DE102013200467A1

DE102013200467A1 - Klemmbare Aufkittleiste für einen Drahtsägeprozess

Info

Publication number: DE102013200467A1
Application number: DE102013200467.2A
Authority: DE
Inventors: Peter Wiesner
Original assignee: Siltronic AG
Current assignee: Siltronic AG
Priority date: 2013-01-15
Filing date: 2013-01-15
Publication date: 2014-07-17
Also published as: WO2014111304A1

Abstract

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum Befestigen eines Werkstückes für einen Drahtsägeprozess, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung aus einem Bauteil besteht.

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum Befestigen eines Werkstückes für einen Drahtsägeprozess.
Drahtsägen werden beispielsweise für das Abtrennen von Scheiben von stabförmigen Werkstücken aus kristallinen oder polykristallinen Halbleitermaterial (Wafer) verwendet. Bei den Halbleitermaterialien, handelt es sich insbesondere um Verbindungshalbleiter wie Galliumarsenid und überwiegend Elementhalbleiter wie Silicium oder Germanium.
Die Wafer dienen beispielsweise – nach einer Vielzahl von an den Drahtsägeprozess sich anschließenden Arbeitsschritten zur Reinigung und Optimierung der Oberflächen – als Ausgangsprodukte für elektronische Bauelemente und integrierte Schaltkreise, den sog. Chips, sowie für die Herstellung von Solarzellen.
In der DE 195 17 107 C2 sowie der US 5,771,876 ist das Funktionsprinzip einer Drahtsäge beschrieben, die zur Herstellung von Halbleiterscheiben geeignet ist. Die EP 1 284 847 B1 offenbart eine Drahtsäge zum gleichzeitigen Zersägen mehrerer kreiszylindrischer Werkstücke aus Halbleitermaterial.
Zu den wesentlichen Komponenten dieser Drahtsägen gehören ein Maschinenrahmen, eine Vorschubeinrichtung und ein Sägewerkzeug, das aus einem Gatter (Drahtgatter, „wire web“) aus parallelen Drahtabschnitten besteht. Die Abstände der Drähte im Drahtgatter hängen von der gewünschten Zieldicke der abzutrennenden Scheiben ab und liegen für Scheiben aus Halbleitermaterial beispielsweise bei 100 bis 2000 µm.
Um ein Werkstück mit einer Drahtsäge in eine Vielzahl von Scheiben zersägen zu können, muss das Werkstück über dem Drahtgatter positioniert und befestigt werden. Die Vorrichtung zur Befestigung eines Werkstückes in einer Drahtsäge ist gemäß dem Stand der Technik aus verschiedenen Bauteilen zusammengesetzt.
Das Werkstück ist mit einer Sägeleiste (saw strip) verbunden, in die der Sägedraht am Ende des Verfahrens einschneidet, d.h. die Sägeleiste kann nur einmal verwendet werden.
Bei der Sägeleiste handelt es sich in der Regel um einen länglichen, quaderförmigen Körper, der mit einer Seite auf der Mantelfläche des Werkstücks aufgeklebt oder aufgekittet wird. Bei einem zylindrischen Werkstück ist die zur Befestigung des Werkstückes dienende Seite konkav geformt und somit an die konvexe Form der Mantelfläche des Werkstückes angepasst.
Sägeleisten für das Zersägen eines Werkstückes aus Halbleitermaterial sind beispielsweise in DE 10 2004 058 194 A1 , in EP 0 903 201 B1 sowie in DE 10 2006 032 432 B3 beschrieben.
Die europäische Patentschrift EP 0 903 210 B1 lehrt beispielsweise eine Sägeleiste aus einem schichtförmig strukturierten Verbundkörper, wobei die an das Werkstück angrenzende Schicht aus einem Material besteht, dessen Härte gleich oder ähnlich der Härte des Werkstückes ist. Dadurch wird das Entstehen von Riefen beim Einsägen des Drahtgatters in die Sägeleiste vermieden.
Das US Patent US 8,061,345 B2 lehrt, dass Sägeleisten aus Graphit hergestellt werden können.
Die dem Werkstück gegenüberliegende Seite der Sägeleiste wird zusammen mit dem zu zersägenden Werkstück mit einem Trägerkörper (Trägerplatte), beispielsweise einer Stahlplatte, verbunden.
Die Trägerplatte dient der Befestigung des Werkstückes, beispielsweise durch Klemmen der Trägerplatte, in der Drahtsäge.
Für eine bessere Handhabung des zersägten Werkstückes, umfassend die Scheiben nach dem Sägevorgang in Form eines Sägekamms, die Sägeleiste und die Trägerplatte, für die nachfolgende Reinigung und das anschließende Entkitten, wird die Trägerplatte in der Regel nicht direkt in der Drahtsäge befestigt, sondern dies kann beispielsweise über eine mit der Trägerplatte verschraubte Klemmvorrichtung erfolgen.
Die deutsche Patentschrift DE 195 17 107 C2 lehrt ein Verfahren zum Positionieren eines stabförmigen Werkstücks in einer Drahtsäge und eine entsprechende Vorrichtung hierfür. Das Werkstück wird an einer Scheibenschneidbasis (Sägeleiste) befestigt, die wiederum mit einem Werkstückkontaktblock (Trägerplatte) verbunden wird. Die daraus resultierende Einheit aus Werkstück, Sägeleiste und Trägerplatte wird wiederum an eine Haltevorrichtung befestigt, die in eine Haltespanneinrichtung der Drahtsäge eingebracht wird. Die Haltespanneinrichtung kann verschwenkt werden, um ein Einsägen des Drahtgatters in das Werkstück unter einem bestimmten Winkel zu ermöglichen.
Für die Befestigung eines Werkstückes in einer Drahtsäge werden gemäß der deutschen Patentschrift DE 195 17 107 C2 mindestens eine Sägeleiste, eine Trägerplatte sowie eine Haltevorrichtung benötigt. Da alle drei Komponenten miteinander verbunden werden müssen, ergibt sich ein relativ hoher Montageaufwand in Vorbereitung zum Zersägen eines Werkstückes mit einer Drahtsäge.
Die europäische Patentschrift EP 2 111 960 B1 lehrt eine ebenfalls aus mehreren Bauteilen zusammengesetzte Vorrichtung zur Befestigung eines Werkstückes in einer Drahtsäge. Das Werkstück aus einem Halbleitermaterial (Ingot) ist an einer Sägeleiste aus Glas oder einem anderen synthetischen Material befestigt. Die Sägeleiste wiederum ist an einer Trägerplatte aus Metall oder Keramik befestigt. Die Trägerplatte weist eine trapezoid-förmige Nut-Feder-Verbindung (einer Schwalbenschwanzähnlichen Verbindung) auf, mit der die Trägerplatte in der Drahtsäge befestigt wird.
Die in der europäischen Patentschrift EP 2 111 960 B1 offenbarte Vorrichtung hat gegenüber der Lehre der deutschen Patentschrift DE 195 17 107 C2 den Vorteil, dass hier keine zusätzliche Haltevorrichtung benötigt wird, da die Sägeleiste direkt mit der als Haltevorrichtung dienenden Trägerplatte verbunden wird.
In Hinblick auf die stetig steigenden wirtschaftlichen Anforderungen an den Drahtsägeprozess war der Erfinder vor die Aufgabe gestellt, eine Vorrichtung zum Zersägen eines Werkstückes bereitzustellen, die ohne großen Montageaufwand eine schnelle und sichere Positionierung des Werkstückes über dem Drahtgatter einer Drahtsäge ermöglicht und gleichzeitig das Auftreten von Riefen beim Einsägen der Sägedrähte in die Sägeleiste vermeidet.
Diese Aufgabe wird gelöst durch eine Vorrichtung (123) umfassend einen ersten und einen zweiten Bereich zur Befestigung eines Werkstückes (5) in einer Drahtsäge zum Zersägen dieses Werkstück mit einem Drahtgatter in Scheiben, wobei das Drahtgatter, bestehend aus parallel angeordneten Drahtabschnitten, beim Sägen durch eine gegeneinander gerichtete Relativbewegung der Drahtabschnitte und des Werkstücks (5) in das Werkstück (5) eindringt, und nach dem vollständigen Durchtrennen des Werkstückes (5) in den ersten Bereich der Vorrichtung (123) einsägt, der erste Bereich eine Höhe h hat und die Seitenflächen (31‘) und (32‘) und eine zum Werkstück gerichtete Fläche (b) umfasst, an der die Vorrichtung (123) und das Werkstück (5) formschlüssig bis zu den Kanten (311) und (322) der Seitenflächen (31‘) bzw. (32‘) miteinander verbunden sind, der zweite Bereich der Vorrichtung (123) zur Befestigung der Vorrichtung (123) und dem mit der Vorrichtung (123) verbundenen Werkstück (5) in einer Drahtsäge dient, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung (123) aus einem Bauteil besteht.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung zur Befestigung eines Werkstückes in einer Drahtsäge eignet sich für jede Drahtsäge, wobei zu den wesentlichen Komponenten dieser Drahtsägen ein Maschinenrahmen, eine Vorschubeinrichtung und ein Sägewerkzeug, das aus einem Gatter (Drahtgatter, „wire web“) aus parallelen Drahtabschnitten besteht, gehören.
Ein Werkstück ist ein geometrischer Körper mit einer Oberfläche bestehend aus mindestens zwei parallelen, ebenen Flächen (Stirnseiten) und einer Mantelfläche, die von parallelen Geraden gebildet wird. Bei einem kreiszylindrischen Körper sind die Stirnseiten rund und die Mantelfläche ist konvex. Bei einem quaderförmigen zylindrischen Werkstück ist die Mantelfläche plan.
Ein Werkstück aus Halbleitermaterial ist ein Einkristall oder ein Kristall aus Halbleitermaterial, beispielsweise Verbindungshalbleiter wie Galliumarsenid oder Elementhalbleiter, wie beispielsweise Silicium oder Germanium.
Die vom Werkstück aus Halbleitermaterial gesägten Scheiben aus Halbleitermaterial (Wafer) haben eine Vorder- und eine Rückseite sowie eine umlaufende Kante und werden in weiteren Bearbeitungsschritten veredelt.
Gemäß dem Stand der Technik werden Werkstücke zum Zersägen in einer Drahtsäge an einer Sägeleiste (saw strip, mounting beam) befestigt, in die das Drahtgatter nach vollständiger Durchtrennung des Werkstückes einsägt.
Eine Sägeleiste ist eine längliche Leiste, die aus einem geeigneten Material, beispielsweise aus Graphit, Glas, Kunststoff o. a., gefertigt ist und die zur Fixierung eines Werkstücks während des Drahtsägeprozesses vorgesehen ist. Eine Sägeleiste gemäß dem Stand der Technik zeichnet sich durch einen im Wesentlichen rechteckigen Querschnitt aus, wobei jedoch die Befestigungsfläche, die zur Fixierung des Werkstücks vorgesehen ist, in der Regel eine dem Werkstück entsprechende Form aufweist. Beispielsweise ist die Befestigungsfläche einer Sägeleiste für ein kreiszylindrisches Werkstück bevorzugt konkav geformt, sodass sich die Form der Befestigungsfläche der konvexen Form des Werkstücks anpasst. Allerdings wird für jeden Durchmesser eines kreiszylindrischen Werkstückes eine entsprechend angepasste Sägeleiste benötigt.
Das US-Patent 4,819,387 lehrt eine V-förmige Befestigungsfläche einer Sägeleiste, so dass kreiszylindrische Werkstücke mit verschiedenen Durchmessern mit einer Sägeleistenform in einer Drahtsäge befestigt werden können.
Da die Fixierung des Werkstücks an der Sägeleiste vorzugsweise durch Aufkitten oder Aufkleben erfolgt, wird die Sägeleiste auch als Aufkittleiste bezeichnet. Nachfolgend werden die Begriffe „Sägeleiste“ und „Aufkittleiste“ synonym verwendet.
Durch die Anpassung der Befestigungsfläche der Sägeleiste an die Form des Werkstücks wird eine größtmögliche Klebefläche und daher eine größtmögliche Verbindungskraft zwischen Werkstück und Sägeleiste erreicht.
Die 1 und 2 stellen den Stand der Technik (1) und die erfindungsgemäße Vorrichtung (2) zum Befestigen eines Werkstückes für einen Drahtsägeprozesses dar. 3 und 4 stellen den Entkittungsvorgang nach dem Zersägen des Werkstückes gemäß dem Stand der Technik (3) und mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung (4) dar.
Der in 1 dargestellte Sandwich-Aufbau muss, nach dem allgemeinen Stand der Technik, wie folgt erstellt werden:

1. Verschrauben der Klemmplatte (1) mit der Aufkittplatte (2) mit Schrauben (4).
2. Reinigung der Klebefläche (b) auf dem Werkstück (5).
3. Reinigung der Klebefläche (a) der Aufkittleiste (3).
4. Reinigung der Klebefläche (b) der Aufkittleiste (3).
5. Reinigung der Klebefläche (a) der Aufkittplatte (2).
6. Auftragen des Klebers auf der Klebefläche (a) der Aufkittleiste (3).
7. Auftragen des Klebers auf der Klebefläche (b) der Aufkittleiste (3).
8. Verpressen der Klebefläche (b) der Aufkittleiste (3) mit dem Werkstück (5), der Klebefläche (a) der Aufkittleiste (3) mit der Aufkittplatte (2).
9. Aushärten der Klebeflächen (a) und (b).

Der in 2 dargestellte Aufbau zeigt den Hauptunterschied der Erfindung gegenüber dem allgemeinen Stand der Technik: Die Vorrichtung (123) zum Befestigen eines Werkstückes in einer Drahtsäge besteht nur aus einem Bauteil. Dieses Bauteil umfasst einen ersten und einen zweiten Bereich, wobei der erste Bereich prinzipiell der Aufkittleiste (3) in 1 entspricht und die Seitenflächen (31‘) und (32‘) mit den jeweiligen Kanten (311) und (322) sowie eine Fläche zur Befestigung des Werkstückes (5) an der Vorrichtung (123) dienenden Seite (b) umfasst.
Der zweite Bereich umfasst u.a. die Seitenflächen (31) und (32) und dient zum Einbau des mit der Vorrichtung verbundenen Werkstückes in die Drahtsäge. Somit entspricht der zweite Bereich der Klemmplatte (1) in 1, und wird entsprechend den Klemm- bzw. Halteeinrichtungen der jeweiligen Drahtsäge ausgeführt. In 2 weist der zweite Bereich beispielhaft eine quaderförmige Form mit einer T-förmigen Aussparung auf, die in eine gegengleiche Haltervorrichtung einer Drahtsäge passt.
Der in 2 dargestellte Aufbau mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung (123) zum Befestigen eines Werkstückes für einen Drahtsägeprozesses muss wie folgt erstellt werden:

1. Reinigung der Klebefläche (b) auf dem Werkstück (5).
2. Reinigung der Klebefläche (b) des ersten Bereiches der Vorrichtung (123).
3. Auftragen des Klebers auf der Klebefläche (b) des ersten Bereiches der Vorrichtung (123).
4. Verpressen der Klebefläche (b) des ersten Bereiches der Vorrichtung (123) mit dem Werkstück (5).
5. Aushärten der Klebefläche (b).

3 zeigt schematisch den Ablauf des Entkittungsprozesses gemäß dem Stand der Technik nach dem Zersägen des Werkstückes (5) in eine Vielzahl von Scheiben (5), die einzeln als Sägekamm über die Aufkittleiste (3) mit der aus der Aufkittplatte (2) und der Klemmplatte (1) bestehenden Vorrichtung zur Befestigung des Werkstückes (5) in einer Drahtsäge verbunden sind (3a). Die Vorrichtung mit dem Sägekamm wird aus der Drahtsäge ausgebaut (nicht dargestellt). Durch Lösen der Schrauben (4) (nicht dargestellt) wird im zweiten Arbeitsschritt (3b) die Klemmplatte (1) von der Aufkittplatte (2) entfernt. Der Sägekamm mit den Scheiben (5), der über die Aufkittleiste (3) mit der Aufkittplatte (2) verbunden ist, kommt zusammen mit der Aufkittpaltte (2) in das Entkittungsbecken (nicht dargestellt). Im Entkittungsbecken werden die Scheiben (5) von der Aufkittleiste (3) gelöst, die nach wie vor mit der Aufkittplatte 2 verbunden ist (3c). Die Aufkittplatte (2) und die Aufkittleiste (3) werden in einer separaten Anlage (nicht dargestellt) entkittet (getrennt) (3d), die Aufkittleiste (3) wird verworfen. Die Aufkittplatte (2) wird gereinigt und wiederverwendet.
4 zeigt schematisch den Ablauf des Entkittungsprozesses mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung (123) zur Befestigung eines Werkstückes (5) in einer Drahtsäge nach dem Zersägen des Werkstückes (5) in eine Vielzahl von Scheiben (5). Die Scheiben (5) sind jeweils einzeln als Sägekamm über die Klebefläche (b) mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung (123) verbunden (4a). Die erfindungsgemäße Vorrichtung (123) wird zusammen mit dem Sägekamm aus der Drahtsäge ausgebaut (nicht dargestellt) und in das Entkittungsbecken (nicht dargestellt) überführt (4b). Nach der Entkittung der Scheiben (5) sind die Scheiben (5) und die erfindungsgemäße Vorrichtung (123) voneinander getrennt (4c). Die erfindungsgemäße Vorrichtung (123) wird verworfen.
Die in 2 dargestellte erfindungsgemäß aus einem Bauteil bestehende Vorrichtung (123) zum Befestigen eines Werkstückes für einen Drahtsägeprozesses setzt sich prinzipiell aus zwei Bereichen zusammen, einem ersten Bereich, der als Aufkittleiste dient, und einem zweiten Bereich, der zur Befestigung der Vorrichtung (123) in der Drahtsäge dient. Eine Aufkittplatte (2) gemäß dem Stand der Technik entfällt bei der Vorrichtung (123).
Die zur Verbindung mit dem Werkstück (5) dienende Fläche (b) des ersten Bereiches der Vorrichtung (123), ist bevorzugt in ihrer Form der Oberfläche des Werkstücks (5) angepasst, so dass das Werkstück formschlüssig bis zu den Kanten (311) und (322) mit der Vorrichtung (123) verbunden werden kann.
Bevorzugt ist nur eine Teilfläche der Oberfläche des Werkstückes (5) mit der Fläche (b) des ersten Bereiches verbunden (2).
Der zweite Bereich der Vorrichtung (123) dient zum Einbau des mit der Vorrichtung (123) verbundenen Werkstückes (5) in die Drahtsäge und wird entsprechend den Klemm- bzw. Halteeinrichtungen der jeweiligen Drahtsäge ausgeführt.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung (123) zur Befestigung eines Werkstückes in einer Drahtsäge wird in einer ersten Ausführungsform bevorzugt nur aus einem Material gefertigt.
Ebenfalls bevorzugt ist es, in einer zweiten Ausführungsform, den ersten Bereich und den zweiten Bereich der Vorrichtung (123) aus zwei verschiedenen Materialien zu fertigen, die durch eine Kitt- oder Klebeverbindung miteinander fest verbunden und somit ein Bauteil sind.
In der ersten Ausführungsform (ein Material) muss das Material der Vorrichtung (123) zwei Anforderungen erfüllen. Zum einen muss das mit dem Werkstück (5) in Kontakt kommende Material die gleiche oder eine ähnliche Härte aufweisen wie das zu zersägende Werkstück selber. Dadurch wird das Entstehen von Riefen bzw. Wellen beim Einsägen des Drahtgatters in die Sägeleiste (3) vermieden.
Zum anderen muss das Material für die erfindungsgemäße Vorrichtung (123) eine ausreichende mechanische Stabilität aufweisen, um das Werkstück (5) sicher und stabil, also in der gewünschten Position bezogen auf das Drahtgatter, während des gesamten Sägevorganges zu positionieren.
Für ein Werkstück beispielsweise aus Silicium eignen sich neben anderen Materialien Graphit, Glas, Kunststoffe, glasfaser- oder karbonfaserverstärkte Kunststoffe als Material zur Herstellung der erfindungsgemäßen Vorrichtung (123).
Bevorzugt werden die Materialien entsprechend der jeweiligen Härte des zu zersägenden Werkstückes ausgewählt oder durch ein entsprechendes Herstellungs- bzw. Bearbeitungsverfahren angepasst.
In der zweiten Ausführungsform (zwei miteinander verbundene Materialien) können der erste Bereich der erfindungsgemäßen Vorrichtung (123) spezifisch an das Material des zu zersägenden Werkstückes (5) (bspw. bzgl. der Materialhärten) und der zweite Bereich beispielsweise an die Anforderungen der mechanischen Belastung während des Drahtsägeprozesses (durch eine entsprechende Materialwahl oder -bearbeitung) angepasst werden. Darüber hinaus kann die Wahl eines anderen Materials für den zweiten Bereich kostensenkend sein, wenn das Material für den ersten Bereich teurer ist als für den zweiten Bereich.
Für ein Werkstück (5) beispielsweise aus Silicium eignen sich für den ersten Bereich der erfindungsgemäßen Vorrichtung (123) neben anderen Materialien Graphit, Glas, Kunststoffe, glasfaser- oder karbonfaserverstärkte Kunststoffe.
Bevorzugt werden die Materialien für den ersten Bereich entsprechend der jeweiligen Härte des zu zersägenden Werkstückes ausgewählt oder durch ein entsprechendes Herstellungs- bzw. Bearbeitungsverfahren angepasst.
Als Material für den zweiten Bereich der erfindungsgemäßen Vorrichtung (123) eignen sich neben anderen Materialien Graphit, Glas, Kunststoffe, glasfaser- oder karbonfaserverstärkte Kunststoffe und keramische Werkstoffe.
Das zu zersägende Werkstück (5) wird gemäß dem Stand der Technik an die Seite (b) des ersten Bereiches der Vorrichtung (123) geklebt oder gekittet, so dass das Werkstück (5) während des Drahtsägeprozesses fest mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung (123) verbunden ist.
Die Fläche (b) zur Befestigung des Werkstückes ist bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung (123) bevorzugt der Oberfläche des jeweiligen Werkstückes (5) angepasst. Bei einem kreiszylindrischen Werkstück (5) ist die Fläche (b) zur Aufnahme eines Werkstückes (5) bevorzugt konkav.
Besonders bevorzugt entspricht die Form der nach innen gerichteten, konkaven Wölbung der Fläche (b) der Aufkittleiste (3) der Vorrichtung (123) der nach außen gerichteten, konvexen Wölbung des zu befestigenden Werkstückes (5), so dass das Werkstück (5) mit einem Teil seiner Mantelfläche formschlüssig mit der Fläche (b) verbunden werden kann (2).
Der erste Bereich der erfindungsgemäßen Vorrichtung (123) dient sowohl zur Befestigung des Werkstückes als auch als Sägeleiste, d.h. die Drahtabschnitte des Drahtgatters sägen auch nach dem vollständigen Durchdringen des Werkstückes (5) in den ersten Bereich der erfindungsgemäßen Vorrichtung (123) ein.
Bevorzugt beträgt die Eindringtiefe des Drahtgatters in den ersten Bereich nach dem vollständigen Durchdringen des Werkstückes (5) 5 mm.
Der erste Bereich weist eine definierte Höhe h auf, die in der Mitte der Fläche (b) der Vorrichtung (123) bestimmt und in einem Winkel von 90° von der Oberfläche des Werkstückes aus gemessen wird (2).
Die minimale Höhe h (s. 2) des ersten Bereiches beträgt bevorzugt 15 mm, besonders bevorzugt 10 mm.
Der erste Bereich kann jede beliebige, zum Einbau in eine Drahtsäge geeignete Form haben. Bevorzugt ist eine gleichschenklige trapezförmige äußere Form, wie in 2 dargestellt.
Um das Auftreten einer Sägewelle im Endbereich des Schnittes zu vermeiden, sind die Seiten (31‘) und (32‘) des ersten Bereiches besonders bevorzugt abgeschrägt, wie in DE 10 2006 032 432 B3 offenbart ist. Gemäß 2 sind die Seiten des ersten Bereiches so abgeschrägt, dass der Abstand zwischen den beiden Kanten (311) und (322) größer ist als der parallel gemessene Abstand in der Höhe h über dem Werkstück.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung (123) zum Befestigen eines Werkstückes (5) für einen Drahtsägeprozesses kann in jeder Drahtsäge zum Einsatz kommen, wobei der erste und der zweite Bereich den jeweiligen Gegebenheiten, beispielsweise der Form des zu zersägenden Werkstückes und/oder der individuellen Befestigungsvorrichtung in der Drahtsäge selber, angepasst werden kann.
Das Einsetzen der erfindungsgemäßen Vorrichtung (123) in die Drahtsäge kann durch Einhängen, Einklemmen oder eine andere geeignete Methode erfolgen.
Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren werden u.a. Montagezeit und Hilfs- und Betriebsstoffe eingespart, da die Sägeleiste beispielsweise nicht mehr an einem separaten Träger befestigt werden muss, der wiederum in die Drahtsäge eingesetzt wird.
Darüber hinaus werden zusätzliche Arbeitsschritte beim Entkitten der aus dem Werkstück gesägten Scheiben mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung (123) eingespart (3 und 4).
Beispielsweise entfallen das Verschrauben und Lösen der Klemmplatte (1) mit der Aufkittplatte (2), das Reinigen der Klebefläche (a) der Aufkittleiste (3), mit der die Aufkittleiste (3) mit der Aufkittplatte (2) verbunden wird oder das Entfernen der Klemmplatte 1 vor dem Entkittungsprozess.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung (123) wird zusammen mit dem aus einer Vielzahl von Scheiben (5) gebildeten Sägekamm nach dem Ausbau aus der Drahtsäge in das Entkittungsbecken überführt. Nach dem Entkitten wird die Vorrichtung (123) verworfen. Eine separate Anlage zum Trennen der Aufkittplatte (2) von der Aufkittleiste (3) (3d) entfällt ebenfalls.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur

DE 19517107 C2 [0004, 0015, 0016, 0018]
US 5771876 [0004]
EP 1284847 B1 [0004]
DE 102004058194 A1 [0009]
EP 0903201 B1 [0009]
DE 102006032432 B3 [0009, 0059]
EP 0903210 B1 [0010]
US 8061345 B2 [0011]
EP 2111960 B1 [0017, 0018]
US 4819387 [0027]

Claims

Vorrichtung (123) umfassend einen ersten und einen zweiten Bereich zur Befestigung eines Werkstückes (5) in einer Drahtsäge zum Zersägen dieses Werkstück mit einem Drahtgatter in Scheiben, wobei das Drahtgatter, bestehend aus parallel angeordneten Drahtabschnitten, beim Sägen durch eine gegeneinander gerichtete Relativbewegung der Drahtabschnitte und des Werkstücks (5) in das Werkstück (5) eindringt, und nach dem vollständigen Durchtrennen des Werkstückes (5) in den ersten Bereich der Vorrichtung (123) einsägt, der erste Bereich eine Höhe h hat und die Seitenflächen (31‘) und (32‘) und eine zum Werkstück gerichtete Fläche (b) umfasst, an der die Vorrichtung (123) und das Werkstück (5) formschlüssig bis zu den Kanten (311) und (322) der Seitenflächen (31‘) bzw. (32‘) miteinander verbunden sind, der zweite Bereich der Vorrichtung (123) zur Befestigung der Vorrichtung (123) und dem mit der Vorrichtung (123) verbundenen Werkstück (5) in einer Drahtsäge dient, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung (123) aus einem Bauteil besteht.
Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung (123) aus einem Material besteht.
Vorrichtung (123) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das der erste Bereich der Vorrichtung aus einem ersten Material und der zweite Bereich der Vorrichtung aus einem zweiten Material besteht und beide Bereiche fest miteinander verbunden sind.
Vorrichtung (123) nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung (123) aus einem der Materialien Graphit, Glas, einem Kunststoff, einem glasfaser- oder karbonfaserverstärkten Kunststoff besteht.
Vorrichtung (123) nach einem der Ansprüche 1 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Bereich der Vorrichtung (123) aus einem der Materialien Graphit, Kunststoff, Keramik oder Glas besteht und der zweite Bereich aus einem der Materialien Graphit, Glas, Kunststoff, glasfaser- oder karbonfaserverstärkter Kunststoff oder einem keramischen Werkstoff besteht.
Vorrichtung (123) nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Seitenflächen (31‘) und (32‘) des ersten Bereiches so abgeschrägt sind, dass der Abstand zwischen den beiden Kanten (311) und (322) größer ist als der parallel gemessene Abstand in der Höhe h über dem Werkstück.
Vorrichtung (123) nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Höhe h des ersten Bereiches der Vorrichtung minimal 10 mm beträgt.