinkel an einer Seite, den man erhält, wenn die Kontakteinrichtung (216) den Draht (209) der Drahtgruppen (213) kontaktiert und einen Drehwinkel auf der anderen Seite, welchen man erhält, wenn die Kontakteinrichtung (216) in Gegenrichtung gedreht wird, auf der Basis des vorbestimmten Bezugswinkel ermittelt werden, und daß das Werkstück-Halteteil (212) unter einem vorbestimmten Bezugswinkel auf der Basis des so ermittelten Drehwinkels positionierbar ist.
eine Hin- und Herbewegungseinrichtung, welche das Werkstück-Halteteil (212) parallel zu den Flächen der Gruppe von Drähten (213) hin- und hergehend bewegt;
eine Kontakteinrichtung (216), welche an dem Werkstück- Halteteil (212) angebracht ist und die Drähte (209) der Drahtgruppen (213) kontaktiert, wenn das Werkstück-Halteteil (212) zu einer Seite und zur anderen Seite hin mit Hilfe der Hin- und Herbewegungseinrichtung bewegt wird; und
eine Steuereinrichtung (218) zum Steuern der Hin- und Herbewegungseinrichtung derart, daß ein Drehwinkel an einer Seite, den man erhält, wenn die Kontakteinrichtung (216) den Draht (209) der Drahtgruppen (213) kontaktiert und einen Drehwinkel auf der anderen Seite, welchen man erhält, wenn die Kontakteinrichtung (216) in Gegenrichtung gedreht wird, auf der Basis des vorbestimmten Bezugswinkel ermittelt werden, und daß das Werkstück-Halteteil (212) unter einem vorbestimmten Bezugswinkel auf der Basis des so ermittelten Drehwinkels positionierbar ist.
8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die
Drehwinkel dadurch ermittelbar sind, daß die Drehwinkel
gemessen werden, bis die Kontakteinrichtung (216) in die
Ausgangsposition ausgehend von dem Zustand zurückkehrt, in
welchem die Kontakteinrichtung (216) die Gruppe von Drähten
(213) kontaktiert.
9. Vorrichtung nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet,
daß eine Spannung an den Draht (209) oder die Kontakt
einrichtung (216) derart angelegt wird, daß der Kontakt oder
die Trennung vom Draht (209) und der Kontakteinrichtung
(216) elektrisch erfaßbar ist.
10. Vorrichtung nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet,
daß die Kontaktierung oder Trennung von Draht (209) und
Kontakteinrichtung (216) optisch erfaßbar ist.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10548694A JP2768398B2 (ja) | 1994-05-19 | 1994-05-19 | 単結晶材料切断時の結晶方位合わせ方法及びその装置 |
JP16534294A JP3070029B2 (ja) | 1994-07-18 | 1994-07-18 | ワイヤーソーのワーク位置決め装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19517107A1 DE19517107A1 (de) | 1995-11-23 |
DE19517107C2 true DE19517107C2 (de) | 1998-11-12 |
Family
ID=26445764
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE1995117107 Expired - Fee Related DE19517107C2 (de) | 1994-05-19 | 1995-05-10 | Verfahren zum Positionieren eines Werkstücks, wie eines stabförmigen Einkristallmaterials und Vorrichtung hierfür |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US5893308A (de) |
KR (1) | KR100269964B1 (de) |
CH (1) | CH690845A5 (de) |
DE (1) | DE19517107C2 (de) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19740529C2 (de) * | 1997-09-15 | 2001-02-22 | Forschungszentrum Juelich Gmbh | Probenhalterung für eine Schleifvorrichtung |
DE102012221904A1 (de) | 2012-11-29 | 2014-06-05 | Siltronic Ag | Verfahren zur Wiederaufnahme des Drahtsägeprozesses eines Werkstückes nach einer unplanmäßigen Unterbrechung |
DE102013200467A1 (de) | 2013-01-15 | 2014-07-17 | Siltronic Ag | Klemmbare Aufkittleiste für einen Drahtsägeprozess |
DE102013223344B3 (de) * | 2013-11-15 | 2015-05-07 | Siltronic Ag | Verfahren zum Zersägen eines temperierten Werkstückes mit einer Drahtsäge |
WO2018001793A1 (de) | 2016-06-30 | 2018-01-04 | Siltronic Ag | Verfahren und vorrichtung zur wiederaufnahme des drahtsägeprozesses eines werkstückes nach einer unplanmässigen unterbrechung |
DE102016222899A1 (de) | 2016-11-21 | 2018-05-24 | Siltronic Ag | Vorrichtung und Verfahren zum Zersägen eines Werkstückes mit einer Drahtsäge |
DE102016224640A1 (de) | 2016-12-09 | 2018-06-14 | Siltronic Ag | Verfahren zum Zersägen eines Werkstückes mit einer Drahtsäge |
Families Citing this family (55)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CH690845A5 (de) * | 1994-05-19 | 2001-02-15 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | Verfahren zum Positionieren eines Werkstücks und Vorrichtung hierfür. |
CH691045A5 (fr) * | 1996-04-16 | 2001-04-12 | Hct Shaping Systems Sa | Procédé pour l'orientation de plusieurs pièces cristallines posées côte à côte sur un support de découpage en vue d'une découpe simultanée dans une machine de découpage et dispositif pour la |
CH690907A5 (fr) * | 1996-05-23 | 2001-02-28 | Hct Shaping Systems Sa | Dispositif de sciage par fil |
EP0980303B1 (de) | 1997-05-07 | 2002-09-18 | HCT Shaping Systems SA | Drahtsäge zum schneiden von dünnen scheiben mittels wenigstens zwei einander schneidenden sägedrahtgeweben |
DE19739965A1 (de) * | 1997-09-11 | 1999-03-18 | Wacker Siltronic Halbleitermat | Sägeleiste zum Fixieren eines Kristalls und Verfahren zum Abtrennen von Scheiben |
JP3137600B2 (ja) * | 1997-09-12 | 2001-02-26 | 株式会社日平トヤマ | ワークの結晶方位調整方法 |
JPH11165250A (ja) * | 1997-12-08 | 1999-06-22 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ワイヤソー |
DE19825050C2 (de) * | 1998-06-04 | 2002-06-13 | Wacker Siltronic Halbleitermat | Verfahren zum Anordnen und Orientieren von Einkristallen zum Abtrennen von Scheiben auf einer ein Drahtgatter aufweisenden Drahtsäge |
CH697024A5 (fr) * | 2000-09-28 | 2008-03-31 | Hct Shaping Systems Sa | Dispositif de sciage par fil. |
DE10052154A1 (de) * | 2000-10-20 | 2002-05-08 | Freiberger Compound Mat Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Trennen von Einkristallen, Justiervorrichtung und Testverfahren zum Ermitteln einer Orientierung eines Einkristalls für ein derartiges Verfahren |
CH694182A5 (fr) * | 2000-11-20 | 2004-08-31 | Hct Shaping Systems Sa | Dispositif de sciage par fil. |
DE10128630A1 (de) * | 2001-06-13 | 2003-01-02 | Freiberger Compound Mat Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung der Orientierung einer kristallografischen Ebene relativ zu einer Kristalloberfläche sowie Vorrichtung und Verfahren zum Trennen eines Einkristalls in einer Trennmaschine |
US6649529B2 (en) * | 2001-08-15 | 2003-11-18 | Intel Corporation | Method of substrate processing and photoresist exposure |
CH696431A5 (fr) * | 2003-04-01 | 2007-06-15 | Hct Shaping Systems Sa | Procédé et dispositif de sciage par fil. |
EP1819473A1 (de) * | 2004-12-10 | 2007-08-22 | Freiberger Compound Materials GmbH | Werkst]ckhalterung und verfahren zum drahts[gen |
KR100768498B1 (ko) | 2005-12-15 | 2007-10-18 | 주식회사 실트론 | 잉곳 홀더 |
WO2009078485A1 (ja) * | 2007-12-19 | 2009-06-25 | Asahi Glass Company, Limited | エーテル組成物 |
JP5007706B2 (ja) * | 2008-06-30 | 2012-08-22 | 信越半導体株式会社 | ワークの切断方法 |
CN101733848B (zh) * | 2009-12-29 | 2012-01-18 | 西北工业大学 | 定向切割晶体任意晶面的简便方法 |
WO2011145390A1 (ja) * | 2010-05-18 | 2011-11-24 | 三菱電機株式会社 | 被加工物保持具、ワイヤ放電加工装置、薄板製造方法、および半導体ウエハ製造方法 |
US8259901B1 (en) | 2010-05-25 | 2012-09-04 | Rubicon Technology, Inc. | Intelligent machines and process for production of monocrystalline products with goniometer continual feedback |
CN103189157B (zh) * | 2010-10-29 | 2016-09-28 | 梅耶博格公司 | 一种用于夹持线锯切割机夹具工装的装置 |
KR101238844B1 (ko) | 2011-03-21 | 2013-03-04 | 주식회사 엘지실트론 | 잉곳용 지그 |
CN102189612A (zh) * | 2011-04-25 | 2011-09-21 | 唐山晶玉科技有限公司 | 一种蓝宝石专用多线切割机 |
JP2013008769A (ja) * | 2011-06-23 | 2013-01-10 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 炭化珪素基板の製造方法 |
US8960657B2 (en) * | 2011-10-05 | 2015-02-24 | Sunedison, Inc. | Systems and methods for connecting an ingot to a wire saw |
US20130144421A1 (en) * | 2011-12-01 | 2013-06-06 | Memc Electronic Materials, Spa | Systems For Controlling Temperature Of Bearings In A Wire Saw |
US9312066B2 (en) * | 2012-01-09 | 2016-04-12 | Apple Inc. | Magnetic shape optimization |
EP2633936A1 (de) | 2012-02-28 | 2013-09-04 | Meyer Burger AG | Haltevorrichtung |
EP2633937A1 (de) | 2012-02-28 | 2013-09-04 | Meyer Burger AG | Haltevorrichtung |
EP2664402A1 (de) | 2012-05-18 | 2013-11-20 | Meyer Burger AG | Drahtsäge und Verfahren zum Schneiden von Werkstücken, insbesondere von Werkstücken aus hartem und sprödem Material |
CN102765144B (zh) * | 2012-08-02 | 2014-09-24 | 衡水英利新能源有限公司 | 一种硅块粘接工装 |
CN102990792B (zh) * | 2012-11-28 | 2015-11-04 | 天津市环欧半导体材料技术有限公司 | 一种八英寸硅单晶硅片切割方法 |
CN103171059B (zh) * | 2013-03-07 | 2015-02-25 | 贵阳嘉瑜光电科技咨询中心 | 一种用于蓝宝石加工晶向实时测量的夹具及其测量方法 |
KR101449572B1 (ko) * | 2013-03-25 | 2014-10-13 | 한국생산기술연구원 | 리프트-업 스윙을 구현하는 와이어 쏘 |
JP6132621B2 (ja) * | 2013-03-29 | 2017-05-24 | Sumco Techxiv株式会社 | 半導体単結晶インゴットのスライス方法 |
DE102013219468B4 (de) * | 2013-09-26 | 2015-04-23 | Siltronic Ag | Verfahren zum gleichzeitigen Trennen einer Vielzahl von Scheiben von einem Werkstück |
CN104162855A (zh) * | 2014-07-23 | 2014-11-26 | 安徽卓金标准件有限公司 | 一种可切换定位基准 |
JP6272801B2 (ja) * | 2015-07-27 | 2018-01-31 | 信越半導体株式会社 | ワークホルダー及びワークの切断方法 |
CN106142371A (zh) * | 2016-08-31 | 2016-11-23 | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 | 一种多线切割设备排线自适应装置 |
KR101841551B1 (ko) * | 2016-11-23 | 2018-03-23 | 에스케이실트론 주식회사 | 잉곳 가압 장치 및 이를 포함하는 잉곳 절단 장치 |
CN106827274A (zh) * | 2017-04-01 | 2017-06-13 | 上海日进机床有限公司 | 硅棒截断设备及硅棒截断方法 |
CN106965338A (zh) * | 2017-04-07 | 2017-07-21 | 苏州赫瑞特电子专用设备科技有限公司 | 一种多线切割机的工作台机构 |
US11097441B2 (en) * | 2017-06-22 | 2021-08-24 | Delstar Technologies, Inc. | Slitting devices and methods of use |
CN107650281B (zh) * | 2017-10-12 | 2019-07-19 | 烟台力凯智能科技有限公司 | 一种可实现摇摆切割的多线切割机 |
KR102037745B1 (ko) * | 2017-12-14 | 2019-10-29 | 에스케이실트론 주식회사 | 잉곳 클램프 및 그를 구비한 잉곳 절단용 와이어 쏘잉 장치 |
KR102104077B1 (ko) * | 2018-07-10 | 2020-04-23 | 에스케이실트론 주식회사 | 와이어 쏘우 정렬 유닛과 그를 구비한 와이어 쏘잉 장치 및 그를 이용한 정렬 방법 |
CN108857790B (zh) * | 2018-07-23 | 2019-10-22 | 宁波三韩合金材料有限公司 | 一种用于数控车床的一体式打磨设备 |
DE102018221921A1 (de) * | 2018-12-17 | 2020-06-18 | Siltronic Ag | Verfahren zur Herstellung von Halbleiterscheiben mittels einer Drahtsäge |
CN110103346A (zh) * | 2019-06-04 | 2019-08-09 | 泰州市晨虹数控设备制造有限公司 | 一种大尺寸碳化硅晶片金刚石线切割机床 |
CN110341061A (zh) * | 2019-08-06 | 2019-10-18 | 赛维Ldk太阳能高科技(新余)有限公司 | 一种单晶籽晶的切割方法及应用 |
CN112605845A (zh) * | 2020-12-24 | 2021-04-06 | 瀛耐鑫(苏州)新材料有限公司 | 一种复合高碳钢金刚石切割线加工用收线装置 |
CN115041995B (zh) * | 2022-06-27 | 2023-11-17 | 青岛高测科技股份有限公司 | 进给装置及切割设备 |
WO2024067712A1 (zh) * | 2022-09-30 | 2024-04-04 | 青岛高测科技股份有限公司 | 线切割机及其晶托夹紧检测方法 |
CN115319632B (zh) * | 2022-10-17 | 2023-01-10 | 烟台一诺电子材料有限公司 | 一种键合丝生产用抛光装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1198937B (de) * | 1961-12-27 | 1965-08-19 | Siemens Ag | Verfahren zum Herstellen von Halbleiterplatten, deren Oberflaechen parallel zu einer Kristallgitterflaeche liegen |
DE1427716A1 (de) * | 1964-01-20 | 1969-01-16 | Halbleiterwerk Frankfurt Oder | Verfahren und Vorrichtung zum Abtrennen duenner Kristallscheiben aus Halbleitermaterial von Einkristallstaeben |
JPH0310760A (ja) * | 1989-06-09 | 1991-01-18 | Nippon Spindle Mfg Co Ltd | 結晶質脆性材料切断用ワイヤソー |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4917254A (de) * | 1972-06-05 | 1974-02-15 | ||
US3855738A (en) * | 1972-11-09 | 1974-12-24 | Ibm | Crystal indexing fixture |
US4084354A (en) * | 1977-06-03 | 1978-04-18 | International Business Machines Corporation | Process for slicing boules of single crystal material |
CH646892A5 (fr) * | 1982-04-08 | 1984-12-28 | Charmilles Sa Ateliers | Procede de decoupage par decharges electriques. |
US4498451A (en) * | 1983-08-05 | 1985-02-12 | At&T Technologies, Inc. | Cutting articles along known planes |
US4699032A (en) * | 1984-10-05 | 1987-10-13 | Clark Iii William T | Hot wire cutting system |
US4675825A (en) * | 1984-10-30 | 1987-06-23 | Dementhon Daniel F | Computer-controlled peripheral shaping system |
US4664364A (en) * | 1986-08-15 | 1987-05-12 | Ozz Industries, Inc. | Proximity switch assembly |
JPH0635107B2 (ja) * | 1987-12-26 | 1994-05-11 | 株式会社タカトリハイテック | ワイヤソー |
US5685210A (en) * | 1994-02-04 | 1997-11-11 | Ford Motor Company | Apparatus and method for detecting misoriented wheel assemblies |
CH690845A5 (de) * | 1994-05-19 | 2001-02-15 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | Verfahren zum Positionieren eines Werkstücks und Vorrichtung hierfür. |
US5529051A (en) * | 1994-07-26 | 1996-06-25 | At&T Corp. | Method of preparing silicon wafers |
JPH0985736A (ja) * | 1995-09-22 | 1997-03-31 | Toray Eng Co Ltd | ワイヤ式切断装置 |
-
1995
- 1995-05-04 CH CH01280/95A patent/CH690845A5/de not_active IP Right Cessation
- 1995-05-10 DE DE1995117107 patent/DE19517107C2/de not_active Expired - Fee Related
- 1995-05-18 KR KR1019950012474A patent/KR100269964B1/ko not_active IP Right Cessation
-
1997
- 1997-05-07 US US08/852,605 patent/US5893308A/en not_active Expired - Fee Related
-
1998
- 1998-11-20 US US09/196,154 patent/US6145422A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1198937B (de) * | 1961-12-27 | 1965-08-19 | Siemens Ag | Verfahren zum Herstellen von Halbleiterplatten, deren Oberflaechen parallel zu einer Kristallgitterflaeche liegen |
DE1427716A1 (de) * | 1964-01-20 | 1969-01-16 | Halbleiterwerk Frankfurt Oder | Verfahren und Vorrichtung zum Abtrennen duenner Kristallscheiben aus Halbleitermaterial von Einkristallstaeben |
JPH0310760A (ja) * | 1989-06-09 | 1991-01-18 | Nippon Spindle Mfg Co Ltd | 結晶質脆性材料切断用ワイヤソー |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19740529C2 (de) * | 1997-09-15 | 2001-02-22 | Forschungszentrum Juelich Gmbh | Probenhalterung für eine Schleifvorrichtung |
DE102012221904B4 (de) | 2012-11-29 | 2018-05-30 | Siltronic Ag | Verfahren zur Wiederaufnahme des Drahtsägeprozesses eines Werkstückes nach einer unplanmäßigen Unterbrechung |
DE102012221904A1 (de) | 2012-11-29 | 2014-06-05 | Siltronic Ag | Verfahren zur Wiederaufnahme des Drahtsägeprozesses eines Werkstückes nach einer unplanmäßigen Unterbrechung |
US9427888B2 (en) | 2012-11-29 | 2016-08-30 | Siltronic Ag | Method for resuming a wire sawing process of a workpiece after an unplanned interruption |
DE102013200467A1 (de) | 2013-01-15 | 2014-07-17 | Siltronic Ag | Klemmbare Aufkittleiste für einen Drahtsägeprozess |
WO2014111304A1 (de) | 2013-01-15 | 2014-07-24 | Siltronic Ag | Klemmbare aufkittleiste für einen drahtsägeprozess |
DE102013223344B3 (de) * | 2013-11-15 | 2015-05-07 | Siltronic Ag | Verfahren zum Zersägen eines temperierten Werkstückes mit einer Drahtsäge |
WO2018001793A1 (de) | 2016-06-30 | 2018-01-04 | Siltronic Ag | Verfahren und vorrichtung zur wiederaufnahme des drahtsägeprozesses eines werkstückes nach einer unplanmässigen unterbrechung |
DE102016211883B4 (de) * | 2016-06-30 | 2018-02-08 | Siltronic Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Wiederaufnahme des Drahtsägeprozesses eines Werkstückes nach einer unplanmäßigen Unterbrechung |
DE102016211883A1 (de) | 2016-06-30 | 2018-01-04 | Siltronic Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Wiederaufnahme des Drahtsägeprozesses eines Werkstückes nach einer unplanmäßigen Unterbrechung |
DE102016222899A1 (de) | 2016-11-21 | 2018-05-24 | Siltronic Ag | Vorrichtung und Verfahren zum Zersägen eines Werkstückes mit einer Drahtsäge |
DE102016224640A1 (de) | 2016-12-09 | 2018-06-14 | Siltronic Ag | Verfahren zum Zersägen eines Werkstückes mit einer Drahtsäge |
DE102016224640B4 (de) | 2016-12-09 | 2024-03-28 | Siltronic Ag | Verfahren zum Zersägen eines Werkstückes mit einer Drahtsäge |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE19517107A1 (de) | 1995-11-23 |
US6145422A (en) | 2000-11-14 |
KR100269964B1 (ko) | 2000-11-01 |
CH690845A5 (de) | 2001-02-15 |
KR950034662A (ko) | 1995-12-28 |
US5893308A (en) | 1999-04-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE19517107C2 (de) | Verfahren zum Positionieren eines Werkstücks, wie eines stabförmigen Einkristallmaterials und Vorrichtung hierfür | |
DE102005057172B4 (de) | Schneidmaschine | |
DE4138087C2 (de) | Schleifmaschine zum Anfasen einer Kerbe in der Umfangsfläche eines scheibenförmigen Werkstücks | |
EP1568457A1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung der Orientierung einer kristallografischen Ebene relativ zu einer Kristalloberfläche | |
CH692331A5 (de) | Drahtsäge und Schneidverfahren unter Einsatz derselben. | |
DE19739059A1 (de) | Halteplatte für ein Werkstück | |
DE2708214A1 (de) | Numerisch gesteuerte, mit einem draht aufgrund elektrischer entladung schneidende maschine | |
CH676072A5 (de) | ||
DE3326416A1 (de) | Funkenerosionsmaschine | |
EP0637482A1 (de) | Verfahren zum Positionieren eines Werkstücksträgers in einer Bearbeitungsmaschine sowie zugehöriger Werkstückträger | |
CH693137A5 (de) | Verfahren zur scheibchenweisen Zertrennung eines Halbleiterbarrens mit Hilfe einer Drahtsäge sowie Drahtsäge zur Durchführung des Verfahrens. | |
EP0006160B1 (de) | Einrichtung zur reproduzierbaren Zuordnung zweier mechanischer Elemente | |
DE19608744A1 (de) | Drahtelektroden-Elektroerosionsmaschine und Verfahren | |
DE3203605A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum elektroerosiven bearbeiten eines profils in einem werkstueck | |
DE4115107C2 (de) | ||
DE3045493A1 (de) | Funkenerosionsschneidemaschine | |
EP0356921A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur elektroerosiven Bearbeitung von metallischen Werkstücken | |
DE3813306A1 (de) | Schneiddraht-funkenerosions-vorrichtung | |
DE3230074C2 (de) | ||
DE3247601C2 (de) | ||
DE3032881A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum elektroerosiven bearbeiten eines profils in einem werkstueck mit einer laufdrahtelektrode | |
DE3205884A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur elektroentladungsbearbeitungs-vorschubmotorsteuerung | |
DE19523423A1 (de) | Verfahren und Maschine zum Bearbeiten von Stumpfschweißnähten an Bandringen | |
DE3401086C2 (de) | ||
DE69732340T2 (de) | IC-Leiterrahmenverarbeitungssystem |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |